JP3340509B2 - 感湿素子駆動装置及び湿度測定装置 - Google Patents

感湿素子駆動装置及び湿度測定装置

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JP3340509B2
JP3340509B2 JP13382693A JP13382693A JP3340509B2 JP 3340509 B2 JP3340509 B2 JP 3340509B2 JP 13382693 A JP13382693 A JP 13382693A JP 13382693 A JP13382693 A JP 13382693A JP 3340509 B2 JP3340509 B2 JP 3340509B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、湿度の測定に用いられ
るセラミック材料から成る感湿素子を駆動する感湿素子
駆動装置、及びかかる感湿素子駆動装置を備えた湿度測
定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】各種物理量を測定するために種々の測定
装置が用いられている。このような測定装置の一種に、
湿度を測定する湿度測定装置がある。従来、湿度測定装
置として毛湿計や乾湿球湿度計を用いて湿度を測定して
いるが、これらの湿度測定装置は、測定精度や湿度の変
化に対する応答性等が不充分であり、しかも、測定結果
を電気信号へ変換することが困難である。そこで、湿度
により物質の性質が変化するという特性、例えば物質の
伸縮、静電容量の変化、電気抵抗値の変化等を利用して
湿度を測定する湿度センサが開発されている。
【0003】かかる湿度センサの1つとして、セラミッ
ク材料が熱的に安定しているという点に着目した、セラ
ミック材料から成る感湿素子(以下、単に感湿素子とも
いう)を用いた湿度センサ(以下、単にセラミック湿度
センサともいう)を挙げることができる。セラミック湿
度センサにおいては、感湿素子が空気中の水分を吸着す
ることにより、感湿素子の電気抵抗値が変化する。それ
故、感湿素子に電圧を印加したとき流れる電流を測定す
ることによって感湿素子の電気抵抗値を求め、かかる電
気抵抗値から感湿素子の置かれた雰囲気における相対湿
度を得ることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、感湿素
子に直流電圧を印加すると、感湿素子は分極現象を起こ
し、性能が劣化するという問題がある。それ故、感湿素
子には、直流成分を含まない交流電圧を印加することが
必要とされる。従って、従来のセラミック湿度センサで
電気抵抗値を測定するためには、感湿素子に交流電圧を
印加して流れる交流電流を測定し、更に交流電流を直流
電流に変換して電気抵抗値を算出する必要がある。
【0005】そのため、従来のセラミック湿度センサに
おいては、得られた交流電流を直流電流に変換する整流
回路等が必要とされ、セラミック湿度センサを駆動する
回路構成が複雑となるという問題がある。また、回路構
成が複雑になることにより湿度測定精度の向上が図れな
いという問題もある。
【0006】従って、本発明の目的は、簡単な回路構成
で湿度測定精度を高めることのできる感湿素子駆動装
置、及び湿度測定装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の感湿素子駆動装置は、相対湿度に応じて電
気抵抗値が変化しそして交流駆動されるセラミック材料
から成る感湿素子を駆動する感湿素子駆動装置である。
そして、交流信号が入力される交流信号入力部と、直流
電流が入力される直流電流入力部と、前記直流電流入力
部から入力される前記直流電流を、前記交流信号入力部
から入力された交流信号に応じて増幅された交流電流に
変換して前記感湿素子に供給する交流出力部と、前記直
流電流入力部に流れる直流電流を検出する電流検出手段
とを備え、該電流検出手段で検出された直流電流により
前記感湿素子の抵抗値を測定するようにしたことを特徴
とする。
【0008】また、上記の目的を達成するための本発明
