JP3253751B2 - Discharge timing adjustment device - Google Patents
Discharge timing adjustment deviceInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、多段直列に配置したレ
ーザ出力装置の各放電タイミングを調整して所定レベル
のレーザを出力させる放電タイミング調整装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a discharge timing adjusting device for adjusting the respective discharge timings of a plurality of laser output devices arranged in series to output a laser of a predetermined level.
【0002】[0002]
【従来の技術】図4はレーザ出力装置を3段直列に配置
した場合の放電タイミング調整装置の構成図である。各
レーザ出力装置1、2、3は直列に配置され、レーザ出
力装置1から出力されたレーザQ1 は次段のレーザ出力
装置2に入射し、このレーザ出力装置2から出力された
レーザQ2 は最終段のレーザ出力装置3に入射し、この
レーザ出力装置3から増幅された所定レベルのレーザQ
3 が出力されるようになっている。2. Description of the Related Art FIG. 4 is a block diagram of a discharge timing adjusting device in which three laser output devices are arranged in series. Each laser output device 1, 2 and 3 are arranged in series, the laser Q 2 laser Q 1 outputted from the laser output device 1 enters the next stage of the laser output device 2, which is output from the laser output unit 2 Is incident on the laser output device 3 at the final stage, and the laser Q of a predetermined level amplified from the laser output device 3
3 is output.
【0003】従って、例えばレーザ出力装置2は、前段
のレーザ出力装置1からのレーザQ1 が入射したタイミ
ングで放電することが必要となる。しかるに、各レーザ
出力装置1、2、3の放電パルスはそれぞれ放電時刻測
定回路4に送られる。[0003] Thus, for example, a laser output device 2, it is necessary that the laser to Q 1 from the laser output device 1 of the preceding stage is discharged at the timing that has entered. Accordingly, the discharge pulses of the laser output devices 1, 2, and 3 are sent to the discharge time measuring circuit 4, respectively.
【0004】この放電時刻測定回路4は、図5に示すよ
うに時刻t1 から時刻測定を開始して時刻t2 で終了す
る時刻測定範囲Tが設定され、この時刻測定範囲T内に
放電パルスが入力した場合にその入射時刻を測定してそ
の測定時刻を各遅延回路5、6、7に送出するものとな
っている。The discharge time measurement circuit 4 has a time measurement range T which starts time measurement from time t 1 and ends at time t 2 , as shown in FIG. Is input, the incident time is measured, and the measured time is sent to each of the delay circuits 5, 6, 7.
【0005】これら遅延回路5、6、7はそれぞれ測定
時刻を受けて各レーザ出力装置1、2、3での放電時刻
が所定タイミングとなるように各レーザ出力装置1、
2、3に放電タイミング信号f1 、f2 、f3 を送出す
るものとなっている。なお、各レーザ出力装置1、2、
3は放電タイミング信号f1 、f2 、f3 が入力してか
ら実際にレーザQ1 ,Q2 ,Q3 が出力されるまでの時
間が周囲温度等の影響でドリフトする。そこで、各遅延
回路5、6、7は遅延設定時間を調整してドリフトを補
正している。Each of the delay circuits 5, 6, 7 receives the measurement time so that each of the laser output devices 1, 2, 3 has a predetermined timing so that the discharge time in each of the laser output devices 1, 2, 3 becomes a predetermined timing.
Discharge timing signals f 1 , f 2 , f 3 are sent to a few. In addition, each laser output device 1, 2,
In No. 3, the time from the input of the discharge timing signals f 1 , f 2 and f 3 to the actual output of the lasers Q 1 , Q 2 and Q 3 drifts due to the influence of the ambient temperature and the like. Therefore, each of the delay circuits 5, 6, and 7 adjusts the delay set time to correct the drift.
【0006】又、各レーザ出力装置1、2、3から時刻
測定回路4への放電パルスの伝送はほぼ同一長さの各ケ
ーブルを用いているので、放電時刻測定回路4には放電
パルスが順次入力している。Since the transmission of the discharge pulse from each of the laser output devices 1, 2, and 3 to the time measurement circuit 4 uses each cable having substantially the same length, the discharge pulse is sequentially transmitted to the discharge time measurement circuit 4. You are typing.
【0007】ところで、放電時刻測定回路4には、上記
の如く時刻測定範囲にTが設定されており、この時刻測
定範囲Tは高精度に測定する必要があるために広い時間
幅に設定できない。例えば、精度250psec 11ビット
として時刻測定範囲Tは約0.5μsec となる。In the discharge time measuring circuit 4, the time measuring range T is set as described above, and the time measuring range T cannot be set to a wide time width because it is necessary to measure the time with high accuracy. For example, the time measurement range T is about 0.5 μsec as 11 bits with an accuracy of 250 psec.
【0008】このため、各レーザ出力装置1、2、3で
のドリフトが大きくなると図5に示すように放電パルス
が時刻測定範囲T内に入るタイミングの余裕Yが少なく
なり、最悪の場合放電パルスが時刻測定範囲Tに入らな
いことがある。このような場合、放電パルスの時刻測定
ができずにレーザ出力装置の放電タイミングを調整する
ことが全く不可能となる。特にレーザ出力装置1、2、
3の立ち上がり時にはドリフトが大きくなるので、放電
タイミングを調整することが難しくなる。For this reason, as the drift in each of the laser output devices 1, 2, and 3 increases, the margin Y of the timing at which the discharge pulse enters the time measurement range T decreases as shown in FIG. May not enter the time measurement range T. In such a case, it is impossible to adjust the discharge timing of the laser output device because the time of the discharge pulse cannot be measured. In particular, the laser output devices 1, 2,
Since the drift becomes large at the rise of No. 3, it becomes difficult to adjust the discharge timing.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】以上のように高精度に
時刻測定する必要があるため時刻測定範囲Tは広く設定
できず、このため各レーザ出力装置の放電タイミングを
調整することが困難となっている。As described above, it is necessary to measure the time with high precision, so that the time measurement range T cannot be set wide, and it becomes difficult to adjust the discharge timing of each laser output device. ing.
【0010】そこで本発明は、時刻測定範囲を広くしな
くても高精度に時刻測定ができて各レーザ出力装置の放
電タイミングを調整できる放電タイミング調整装置を提
供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a discharge timing adjusting device capable of measuring time with high accuracy without widening the time measuring range and adjusting the discharge timing of each laser output device.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ出力装
置を多段直列に配置してこれらレーザ出力装置の放電タ
イミングを調整して順次レーザを出力させて増幅し最終
段のレーザ出力装置から所定レベルのレーザを出力させ
る放電タイミング調整装置において、各レーザ出力装置
の各放電パルスを受けてこれら放電パルスをほぼ同一タ
イミングに調整して送出する放電パルス調整手段と、こ
の放電パルス調整手段によりタイミング調整された各放
電パルスを受けて各レーザ出力装置の放電時刻を測定す
る放電時刻測定手段と、この放電時刻測定手段により測
定された各放電時刻に応じて各レーザ出力装置に放電タ
イミング信号を送出する放電タイミング手段ととを備え
て上記目的を達成しようとする放電タイミング調整装置
である。According to the present invention, a plurality of laser output devices are arranged in series and the discharge timing of these laser output devices is adjusted to sequentially output and amplify the laser. A discharge timing adjusting device for outputting a laser of a level, a discharge pulse adjusting device for receiving each discharge pulse of each laser output device, adjusting these discharge pulses at substantially the same timing, and sending the adjusted pulses; and a timing adjustment by the discharge pulse adjusting device. Discharge time measuring means for measuring a discharge time of each laser output device in response to each of the generated discharge pulses, and transmitting a discharge timing signal to each laser output device in accordance with each discharge time measured by the discharge time measuring means. And a discharge timing adjusting device including the discharge timing means.
【0012】[0012]
【作用】このような手段を備えたことにより、各レーザ
出力装置の各放電パルスは、放電パルス調整手段により
ほぼ同一タイミングに調整されて放電時刻測定手段に送
られ、この放電時刻測定手段により放電パルス調整手段
で調整された時間に基づいて各レーザ出力装置での放電
の時刻を測定する。そして、この測定された各放電時刻
に応じて放電タイミング手段により各レーザ出力装置に
放電タイミング信号が送出される。With such a means, each discharge pulse of each laser output device is adjusted to almost the same timing by the discharge pulse adjusting means and sent to the discharge time measuring means, and the discharge time is measured by the discharge time measuring means. The discharge time at each laser output device is measured based on the time adjusted by the pulse adjusting means. Then, a discharge timing signal is sent to each laser output device by the discharge timing means according to each of the measured discharge times.
【0013】[0013]
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。なお、図4と同一部分には同一符号を付
してある。図1は放電タイミング調整装置の構成図であ
る。この装置における各レーザ出力装置1、2と放電時
刻測定回路4との各間における放電パルスの伝送ケーブ
ルにはそれぞれ放電パルス遅延回路10、11が設けら
れている。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. The same parts as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals. FIG. 1 is a configuration diagram of the discharge timing adjusting device. Discharge pulse delay circuits 10 and 11 are provided on a transmission pulse transmission cable between each of the laser output devices 1 and 2 and the discharge time measuring circuit 4 in this device.
【0014】これら放電パルス遅延回路10、11は、
各レーザ出力装置1、2からの各放電パルスをそれぞれ
遅延して時刻測定回路4での入射時刻を時刻測定範囲T
のほぼ中間時刻となるように調整する機能を有するもの
である。These discharge pulse delay circuits 10, 11 are:
Each discharge pulse from each of the laser output devices 1 and 2 is delayed, and the incident time in the time measurement circuit 4 is set to the time measurement range T.
Has a function of adjusting so as to be almost at the intermediate time.
【0015】又、放電時刻測定回路4は、各放電パルス
遅延回路10、11における設定遅延時間に基づいて各
レーザ出力装置1、2からの放電パルスの入射時にこれ
らレーザ出力装置1、2の放電時刻を求めてその測定時
間を各遅延回路5、6に送出する機能を有している。The discharge time measuring circuit 4 discharges the laser output devices 1 and 2 based on the set delay time in each of the discharge pulse delay circuits 10 and 11 when a discharge pulse from each of the laser output devices 1 and 2 is incident. It has a function of obtaining the time and sending the measured time to each of the delay circuits 5 and 6.
【0016】なお、レーザ出力装置3と放電時刻測定回
路4との間には、放電パルス遅延回路が設けられていな
いが、これはレーザ出力装置3の放電パルスの時刻測定
回路4への入射時刻が時刻測定範囲Tの中間時刻に予め
設定されているからである。Although no discharge pulse delay circuit is provided between the laser output device 3 and the discharge time measuring circuit 4, this is because the discharge time of the discharge pulse of the laser output device 3 is applied to the time measuring circuit 4. Is set in advance to an intermediate time of the time measurement range T.
【0017】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。レーザ出力装置1から出力されたレーザ
Q1 は、次段のレーザ出力装置2に入射し、このレーザ
出力装置2から出力されたレーザQ2 は最終段のレーザ
出力装置3に入射し、そして最終段のレーザ出力装置3
から増幅された所定レベルのレーザQ3 が出力される。Next, the operation of the device configured as described above will be described. The laser Q 1 output from the laser output device 1 enters the laser output device 2 at the next stage, and the laser Q 2 output from the laser output device 2 enters the laser output device 3 at the final stage. Stage laser output device 3
Predetermined level laser Q 3 of amplified from is output.
【0018】このとき各レーザ出力装置1、2、3の放
電パルスはそれぞれ放電時刻測定回路4に送られ、この
うちレーザ出力装置1、2からの放電パルスはそれぞれ
放電パルス遅延回路10、11で遅延されて放電時刻測
定回路4に送られる。At this time, the discharge pulses from the laser output devices 1, 2 and 3 are sent to the discharge time measuring circuit 4, respectively. Among them, the discharge pulses from the laser output devices 1 and 2 are output from the discharge pulse delay circuits 10 and 11, respectively. The signal is delayed and sent to the discharge time measuring circuit 4.
【0019】これら放電パルス遅延回路10、11は、
各レーザ出力装置1、2からの放電パルスを遅延するこ
とにより図2に示すように放電パルスの放電時刻測定回
路4での入射時刻が時刻測定範囲Tのほぼ中間時刻とな
る。These discharge pulse delay circuits 10, 11 are:
By delaying the discharge pulse from each of the laser output devices 1 and 2, the incident time of the discharge pulse in the discharge time measuring circuit 4 becomes almost the intermediate time of the time measuring range T as shown in FIG.
【0020】この放電時刻測定回路4は、図5に示すよ
うに時刻t1 から時刻測定を開始して各放電パルスが入
力した場合にその入射時刻を測定してその測定時刻を各
遅延回路5、6、7に送出する。この場合、放電時刻測
定回路4は、各放電パルス遅延回路10、11における
設定遅延時間に基づいて各レーザ出力装置1、2からの
放電パルスの入射時にこれらレーザ出力装置1、2の放
電時刻を求める。The discharge time measuring circuit 4 starts time measurement from time t 1 as shown in FIG. 5 and measures the incident time when each discharge pulse is input, and determines the measured time at each delay circuit 5. , 6, and 7. In this case, the discharge time measuring circuit 4 measures the discharge times of the laser output devices 1 and 2 based on the set delay time in each of the discharge pulse delay circuits 10 and 11 when a discharge pulse from each of the laser output devices 1 and 2 is incident. Ask.
【0021】そして、測定時刻が各遅延回路5、6、7
に送られると、これら遅延回路5、6、7は、それぞれ
測定時刻を受けて各レーザ出力装置1、2、3での放電
時刻が所定タイミングとなるように各レーザ出力装置
1、2、3に放電タイミング信号f1 、f2 、f3 を送
出する。かくして、最終段のレーザ出力装置3からは、
所定レベルに増幅されたレーザQ3 が出力される。Then, the measurement time is set in each of the delay circuits 5, 6, 7
, The delay circuits 5, 6, 7 receive the measurement times, respectively, so that the discharge times in the laser output devices 1, 2, 3 become predetermined timings. , And discharge timing signals f 1 , f 2 and f 3 . Thus, from the last stage laser output device 3,
Laser Q 3 which is amplified to a predetermined level is output.
【0022】このように上記一実施例においては、各レ
ーザ出力装置1、2、3の各放電パルスをほぼ同一タイ
ミングに調整して放電時刻測定回路4に送り、この放電
時刻測定回路4により各レーザ出力装置1、2、3での
放電時刻を測定してこれら測定時刻に応じて各レーザ出
力装置1、2、3に放電タイミング信号f1 、f2 、f
3 を送出するようにしたので、放電時刻測定回路4に入
射する各放電パルスは時刻測定範囲Tのほぼ中間時刻に
できて放電パルスの時刻測定範囲Tにおける余裕時間を
時刻測定範囲Tの2分の1にできる。この余裕時間は時
刻測定範囲Tにおける最大の時間である。As described above, in the above-described embodiment, the discharge pulses of the laser output devices 1, 2, and 3 are adjusted at substantially the same timing and sent to the discharge time measuring circuit 4, and the discharge time measuring circuit 4 The discharge times at the laser output devices 1, 2, and 3 are measured, and the discharge timing signals f 1 , f 2 , and f are sent to each of the laser output devices 1, 2, and 3 according to the measured times.
3 is transmitted, each discharge pulse incident on the discharge time measuring circuit 4 can be formed almost at the intermediate time of the time measuring range T, and the margin of the discharge pulse in the time measuring range T is set to 2 minutes of the time measuring range T. Can be 1 This extra time is the maximum time in the time measurement range T.
【0023】従って、各レーザ出力装置1、2、3のド
リフトが大きくなっても放電パルスの入射時刻が時刻測
定範囲Tから外れることなく各レーザ出力装置1、2、
3の各放電タイミングを調整できる。特に各レーザ出力
装置1、2、3の立ち上がり時でドリフトが大きくても
各レーザ出力装置1、2、3の放電パルスを時刻測定範
囲T内に入れて放電タイミングを調整できる。Therefore, even if the drift of each of the laser output devices 1, 2, and 3 becomes large, the time of incidence of the discharge pulse does not deviate from the time measurement range T, and each of the laser output devices 1, 2, and 3 does not.
3 can adjust the respective discharge timings. In particular, even when the drift is large at the time of rising of each of the laser output devices 1, 2, and 3, the discharge timing can be adjusted by putting the discharge pulse of each of the laser output devices 1, 2, and 3 into the time measurement range T.
【0024】次に本発明の他の実施例について図3に示
す構成図を参照して説明する。この装置は、各レーザ出
力装置1、2と放電時刻測定回路4との各間における放
電パルスの伝送ケーブル20、21、22の各長さを調
整して放電パルスの伝送に遅延を与えるようにしたもの
である。例えば、k段目のレーザ出力装置のケーブルの
長さLk は Lk =Lk-1 +ΔLk に設定される。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the configuration diagram shown in FIG. This device adjusts each length of the transmission pulse transmission cables 20, 21, and 22 between each of the laser output devices 1, 2 and the discharge time measuring circuit 4 so as to delay transmission of the discharge pulse. It was done. For example, the length Lk of the cable of the k-th laser output device is set to Lk = Lk-1 + ΔLk.
【0025】このような構成であれば、各レーザ出力装
置1、2、3の放電パルスは各ケーブル20、21、2
2により遅延されてほぼ同時に放電時刻測定回路4に入
射する。放電時刻測定回路4は、各放電パルスが入力し
た場合にその入射時刻を測定してその測定時刻を各遅延
回路5、6、7に送出する。With such a configuration, the discharge pulses of each of the laser output devices 1, 2, and 3 are output from the cables 20, 21, and 2 respectively.
2 and almost simultaneously enter the discharge time measuring circuit 4. When each discharge pulse is input, the discharge time measuring circuit 4 measures the incident time and sends the measured time to each of the delay circuits 5, 6, and 7.
【0026】そして、測定時刻が各遅延回路5、6、7
に送られると、これら遅延回路5、6、7はそれぞれ測
定時刻を受けて各レーザ出力装置1、2、3での放電時
刻が所定タイミングとなるように各レーザ出力装置1、
2、3に放電タイミング信号f1 、f2 、f3 を送出す
る。Then, the measurement time is set in each of the delay circuits 5, 6, 7
, The delay circuits 5, 6, and 7 receive the measurement times, respectively, so that the discharge times in the laser output devices 1, 2, and 3 become the predetermined timings.
Discharge timing signals f 1 , f 2 , f 3 are sent to a few.
【0027】かくして、最終段のレーザ出力装置3から
は、所定レベルに増幅されたレーザQ3 が出力される。
このように各放電パルスをケーブル20、21、22の
長さを調整して遅延させても、上記一実施例と同様の効
果を奏することができる。そのうえ、時刻測定回路4を
最終段のレーザ出力装置3側に設置すれば、余分なケー
ブルを巻いておく必要がなく外観的にも良い。[0027] Thus, from the laser output device 3 in the final stage, the laser Q 3 which is amplified to a predetermined level is output.
As described above, even if each of the discharge pulses is delayed by adjusting the lengths of the cables 20, 21, and 22, the same effect as in the above-described embodiment can be obtained. In addition, if the time measurement circuit 4 is installed on the side of the laser output device 3 at the final stage, it is not necessary to wind an extra cable, and the appearance is good.
【0028】なお、本発明は上記一実施例に限定される
ものでなくその要旨を変更しない範囲で変形してもよ
い。例えば、各レーザ出力装置1、2、3から時刻測定
回路4へ送る各放電パルスの放電パルス調整手段として
は、ディレイラインを使用したりディスクリレベルを変
化させるものでも良い。The present invention is not limited to the above embodiment, but may be modified within the scope of the invention. For example, as a discharge pulse adjusting means for each discharge pulse sent from each of the laser output devices 1, 2, and 3 to the time measurement circuit 4, a delay line may be used or a discrimination level may be changed.
【0029】[0029]
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、時
刻測定範囲を広くしなくても高精度に時刻測定ができて
各レーザ出力装置の放電タイミングを調整できる放電タ
イミング調整装置を提供できる。As described above in detail, according to the present invention, there is provided a discharge timing adjusting device capable of measuring time with high accuracy without adjusting the time measuring range and adjusting the discharge timing of each laser output device. it can.
【図1】本発明に係わる放電タイミング調整装置の一実
施例を示す構成図。FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a discharge timing adjusting device according to the present invention.
【図2】同装置における放電パルスの遅延作用を示す
図。FIG. 2 is a diagram showing a delay action of a discharge pulse in the device.
【図3】本発明の他の実施例を示す構成図。FIG. 3 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
【図4】従来装置の構成図。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional device.
【図5】同装置の動作を説明するための図。FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of the apparatus.
1〜3…レーザ出力装置、4…放電時刻測定回路、5〜
7…遅延回路、10,11…放電パルス遅延回路、20
〜22…ケーブル。1-3: laser output device, 4: discharge time measuring circuit, 5-
7 delay circuit, 10, 11 discharge pulse delay circuit, 20
~ 22 ... cable.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−286387(JP,A) 特開 平1−241189(JP,A) 特開 平4−311082(JP,A) 特開 平3−269328(JP,A) 特開 平2−101788(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 3/00 - 3/30 JICSTファイル(JOIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-4-286387 (JP, A) JP-A-1-241189 (JP, A) JP-A-4-311082 (JP, A) JP-A-3- 269328 (JP, A) JP-A-2-101788 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01S 3/00-3/30 JICST file (JOIS)
Claims (1)
れらレーザ出力装置の放電タイミングを調整して順次レ
ーザを出力させて増幅し最終段の前記レーザ出力装置か
ら所定レベルのレーザを出力させる放電タイミング調整
装置において、 前記各レーザ出力装置の各放電パルスを受けてこれら放
電パルスをほぼ同一タイミングに調整して送出する放電
パルス調整手段と、 この放電パルス調整手段によりタイミング調整された各
放電パルスを受けて前記各レーザ出力装置の放電時刻を
測定する放電時刻測定手段と、 この放電時刻測定手段により測定された各放電時刻に応
じて前記各レーザ出力装置に放電タイミング信号を送出
する放電タイミング手段と、 を具備したことを特徴とする放電タイミング調整装置。1. A discharge in which a plurality of laser output devices are arranged in series, the discharge timing of these laser output devices is adjusted, lasers are sequentially output and amplified, and a laser of a predetermined level is output from the laser output device in the final stage. In the timing adjusting device, a discharge pulse adjusting unit that receives each discharge pulse of each of the laser output devices, adjusts the discharge pulses at substantially the same timing, and sends out the discharge pulses. Discharge time measuring means for receiving and measuring a discharge time of each of the laser output devices; discharge timing means for sending a discharge timing signal to each of the laser output devices in accordance with each of the discharge times measured by the discharge time measuring device; A discharge timing adjusting device, comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12115693A JP3253751B2 (en) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | Discharge timing adjustment device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP12115693A JP3253751B2 (en) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | Discharge timing adjustment device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH06334276A JPH06334276A (en) | 1994-12-02 |
JP3253751B2 true JP3253751B2 (en) | 2002-02-04 |
Family
ID=14804243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP12115693A Expired - Lifetime JP3253751B2 (en) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | Discharge timing adjustment device |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3253751B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5844536B2 (en) | 2011-03-28 | 2016-01-20 | ギガフォトン株式会社 | Laser system and laser generation method |
WO2018092281A1 (en) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | ギガフォトン株式会社 | Laser device and extreme ultraviolet light generation device |
-
1993
- 1993-05-24 JP JP12115693A patent/JP3253751B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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JPH06334276A (en) | 1994-12-02 |
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