JP3247357B2 - Package with radiator and method of forming the same - Google Patents

Package with radiator and method of forming the same

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JP3247357B2
JP3247357B2 JP31046699A JP31046699A JP3247357B2 JP 3247357 B2 JP3247357 B2 JP 3247357B2 JP 31046699 A JP31046699 A JP 31046699A JP 31046699 A JP31046699 A JP 31046699A JP 3247357 B2 JP3247357 B2 JP 3247357B2
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    • B21MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
    • B21JFORGING; HAMMERING; PRESSING METAL; RIVETING; FORGE FURNACES
    • B21J5/00Methods for forging, hammering, or pressing; Special equipment or accessories therefor
    • B21J5/06Methods for forging, hammering, or pressing; Special equipment or accessories therefor for performing particular operations
    • B21J5/068Shaving, skiving or scarifying for forming lifted portions, e.g. slices or barbs, on the surface of the material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、金属板に電子部品
を収納するための凹部を形成した、いわゆるスティフナ
に用いるキャビティ型のパッケージに放熱器を一体に形
成した放熱器付パッケージに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a package with a radiator in which a radiator is integrally formed with a cavity type package used for a so-called stiffener in which a concave portion for accommodating an electronic component is formed in a metal plate.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の情報機器の小型化に伴い、半導体
集積回路やハイブリッド回路等に代表される電子部品の
パッケージも小型化、高密度化が進んでいる。この結
果、上記半導体集積回路の発熱量が増加することから、
パッケージには放熱のための放熱器を接合すると共に、
必要に応じて冷却ファンにより強制冷却を行っている。
2. Description of the Related Art With the miniaturization of information devices in recent years, the packages of electronic components typified by semiconductor integrated circuits and hybrid circuits have also been reduced in size and density. As a result, the amount of heat generated by the semiconductor integrated circuit increases,
A radiator for heat dissipation is joined to the package,
Forced cooling is performed by a cooling fan as necessary.

【0003】図13は、従来一般に実用に供している放
熱手段を示している。即ち、パッケージ1は金属素材か
らなり、剛性を有すると共に、後述する配線基板等との
熱膨張係数がマッチングし、しかも、ヒートスプレッダ
として必要な熱伝導率が良好であり、かつ、塑性加工が
可能な金属素材として、銅合金或いはステンレス鋼、ま
たはアルミニウムが採用される。
FIG . 13 shows a heat radiating means conventionally used in general. That is, the package 1 is made of a metal material, has rigidity, matches the coefficient of thermal expansion with a wiring board or the like described later, has good thermal conductivity required as a heat spreader, and is capable of plastic working. As the metal material, a copper alloy, stainless steel, or aluminum is used.

【0004】パッケージ1の一方面1a側には、略四角
形の凹部2が形成されている。さらに、凹部2の底面に
は、所定の板厚とした底板1cが形成され、全体として
キャビティ型に形成している。さらに、パッケージ1の
一方面1aには、TABやフレキシブルプリント基板、
或いは通常のプリント基板等からなる配線基板3が接着
剤等により接着固定されている。
[0004] On one side 1a side of the package 1, a substantially quadrangular concave portion 2 is formed. Further, a bottom plate 1c having a predetermined thickness is formed on the bottom surface of the concave portion 2, and is formed as a cavity as a whole. Further, on one surface 1a of the package 1, TAB, a flexible printed board,
Alternatively, a wiring board 3 made of a normal printed board or the like is bonded and fixed with an adhesive or the like.

【0005】また、パッケージ1の一方面1aに形成し
た凹部2には、半導体集積回路5のチップが収納され
る。半導体集積回路5は凹部2の底板1cに面接合状態
で接着剤により固定されている。そして、この半導体集
積回路ICの上面に設けた多数の端子と配線基板PBに
形成された端子部とは、ボンディングワイヤ7によって
電気的に接続される。さらに、パッケージ1の凹部2に
封止剤8を注入し、半導体集積回路ICと上記ボンディ
ングワイヤ7を封止している。
A chip of a semiconductor integrated circuit 5 is accommodated in a recess 2 formed on one surface 1a of the package 1. The semiconductor integrated circuit 5 is fixed to the bottom plate 1c of the concave portion 2 by an adhesive in a surface bonding state. A large number of terminals provided on the upper surface of the semiconductor integrated circuit IC are electrically connected to terminal portions formed on the wiring board PB by bonding wires 7. Further, a sealant 8 is injected into the concave portion 2 of the package 1 to seal the semiconductor integrated circuit IC and the bonding wire 7.

【0006】上記配線基板3にはハンダボール9が配設
されし、図示しない電子装置の回路基板に形成された端
子部と熱溶解によって電気的に接続される。一方、半導
体集積回路5が動作中に発生する熱は、ヒートスプレッ
ダとして機能するパッケージ1に伝達することにより放
熱される。さらに、この熱はパッケージ1に接合された
放熱器100に伝達され、外方に放熱される。この放熱
器100は、アルミニウム等の熱伝導率が良好な金属材
からなり、多数の板状の放熱フィン101を突出形成し
た一般に周知の構造を呈している。そして、上記パッケ
ージ1と放熱器100とは、熱伝導性を有する接着シー
ト102によって接合している。
[0006] Solder balls 9 are provided on the wiring board 3 and are electrically connected to terminals formed on a circuit board of an electronic device (not shown) by thermal melting. On the other hand, heat generated during operation of the semiconductor integrated circuit 5 is dissipated by being transmitted to the package 1 functioning as a heat spreader. Further, this heat is transmitted to the radiator 100 bonded to the package 1 and radiated outward. The radiator 100 is made of a metal material having good thermal conductivity, such as aluminum, and has a generally well-known structure in which a large number of plate-shaped radiating fins 101 are formed to protrude. The package 1 and the radiator 100 are joined by an adhesive sheet 102 having thermal conductivity.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の放熱器100は、放熱フィン101が肉厚に形成さ
れていることから期待する放熱性能が得られないため、
必要な放熱効果を得るためには、放熱器自体を大型化す
る必要がある。さらに、パッケージ1と放熱器100と
の間には接着シート102が介在しているために、この
接着シート102が熱的抵抗となって、パッケージ1の
熱が十分に放熱器100に伝達されない問題がある。
However, in the above-mentioned conventional radiator 100, since the radiating fins 101 are formed to be thick, the expected radiating performance cannot be obtained.
In order to obtain the required heat radiation effect, it is necessary to enlarge the heat radiator itself. Furthermore, since the adhesive sheet 102 is interposed between the package 1 and the radiator 100, the adhesive sheet 102 becomes a thermal resistor, and the heat of the package 1 is not sufficiently transmitted to the radiator 100. There is.