の感湿素子駆動装置は、相対湿度に応じて電気抵抗値が
変化しそして交流駆動されるセラミック材料から成る感
湿素子を駆動する感湿素子駆動装置である。そして、交
流信号が入力される交流信号入力部と、直流電流が入力
される直流電流入力部とを有し、直流電流入力部から入
力された直流電流を、前記交流信号入力部から入力され
た交流信号に応じて増幅された交流電流に変換して前記
感湿素子に供給するB級プッシュプル増幅回路と、該B
級プッシュプル増幅回路に入力される直流電流を検出す
る電流検出手段とを備え、該電流検出手段で検出された
直流電流により前記感湿素子の抵抗値を測定するように
したことを特徴とする。
【0009】更に、上記の目的を達成するための本発明
の湿度測定装置は、相対湿度に応じて電気抵抗値が変化
しそして交流駆動されるセラミックから成る感湿素子
と、交流信号を発生する交流信号発生器と、該交流信号
発生器で発生された交流信号が入力される交流信号入力
部と、直流電源と、該直流電源から供給される直流電流
が入力される直流電流入力部と、前記直流電流入力部か
ら入力される前記直流電流を、前記交流信号入力部から
入力された交流信号に応じて増幅された交流電流に変換
して前記感湿素子に供給する交流出力部と、前記直流電
流入力部に流れる直流電流を検出する電流検出手段とを
備え、該電流検出手段で検出された直流電流により前記
感湿素子の抵抗値を測定するようにしたことを特徴とす
る。
【0010】また、上記の目的を達成するための本発明
の湿度測定装置は、相対湿度に応じて電気抵抗値が変化
しそして交流駆動されるセラミックから成る感湿素子
と、交流信号を発生する交流信号発生器と、直流電源
と、前記交流信号発生器で発生された交流信号が入力さ
れる交流信号入力部と、前記直流電源から供給される直
流電流が入力される直流電流入力部とを有し、前記直流
電流入力部から入力された前記直流電流を、前記交流信
号入力部から入力された交流信号に応じて増幅された交
流電流に変換して前記感湿素子に供給するB級プッシュ
プル増幅回路と、該B級プッシュプル増幅回路に入力さ
れる直流電流を検出する電流検出手段とを備え、該電流
検出手段で検出された直流電流により前記感湿素子の抵
抗値を測定するようにしたことを特徴とする。
【0011】本発明の感湿素子駆動装置あるいは湿度測
定装置においては、B級プッシュプル増幅回路は、単電
源方式又は2電源方式の増幅回路で構成することができ
る。
【0012】上記感湿素子に用いられるセラミック材料
としては、Al23、Cr23、Cr23+C、Fe2
3、ZnO、Fe34、CoO、Ni1-XFe2+X4
TiO2+Mn34、Fe23+Li2O、SnO2+S
23、BaTiO3、Al23+ガラス、Fe23
2O、TiO2、V25+Na2CO3+Si、Cr23
+ガラス、ZnO+Li2O+V25、MgCr24
TiO2、TiO2+SnO2、TiO2+V22、BaT
iO3+SrTiO3、Ca10(PO46(OH)2、A
lPO4、Co34+TiO2、サーミスタ、ZnCr2
4+Li2O、MnWO4、LiNbO3、ゼオライト+
MgAl24+MgFe24、SnO2+アパタイトを
例示することができる。
【0013】
【作用】本発明においては、例えば外部から入力された
交流信号の正の半サイクルの期間中は交流信号に応じた
正の電流が出力され、交流信号の負の半サイクルの期間
中は交流信号に応じた負の電流が出力される。即ち、入
力された交流信号に応じた交流電流が出力され、この交
流電流によって感湿素子が駆動される。
【0014】一方、上記感湿素子に供給される交流電流
は、直流電流入力部から入力される直流電流を、交流信
号に応じて制御することにより得られるものである。従
って、感湿素子に供給される交流電流は、上記直流電流
入力部から入力される直流電流と一定の関係、例えば比
例関係を有している。
【0015】よって、上記直流電流を検出すれば上記感
湿素子に流れる電流を知ることができるので、感湿素子
の電気抵抗値を知ることができる。換言すれば、直流電
流入力部から供給される直流電流を検出することによ
