JP3305409B2 - 溶液吐出制御装置 - Google Patents
溶液吐出制御装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は溶媒が有機溶剤等の揮発
性溶液や、高粘度溶液の吐出量を制御するのに好適な溶
液吐出制御装置に関する。
性溶液や、高粘度溶液の吐出量を制御するのに好適な溶
液吐出制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、一定量の溶液を吐出する溶液
吐出制御装置は、その使用分野によって構造上の差異や
吐出量の差はあるが、あらゆる産業分野、例えば半導体
製造現場におけるフォトレジスト塗布や追記型光ディス
ク（ＣＤＲ）製造現場における色素塗布等の工業分野の
みならず生命科学分野における顕微鏡下での培養細胞へ
の一定量の薬物または遺伝物質注入に至るまで幅広く利
用されている。従来の吐出制御装置の一般的構造は、溶
液を一定量吐出するための手段として、一端を吐出口と
し、他端を溶液補充口および加圧するための手段を接続
するための接続端とした容器と、この容器の接続端に接
続された加圧用空気供給手段と、溶液の吐出量を加圧の
度合を変化させることによって調整する制御手段とから
なる。図２の概略的構造図はその一例を示すものであ
る。この図では、容器２０は溶液吐出端側が先細りした
概略円筒状のもので、使用時において容器２０内は溶液
２１と容器外部に設けられた加圧用空気供給手段２２お
よび加圧装置２３に通じた空気２４とによって２つの領
域に二分される。この容器２０内の空気２４を加圧装置
２３によって所定量加圧することにより、容器２０内の
溶液２１は押されて吐出端に形成された吐出口２０ａか
ら所定量吐出される。
吐出制御装置は、その使用分野によって構造上の差異や
吐出量の差はあるが、あらゆる産業分野、例えば半導体
製造現場におけるフォトレジスト塗布や追記型光ディス
ク（ＣＤＲ）製造現場における色素塗布等の工業分野の
みならず生命科学分野における顕微鏡下での培養細胞へ
の一定量の薬物または遺伝物質注入に至るまで幅広く利
用されている。従来の吐出制御装置の一般的構造は、溶
液を一定量吐出するための手段として、一端を吐出口と
し、他端を溶液補充口および加圧するための手段を接続
するための接続端とした容器と、この容器の接続端に接
続された加圧用空気供給手段と、溶液の吐出量を加圧の
度合を変化させることによって調整する制御手段とから
なる。図２の概略的構造図はその一例を示すものであ
る。この図では、容器２０は溶液吐出端側が先細りした
概略円筒状のもので、使用時において容器２０内は溶液
２１と容器外部に設けられた加圧用空気供給手段２２お
よび加圧装置２３に通じた空気２４とによって２つの領
域に二分される。この容器２０内の空気２４を加圧装置
２３によって所定量加圧することにより、容器２０内の
溶液２１は押されて吐出端に形成された吐出口２０ａか
ら所定量吐出される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の吐出制
御は、溶液の体積減少に伴って空気の占める空間の体積
が増加するため、例えば揮発性溶媒の場合は、溶液中の
溶媒蒸発が生じることによって溶液の粘度が変化し、そ
の結果吐出量が変化すると同時に吐出後の溶液の処理状
態が変化する。また、溶液を加圧するための媒体が空気
であるため、環境の湿度変化等によって空気圧が変化し
たり、溶液の粘度が変化したりする結果、常に一定の吐
出量を得ることが困難である。そこで、本発明は溶液の
種類にかかわらず常に安定した吐出制御を可能とする吐
出制御装置を提供することを目的とする。
御は、溶液の体積減少に伴って空気の占める空間の体積
が増加するため、例えば揮発性溶媒の場合は、溶液中の
溶媒蒸発が生じることによって溶液の粘度が変化し、そ
の結果吐出量が変化すると同時に吐出後の溶液の処理状
態が変化する。また、溶液を加圧するための媒体が空気
であるため、環境の湿度変化等によって空気圧が変化し
たり、溶液の粘度が変化したりする結果、常に一定の吐
出量を得ることが困難である。そこで、本発明は溶液の
種類にかかわらず常に安定した吐出制御を可能とする吐
出制御装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に基づく吐出制御装置は、所定量の溶液を一
定に吐出するための装置であって、該装置が、吐出口を
有する容器と、前記吐出口に連通しかつ前記容器に収納
された袋状可塑体と、前記容器の内側面と前記袋状可塑
体の外側面との間に形成される空間を満たす非圧縮性液
体と、前記空間を満たす前記圧縮性液体の量を調整す
る、前記非圧縮性液体の貯蔵部とバルブを備えた液体調
