JP3320192B2 - Surface acoustic wave converter - Google Patents

Surface acoustic wave converter

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JP3320192B2
JP3320192B2 JP06148594A JP6148594A JP3320192B2 JP 3320192 B2 JP3320192 B2 JP 3320192B2 JP 06148594 A JP06148594 A JP 06148594A JP 6148594 A JP6148594 A JP 6148594A JP 3320192 B2 JP3320192 B2 JP 3320192B2
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piezoelectric substrate
pair
portions
output electrode
electrode
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秀人 和合
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マルヤス工業株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、金属ベース上に方形の
圧電基板を設けるとともに同圧電基板上に櫛歯状の入力
電極及び出力電極をそれぞれ相対向して形成した弾性表
面波変換装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave converter in which a rectangular piezoelectric substrate is provided on a metal base, and comb-shaped input and output electrodes are formed on the piezoelectric substrate so as to face each other. .

【0002】[0002]

【本発明に係る技術分野の一般的説明】この種の弾性表
面波変換装置は、図7に示すように、方形の圧電基板1
0上に入力電極11及び出力電極12を対向して形成
し、高周波電源13からの高周波信号を入力電極11に
より弾性表面波に変換して圧電基板10上に伝搬させ、
伝搬されてきた弾性表面波を出力電極12によりふたた
び電気信号に変換して負荷14に供給し、帯域制限され
た所望の周波数帯域の信号を得るようにした弾性表面波
変換器を備えている。入力電極11は、複数の櫛歯部1
1a1,11b1と同複数の櫛歯部11a1,11b1
をそれぞれ連結する連結バー部11a2,11b2とか
らなる一対の櫛歯状電極11a,11bで構成されてい
る。出力電極12も、複数の櫛歯部12a1,12b1
と同複数の櫛歯部12a1,12b1をそれぞれ連結す
る連結バー部12a2,12b2とからなる一対の櫛歯
状電極12a,12bで構成されている。また、必要に
応じて、圧電基板10上であって入力電極11及び出力
電極12の相対向する側と反対側には吸音剤15,16
が塗布されている。
General description of the technical field according to the present invention: As shown in FIG.
0, an input electrode 11 and an output electrode 12 are formed facing each other, a high-frequency signal from a high-frequency power supply 13 is converted into a surface acoustic wave by the input electrode 11 and propagated on the piezoelectric substrate 10,
A surface acoustic wave converter is provided which converts the propagated surface acoustic wave into an electric signal again by the output electrode 12 and supplies the electric signal to the load 14, thereby obtaining a signal of a desired frequency band whose band is limited. The input electrode 11 has a plurality of comb teeth 1
Comb parts 11a1, 11b1 same as 1a1, 11b1
And a pair of comb-shaped electrodes 11a and 11b each including a connecting bar 11a2 and a connecting bar 11b2. The output electrode 12 also has a plurality of comb teeth 12a1, 12b1.
And a plurality of comb-shaped electrodes 12a and 12b, which are composed of connecting bar portions 12a2 and 12b2 respectively connecting the plurality of comb-shaped portions 12a1 and 12b1. If necessary, a sound absorbing agent 15, 16 may be provided on the piezoelectric substrate 10 on the side opposite to the opposite side of the input electrode 11 and the output electrode 12.
Is applied.

【0003】このように構成した弾性表面波変換器は、
図8,図9に示すように、圧電基板10の下面にて導電
金属製の金属ベース20上に接着剤により接着され、各
櫛歯状電極11a,11b(入力電極11)の連結バー
部11a2,11b2は金属製の導電ワイヤ21,22
により金属ベース20内を気密的に貫通して同ベース2
0上に突出させたリードピン23及びアースピン24の
上端面に接続されている。各櫛歯状電極12a,12b
(出力電極12)の連結バー部12a2,12b2も金
属製の導電ワイヤ25,26を介して金属ベース20内
を気密的に貫通して同ベース20上に突出させたリード
ピン27及びアースピン28の上端面に接続されてい
る。そして、金属ベース20上にかぶせたキャップ29
の周端面を気密的に同ベース20上に接着して、圧電基
板10を上方から覆うようにしている。なお、アースピ
ン24,28と金属ベース20との間は絶縁されていな
いが、リードピン23,27と金属ベース20との間は
ガラス製の絶縁物23a,27a(27aのみを図示)
により絶縁されている。
[0003] The surface acoustic wave converter thus configured is:
As shown in FIGS. 8 and 9, the lower surface of the piezoelectric substrate 10 is adhered to the conductive metal base 20 with an adhesive, and the connecting bar portion 11a2 of each of the comb-like electrodes 11a and 11b (input electrode 11). , 11b2 are metal conductive wires 21, 22
Through the metal base 20 in an airtight manner,
It is connected to the upper end surfaces of the lead pin 23 and the ground pin 24 protruding upward. Each comb-shaped electrode 12a, 12b
The connecting bar portions 12a2 and 12b2 of the (output electrode 12) also pass through the metal base 20 through metal conductive wires 25 and 26 in a gas-tight manner and protrude onto the base 20. It is connected to the end face. Then, the cap 29 over the metal base 20
Is hermetically bonded to the base 20 so as to cover the piezoelectric substrate 10 from above. Although the ground pins 24 and 28 are not insulated from the metal base 20, the lead pins 23 and 27 and the metal base 20 are glass insulators 23a and 27a (only 27a is shown).
Insulated by

【0004】[0004]

【従来の技術】このような弾性表面波変換装置において
は、従来、図10〜13に拡大して示すように、入力電
極11の各連結バー部11a2,11b2の表面とリー
ドピン23及びアースピン24の各上端面とに金属製の
導電ワイヤ21,22の両端をそれぞれボンディングす
るとともに、出力電極12の各連結バー部12a2,1
2b2の表面とリードピン27及びアースピン28の各
上端面とに金属製の導電ワイヤ25,26の両端をそれ
ぞれボンディングしていた。図10は入力電極11とし
てアポダイズド(重み付け)電極を用いかつ出力電極1
2として正規型電極を用いるとともに、両電極11,1
2間にシールド電極17を設けて同電極17の両端を金
属ベース20に導電ワイヤ17a,17bを介して接続
した従来例を示している。図11は、前記図10の弾性
表面波変換装置における入力電極11及び出力電極12
の大きさ及び形状を異ならせた従来例を示すものであ
る。図12は入力電極11及び出力電極12として共に
アポダイズド電極を用いるとともに、両電極11,12
間にマルチストリップカプラ(MSC)18を設けた従
来例を示している。図13は、前記図12の弾性表面波
変換装置における入力電極11及び出力電極12の大き
さ及び形状を異ならせた従来例を示すものである。
2. Description of the Related Art Conventionally, in such a surface acoustic wave conversion device, as shown in FIGS. 10 to 13 in an enlarged manner, the surfaces of connecting bar portions 11a2 and 11b2 of input electrode 11 and lead pin 23 and ground pin 24 are formed. Both ends of the metal conductive wires 21 and 22 are bonded to the respective upper end surfaces, and the connecting bar portions 12a2 and 1 of the output electrode 12 are connected.
Both ends of metal conductive wires 25 and 26 were bonded to the surface of 2b2 and the upper end surfaces of lead pin 27 and earth pin 28, respectively. FIG. 10 uses an apodized (weighted) electrode as the input electrode 11 and the output electrode 1
A regular electrode is used as 2 and both electrodes 11 and 1 are used.
This shows a conventional example in which a shield electrode 17 is provided between two electrodes and both ends of the electrode 17 are connected to a metal base 20 via conductive wires 17a and 17b. FIG. 11 shows an input electrode 11 and an output electrode 12 in the surface acoustic wave conversion device of FIG.
1 shows a conventional example in which the size and the shape of each of them are different. FIG. 12 shows that an apodized electrode is used for both the input electrode 11 and the output electrode 12 and that both electrodes 11 and 12 are used.
This shows a conventional example in which a multistrip coupler (MSC) 18 is provided therebetween. FIG. 13 shows a conventional example in which the size and shape of the input electrode 11 and the output electrode 12 in the surface acoustic wave conversion device of FIG. 12 are different.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の装
置にあっては、圧電基板10、入力電極11、出力電極
12などからなる変換器部分は要求される周波数帯域、
性能などにより様々であり、それに対してパッケージは
種々用意されているものの全ての変換器部分の大きさに
対応して用意されているわけではない。したがって、導
線ワイヤ21,22,25,26の長さが非常に長くな
る場合があって、ワイヤの引っ張り強度の低下に起因し
てワイヤ切れ及びワイヤ剥がれが生じたり、ワイヤのた
るみによる短絡が生じて周波数特性が悪化したり、ワイ
ヤの無駄使いによる製造原価の高騰につながったり、作
業性が悪化したりするという問題がある。さらに、連結
バー部11a2,11b2,12a2,12b2、ワイ
ヤのボテンディング部において音響的反射が発生して、
周波数特性、特に立ち上がり特性、阻止域特性などを悪
化させている(図14参照)。
However, in the above-mentioned conventional device, the transducer portion including the piezoelectric substrate 10, the input electrode 11, the output electrode 12, and the like has a required frequency band,
The package varies depending on the performance and the like. On the other hand, although various packages are prepared, they are not prepared corresponding to the sizes of all the converter parts. Therefore, the length of the conductive wires 21, 22, 25, and 26 may be extremely long, and the wire may be cut or peeled off due to a decrease in the tensile strength of the wire, or a short circuit may occur due to the slack of the wire. Therefore, there is a problem that the frequency characteristics are deteriorated, the production cost is increased due to wasted wire, and the workability is deteriorated. Further, acoustic reflection occurs at the connecting bar portions 11a2, 11b2, 12a2, 12b2 and the wire boding portion,
The frequency characteristics, especially the rising characteristics and the stop band characteristics, are deteriorated (see FIG. 14).

【0006】本発明は上記問題に対処するためになされ
もので、その目的は上記問題点を解消した弾性表面波変
換装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to address the above problems, and an object of the present invention is to provide a surface acoustic wave conversion device which solves the above problems.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の構成上の特徴は、入力電極の各連結バー部
の各外側の圧電基板上であって圧電基板の側端面と直交
する端面から等距離の位置に一対の入力電極用端子部を
それぞれ設けるとともに、圧電基板上にて入力電極の各
連結バー部から所定の鋭角をもってそれぞれ延長した一
対の連結バー延長部を介して各入力電極用端子部と入力
電極の各連結バー部とをそれぞれ接続し、出力電極の各
連結バー部の各外側の圧電基板上であって圧電基板の側
端面と直交する端面から等距離の位置に一対の出力電極
用端子部をそれぞれ設けるとともに、圧電基板上にて出
力電極の各連結バー部から所定の鋭角をもってそれぞれ
延長した一対の連結バー延長部を介して各出力電極用端
子部と出力電極の各連結バー部とをそれぞれ接続し、ま
た一対の入力電極用ピンと一対の入力電極用端子部とを
一直線上に配置するとともに各入力電極用ピンと各入力
電極用端子部とをそれぞれ導電ワイヤで接続し、かつ一
対の出力電極用ピンと一対の出力電極用端子部とを一直
線上に配置するとともに各出力電極用ピンと各出力電極
用端子部とをそれぞれ導電ワイヤで接続したことにあ
る。
In order to achieve the above-mentioned object, a structural feature of the present invention is that each of the connecting bars of the input electrode has a piezoelectric substrate on each of the outer sides thereof which is orthogonal to the side end face of the piezoelectric substrate. A pair of input electrode terminal portions are provided at positions equidistant from the end surface to be connected, and each of the input electrode terminal portions is extended through a pair of connection bar extension portions each extending at a predetermined acute angle from each connection bar portion of the input electrode on the piezoelectric substrate. The input electrode terminal portion and the connection bar portion of the input electrode are connected to each other, and a position equidistant from an end surface orthogonal to the side end surface of the piezoelectric substrate on each piezoelectric substrate outside each connection bar portion of the output electrode. And a pair of output electrode terminals are provided on the piezoelectric substrate through a pair of connection bar extensions respectively extending at a predetermined acute angle from the connection bars of the output electrodes on the piezoelectric substrate. Electrode The connection bar portions are connected to each other, and a pair of input electrode pins and a pair of input electrode terminal portions are arranged in a straight line, and each input electrode pin and each input electrode terminal portion are connected by a conductive wire. In addition, a pair of output electrode pins and a pair of output electrode terminals are arranged on a straight line, and each output electrode pin and each output electrode terminal are connected by a conductive wire.

【0008】[0008]

【発明の作用・効果】上記のように構成した本発明にお
いては、入力及び出力電極の各連結バー部の各外側の圧
電基板上に入力及び出力電極用端子部をそれぞれ設ける
とともに、これらの各端子部と入力及び出力電極用ピン
とをそれぞれ導電ワイヤで接続するようにしたので、様
々な大きさの圧電基板10、入力電極11、出力電極1
2などからなる変換器部分を所定の大きさのパッケージ
に実装する場合でも、導電ワイヤの長さを所定の短い長
さにすることが可能となる。したがって、前述した導電
ワイヤが長くなったことに起因したワイヤ切れ及びワイ
ヤ剥がれ、周波数特性の悪化、製造原価の高騰及び作業
性悪化の問題を解消できる。また、一対の入力電極用ピ
ンと一対の入力電極用端子部とを一直線上に配置すると
ともに、一対の出力電極用ピンと一対の出力電極用端子
部とを一直線上に配置したので、作業効率が良好にな
る。また、入力及び出力電極用端子部を設けることによ
り、入力及び出力電極の各連結バー部を細く形成できて
音響的反射波が良好に抑圧されるとともに、各連結バー
部にボンディング部が形成されなくなって同ボテンディ
ング部から不要な弾性表面波が発生されなくなるので、
周波数特性、特に立ち上がり特性、阻止域特性などが良
好になる。さらに、入力及び出力電極の各連結バー部と
入力及び出力電極用端子部とをそれぞれ各連結バー部か
ら所定の鋭角をもってそれぞれ延長した各連結バー延長
部によりそれぞれ接続するようにしたので、各連結バー
延長部から発生される不要な弾性表面波は同延長部に直
角に進んで出力電極に向かわないので、各連結バー延長
部を設けたことによる影響をなくして周波数特性を良好
に保つことができる。
In the present invention constructed as described above, the input and output electrode terminal portions are provided on the piezoelectric substrate outside each of the connection bar portions of the input and output electrodes, respectively. Since the terminal portion and the input and output electrode pins are connected by conductive wires, the piezoelectric substrate 10, the input electrode 11, and the output electrode 1 of various sizes are provided.
Even when the converter portion composed of 2 or the like is mounted on a package of a predetermined size, the length of the conductive wire can be reduced to a predetermined short length. Therefore, it is possible to solve the problems of wire breakage and wire peeling, deterioration in frequency characteristics, increase in manufacturing cost, and deterioration in workability due to the longer conductive wire. In addition, since the pair of input electrode pins and the pair of input electrode terminals are arranged on a straight line, and the pair of output electrode pins and the pair of output electrode terminals are arranged on a straight line, work efficiency is good. become. In addition, by providing the input and output electrode terminals, the connection bar portions of the input and output electrodes can be formed thin, acoustically reflected waves can be favorably suppressed, and a bonding portion is formed in each connection bar portion. And unnecessary surface acoustic waves are no longer generated from the bolting part.
The frequency characteristics, especially the rising characteristics and the stop band characteristics, are improved. Further, the connecting bar portions of the input and output electrodes and the terminal portions for the input and output electrodes are connected to the connecting bar portions by the connecting bar extensions respectively extending from the connecting bar portions at a predetermined acute angle. Unnecessary surface acoustic waves generated from the bar extension travel at a right angle to the extension and do not go to the output electrode.Therefore, it is possible to eliminate the effects of providing each connecting bar extension and maintain good frequency characteristics. it can.

【0009】[0009]

