JP3295894B2 - Humidity sensor - Google Patents
Humidity sensorInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、湿度センサに係り、特
に結露の影響を防ぐとともに、高精度の湿度検出を行う
ことのできる湿度センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a humidity sensor, and more particularly to a humidity sensor capable of preventing the influence of dew condensation and detecting humidity with high accuracy.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、氷温高湿度環境と呼ばれる−５〜
０℃，８０〜１００％Ｒ．Ｈ．での食品保存技術が注目
されている。2. Description of the Related Art Recently, an ice temperature and high humidity environment of -5 to -5 is called.
0 ° C., 80-100% R.C. H. Food preservation technology has attracted attention.
【０００３】食品保存環境では、湿度が大きな役割を果
たすため、湿度を高精度に検出し、その検出値に応じて
食品保存環境の湿度制御を行う必要がある。[0003] In a food preservation environment, since humidity plays a large role, it is necessary to detect the humidity with high accuracy and to control the humidity of the food preservation environment according to the detected value.
【０００４】この氷温高湿度環境と呼ばれる−５〜０
℃，８０〜１００％Ｒ．Ｈ．では、僅かな湿度上昇変化
によって、温度−５〜０℃の範囲であれば氷結が生じ、
温度が０℃より高い範囲であれば結露が生じる。尚、こ
のような状況は、氷温高湿度環境に高温の空気が侵入す
ることにより生じることが多い。[0004] This is called an ice temperature and high humidity environment of -5 to 0.
C., 80-100% R.C. H. Then, due to a slight change in humidity rise, freezing occurs when the temperature is in the range of -5 to 0 ° C,
If the temperature is higher than 0 ° C., dew condensation occurs. Such a situation often occurs when high-temperature air enters a high-temperature, high-humidity environment.
【０００５】湿度センサが前記食品保存庫内で使用され
る場合、この食品保存庫のドアの開放時における外気導
入とともに結露することとなり、その後、数十分にわた
り湿度計測が不可能となるという問題が生じていた。さ
らに、このような結露の繰り返しによりセンサの検出特
性が劣化するという問題があった。このため、氷温保存
庫で高精度の湿度検出を行うことのできる湿度センサは
なく、庫内の湿度検出は不可能な状態であった。When the humidity sensor is used in the food storage, dew forms when the outside air is introduced when the door of the food storage is opened, and thereafter, it becomes impossible to measure humidity for tens of minutes. Had occurred. Further, there has been a problem that the detection characteristics of the sensor are deteriorated due to such repeated condensation. For this reason, there is no humidity sensor capable of performing high-precision humidity detection in the ice temperature storage, and the humidity inside the storage cannot be detected.
【０００６】このように従来の湿度センサは、氷温高湿
度環境に用いると結露により正確な湿度検出を行うこと
ができず、また、正確な湿度検出をしようとすると、ド
アの開閉による外気の導入に起因する結露が消失するま
で待たねばならない。As described above, the conventional humidity sensor cannot perform accurate humidity detection due to dew condensation when used in an ice temperature and high humidity environment, and when trying to perform accurate humidity detection, the outside air is opened and closed by opening and closing a door. You must wait until the condensation from the introduction has disappeared.
【０００７】そこで、本発明者は、結露の影響を受ける
こと無く、氷温高湿度環境で湿度検出を高精度に連続し
て行うことを目的とし、湿度検出手段の周辺のみを局所
的に加熱する加熱手段を配設して、所定温度以上に加熱
しながら測定すべき環境の湿度を検出するとともに、こ
の湿度検出手段の周辺温度と、環境温度とを測定しこれ
らの値と検出湿度とから湿度を検出するようにした湿度
検出装置を提案している（特願平３−２２４３７１
号）。Therefore, the present inventor aims to continuously perform humidity detection with high accuracy in an ice temperature and high humidity environment without being affected by dew condensation, and locally heats only the periphery of the humidity detection means. A heating means is provided for detecting the humidity of the environment to be measured while heating to a predetermined temperature or higher, and measuring the ambient temperature of the humidity detecting means and the environmental temperature, and calculating the values from these values and the detected humidity. A humidity detecting device which detects humidity is proposed (Japanese Patent Application No. 3-224371).
issue).
【０００８】この湿度検出装置は、例えば図８に示すよ
うに、熱的に絶縁性の高い石英からなる基板１と、この
基板１上に並設された第１の温度センサ３及び湿度検出
部４と、これら第１の温度センサ３及び湿度検出部４を
囲むように形成されたヒーター２と、このヒーター２の
熱影響を受けない程度に離間して、基板１上に配設され
た第２の温度センサ５とにより構成される。As shown in FIG. 8, for example, this humidity detecting apparatus comprises a substrate 1 made of quartz having high thermal insulation, a first temperature sensor 3 and a humidity detecting unit arranged side by side on the substrate 1. 4 and a heater 2 formed so as to surround the first temperature sensor 3 and the humidity detection unit 4, and a heater 2 provided on the substrate 1 so as to be separated from the heater 2 so as not to be affected by the heat of the heater 2. And two temperature sensors 5.
【０００９】ここで、ヒーター２は、プラチナ（Ｐｔ）
薄膜を用いた抵抗加熱ヒーターである。The heater 2 is made of platinum (Pt)
This is a resistance heater using a thin film.
【００１０】第１の温度センサ３は、プラチナ薄膜から
なるミアンダ状の抵抗パターンからなり、温度変化に基
づく抵抗値の変化から温度を検出するものである。The first temperature sensor 3 has a meandering resistance pattern made of a platinum thin film, and detects a temperature from a change in resistance value based on a change in temperature.
【００１１】湿度検出部４は、石英基板１上に、プラチ
ナ薄膜で構成された２つの下部電極４１ａ，４１ｂと、
ポリイミド膜からなる感湿膜４２と、金薄膜で構成され
た上部電極４３とが順次積層されて構成されており、感
湿膜４２の水分吸収による容量変化を湿度変化として取
り出すものである。The humidity detecting section 4 includes two lower electrodes 41a and 41b made of a platinum thin film on a quartz substrate 1,
A moisture-sensitive film 42 made of a polyimide film and an upper electrode 43 made of a gold thin film are sequentially laminated, and a change in capacitance due to moisture absorption of the moisture-sensitive film 42 is taken out as a change in humidity.
【００１２】第２の温度センサ５は、基板１上に直接形
成されたプラチナ（Ｐｔ）パターンからなるミアンダ状
の抵抗パターンからなり、前記第１の温度センサ３と同
様、温度変化に基づく抵抗値の変化から温度を検出する
ものである。The second temperature sensor 5 is formed of a meandering resistance pattern made of a platinum (Pt) pattern formed directly on the substrate 1 and, like the first temperature sensor 3, has a resistance value based on a temperature change. The temperature is detected from the change in the temperature.
