JP3322688B2 - 電子スピン共鳴装置 - Google Patents

電子スピン共鳴装置

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JP3322688B2
JP3322688B2 JP10434392A JP10434392A JP3322688B2 JP 3322688 B2 JP3322688 B2 JP 3322688B2 JP 10434392 A JP10434392 A JP 10434392A JP 10434392 A JP10434392 A JP 10434392A JP 3322688 B2 JP3322688 B2 JP 3322688B2
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    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/20Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance
    • G01R33/60Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance using electron paramagnetic resonance

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  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、電子スピン共鳴装置
に係り、特に電子スピン共鳴装置の感度の向上を図るた
めに電子スピン共鳴検出用マイクロ波回路の改良を行っ
た電子スピン共鳴装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来の電子スピン共鳴装置に使
用されているマイクロ波回路の一構成例を示すものであ
る。すなわち、図5に示す電子スピン共鳴装置おいて、
マイクロ波電力は、マイクロ波発振器電源10により付
勢されるガン発振器12により供給され、単向管14、
方向性結合器16を経て、抵抗減衰器18において、試
料Sの共鳴条件に適合する電力量に調整される。このよ
うに所要の電力量に調整されたマイクロ波電力は、サー
キュレータ20から空洞共振器22内の測定試料Sに加
えられる。測定試料Sは、空洞共振器22内のマイクロ
波磁界に沿って配置され、分極磁場Boが、マグネット
24,24によってマイクロ波磁界に直交するように印
加される。
【0003】この場合、試料Sの測定に際し、分極磁場
Boが掃引されて、次の共鳴条件、 hν=gβBo (1) h:プランクの定数 ν:共鳴周波数 g:ランデのg因子(試料により定まる定数) β:ボーア磁子 を満たす値で試料Sが共鳴して、共鳴信号が空洞共振器
から反射出力される。
【0004】そこで、この共鳴信号は、サーキュレータ
20を通り、マジック・ティ26のE分岐から平衡分岐
の両端に配置された2個のクリスタル検波器28,30
に等振幅、逆位相で与えられる。マジック・ティ26の
H分岐には、方向性結合器16の分岐からマイクロ波電
力の一部が、いわゆるホモダイン検波の参照信号として
供給されており、従って前記共鳴信号はこの参照信号と
混合された上で検波される。なお、図5において、参照
符号32は移相器、34,36はそれぞれ同軸導波管変
換器を示す。
【0005】しかるに、前記マジック・ティ26の両ク
リスタル検波器28,30からの検波出力は、参照信号
が同相で、また共鳴信号が逆位相でそれぞれ加えられて
いる。このため、前記各検波出力は、前置増幅器38に
おいて、差動増幅することにより共鳴信号成分は加え合
わされ、また参照信号成分は差し引かれて消滅する。
【0006】一方、分極磁場Boには変調周波数fmに
よる磁場変調がかけられているので、前記マイクロ波検
波動作は、共鳴信号の変調周波数成分のみを前置増幅器
38で増幅し、主増幅器(図示せず)に送出することに