【実施例】次に、本発明の実施例を説明する。同実施例
においても、図1,7〜9に示すように、従来の装置と
同様、金属ベース20上に方形の圧電基板10が設けら
れており、圧電基板10上にてアポダイズド(重み付
け)電極で構成した入力電極11と正規型電極で構成し
た出力電極12とが対向している。入力電極11は一対
の櫛歯状電極11a,11bからなり、各櫛歯状電極1
1a,11bは圧電基板10の側端面10a,10bに
それぞれ平行かつ相対向した各連結バー部11a2,1
1b2を有している。出力電極12も一対の櫛歯状電極
12a,12bからなり、各櫛歯状電極12a,12b
は圧電基板10の側端面10a,10bにそれぞれ平行
かつ相対向した各連結バー部12a2,12b2を有し
ている。なお、図1においては、各連結バー部11a
2,11b2,12a2,12b2からそれぞれ直角に
延出された複数の櫛歯部11a1,11b1,12a
1,12b1を省略して示している。また、入力電極1
1と出力電極12との間には導電ワイヤ17a,17b
を介して金属ベース20に接続したシールド電極17が
設けられており、同シールド電極17は電磁波、静電誘
導波などの直達波の入力電極11から出力電極12への
伝搬を抑制する。
Next, embodiments of the present invention will be described. Also in this embodiment, as shown in FIGS. 1 and 7 to 9, a rectangular piezoelectric substrate 10 is provided on a metal base 20 and an apodized (weighted) electrode And the output electrode 12 formed of a regular electrode are opposed to each other. The input electrode 11 includes a pair of comb-shaped electrodes 11a and 11b.
Reference numerals 1a and 11b denote connecting bar portions 11a2 and 11, respectively, which are parallel and opposed to the side end surfaces 10a and 10b of the piezoelectric substrate 10, respectively.
1b2. The output electrode 12 also includes a pair of comb-like electrodes 12a and 12b, and each of the comb-like electrodes 12a and 12b
Have connecting bar portions 12a2, 12b2 which are parallel and opposed to the side end surfaces 10a, 10b of the piezoelectric substrate 10, respectively. In addition, in FIG. 1, each connection bar part 11a
2, 11b2, 12a2, and 12b2, a plurality of comb teeth portions 11a1, 11b1, and 12a extending at right angles, respectively.
1, 1b1 is omitted. Also, input electrode 1
1 and the output electrode 12 between the conductive wires 17a and 17b.
And a shield electrode 17 connected to the metal base 20 through the shield electrode 17. The shield electrode 17 suppresses propagation of direct waves such as electromagnetic waves and electrostatic induction waves from the input electrode 11 to the output electrode 12.

【0010】圧電基板10上には、入力電極11の各連
結バー部11a2,11b2のためのボンディングに必
要な面積を有する入力電極用端子部31,32が形成さ
れている。これらの入力電極用端子部31,32は各連
結バー部11a2,11b2のそれぞれ外側であって圧
電基板10の側端面10a,10bにそれぞれ近く、か
つ同側端面10a,10bと直交する端面10cから近
い等距離に位置している。各連結バー部11a2,11
b2の端面10c側の端部からは鋭角をもって同連結バ
ー部11a2,11b2と同様な細い帯状導体で構成し
た一対の連結バー延長部33,34がそれぞれ入力電極
用端子部31,32に向って延設されており、各連結バ
ー部11a2,11b2と入力電極用端子部31,32
は連結バー延長部33,34を介して電気的に接続され
ている。吸音剤15は、入力電極11の端面10c側に
て、入力電極用端子部31,32を避けかつ連結バー延
長部33,34の上から圧電基板10上に塗布されてい
る。
On the piezoelectric substrate 10, there are formed input electrode terminals 31, 32 having an area necessary for bonding for the connecting bar portions 11a2, 11b2 of the input electrode 11. These input electrode terminal portions 31 and 32 are located outside of the connecting bar portions 11a2 and 11b2, respectively, close to the side end surfaces 10a and 10b of the piezoelectric substrate 10, and perpendicular to the end surfaces 10a and 10b. They are located close and equidistant. Each connecting bar portion 11a2, 11
From the end on the end face 10c side of b2, a pair of connecting bar extensions 33, 34 formed of the same thin strip conductors as the connecting bar portions 11a2, 11b2 at an acute angle toward the input electrode terminal portions 31, 32, respectively. The connecting bar portions 11a2 and 11b2 and the input electrode terminal portions 31 and 32 are extended.
Are electrically connected via connecting bar extensions 33 and 34. The sound absorbing agent 15 is applied to the piezoelectric substrate 10 on the end face 10 c side of the input electrode 11, avoiding the input electrode terminals 31, 32 and from above the connecting bar extensions 33, 34.

【0011】出力電極12の各連結バー部12a2,1
2b2のためのボンディングに必要な面積を有する出力
電極用端子部35,36も圧電基板10上に形成されて
いる。これらの出力電極用端子部35,36は各連結バ
ー部12a2,12b2のそれぞれ外側であって圧電基
板10の側端面10a,10bにそれぞれ近く、かつ同
側端面10a,10bと直交する端面10dから近い等
距離に位置している。各連結バー部12a2,12b2
の端面10d側の端部からは鋭角をもって同連結バー部
12a2,12b2と同様な細い帯状導体で構成した一
対の連結バー延長部37,38がそれぞれ出力電極用端
子部35,36に向って対称に延設されており、各連結
バー部12a2,12b2と出力電極用端子部35,3
6は連結バー延長部37,38を介して電気的に接続さ
れている。吸音剤16は、出力電極12の端面10d側
にて、出力電極用端子部35,36を避けかつ連結バー
延長部37,38の上から圧電基板10上に塗布されて
いる。
Each connecting bar portion 12a2,1 of the output electrode 12
Output electrode terminal portions 35 and 36 having an area necessary for bonding for 2b2 are also formed on the piezoelectric substrate 10. These output electrode terminal portions 35 and 36 are located outside of the connecting bar portions 12a2 and 12b2, respectively, close to the side end surfaces 10a and 10b of the piezoelectric substrate 10, and perpendicular to the end surfaces 10a and 10b. They are located close and equidistant. Each connecting bar portion 12a2, 12b2
From the end on the side of the end face 10d, a pair of connecting bar extensions 37, 38 formed of narrow band-shaped conductors similar to the connecting bar portions 12a2, 12b2 at an acute angle are symmetrical toward the output electrode terminal portions 35, 36, respectively. The connecting bar portions 12a2, 12b2 and the output electrode terminal portions 35, 3
Numeral 6 is electrically connected via connecting bar extensions 37, 38. The sound absorbing agent 16 is applied to the piezoelectric substrate 10 on the end surface 10 d side of the output electrode 12, avoiding the output electrode terminal portions 35 and 36 and from above the connecting bar extension portions 37 and 38.

