JP3322348B2 - 波長変換素子 - Google Patents

波長変換素子

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JP3322348B2 JP995591A JP995591A JP3322348B2 JP 3322348 B2 JP3322348 B2 JP 3322348B2 JP 995591 A JP995591 A JP 995591A JP 995591 A JP995591 A JP 995591A JP 3322348 B2 JP3322348 B2 JP 3322348B2
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清文 竹間
総太 岡本
篤 尾上
敏 宮口
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は波長変換素子、特に、非
線形光学材料を利用した波長変換素子に関する。
【0002】
【従来の技術】波長変換素子の波長変換効率を向上させ
るためには、いわゆる位相整合を達成する必要がある。
従来の1つの導波路を有するタイプの素子においては、
導波路の膜厚を制御したり、導波路の材料組成を制御
(屈折率の制御)したりして行う位相整合法が用いられ
ていた。しかしながら、上記の膜厚制御の方法は、その
制御がオングストローム単位の厳しい精度で行われなけ
ればならず、また、組成制御にしても厳しい組成管理が
必要であり、位相整合の条件設定には困難が強いられ
る。さらに用いる材料によっては、組成制御のみでは位
相整合が全く不可能なものもある。また、用いる材料に
よっては、温度により屈折率を変化させて位相整合を達
成させる方法もあるが、素子の温度を一定に保つために
用いられる温度コントロール素子の時定数が大きく温度
変化に対して速やかに追従できず、しかも駆動に大きな
電流が必要であるという欠点がある。
【0003】このような実情のもと、図5に示されるよ
うな2つの導波路を有するタイプの素子が提案されてい
る。このものは上記の欠点を補い汎用的な位相整合を目
的とした波長変換素子であり、図示のごとく、LiTa
3 基板51上に、MgO−LiNbO3 組成の第1の
導波路61を有し、この導波路61の上にLi(Ta,
Nb)O3 ((Ta,Nb)2 5 )高屈折率層71を
有し、この上にLi(Nb,Ta)O3 ((Nb)2
5 )組成の第2の導波路81とを有する構成となってい
る。この素子は、位相整合が、イオン、組成成分調整の
みでなく、2つの導波路61,81の結合特性により調
整可能で、位相整合のとれた高出力の波長変換素子が得
られ、しかも、導波路分散特性によって、基本波、第2
高調波の分波が可能であるとされている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記提
案のものは、2次元のいわゆるスラブ型の導波路であ
り、導波路内に注入された光の3次元閉じ込めが出来
ず、幅方向に広がって楕円光となるため変換効率は低減
してしまう。このような実情に鑑み本発明は創案された
ものであり、その目的は上記従来の、問題点を解決し、
第2高調波光の変換効率が大きな波長変換素子を提供す
ることにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、非線形光学材料の基板内に設けられ、入射
した基本波を導波させると共に、該基本波を第2高調波
に変換する第1のチャネル型導波路と、前記第1のチャ
ネル型導波路に併走して設けられた第2のチャネル型導
波路とを備え、前記第1のチャネル型導波路と前記第2
のチャネル型導波路の上部に誘電体層が形成され、前記
第1のチャネル型導波路と前記第2のチャネル型導波路
は、当該第1のチャネル型導波路内を導波する光が前記
第2のチャネル型導波路により摂動を受ける距離に配さ
れ、かつ、前記第1のチャネル型導波路を導波する前記
摂動を受けた基本波の伝搬係数と前記第1のチャネル型
導波路内を伝搬する前記摂動を受けた第2高調波の伝搬