【００１３】この構成によれば、食品保存庫のドアが閉
鎖された状態（以下、定常状態という）の時に、湿度検
出部４の周辺のみを局所的に所定温度以上に加熱した状
態で湿度検出を行うようにしているため、外気が入って
きた場合、即時に結露のない状態で湿度を測定すること
が可能となる上、結露のない状態で湿度を測定している
ため、センサ自体の劣化を防止することができる。According to this configuration, when the door of the food storage is closed (hereinafter, referred to as a steady state), only the periphery of the humidity detecting unit 4 is locally heated to a predetermined temperature or higher to detect the humidity. When outside air enters, humidity can be measured immediately without dew condensation, and since humidity is measured without dew condensation, the sensor itself deteriorates. Can be prevented.
【００１４】[0014]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、この
従来の湿度センサによれば、結露の発生は防止可能であ
るが、環境湿度を低湿度に圧縮して測定していることに
なる為、加熱することなく測定した場合に比較すると精
度が著しく低下してしまうという問題があった。すなわ
ち、図９に飽和水蒸気量曲線を示す通り、−５℃での飽
和水蒸気量は、３．４１（ｇ／ｍ3 ）である。また、３
５℃での飽和水蒸気量は、３９．６（ｇ／ｍ3 ）であ
る。飽和水蒸気量３．４１（ｇ／ｍ3 ）は、飽和水蒸気
量３９．６（ｇ／ｍ3 ）の８．６％Ｒ．Ｈ．である。か
りに湿度検出部周辺を３５℃に加熱しているとする。こ
のとき、湿度検出部４は、３５℃の時には０％Ｒ．Ｈ．
から８．６％Ｒ．Ｈ．の間でしか変化していないことに
なる。湿度検出部４周辺が３５℃の時には、測定環境の
相対湿度が０％Ｒ．Ｈ．から１００％Ｒ．Ｈ．に変化し
ても、湿度検出部４では０％Ｒ．Ｈ．から８．６％Ｒ．
Ｈ．しか変化しないことから、湿度検出部４において、
湿度検出部４周辺が−５℃の時の湿度分解能に比べて、
湿度検出部４周辺が３５℃の時の湿度分解能は１／０．
０８６＝１１．６倍となる。As described above, according to this conventional humidity sensor, it is possible to prevent the occurrence of dew condensation, but since the measurement is performed by compressing the environmental humidity to a low humidity. However, there is a problem that the accuracy is significantly reduced as compared with the case where the measurement is performed without heating. That is, as shown in the saturated water vapor amount curve in FIG. 9, the saturated water vapor amount at −5 ° C. is 3.41 (g / m 3 ). Also, 3
The saturated water vapor amount at 5 ° C. is 39.6 (g / m 3 ). The saturated steam amount of 3.41 (g / m 3 ) is 8.6% R.F. of the saturated steam amount of 39.6 (g / m 3 ). H. It is. It is assumed that the surroundings of the humidity detecting unit are heated to 35 ° C. At this time, the humidity detector 4 detects 0% R. H.
From 8.6% R. H. Only change between the two. When the surroundings of the humidity detection unit 4 are at 35 ° C., the relative humidity of the measurement environment is 0% R. H. To 100% R. H. , The humidity detecting unit 4 changes to 0% R. H. From 8.6% R.
H. Only changes in the humidity detector 4
Compared to the humidity resolution when the surroundings of the humidity detecting unit 4 is −5 ° C.,
When the humidity around the humidity detecting unit 4 is 35 ° C., the humidity resolution is 1/0.
086 = 11.6 times.
【００１５】よって、非加熱の場合の湿度精度を０．１
％Ｒ．Ｈ．と仮定すると、上記のように加熱した場合の
湿度精度は約１．２％Ｒ．Ｈ．となり、よって、非加熱
の場合の湿度精度が良いことは、明らかである。Therefore, the humidity accuracy in the case of no heating is 0.1
% R. H. Assuming that, the humidity accuracy when heated as described above is about 1.2% R. H. Thus, it is clear that the humidity accuracy in the case of no heating is good.
【００１６】このように、従来の加熱温度の設定方式を
用いると結露の発生を防止することはできるが、測定精
度が良くないという問題があった。As described above, when the conventional heating temperature setting method is used, it is possible to prevent the occurrence of dew condensation, but there is a problem that the measurement accuracy is not good.
【００１７】したがって、氷温高湿度環境で、耐久性が
良く、継続して高精度の湿度検出を行うことのできる湿
度センサの開発が望まれている。Therefore, development of a humidity sensor which has good durability in an environment of ice temperature and high humidity and which can continuously perform high-precision humidity detection is desired.
【００１８】そこで、この発明は、前記実情に鑑みてな
されたもので、高精度の湿度検出を行うとともに、耐久
性が良好で、継続した湿度測定のできる湿度センサを提
供することを目的とする。Accordingly, the present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a humidity sensor which performs high-precision humidity detection, has good durability, and can continuously measure humidity. .
【００１９】[0019]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、基板表面に配設され、湿度
を検出する湿度検出手段と、前記湿度検出手段に近接し
て前記基板表面上に配設され、前記湿度検出手段の周辺
温度を検出する第１の温度検出手段と、前記湿度検出手
段が設置された環境の温度を検出する第２の温度検出手
段と、前記湿度検出手段により予め設定された所定値未
満の湿度を検出したとき、前記湿度検出手段の周辺を該
湿度検出手段が設置された環境の定常状態時の温度より
少し高い第１の温度に加熱し、前記湿度検出手段により
前記所定値以上の湿度を検出したとき、前記湿度検出手
段の周辺を該湿度検出手段が設置された環境を囲む外気
温より少し高めの第２の温度に加熱する加熱手段とを具
備し、前記湿度検出手段の出力を、前記第１の温度検出
手段の出力と、前記第２の温度検出手段の出力とに基づ
いて換算し、測定すべき環境の湿度を測定するようにし
たことを特徴とする。また、請求項２記載の発明は、基
板表面に配設され、湿度を検出する湿度検出手段と、前
記湿度検出手段に近接して前記基板表面上に配設され、
前記湿度検出手段の周辺温度を検出する第１の温度検出
手段と、前記湿度検出手段が設置された環境の温度を検
出する第２の温度検出手段と前記湿度検出手段が設置さ
れた環境に設けられたドアの開閉を検知するドア開閉検
知手段と、前記ドア開閉検知手段によって前記ドアが開
けられたことが検知されたときに前記湿度検出手段の周
辺を局所的に加熱する加熱手段とを具備し、前記湿度検
出手段の出力を、前記第１の温度検出手段の出力と、前
記第２の温度検出手段の出力とに基づいて換算し、測定
すべき環境の湿度を測定するようにしたことを特徴とす
る。In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 is provided on a substrate surface, a humidity detecting unit for detecting humidity, and the substrate in proximity to the humidity detecting unit. A first temperature detecting unit disposed on a surface for detecting a temperature around the humidity detecting unit, a second temperature detecting unit for detecting a temperature of an environment in which the humidity detecting unit is installed, and the humidity detecting unit When detecting a humidity lower than a predetermined value set in advance by the means, the periphery of the humidity detecting means is heated to a first temperature slightly higher than a temperature in a steady state of an environment in which the humidity detecting means is installed, and Heating means for heating the periphery of the humidity detecting means to a second temperature slightly higher than the outside air temperature surrounding the environment in which the humidity detecting means is installed, when the humidity detecting means detects humidity equal to or higher than the predetermined value. Equipped with the humidity detection The output of the stage, and an output of said first temperature sensing means, converted on the basis of an output of said second temperature detecting means, characterized by being adapted to measure the humidity to be measured environment. Further, the invention according to claim 2 is provided on the substrate surface, humidity detecting means for detecting humidity, and disposed on the substrate surface in proximity to the humidity detecting means,
A first temperature detecting means for detecting a temperature around the humidity detecting means, a second temperature detecting means for detecting a temperature of an environment in which the humidity detecting means is installed, and an environment in which the humidity detecting means is installed. Door opening / closing detecting means for detecting the opening / closing of the door, and heating means for locally heating the periphery of the humidity detecting means when the door opening / closing detecting means detects that the door is opened. The output of the humidity detecting means is converted based on the output of the first temperature detecting means and the output of the second temperature detecting means to measure the humidity of the environment to be measured. It is characterized by.