り、周囲環境の湿度を測定することができる。
【0016】また、上記の感湿素子を交流電流で駆動す
るための回路は、より具体的には、いわゆるB級プッシ
ュプル増幅回路で構成することができる。そして、この
B級プッシュプル増幅回路に供給される直流電源電流の
変化を検出することにより、上記と同様の作用で、周囲
環境の湿度を測定することができる。
【0017】本発明の感湿素子駆動装置を湿度測定装置
に組み込めば、従来の装置のような交流電流を直流電流
に変換する整流回路等が不要となる。
【0018】
【実施例】以下、本発明の感湿素子駆動装置及び湿度測
定装置の実施例につき、図面を参照して詳細に説明す
る。
【0019】図1(A)は、本発明の湿度測定装置及び
感湿素子駆動装置の第1の実施例を示す回路図であり、
感湿素子RLの駆動回路として単電源方式のB級プッシ
ュプル増幅回路を用いて構成したものである。
【0020】この第1の実施例における湿度測定装置
は、交流信号を発生する交流信号発生器VOSCと、コ
ンデンサC1と、駆動回路10と、感湿素子RLと、直
流電源Vccと、電流検出手段Aとから成る。
【0021】また、この第1の実施例における感湿素子
駆動装置は、駆動回路10及び電流検出手段Aとから構
成される。
【0022】駆動回路10は、交流信号入力部20と、
直流電流入力部22と、交流出力部24とを有し、交流
信号入力部20の一端はコンデンサC1を介して交流信
号発生器VOSCに接続されている。直流電流入力部2
2は電流検出手段Aを介して直流電源Vccに接続され
ている。交流出力部24は感湿素子RLに接続されてい
る。
【0023】駆動回路10は、NPN形トランジスタQ
1、PNP形トランジスタQ2、バイアス回路、及びコ
ンデンサC2から構成されている。バイアス回路は、抵
抗R1,R2、及びダイオードD1,D2から構成され
ており、その一端は直流電源Vccに接続され、他端は
接地されている。このバイアス回路は、感湿素子RLの
電気抵抗値が有限な値のときに後述する直流供給電流I
が流れるように、トランジスタQ1及びQ2のバイアス
信号を生成する。交流信号入力部20の他端はダイオー
ドD1とダイオードD2の接続点に接続されている。
【0024】感湿素子RLは、セラミック材料から成
り、交流駆動され、周囲環境の相対湿度の変化に応じて
電気抵抗値が変化する周知のものである。この感湿素子
RLの一方の端子は交流出力部24を介してコンデンサ
C2に接続されており、他方は接地されている。
【0025】直流電源Vccとして、例えば、+5ボル
トの直流電源を用いることができる。
【0026】電流検出手段Aは、例えば直流電流計から
構成されるものであり、直流電源Vccからトランジス
タQ1のコレクタに流れる電流(直流供給電流)Iを検
出するために使用される。電流検出手段Aが示す電流値
から相対湿度を求めることができる。この電流検出手段
AにはコンデンサC3が並列に挿入されている。即ち、
直流電源VccとトランジスタQ1のコレクタとの間に
コンデンサC3が配置され、脈動する直流供給電流Iの
平滑化と高周波成分をバイパスさせる役割を果たす。
【0027】なお、図1(A)においては、電流検出手
段Aとしての直流電流計を、トランジスタQ1のコレク
タに流れる電流を検出するように配置したが、トランジ
スタQ2のコレクタに流れる電流を検出するように配置
しても良い。この場合も、直流供給電流Iを測定したと
等価の検出値が得られる。
【0028】交流信号発生器VOSCは、例えば1KH
zの正弦波交流信号を発生する。交流信号発生器VOS
Cの出力は、コンデンサC1及び交流信号入力部20を
介してバイアス回路(具体的には、ダイオードD1のカ
ソードとダイオードD2アノードの接続点)に入力され
る。コンデンサC1は直流阻止機能を有し、交流信号発
生器VOSCから供給される交流信号のみが駆動回路1
0に加わるようにして、バイアスに変動が生じることを
防止する。
【0029】駆動回路10を構成するトランジスタQ1
はNPN形のトランジスタである。トランジスタQ1の
コレクタは、電流検出手段Aを介して直流電源Vccに
接続されており、トランジスタQ1には直流電源Vcc