係数とが一致するように前記各導波路の幅、深さ及び互
いの距離が設定されることを特徴とする。また、非線形
光学材料の基板内に設けられ、入射した基本波を導波さ
せると共に、該基本波を第2高調波に変換する第1のチ
ャネル型導波路と、前記第1のチャネル型導波路に併走
して設けられた第2のチャネル型導波路とを備え、前記
第1のチャネル型導波路と前記第2のチャネル型導波路
は、2つの基板に挟まれた間隙内において、一方の前記
基板上に2本のストライプ状の導波層を設け、それ以外
の前記間隙内部に前記導波層より屈折率が小さい有機非
線形光学材料を埋め込んで形成され、前記第1のチャネ
ル型導波路と前記第2のチャネル型導波路は、当該第1
のチャネル型導波路内を導波する光が前記第2のチャネ
ル型導波路により摂動を受ける距離に配され、かつ、
記第1のチャネル型導波路を導波する前記摂動を受けた
基本波の伝搬係数と前記第1のチャネル型導波路内を伝
搬する前記摂動を受けた第2高調波の伝搬係数とが一致
するように前記各導波路の幅、深さ及び互いの距離が設
定されることを特徴とする。
【0006】
【作用】第1のチャネル型導波路内を導波する光は、第
2のチャネル型導波路とのカップリングで、基本波の伝
搬定数が摂動を受け、さらに第1のチャネル型導波路内
で生じた第2高調波もこの導波路を伝搬する際に摂動を
受け、前記摂動を受けた基本波の伝搬定数と、摂動を受
けた第2高調波の伝搬定数が一致する。
【0007】
【実施例】以下、本発明の波長変換素子の一例を図1お
よび図2に基づいて説明する。図1は本発明の波長変換
素子1(以下、単に変換素子1という)の1実施例を示
す概略構成斜視図であり、図2は図1を光入射側からみ
た部分正面図である。本発明の変換素子1は、非線形光
学材料の基板7の上面近傍に、長手方向(導波方向)に
沿って設けられる断面矩形状の第1のチャネル型導波路
11と、この導波路11の近傍に導波路11と一定距離
を隔てて併走して設けられる第2のチャネル型導波路1
2とを有している。
【0008】基板7は、略直方体形状をなし、本実施例
ではKTP(KTiOPO4 )無機系非線形光学材料結
晶を用いている。その他、LiNbO3 などの無機材料
や、他にDMNP(3,5−ジメチル−1−(4−ニト
ロフェニル)ピラゾール)、MNA(2−メチル−4−
ニトロアニリン)、MBANP(2−(α−メチルベン
ジルアミノ)−5−ニトロピリジン)等の有機系非線形
光学材料も使用し得る。
【0009】このような非線形光学材料の基板7内に
は、光が入射され光導波を行うとともに波長変換を行う
ための第1のチャネル型導波路11が形成される。この
チャネル型導波路11は断面略矩形形状であり、例え
ば、基板がKTPの場合ルビジウムRbを拡散させるこ
とによってよって形成される。その他、基板にLiNb
3 を用いてTi,Cs,Tl等を拡散させて形成する
こともできる。なお、有機非線形材料を用いる場合につ
いては後述する。
【0010】この第1のチャネル型導波路11の近傍に
は上記のごとく第2のチャネル型導波12が形成され
る。この第2のチャネル型導波12は、位相整合を行
うために設けられる。すなわち、前記第1のチャネル型
導波路内を導波する光は、第2のチャネル型導波路との
カップリングで、基本波の伝搬定数が摂動を受け、さら
に第1の導波路内で生じた第2高調波もこの導波路を伝
搬する際に摂動を受け、前記摂動を受けた基本波の伝搬
定数と、摂動を受けた第2の高調波の伝搬定数が一致す
るように設置される。このチャネル型導波路12も上記
導波路11と同様に断面略矩形形状であり、例えば、Z
カットKTP結晶にルビジウムRbを拡散させることに
よって形成される。
【0011】基板7にKTP(KTiOPO4 )を用
い、この結晶のZ軸に垂直な面内に導波路の導波方向が
あり、入射させる基本波の偏向もZ軸に略平行である場
合についての具体的設計例について以下に示す。図2に
示されるように前記第1のチャネル型導波路11の幅を
W1、深さをD1とし、前記第2のチャネル型導波路1
2の幅をW2、深さをD2とした場合、W2/W1=
0.28〜1.50、より好ましくは、0.98〜1.