【００２０】[0020]
【作用】すなわち、請求項１記載の発明によれば、湿度
を検出すべき環境において、当該環境が定常状態である
ときは、湿度検出部周辺を当該環境の温度より少し高め
の温度に維持し、外気の流入等により環境状態が一時的
に多湿になったときは、当該環境を囲む外気温より少し
高めの温度にまで湿度検出部周辺の温度を高めること
で、必要最低限の加熱にとどめて測定環境温度と湿度検
出領域温度との温度差を不必要に広げないようにするこ
とにより、湿度分解能を高め、高精度の湿度検出を継続
して行なうことができ、結露による湿度センサの劣化を
防止することができる。また、請求項２記載の発明によ
れば、湿度を検出すべき環境、例えば、氷温保存庫にお
いて、ドア開閉検知センサが氷温保存庫のドアが開けら
れたことを検知したとき、湿度検出部周辺の温度を高め
ることで、必要最低限の加熱にとどめて測定環境温度と
湿度検出領域温度との温度差を不必要に広げないように
することにより、湿度分解能を高め、高精度の湿度検出
を継続して行なうことができ、結露による湿度センサの
劣化を防止することができる。According to the first aspect of the present invention, in an environment where humidity is to be detected, when the environment is in a steady state, the temperature around the humidity detector is maintained at a temperature slightly higher than the temperature of the environment. However, when the environmental condition temporarily becomes humid due to the inflow of outside air, etc., the temperature around the humidity detector is raised to a temperature slightly higher than the outside temperature surrounding the environment, so that the minimum heating is required. By preventing the temperature difference between the measurement environment temperature and the humidity detection area temperature from unnecessarily widening, the humidity resolution can be increased and high-precision humidity detection can be performed continuously. Can be prevented. According to the second aspect of the invention, in an environment where humidity is to be detected, for example, in an ice temperature storage, when the door open / close detection sensor detects that the door of the ice temperature storage is opened, the humidity is detected. By increasing the temperature around the unit, it is possible to increase the humidity resolution and improve the accuracy of humidity by minimizing the necessary heating and preventing the temperature difference between the measurement environment temperature and the humidity detection area temperature from unnecessarily widening. Detection can be continuously performed, and deterioration of the humidity sensor due to dew condensation can be prevented.
【００２１】[0021]
【実施例】以下、添付図面を参照してこの発明の湿度セ
ンサの一実施例について詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the humidity sensor according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
【００２２】この発明の湿度センサに係る第１の実施例
について説明する。A first embodiment according to the humidity sensor of the present invention will be described.
【００２３】この湿度センサは、図１(a) および(b) に
示すように検出すべき環境の湿度変化に応じて、加熱手
段としてのヒーター２の加熱温度を制御し、環境状態が
多湿になったとき加熱温度を高めるように構成された温
度制御部６と外気の温度を検出する第３の温度センサ９
とを具備したことを特徴とする。This humidity sensor controls the heating temperature of the heater 2 as a heating means in accordance with a change in the humidity of the environment to be detected, as shown in FIGS. A temperature controller 6 configured to increase the heating temperature when the temperature rises, and a third temperature sensor 9 for detecting the temperature of the outside air.
And characterized in that:
【００２４】ここでは、定常状態時にはヒーター２を全
く加熱させず、環境状態が多湿になったとき、ヒーター
２の加熱により湿度検出部４周辺の温度を外気温まで高
めるものとした。Here, in the steady state, the heater 2 is not heated at all, and when the environmental condition becomes humid, the temperature around the humidity detecting section 4 is raised to the outside temperature by heating the heater 2.
【００２５】尚、他部については、図８に示した従来例
の湿度センサと同様に形成されている。The other parts are formed in the same manner as the conventional humidity sensor shown in FIG.
【００２６】すなわち、この湿度センサは、熱的に絶縁
性の高い石英からなる基板１と、この基板１上に並設さ
れた第１の温度センサ３及び湿度検出部４と、これら第
１の温度センサ３及び湿度検出部４を囲むように形成さ
れたヒーター２と、このヒーター２の熱影響を受けない
程度に離間して、基板１上に配設された第２の温度セン
サ５と、基板１上に配設された温度制御部６と、氷温保
存庫外部に配設された第３の温度センサ９により構成さ
れる。That is, this humidity sensor is composed of a substrate 1 made of quartz having high thermal insulation, a first temperature sensor 3 and a humidity detecting unit 4 juxtaposed on the substrate 1, and a first A heater 2 formed so as to surround the temperature sensor 3 and the humidity detector 4, a second temperature sensor 5 disposed on the substrate 1, separated from the heater 2 so as not to be affected by heat, and It comprises a temperature control unit 6 provided on the substrate 1 and a third temperature sensor 9 provided outside the ice temperature storage.
【００２７】ヒーター２は、プラチナ薄膜を用いた抵抗
加熱ヒーターである。The heater 2 is a resistance heater using a platinum thin film.
【００２８】第１の温度センサ３は、プラチナ薄膜から
なるミアンダ状の抵抗パターンからなり、温度変化に基
づく抵抗値の変化から温度を検出するものである。The first temperature sensor 3 has a meandering resistance pattern made of a platinum thin film, and detects temperature from a change in resistance value due to a change in temperature.
【００２９】湿度検出部４は、石英基板１上に、プラチ
ナ薄膜で構成された２つの下部電極４１ａ，４１ｂと、
ポリイミド膜からなる感湿膜４２と、金薄膜で構成され
た上部電極４３とが順次積層されて構成されており、感
湿膜４２の水分吸収による容量変化を湿度変化として取
り出すものである。The humidity detecting section 4 includes two lower electrodes 41a and 41b made of a platinum thin film on the quartz substrate 1,
A moisture-sensitive film 42 made of a polyimide film and an upper electrode 43 made of a gold thin film are sequentially laminated, and a change in capacitance due to moisture absorption of the moisture-sensitive film 42 is taken out as a change in humidity.