なる。主増幅器では、中心周波数fmの狭帯域増幅後、
前記周波数fmを参照周波数とする位相検波により、直
流出力として電子スピン共鳴信号が得られる(主増幅器
のこのような作用はロックイン増幅と称することもあ
る)。
【0007】このようにして得られる電子スピン共鳴信
号の受信系の信号検出感度は、通常次のようにして求め
られる。すなわち、多段受信系の総合雑音指数Fは、周
知のように次式(2)で表される。
【0008】
【数1】
【0009】
【発明が解決しようとする課題】前記の電子スピン共鳴
装置に使用されているマイクロ波回路の従来方式によれ
ば、空洞共振器で検出された電子スピン共鳴信号は、サ
ーキュレータ20を経由した後、直接クリスタル検波器
28,30によりダイオード検波され、前置増幅器38
に入力されている。このため、共鳴信号の検出感度は、
通常検波ダイオードの雑音指数および増幅度(増幅度<
1で損失になる)によって定まる。
【0010】そこで、次に、検波段においてショットキ
ーバリア・ダイオードを使用するものとし、前記共鳴信
号の検出感度につき数値例を挙げて説明する。検波器の
雑音指数および増幅度を、典型的な値を用いて、 F1 =6dB G1 =−5dB(増幅度 約0.3倍) とし、信号増幅器の雑音指数を F2 =4dB とすれば、受信系の雑音指数は、 F=F1 +(F2 −1)/G1 =3.98+(2.51−1)/0.316 =8.72倍 =9.4dB となる。
【0011】従って、前記従来方式によれば、受信系の
雑音指数が極めて高いものとなり、共鳴信号の検出感度
が好ましくないという問題があった。
【0012】そこで、本発明の目的は、電子スピン共鳴
装置におけるマイクロ波回路において、共鳴信号の検波
の前段に低雑音マイクロ波増幅器を配置して、測定試料
に印加されるマイクロ波電力を平衡消去するように回路
構成することにより、空洞共振器に印加するマイクロ波
電力に拘らず、共鳴信号のみを線形増幅して感度の向上
を容易に達成することができる電子スピン共鳴装置を提
供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明に係る電子スピン
共鳴装置は、測定試料を分極磁場内に置かれた空洞共振
器内に配置して測定試料に所要のマイクロ波電力を供給
し、前記空洞共振器において得られる測定試料の共鳴信
号を検波して、前記測定試料の電子スピン共鳴信号を検
出するよう構成した電子スピン共鳴装置において、空洞
共振器から得られる共鳴信号のマイクロ波検波回路の前
段にマイクロ波信号増幅器を配置すると共に、該増幅器
の入力端マイクロ波発振器の出力の一部を加えて前記空
洞共振器からのマイクロ波反射電力を平衡消去する手段
と、さらにマイクロ波検波器のバイアス電圧を保持する
一定のマイクロ波電力を検波器に供給する手段と、を備
えることを特徴とする。
【0014】前記の本発明に係る電子スピン共鳴装置
は、測定試料を分極磁場内に置かれた空洞共振器内に配
置して測定試料に所要のマイクロ波電力を供給し、前記
空洞共振器において得られる測定試料の共鳴信号を検波
して、前記測定試料の電子スピン共鳴信号を検出するよ
う構成した電子スピン共鳴装置において、マイクロ波検
波回路の前段にマイクロ波信号増幅器を配置し、空洞共
振器をマイクロ波ブリッジの一辺に配置して、共鳴信号
に重畳するマイクロ波を平衡消去する手段と、さらにマ
イクロ波検波器のバイアス電圧を保持する一定のマイク
ロ波電力を検波器に供給する手段と、を備えることも可
能である。
【0015】
【0016】さらに、前記各電子スピン共鳴装置におい
て、空洞共振器の前段に可変抵抗減衰器およびマイクロ
波電力増幅器を配置して空洞共振器からの反射マイクロ
波電力を平衡消去するための回路を設ければ好適であ
る。
【0017】
【作用】本発明に係る電子スピン共鳴装置によれば、空
洞共振器から得られる共鳴信号のマイクロ波検波回路の
前段に、マイクロ波信号増幅器を配置して前記空洞共振
器からのマイクロ波反射電力を平衡消去することによ
り、共鳴信号の受信系の雑音指数を十分低下させて電子
スピン共鳴信号の検出感度を容易に向上することができ
る。
【0018】また、空洞共振器をマイクロ波ブリッジの
一辺に配置して、共鳴信号に重畳するマイクロ波を平衡
消去したり、あるいは空洞共振器への入力および空洞共
振器からの出力を交互に開閉するスイッチ回路を設け、
共鳴信号のみを増幅するようにしても、電子スピン共鳴
信号の検出感度の向上に寄与する。
【0019】さらに、空洞共振器の前段に可変抵抗減衰
器およびマイクロ波電力増幅器を配置して、これらを適
宜調整することにより、空洞共振器からの反射マイクロ
波電力の平衡消去を一層有効に達成することができる。
【0020】
【実施例】次に、本発明に係る電子スピン共鳴装置の実
施例につき添付図面を参照しながら、以下詳細に説明す
る。なお、説明の便宜上、図5に示す従来の電子スピン
共鳴装置のマイクロ波回路の構成部分と同一の構成部分
については、同一の参照符号を付して、その詳細な説明
は省略する。
【0021】図1は、本発明に係る電子スピン共鳴装置
の一実施例を示すマイクロ波回路図である。図1におい
て、空洞共振器22に加えられるマイクロ波電力は、ガ
ン発振器12より供給され、単向管14および方向性結
合器I16を経て可変抵抗減衰器I40において試料の
共鳴条件に適合する電力量に調整される。この場合、前
記可変抵抗減衰器I40を経たマイクロ波電力は、マイ
クロ波電力増幅器42を介してマジック・ティ44から
空洞共振器22内の測定試料Sに加えられる。
【0022】次いで、空洞共振器22から反射出力され
る共鳴信号は、マジック・ティ44よりマイクロ波信号
増幅器46を介してマジック・ティ26に供給されるよ
う構成する。この場合、マイクロ波信号増幅器46とし
ては、これを構成する素子として、現在GaAs FE
T,HEMT等の低価格で、信頼性の高い素子を使用す
ることができるが、その多くは広帯域で雑音指数が必ず
しも低くない難点がある。そこで、例えば前記マイクロ
波信号増幅器46の入力端と出力端との間に、λ/4終
端短絡線路を並列に接続配置する等帯域濾波器を挿入配
置して、マイクロ波信号増幅器46の増幅帯域幅を制限
して、信号対雑音比(S/N比)を向上させることがで
きる。なお、狭帯域、低雑音指数の高価な半導体マイク
ロ波信号増幅器の使用も可能であり、この場合には、λ
/4終端短絡線路のような狭帯域濾波器を設ける必要は
ない。
【0023】また、本実施例においては、マジック・テ
ィ26のH分岐に対し共鳴信号と混合される参照信号
を、方向性結合器I16より分岐されるマイクロ波電力
の一部を可変抵抗減衰器II48および移相器I50を介
して供給するよう回路構成する。
【0024】しかるに、本実施例においては、前記マイ
クロ波信号増幅器46の雑音指数と増幅度を、通常使用
される値、例えば、F1 =2dB、G1 =27dB(増
幅度約501倍)とする。
【0025】また、検波器も前記マイクロ波信号増幅器
46と同一規格のものを使用するものとすれば、検波器
の雑音指数と増幅度に関しては、 F2 =6dB G2 =−5dB であり、また信号増幅器の雑音指数は F3 =4dB であるので、受信系の雑音指数は、 F=F1 +(F2 −1)/G1 +(F3 −1)/G1 ・G2 =1.58+(3.98−1)/501 +(2.51−1)/(501×0.361) =1.59 =2.01dB と予想される。
【0026】この結果、本実施例回路を前述の従来回路
と比較すれば、S/N比は8.72/1.59=5.4
8倍の向上が期待できる。
【0027】しかしながら、実際には、空洞共振器22
からの反射マイクロ波電力が一般には無視できず、これ
によりマイクロ波信号増幅器46が飽和して、感度がか
えって低下することも多い。そこで、本実施例において
は、次のように対処している。すなわち、空洞共振器2
2は、立体回路の場合、マジック・ティ44の平衡分岐
の一辺に置き、対辺には移送器II52および可変抵抗減