【0012】一方、金属ベース20に固定される入力電
極11のためのリードピン23及びアースピン24は、
圧電基板10の各側方近傍であって両入力電極用端子部
31,32を結ぶ直線上位置に突出している。入力電極
用端子部31,32とリードピン23及びアースピン2
4とは、引っ張り強度を増加させるために、図5に示す
ように多少のたるみをもたせて各一端を入力電極用端子
部31,32にボンディングしかつ各他端をリードピン
23及びアースピン24の上面にボンディングした導電
ワイヤ41,42によりそれぞれ接続されている。ま
た、金属ベース20に固定される出力電極12のための
リードピン27及びアースピン28も、圧電基板10の
各側方近傍であって両出力電極用端子部35,36を結
ぶ直線上位置に突出している。出力電極用端子部35,
36とリードピン27及びアースピン28とは、引っ張
り強度を増加させるために、図5に示すように多少のた
るみをもたせて各一端を出力電極用端子部35,36に
ボンディングしかつ各他端をリードピン27及びアース
ピン28の上面にボンディングした導電ワイヤ43,4
4によりそれぞれ接続されている。
On the other hand, the lead pin 23 and the ground pin 24 for the input electrode 11 fixed to the metal base 20 are
It protrudes in the vicinity of each side of the piezoelectric substrate 10 and on a straight line connecting the input electrode terminals 31 and 32. Input electrode terminals 31, 32, lead pin 23 and ground pin 2
As shown in FIG. 5, each end is bonded to the input electrode terminal portions 31 and 32 with some slack as shown in FIG. 5 and the other end is formed on the upper surface of the lead pin 23 and the ground pin 24 in order to increase the tensile strength. Are connected to each other by conductive wires 41 and 42 bonded to each other. Also, the lead pin 27 and the ground pin 28 for the output electrode 12 fixed to the metal base 20 protrude to a position on a straight line near each side of the piezoelectric substrate 10 and connecting the output electrode terminals 35 and 36. I have. Output electrode terminal 35,
The lead 36, the lead pin 27 and the ground pin 28 are provided with some slack as shown in FIG. 5 to increase the tensile strength, one end of which is bonded to the output electrode terminal portions 35 and 36, and the other end of which is the lead pin. 27 and the conductive wires 43, 4 bonded to the upper surfaces of the ground pins 28.
4, respectively.

【0013】次に、上記図1の実施例の第1変形例につ
いて説明する。この第1変形例は、図2に示すように、
入力電極11としてアポダイズド(重み付け)電極を採
用しているが、同電極11の連結バー部11a2,11
b2間の距離が上記実施例の場合より短くかつ両連結バ
ー部11a2,11b2の長さが上記実施例の場合より
長く構成されている。そのため、入力電極用端子部3
1,32は吸音剤15よりも内側であって圧電基板10
の端面10cから等距離の位置に設けられ、連結バー延
長部33,34は各連結バー部11a2,11b2の中
間部から鋭角をもって入力電極用端子部31,32に対
称に延長されている。また、正規型電極で構成した出力
電極12においても同様に、その連結バー部12a2,
12b2間の距離が上記実施例の場合より短くかつ両連
結バー部12a2,12b2の長さが上記実施例の場合
より長く構成されている。そのため、出力電極用端子部
35,36は吸音剤16よりも内側であって圧電基板1
0の端面10dから等距離の位置に設けられ、連結バー
延長部37,38は各連結バー部12a2,12b2の
中間部から鋭角をもって出力電極用端子部35,36に
対称に延長されている。リードピン23及びアースピン
24が圧電基板10の両側近傍であって入力電極用端子
部31,32と同一直線上にあって導電ワイヤ41,4
2により接続されている点、リードピン27及びアース
ピン28が圧電基板10の両側近傍であって出力電極用
端子部35,36と同一直線上にあって導電ワイヤ4
3,44により接続されている点など、その他の点は上
記実施例の構成と同じである。
Next, a first modification of the embodiment of FIG. 1 will be described. In this first modification, as shown in FIG.
Although an apodized (weighted) electrode is employed as the input electrode 11, the connecting bar portions 11a2, 11
The distance between b2 is shorter than in the above embodiment, and the length of both connecting bar portions 11a2 and 11b2 is longer than in the above embodiment. Therefore, the input electrode terminal portion 3
Reference numerals 1 and 32 denote the inside of the sound absorbing agent 15 and the piezoelectric substrate 10.
The connecting bar extension portions 33 and 34 are symmetrically extended from the intermediate portions of the connecting bar portions 11a2 and 11b2 to the input electrode terminal portions 31 and 32 at an acute angle. Similarly, in the output electrode 12 formed of the regular electrode, the connection bar portion 12a2,
The distance between 12b2 is shorter than in the above embodiment, and the length of both connecting bar portions 12a2, 12b2 is longer than in the above embodiment. Therefore, the output electrode terminal portions 35 and 36 are located inside the sound absorbing agent 16 and
The connecting bar extension portions 37, 38 are symmetrically extended from the intermediate portions of the connecting bar portions 12a2, 12b2 to the output electrode terminal portions 35, 36 at an acute angle from the intermediate portions of the connecting bar portions 12a2, 12b2. The lead pins 23 and the ground pins 24 are near both sides of the piezoelectric substrate 10 and are on the same straight line as the input electrode terminals 31 and 32, and the conductive wires 41 and 4
2, the lead pins 27 and the ground pins 28 are near both sides of the piezoelectric substrate 10 and are on the same straight line as the output electrode terminals 35 and 36, and
The other points such as the connection by 3 and 44 are the same as the configuration of the above embodiment.