【００３０】第２の温度センサ５は、基板１上に直接形
成されたプラチナ（Ｐｔ）パターンからなるミアンダ状
の抵抗パターンからなり、前記第１の温度センサ３と同
様、温度変化に基づく抵抗値の変化から温度を検出する
ものである。The second temperature sensor 5 has a meandering resistance pattern made of a platinum (Pt) pattern formed directly on the substrate 1 and, like the first temperature sensor 3, has a resistance value based on a temperature change. The temperature is detected from the change in the temperature.
【００３１】第３の温度センサ９は、氷温保存庫外部の
温度を検知するものであればよく、前もって使用されて
いる温度センサがあれば、特別新たに湿度センサ７のた
めに設置せずに、その温度センサを利用しても良い。The third temperature sensor 9 only needs to detect the temperature outside the ice temperature storage. If there is a temperature sensor that has been used in advance, the temperature sensor 9 is not newly installed for the humidity sensor 7. Alternatively, the temperature sensor may be used.
【００３２】次に、この実施例の湿度センサの動作を図
２のフローチャートを参照して説明する。Next, the operation of the humidity sensor of this embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.
【００３３】ここでは、湿度センサ７本体に配設されて
いるヒーター２を定常状態では加熱させず、氷温保存庫
内の環境状態が多湿になって、湿度検出部４の出力が１
００％Ｒ．Ｈ．となった時、温度制御部６が第３の温度
センサ９の出力を読み取り、この出力によってヒータ２
の加熱温度を設定している。Here, the heater 2 provided in the humidity sensor 7 main body is not heated in a steady state, the environmental condition in the ice temperature storage becomes humid, and the output of the humidity detector 4 becomes 1
00% R. H. Is reached, the temperature control unit 6 reads the output of the third temperature sensor 9 and outputs the heater 2
Heating temperature is set.
【００３４】この湿度センサ７本体は、氷温高湿度環境
と呼ばれる−５〜０℃，およそ８０〜１００％Ｒ．Ｈ．
の氷温保存庫内の湿度検出のため庫内に設置されている
ものとする。The humidity sensor 7 has a temperature of -5 to 0.degree. H.
It is assumed that it is installed in the ice temperature storage to detect the humidity in the storage.
【００３５】氷温保存庫が定常状態である時、ヒーター
２は加熱されていない。この状態で湿度センサは庫内の
湿度測定を行う（ステップ１００）。ここで湿度検出部
４は常時湿度を検出するとともに第１および第２の温度
センサも温度を検出する。そして、湿度検出部４の出力
が１００％Ｒ．Ｈ．であるか否かを判断する（判断ステ
ップ１０１）。そして湿度検出部４の出力が１００％
Ｒ．Ｈ．に満たない（ステップ１０１ＮＯ）場合はその
まま測定を続行する（ステップ１００）。一方、例えば
オペレータによって、氷温保存庫のドアが開けられ、庫
内よりも高い温度の外気が入ってくると、氷温高湿度環
境と呼ばれる−５〜０℃、およそ８０〜１００％Ｒ．
Ｈ．に保たれていた庫内の湿度は瞬時に上昇する。この
ようにして、湿度検出部４の出力が上昇し１００％Ｒ．
Ｈ．を検知する（ステップ１０１ＹＥＳ）と、温度制御
部６は第３の温度センサ９から出力を読み取り、この出
力が示す外気の温度にヒーター２の加熱温度を設定する
（ステップ１０２）。そして、この設定した加熱温度に
ヒーター２を加熱させる（ステップ１０３）。湿度検出
部４の出力が１００％Ｒ．Ｈ．を検知してから、ヒータ
ー２の加熱温度が設定された温度に到達するまでの僅か
な間に生じた湿度検出部４上の結露は、瞬時にして取り
除かれる。但し、ヒーター２の加熱温度が設定された温
度に到達するまでと、結露が取り除かれるまでとの僅か
な間の湿度検出部４上に結露が生じている状態つまり湿
度検出部４から相対湿度１００％Ｒ．Ｈ．以下となる出
力がない（ステップ１０４ＮＯ）間は、ヒーター２の加
熱を継続するようにする（ステップ１０３）。水滴が湿
度検出部４から取り除かれて、湿度検出部４の出力が１
００％Ｒ．Ｈ．より低下したことを検知する（ステップ
１０４ＹＥＳ）と、温度制御部６は、ヒーター２に加熱
することを中止する指令を送り、加熱していたヒーター
２は加熱を中止する（ステップ１０５）。そして再びス
テップ１００に戻る……という動作を繰り返す。When the ice temperature storage is in a steady state, the heater 2 is not heated. In this state, the humidity sensor measures the humidity in the refrigerator (step 100). Here, the humidity detecting unit 4 always detects the humidity, and the first and second temperature sensors also detect the temperature. When the output of the humidity detector 4 is 100% R.F. H. Is determined (step 101). And the output of the humidity detector 4 is 100%
R. H. Is less than (NO in step 101), the measurement is continued as it is (step 100). On the other hand, for example, when the door of the ice temperature storage is opened by an operator and outside air having a temperature higher than that of the inside of the ice temperature storage enters, a temperature of -5 to 0 ° C., which is called an ice temperature and high humidity environment, is approximately 80 to 100% R.F.
H. The humidity inside the chamber, which had been kept at, instantly rises. In this way, the output of the humidity detecting unit 4 increases to 100% R.F.
H. Is detected (YES in step 101), the temperature controller 6 reads the output from the third temperature sensor 9, and sets the heating temperature of the heater 2 to the temperature of the outside air indicated by the output (step 102). Then, the heater 2 is heated to the set heating temperature (step 103). The output of the humidity detector 4 is 100% R. H. Is detected, the dew condensation on the humidity detecting unit 4 which occurs during a short time from when the heating temperature of the heater 2 reaches the set temperature is immediately removed. However, a state in which dew condensation occurs on the humidity detecting unit 4 for a short time until the heating temperature of the heater 2 reaches the set temperature and until the dew condensation is removed, that is, the relative humidity 100 % R. H. As long as there is no output below (NO in step 104), the heating of the heater 2 is continued (step 103). Water droplets are removed from the humidity detector 4 and the output of the humidity detector 4 becomes 1
00% R. H. When detecting that the temperature has further decreased (step 104 YES), the temperature control unit 6 sends a command to the heater 2 to stop heating, and the heater 2 that has been heated stops heating (step 105). Then, the process returns to step 100 again.
【００３６】上記のように、湿度センサ７本体内部で
は、部分的に温度制御部６によって、温度制御を行って
いる。湿度検出部４は常に湿度変化に基づく容量変化を
湿度変化として検出している。第１の温度センサ３及び
第２の温度センサ５は常に温度変化に基づく抵抗値の変
化から温度を検出している。As described above, inside the humidity sensor 7 main body, the temperature control is partially performed by the temperature control unit 6. The humidity detector 4 always detects a change in capacity based on a change in humidity as a change in humidity. The first temperature sensor 3 and the second temperature sensor 5 always detect the temperature from the change in the resistance value based on the temperature change.