衰器III 54を接続する。そして、マイクロ波電力をマ
ジック・ティ44のE分岐に与えるよう構成する。この
ようにして、移送器II52および可変抵抗減衰器III 5
4を調整することにより、この分岐からの反射電力を空
洞共振器22からの反射電力に対して、等振幅、逆移相
にして、マジック・ティ44のH分岐からの出力を実質
的に零にすることができる。従って、マイクロ波信号増
幅器46は、強い印加マイクロ波電力の影響を避けて、
空洞共振器22からの微弱な共鳴信号のみを有効に増幅
することができる。
【0028】なお、本実施例においては、立体回路によ
る例としてマジック・ティ44を用いた場合について説
明したが、平面回路の場合は、各要素はそれぞれ対応す
る平面回路素子で置換えられ、マジック・ティ44には
180゜ハイブリッド・ティを用いることにより同様に
動作させることができる。
【0029】本実施例回路は、従来の回路方式と比較す
れば、前記式(2)における雑音指数F1 をより小さ
く、増幅度G1 をより大きくなし得るため、Fすなわち
受信系の総合雑音指数を低下させ、電子スピン共鳴信号
の高感度検出を可能とする。換言すれば、検出感度がク
リスタル検波器の雑音指数で定まっていた従来の回路方
式に対して、低雑音指数、高利得のマイクロ波信号増幅
器46を適用することにより、受信系の雑音指数を大幅
に向上させることを可能とする。
【0030】図2は、本発明に係る電子スピン共鳴装置
の別の実施例を示すマイクロ波回路図である。本実施例
においては、前記実施例において、強い印加マイクロ波
がマイクロ波信号増幅器46に入力されることを避ける
ため、マイクロ波ブリッジ回路を構成している。すなわ
ち、空洞共振器22への印加マイクロ波電力は、可変抵
抗減衰器I40、方向性結合器II56、マイクロ波電力
増幅器42およびサーキュレータ20を経て与えられ
る。次いで、空洞共振器22からの反射電力および共鳴
信号は、サーキュレータ20から方向性結合器III 58
を介してマイクロ波信号増幅器46に伝送される。
【0031】一方、方向性結合器II56から分岐したマ
イクロ波電力の一部は、参照電力として可変抵抗減衰器
III 54および移相器II52を経て方向性結合器III 5
8で空洞共振器22からの反射電力に加え合わされる。
従って、前記抵抗減衰器III58により、参照電力の振
幅を前記反射電力の振幅に等しく、移相器II52により
位相を逆位相に調整することにより、反射電力を平衡消
去し、次段に続くマイクロ波信号増幅器46には共鳴信
号のみを入力し、前記実施例と同様に、受信系の雑音指
数を改善することができる。
【0032】なお、この実施例回路においては、測定試
料Sを充分に励起できるように、マイクロ波発振器12
の出力は、マイクロ波電力増幅42よって増大され、そ
のレベルは共鳴条件に適するように可変抵抗減衰器I4
0によって調整される。調整されたマイクロ波電力は、
方向性結合器II56においてその一定比率(<0.1)
が前記参照信号として与えられるので、方向性結合器II
I 58における反射電力の平衡消去動作に、前記マイク
ロ波電力調整操作が影響することはない。
【0033】測定試料Sを充分に励起するに必要なマイ
クロ波電力は、しばしば数百mWあるいはそれ以上に及
び、現在低価格にて容易に使用できるガン発振器12の
出力(10〜20mW)では余りにも低すぎる。しか
も、大出力のガン発振器12は、特別設計となり高価と
なる。しかし、低価格のマイクロ波モノリシック電力増
幅器42を図2に示すように配置することにより、低価
格で容易に所要のマイクロ波電力を得ることができる。
この手法は、図1または後述する図3に示す実施例回路
にも同様に応用することができることはいうまでもな
い。
【0034】図3は本発明に係る電子スピン共鳴装置の
さらに別の実施例を示すマイクロ波回路図である。本実
施例回路において、空洞共振器22に印加されるマイク
ロ波電力は、可変抵抗減衰器I40の後段およびマイク
ロ波信号増幅器46の前段に配置されたマイクロ波スイ