【0014】次に、上記図1の実施例の第2変形例につ
いて説明する。この第2変形例は、図3に示すように、
入力電極11及び出力電極12の両方共アポダイズド
(重み付け)電極を採用しており、入力電極11は圧電
基板10の側端面10b側近く設けられ、出力電極12
は圧電基板10の側端面10a側近く設けられいる。ま
た、入力電極11と出力電極との間には、マルチストリ
ップカプラ(MSC)18が設けられており、弾性表面
波の伝達特性が改善されるようになっている。その他の
点については、上記実施例の場合と同じである。
Next, a second modification of the embodiment shown in FIG. 1 will be described. In the second modification, as shown in FIG.
Both the input electrode 11 and the output electrode 12 employ apodized (weighted) electrodes. The input electrode 11 is provided near the side end face 10 b of the piezoelectric substrate 10.
Is provided near the side end face 10 a of the piezoelectric substrate 10. A multistrip coupler (MSC) 18 is provided between the input electrode 11 and the output electrode, so that the surface acoustic wave transmission characteristics are improved. Other points are the same as those in the above embodiment.

【0015】次に、上記図1の実施例の第3変形例につ
いて説明する。この第3変形例は、図4に示すように、
入力電極11の各連結バー部11a2,11b2間の距
離が第2変形例の場合より短く構成されるとともに、両
連結バー部11a2,11b2の長さが第2変形例の場
合より長く構成されている。また、出力電極12の各連
結バー部12a2,12b2間の距離も第2変形例の場
合より短く構成されるとともに、両連結バー部12a
2,12b2の長さも第2変形例の場合より長く構成さ
れている。連結バー延長部33,34,37,38が各
連結バー部11a2,11b2,12a2,12b2の
中間部から鋭角をもって対称に延長されて入力電極用端
子部31,32及び出力電極用端子部35,36に導か
れている点など、その他の点に関しては第1変形例の場
合と同じである。
Next, a third modification of the embodiment of FIG. 1 will be described. This third modified example, as shown in FIG.
The distance between the connecting bar portions 11a2 and 11b2 of the input electrode 11 is shorter than in the second modification, and the length of both connecting bar portions 11a2 and 11b2 is longer than in the second modification. I have. In addition, the distance between the connection bar portions 12a2 and 12b2 of the output electrode 12 is configured to be shorter than that in the case of the second modification, and both connection bar portions 12a
The length of 2,2b2 is also longer than in the second modification. The connecting bar extension portions 33, 34, 37, 38 are symmetrically extended from the intermediate portions of the connecting bar portions 11a2, 11b2, 12a2, 12b2 at an acute angle, and the input electrode terminal portions 31, 32 and the output electrode terminal portion 35, Other points such as the point guided to 36 are the same as those in the first modification.

【0016】上記のように構成した実施例及び各変形例
においては、入力電極11及び出力電極12の各連結バ
ー部11a2,11b2,12a2,12b2の各外側
の圧電基板10上に入力電極用端子部31,32及び出
力電極用端子部35,36をそれぞれ設けるとともに、
各連結バー部11a2,11b2,12a2,12b2
と各端子部31,32,35,36とを各連結バー延長
部33,34,37,38を介して接続し、かつ各端子
部31,32,35,36と入力電極用ピン23,24
及び出力電極用ピン27,28とをそれぞれ導電ワイヤ
41〜44で接続するようにしたので、様々な大きさの
圧電基板10、入力電極11、出力電極12などからな
る変換器部分を所定の大きさのパッケージに実装する場
合でも、導電ワイヤ41〜44の長さを所定の短い長さ
にすることが可能となる。したがって、ワイヤ引っ張り
強度が増加してワイヤ切れ及びワイヤ剥がれを防止で
き、導電ワイヤ41〜44のたるみによる周波数特性の
悪化を防止でき、導電ワイヤ41〜44の材料削減によ
る製造原価の低減ができ、かつ作業性が向上する。ま
た、一対の入力電極用ピン23,24と一対の入力電極
用端子部31,32とを一直線上に配置するとともに、
一対の出力電極用ピン27,28と一対の出力電極用端
子部35,36とを一直線上に配置したので、作業効率
及び生産性が向上する。
In the embodiment and each modified example configured as described above, the input electrode terminal is provided on the piezoelectric substrate 10 outside each of the connecting bar portions 11a2, 11b2, 12a2, 12b2 of the input electrode 11 and the output electrode 12. Portions 31 and 32 and output electrode terminal portions 35 and 36 are provided, respectively.
Each connecting bar portion 11a2, 11b2, 12a2, 12b2
And the respective terminal portions 31, 32, 35, 36 via the respective connecting bar extension portions 33, 34, 37, 38, and the respective terminal portions 31, 32, 35, 36 and the input electrode pins 23, 24.
And the output electrode pins 27 and 28 are connected by the conductive wires 41 to 44, respectively, so that the converter portion including the piezoelectric substrate 10, the input electrode 11, the output electrode 12, and the like of various sizes can have a predetermined size. In this case, the length of the conductive wires 41 to 44 can be reduced to a predetermined short length. Therefore, the wire pulling strength can be increased to prevent wire breakage and wire peeling, frequency characteristics can be prevented from deteriorating due to slackness of the conductive wires 41 to 44, and the production cost can be reduced by reducing the materials of the conductive wires 41 to 44. And workability is improved. In addition, the pair of input electrode pins 23 and 24 and the pair of input electrode terminals 31 and 32 are arranged on a straight line,
Since the pair of output electrode pins 27 and 28 and the pair of output electrode terminals 35 and 36 are arranged in a straight line, work efficiency and productivity are improved.