から直流電力が供給される。また、トランジスタQ1の
ベースはバイアス回路(具体的には抵抗R1とダイオー
ドD1のアノードとの接続点)に接続されており、所定
のバイアス信号が供給されるようになっている。更に、
トランジスタQ1のエミッタは、コンデンサC2及びト
ランジスタQ2のエミッタに接続されている。
【0030】駆動回路10を構成するトランジスタQ2
はPNP形のトランジスタである。トランジスタQ2の
エミッタは、上述したようにトランジスタQ1のエミッ
タ及びコンデンサC2に接続されている。また、トラン
ジスタQ2のベースはバイアス回路(具体的にはダイオ
ードD2のカソードと抵抗R1との接続点)に接続され
ており、所定のバイアス信号が供給されるようになって
いる。更に、トランジスタQ2のコレクタは接地されて
いる。
【0031】トランジスタQ1及びQ2の各エミッタと
感湿素子RLとの間に配設されているコンデンサC2
は、トランジスタQ1が動作している半サイクルは充電
され、トランジスタQ2が動作している半サイクルは放
電される。このことはトランジスタQ2が動作している
半サイクルは、トランジスタQ2に対する電源としての
役目を果たすことを意味する。このコンデンサC2の充
放電に応じて、感湿素子RLに交流電流が流れる。
【0032】図2(A)は、本発明の湿度測定装置及び
感湿素子駆動装置の第2の実施例を示す回路図であり、
感湿素子RLの駆動回路として2電源方式のB級プッシ
ュプル増幅回路を用いて構成したものである。
【0033】この第2の実施例における湿度測定装置
は、交流信号を発生する交流信号発生器VOSCと、駆
動回路10と、感湿素子RLと、直流電源Vccと、第
2の直流電源Veeと、電流検出手段Aとから成る。
【0034】また、この第2の実施例における感湿素子
駆動装置は、駆動回路10及び電流検出手段Aとから構
成される。
【0035】駆動回路10は、交流信号入力部20と、
直流電流入力部22と、交流出力部24とを有し、交流
信号入力部20の一端は交流信号発生器VOSCに接続
されている。直流電流入力部22は電流検出手段Aを介
して直流電源Vccに接続されている。交流出力部24
は感湿素子RLの一端に接続されている。
【0036】駆動回路10は、NPN形トランジスタQ
1、PNP形トランジスタQ2、及びバイアス回路から
構成されている。バイアス回路は、上記第1の実施例の
場合と同様に、抵抗R1,R2、及びダイオードD1,
D2から構成されており、その一端は直流電源Vccに
接続され、他端は第2の直流電源Veeの負側に接続さ
れている。このバイアス回路は、感湿素子RLの電気抵
抗値が有限な値のときに後述する直流供給電流Iが流れ
るように、トランジスタQ1及びQ2のバイアス信号を
生成する。交流信号入力部20の他端はダイオードD1
とダイオードD2の接続点に接続されている。
【0037】感湿素子RLとしては、上記第1の実施例
と同じものが用いられる。この感湿素子RLの一方の端
子は交流出力部24に接続されており、他方の端子は接
地されるとともに、第2の直流電源Veeの正側に接続
されている。
【0038】直流電源Vcc及び第2の直流電源Vee
として、例えば、+5ボルトの直流電源を用いることが
できる。
【0039】電流検出手段A及びコンデンサC3の構成
及び作用は、上述した第1の実施例の場合と同じである
ので説明は省略する。
【0040】交流信号発生器VOSCは、例えば1KH
zの正弦波交流信号を発生する。交流信号発生器VOS
Cの出力は、交流信号入力部20を介してバイアス回路
(具体的には、ダイオードD1のカソードとダイオード
D2アノードの接続点)に入力される。
【0041】駆動回路10を構成するトランジスタQ1
はNPN形のトランジスタである。トランジスタQ1の
コレクタは、電流検出手段Aを介して直流電源Vccに
接続されており、トランジスタQ1には直流電源Vcc
から直流電力が供給される。また、トランジスタQ1の
ベースはバイアス回路(具体的には抵抗R1とダイオー
ドD1のアノードとの接続点)に接続されており、所定