ッチI60およびマイクロ波スイッチII62により断続
するように構成する。すなわち、磁気共鳴においては、
高周波印加によりスピン励起後、印加高周波を遮断すれ
ば、スピンの物性定数として定まっている緩和時間によ
る時定数により、共鳴信号強度が指数関数的に減衰して
行くことがよく知られている。この場合の回路動作を図
4にタイム・チャートとして示す。
【0035】まず、マイクロ波スイッチI60を接続状
態にして〔図4(a)参照〕、マイクロ波電力を空洞共
振器22に印加するに際し、この時のマイクロ波スイッ
チII62は遮断して〔図4(b)参照〕、マイクロ波信
号増幅器46への入力端は閉じている。このため、測定
試料Sは励起されるが〔図4(c)参照〕、マイクロ波
信号増幅器46は無入力である〔図4(e)参照〕。次
に、短時間(マイクロ秒程度)後、マイクロ波スイッチ
I60を開放遮断し〔図4(a)参照〕、マイクロ波ス
イッチII62を接続状態にする〔図4(b)参照〕。こ
の時は、強い励起用マイクロ波電力は、空洞共振器22
に伝送されていないので〔図4(c)参照〕、それの混
入による増幅機能への妨害を受けることなく、緩和時間
で定まる短時間持続している共鳴信号のみが〔図4
(d)参照〕、マイクロ波信号増幅器46により有効に
増幅される。このようにして、前記2つの実施例と同様
に受信系の雑音指数を改善することができる。
【0036】なお、共鳴信号は、ロックイン検波におい
て、検波時定数をマイクロ波スイッチの断続動作の周期
に対して充分に長い時定数に設定すれば、通常の共鳴信
号と同形の出力が得られる。
【0037】また、図1ないし図3に共通して、ガン発
振器12、単向管14に続く方向性結合器I16から分
岐し、可変抵抗減衰器II48および移相器I50を経
て、検波段のマジック・ティ26IIのH分岐に向かう経
路は、前記従来方式と同様のいわゆるホモダイン検波の
参照信号を得るものである。この参照信号のレベルは、
クリスタル検波器28,30のバイアスを定めるが、こ
のような接続構成とすることにより、測定試料Sへの印
加マイクロ波電力の変化に関係なく、検波器28,30
のバイアス電圧を一定レベルに保持することができる。
【0038】以上、本発明の好適な実施例について説明
したが、本発明は前記実施例に限定されることなく、本
発明の精神を逸脱しない範囲内において種々の設計変更
をなし得ることは勿論である。
【0039】
【発明の効果】前述した実施例から明らかなように、本
発明によれば、測定試料を分極磁場内に置かれた空洞共
振器内に配置して測定試料に所要のマイクロ波電力を供
給し、前記空洞共振器において得られる測定試料の共鳴
信号を検波して、前記測定試料の電子スピン共鳴信号を
検出するよう構成した電子スピン共鳴装置において、前
記空洞共振器から得られる共鳴信号のマイクロ波検波回
路の前段に、マイクロ波信号増幅器を配置することによ
り、空洞共振器からのマイクロ波反射電力を平衡消去し
て、雑音指数を低減し、受信系における電子スピン共鳴
信号の検出感度を容易に向上することができる。
【0040】また、空洞共振器の前段に可変抵抗減衰器
およびマイクロ波電力増幅器を配置することにより、空
洞共振器からのマイクロ波反射電力を平衡消去のための
調整を容易に達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電子スピン共鳴装置のマイクロ波
回路の一実施例を示す回路構成図である。
【図2】本発明に係る電子スピン共鳴装置のマイクロ波
回路の別の実施例を示す回路構成図である。
【図3】本発明に係る電子スピン共鳴装置のマイクロ波
回路のさらに別の実施例を示す回路構成図である。
【図4】図3に示す実施例のマイクロ波回路における動
作波形をそれぞれ示すものであって、(a)はマイクロ
波スイッチIの動作波形図、(b)はマイクロ波スイッ
チIIの動作波形図、(c)は空洞共振器の入力動作波形
図、(d)は空洞共振器の出力動作波形図、(e)はマ
イクロ波信号増幅器の入力動作波形図である。
【図5】従来の電子スピン共鳴装置のマイクロ波回路の