節手段と、前記空間を満たす前記非圧縮性液体に所定の
圧力を加える圧力手段とからなり、前記圧力手段により
前記溶液内の溶液を一定量吐出すると共に、前記液体調
節手段のバルブと前記圧力手段を同期させて、溶液の吐
出後に、前記貯蔵部の非圧縮性液体を吐出された溶液と
同量だけ前記空間内に補充することを特徴とする溶液吐
出制御装置である。
に、本発明に基づく吐出制御装置は、所定量の溶液を一
定に吐出するための装置であって、該装置が、吐出口を
有する容器と、前記吐出口に連通しかつ前記容器に収納
された袋状可塑体と、前記容器の内側面と前記袋状可塑
体の外側面との間に形成される空間を満たす非圧縮性液
体と、前記空間を満たす前記圧縮性液体の量を調整す
る、前記非圧縮性液体の貯蔵部とバルブを備えた液体調
節手段と、前記空間を満たす前記非圧縮性液体に所定の
圧力を加える圧力手段とからなり、前記圧力手段により
前記溶液内の溶液を一定量吐出すると共に、前記液体調
節手段のバルブと前記圧力手段を同期させて、溶液の吐
出後に、前記貯蔵部の非圧縮性液体を吐出された溶液と
同量だけ前記空間内に補充することを特徴とする溶液吐
出制御装置である。
【０００５】
【作用】袋状可塑体は吐出させるための溶液を貯える。
また、加圧手段は、非圧縮性液体を介して袋状可塑体に
所定の圧力を加えて袋状可塑体に貯えられた溶液を吐出
口から所定量吐出させる。この吐出による袋状可塑体の
容積変化に対応して容器内側面と袋状可塑体の外側面と
の間に形成される空間を満たす非圧縮性液体の量を液量
調整手段が調整する。
また、加圧手段は、非圧縮性液体を介して袋状可塑体に
所定の圧力を加えて袋状可塑体に貯えられた溶液を吐出
口から所定量吐出させる。この吐出による袋状可塑体の
容積変化に対応して容器内側面と袋状可塑体の外側面と
の間に形成される空間を満たす非圧縮性液体の量を液量
調整手段が調整する。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【０００７】図１の概略的構造図を参照して本発明にも
とづく溶液吐出制御装置の一実施例について説明する。
とづく溶液吐出制御装置の一実施例について説明する。
【０００８】溶液吐出制御装置は、概略円筒状の容器本
体１と、加圧手段２と、液量調節手段３とから概略構成
される。
体１と、加圧手段２と、液量調節手段３とから概略構成
される。
【０００９】容器本体１は、ガラス、ステンレス鋼、
鉄、プラスチック等からなり、一端面上に連接された加
圧部４と、他端面に形成された液補充口５と、周面に形
成された吐出口６と、この吐出口６に連通しかつ本体1
内部に設けられたゴム、プラスチック、金属被覆プラス
チック、金属薄膜、ダイヤフラム等からなる袋状の可塑
体７とを具備する。また、吐出口６には、容器１外側に
向けて吐出用ノズル６ａが脱着自在にして連接されてい
る。この吐出ノズル６ａは使用目的に応じた形状のもの
を取り付ける。
鉄、プラスチック等からなり、一端面上に連接された加
圧部４と、他端面に形成された液補充口５と、周面に形
成された吐出口６と、この吐出口６に連通しかつ本体1
内部に設けられたゴム、プラスチック、金属被覆プラス
チック、金属薄膜、ダイヤフラム等からなる袋状の可塑
体７とを具備する。また、吐出口６には、容器１外側に
向けて吐出用ノズル６ａが脱着自在にして連接されてい
る。この吐出ノズル６ａは使用目的に応じた形状のもの
を取り付ける。
【００１０】加圧手段２は、電動モータ（パルスモータ
またはサーボモータ）８と、この電動モータ８とギアボ
ックス８ａを介して連動し、加圧部４を摺動かつピスト
ン運動するピストン９とからなる。液量調節手段３は、
液補充用タンク１０と調節バルブ（開閉バルブ）１１と
からなる。液補充用タンク１０は、容器１内側面と可塑
体７外側面との間に形成される空間を満たすための非圧
縮性液体１２、例えば水、ミシン油、シリコンオイル等
を液補充口５を介して容器１内部へ供給するためのもの
で、さらに液補充用タンク１０と液補充口５とを結ぶパ
イプ１３上には液の流れを調節するための開閉バルブ１
１が設けられている。
またはサーボモータ）８と、この電動モータ８とギアボ
ックス８ａを介して連動し、加圧部４を摺動かつピスト
ン運動するピストン９とからなる。液量調節手段３は、
液補充用タンク１０と調節バルブ（開閉バルブ）１１と
からなる。液補充用タンク１０は、容器１内側面と可塑
体７外側面との間に形成される空間を満たすための非圧
縮性液体１２、例えば水、ミシン油、シリコンオイル等
を液補充口５を介して容器１内部へ供給するためのもの
で、さらに液補充用タンク１０と液補充口５とを結ぶパ
イプ１３上には液の流れを調節するための開閉バルブ１
１が設けられている。
【００１１】つぎに、このように構成される溶液吐出制
御装置の使用方法について説明する。
御装置の使用方法について説明する。
【００１２】まず、使用前の状態について説明する。容
器１内の可塑体７には溶液Ｓが充填されていない。その
ため、この可塑体７は縮んだ状態にある。また、バルブ
１１は開いた状態にあるため、容器１内側面と可塑体７
外側面との間の空間は非圧縮性液体１２によって満たさ
れた状態にある。さらに、ピストン９は加圧部４の外側
方向所定位置（図中、破線Ａの位置）に静止した状態に
ある。
器１内の可塑体７には溶液Ｓが充填されていない。その
ため、この可塑体７は縮んだ状態にある。また、バルブ
１１は開いた状態にあるため、容器１内側面と可塑体７
外側面との間の空間は非圧縮性液体１２によって満たさ
れた状態にある。さらに、ピストン９は加圧部４の外側
方向所定位置（図中、破線Ａの位置）に静止した状態に
ある。
【００１３】使用に際しては、まず可塑体７内に吐出用
溶液Ｓを吐出口あるいは補充口（図示せず）から注入す
る。これによって可塑体７は膨張する一方、容器１内の
非圧縮性液体１２はその膨張に比例した量だけ液補充用
タンク１０に戻される。所定量の溶液Ｓが可塑体７内に
注入された時点でバルブ１１を閉じる。あるいは、所定
量の吐出用溶液を封入した可塑体７を容器１内に納め、
容器１内に非圧縮性液体１２を充填する。電動モータ８
をパルス駆動させて、ピストン９を加圧部４の内側方向
所定位置（図中、破線Ｂの位置）へ向けて所定の距離前
進させる（事前に一回のパルス駆動およびピストンの前
進によって吐出される溶液量を測定しておく）。ピスト
ン９の前進距離に応じて容器１内の非圧縮性液体１２が
圧縮されるとともに可塑体７も圧縮されて可塑体７の容
積減少が起こる。この可塑体７の容積減少に応じて可塑
体７内の溶液Ｓが吐出口から所定量吐出される。ピスト
ン９の後退と同期してバルブ１１が開き、可塑体７の容
積減少分に相当する量の非圧縮性液体１２が液補充タン
ク１０から容器１内へ補給される。さらに、続けて吐出
を行う場合は再度、モータ８を駆動させてピストン９を
前進させる。所定の吐出が終了した後、ピストンを所定
位置A に戻す場合はバルブ１１を開いて液補充タンク１
０から容器１内へ再び非圧縮性液体１２が流入するよう
にする。
溶液Ｓを吐出口あるいは補充口（図示せず）から注入す
る。これによって可塑体７は膨張する一方、容器１内の
非圧縮性液体１２はその膨張に比例した量だけ液補充用
タンク１０に戻される。所定量の溶液Ｓが可塑体７内に
注入された時点でバルブ１１を閉じる。あるいは、所定
量の吐出用溶液を封入した可塑体７を容器１内に納め、
容器１内に非圧縮性液体１２を充填する。電動モータ８
をパルス駆動させて、ピストン９を加圧部４の内側方向
所定位置（図中、破線Ｂの位置）へ向けて所定の距離前
進させる（事前に一回のパルス駆動およびピストンの前
進によって吐出される溶液量を測定しておく）。ピスト
ン９の前進距離に応じて容器１内の非圧縮性液体１２が
圧縮されるとともに可塑体７も圧縮されて可塑体７の容
積減少が起こる。この可塑体７の容積減少に応じて可塑
体７内の溶液Ｓが吐出口から所定量吐出される。ピスト
ン９の後退と同期してバルブ１１が開き、可塑体７の容
積減少分に相当する量の非圧縮性液体１２が液補充タン
ク１０から容器１内へ補給される。さらに、続けて吐出
を行う場合は再度、モータ８を駆動させてピストン９を
前進させる。所定の吐出が終了した後、ピストンを所定
位置A に戻す場合はバルブ１１を開いて液補充タンク１
０から容器１内へ再び非圧縮性液体１２が流入するよう
にする。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にもとづく
吐出制御装置は、吐出口を有する容器と、吐出口に連通
しかつ容器に収納された袋状可塑体と、容器の内側面と
袋状可塑体の外側面との間に形成される空間を満たす非
圧縮性液体と、この空間を満たす非圧縮性液の量を調整
する液量調整手段と、空間を満たす非圧縮性液体に所定
の圧力を加える加圧手段とからなることを特徴とし、空
気を媒介にした加圧によらず非圧縮性液体を媒介として
いるため、溶液の残量が変化しても常に安定した吐出量
を維持することが可能で、またピストンの移動距離の変
化と非圧縮体の加圧量および可塑体の加圧量の変化とが
対応するため、吐出量を常に安定して変化させることが
可能で、さらに溶液の粘度による吐出条件の変更を必要
とせず、また揮発性の溶媒を使用した溶液でも、溶媒の
揮発が抑えられるので吐出される溶液の濃度変化がほと
んどなく、濃度変化による吐出条件の変更が必要となら
ないことから、溶媒が有機溶剤等の揮発性溶液や、高粘
度溶液の吐出量を好適に制御することを可能とする。
吐出制御装置は、吐出口を有する容器と、吐出口に連通
しかつ容器に収納された袋状可塑体と、容器の内側面と
袋状可塑体の外側面との間に形成される空間を満たす非
圧縮性液体と、この空間を満たす非圧縮性液の量を調整
する液量調整手段と、空間を満たす非圧縮性液体に所定
の圧力を加える加圧手段とからなることを特徴とし、空
気を媒介にした加圧によらず非圧縮性液体を媒介として
いるため、溶液の残量が変化しても常に安定した吐出量
を維持することが可能で、またピストンの移動距離の変
化と非圧縮体の加圧量および可塑体の加圧量の変化とが
対応するため、吐出量を常に安定して変化させることが
可能で、さらに溶液の粘度による吐出条件の変更を必要
とせず、また揮発性の溶媒を使用した溶液でも、溶媒の
揮発が抑えられるので吐出される溶液の濃度変化がほと
んどなく、濃度変化による吐出条件の変更が必要となら
ないことから、溶媒が有機溶剤等の揮発性溶液や、高粘
度溶液の吐出量を好適に制御することを可能とする。
【図１】本発明にもとづく吐出制御装置の概略的構造を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図２】従来の吐出制御装置の概略的構造を説明するた
めの図である。
めの図である。
１ 容器 ２ 加圧手段 ３ 液量調節手段 ４ 加圧部 ５ 補充口 ６ 吐出口 ７ 可塑体 ８ 電動モータ ８ａ ギアボックス ９ ピストン １０ 液補充用タンク １１ バルブ １２ 非圧縮性液体 １３ パイプ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65D 83/00 B67D 1/04 B05B 1/30 H01L 21/30
Claims (1)
- 【請求項１】 所定量の溶液を一定に吐出するための装
置であって、該装置は、 吐出口を有する容器と、 前記吐出口に連通しかつ前記容器に収納された袋状可塑
体と、 前記容器の内側面と前記袋状可塑体の外側面との間に形
成される空間を満たす非圧縮性液体と、 前記空間を満たす前記圧縮性液体の量を調整する、前記
非圧縮性液体の貯蔵部とバルブを備えた液体調節手段
と、 前記空間を満たす前記非圧縮性液体に所定の圧力を加え
る圧力手段とからなり、前記圧力手段により前記溶液内の溶液を一定量吐出する
と共に、前記液体調節手段のバルブと前記圧力手段を同
期させて、溶液の吐出後に、前記貯蔵部の非圧縮性液体
を吐出された溶液と同量だけ前記空間内に補充する こと
を特徴とする溶液吐出制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11576493A JP3305409B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 溶液吐出制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11576493A JP3305409B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 溶液吐出制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06320062A JPH06320062A (ja) | 1994-11-22 |
| JP3305409B2 true JP3305409B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=14670473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11576493A Expired - Fee Related JP3305409B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 溶液吐出制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3305409B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2851242B1 (fr) * | 2003-02-13 | 2005-10-21 | Rhodia Chimie Sa | Procede de vidange d'un conteneur souple renfermant un produit visqueux |
-
1993
- 1993-05-18 JP JP11576493A patent/JP3305409B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06320062A (ja) | 1994-11-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |