JP3253761B2 - Outer bonding apparatus and method - Google Patents

Outer bonding apparatus and method

Info

Publication number
JP3253761B2
JP3253761B2 JP14471593A JP14471593A JP3253761B2 JP 3253761 B2 JP3253761 B2 JP 3253761B2 JP 14471593 A JP14471593 A JP 14471593A JP 14471593 A JP14471593 A JP 14471593A JP 3253761 B2 JP3253761 B2 JP 3253761B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bonding tool
bonding
outer lead
wiring pattern
tcp
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP14471593A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH077044A (en
Inventor
峰昭 飯田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP14471593A priority Critical patent/JP3253761B2/en
Publication of JPH077044A publication Critical patent/JPH077044A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3253761B2 publication Critical patent/JP3253761B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、TCP部品
(Tape Carrier Package)のアウタリ−ドをプリント基
板の配線パタ−ンに接続するアウタリ−ドボンディング
装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an outer bonding apparatus for connecting an outer lead of a TCP component (tape carrier package) to a wiring pattern of a printed circuit board, for example.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体電子部品の高機能化、小型
薄型化の要請に応え、TAB(TapeAutomated Bonding
)の技術を用いて製造されるTCP部品(Tape Carrie
r Package)が、特に薄型の電子機器に組み込まれるよ
うになっている。
2. Description of the Related Art In recent years, TAB (Tape Automated Bonding)
) TCP parts (Tape Carrie)
r Package) is being incorporated into particularly thin electronic devices.

【0003】TCP部品は図2に1で示すようなもの
で、インナ−リ−ド2およびアウタリ−ド3が形成され
たシネフィルム状のフィルムキャリア4を用いる。この
TCP部品1は、上記フィルムキャリア4のインナ−リ
−ド3に半導体素子5をボンディングした後、上記アウ
タリ−ド3にそってこのフィルムキャリア4を打ち抜
き、上記アウタリ−ド3をガルウイング形状にフォ−ミ
ングして製造される。
[0003] The TCP component is as shown by 1 in FIG. 2 and uses a cine-film-like film carrier 4 on which an inner lead 2 and an outer lead 3 are formed. In this TCP component 1, after bonding the semiconductor element 5 to the inner lead 3 of the film carrier 4, the film carrier 4 is punched along the outer lead 3, and the outer lead 3 is formed into a gull-wing shape. It is manufactured by forming.

【0004】そして、このTCP部品1は、上記各アウ
タリ−ド3…をプリント基板6(基板)の配線パタ−ン
7…上に当接させて載置され、上記アウタリ−ド3を上
記配線パタ−ン7に接合(アウタリ−ドボンディング)
することで、このプリント基板6上に実装される。
The TCP component 1 is mounted by placing the outer leads 3 on a wiring pattern 7 of a printed circuit board 6 (substrate), and placing the outer leads 3 on the wiring. Joining to pattern 7 (outer lead bonding)
By doing so, it is mounted on the printed circuit board 6.

【0005】このようなTCP部品1によれば、多ピン
狭ピッチ化を容易に実現することが容易である。しか
し、上記フィルムキャリア4は、上述したようにシネフ
ィルム状のものであるから変形し易く、また、上記アウ
タリ−ド3は微細であるため簡単に変形してしまうとい
う欠点もある。
[0005] According to such a TCP component 1, it is easy to easily realize a multi-pin narrow pitch. However, since the film carrier 4 has a cine film shape as described above, the film carrier 4 is easily deformed, and the outer lead 3 is minute and easily deformed.

【0006】従来、このようなTCP部品1をプリント
基板6に実装するアウタリ−ドボンディング装置は、図
3(a)に示すような構成であった。図中8は、このT
CP部品1の上面を吸着することでこのTCP部品1を
保持する吸着ノズルである。この吸着ノズル8の径方向
外側には、このTCP部品1のアウタリ−ド3をプリン
ト基板6に加熱すると共に加圧するボンディングツ−ル
9と、このボンディングツ−ル9を保持するホルダ10
が設けられている。
Conventionally, an outer bonding apparatus for mounting such a TCP component 1 on a printed circuit board 6 has a configuration as shown in FIG. 8 in the figure shows this T
The suction nozzle holds the TCP component 1 by sucking the upper surface of the CP component 1. A bonding tool 9 for heating and pressurizing the outer lead 3 of the TCP component 1 on the printed circuit board 6 and a holder 10 for holding the bonding tool 9 are provided radially outside the suction nozzle 8.
Is provided.

【0007】一般に、上記吸着ノズル8と、上記ボンデ
ィングツ−ル9を保持するホルダ10は、共に、図示し
ないスプリングを介して、同一駆動源に接続されてい
る。したがって、上記吸着ノズル8とボンディングツ−
ル9は同時に上下駆動される。しかし、下降中に例えば
上記吸着ノズル8の動きが規制された場合にはこの吸着
ノズル8に取り付けれたスプリングが圧縮されるだけ
で、上記ボンディングツ−ル9はそのまま下降し続ける
ことができる。
In general, the suction nozzle 8 and the holder 10 holding the bonding tool 9 are both connected to the same driving source via a spring (not shown). Therefore, the suction nozzle 8 is connected to the bonding tool.
9 is simultaneously driven up and down. However, if the movement of the suction nozzle 8 is restricted during the lowering, for example, only the spring attached to the suction nozzle 8 is compressed, and the bonding tool 9 can continue to lower as it is.

【0008】次に、アウタリ−ドボンディング工程につ
いて図3(a)〜(c)を参照して説明する。図3
(a)に示すように、上記プリント基板6上には、この
TCP部品1の各アウタリ−ド3…に対応する配線パタ
−ン7…が形成されている。この配線パタ−ン7…上に
は、図4(a)に示すように、あらかじめハンダ材11
が供給されている。
Next, the outer bonding process will be described with reference to FIGS. FIG.
As shown in FIG. 1A, wiring patterns 7 corresponding to the outer leads 3 of the TCP component 1 are formed on the printed circuit board 6. As shown in FIG. 4A, a solder material 11 is previously formed on the wiring patterns 7.
Is supplied.

【0009】ついで、図3(b)に示すように、上記T
CP部品を吸着保持した吸着ノズル8およびボンディン
グツ−ル9は、この配線パタ−ン7の上方に位置決めさ
れ、下降することで、上記TCP部品1のアウタリ−ド
3…を上記配線パタ−ン7のハンダ材8に当接させる。
Next, as shown in FIG.
The suction nozzle 8 and the bonding tool 9 which hold the CP component by suction are positioned above the wiring pattern 7 and descend to lower the outer leads 3... Of the TCP component 1 to the wiring pattern. 7 is brought into contact with the solder material 8.

【0010】この状態で上記吸着ノズル8の下降は停止
するが、上記ボンディングツ−ル9は、さらに下降し、
図3(c)に示すように、上記アウタリ−ド3の上面に
当接する。そして、上記図示しないスプリングの弾性力
により上記アウタリ−ド3…を上記配線パタ−ン7…
(ハンダ材11)に押し付けると共に加熱し、上記ハン
ダ材11を溶融させることで、上記すべてのアウタリ−
ド3…を配線パタ−ン7…に一括的に熱圧着する。この
ことで、上記TCP部品1は上記プリント基板6にアウ
タリ−ドボンディングされる。
In this state, the lowering of the suction nozzle 8 stops, but the bonding tool 9 further lowers.
As shown in FIG. 3 (c), it comes into contact with the upper surface of the outer lead 3. The outer leads 3 are connected to the wiring patterns 7 by the elastic force of a spring (not shown).
(Solder material 11) and heated to melt the solder material 11, so that all of the outer
Are thermally bonded to the wiring patterns 7 collectively. Thus, the TCP component 1 is outer bonded to the printed circuit board 6.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来例のア
ウタリ−ドボンディング装置は、以下説明する解決すべ
き課題がある。すなわち、上記TCP部品1は多ピン
(多端子)大型化しているが、そのような大型TCP部
品1は、上記フィルムキャリア4が可撓性であるため、
それ自体で反りなどの変形を生じやすい。このフィルム
キャリア4が反ると、図4(a)に示すように、上記各
アウタリ−ド3…の先端部の高さに差が生じることとな
る。
The conventional outer bonding apparatus has the following problems to be solved. That is, although the TCP component 1 is multi-pin (multi-terminal) large, such a large TCP component 1 has a disadvantage that the film carrier 4 is flexible.
Deformation such as warpage tends to occur by itself. If the film carrier 4 is warped, there will be a difference in the height of the tip of each of the outer leads 3 as shown in FIG.

【0012】このようなアウタリ−ド3すべてを上記配
線パタ−ン7に供給されたハンダ材11上に当接させる
場合には、図に示す中央部のアウタリ−ド3ほど上記ハ
ンダ材11に強くかつ長時間押し付けられることにな
る。
When all of the outer leads 3 are brought into contact with the solder material 11 supplied to the wiring pattern 7, the outer leads 3 at the center shown in FIG. It will be pressed strongly and for a long time.