構成例を示す回路構成図である。
【符号の説明】
10 マイクロ波発振器電源 12 ガン発振器 14 単向管 16 方向性結合
器 18 抵抗 20 サーキュレ
ータ 22 空洞共振器 24 マグネット 26 マジック・ティ 28,30 クリ
スタル検波器 32 移相器 34,36 同軸
導波管変換器 38 前置増幅器 40 可変抵抗減
衰器I 42 マイクロ波電力増幅器 44 マジック・
ティ 46 マイクロ波信号増幅器 48 可変抵抗減
衰器II 50 移相器I 52 移相器II 54 可変抵抗減衰器III 56 方向性結合
器II 58 方向性結合器III 60 マイクロ波
スイッチI 62 マイクロ波スイッチII
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川 和雄 東京都渋谷区恵比寿3丁目43番2号 日 機装株式会社内 (72)発明者 常田 誠 東京都渋谷区恵比寿3丁目43番2号 日 機装株式会社内 (72)発明者 糠信 敦司 東京都渋谷区恵比寿3丁目43番2号 日 機装株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−82983(JP,A) 特開 平1−263544(JP,A) 特開 平4−47263(JP,A) 特開 昭51−80284(JP,A) 実開 平3−109185(JP,U) 特表 平2−502039(JP,A) 後藤良造、丸山和博,ESRの使い 方,日本,共立出版株式会社,1972年1 月25日,初版4刷,p21−31 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 24/00 - 24/14 G01N 22/00 - 22/04 G01R 33/20 - 33/64 G01R 23/00 - 23/20 H01L 21/66 特許ファイル(PATOLIS) 実用ファイル(PATOLIS)

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定試料を分極磁場内に置かれた空洞共
    振器内に配置して測定試料に所要のマイクロ波電力を供
    給し、前記空洞共振器において得られる測定試料の共鳴
    信号を検波して、前記測定試料の電子スピン共鳴信号を
    検出するよう構成した電子スピン共鳴装置において、空
    洞共振器から得られる共鳴信号のマイクロ波検波回路の
    前段にマイクロ波信号増幅器を配置すると共に、該増幅
    器の入力端マイクロ波発振器の出力の一部を加えて前記
    空洞共振器からのマイクロ波反射電力を平衡消去する手
    段と、さらにマイクロ波検波器のバイアス電圧を保持す
    る一定のマイクロ波電力を検波器に供給する手段と、を
    備えることを特徴とする電子スピン共鳴装置。
  2. 【請求項2】 測定試料を分極磁場内に置かれた空洞共
    振器内に配置して測定試料に所要のマイクロ波電力を供
    給し、前記空洞共振器において得られる測定試料の共鳴
    信号を検波して、前記測定試料の電子スピン共鳴信号を
    検出するよう構成した電子スピン共鳴装置において、マ
    イクロ波検波回路の前段にマイクロ波信号増幅器を配置
    し、空洞共振器をマイクロ波ブリッジの一辺に配置し
    て、共鳴信号に重畳するマイクロ波を平衡消去する手段
    と、さらにマイクロ波検波器のバイアス電圧を保持する
    一定のマイクロ波電力を検波器に供給する手段と、を備
    えることを特徴とする電子スピン共鳴装置。
  3. 【請求項3】 空洞共振器の前段に可変抵抗減衰器およ
    びマイクロ波電力増幅器を配置して空洞共振器からの反
    射マイクロ波電力を平衡消去するための回路を設けてな
    る請求項1ないし2のいずれかに記載の電子スピン共鳴
    装置。
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