【0008】一般に、放熱器の放熱効果を高めるために
は、放熱フィンを肉薄に形成することが良いとされてい
る。しかし、この種の放熱器は、通常安価な加工方法と
してアルミニウム材を引き抜き加工によって形成するた
め、放熱フィンの肉厚を薄くするには限界があり、理想
とされる0.2mm以下程度の肉薄な放熱フィンは形成
が困難である。一方、パッケージ1と放熱器100とは
別体の部品であり、両者を接合するための接着シート1
02は不可避的なものであって、この接着シート102
による熱抵抗と上記放熱器自体の放熱効果の限界から、
従来のパッケージの放熱手段は全体的に非効率にならざ
るを得なかった。
In general, in order to enhance the heat radiating effect of the radiator, it is preferable that the heat radiating fins be formed thin. However, since this type of radiator is usually formed by drawing out an aluminum material as an inexpensive processing method, there is a limit in reducing the thickness of the radiating fins, and the ideal thickness is about 0.2 mm or less. It is difficult to form a perfect radiating fin. On the other hand, the package 1 and the radiator 100 are separate components, and an adhesive sheet 1 for joining the two.
02 is inevitable, and the adhesive sheet 102
From the thermal resistance and the heat dissipation limit of the radiator itself,
The heat radiating means of the conventional package had to be totally inefficient.

【0009】本発明は以上のような従来方法の問題点を
解決するためになされたもので、パッケージに一体に肉
薄の放熱フィンをを有する放熱器を形成することによ
り、高い放熱効果を得ることができる放熱器付パッケー
ジ及びその形成方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the conventional method, and a high heat radiation effect can be obtained by forming a radiator having thin heat radiation fins integrally with a package. And a method for forming the same.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、請求項1記載の発明は、金属板の一方面に陥没形
成した凹部内に電子部品を収納するパッケージであっ
て、上記凹部を押圧形成することによって上記金属板の
他方面側に突出形成された上記凹部の深さに対応した高
さの凸部には、上記金属板の他方面とほぼ平行に上記凸
部の表面を肉薄に削ぐことによって起立した複数枚の放
熱フィンを一体形成したことを特徴としている。
To achieve SUMMARY OF THE INVENTION The above object, an invention according to claim 1, a package housing an electronic component within a recess depressed formed on one surface of the metal plate, the recess By pressing the metal plate
The height corresponding to the depth of the recess formed on the other surface
Of the metal plate is substantially parallel to the other surface of the metal plate.
A plurality of radiating fins standing up are formed integrally by shaving the surface of the portion to a small thickness.

【0011】また、請求項2記載の放熱器付パッケージ
の形成方法は、金属板に陥没形成した凹部内に電子部品
を収納するためのパッケージを形成する方法であって、
このパッケージは、所定の板厚を有する金属板の一方面
からプレス等により上記板厚より浅い寸法とした凹
押圧形成すると共に上記凹部を押圧形成することによっ
て上記金属板の他方面側に上記凹部の深さに対応した高
さの凸部を突出形成する凹部形成工程と、上記凸部の表
面側を削ぎ刃により上記金属板の他方面とほぼ平行に
薄に削ぐと共に基端部を残して所定角度に起立させて放
熱フィンを一体形成した後、上記削いだ部分の表面側を
上記金属板の他方面とほぼ平行に肉薄に削ぐと共に基端
部を残して所定角度に起立させて放熱フィンを一体形成
する工程を繰り返し、上記上記金属板の他方面に突出形
成した凸部に複数の放熱フィンを形成する放熱フィン形
成工程を少なくとも有することを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of forming a package for accommodating an electronic component in a recess formed in a metal plate.
This package, depending on the pressing together form a said recess is pressed forming a recessed portion which is shallower dimension than the thickness of one surface by a press or the like of a metal plate having a predetermined plate thickness
The height corresponding to the depth of the recess on the other side of the metal plate.
Forming step of projecting the convex portion of the projection, and a table of the convex portion
After shaving the surface side almost in parallel with the other surface of the metal plate with a shaving blade and erecting the radiation fin integrally by erecting at a predetermined angle while leaving the base end portion, the shaved portion is removed. Front side
The step of shaving the metal plate thinly in parallel with the other surface of the metal plate and erecting the radiating fin integrally by standing up at a predetermined angle while leaving the base end portion is repeated, and the projecting shape is formed on the other surface of the metal plate.
The method is characterized by including at least a radiating fin forming step of forming a plurality of radiating fins on the formed convex portion .

【0012】また、請求項3記載の放熱器付パッケージ
の形成方法は、金属板の一方面側から上記金属板の板厚
寸法より浅い所定形状の凹部を押圧形成すると共に、他
方面側に上記凹部よりもやや小さい相似形の凸部を突出
形成し、この凸部に表面側から肉薄に削ぐことによって
起立した複数枚の放熱フィンを一体形成したことを特徴
としている。
A package with a radiator according to claim 3 .
The method of forming the recesses with pressing form shallow predetermined shape than the plate thickness dimension of the metal plate from one side of the metal plate, the convex portion of slightly smaller similar shape than the recess and protrude on the other surface side Further, a plurality of radiating fins that stand up by shaving the convex portion from the surface side thinly are integrally formed.

【0013】さらに、請求項4記載の放熱器付パッケー
ジの形成方法は、金属板の他方面側に突出形成した凸部
の両側面から左右一対の削ぎ刃を上記金属板の他方面と
ほぼ平行に上記凸部の中央方向に移動して肉薄に削ぐこ
とよりほぼ左右対象の放熱フィンを一体形成したことを
特徴としている。
A package with a radiator according to claim 4 .
The method of forming the dice is to move the pair of left and right shaving blades from both sides of the convex portion formed on the other surface side of the metal plate in a direction substantially parallel to the other surface of the metal plate toward the center of the convex portion so as to be thin. It is characterized in that the heat radiation fins that are almost symmetrical to the left and right are formed integrally by shaving.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明によるパッケージを
図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。図1
及び図2は、本発明にかかる放熱器付パッケージを適用
した半導体集積回路用パッケージの一例を示している。
尚、パッケージ1自体の基本的構成は従来例として図1
に示したパッケージと同じであり、ここでは詳細な説
明を省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a package according to the present invention will be described in detail based on an embodiment shown in the drawings. FIG.
FIG. 2 shows an example of a package for a semiconductor integrated circuit to which the package with a radiator according to the present invention is applied.
The basic configuration of the package 1 itself is a conventional example shown in FIG.
The package is the same as the package shown in FIG. 3 , and the detailed description is omitted here.

【0015】パッケージ1は金属素材からなり、剛性を
有すると共に、後述する配線基板等との熱膨張係数がマ
ッチングし、しかも、ヒートスプレッダとして必要な熱
伝導率が良好であり、かつ、塑性加工が可能な金属素材
として、銅合金或いはステンレス鋼、またはアルミニウ
ムが採用される。
The package 1 is made of a metal material, has rigidity, matches the coefficient of thermal expansion with a wiring board or the like to be described later, has good thermal conductivity required as a heat spreader, and is capable of plastic working. As a suitable metal material, a copper alloy, stainless steel, or aluminum is employed.

【0016】パッケージ1は一方面1a側に略四角形の
凹部2が形成され、凹部2の底面には、所定の板厚とし
た底板1cを形成し、全体としてキャビティ型に形成し
ている。さらに、パッケージ1の他方面1b側には、複
数の放熱フィン20aを有する放熱器20が一体に形成
されている。この放熱器20は、後述するように、パッ
ケージ1の素材となる金属板の表面を肉薄に削ぐことに
よって放熱フィン20aを起立成形したものであり、略
四角形の薄板状に形成された放熱フィン20aをパッケ
ージ1の他方面1bから所定の角度をもたせて起立形成
させている。図1及び図2に示した実施態様において
は、複数の放熱フィン20aを二分して左右対称に構成
することにより、略々放射状の形態としている。
The package 1 has a substantially rectangular recess 2 formed on one side 1a, and a bottom plate 1c having a predetermined thickness formed on the bottom surface of the recess 2 to form a cavity as a whole. Further, a radiator 20 having a plurality of radiating fins 20a is integrally formed on the other surface 1b side of the package 1. As described later, the radiator 20 is formed by erecting a heat radiation fin 20a by shaving the surface of a metal plate as a material of the package 1 so as to be thin, and the heat radiation fin 20a is formed in a substantially square thin plate shape. Are formed upright at a predetermined angle from the other surface 1 b of the package 1. In the embodiment shown in FIG. 1 and FIG. 2, the plurality of heat radiation fins 20a are bilaterally symmetrical to form a substantially radial form.

【0017】また、放熱フィン20aは、金属板の表面
を削ぐことによって形成するため、板厚を極めて薄くす
ることが可能であるが、パッケージ1における放熱フィ
ン20aとしては、0.2mm乃至0.01mm程度の
板厚が好適である。このように、放熱器20をパッケー
ジ1と一体に形成したので、パッケージ1の熱を直接放
熱器20に伝えることができ、熱伝達ロスを大幅に向上
させることができる。さらに、放熱フィン20aの厚さ
を肉薄に形成しているので、一般に通説となっている理
想的な近づけることができ、放熱効率を大幅に向上させ
る特徴がある。
Since the heat radiation fins 20a are formed by shaving the surface of a metal plate, the thickness of the heat radiation fins 20a can be made extremely thin. A plate thickness of about 01 mm is preferred. As described above, since the radiator 20 is formed integrally with the package 1, the heat of the package 1 can be directly transmitted to the radiator 20, and the heat transfer loss can be greatly improved. Further, since the thickness of the radiating fins 20a is made thin, it is possible to make the radiating fins 20a closer to the ideal as generally accepted, and there is a feature that the radiating efficiency is greatly improved.

【0018】一方、パッケージ1の一方面1aには、T
ABやフレキシブルプリント基板、或いは通常のプリン
ト基板等からなる配線基板3が接着剤等により接着固定
されている。この配線基板3には、凹部2とほぼ同じ大
きさの窓孔3aが形成され、さらに、線幅及びピッチが
37nm程度の多数の端子部4がプリント配線により形
成されている。この端子部4と配線基板3の外縁に設け
た外付け端子との間には、図示しないプリント配線が施
されている。
On the other hand, one surface 1a of the package 1 has T
A wiring board 3 made of AB, a flexible printed board, a normal printed board, or the like is bonded and fixed with an adhesive or the like. The wiring board 3 is formed with a window hole 3a having substantially the same size as the concave portion 2, and further, a large number of terminal portions 4 having a line width and a pitch of about 37 nm are formed by printed wiring. A printed wiring (not shown) is provided between the terminal portion 4 and an external terminal provided on the outer edge of the wiring board 3.

【0019】さらに、パッケージ1の一方面1aに形成
した凹部2には、半導体集積回路5のチップが収納さ
れ、凹部2の底板1cに面接合状態で接着剤により固定
されている。また、半導体集積回路5の上面には、上記
配線基板3に形成した端子部4と同じ線幅及びピッチの
多数の端子6が設けられている。そして、半導体集積回
路5と配線基板3の端子部4とは、図2に示すように、
ボンディングワイヤ7によって電気的に接続される。さ
らに、パッケージ1の凹部2に封止剤8を注入すること
により、半導体集積回路5と上記ボンディングワイヤ7
を封止している。
Further, the chip of the semiconductor integrated circuit 5 is accommodated in the concave portion 2 formed on one surface 1a of the package 1, and is fixed to the bottom plate 1c of the concave portion 2 by an adhesive in a surface bonding state. On the upper surface of the semiconductor integrated circuit 5, a large number of terminals 6 having the same line width and pitch as the terminal portions 4 formed on the wiring substrate 3 are provided. Then, as shown in FIG. 2, the semiconductor integrated circuit 5 and the terminal portion 4 of the wiring board 3
They are electrically connected by bonding wires 7. Furthermore, the semiconductor integrated circuit 5 and the bonding wires 7 are injected by injecting the sealing agent 8 into the concave portions 2 of the package 1.
Is sealed.

【0020】一方、上記配線基板3の外縁に設けた外付
け端子にはハンダボール9が配設されている。そして、
かかる集積回路部品が収納されたパッケージ1を図示し
ない電子装置の回路基板に装着するには、電子装置の回
路基板の所定位置に仮固定した状態で加熱してハンダボ
ール9を溶解し、配線基板3と電子装置の回路基板とを
電気的に接続する。
On the other hand, solder balls 9 are arranged on external terminals provided on the outer edge of the wiring board 3. And
In order to mount the package 1 containing such integrated circuit components on a circuit board of an electronic device (not shown), the solder ball 9 is melted by heating while temporarily fixed to a predetermined position of the circuit board of the electronic device, 3 is electrically connected to the circuit board of the electronic device.

【0021】次に、放熱器付パッケージ1の形成方法を
図3により説明する。図3(A)は最終的にパッケージ
1として形成される金属板10を示し、素材は、銅合金
やステンレス鋼或いはアルミニウム等が選択される。図
3(B)は押圧工程を示している。金属板10は、図示
しないプレス機のダイ11に対して位置決めした状態で
載置した後、この金属板10の一方面10a側から上記
プレス機に装着されたパンチ12からなる押圧具により
凹所2を形成する。この凹所2の深さは、前述した半導
体集積回路5のチップの形状によって設定される。尚、
図3に示す凹所2は、図1に示す凹所2と同様に四角形
としているが、他の多角形や円形等任意の形状に形成し
ても良い。
Next, a method of forming the package 1 with a radiator will be described with reference to FIG. FIG. 3A shows a metal plate 10 that is finally formed as the package 1, and the material is selected from a copper alloy, stainless steel, aluminum, or the like. FIG. 3B shows the pressing step. After the metal plate 10 is placed in a state of being positioned with respect to a die 11 of a press machine (not shown), a concave portion is formed from one side 10a of the metal plate 10 by a pressing tool including a punch 12 mounted on the press machine. Form 2 The depth of the recess 2 is set according to the shape of the chip of the semiconductor integrated circuit 5 described above. still,
Although the recess 2 shown in FIG. 3 is a quadrangle like the recess 2 shown in FIG. 1, it may be formed in any other shape such as another polygon or a circle.

【0022】このように、凹所2を形成することによ
り、金属板10の他方面10b側には凹所2の金属が移
行し、凹所2の深さとほぼ等しい高さhの凸部3が突出
形成される。この凸部3の外形寸法Luは、凹所2の開
口側寸法Ldよりもやや小さい相似形としている。この
ような寸法関係は、凸部3が金属板10から切断するこ
となく、常に連結状態を保持するためである。尚、この
ような連結状態を保持するためは、図11に示すよう
に、パンチ121からなる押圧具の先端部を先端に至る
に従って細くなるようなテーパ部121aを形成しても
よい。この結果、凹所2を形成したときに、押圧具の先
端部がダイ11の角部と離間するため、凸部3が金属板
10から切断することなく、常に連結状態が保持でき
る。
By forming the recess 2 in this manner, the metal of the recess 2 is transferred to the other surface 10b side of the metal plate 10, and the protrusion 3 having a height h substantially equal to the depth of the recess 2 is formed. Are formed to protrude. The outer dimension Lu of the projection 3 is a similar shape slightly smaller than the dimension Ld on the opening side of the recess 2. Such a dimensional relationship is for the projection 3 to always maintain the connected state without cutting from the metal plate 10. In order to maintain such a connected state, as shown in FIG. 11, a taper portion 121a may be formed such that the tip of the pressing tool including the punch 121 becomes thinner toward the tip. As a result, when the recess 2 is formed, the tip of the pressing tool is separated from the corner of the die 11, so that the projection 3 can be kept in a connected state without being cut from the metal plate 10.

【0023】図3(C)乃至(G)は、放熱器20の放
熱フィン20aの形成工程を示している。即ち、金属板
10の他方面側10bの表面側を削ぎ刃13により肉薄
に削ぐと共に、基端部を残して所定角度に起立させて1
個目の放熱フィン20aを一体形成した後、この1個目
の放熱フィン20aを削いだ部分の表面側を削ぎ刃13
により肉薄に削ぐと共に基端部を残して所定角度に起立
させて2個目の放熱フィン13aを形成し、この工程を
n回繰り返すことにより、金属板10にn個の放熱フィ
ン20aを形成するようにしている。以下、この放熱フ
ィン形成工程について詳細に説明する。
FIGS. 3C to 3G show the steps of forming the radiating fins 20a of the radiator 20. FIG. That is, the surface side of the other surface side 10b of the metal plate 10 is sharply thinned by the shaving blade 13 and is raised at a predetermined angle while leaving the base end portion.
After integrally forming the first radiating fin 20a, the surface side of the portion where the first radiating fin 20a has been shaved is cut with a blade 13
To form a second radiating fin 13a by standing up at a predetermined angle while leaving the base end portion, and by repeating this process n times, n radiating fins 20a are formed on the metal plate 10. Like that. Hereinafter, the radiation fin forming step will be described in detail.

【0024】図3(C)は、1個目の放熱フィン20a
を起立形成した状態を示している。まず、金属板10の
他方面10b側に突出形成した凸部3の両側面に左右一
対の削ぎ刃13を当接すると共に金属板10の他方面1
0bと平行に各々の削ぎ刃13を左右から中央に向けて
移動し、凸部3の中央の近傍位置で停止させる。この結
果、凸部3表面の肉が削ぎ刃13によって凸部3の表面
から所定の厚さと角度をもって削がれながら起立し、そ
の基端部は凸部3に連結した状態となって左右一対の1
個目の放熱フィン20aが形成される。
FIG. 3C shows the first radiation fin 20a.
Is shown in a standing state. First, a pair of left and right shaving blades 13 are brought into contact with both side surfaces of the convex portion 3 formed to project from the other surface 10b of the metal plate 10 and the other surface 1 of the metal plate 10 is contacted.
Each shaving blade 13 is moved from left and right toward the center in parallel with 0b, and stopped at a position near the center of the projection 3. As a result, the flesh on the surface of the convex portion 3 stands up while being shaved by the shaving blade 13 from the surface of the convex portion 3 at a predetermined thickness and angle, and its base end portion is connected to the convex portion 3 to form a pair of right and left. Of 1
The second radiation fin 20a is formed.

【0025】この工程に用いられる削ぎ刃13は、凸部
3の表面と平行な面に対して、ほぼ30度から80度の
角度に形成した刃部13aを有し、かつ、その幅は上記
凸部3の幅寸法と同じかそれ以上に設定している。ま
た、この削ぎ刃13によって削がれる削ぎ代は、起立形
成される放熱フィン20aに必要な板厚となるように設
定される。
The shaving blade 13 used in this step has a blade portion 13a formed at an angle of approximately 30 to 80 degrees with respect to a plane parallel to the surface of the convex portion 3, and has a width equal to the above-mentioned width. The width is set to be equal to or larger than the width of the convex portion 3. The shaving allowance to be shaved by the shaving blade 13 is set to a thickness required for the radiating fins 20a to be formed upright.

【0026】1個目の放熱フィン20aを起立形成した
後に、図3(D)に示すように、2個目の放熱フィン2
0aを起立形成する、この2個目の放熱フィン20a
は、1個目の放熱フィン20aを形成するために削いだ
跡部分に形成される。つまり、凸部3表面の跡部分の両
側面に左右一対の削ぎ刃13を当接し、図3(C)と同
様に、金属板10の他方面10bと平行に左右から削ぎ
刃13を移動させ、1個目の放熱フィン20aから所定
寸法だけ上流の位置で停止させる。この結果、削ぎ刃1
3によって凸部3の表面側が所定の厚さと角度をもって
削がれながら起立し、その基端部は凸部3に連結した状
態となって左右一対の2個目の放熱フィン20aが形成
される。この2個目の放熱フィン20aは、削り代寸法
が短い分高さが低くなる。
After the first radiating fin 20a is formed upright, as shown in FIG.
0a, this second heat radiation fin 20a
Are formed on the traces shaved to form the first radiation fins 20a. That is, a pair of left and right shaving blades 13 are brought into contact with both side surfaces of the trace portion on the surface of the convex portion 3, and the shaving blades 13 are moved from the left and right in parallel with the other surface 10 b of the metal plate 10 as in FIG. First, it is stopped at a position upstream of the first heat radiation fin 20a by a predetermined distance. As a result, the shaving blade 1
3, the surface side of the convex portion 3 stands up while being shaved at a predetermined thickness and angle, and its base end portion is connected to the convex portion 3 to form a pair of left and right second heat radiation fins 20a. . The height of the second radiating fin 20a is reduced by the shorter cutting allowance dimension.

【0027】3個目、4個目、5個目の放熱フィン20
aは、図3(E)乃至(G)に示すように、1つ前に形
成した放熱フィン20aを形成するために削いだ跡部分
に対し、2個目の放熱フィン20aと同様に順次形成
し、5個目の放熱フィン形成工程が終了したときには、
金属板10の他方面10b側に左右合わせて10枚の放
熱フィン20aが形成される。尚、図3に示す実施態様
において最後の5個目の放熱フィン20aは、削ぎ刃1
3を上記金属板10の表面と同一面を削ぐことになる。
また、3個目、4個目、5個目と進むに連れ、放熱フィ
ン20aの高さは順次低くなる。図4は、5個目の放熱
フィン20aを起立形成した直後の状態を示している。
Third, fourth and fifth radiating fins 20
As shown in FIGS. 3 (E) to 3 (G), a is sequentially formed on the trace portion shaved to form the heat radiation fin 20a formed immediately before, similarly to the second heat radiation fin 20a. When the fifth radiating fin forming step is completed,
Ten radiating fins 20 a are formed on the left and right sides of the other surface 10 b of the metal plate 10. In the embodiment shown in FIG. 3, the last fifth radiating fin 20a is
3, the same surface as the surface of the metal plate 10 is shaved.
The height of the heat radiation fins 20a gradually decreases as the third fin, the fourth fin, and the fifth fin progress. FIG. 4 shows a state immediately after the fifth radiation fin 20a is formed upright.

【0028】尚、削ぎ刃13によって削ぐ際に、金属板
10の材質によっては放熱フィン20aがカーリングす
ることもある。この場合は、削ぎ刃13の下流に刃部1
3aと平行なガイドを設置し、このガイドと刃部13a
との間に放熱フィン3aを進入させることによりカーリ
ングの発生を防止することができる。また、削ぎ刃13
の刃部13aは、必ずしも前述の例のように金属板10
の表面に対して鋭角な角度を有する平面でなくとも、図
12(A)に示すように、削ぎ刃131の刃部131a
を円弧面に形成してもよい。さらに、図12(B)に示
すように、削ぎ刃132の刃部132aを金属板10の
表面に対して直角な平面、または鈍角の平面133に形
成してもよい。
When the metal plate 10 is shaved by the shaving blade 13, the radiating fins 20a may curl depending on the material of the metal plate 10. In this case, the blade 1 is located downstream of the shaving blade 13.
A guide parallel to 3a is installed.
Curling can be prevented by causing the heat radiation fins 3a to enter between them. In addition, the shaving blade 13
Of the metal plate 10 as in the above-described example.
Even if it is not a plane having an acute angle with respect to the surface of the shaving blade 131, as shown in FIG.
May be formed on an arc surface. Further, as shown in FIG. 12B, the blade portion 132a of the shaving blade 132 may be formed on a plane perpendicular to the surface of the metal plate 10 or a plane 133 obtuse.

【0029】以上のように、複数の放熱フィン20a
を、金属板10の他方面側10bに対して削ぎ刃13に
よって表面側を順次肉薄に削ぐことにより、放熱効果が
良好な肉薄の放熱フィン20aが容易に形成できる。し
かも、放熱フィン20aの枚数や板厚及び高さを任意に
設定できるので、パッケージ1に必要な放熱力を任意に
対応することが可能となる。
As described above, the plurality of radiation fins 20a
Is thinned on the other side 10b of the metal plate 10 by the shaving blade 13 in order, whereby a thin radiating fin 20a having a good heat radiation effect can be easily formed. In addition, since the number, thickness and height of the radiating fins 20a can be arbitrarily set, the radiating power required for the package 1 can be arbitrarily adjusted.

【0030】図5は、放熱器の変形例を示し、放熱器2
1の放熱フィン21aを全て同じ方向に傾斜させて起立
させている。この例においても放熱フィンの形成方法は
前述の図3に示した方法と同様に削ぎ刃13を用いて形
成している。図3と相違する点は、削ぎ刃13を片側の
み使用していることである。
FIG. 5 shows a modified example of the radiator.
All the radiation fins 21a are erected in the same direction. Also in this example, the radiating fins are formed using the shaving blade 13 in the same manner as the method shown in FIG. The difference from FIG. 3 is that the shaving blade 13 is used only on one side.

【0031】即ち、金属板10の他方面10b側に突出
形成した凸部3の一方の側面に削ぎ刃13を当接すると
共に金属板10の他方面10bと平行に凸部3の他方に
向けて移動し、他方側の手前で停止させる。この結果、
凸部3表面の肉が削ぎ刃13によって凸部3から所定の
厚さと角度をもって削がれながら起立し、その基端部は
凸部3の他方端近傍に連結した状態で1個目の放熱フィ
ン21aを形成する。
That is, the shaving blade 13 is brought into contact with one side surface of the convex portion 3 protruding from the other surface 10b of the metal plate 10 and is directed toward the other of the convex portion 3 in parallel with the other surface 10b of the metal plate 10. Move and stop just before the other side. As a result,
The first surface of the projection 3 is erected while the surface of the projection 3 is shaved by the shaving blade 13 from the projection 3 with a predetermined thickness and angle, and its base end is connected to the vicinity of the other end of the projection 3. The fin 21a is formed.

【0032】次に、2個目の放熱フィン21aは、1個
目の放熱フィン21aを形成するために削いだ跡部分に
形成する。つまり、凸部3表面の跡部分の一方側の側面
に削ぎ刃13を当接し、金属板10の他方面10bと平
行に他方側に向けて削ぎ刃13を移動させ、1個目の放
熱フィン21aから所定寸法だけ上流の位置で停止す
る。この結果、削ぎ刃13によって凸部3の表面側が所
定の厚さと角度をもって削がれながら起立し、その基端
部は凸部3に連結した状態となって2個目の放熱フィン
21aが形成される。この2個目の放熱フィン21aの
高さは、削り代寸法が短い分低くなる。
Next, the second radiating fin 21a is formed at a trace portion formed to form the first radiating fin 21a. That is, the shaving blade 13 is brought into contact with one side surface of the trace portion on the surface of the convex portion 3, the shaving blade 13 is moved toward the other side in parallel with the other surface 10 b of the metal plate 10, and the first radiation fin is formed. It stops at a position upstream by a predetermined distance from 21a. As a result, the surface side of the convex portion 3 is raised by the shaving blade 13 while being shaved at a predetermined thickness and angle, and its base end portion is connected to the convex portion 3 to form the second heat radiation fin 21a. Is done. The height of the second radiating fin 21a is reduced by the shorter cutting allowance dimension.

【0033】その後、3個目、4個目と順次n個目まで
の放熱フィン21aを形成するが、図3の例と同様に、
1つ前に形成した放熱フィン21aを形成するために削
いだ跡部分に対し、次の放熱フィン21aを同様に順次
形成し、n個目の放熱フィン形成工程が終了したときに
は、金属板10の他方面10b側にn個の放熱フィン2
1aが形成される。このようにn個の放熱フィン21a
を順次起立形成するに従って、放熱フィン21aの高さ
は順次低くなる。
Thereafter, the third, fourth, and nth heat radiation fins 21a are sequentially formed. As in the example of FIG.
The next radiating fins 21a are similarly formed sequentially on the traces shaved to form the radiating fins 21a formed immediately before, and when the nth radiating fin forming step is completed, the metal plate 10 N radiation fins 2 are provided on the other surface 10b side.
1a is formed. Thus, the n heat radiation fins 21a
Are sequentially raised, the height of the radiation fins 21a is gradually reduced.

【0034】図6は、放熱器の他の変形例を示し、放熱
器22を金属板10の他方面10b側に突出形成した凸
部3に、図1によって説明した放熱器20を形成する
他、金属板10の他方面10b自体に放熱器22を形成
している。即ち、凸部3に放熱器20を形成する方法は
前述の例と同様であり、説明は省略し、金属板10の他
方面10bに形成した放熱器22の形成方法について説
明する。
FIG. 6 shows another modified example of the radiator, in which the radiator 22 described with reference to FIG. 1 is formed on the convex portion 3 formed by projecting the radiator 22 on the other surface 10b side of the metal plate 10. The radiator 22 is formed on the other surface 10b of the metal plate 10 itself. That is, the method of forming the radiator 20 on the convex portion 3 is the same as in the above-described example, and the description is omitted, and the method of forming the radiator 22 formed on the other surface 10b of the metal plate 10 will be described.

【0035】まず、金属板10の他方面10b側の両側
面に削ぎ刃13を当接すると共に金属板10の他方面1
0bと平行に左右一対の削ぎ刃13を左右から中央に向
けて移動し、凸部3の両側近傍位置で停止させる。この
結果、凸部3表面の肉が削ぎ刃13によって金属板10
から所定の厚さと角度をもって削がれながら起立し、そ
の基端部は金属板10に連結した状態となって左右一対
の1個目の放熱フィン22aが形成される。
First, the shaving blade 13 is brought into contact with both side surfaces of the metal plate 10 on the other surface 10b side, and the other surface 1 of the metal plate 10 is contacted.
The pair of left and right shaving blades 13 is moved from left and right toward the center in parallel with 0b, and stopped at positions near both sides of the convex portion 3. As a result, the meat on the surface of the convex portion 3 is removed
, While being erected with a predetermined thickness and angle, the base ends of which are connected to the metal plate 10 to form a pair of left and right first radiating fins 22a.

【0036】次に、2個目の放熱フィン22aは、1個
目の放熱フィン22aを形成するために削いだ跡部分に
形成する。つまり、金属板10表面の跡部分の両側面に
左右一対の削ぎ刃13を当接し、左右から削ぎ刃13を
移動させ、1個目の放熱フィン22aから所定寸法だけ
上流の位置で停止させる。この結果、削ぎ刃13によっ
て金属板10の表面側が所定の厚さと角度をもって削が
れながら起立し、その基端部は金属板10に連結した状
態となって左右一対の2個目の放熱フィン22aが形成
される。この2個目の放熱フィン22aの高さは、削り
代寸法が短い分低くなる。
Next, the second radiating fins 22a are formed on the traces shaved to form the first radiating fins 22a. That is, a pair of left and right shaving blades 13 are brought into contact with both side surfaces of the trace portion on the surface of the metal plate 10, the shaving blades 13 are moved from the left and right, and stopped at a position upstream from the first radiating fin 22a by a predetermined distance. As a result, the surface side of the metal plate 10 is raised by the shaving blade 13 while being shaved at a predetermined thickness and angle, and its base end is connected to the metal plate 10 to form a pair of left and right second radiating fins. 22a are formed. The height of the second radiating fins 22a becomes lower as the cutting allowance dimension is shorter.

【0037】3個目、4個目等の放熱フィン22aは、
同様に1つ前に形成した放熱フィン22aを形成するた
めに削いだ跡部分に対して順次形成する。尚、この例に
おいても3個目、4個目、5個目と進むに連れ、放熱フ
ィン22aの高さは順次低くなるが前述したように補正
可能である。
The third and fourth radiation fins 22a are:
Similarly, the heat radiation fin 22a formed immediately before is formed sequentially on the traced portion which has been shaved. In this example as well, the height of the radiation fins 22a gradually decreases as the third, fourth, and fifth fins advance, but can be corrected as described above.

【0038】図7は、放熱器のさらに他の変形例を示
し、金属板10の他方面10b側に複数個の放熱器2
0、23を形成したものである。即ち、例えば、金属板
10の他方面10b側に、図3において説明した第1の
凸部(図7に図示しない)を突出形成し、この第1の凸
部に放熱フィン20aを形成すると共に、第2の凸部
(図7に図示しない)を突出形成し、この第2の凸部に
放熱フィン23aを形成することにより、金属板10の
他方面10b側に2個の放熱器20、23を一体に形成
する。尚、これら凸部に放熱器20,23を形成する方
法は、前述の例と同様でありその説明は省略する。この
ように、複数の放熱器を適宜の位置に形成することがで
きる。
FIG. 7 shows still another modification of the radiator, in which a plurality of radiators 2 are provided on the other surface 10 b side of the metal plate 10.
0 and 23 are formed. That is, for example, the first convex portion (not shown in FIG. 7) described with reference to FIG. 3 is formed on the other surface 10b side of the metal plate 10 so as to protrude, and the radiation fin 20a is formed on the first convex portion. By forming a second convex portion (not shown in FIG. 7) protruding and forming a radiation fin 23a on the second convex portion, two radiators 20 are provided on the other surface 10b side of the metal plate 10. 23 are integrally formed. Note that the method of forming the radiators 20 and 23 on these convex portions is the same as in the above-described example, and a description thereof will be omitted. Thus, a plurality of radiators can be formed at appropriate positions.

【0039】図8乃至図10は、金属板10の他方面1
0b側に形成する放熱器の放熱フィンを変形した例を示
している。図8は、金属板10の他方面10b側に突出
形成した凸部3の各辺に対し、放熱フィン24を所定角
度をもって傾斜させたものである。このような放熱フィ
ン24を形成するには、凸部3の相対する角部の側面に
削ぎ刃14を当接すると共に、金属板10の他方面10
bと平行な状態で中央に向けて移動し、中央の手前で停
止させる。この結果、凸部3表面の肉が削ぎ刃14によ
って凸部3から所定の厚さと角度をもって削がれながら
起立し、その基端部は凸部3の他方端近傍に連結した状
態で1個目の放熱フィン24aを形成する。以降、削ぎ
刃14によって順次削ぎながら複数の放熱フィン24a
を起立成形することにより、前述したパッケージ1に、
図8に示す放熱器が形成される。
FIGS. 8 to 10 show the other surface 1 of the metal plate 10.
The example which deform | transformed the radiation fin of the radiator formed in 0b side is shown. FIG. 8 shows that the radiation fins 24 are inclined at a predetermined angle with respect to each side of the convex portion 3 formed so as to protrude from the other surface 10 b of the metal plate 10. In order to form such a radiating fin 24, the shaving blade 14 is brought into contact with the side surface of the opposite corner of the convex portion 3, and the other surface 10 of the metal plate 10 is formed.
It moves toward the center in a state parallel to b, and stops just before the center. As a result, the flesh on the surface of the convex portion 3 stands up while being shaved by the shaving blade 14 from the convex portion 3 at a predetermined thickness and angle, and one base end thereof is connected to the vicinity of the other end of the convex portion 3. The radiation fins 24a of the eyes are formed. Thereafter, the plurality of heat dissipating fins 24 a
By erecting, the package 1 described above is
The radiator shown in FIG. 8 is formed.

【0040】図9は、放熱器25の放熱フィン25aを
L字状に屈曲し、これら放熱フィン25aの頂部を凸部
3の中央方向に向けた構成に形成している。ここで使用
する削ぎ刃15は、図示のように、先端の刃部をほぼ直
角に形成している。そして、左右一対の削ぎ刃15を凸
部3の相対する辺の中心から中央に向けて移動し、中央
近傍で停止させることにより、相対向した矢形状の放熱
フィン25aが形成される。その後、前述した各例と同
様に複数の放熱フィン25aを起立形成する。さらに、
90度回転した凸部3aの他の相対する2辺から、同様
に左右一対の削ぎ刃15を凸部3の相対する辺の中心か
ら中央に向けて移動すると共に、順次繰り返すことによ
り、互いに頂部同士が凸部3の中央方向に向いたL字状
の放熱フィン25aが形成される。
FIG. 9 shows a configuration in which the radiating fins 25a of the radiator 25 are bent in an L-shape, and the tops of the radiating fins 25a are directed toward the center of the projection 3. As shown in the figure, the shaving blade 15 used here has a blade portion at the tip formed substantially at a right angle. Then, the pair of left and right shaving blades 15 is moved from the center of the opposing sides of the convex portion 3 toward the center, and is stopped near the center, thereby forming opposed arrow-shaped radiation fins 25a. Thereafter, a plurality of radiating fins 25a are formed upright in the same manner as in each of the above-described examples. further,
Similarly, a pair of left and right shaving blades 15 are moved from the center of the opposite sides of the convex portion 3 toward the center from the other two opposite sides of the convex portion 3a rotated by 90 degrees, and are successively repeated, so that the tops of the convex portions 3a are mutually positioned. L-shaped radiating fins 25a are formed so that they face each other toward the center of the convex portion 3.

【0041】尚、以上の形成方法は、左右一対の削ぎ刃
15を凸部3の中央に向けて移動することにより、一対
の放熱フィン25aを形成するようにしたが、図示のよ
うに、2対の削ぎ刃15を凸部3の中央に向けて移動さ
せ、同時に2対づつの放熱フィンを形成するようにして
も良い。
In the above-described forming method, a pair of radiating fins 25a is formed by moving the pair of left and right shaving blades 15 toward the center of the convex portion 3, but as shown in FIG. The pair of shaving blades 15 may be moved toward the center of the convex portion 3 to form two pairs of radiating fins at the same time.

【0042】図10は、放熱フィンを階段状に形成した
放熱器26を示している。ここで使用する削ぎ刃16
は、図示のように、先端の刃部が階段状に形成され、そ
して、左右一対の削ぎ刃16を凸部3の相対する辺の中
心から中央に向けて移動し、中央近傍で停止させること
により、相対向した階段状の放熱フィン26aが形成さ
れる。その後、前述した各例と同様に複数の放熱フィン
26aを順次形成する。さらに、90度回転した凸部3
の他の相対する2辺から、同様に左右一対の削ぎ刃17
を凸部3の相対する辺の中心から中央に向けて移動する
と共に、順次繰り返すことにより、互いに頂部同士が凸
部3の中央方向に向いた階段状の放熱フィン26が形成
される。
FIG. 10 shows a radiator 26 in which radiating fins are formed in a step shape. Sharpener 16 used here
As shown in the figure, the blade portion at the tip is formed in a step shape, and the pair of left and right shaving blades 16 are moved from the center of the opposite side of the convex portion 3 toward the center and stopped near the center. As a result, opposed stepwise radiation fins 26a are formed. After that, a plurality of heat radiation fins 26a are sequentially formed in the same manner as in the above-described respective examples. Furthermore, the convex part 3 rotated by 90 degrees
Similarly, from the other two opposite sides, a pair of left and right
Is moved from the center of the opposite side of the convex portion 3 to the center and is sequentially repeated, thereby forming a step-shaped heat radiation fin 26 in which the tops are directed toward the center of the convex portion 3.

【0043】尚、最初に用いる削ぎ刃16と、次に90
度回転した状態で用いる削ぎ刃17とは、段数を異なら
せているが、凸部3の寸法に応じて段数を設定すること
により、両者を同じものにすることができる。また、図
示のように、一対の削ぎ刃16と、他の一対の削ぎ刃1
7を凸部3の中央に向けて移動させ、同時に全体の放熱
フィンを形成するようにしても良い。
The shaving blade 16 to be used first and then 90
Although the number of steps is different from that of the shaving blade 17 used in a state rotated by a degree, both can be made the same by setting the number of steps according to the size of the convex portion 3. As shown in the drawing, a pair of shaving blades 16 and another pair of shaving blades 1 are provided.
7 may be moved toward the center of the convex portion 3 to simultaneously form the entire heat radiation fin.

【0044】以上説明した実施形態においては、パッケ
ージ1の凹部2内に収納する電子部品として半導体集積
回路を例示したが、ハイブリッド回路、インダクタチッ
プ、或いはレジスターアレイ等、他の電子部品であって
もよい。また、放熱器の形状及び放熱フィンの形状は、
各実施態様において開示した例の他に、略円弧状に形成
したり、多角形状に形成するなど、任意の形状に変更で
きることは勿論であり、さらに、パッケージの他方面以
外に、側面にも放熱フィンを形成してもよい。さらにま
た、前述のように形成した放熱フィンに追加工を施し、
放熱フィンを所定間隔に分断したり、一部を屈曲してさ
らに放熱効果を高めるための構造に修正することも可能
であり、本発明はこれら実施形態に限定されることな
く、本発明を逸脱しない範囲において種々変更できる。
In the embodiment described above, a semiconductor integrated circuit is illustrated as an electronic component housed in the recess 2 of the package 1, but other electronic components such as a hybrid circuit, an inductor chip, or a register array may be used. Good. In addition, the shape of the radiator and the shape of the radiation fin
In addition to the examples disclosed in the respective embodiments, it is needless to say that the shape can be changed to an arbitrary shape such as a substantially arc shape or a polygonal shape. Fins may be formed. Furthermore, additional processing is performed on the radiation fins formed as described above,
It is also possible to divide the heat radiation fins at predetermined intervals, or to bend some of them to modify the structure to further enhance the heat radiation effect, and the present invention is not limited to these embodiments and deviates from the present invention. Various changes can be made without departing from the scope.

【0045】[0045]

【発明の効果】以上述べたように、本発明による放熱器
付パッケージは、凹部を押圧形成することによって金属
板の他方面側に突出形成された凸部を肉薄に削ぐことに
よって起立した複数枚の放熱フィンを一体形成したの
で、肉薄の放熱フィンによって高い放熱効果を得ること
ができる。さらに、放熱器がパッケージに一体に形成さ
れるので、両者の間に介在物が存在しないことから、パ
ッケージの熱を直接放熱器に伝達することができ、放熱
特性を大幅に向上することができる。また、凹部を押圧
形成することによって突出形成された凸部をそのまま利
用して複数枚の放熱フィンを一体形成するので、パッケ
ージに必要な肉厚や機能に影響を与えることがない。さ
らにまた、放熱器付パッケージの形成方法によれば、複
数の放熱フィンをパッケージとなる金属板の他方面側に
突出形成された凸部に対して削り刃によって肉薄に削ぐ
ことにより、放熱効果が良好な肉薄の放熱フィンが容易
に形成でき、しかも、放熱フィンの枚数、板厚及び高さ
を任意に設定できるので、パッケージに必要な放熱力を
任意に設定することができる。
As described above, in the package with a radiator according to the present invention, a plurality of erect packages are formed by pressing the recesses and shaving the projections formed on the other surface of the metal plate so as to be thin. Since the heat radiating fins are integrally formed, a high heat radiating effect can be obtained by the thin heat radiating fins. Furthermore, since the radiator is formed integrally with the package, since there is no intervening material between the two, the heat of the package can be directly transmitted to the radiator, and the heat radiation characteristics can be greatly improved. . Further, since a plurality of heat radiation fins are integrally formed by using the convex portion formed by pressing the concave portion as it is, the thickness and function required for the package are not affected. Furthermore, according to the method of forming a package with a radiator, a plurality of radiating fins are thinly shaved by a shaving blade on a protruding portion formed on the other surface side of a metal plate to be a package, so that a heat radiating effect is improved. Since good thin radiating fins can be easily formed, and the number, thickness and height of the radiating fins can be arbitrarily set, the radiating power required for the package can be arbitrarily set.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかる放熱器付パッケージを示す分解
斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a package with a radiator according to the present invention.

【図2】本発明にかかる放熱器付パッケージに電子部品
を配設した状態を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state in which electronic components are provided in a package with a radiator according to the present invention.

【図3】(A)乃至(G)は、本発明による放熱器付パ
ッケージの形成方法を示す工程説明図である
FIGS. 3A to 3G are process explanatory views showing a method for forming a package with a radiator according to the present invention; FIGS.

【図4】図3(G)の形成状態を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing the state of formation of FIG. 3 (G).

【図5】本発明にかかる放熱器付パッケージの他の実施
態様を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing another embodiment of the package with a radiator according to the present invention.

【図6】本発明にかかる放熱器付パッケージのさらに他
の実施態様を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing still another embodiment of the package with a radiator according to the present invention.

【図7】本発明にかかる放熱器付パッケージのさらにま
た他の実施態様を示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing still another embodiment of the package with a radiator according to the present invention.

【図8】本発明にかかる放熱器付パッケージにおける放
熱フィンの他の実施態様を示す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing another embodiment of the radiation fins in the package with a radiator according to the present invention.

【図9】本発明にかかる放熱器付パッケージにおける放
熱フィンのさらに他の実施態様を示す平面図である。
FIG. 9 is a plan view showing still another embodiment of the radiation fins in the package with a radiator according to the present invention.

【図10】本発明にかかる放熱器付パッケージにおける
放熱フィンのさらにまた他の実施態様を示す平面図であ
る。
FIG. 10 is a plan view showing still another embodiment of the radiation fins in the package with a radiator according to the present invention.

【図11】パンチからなる押圧具の変形例を示す断面図
である。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a modification of a pressing tool formed of a punch.

【図12】(A)(B)は、削ぎ刃の変形例を示す断面
図である。
FIGS. 12A and 12B are cross-sectional views showing modified examples of the shaving blade.

【図13】従来のパッケージを示す断面図である。FIG. 13 is a sectional view showing a conventional package.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 パッケージ 2 凹部 3 凸部 10 金属板 10a 一方面 10b 他方面 13 削ぎ刃 20 放熱器 20a 放熱フィン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Package 2 Concave part 3 Convex part 10 Metal plate 10a One surface 10b The other surface 13 Sharpening blade 20 Radiator 20a Radiating fin

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 金属板の一方面に陥没形成した凹部内に
電子部品を収納するパッケージであって、上記凹部を押
圧形成することによって上記金属板の他方面側に突出形
成された上記凹部の深さに対応した高さの凸部には、上
記金属板の他方面とほぼ平行に上記凸部の表面を肉薄に
削ぐことによって起立した複数枚の放熱フィンを一体形
成したことを特徴とする放熱器付パッケージ。
1. A package for accommodating an electronic component in a recess formed on one surface of a metal plate, wherein the package is formed by pressing the recess to form a projection on the other surface of the metal plate. A plurality of radiating fins are integrally formed on the convex portion having a height corresponding to the depth by shaving the surface of the convex portion thinly almost in parallel with the other surface of the metal plate. Package with radiator.
【請求項2】 金属板に陥没形成した凹部内に電子部品
を収納するためのパッケージを形成する方法であって、
このパッケージは、所定の板厚を有する金属板の一方面
からプレス等により上記板厚より浅い寸法とした凹
押圧形成すると共に上記凹部を押圧形成することによっ
て上記金属板の他方面側に上記凹部の深さに対応した高
さの凸部を突出形成する凹部形成工程と、上記凸部の表
面側を削ぎ刃により上記金属板の他方面とほぼ平行に肉
薄に削ぐと共に基端部を残して所定角度に起立させて放
熱フィンを一体形成した後、上記削いだ部分の表面側を
上記金属板の他方面とほぼ平行に肉薄に削ぐと共に基端
部を残して所定角度に起立させて放熱フィンを一体形成
する工程を繰り返し、上記金属板の他方面に突出形成し
た凸部に複数の放熱フィンを形成する放熱フィン形成工
程を少なくとも有することを特徴とする放熱器付パッケ
ージの形成方法。
2. A method for forming a package for accommodating an electronic component in a recess formed in a metal plate, comprising:
This package is on the other side of the metal plate by pressing the above depressions with presses form a recess which is shallower dimension than the thickness by a press or the like from one side of the metal plate having a predetermined plate thickness A concave portion forming step of protruding and forming a convex portion having a height corresponding to the depth of the concave portion, and shaving the surface side of the convex portion almost in parallel with the other surface of the metal plate with a sharpening blade, and shaping the base end portion. After leaving the radiating fins integrally formed by standing up at a predetermined angle, the surface side of the shaved portion is shaved thinly almost in parallel with the other surface of the metal plate, and erected at a predetermined angle while leaving the base end portion. A method for forming a package with a heat radiator, comprising at least a step of forming a plurality of radiating fins on a projecting portion formed on the other surface of the metal plate by repeating a step of integrally forming a radiating fin.
【請求項3】 金属板の一方面側から上記金属板の板厚
寸法より浅い所定形状の凹部を押圧形成すると共に、他
方面側に上記凹部よりもやや小さい相似形の凸部を突出
形成し、この凸部に表面側から肉薄に削ぐことによって
起立した複数枚の放熱フィンを一体形成した請求項2に
記載の放熱器付パッケージの形成方法
3. A recess having a predetermined shape, which is shallower than the thickness of the metal plate, is formed on one side of the metal plate by pressing, and a similar projection slightly smaller than the recess is formed on the other surface of the metal plate. , to claim 2 which is integrally formed a plurality of radiation fins standing by discouraging from the surface side to the thin to the projections
A method for forming the package with a radiator according to the above .
【請求項4】 金属板の他方面側に突出形成した凸部の
両側面から左右一対の削ぎ刃を上記金属板の他方面とほ
ぼ平行に上記凸部の中央方向に移動して肉薄に削ぐこと
よりほぼ左右対象の放熱フィンを一体形成した請求項2
に記載の放熱器付パッケージの形成方法
4. A pair of left and right shaving blades are moved from both side surfaces of a convex portion formed on the other surface side of the metal plate in a direction substantially parallel to the other surface of the metal plate toward the center of the convex portion so as to be thinned. claim 2 which is integrally formed a substantially radiating fins symmetrical than that
3. The method for forming a package with a radiator according to item 1 .
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