02、D2/D1=0.71〜3.00、より好ましく
は0.98〜1.02となるようにW1、D1、W2お
よびD2が設定される。また、導波路11と導波路l2
との間隔をLとした場合、L=1.5〜4.5μm、好
ましくは2.8〜3.8μmとされる。これらの値W2
/W1、D2/D1およびLの値が上記範囲を外れる
と、導波路を伝搬する基本波と第2高調波との位相整合
が達成できず、変換効率が向上しない。ちなみに、W1
およびD1の実施例の一例はそれぞれ、2.0〜3.5
μmおよび1.2〜1.8μmである。また、W2およ
びD2の実施例の一例はそれぞれ、2.0〜3.5μm
および1.2〜1.8μmである。
【0012】前記第1のチャネル型導波路11および前
記第2のチャネル型導波路12の基板7に対する屈折率
の増加分を、それぞれ△1および△2とすると、△1=
0.008〜0.02、△2=0.008〜0.02程
度である。このような構成例による具体的実験を行なっ
た結果、導波路長10mmで40mwの基本波より約2
mwの高調波出力を得た。
【0013】なお、図3に示されるように、Z−カット
KTP基板7にRbを拡散して導波路11,12を形成
した後、この上にAl2 3 などの誘電体層13を厚さ
5〜600Å程度に蒸着して設けることが好ましい。こ
うすることにより、さらに良好な位相整合と効率の向上
をはかることができる。以上、無機系の非線形光学材料
を用いた場合を例にとって説明してきたが、有機非線形
材料を用いた場合の構成について図4に基づいて説明す
る。有機系の材料を用いた際には、図4に示されるよう
にガラス基板21上に、Ta2 3 を蒸着し、これをエ
ッチングし近接した2本のTa2 3 のストライプ2
2,23を形成する。このガラス21のTa2 3 を蒸
着した側と、別のガラス基板29との間にスペーサー2
5,25を挿入し張り合わせる。この隙間に融解した有
機非線形光学材料26を毛管現象で吸い込ませ、急冷
し、多結晶化した後、ブリッジマン炉で再結晶し波長変
換素子を作ると言う方法を取る事ができる。
【0014】この場合、有機非線形光学材料26は、T
23の屈折率よりも小さいものを用いる。すると、こ
の素子内に入射された光(一方のストライプ22近傍に
入射)はTa23を中心に電界分布をもつ光となって導
波する(第1の導波路を形成する)。一方、他方のスト
ライプ23近傍も同様に導波路となり、位相整合を行な
うための第2の導波路としての機能を果たす。なお、T
23の膜厚は、光の波長程度とされ、有機非線光学材
26への電界のしみ出しを大きくできる。第2高調波
は非線形光学材料に生じた分極により生ずる。ストライ
プ22およびストライプ23の近傍に生ずる第1の導波
路および第2の導波は、それぞれ3次元導波路であ
り、チャネル型といえる。
【0015】なお、上記Ta2 3 に変えてAl
2 3 ,MgO等を用いてもよい。
【0016】
【発明の効果】本発明は、非線形光学材料の基板内に設
けられ、入射した基本波を導波させると共に、該基本波
を第2高調波に変換する第1のチャネル型導波路と、前
記第1のチャネル型導波路に併走して設けられた第2の
チャネル型導波路とを備え、前記第1のチャネル型導波
路と前記第2のチャネル型導波路の上部に誘電体層が形
成され、前記第1のチャネル型導波路と前記第2のチャ
ネル型導波路は、当該第1のチャネル型導波路内を導波
する光が前記第2のチャネル型導波路により摂動を受け
る距離に配され、かつ、前記第1のチャネル型導波路を
導波する前記摂動を受けた基本波の伝搬係数と前記第1
のチャネル型導波路内を伝搬する前記摂動を受けた第2
高調波の伝搬係数とが一致するように前記各導波路の
幅、深さ及び互いの距離が設定される。また、非線形光
学材料の基板内に設けられ、入射した基本波を導波させ
ると共に、該基本波を第2高調波に変換する第1のチャ
ネル型導波路と、前記第1のチャネル型導波路に併走し
て設けられた第2のチャネル型導波路とを備え、前記第
1のチャネル型導波路と前記第2のチャネル型導波路
は、2つの基板に挟まれた間隙内において、一方の前記
基板上に2本のストライプ状の導波層を設け、それ以外
の前記間隙内部に前記導波層より屈折率が小さい有機非
線形光学材料を埋め込んで形成され、前記第1のチャネ
ル型導波路と前記第2のチャネル型導波路は、当該第1
のチャネル型導波路内を導波する光が前記第2のチャネ
ル型導波路により摂動を受ける距離に配され、かつ、前
記第1のチャネル型導波路を導波する前記摂動を受けた
基本波の伝搬係数と前記第1のチャネル型導波路内を伝
搬する前記摂動を受けた第2高調波の伝搬係数とが一致
するように前記各導波路の幅、深さ及び互いの距離が設
定される。よって、導波路を伝搬する基本波と第2高調
波光との位相整合が極めて容易に達成でき、しかも伝搬
光は幅方向に広がらず断面略円形形状を維持したまま伝
搬していくので、変換効率は格段と向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の波長変換素子の一実施例を示す概略構
成斜視図である。
【図2】図1を光入射側からみた部分正面図である。
【図3】図1の変形例を示す部分概略構成斜視図であ
る。
【図4】本発明の波長変換素子の他の実施例を示す部分
概略構成斜視図である。
【図5】従来の波長変換素子の一実施例を示す概略構成
斜視図である。
【符号の説明】
7 基板 11 第1のチャネル型導波路 12 第2のチャネル型導波路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェイソン イー.スクワイヤー 埼玉県入間郡鶴ヶ島町富士見6丁目1番 1号 パイオニア株式会社総合研究所内 合議体 審判長 平井 良憲 審判官 稲積 義登 審判官 町田 光信 (56)参考文献 特開 昭64−52133(JP,A) 特開 昭62−145226(JP,A) 特開 平1−297631(JP,A) 1990年電子情報通信学会秋季全国大会 講演論文集 分冊2 P.2−356 C −18

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非線形光学材料の基板内に設けられ、入
    射した基本波を導波させると共に、該基本波を第2高調
    波に変換する第1のチャネル型導波路と、前記第1のチ
    ャネル型導波路に併走して設けられた第2のチャネル型
    導波路とを備え、前記第1のチャネル型導波路と前記第2のチャネル型導
    波路の上部に誘電体層が形成され、 前記第1のチャネル型導波路と前記第2のチャネル型導
    波路は、当該第1のチャネル型導波路内を導波する光が
    前記第2のチャネル型導波路により摂動を受ける距離に
    配され、かつ、前記第1のチャネル型導波路を導波する
    前記摂動を受けた基本波の伝搬係数と前記第1のチャネ
    ル型導波路内を伝搬する前記摂動を受けた第2高調波の
    伝搬係数とが一致するように前記各導波路の幅、深さ及
    び互いの距離が設定されることを特徴とする波長変換素
    子。
  2. 【請求項2】 非線形光学材料の基板内に設けられ、入
    射した基本波を導波させると共に、該基本波を第2高調
    波に変換する第1のチャネル型導波路と、前記第1のチ
    ャネル型導波路に併走して設けられた第2のチャネル型
    導波路とを備え、前記第1のチャネル型導波路と前記第2のチャネル型導
    波路は、2つの基板に挟まれた間隙内において、一方の
    前記基板上に2本のストライプ状の導波層を設け、それ
    以外の前記間隙内部に前記導波層より屈折率が小さい有
    機非線形光学材料を埋め込んで形成され、 前記第1のチャネル型導波路と前記第2のチャネル型導
    波路は、当該第1のチャネル型導波路内を導波する光が
    前記第2のチャネル型導波路により摂動を受ける距離に
    配され、かつ、前記第1のチャネル型導波路を導波する
    前記摂動を受けた基本波の伝搬係数と前記第1のチャネ
    ル型導波路内を伝搬する前記摂動を受けた第2高調波の
    伝搬係数とが一致するように前記各導波路の幅、深さ及
    び互いの距離が設定されることを特徴とする波長変換素
    子。
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