のバイアス信号が供給されるようになっている。更に、
トランジスタQ1のエミッタは、トランジスタQ2のエ
ミッタに接続されている。
【0042】駆動回路10を構成するトランジスタQ2
はPNP形のトランジスタである。トランジスタQ2の
エミッタは、上述したようにトランジスタQ1のエミッ
タに接続されている。また、トランジスタQ2のベース
はバイアス回路(具体的にはダイオードD2のカソード
と抵抗R1との接続点)に接続されており、所定のバイ
アス信号が供給されるようになっている。更に、トラン
ジスタQ2のコレクタは第2の直流電源Veeの負側に
接続されている。
【0043】上述した図1(A)に示した第1の実施例
に係る単電源方式のB級プッシュプル増幅回路と、図2
(A)に示した第2の実施例に係る2電源方式のB級プ
ッシュプル増幅回路とは、本質的には同じものである。
【0044】即ち、図1(A)におけるコンデンサC1
は、上述したように、直流バイアスが信号源(交流信号
発生回路VOSC)によって乱されないようにするため
に挿入されているものであり、コンデンサC1のインピ
ーダンスが信号周波数において無視できれば、上記両回
路は交流的に等価となる。よって、図1(A)における
コンデンサC1は必ずしも必要なものではない。
【0045】また、図1(A)におけるコンデンサC2
は、図2(A)における第2の直流電源Veeに対応す
る機能を果たすものである。従って、図2(A)におい
てはコンデンサC2に対応するものは設けられていな
い。
【0046】なお、単電源方式のB級プッシュプル増幅
回路では、図1(B)に示すように、コンデンサC2の
容量及び感湿素子RLの電気抵抗値の時定数分だけ、負
側の振幅が定常状態に達するまで時間を必要とするとい
う点で、図2(B)に示した2電源方式のB級プッシュ
プル増幅回路と相違する。図1(B)に示す回路の場
合、負側の振幅が定常状態に達するまで時間を要した分
だけ、電荷オフセットが感湿素子RLに生ずるが、これ
はコンデンサC2の自己放電がない限り電源断等の要因
により解消され、また、コンデンサC2の回路を通じて
放電がない場合は、次回の動作開始時からは時定数によ
る遅れはなくなる。
【0047】次に、以上のように構成される湿度測定装
置及び感湿素子駆動装置の動作について、以下説明す
る。
【0048】上述したように、第1の実施例として示し
た単電源方式のB級プッシュプル増幅回路を用いた湿度
測定装置及び感湿素子駆動装置は、第2の実施例として
示した2電源方式のB級プッシュプル増幅回路を用いた
湿度測定装置及び感湿素子駆動装置と実質的に等価であ
る。
【0049】従って、以下では、図2に示した2電源方
式のB級プッシュプル増幅回路を用いた湿度測定装置及
び感湿素子駆動装置の動作について説明する。ここで、
B級プッシュプル増幅回路は、理想的な回路であるもの
とする。また、交流信号発生器VOSCから供給される
交流信号の入力電圧Viは、図3(A)に示すような正
弦波であるものとする。
【0050】入力電圧Viが正の半サイクルにあると
き、トランジスタQ1がオンとなり、トランジスタQ2
はオフとなる。これにより、直流電源Vccから、トラ
ンジスタQ1及び感湿素子RLを経て接地に至る経路が
形成され、直流供給電流I(Ic1)が流れる。換言すれ
ば、交流信号発生器VOSCが出力する交流信号が正の
半サイクルにあるとき、図3(C)に示すような脈動す
る正の直流電流が流される。従って、直流電源Vccか
らトランジスタQ1のコレクタには、上記感湿素子RL
を流れる直流電流に比例した直流電流が流れることにな
る。
【0051】一方、入力電圧Viが負の半サイクルにあ
るとき、トランジスタQ2がオンとなり、トランジスタ
Q1はオフとなる。これにより、第2の直流電源Vee
(接地レベル)から、感湿素子RL及びトランジスタQ
2を経て第2の直流電源Veeに至る経路が形成され、
直流供給電流IC2が流れる。換言すれば、交流信号発生
器VOSCが出力する交流信号が負の半サイクルにある
とき、図3(D)に示すような、脈動する負の直流電流
が、トランジスタQ2のコレクタを流れる。尚、この場
合、電流検出手段AをトランジスタQ2のコレクタに接