【００３７】そして、この発明の湿度センサから、湿度
検出部４の出力する相対湿度を、第１の温度センサ３の
出力する湿度検出部４周辺の温度と、第２の温度センサ
５の出力する測定環境温度とを基に換算することによ
り、検出すべき測定環境湿度を求める。The relative humidity output from the humidity detecting section 4 is output from the humidity sensor of the present invention to the temperature around the humidity detecting section 4 output from the first temperature sensor 3 and from the second temperature sensor 5. The measurement environment humidity to be detected is obtained by converting the measurement environment temperature based on the measurement environment temperature.
【００３８】但し、湿度センサには、予め測定環境の温
度に対する飽和水蒸気量の関係を表す飽和水蒸気量曲線
（図３参照）が記憶されている。ここで、縦軸は飽和水
蒸気量（ｇ／ｍ3 ）、横軸は温度（℃）である。However, the humidity sensor stores in advance a saturated water vapor amount curve (see FIG. 3) representing the relationship between the amount of saturated water vapor and the temperature of the measurement environment. Here, the vertical axis represents the amount of saturated steam (g / m 3 ), and the horizontal axis represents the temperature (° C.).
【００３９】湿度検出部４において、出力した湿度検出
部４周辺の相対湿度を読み取る。そして、この時の湿度
検出部４周辺の温度を検出する第１の温度センサ３の検
出する温度値（第１の温度センサ３の出力）と、測定す
べき環境の温度を検出する第２の温度センサ５の検出す
る温度値（第２の温度センサ５の出力）を読み取る。読
み取った湿度検出部４、第１の温度センサ３及び第２の
温度センサ５の出力をそれぞれａ（％Ｒ．Ｈ．），ｂ
（℃），ｃ（℃）とする。The humidity detector 4 reads the output relative humidity around the humidity detector 4. Then, the temperature value detected by the first temperature sensor 3 (the output of the first temperature sensor 3) that detects the temperature around the humidity detection unit 4 at this time and the second value that detects the temperature of the environment to be measured are detected. The temperature value detected by the temperature sensor 5 (the output of the second temperature sensor 5) is read. Outputs of the read humidity detector 4, the first temperature sensor 3, and the second temperature sensor 5 are represented by a (% RH) and b, respectively.
(° C.) and c (° C.).
【００４０】温度ｂ（℃），ｃ（℃）の時の飽和水蒸気
量を飽和水蒸気量曲線から求め、それぞれＢ（ｇ／
ｍ3 ），Ｃ（ｇ／ｍ3 ）とすると、第１の温度センサ３
及び湿度検出部４が置かれ、ヒーター２によって囲まれ
ている内部の水蒸気量ｘ（ｇ／ｍ3 ）は、次式（１）で
求められる。The amounts of saturated steam at the temperatures b (° C.) and c (° C.) were obtained from the saturated steam amount curve, and B (g / g)
m 3 ) and C (g / m 3 ), the first temperature sensor 3
And the amount x (g / m 3 ) of water vapor inside the heater 2 and the surroundings of the heater 2 is obtained by the following equation (1).
【００４１】ｘ＝ａ×Ｂ／１００・・（１） この後、庫内温度すなわち第２の温度センサ５の出力ｃ
（℃）における飽和水蒸気量Ｃ（ｇ／ｍ3 ）との比を求
めることにより湿度ｙ（％Ｒ．Ｈ．）を求めることがで
きる。X = a × B / 100 (1) Thereafter, the internal temperature, that is, the output c of the second temperature sensor 5
The humidity y (% RH) can be obtained by calculating the ratio of the saturated water vapor amount C (g / m 3 ) at (° C.).
【００４２】ｙ＝ｘ／Ｃ×１００ ＝ａ×Ｂ／Ｃ・・・（２） このようにして、この発明の湿度センサから環境湿度が
測定された。Y = x / C × 100 = a × B / C (2) In this manner, the environmental humidity was measured by the humidity sensor of the present invention.
【００４３】但し、定常状態では、湿度検出部４の周辺
温度は測定環境温度と等しいので上述した湿度検出部４
により出力された相対湿度の換算は必要なくなり、湿度
検出部４の出力が環境湿度として測定される。However, in the steady state, since the ambient temperature of the humidity detector 4 is equal to the measurement environment temperature,
Does not need to be converted, the output of the humidity detector 4 is measured as the environmental humidity.
【００４４】次に、この発明の湿度センサに係る第２の
実施例について説明する。Next, a description will be given of a second embodiment according to the humidity sensor of the present invention.
【００４５】装置構成は、図４に示すように前記第１の
実施例から第３の温度センサ９を除くと同様である。The structure of the apparatus is the same as that of the first embodiment except that the third temperature sensor 9 is removed as shown in FIG.
【００４６】この実施例では、図５にフローチャートを
示すように、定常状態時には、湿度検出部４周辺を測定
環境温度より少し高めの温度に加熱し、環境状態が多湿
になった時には、湿度検出部４周辺を予め定めておいた
外気温より少し高めの温度に加熱するようにしたことを
特徴とする。In this embodiment, as shown in the flow chart of FIG. 5, in the steady state, the surroundings of the humidity detecting section 4 are heated to a temperature slightly higher than the measurement environment temperature, and when the environment becomes humid, the humidity detection is performed. It is characterized in that the periphery of the section 4 is heated to a temperature slightly higher than a predetermined outside air temperature.
【００４７】このフローチャートを参照して、この湿度
センサの動作を説明する。The operation of the humidity sensor will be described with reference to this flowchart.
【００４８】まず、温度制御部６に、予め氷温保存庫定
常状態時に、ヒーター２の加熱温度として設定する温度
Ｔ1 と氷温保存庫内の環境状態が多湿になった時、ヒー
ター２の加熱温度として設定する温度Ｔ2 とを入力する
（ステップ２００）。この温度Ｔ1 は、測定環境温度よ
り少し高めの温度とし、温度Ｔ2 は、外気温より少し高
めの温度とする。温度制御部６により温度Ｔ1 に設定さ
れたヒーター２（ステップ２０１）によって、加熱しな
がら湿度検出部４は湿度を測定する（ステップ２０
２）。そして湿度検出部４の出力が１００％Ｒ．Ｈ．で
ある否かを判断し（判断ステップ２０３）、１００％
Ｒ．Ｈ．でない（判断ステップ２０３ＮＯ）とすると、
ステップ２０２に戻り、そのまま測定を続行する。Firstly, the temperature control unit 6, during the pre-freezing storage chamber steady state, when the environmental conditions of the temperature T 1 and the freezing storage chamber to be set as the heating temperature of the heater 2 becomes humid, the heater 2 inputs the temperature T 2 be set as the heating temperature (step 200). The temperature T 1 is a temperature slightly higher than the measurement environment temperature, and the temperature T 2 is a temperature slightly higher than the outside air temperature. By a heater 2 (step 201) which is set to temperature T 1 of the temperature control unit 6, the humidity detecting section 4 while heating measures the humidity (Step 20
2). And the output of the humidity detecting section 4 is 100% R. H. Is determined (determination step 203), and 100%
R. H. If not (judgment step 203 NO),
Returning to step 202, the measurement is continued as it is.