【0017】また、入力電極用端子部31,32及び出
力電極用端子部35,36を設けることにより、入力電
極11及び出力電極12の各連結バー部11a2,11
b2,12a2,12b2を細く形成できて音響的反射
波が良好に抑圧されるとともに、各連結バー部11a
2,11b2,12a2,12b2にボンディング部が
形成されなくなって同ボテンディング部から不要な弾性
表面波が発生されなくなるので、周波数特性、特に立ち
上がり特性、阻止域特性などが良好になる。さらに、入
力電極11及び出力電極12の各連結バー部11a2,
11b2,12a2,12b2と入力電極用端子部3
1,32及び出力電極用端子部35,36とをそれぞれ
各連結バー部11a2,11b2,12a2,12b2
から所定の鋭角をもってそれぞれ延長した各連結バー延
長部33,34,37,38によりそれぞれ接続するよ
うにしたので、各連結バー延長部33,34,37,3
8から発生される不要な弾性表面波は同延長部33,3
4,37,38に対して直角に進んで出力電極12に向
かわないので、各連結バー延長部33,34,37,3
8を設けたことによる影響をなくして周波数特性を良好
に保つことができる(図6の周波数特性参照)。
Further, by providing the input electrode terminals 31, 32 and the output electrode terminals 35, 36, the connecting bar portions 11a2, 11a of the input electrode 11 and the output electrode 12 are provided.
b2, 12a2, and 12b2 can be formed to be thin to suppress acoustically reflected waves satisfactorily, and to provide the connection bar portions 11a
No bonding surface is formed at 2, 11b2, 12a2, and 12b2, and unnecessary surface acoustic waves are no longer generated from the bottoming portion, so that the frequency characteristics, particularly the rising characteristics and the stop band characteristics, are improved. Furthermore, each connecting bar portion 11a2 of the input electrode 11 and the output electrode 12
11b2, 12a2, 12b2 and input electrode terminal 3
1 and 32 and the output electrode terminals 35 and 36 are connected to the respective connecting bar portions 11a2, 11b2, 12a2 and 12b2.
Are connected by the connecting bar extensions 33, 34, 37, and 38, respectively, which extend at a predetermined acute angle, so that the connecting bar extensions 33, 34, 37, and 3 are connected.
Unnecessary surface acoustic waves generated from the extension 8
4, 37, and 38, and does not go to the output electrode 12, so that each connecting bar extension 33, 34, 37, 3
The frequency characteristics can be kept good without the influence of the provision of the reference numeral 8 (see the frequency characteristics in FIG. 6).

【0018】さらに、上記実施例及び第2変形例におい
ては、吸音剤15,16を連結バー延長部33,34,
37,38上に塗布するようにしたので、この吸音剤1
5,16による不要な弾性表面波をより良好に抑圧する
ことができる。
Further, in the above embodiment and the second modified example, the sound absorbing agents 15 and 16 are connected to the connecting bar extension portions 33 and 34, respectively.
37, 38, the sound absorbing agent 1
Unnecessary surface acoustic waves due to 5 and 16 can be suppressed better.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施例に係り金属ベース上に圧電基
板を接着した状態の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a state in which a piezoelectric substrate is bonded on a metal base according to an embodiment of the present invention.

【図2】 前記実施例の第1変形例に係り金属ベース上
に圧電基板を接着した状態の斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a piezoelectric substrate is bonded on a metal base according to a first modification of the embodiment.

【図3】 前記実施例の第2変形例に係り金属ベース上
に圧電基板を接着した状態の斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a piezoelectric substrate is bonded on a metal base according to a second modification of the embodiment.

【図4】 前記実施例の第3変形例に係り金属ベース上
に圧電基板を接着した状態の斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing a state in which a piezoelectric substrate is bonded on a metal base according to a third modification of the embodiment.

【図5】 前記実施例及び各変形例に係る入力電極用端
子部及び出力電極用端子部と各ピンとをそれぞれ導電ワ
イヤで接続した状態を示す拡大断面図である。
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing a state in which the input electrode terminal portion and the output electrode terminal portion and each pin according to the embodiment and each modification are connected to respective pins by conductive wires.

【図6】 前記実施例及び各変形例の周波数特性図であ
る。
FIG. 6 is a frequency characteristic diagram of the embodiment and each of the modifications.

【図7】 弾性表面波変換器の一般的な例を示す斜視図
である。
FIG. 7 is a perspective view showing a general example of a surface acoustic wave converter.

【図8】 同弾性表面波変換器の装着の一例を示す一部
破断斜視図である。
FIG. 8 is a partially broken perspective view showing an example of mounting the surface acoustic wave converter.

【図9】 同弾性表面波変換器の装着の別の例を示す一
部破断斜視図である。
FIG. 9 is a partially broken perspective view showing another example of mounting the surface acoustic wave converter.

【図10】従来の弾性表面波変換器の一例を示す斜視図
である。
FIG. 10 is a perspective view showing an example of a conventional surface acoustic wave converter.

【図11】従来の弾性表面波変換器の他の例を示す斜視
図である。
FIG. 11 is a perspective view showing another example of a conventional surface acoustic wave converter.

【図12】従来の弾性表面波変換器の他の例を示す斜視
図である。
FIG. 12 is a perspective view showing another example of a conventional surface acoustic wave converter.

【図13】従来の弾性表面波変換器の他の例を示す斜視
図である。
FIG. 13 is a perspective view showing another example of a conventional surface acoustic wave converter.

【図14】従来の弾性表面波変換器の周波数特性図であ
る。
FIG. 14 is a frequency characteristic diagram of a conventional surface acoustic wave converter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…圧電基板,11…入力電極、11a,11b…櫛
歯状電極、11a1,11b1…櫛歯部、11a2,1
1b2…連結バー部、12…出力電極、12a,12b
…櫛歯状電極、12a1,12b1…櫛歯部、12a
2,12b2…連結バー部、20…金属ベース、21,
22,25,26…導電ワイヤ、23,27…リードピ
ン、24,28…アースピン、31,32…入力電極用
端子部、33,34…連結バー延長部、35,36…出
力電極用端子部、37,38…連結バー延長部、41〜
44…導電ワイヤ。
10: piezoelectric substrate, 11: input electrode, 11a, 11b: comb-shaped electrode, 11a1, 11b1: comb-tooth portion, 11a2, 1
1b2: connecting bar portion, 12: output electrode, 12a, 12b
... Comb-shaped electrode, 12a1, 12b1.
2, 12b2 ... connecting bar part, 20 ... metal base, 21,
22, 25, 26 ... conductive wires, 23, 27 ... lead pins, 24, 28 ... ground pins, 31, 32 ... input electrode terminal parts, 33, 34 ... connecting bar extension parts, 35, 36 ... output electrode terminal parts, 37, 38 ... connecting bar extension, 41-
44 ... conductive wire.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−37723(JP,A) 特開 昭57−136815(JP,A) 特開 昭63−303506(JP,A) 特開 平5−67938(JP,A) 特開 昭58−103217(JP,A) 実開 昭60−192524(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/145 H03H 9/25 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-56-37723 (JP, A) JP-A-57-136815 (JP, A) JP-A-63-303506 (JP, A) 67938 (JP, A) JP-A-58-103217 (JP, A) JP-A-60-192524 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H03H9 / 145 H03H9 /twenty five

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 金属ベース上に方形の圧電基板を設ける
とともに同圧電基板上に一対の櫛歯状電極でそれぞれ構
成した入力電極及び出力電極を対向させてなり、前記入
力電極を構成する一対の櫛歯状電極の各連結バー部を前
記圧電基板の側端面にそれぞれ平行かつ相対向させて設
けるとともに前記金属ベース上であって同圧電基板の側
端面の各外側にそれぞれ設けた一対の入力電極用ピンに
同入力電極の各連結バー部を電気的にそれぞれ接続し、
かつ前記出力電極を構成する一対の櫛歯状電極の各連結
バー部を前記圧電基板の側端面にそれぞれ平行かつ相対
向させて設けるとともに前記金属ベース上であって同圧
電基板の側端面の各外側にそれぞれ設けた一対の出力電
極用ピンに同出力電極の各連結バー部を電気的にそれぞ
れ接続した弾性表面波変換装置において、 前記入力電極の各連結バー部の各外側の圧電基板上であ
って前記圧電基板の側端面と直交する端面から等距離の
位置に一対の入力電極用端子部をそれぞれ設けるととも
に、同圧電基板上にて同入力電極の各連結バー部から所
定の鋭角をもってそれぞれ延長した一対の連結バー延長
部を介して各入力電極用端子部と同入力電極の各連結バ
ー部とをそれぞれ接続し、 前記出力電極の各連結バー部の各外側の圧電基板上であ
って前記圧電基板の側端面と直交する端面から等距離の
位置に一対の出力電極用端子部をそれぞれ設けるととも
に、同圧電基板上にて同出力電極の各連結バー部から所
定の鋭角をもってそれぞれ延長した一対の連結バー延長
部を介して各出力電極用端子部と同出力電極の各連結バ
ー部とをそれぞれ接続し、かつ前記一対の入力電極用ピ
ンと一対の入力電極用端子部とを一直線上に配置すると
ともに各入力電極用ピンと各入力電極用端子部とをそれ
ぞれ導電ワイヤで接続し、かつ前記一対の出力電極用ピ
ンと一対の出力電極用端子部とを一直線上に配置すると
ともに各出力電極用ピンと各出力電極用端子部とをそれ
ぞれ導電ワイヤで接続したことを特徴とする弾性表面波
変換装置。
A rectangular piezoelectric substrate is provided on a metal base, and an input electrode and an output electrode each formed of a pair of comb-shaped electrodes are opposed to each other on the piezoelectric substrate. A pair of input electrodes provided on the metal base and at respective outsides of the side end surfaces of the piezoelectric substrate, each of the connection bar portions of the comb-shaped electrode being provided in parallel with and facing the side end surface of the piezoelectric substrate; Each connecting bar part of the same input electrode is electrically connected to the
Each of the connecting bar portions of the pair of comb-shaped electrodes constituting the output electrode is provided in parallel with and opposed to a side end surface of the piezoelectric substrate, and each of the connection bar portions on the metal base and on each of the side end surfaces of the piezoelectric substrate In a surface acoustic wave conversion device in which each connection bar portion of the output electrode is electrically connected to a pair of output electrode pins provided on the outside, respectively, on the piezoelectric substrate outside each connection bar portion of the input electrode, A pair of input electrode terminals are provided at equal distances from an end surface orthogonal to the side end surface of the piezoelectric substrate, and a predetermined acute angle is formed from each connection bar of the input electrode on the piezoelectric substrate. Each of the input electrode terminal portions and each of the connection bar portions of the input electrode are connected to each other via the extended pair of connection bar extension portions, respectively, on the piezoelectric substrate outside each of the connection bar portions of the output electrode. A pair of output electrode terminals were respectively provided at positions equidistant from an end surface orthogonal to the side end surface of the piezoelectric substrate, and each terminal was extended at a predetermined acute angle from each connection bar portion of the output electrode on the piezoelectric substrate. Each of the output electrode terminal portions and each of the connection bar portions of the same output electrode are connected via a pair of connection bar extension portions, and the pair of input electrode pins and the pair of input electrode terminal portions are aligned. While arranging, each input electrode pin and each input electrode terminal are connected by a conductive wire, respectively, and the pair of output electrode pins and the pair of output electrode terminals are arranged in a straight line, and A surface acoustic wave conversion device, wherein a pin and each output electrode terminal are connected by a conductive wire.
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