続してもよい。
【0052】上記の動作により、交流信号の半サイクル
毎に交番する交流電流が駆動回路10の交流出力部24
から出力されることになり、出力電圧VOは、図3
(B)に示すような、入力電圧Viに比例した電圧とな
る。このようにして、交流信号発生器VOSCから入力
された交流信号に応じて変化する交流電流が、交流出力
部24を介して感湿素子RLへ供給される。
【0053】この場合、トランジスタQ1及びQ2は交
流信号発生器VOSCに対してはエミッタフォロワとし
て動作する。従って、交流信号発生器VOSCのインピ
ーダンスがある程度小さければ、感湿素子RLに印加さ
れる交流電圧は、交流信号発生器VOSCが出力する交
流信号にほぼ等しくなる。
【0054】即ち、トランジスタQ1,Q2がそれぞれ
の半サイクル毎にエミッタフォロワとして動作している
と考えれば、電圧利得Av=VO/Viは、感湿素子RL
の電気抵抗値とトランジスタQ1,Q2の特性に依存す
るが、「0.99」程度である。
【0055】ここでエミッタフォロワにおける電圧利得
Avと負荷抵抗(感湿素子の抵抗)RLとの関係を更に
詳細に調べてみると、以下のようになる。
【0056】図4(A)にエミッタフォロワ、同図
(B)にエミッタ接地ハイブリッドモデルを使用した交
流等価回路を示す。なお、交流等価回路では、入力コン
デンサCIN、出力コンデンサCOUTのインピーダンスは
無視できるものとした。また、電圧駆動(Vin)なので
抵抗RBは無視できる。また、直流電源Vccの内部抵
抗はゼロとした。更に、抵抗REと抵抗RL’の合成抵
抗を負荷抵抗RLとした。
【0057】出力端子となるE点の電圧VOと入力電流
ibは、それぞれ下式で表される。 VO=(ib+hfe・ib)・RL =(1+hfe)・ib・RL…(1) ib=(Vi−VO)/hie…(2) ここで、(2)式を(1)式に代入すると、下式が得ら
れる。
【数1】 上式のVOの項とViの項を分離すると、下式のようにな
る。
【数2】 よって、電圧利得Avは、(3)式のようになる。
【数3】
【0058】上記(3)式における、hfe=100、h
ie=1K〔Ω〕の場合の負荷抵抗RLと電圧利得Avの
関係を図5に示す。図5から明かなように、負荷抵抗R
Lが1K〔Ω〕における電圧利得は、「0.990」と
なり、感湿素子RLに印加される交流電圧は、交流信号
発生器VOSCから入力される交流信号とほぼ等しい値
になる。
【0059】次に、B級プッシュプル増幅回路の負荷電
流ioと直流供給電流Iccとの関係について説明す
る。
【0060】上述した2電源方式の場合の正側のコレク
タ電流IC1と直流供給電流Icc及び負荷抵抗RLに流れ
る負荷電流ioの実効値IOの関係は以下のようになる。
【0061】先ず、負荷電流ioは、正弦波であるの
で、下記(4)式で表す。 io=Im・sinωt…(4) この負荷電流ioの実効値IOは、下記(5)式のように
なる。
【数4】
【0062】直流供給電流ICCは、コレクタ電流icを
平均化したものでるので、下式のようになる。
【数5】 なお、積分範囲が0〜T/2となっているのは、半サイ
クルしか導通しないためである。
【0063】上記(5)式及び(6)式より、検出電流
効率ηは、下記のようになる。
【数6】
【0064】上記のようにして算出した理論値を、実験
で確認した。実験に用いた回路を図6に示す。なお、半
波波形を得るために、ダイオードDは、東芝社製U1B
C44を用いた。
【0065】また、ダイオードDに対しては、トヨデン
100V:140Vの絶縁トランスを用い、商用電源A
C100V、50Hzを140Vに昇圧して供給した。
これは、ダイオードDの純方向電圧降下Vf(約1.0
V)の影響を小さくするためである。また、各電圧の計
測には、電圧計HP3403C TRUE RMSVO
LT METERを用いた。
【0066】計測は、スイッチSWを開放した場合及び
スイッチSWを閉じた場合のそれぞれにつき、ダイオー
ドのアノード側の電圧V1、ダイオードのカソード側の
電圧V2、及び抵抗R2の両端の電圧V3を測定した。
各電圧V1、V2、V3の測定にあたっては、電圧計の
AC(交流成分のみの実効値)、AC+DC(DC成分
を含めた実効値)、及びDC(AC成分を除去したDC
成分のみの値=DC平均値)の3種類を読み取って行っ
た。計測結果を表1に示す。
【表1】
【0067】それぞれの場合につき検出電流効率ηを求
めると、 η1=V2(DC)/V1(ON)=44.9% η2=V2(DC)/V1(OFF)=44.7% η3=V3(DC)/V3(AC,ON)=45.0% が得られる。この結果は、0.67%以下の誤差で上述
した理論値「η=0.450」と一致する。
【0068】以上説明したように、上記駆動回路10が
無損失、換言すればトランジスタQ1及びQ2が理想的
なトランジスタであるとした場合、感湿素子RLを流れ
る交流駆動電流の実効値の45%が直流供給電流I(I
C1)として電流検出手段Aによって測定されることにな
る。
【0069】従って、交流信号発生器VOSCが出力す
る交流信号を一定に保てば感湿素子RLの電気抵抗値R
Sは下式で求められる。 電気抵抗値RS=k×Vosc/I/0.45…(7) ここで、Voscは交流信号発生器VOSCが発生する
交流信号の電圧、Iは直流供給電流、kは定数である。
なお、理想的な場合はk=1である。
【0070】従って、感湿素子RLの相対湿度−電気抵
抗変化特性を考慮して、電流検出手段Aの感度が最適に
なるレンジで直流供給電流Iを測定できるように、交流
信号Voscの電圧値を定めれば、良好な精度で湿度を
測定することができる。
【0071】図7は、SnO2+アパタイトから成るセ
ラミック材料から作製した感湿素子を使用して、本実施
例の感湿素子駆動装置及び湿度測定装置を用いて、直流
電源Vccの電圧Vccを+4.5V,+5.0V及び+
5.5Vに変化させたときの感湿素子RLの電気抵抗値
の測定結果と電源供給電流Iとの関係、及び、感湿素子
RLの電気抵抗値の測定結果と感湿素子RLを流れる電
流I’との関係、更には、感湿素子RLの各電気抵抗値
における電源供給電流Iと感湿素子RLを流れる電流
I’との比I/I’との関係を示す図である。尚、感湿
素子RLを流れる電流I’(rms)は、感湿素子RL
の端子電圧(rms)から求めた。図7の縦軸及び横軸
は対数目盛である。
【0072】図7からも理解できるように、感湿素子R
Lの電気抵抗値と電源供給電流Iとはほぼ対数的にリニ
アな関係にあることが確認できた。このことは、電源供
給電流Iの各値に所定の係数を乗算することにより、感
湿素子RLの電気抵抗値、即ち湿度の値を直接求め得る
ことを意味する。
【0073】また、感湿素子RLの各電気抵抗値におけ
る電源供給電流Iと感湿素子RLを流れる電流I’との
比はほぼ一定である。このことは、感湿素子RLを流れ
る電流I’に代わりに電源供給電流Iを測定することよ
り、感湿素子RLの電気抵抗値が求め得ることを意味す
る。従って、電源供給電流Iを測定して感湿素子RLの
電気抵抗値を求めることを特徴とする本発明は肯首され
るべきものである。
【0074】なお、上記実施例では、感湿素子RLとし
てSnO2+アパタイトから成るセラミック感湿素子を
用いる場合について説明したが、本発明は、吸湿により
電気抵抗値が変化するものであればセラミックの種類は
問わずに適用できるものであり、上記実施例と同様の作
用・効果を奏する。また、交流信号発生器によって生成
される交流信号の周波数は1〜100kHz程度する
ことができる。直流電源Vccの電圧Vccは適宜変更す
ることができる。また、駆動回路10も実施例にて説明
した回路に限定されず、適宜設計変更することができ
る。
【0075】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
整流回路等が不要であり、簡単な回路構成で測定精度を
高めることのできる感湿素子駆動装置及び湿度測定装置
を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る感湿素子駆動装置及び湿度測定装
置の第1の実施例を示す回路図及び動作波形図である。
【図2】本発明に係る感湿素子駆動装置及び湿度測定装
置の第2の実施例を示す回路図及び動作波形図である。
【図3】本発明の第2の実施例における入出力電圧と直
流電源から供給される電流の関係を説明するための図で
ある。
【図4】本発明の第2の実施例に係るエミッタフォロワ
の動作を説明するための図である。
【図5】本発明の第2の実施例に係るエミッタフォロワ
の電圧利得Avの負荷抵抗RLによる変化を説明するた
めの図である。
【図6】本発明の第2の実施例に係る検出電流利得ηの
実験に用いた回路を示す図である。
【図7】本発明の装置を用いて測定した、感湿素子RL
の電気抵抗値と電源供給電流Iとの関係、感湿素子RL
の電気抵抗値と感湿素子RLを流れる電流I’との関
係、及び、感湿素子RLの各電気抵抗値における電源供
給電流Iと感湿素子RLを流れる電流I’との比I/
I’との関係を示す図である。
【符号の説明】
10 駆動回路 20 交流信号入力部 22 直流電流入力部 24 交流出力部 RL 感湿素子 Q1,Q2 トランジスタ R1,R2 抵抗 C1,C2,C3 コンデンサ D1,D2 ダイオード A 直流電流計 Vcc,Vee 直流電源 VOSC 交流信号発生器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−46454(JP,A) 特開 昭61−40553(JP,A) 実公 昭58−48614(JP,Y1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 27/00 - 27/24 JICSTファイル(JOIS)

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】相対湿度に応じて電気抵抗値が変化しそし
    て交流駆動されるセラミック材料から成る感湿素子を駆
    動する感湿素子駆動装置であって、 交流信号が入力される交流信号入力部と、直流電流が入
    力される直流電流入力部とを有し、直流電流入力部から
    入力された直流電流を、前記交流信号入力部から入力さ
    れた交流信号に応じて増幅された交流電流に変換して前
    記感湿素子に供給するB級プッシュプル増幅回路と、 該B級プッシュプル増幅回路に入力される直流電流を検
    出する電流検出手段とを備え、 該電流検出手段で検出された直流電流により前記感湿素
    子の抵抗値を測定するようにしたことを特徴とする感湿
    素子駆動装置。
  2. 【請求項2】前記B級プッシュプル増幅回路は、単電源
    方式の増幅回路であることを特徴とする請求項1に記載
    の感湿素子駆動装置。
  3. 【請求項3】前記B級プッシュプル増幅回路は、2電源
    方式の増幅回路であることを特徴とする請求項1に記載
    の感湿素子駆動装置。
  4. 【請求項4】相対湿度に応じて電気抵抗値が変化しそし
    て交流駆動されるセラミックから成る感湿素子と、 交流信号を発生する交流信号発生器と、 直流電源と、 前記交流信号発生器で発生された交流信号が入力される
    交流信号入力部と、前記直流電源から供給される直流電
    流が入力される直流電流入力部とを有し、前記直流電流
    入力部から入力された前記直流電流を、前記交流信号入
    力部から入力された交流信号に応じて増幅された交流電
    流に変換して前記感湿素子に供給するB級プッシュプル
    増幅回路と、 該B級プッシュプル増幅回路に入力される直流電流を検
    出する電流検出手段とを備え、 該電流検出手段で検出された直流電流により前記感湿素
    子の抵抗値を測定するようにしたことを特徴とする湿度
    測定装置。
  5. 【請求項5】前記B級プッシュプル増幅回路は、単電源
    方式の増幅回路であることを特徴とする請求項4に記載
    の湿度測定装置。
  6. 【請求項6】前記B級プッシュプル増幅回路は、2電源
    方式の増幅回路であることを特徴とする請求項4に記載
    の湿度測定装置。
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