【００４９】一方、検出する測定環境状態が多湿になり
湿度検出部４の出力が１００％Ｒ．Ｈ．になる（ステッ
プ２０３ＹＥＳ）と、温度制御部６により温度Ｔ2 に設
定される（ステップ２０４）。そして、湿度検出部４の
出力は１００％Ｒ．Ｈ．より小さくなる（ステップ２０
５ＹＥＳ）と、再び温度制御部６によりヒーター２は温
度Ｔ1 に設定される（ステップ２０１）。以下、湿度検
出部４の出力から測定すべき環境湿度を求めるための換
算法は、第１の実施例と同じである。On the other hand, the measurement environment state to be detected becomes humid, and the output of the humidity detection unit 4 becomes 100% R. H. Becomes (step 203YES), is set to temperature T 2 by the temperature control unit 6 (step 204). The output of the humidity detector 4 is 100% R. H. Smaller (step 20
And 5YES), the heater 2 is set to a temperature T 1 of the temperature control unit 6 again (step 201). Hereinafter, the conversion method for obtaining the environmental humidity to be measured from the output of the humidity detection unit 4 is the same as in the first embodiment.
【００５０】以上のように、湿度検出部に結露が生じる
と湿度センサは測定不能になることから、この結露を取
り除くために従来の湿度センサの場合は、ヒーター２に
よる加熱によって、湿度検出手段周辺を常に外気より高
い温度に設定していたが、この例では、定常状態の時
は、湿度検出手段周辺を測定環境温度より少し高い温度
まで加熱し、結露発生した時は、瞬時に加熱温度を上昇
し、結露除去した時は、加熱を停止するようにしている
ため、湿度検出手段周辺の加熱を必要最低限にとどめ
て、測定すべき環境の温度と、湿度検出手段周辺の温度
との温度差を不必要に広げないようにすることにより、
湿度検出手段の精度性能を最大限に利用し、高精度の湿
度検出をすることができる。As described above, if dew condensation occurs in the humidity detecting section, the humidity sensor becomes unmeasurable. In order to remove the dew condensation, in the case of the conventional humidity sensor, heating around the heater 2 Was always set to a temperature higher than the outside air, but in this example, in the steady state, the surroundings of the humidity detection means were heated to a temperature slightly higher than the measurement environment temperature, and when dew condensation occurred, the heating temperature was instantaneously increased. When the temperature rises and dew is removed, heating is stopped.Therefore, heating around the humidity detection means is kept to the minimum necessary, and the temperature of the environment to be measured and the temperature around the humidity detection means By not unnecessarily widening the difference,
Highly accurate humidity detection can be performed by making full use of the accuracy performance of the humidity detection means.
【００５１】このように、ヒーター２を配設しない従来
方式の湿度センサを用いた場合、ドアを開閉した後５０
分程度経過しないと結露が消えなかったが、本発明で
は、瞬時に結露を解消することができるため、結露から
湿度検出部４の劣化を防止することができる上、結露が
生じてから短時間のうちに高精度の湿度測定を再開する
ことができるため常に高精度の検出を行うことが可能と
なる。As described above, when the conventional humidity sensor without the heater 2 is used, 50%
Although the condensation did not disappear after about a minute, in the present invention, since the condensation can be eliminated instantaneously, the deterioration of the humidity detecting unit 4 due to the condensation can be prevented, and a short time after the occurrence of the condensation, Since the high-precision humidity measurement can be restarted during the first time, high-precision detection can always be performed.
【００５２】さらに、前記第１の実施例では、氷温保存
庫が定常状態の時、ヒーター２による加熱を行うことな
く、湿度検出部４周辺温度と氷温保存庫内温度とを同じ
温度としていたが、第２の実施例では、定常状態の時も
湿度検出部４周辺温度を氷温保存庫内温度よりも僅かに
高めておくようにしているため、湿度検出部４の結露を
防ぐことができる。Further, in the first embodiment, when the ice temperature storage is in a steady state, the temperature around the humidity detector 4 and the temperature inside the ice temperature storage are set to the same temperature without heating by the heater 2. However, in the second embodiment, the temperature around the humidity detecting unit 4 is set slightly higher than the temperature in the ice temperature storage in the steady state, so that dew condensation on the humidity detecting unit 4 can be prevented. Can be.
【００５３】例えば、第１の実施例では氷温保存庫内を
９８％Ｒ．Ｈ．に設定するが、９８％Ｒ．Ｈ．になるま
で加湿していき９８％Ｒ．Ｈ．になった時、加湿を中止
してもオーバーシュートにより部分的に１００％Ｒ．
Ｈ．を越えてしまう状態となってしまうが、この例によ
ればこのようなこともない。ところが、さらに、氷温保
存庫内の環境を−３℃，９９％Ｒ．Ｈ．に設定したが、
温度が低下して−４℃となることもある。すると、相対
湿度は高くなり、１００％Ｒ．Ｈ．を越えて結露するこ
とも考えられる。しかし、湿度検出部４周辺を少し加熱
しておくことによって、このような時にでも湿度検出部
４の結露を防ぐことができる。従って、センサの劣化を
防ぐことができ、寿命を延ばすことができる。For example, in the first embodiment, the temperature in the ice temperature storage is 98% R.F. H. Is set to 98% R. H. Humidify until 98% R. H. When humidification is stopped, even if humidification is stopped, 100% R.
H. However, according to this example, such a situation does not occur. However, the environment inside the ice temperature storage was -3 ° C. and 99% R.F. H. Was set to
The temperature may drop to -4 ° C. Then, the relative humidity increases, and 100% R. H. It is also conceivable that condensation forms over However, by slightly heating the periphery of the humidity detecting unit 4, it is possible to prevent condensation of the humidity detecting unit 4 even in such a case. Therefore, deterioration of the sensor can be prevented, and the life can be extended.
【００５４】このように、氷温保存庫定常状態の時、湿
度検出部周辺温度を氷温保存庫内温度よりも僅かに高め
ておくようにすることにより、僅かに測定精度は下がる
が、結露の発生防止がより確実となる。As described above, when the temperature around the humidity detector is slightly higher than the temperature in the ice temperature storage in the steady state of the ice temperature storage, the measurement accuracy is slightly lowered, Is more reliably prevented.
【００５５】この発明の湿度センサの第３の実施例につ
いて説明する。A description will be given of a third embodiment of the humidity sensor according to the present invention.
【００５６】第１の実施例及び第２の実施例では、温度
制御部６においてヒーター２の加熱温度を上げる情報の
入手手段として湿度検出部４を用いたが、この実施例で
は、この入手手段として氷温保存庫のドアの開閉を検知
する開閉検知センサ８を用いる。この開閉検知センサ８
は、ドアの開閉を検知するものであればよく、前もって
使用されている開閉検知センサがあれば、特別新たに湿
度センサのために設置せずに、その開閉検知センサを利
用しても良い。In the first embodiment and the second embodiment, the humidity detecting unit 4 is used as the means for obtaining the information for increasing the heating temperature of the heater 2 in the temperature control unit 6, but in this embodiment, this obtaining means is used. The opening / closing detection sensor 8 for detecting the opening / closing of the door of the ice temperature storage is used. This open / close detection sensor 8
Is only required to detect the opening and closing of the door. If there is an opening / closing detection sensor used in advance, the opening / closing detection sensor may be used without newly installing a new humidity sensor.
【００５７】この第３の実施例の湿度センサは、図６に
示すように、第１の実施例と同じ内部構造をした湿度セ
ンサ７本体と開閉検知センサ８とから構成される。この
開閉検知センサ８は、氷温保存庫のドアに設置されてい
る。As shown in FIG. 6, the humidity sensor according to the third embodiment includes a humidity sensor 7 having the same internal structure as the first embodiment and an open / close detection sensor 8. The open / close detection sensor 8 is installed on the door of the ice temperature storage.
【００５８】上述した第３の実施例の湿度センサの動作
を図７のフローチャートを参照して説明する。The operation of the humidity sensor according to the third embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.
【００５９】この湿度センサ７本体は、氷温高湿度環境
と呼ばれる−５〜０℃，およそ８０〜１００％Ｒ．Ｈ．
とするべき氷温保存庫内の湿度検出のため庫内に設置さ
れているものとする。The humidity sensor 7 has a temperature of -5 to 0.degree. H.
It shall be installed in the ice temperature storage to detect the humidity in the storage.
【００６０】氷温保存庫のドアが閉鎖状態では、ヒータ
ー２は加熱されていない。この状態で湿度センサは、庫
内の湿度測定を行う（ステップ３００）。ここで、湿度
検出部４は常時湿度を検出するとともに、第１および第
２の温度センサも温度を検出する。そして、氷温保存庫
のドアに取り付けられた開閉検知センサ８がドアが開閉
されたか否かを判断する（判断ステップ３０１）。そし
て開閉検知センサ８がオペレータによってドアが開けら
れたことを検知しない（ステップ３０１ＮＯ）間はその
まま測定を続行する。When the door of the ice temperature storage is closed, the heater 2 is not heated. In this state, the humidity sensor measures the humidity in the refrigerator (Step 300). Here, the humidity detector 4 always detects humidity, and the first and second temperature sensors also detect temperature. Then, the open / close detection sensor 8 attached to the door of the ice temperature storage determines whether or not the door has been opened / closed (decision step 301). Then, while the opening / closing detection sensor 8 does not detect that the door is opened by the operator (step 301 NO), the measurement is continued as it is.
【００６１】オペレータによって氷温保存庫のドアが開
けられると、氷温保存庫のドアに取り付けられた開閉検
知センサ８がこれを検知して、出力する（ステップ３０
１ＹＥＳ）。この出力により、温度制御部６は、第３の
温度センサ９の出力を読み取り、この出力が示す外気の
温度にヒーター２の加熱温度を設定する（ステップ３０
２）。ヒーター２は、設定された加熱温度まで加熱する
（ステップ３０３）。そして、温度制御部６は、湿度検
出部４に生じた結露がすべて除去されずに相対湿度１０
０％Ｒ．Ｈ．以下となる出力がされない（ステップ３０
４ＮＯ）間は、ヒーター２の加熱を継続するようにする
（ステップ３０３）。湿度検出部４に発生した結露が除
去されて、湿度検出部４が相対湿度１００％Ｒ．Ｈ．以
下となる出力がされる（ステップ３０４ＹＥＳ）と、温
度制御部６は、ヒーター２の加熱を中止させる（ステッ
プ３０５）。以下、湿度検出部４の出力から測定すべき
環境湿度を求めるための換算法は、第１の実施例と同じ
である。When the door of the ice temperature storage is opened by the operator, the open / close detection sensor 8 attached to the door of the ice temperature storage detects this and outputs it (step 30).
1YES). Based on this output, the temperature control unit 6 reads the output of the third temperature sensor 9 and sets the heating temperature of the heater 2 to the temperature of the outside air indicated by the output (step 30).
2). The heater 2 heats up to the set heating temperature (step 303). Then, the temperature control unit 6 determines that the relative humidity 10
0% R. H. The following output is not output (step 30)
During 4NO), the heater 2 is kept heated (step 303). The dew condensation generated in the humidity detecting unit 4 is removed, and the humidity detecting unit 4 detects the relative humidity of 100% R. H. When the following output is output (YES in step 304), the temperature control unit 6 stops heating the heater 2 (step 305). Hereinafter, the conversion method for obtaining the environmental humidity to be measured from the output of the humidity detection unit 4 is the same as in the first embodiment.
【００６２】上述した第３の実施例では、第１の実施例
の効果に加えて、ヒーター２の加熱温度を上げる情報の
入手手段として氷温保存庫のドアの開閉を検知する開閉
検知センサ８を用いたことにより、環境状態が多湿にな
りうる瞬間をとらえることができるため、より速く湿度
検出部４の結露除去の対応ができ、湿度検出部４の結露
の影響を防ぐことができるという効果がある。In the third embodiment described above, in addition to the effects of the first embodiment, an open / close detection sensor 8 for detecting the opening / closing of the door of the ice temperature storage as a means for obtaining information for increasing the heating temperature of the heater 2. Is used, it is possible to catch the moment when the environmental condition becomes humid, so that it is possible to more quickly cope with the dew condensation of the humidity detecting unit 4 and to prevent the influence of the dew condensation of the humidity detecting unit 4. There is.
【００６３】さらに、第２の実施例のように定常状態時
には、ヒーター２を少し加熱させ、環境状態が多湿にな
った時、予め設定した温度までヒーター２を加熱させる
加熱制御方法を第３の実施例に用いるようにしても良
い。Further, a heating control method of heating the heater 2 slightly in a steady state as in the second embodiment and heating the heater 2 to a preset temperature when the environmental condition becomes humid is described in a third embodiment. You may make it use for an Example.
【００６４】また、前記実施例では、すべてのセンサを
薄膜で形成し、モノリシックに形成したが、第２の温度
センサ５については、適宜チップ化し、ハイブリッドに
形成するようにしてもよい。In the above embodiment, all the sensors are formed of a thin film and are formed monolithically. However, the second temperature sensor 5 may be appropriately formed into a chip and formed as a hybrid.
【００６５】さらにヒーター２の形状としては実施例に
限定されることなく、適宜変更可能である。ただし、湿
度検出部４と第１の温度センサとが等しい温度に加熱さ
れるように形成する必要がある。Further, the shape of the heater 2 is not limited to the embodiment but can be changed as appropriate. However, it is necessary to form the humidity detector 4 and the first temperature sensor so that they are heated to the same temperature.
【００６６】尚、温度制御部６は基板１上に配設されな
くても良い。The temperature control section 6 does not have to be provided on the substrate 1.
【００６７】[0067]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、 １） 湿度を検出すべき環境が定常状態であるときは、
湿度検出部周辺を当該湿度を検出すべき環境の温度より
少し高めに設定された第１の所定温度に加熱し、外気の
流入等によって環境状態が多湿になったときに、湿度検
出部周辺の温度を当該湿度を検出すべき環境を囲む外気
温より少し高めに設定された第２の所定温度にまで高め
ることで、湿度検出部周辺を必要最低限の加熱にとどめ
て、測定環境温度と湿度検出領域温度との温度差を不必
要に広げないようにする ２） ドア開閉検知センサが氷温保存庫のドアが開けら
れたことを検知したとき、湿度検出部周辺の温度を高め
るようにして、測定環境温度と湿度検出領域温度との温
度差を不必要に広げないようにすることにより、氷結、
結露の影響を防ぐとともに、湿度分解能を高め、湿度検
出手段の性能を最大限に引き出して高精度の湿度検出が
できるという効果を奏する。As described above, according to the present invention, 1) When the environment in which humidity is to be detected is in a steady state,
The surroundings of the humidity detecting unit are heated to a first predetermined temperature which is set slightly higher than the temperature of the environment in which the humidity is to be detected. By increasing the temperature to a second predetermined temperature which is set slightly higher than the outside air temperature surrounding the environment in which the humidity is to be detected, the surroundings of the humidity detection unit are kept to a minimum necessary temperature, and the measurement environment temperature and the humidity are measured. Do not unnecessarily widen the temperature difference from the detection area temperature. 2) When the door open / close detection sensor detects that the door of the ice temperature storage is opened, increase the temperature around the humidity detection unit. Freezing, by preventing the temperature difference between the measurement environment temperature and the humidity detection area temperature from unnecessarily widening,
The effect of preventing the influence of dew condensation, improving the humidity resolution, and maximizing the performance of the humidity detecting means to achieve high-precision humidity detection can be achieved.
【図１】本発明第１の実施例の湿度センサを示す図FIG. 1 is a diagram showing a humidity sensor according to a first embodiment of the present invention.
【図２】同湿度センサの動作を示すフローチャート図FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the humidity sensor.
【図３】温度−飽和水蒸気量との関係を示す図FIG. 3 is a diagram showing a relationship between temperature and the amount of saturated steam.
【図４】本発明第２の実施例の湿度センサを示す図FIG. 4 is a diagram showing a humidity sensor according to a second embodiment of the present invention.
【図５】本発明第２の実施例の湿度センサ動作を示すフ
ローチャート図FIG. 5 is a flowchart showing the operation of a humidity sensor according to a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明第３の実施例の湿度センサを示す図FIG. 6 is a diagram showing a humidity sensor according to a third embodiment of the present invention.
【図７】同湿度センサの動作を示すフローチャート図FIG. 7 is a flowchart showing the operation of the humidity sensor.
【図８】従来例の湿度センサを示す図FIG. 8 is a diagram showing a conventional humidity sensor.
【図９】飽和水蒸気量曲線を示す図FIG. 9 is a diagram showing a saturated water vapor amount curve.
１ 基板 ２ ヒーター ３ 第１の温度センサ ４ 湿度検出部 ５ 第２の温度センサ ６ 温度制御部 ７ 湿度センサ本体 ８ 開閉検知センサ ９ 第３の温度センサ ４１ａ，４１ｂ 下部電極 ４２ 感湿膜 ４３ 上部電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Heater 3 1st temperature sensor 4 Humidity detector 5 2nd temperature sensor 6 Temperature controller 7 Humidity sensor main body 8 Open / close detection sensor 9 3rd temperature sensor 41a, 41b Lower electrode 42 Moisture sensitive film 43 Upper electrode
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 27/00 - 27/24 G01N 25/64 F25D 11/00 - 16/00 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 27/00-27/24 G01N 25/64 F25D 11/00-16/00
Claims (2)
度検出手段と、 前記湿度検出手段に近接して前記基板表面上に配設さ
れ、前記湿度検出手段の周辺温度を検出する第１の温度
検出手段と、 前記湿度検出手段が設置された環境の温度を検出する第
２の温度検出手段と、 前記湿度検出手段により予め設定された所定値未満の湿
度を検出したとき、前記湿度検出手段の周辺を該湿度検
出手段が設置された環境の定常状態時の温度より少し高
い第１の温度に加熱し、前記湿度検出手段により前記所
定値以上の湿度を検出したとき、前記湿度検出手段の周
辺を該湿度検出手段が設置された環境を囲む外気温より
少し高めの第２の温度に加熱する加熱手段とを具備し、 前記湿度検出手段の出力を、前記第１の温度検出手段の
出力と、前記第２の温度検出手段の出力とに基づいて換
算し、測定すべき環境の湿度を測定するようにしたこと
を特徴とする湿度センサ。1. A humidity detecting means disposed on a substrate surface and detecting humidity, a first detecting means disposed on the substrate surface in proximity to the humidity detecting means and detecting a peripheral temperature of the humidity detecting means. Temperature detecting means, second temperature detecting means for detecting the temperature of the environment in which the humidity detecting means is installed, and detecting the humidity when the humidity detecting means detects a humidity lower than a predetermined value set in advance. Heating the periphery of the unit to a first temperature slightly higher than the temperature in a steady state of the environment in which the humidity detecting unit is installed, and detecting the humidity equal to or higher than the predetermined value by the humidity detecting unit; Heating means for heating the periphery of the device to a second temperature slightly higher than the outside air temperature surrounding the environment in which the humidity detecting means is installed; and outputting the output of the humidity detecting means to the first temperature detecting means. Output and the second temperature A humidity sensor, characterized in that in terms on the basis of the output of the detecting means, and to measure the humidity of the environment to be measured.
度検出手段と、 前記湿度検出手段に近接して前記基板表面上に配設さ
れ、前記湿度検出手段の周辺温度を検出する第１の温度
検出手段と、 前記湿度検出手段が設置された環境の温度を検出する第
２の温度検出手段と前記湿度検出手段が設置された環境
に設けられたドアの開閉を検知するドア開閉検知手段
と、 前記ドア開閉検知手段によって前記ドアが開けられたこ
とが検知されたときに前記湿度検出手段の周辺を局所的
に加熱する加熱手段とを具備し、 前記湿度検出手段の出力を、前記第１の温度検出手段の
出力と、前記第２の温度検出手段の出力とに基づいて換
算し、測定すべき環境の湿度を測定するようにしたこと
を特徴とする湿度センサ。2. A humidity detecting means disposed on a substrate surface and detecting humidity, a first detecting means disposed on the substrate surface in proximity to the humidity detecting means and detecting a peripheral temperature of the humidity detecting means. Temperature detection means, second temperature detection means for detecting the temperature of the environment in which the humidity detection means is installed, and door open / close detection means for detecting the opening and closing of a door provided in the environment in which the humidity detection means is installed And heating means for locally heating the periphery of the humidity detecting means when the door opening / closing detecting means detects that the door has been opened, wherein the output of the humidity detecting means is the A humidity sensor, wherein the humidity is converted based on the output of the first temperature detecting means and the output of the second temperature detecting means to measure the humidity of the environment to be measured.
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| JP16121292A JP3295894B2 (en) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | Humidity sensor |
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Cited By (1)
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