【0013】上記ハンダ材11は、かまぼこ形状に供給
されているため、上述のように強く押し付けられたアウ
タリ−ド3は図4(b)に示すように上記ハンダ材11
の表面に沿って横ずれし、隣のアウタリ−ド3に接触し
たり、接合強度が不十分になったりする場合がある。
Since the solder material 11 is supplied in a semi-cylindrical shape, the outer lead 3 strongly pressed as described above is used as shown in FIG.
Laterally along the surface of the outer lead 3 to come into contact with the adjacent outer lead 3 or insufficient bonding strength.

【0014】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたもので、TCP部品のアウタリ−ドボンディングを
良好に行うことができるアウタリ−ドボンディング装置
を提供することを目的とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to provide an outer bonding apparatus capable of performing outer bonding of a TCP component in a satisfactory manner.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】この発明の第1の手段
は、TCP部品を保持する保持機構と、押圧面で上記T
CP部品のアウタリードを基板に設けられた配線パター
ンに加圧、加熱し、この配線パターンに接合するボンデ
ィングツールとを具備するアウタリードボンディング装
置において、上記保持機構を駆動する保持機構駆動手段
と、上記ボンディングツールを駆動するボンディングツ
ール駆動手段と、上記保持機構に保持されたTCP部品
のリードを検出し、上記ボンディングツールの押圧面
上記リードのこのボンディングツールの押圧面が当接さ
れる面とを当接させるのに必要な上記ボンディングツー
ルと吸着ノズルの相対的駆動量を求めるアウタリード検
出手段とを具備することを特徴とするアウタリードボン
ディング装置である。
According to a first aspect of the means of the present invention includes a holding mechanism that holds the TCP part, the T in the pressing surface
Pressurizing the outer lead of the CP component to a wiring pattern provided on the substrate and heated, the outer lead bonding apparatus comprising a bonding tool for bonding to the wiring pattern, a holding mechanism drive means for drive the said holding mechanism, a bonding tool drive means for drive the above bonding tool to detect the lead TCP component held in the holding mechanism, the plane in which the pressing surface abuts against the bonding tool of the pressing surface and the lead of the bonding tool And an outer lead detecting means for obtaining a relative drive amount of the suction nozzle necessary for bringing the suction tool into contact with the bonding tool.

【0016】この発明の第2の手段は、保持機構で保持
したTCP部品のアウタリードを、ボンディングツール
を用いて加熱し加圧することで、基板に設けられた配線
パターンに接続するアウタリードボンディング方法にお
いて、保持機構に保持されたTCP部品のアウタリード
の上記配線パターンに接する面を検出し、この面が最も
上記基板側に位置するアウタリードの位置を検出する第
1の工程と、検出されたアウタリードの位置に基づい
て、上記保持機構とボンディングツールとを相対的に移
動させ、上記アウタリードとボンディングツールの押圧
面を当接させる第2の工程と、上記保持機構に保持され
たボンディングツールが当接されたTCP部品と上記基
盤とを相対的に駆動し、上記TCP部品のアウタリード
を上記基板に設けられた配線パターンに加圧、過熱する
ことでこのアウタリードを上記配線パターンに接続する
第3の工程とからなることを特徴とするアウタリードボ
ンディング方法である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an outer lead bonding method for connecting an outer lead of a TCP component held by a holding mechanism to a wiring pattern provided on a substrate by heating and pressing using a bonding tool. , the TCP part which is retained in the retention mechanism to detect the surface in contact with the wiring pattern of the outer lead, a first step of detecting a position of the outer leads which this surface located nearest the substrate, the detected outer leads based on the position, by relatively moving the aforementioned holding mechanism and a bonding tool, a second step of abutting the pressing surface of the outer lead and the bonding tool is held in the holding mechanism
TCP component with which the bonding tool was
A third step of relatively driving the board and pressurizing and heating the outer leads of the TCP component to the wiring pattern provided on the substrate to connect the outer leads to the wiring pattern. Outer lead bonding method.

【0017】[0017]

【作用】このような構成によれば、すべてのアウタリ−
ドの高さを揃えた後に、すべてのアウタリ−ドを配線パ
タ−ンに略同時に押圧し一括的に接続することができ
る。
According to such a construction, all outer
After the heights of the leads have been adjusted, all the outer leads can be pressed against the wiring pattern almost simultaneously and connected collectively.

【0018】[0018]

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。なお、従来例で説明した構成要素と同一の構
成要素には同一記号を付してその説明は省略する。図1
(a)に示すように、この発明のアウタリードボンディ
ング装置は、上記TCP部品1(図2参照)の上面を吸着
可能な吸着ノズル(保持機構)15と、この吸着ノズル1
5の径方向外側に配置され、上記TCP部品1の4方向
に突出するアウタリード3…に対応するように設けられ
た4個のボンディングツール16(図には2個のみ図
示)とを具備する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. The same components as those described in the conventional example are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. FIG.
As shown in (a), the outer lead bonding apparatus of the present invention includes a suction nozzle (holding mechanism) 15 capable of sucking the upper surface of the TCP component 1 (see FIG. 2), and the suction nozzle 1
5, four bonding tools 16 (only two are shown in the figure) provided so as to correspond to the outer leads 3 projecting in four directions of the TCP component 1.

【0019】各ボンディングツ−ル16は、給電される
ことで加熱する加熱チップ17と、この加熱チップ17
の上部を保持するホルダ18とからなる。また、この加
熱チップ17の下端面17aは上記アウタリ−ド3…を
外部基板例えばプリント基板6に設けられた配線パタ−
ン7…に押圧する押圧面となっている。
Each of the bonding tools 16 includes a heating chip 17 that is heated by being supplied with electric power,
And a holder 18 for holding the upper part of The lower end face 17a of the heating chip 17 is provided with the outer leads 3... On a wiring pattern provided on an external substrate such as the printed circuit board 6.
7 are pressed against each other.

【0020】また、上記吸着ノズル15は、図示しない
スプリングを介して、この吸着ノズル15を上下駆動す
る吸着ノズル駆動手段19に接続されている。一方、上
記ボンディングツ−ル16は、同じく、図示しないスプ
リングを介して、このボンディングツ−ル16を上下駆
動するボンディングツ−ル駆動手段20に接続されてい
る。つまり、従来例と異なり、上記吸着ノズル15と上
記ボンディングツ−ル16はそれぞれ上記駆動手段1
5、16とによって各々独立に上下駆動されるようにな
っている。
The suction nozzle 15 is connected to suction nozzle driving means 19 for vertically driving the suction nozzle 15 via a spring (not shown). On the other hand, the bonding tool 16 is similarly connected to a bonding tool driving means 20 for vertically driving the bonding tool 16 via a spring (not shown). That is, unlike the conventional example, the suction nozzle 15 and the bonding tool 16 are respectively connected to the driving means 1.
5 and 16 are independently driven up and down.

【0021】一方、このアウタリードボンディング装置
は、図1(a)に22で示すアウタリード検出手段、2
3で示すプリント基板検出装置を具備する。アウタリー
ド検出手段22は、レーザ光Lを走査し、その反射レー
ザ光L´を観察することで上記TCP部品1の各アウタ
リード3…の下面の位置(高さ)を検出する。プリント
基板検出手段23は、同じく、レーザ光Lを走査するこ
とで上記プリント基板6の上面の高さを検出する。
On the other hand, this outer lead bonding apparatus comprises outer lead detecting means 22 shown in FIG.
3 is provided. The outer lead detection means 22 detects the position (height) of the lower surface of each of the outer leads 3 of the TCP component 1 by scanning the laser beam L and observing the reflected laser beam L '. The printed board detecting means 23 similarly detects the height of the upper surface of the printed board 6 by scanning the laser light L.

【0022】また、上記アウタリード検出手段22は、
演算制御部24に接続されている。この演算制御部24
は、このアウタリード検出手段22から上記アウタリー
ド3の高さ信号を受け取り、プリント基板6との距離が
最も近い(最も低い)位置アウタリード3の位置(高
さ)を求め、これに基づく駆動信号を上記吸着ノズル駆
動手段19に送出するようになっている。
The outer lead detecting means 22 includes:
It is connected to the arithmetic and control unit 24. This operation control unit 24
Receives the height signal of the outer lead 3 from the outer lead detecting means 22 and determines that the distance from the printed circuit board 6 is
The position of the closest (lowest) outer lead 3 (high
) Is obtained, and a driving signal based on this is sent to the suction nozzle driving means 19.

【0023】次に、このボンディング装置の動作を図1
(a)〜(c)を参照して説明する。まず、上記アウタ
リ−ドボンディング装置は、上記吸着ノズル15を用い
て、図示しないTCP部品搬送手段から、このTCP部
品1を吸着保持することで受け取る。
Next, the operation of this bonding apparatus will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to (a) to (c). First, the outer bonding apparatus receives the TCP component 1 from the TCP component conveying means (not shown) by suction-holding the TCP component 1 using the suction nozzle 15.

【0024】ついで、このアウタリ−ドボンディング装
置は、上記吸着ノズル15を回転させることで、このT
CP部品1の姿勢を補正した後、上記TCP部品1を上
記プリント基板6の上方に搬送し、図1(a)に示すよ
うに、上記アウタリ−ド3と各配線パタ−ン7とを対向
位置決めする。
Next, this outer lead bonding apparatus rotates the suction nozzle 15 to rotate the T.
After correcting the attitude of the CP component 1, the TCP component 1 is transported above the printed circuit board 6, and the outer lead 3 and each wiring pattern 7 face each other as shown in FIG. Position.

【0025】上記アウタリ−ド3と配線パタ−ン7とが
位置決めされたならば、上記アウタリ−ド検出手段22
は、レ−ザ光Lを走査し、各アウタリ−ド3にレ−ザ光
Lを照射する。そして、反射レ−ザ光を観察すること
で、各アウタリ−ド3の高さを求める。
When the outer lead 3 and the wiring pattern 7 are positioned, the outer lead detecting means 22
Scans the laser beam L, and irradiates each outer lead 3 with the laser beam L. Then, the height of each outer lead 3 is obtained by observing the reflected laser light.

【0026】上記演算制御部24は、このアウタリ−ド
検出手段22からの信号に基づき上記TCP1の各アウ
タリ−ド3…のうち最も低く位置するアウタリ−ド3を
決定する。そして、上記加熱チップ17の下端面17a
と、このアウタリ−ド3の相対的位置関係から、この最
も低く位置するアウタリ−ド3の上面を上記加熱チップ
17の下端面17aに当接させるのに必要な上記吸着ノ
ズル15の上昇量を求める。そして、この上昇量15を
上記吸着ノズル駆動手段19に入力する。
The arithmetic control unit 24 determines the lowest outer lead 3 among the outer leads 3 of the TCP 1 based on the signal from the outer lead detecting means 22. Then, the lower end surface 17a of the heating chip 17
From the relative positional relationship between the outer leads 3 and the relative position of the outer leads 3, the amount of rise of the suction nozzle 15 required to bring the upper surface of the lowermost outer lead 3 into contact with the lower end surface 17a of the heating tip 17 is determined. Ask. Then, the rising amount 15 is input to the suction nozzle driving means 19.

【0027】ついで、この吸着ノズル駆動手段19は、
上記上昇量だけ上記吸着ノズル15を上昇駆動する。こ
のことにより、上記TCP部品1は、上記最も低いアウ
タリード3の上面が上記加熱チップ17の下端面17a
に当接するまで上昇する。このように、最も低いアウタ
リード3の上面を上記加熱チップ17の下端面17aに
当接させることで、図1(b)に示すようにすべてのア
ウタリード3…を上記加熱チップ17の下端面17aに
当接させえることができる。このことにより、全てのア
ウタリード3…の高さは揃えられる。
Next, the suction nozzle driving means 19
The suction nozzle 15 is driven upward by the above-described amount. As a result, the TCP component 1 has an upper surface of the lowest outer lead 3 and a lower end surface 17 a of the heating chip 17.
Rise until it abuts. Thus, the lowest the upper surface of the outer lead 3 be to contact the lower end surface 17a of the heating tip 17, the lower end surface 17a of the heating chip 1 7 all outer lead 3 ... a, as shown in FIG. 1 (b) Can be abutted. As a result, the heights of all the outer leads 3 are made uniform.

【0028】一方、上記プリント基板検出手段23は、
同じくレ−ザ光Lを走査することで、上記プリント基板
6(配線パタ−ン7)の高さを検出する。このことで上
記アウタリ−ド3と上記プリント基板6の高さの差、す
なわち、上記ボンディングツ−ル16が上記アウタリ−
ド3を上記配線パタ−ン7に押圧するのに必要な下降量
が決定される。
On the other hand, the printed circuit board detecting means 23
Similarly, the height of the printed circuit board 6 (wiring pattern 7) is detected by scanning the laser light L. As a result, the height difference between the outer lead 3 and the printed circuit board 6, that is, the bonding tool 16 is
The amount of descent required to press the gate 3 against the wiring pattern 7 is determined.

【0029】ついで、上記吸着ノズル駆動手段19およ
び上記ボンディングツ−ル駆動手段20は上記プリント
基板検出手段23からの検出信号に基づいて作動し、上
記吸着ノズル15およびボンディングツ−ル16は同時
にかつ同じ速さで下降駆動される。そして、上記ボンデ
ィングツ−ル16は、図1(c)に示すように、上記T
CP部品1のアウタリ−ド3を上記プリント基板6の配
線パタ−ン7に加熱しつつ押圧する。
Next, the suction nozzle driving means 19 and the bonding tool driving means 20 operate based on a detection signal from the printed circuit board detecting means 23, and the suction nozzle 15 and the bonding tool 16 are simultaneously and simultaneously. It is driven down at the same speed. Then, as shown in FIG. 1C, the bonding tool 16
The outer lead 3 of the CP component 1 is pressed against the wiring pattern 7 of the printed circuit board 6 while heating.

【0030】このとき上記すべてのアウタリ−ド3は、
高さが揃えられているので、略同時に上記配線パタ−ン
7に当接することとなる。そして、同時に同じ力で上記
配線パタ−ン7に押し付けられ、この配線パタ−ン7に
ボンディングされる。
At this time, all the outer leads 3 are
Since the heights are uniform, they come into contact with the wiring pattern 7 almost at the same time. At the same time, it is pressed against the wiring pattern 7 by the same force, and bonded to the wiring pattern 7.

【0031】このような構成によれば、アウタリ−ド3
によって、押圧されている時間が異なったり、上記配線
パタ−ン7に押し付けられる力が異なるということがな
いので、従来例のようにアウタリ−ド3が横ずれするこ
とが有効に防止される。このことによって、TCP部品
1の良好なボンディングを行うことが可能になる。
According to such a configuration, the outer lead 3
Therefore, since the pressing time is not different and the force pressed against the wiring pattern 7 is not different, the lateral displacement of the outer lead 3 as in the conventional example is effectively prevented. This makes it possible to perform good bonding of the TCP component 1.

【0032】また、上記すべてのアウタリ−ド3は、上
記加熱チップ17の下端面17aに当接していて、あら
かじめ所定の温度に加熱されているので、瞬時にハンダ
材11を溶融させることができる。このことにより接合
性も良くなる。
Further, since all the outer leads 3 are in contact with the lower end surface 17a of the heating tip 17 and are heated to a predetermined temperature in advance, the solder material 11 can be instantaneously melted. . This also improves the bondability.

【0033】なお、この発明は、上記一実施例に限定さ
れるものではなく発明の要旨を変更しない範囲で種々変
形可能である。上記一実施例では、上記TCP部品1の
すべてのアウタリ−ド3を加熱チップ17(ボンディン
グツ−ル16)の下端面17aに当接させるために、吸
着ノズル15(TCP部品1)を上昇駆動したが、これ
に限定されるものではない。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be variously modified without changing the gist of the invention. In the above embodiment, the suction nozzle 15 (the TCP component 1) is driven upward to bring all the outer leads 3 of the TCP component 1 into contact with the lower end face 17a of the heating chip 17 (the bonding tool 16). However, the present invention is not limited to this.

【0034】例えば、上記吸着ノズル15(TCP部品
1)を駆動せずに、ボンディングツ−ル16を下降駆動
して、加熱チップ17の下端面17aを上記アウタリ−
ド3に当接させるようにしても良い。あるいは、上記ボ
ンディングツ−ル16を下降駆動すると共に上記吸着ノ
ズル15を上昇駆動して、上記TCP部品1のアウタリ
−ド3と上記加熱チップ17の下端面17aとを当接さ
せるようにしても同様の効果を得ることができる。
For example, without driving the suction nozzle 15 (TCP component 1), the bonding tool 16 is driven downward to lower the lower end surface 17a of the heating chip 17 to the outer space.
It may be made to abut on the door 3. Alternatively, the bonding tool 16 may be driven downward and the suction nozzle 15 may be driven upward to bring the outer lead 3 of the TCP component 1 into contact with the lower end face 17a of the heating chip 17. Similar effects can be obtained.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上述べたように、この発明の第1の手
段は、TCP部品を吸着保持する吸着ノズルと、下端面
で上記TCP部品のアウタリ−ドを基板に設けられた配
線パタ−ンに加圧、加熱し、この配線パタ−ンに接合す
るボンディングツ−ルとを具備するアウタリ−ドボンデ
ィング装置において、上記吸着ノズルを上下駆動する吸
着ノズル駆動手段と、上記ボンディングツ−ルを上下駆
動するボンディングツ−ル駆動手段と、上記吸着ノズル
に保持されたTCP部品のリ−ドを検出し、上記ボンデ
ィングツ−ルの下端面と上記リ−ドのこのボンディング
ツ−ルの下端面が当接される面とを当接させるのに必要
な上記ボンディングツ−ルと吸着ノズルの相対的駆動量
を求めるアウタリ−ド検出手段とを具備するアウタリ−
ドボンディング装置である。
As described above, the first means of the present invention comprises a suction nozzle for sucking and holding a TCP component, and a wiring pattern in which the outer lead of the TCP component is provided on the substrate at the lower end surface. A suction nozzle driving means for driving the suction nozzle up and down, and a bonding tool for vertically moving the bonding tool, the bonding tool being provided with a bonding tool for applying pressure and heating to the wiring pattern. A driving tool for driving the bonding tool and a lead of the TCP component held by the suction nozzle are detected, and a lower end surface of the bonding tool and a lower end surface of the bonding tool of the lead are detected. An outer having an outer lead detecting means for obtaining a relative drive amount of the suction nozzle and the bonding tool necessary for bringing the contact surface into contact.
Bonding apparatus.

【0036】第2の手段は、吸着ノズルで吸着保持した
TCP部品のアウタリ−ドを、ボンディングツ−ルを用
いて加熱し加圧することで、基板に設けられた配線パタ
−ンに接続するアウタリ−ドボンディング方法におい
て、吸着ノズルに吸着保持されたTCP部品のアウタリ
−ドの上記配線パタ−ンに接する面を検出し、この面が
最も上記基板側に位置するアウタリ−ドの高さを検出す
る第1の工程と、検出されたアウタリ−ドの高さに基づ
いて、上記吸着ノズルとボンディングツ−ルとを相対的
に移動させ、上記アウタリ−ドを上記ボンディングツ−
ルの押圧面に当接させる第2の工程と、上記吸着ノズル
とボンディングツ−ルを一体的に下降駆動し、上記TC
P部品のアウタリ−ドを上記基板に設けられた配線パタ
−ンに加圧、加熱することでこのアウタリ−ドを上記配
線パタ−ンに接続する第3の工程とからなるアウタリ−
ドボンディング方法である。
The second means is to connect the outer lead of the TCP component sucked and held by the suction nozzle to a wiring pattern provided on the substrate by heating and pressurizing the outer lead using a bonding tool. In the bonding method, the surface of the outer lead of the TCP component sucked and held by the suction nozzle is detected in contact with the wiring pattern, and the height of the outer lead which is closest to the substrate is detected. The suction nozzle and the bonding tool are relatively moved based on the height of the detected outer lead, and the outer lead is moved to the bonding tool.
A second step of bringing the suction nozzle and the bonding tool into contact with the pressing surface of the tool;
A third step of connecting the outer lead to the wiring pattern by pressing and heating the outer lead of the P component to the wiring pattern provided on the substrate.
Bonding method.

【0037】このような構成によれば、上記すべてのア
ウタリ−ドは接合前に高さが揃えられるので、略同時に
同じ力で上記配線パタ−ンに押し付けられ、配線パタ−
ンにボンディングされるから、各アウタリ−ドによっ
て、押圧される時間が異なったり、上記配線パタ−ンに
押し付けられる力が異なるということがないので、アウ
タリ−ドが横擦れすることが有効に防止される。このこ
とによって、TCP部品の良好なボンディングを行うこ
とが可能になる。
According to such a configuration, all the outer leads are made uniform in height before joining, so that the outer leads are pressed against the wiring pattern with almost the same force at substantially the same time.
Since the outer leads are not bonded to each other, there is no difference in the pressing time or the force pressed against the wiring pattern, so that the outer leads are effectively prevented from laterally rubbing. Is done. This makes it possible to perform good bonding of the TCP component.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)〜(c)は、この発明の一実施例を示す
工程図。
1 (a) to 1 (c) are process diagrams showing one embodiment of the present invention.

【図2】一般的なTCP部品を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a general TCP component.

【図3】(a)〜(c)は、従来例を示す工程図。FIGS. 3A to 3C are process diagrams showing a conventional example.

【図4】(a)、(b)は、同じく、拡大して示す工程
図。
FIGS. 4 (a) and 4 (b) are similarly enlarged process views.

【符号の説明】 1…TCP部品、3…アウタリ−ド、6…プリント基板
(基板)、7…配線パタ−ン、15…吸着ノズル、16
…ボンディングツ−ル、17a…下端面、19…吸着ノ
ズル駆動手段、20…ボンディングツ−ル駆動手段、2
2…アウタリ−ド検出手段、24…演算制御部(アウタ
リ−ド検出手段)。
[Description of Signs] 1 ... TCP component, 3 ... Outer lead, 6 ... Printed circuit board (board), 7 ... Wiring pattern, 15 ... Suction nozzle, 16
... bonding tool, 17a ... lower end face, 19 ... suction nozzle driving means, 20 ... bonding tool driving means, 2
2 ... outer lead detecting means, 24 ... operation control section (outer lead detecting means).

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/60 311 H01L 23/50 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/60 311 H01L 23/50

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 TCP部品を保持する保持機構と、押圧面 で上記TCP部品のアウタリードを基板に設けら
れた配線パターンに加圧、加熱し、この配線パターンに
接合するボンディングツールとを具備するアウタリード
ボンディング装置において、 上記保持機構を駆動する保持機構駆動手段と、 上記ボンディングツールを駆動するボンディングツール
駆動手段と、 上記保持機構に保持されたTCP部品のリードを検出
し、上記ボンディングツールの押圧面と上記リードのこ
のボンディングツールの押圧面が当接される面とを当接
させるのに必要な上記ボンディングツールと吸着ノズル
の相対的駆動量を求めるアウタリード検出手段とを具備
することを特徴とするアウタリードボンディング装置。
1. A holding mechanism of the TCP part to hold, the outer leads of the TCP component pressure, heated to a wiring pattern provided on the substrate by the pressing surface comprises a bonding tool for bonding to the wiring pattern in the outer lead bonding apparatus detects a holding mechanism drive means for drive the said holding mechanism, a bonding tool drive means for drive the above bonding tool, the leads of TCP component held in the holding mechanism, the bonding tool that pressing surface of the bonding tool of the pressing surface and the lead comprises a outer lead detection means for obtaining a relative drive amount of the suction nozzle and the bonding tool required to contact the surface to be abutted Outer lead bonding equipment.
【請求項2】 保持機構で保持したTCP部品のアウタ
リードを、ボンディングツールを用いて加熱し加圧する
ことで、基板に設けられた配線パターンに接続するアウ
タリードボンディング方法において、保持機構に保 持されたTCP部品のアウタリードの上記
配線パターンに接する面を検出し、この面が最も上記基
板側に位置するアウタリードの位置を検出する第1の工
程と、 検出されたアウタリードの位置に基づいて、上記保持機
とボンディングツールとを相対的に移動させ、上記ア
ウタリードとボンディングツールの押圧面を当接させる
第2の工程と、 上記保持機構に保持されたボンディングツールが当接さ
れたTCP部品と上記基盤とを相対的に駆動し、上記T
CP部品のアウタリードを上記基板に設けられた配線パ
ターンに加圧、過熱することでこのアウタリードを上記
配線パターンに接続する第3の工程とからなることを特
徴とするアウタリードボンディング方法。
2. A method outer leads of TCP component held by the holding mechanism, by applying heat using a bonding tool pressure, the outer lead bonding method to connect to a wiring pattern provided on a substrate, are retained in the retention mechanism the surface in contact with the wiring pattern of the outer lead of the TCP part detects the a first step of detecting a position of the outer leads which this surface located nearest the substrate, based on the detected position of the outer leads, the holding Machine
A second step of relatively moving the structure and the bonding tool and bringing the outer lead into contact with the pressing surface of the bonding tool; and contacting the bonding tool held by the holding mechanism.
Relative movement of the TCP component and the base,
A third step of connecting the outer leads to the wiring pattern by pressurizing and heating the outer leads of the CP component to the wiring pattern provided on the substrate.
JP14471593A 1993-06-16 1993-06-16 Outer bonding apparatus and method Expired - Fee Related JP3253761B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14471593A JP3253761B2 (en) 1993-06-16 1993-06-16 Outer bonding apparatus and method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14471593A JP3253761B2 (en) 1993-06-16 1993-06-16 Outer bonding apparatus and method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH077044A JPH077044A (en) 1995-01-10
JP3253761B2 true JP3253761B2 (en) 2002-02-04

Family

ID=15368619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14471593A Expired - Fee Related JP3253761B2 (en) 1993-06-16 1993-06-16 Outer bonding apparatus and method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3253761B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08320715A (en) * 1995-05-24 1996-12-03 Nec Corp Tcp mounted device
JPH09116079A (en) * 1995-10-13 1997-05-02 Nec Corp Surface mounting of resin-sealed semiconductor device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH077044A (en) 1995-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH10261673A (en) Manufacture of semiconductor integrated circuit device and bonding device used by the same
US6734537B1 (en) Assembly process
JP2000150970A (en) Light emitting device bonding method and equipment
JP3253761B2 (en) Outer bonding apparatus and method
JPH0793305B2 (en) Bump forming method and bump forming apparatus
JP3381565B2 (en) Bonding method of work with bump
JP3153699B2 (en) Electronic component bonding method
JP5372366B2 (en) Mounting method and mounting apparatus
JPH088294A (en) Method for bonding outer lead
JP2684465B2 (en) Substrate transfer positioning device
JP4308444B2 (en) Component joining device
JP2633631B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP2746989B2 (en) Chip positioning method and device, inner lead bonding apparatus, and inner lead bonding method
JPH081983B2 (en) Lead bonding method for IC parts
JP2000183114A (en) Bonding device
JPH07176570A (en) Lead jointing method of ic component
JP2712592B2 (en) Bonding tool and fixing method
JP2556918B2 (en) IC component mounting method and apparatus
JP3996412B2 (en) Electronic component mounting method
JP2881743B2 (en) Electronic component mounting device, electronic component mounting method, recognition device, and recognition method
JPH07142537A (en) Method for aligning outer lead and method and device for bonding outer lead
JP3211801B2 (en) Extra ball detection method
JPH06216197A (en) Flip-chip bonding apparatus
JPH0878479A (en) Outer lead bonding machine and bonding method
JPH01194390A (en) Flat package ic packaging device

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees