JP3242518B2 - Method and apparatus for measuring solution sample - Google Patents

Method and apparatus for measuring solution sample

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JP3242518B2
JP3242518B2 JP00221394A JP221394A JP3242518B2 JP 3242518 B2 JP3242518 B2 JP 3242518B2 JP 00221394 A JP00221394 A JP 00221394A JP 221394 A JP221394 A JP 221394A JP 3242518 B2 JP3242518 B2 JP 3242518B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、高周波誘導結合プラズ
マ発光分光分析または高周波誘導結合プラズマ質量分析
等に使用される溶液試料の測定方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for measuring a solution sample used in high frequency inductively coupled plasma emission spectroscopy or high frequency inductively coupled plasma mass spectrometry.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に高周波誘導結合プラズマ発光分光
分析(ICP−AES)は、高周波エネルギーにより発
生させたアルゴンの高温プラズマの中心部に試料溶液を
霧化させて注入し、試料中の元素による発光を分光して
それぞれの強度を測定することにより各元素の含有率を
定量する方法である。高周波誘導結合プラズマ質量分析
(ICP−MS)は、高周波エネルギーにより発生させ
たアルゴンの高温プラズマの中心部に試料溶液を霧化さ
せて注入し、発生する試料中の元素のイオンを質量分析
計で測定することにより各元素の含有率を定量する方法
である。この2つの定量方法は、多くの元素が同時に
分析でき、感度、精度が高い、などの特徴を有するた
め、広く用いられている。
2. Description of the Related Art In general, high frequency inductively coupled plasma emission spectroscopy (ICP-AES) is a technique in which a sample solution is atomized and injected into the center of a high-temperature plasma of argon generated by high-frequency energy, and light is emitted by elements in the sample. This is a method for quantifying the content of each element by measuring the respective intensities by spectroscopy. In high-frequency inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS), a sample solution is atomized and injected into the center of a high-temperature plasma of argon generated by high-frequency energy, and the generated element ions in the sample are analyzed by a mass spectrometer. This is a method of quantifying the content of each element by measuring. These two quantification methods are widely used because many elements can be analyzed simultaneously and have characteristics such as high sensitivity and high accuracy.

【0003】プラズマ中への試料溶液の供給は、試料を
霧状にして行う。試料霧化の方法は霧吹き方式または超
音波方法であって、ネブライザの霧化部でアルゴンガス
の流れにより試料溶液を吸い上げ、この試料溶液をチャ
ンバー内に噴霧するか、あるいはトランスデューサの振
動により試料溶液を霧化する。この噴霧粒子のうち大径
の粒子は除外し、小径の粒子のみを気流に乗せてプラズ
マ中に送るようにしている。この際、測定精度を維持す
るために重要なことは、一定の粒度分布をもった粒子が
安定した密度で供給されることである。残りの溶液はチ
ャンバー内を通過する間に下部にたまり、ドレインから
排出される。
[0003] The supply of the sample solution into the plasma is performed by atomizing the sample. The method of atomizing the sample is a spraying method or an ultrasonic method. The atomizing part of the nebulizer sucks up the sample solution by the flow of the argon gas and sprays the sample solution into the chamber, or vibrates the transducer to vibrate the sample solution. Atomize. Among the spray particles, large-diameter particles are excluded, and only small-diameter particles are sent to the plasma by being placed in an air stream. At this time, what is important for maintaining the measurement accuracy is that particles having a certain particle size distribution are supplied at a stable density. The remaining solution accumulates at the bottom while passing through the chamber and is drained from the drain.

【0004】実際の作業では、まず検量線を作成してか
ら定量する試料を測定するため、少なくとも数回の測定
を必要とする。その間、一回の測定が終わるごとに試料
溶液に代えて室温水を噴霧し、ネブライザの霧化部およ
びチャンバー内を洗浄する。
In an actual operation, at least several measurements are required in order to prepare a calibration curve and then measure a sample to be quantified. In the meantime, each time one measurement is completed, room temperature water is sprayed instead of the sample solution to wash the nebulizer and the inside of the chamber of the nebulizer.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、高濃度塩溶液
を測定する場合には、ネブライザの霧化部に塩が析出し
易く、試料溶液と交互に噴霧される室温水によっても完
全には洗浄し得ないので、測定を繰り返すうちには析出
した塩が次第に蓄積し、溶液試料の定常的な噴霧が不可
能となり結果として発光強度およびイオン強度が経時的
に変化する。このため、一旦アルゴンプラズマを消灯
し、ネブライザ本体を取りはずしてネブライザの霧化部
に付着した塩を取り除かなくてはならなかった。測定を
再開する前には装置の安定を待ってから再び検量線を作
成しなくてはならず、操作が煩雑であるのみならず作業
効率が著しく低下する。また塩の析出による発光強度お
よびイオン強度の経時変化は検量線の信頼性を低下さ
せ、精度の高い測定を困難にする。
However, when measuring a high-concentration salt solution, salt easily precipitates in the atomization part of the nebulizer, and is completely washed even with room temperature water sprayed alternately with the sample solution. As the measurement is repeated, the precipitated salt gradually accumulates, making it impossible to spray the solution sample constantly, and as a result, the emission intensity and the ionic intensity change with time. For this reason, the argon plasma must be turned off once, the nebulizer body must be removed, and the salt attached to the atomization part of the nebulizer must be removed. Before restarting the measurement, it is necessary to wait for the stability of the apparatus and then to prepare a calibration curve again, which not only complicates the operation but also significantly lowers the working efficiency. Further, the temporal change of the luminescence intensity and the ionic intensity due to salt precipitation lowers the reliability of the calibration curve and makes it difficult to perform highly accurate measurement.

【0006】これまで塩の析出を防ぐ手段としては、噴
霧に用いるアルゴンガスを加湿する方法が知られてい
る。しかし、この方法では若干の改善は見られるものの
発光強度およびイオン強度の経時変化を防ぐ効果は不十
分なものであった。一方、ネブライザの霧化部の塩を取
り除く効果を高めるために、試料溶液と交互に噴霧する
室温水に代えて、室温を超える温度の水(以下、単に
「加温水」という)を使うことは、これまで行われてい
なかった。その理由は、特開昭60−73437号公報
に示されるように、加温水を噴霧するとチャンバー内の
温度が上昇し試料溶液の噴霧効率が著しく変化するた
め、精密な測定が不可能となると考えられていたためで
ある。
As a means for preventing the precipitation of salt, a method of humidifying argon gas used for spraying has been known. However, although this method is slightly improved, the effect of preventing the luminescence intensity and the ionic intensity from changing with time is insufficient. On the other hand, in order to enhance the effect of removing salts in the atomization part of the nebulizer, it is not possible to use water at a temperature higher than room temperature (hereinafter simply referred to as "warming water") instead of room temperature water sprayed alternately with the sample solution. Had never been done before. The reason is that, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-73337, it is thought that when spraying heated water, the temperature inside the chamber rises and the spray efficiency of the sample solution changes significantly, so that precise measurement becomes impossible. Because it was.

【0007】ところが、本発明者らは、ネブライザで加
温水を噴霧することや、チャンバー内のネブライザの霧
化部に加温水を吹き付けることをある条件のもとに行え
ば、噴霧効率の変化による精度低下の影響を受けること
なく発光強度およびイオン強度の経時変化を防ぐことが
できることを見い出した。この方法はネブライザ本体を
取りはずすことなく行えるので、測定時間の大幅な短縮
が可能である。
However, the present inventors have found that spraying heated water with a nebulizer or spraying heated water on an atomizing portion of a nebulizer in a chamber under certain conditions may cause a change in spray efficiency. It has been found that it is possible to prevent the luminescence intensity and the ionic intensity from changing with time without being affected by a decrease in accuracy. Since this method can be performed without removing the nebulizer main body, the measurement time can be significantly reduced.

【0008】本発明の目的は、高周波誘導結合プラズマ
発光分光分析または高周波誘導結合プラズマ質量分析に
おいて、ネブライザの霧化部に析出した塩の影響による
発光強度およびイオン強度の経時変化を防いで測定精度
を向上させるとともに、測定時間の大幅な短縮が可能な
溶液試料の測定方法および装置を提供することである。
また本発明は、試料溶液を霧化するネブライザを備える
他の分析装置による溶液試料の測定にも適用することが
できる。
An object of the present invention is to provide a high-frequency inductively coupled plasma emission spectroscopy or a high-frequency inductively coupled plasma mass spectrometry, which is capable of preventing a change in emission intensity and ionic intensity over time due to the effect of salts deposited on an atomizing portion of a nebulizer, and measuring accuracy. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for measuring a solution sample capable of improving the measurement time and greatly reducing the measurement time.
The present invention can also be applied to the measurement of a solution sample by another analyzer provided with a nebulizer for atomizing the sample solution.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の溶液試料の測定方法および装置は、 (1)試料溶液を霧化するネブライザを備える分析装置
を使用する測定方法において、前記ネブライザの霧化部
に加温水を供給することを特徴とする。 (2)分析装置が高周波誘導結合プラズマ発光分光分析
装置または高周波誘導結合プラズマ質量分析装置である
ことを特徴とする。 (3)溶液試料と、加温水とを交互に噴霧することを特
徴とする。 (4)ネブライザの霧化部に外部から導入した加温水を
強制的に吹き付けることを特徴とする。 (5)溶液試料の噴霧と、室温水を噴霧させた状態での
加温水の吹き付けとを交互に行うことを特徴とする。 (6)ネブライザの霧化部へ加温水を通過させる時間ま
たは吹き付ける時間が、溶液試料から前記加温水への切
り替えにより、発光強度またはイオン強度が変化し安定
するまでの時間以上であることを特徴とする。 (7)加温水の温度が30℃以上沸点以下の範囲である
ことを特徴とする。 (8)加温水が、加温水単独、または、無機酸、有機酸
もしくは界面活性剤の1種以上の混合物を含むことを特
徴とする。 (9)前記溶液試料の測定方法を実施するための試料ま
たは加温水の供給装置であって、試料を供給する試料供
給部と、加温水を保存する加温水槽と、前記試料供給部
または加温水槽内の試料または加温水に選択的に浸漬可
能な吸い上げノズルと、前記吸い上げノズルから試料ま
たは加温水を選択的に吸い上げ前記ネブライザの霧化部
に供給する吸い上げポンプとを備える。 (10)前記試料供給部は、回転可能なターンテーブル
と、溶液試料が入れられ、前記ターンテーブルに脱着可
能な試験管とを有する。
In order to solve the above-mentioned problems, a method and an apparatus for measuring a solution sample according to the present invention include: (1) a method for measuring using a nebulizer for atomizing a sample solution; And heating water is supplied to an atomizing section of the nebulizer. (2) The analyzer is a high-frequency inductively coupled plasma emission spectrometer or a high-frequency inductively coupled plasma mass spectrometer. (3) The solution sample and the warm water are sprayed alternately. (4) The invention is characterized in that warming water introduced from the outside is forcibly sprayed onto the atomizing section of the nebulizer. (5) The spraying of the solution sample and the spraying of warming water in a state where room temperature water is sprayed are performed alternately. (6) The time for passing or blowing the heated water to the atomizing part of the nebulizer is equal to or longer than the time required for the emission intensity or ionic intensity to change and stabilize by switching from the solution sample to the heated water. And (7) The temperature of the heated water is in the range of 30 ° C. or more and the boiling point or less. (8) The heating water is characterized by containing the heating water alone or a mixture of at least one of an inorganic acid, an organic acid and a surfactant. (9) A sample or heated water supply device for performing the solution sample measurement method, wherein the sample supply unit supplies a sample, a heated water tank that stores heated water, the sample supply unit or the heated water supply unit. A suction nozzle that can be selectively immersed in a sample or heated water in a hot water tank, and a suction pump that selectively sucks a sample or heated water from the suction nozzle and supplies the sample or heated water to an atomizing unit of the nebulizer. (10) The sample supply unit has a rotatable turntable and a test tube in which a solution sample is placed and which is detachable from the turntable.

【0010】[0010]

【作用および発明の効果】本発明の方法によれば、試料
溶液から析出しネブライザの霧化部に付着した塩を確実
に取り除くことができるため、発光強度およびイオン強
度の経時変化を最小限に抑えることができ、精度の高い
測定が可能である。また、この方法はネブライザ部を取
りはずすことなく行えるので、測定時間の大幅な短縮が
可能である
According to the method of the present invention, it is possible to reliably remove the salts deposited from the sample solution and adhered to the atomizing portion of the nebulizer. The measurement can be suppressed and highly accurate measurement can be performed. In addition, since this method can be performed without removing the nebulizer, the measurement time can be significantly reduced.

【0011】。[0011]

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。ネ
ブライザで加温水を噴霧させる方法でも、チャンバー内
のネブライザの霧化部に外部から導入した加温水を強制
的に吹きつける方法でも作用効果は同じであり、クロス
フロー型、同軸型、超音波型などのネブライザの型式に
は関係しない。また、高周波誘導結合プラズマ発光分光
分析、高周波誘導結合プラズマ質量分析は試料溶液を霧
化する原理は同じであるので、ここでは高周波誘導結合
プラズマ発光分光分析でクロスフロー型、同軸型のネブ
ライザを用いて加温水を噴霧させる方法での実施例につ
いて述べる。溶液試料の測定は、例えば図10に示すよ
うに、以下の手順で行う。 室温水をネブライザで噴霧させ、アルゴンプラズマを
点灯し、15〜30分間放置して高周波誘導結合プラズ
マ発光分光分析装置を安定させる。 室温水または加温水をはずし、被測定液を取りつけ
る。発光強度を安定させるため約20秒間の予備噴霧を
行う。 測定を行う。被測定液を約10秒間噴霧し、発光強度
を測定する。 被測定液をはずし、室温水または加温水を発光強度が
0付近で一定するまで噴霧してネブライザの霧化部およ
びチャンバー内を洗浄する。 前記、、を繰り返す。
Embodiments of the present invention will be described below. The effect is the same whether spraying heated water with a nebulizer or forcibly spraying heated water introduced from the outside into the atomizing part of the nebulizer in the chamber.Cross-flow type, coaxial type, ultrasonic type It has nothing to do with the type of nebulizer. Since the principle of atomizing the sample solution is the same for high-frequency inductively coupled plasma emission spectroscopy and high-frequency inductively coupled plasma mass spectroscopy, cross-flow and coaxial nebulizers are used here for high-frequency inductively coupled plasma emission spectroscopy. An example of a method of spraying warming water by spraying will be described. The measurement of the solution sample is performed by the following procedure, for example, as shown in FIG. Room temperature water is sprayed with a nebulizer, argon plasma is turned on, and left for 15 to 30 minutes to stabilize the high frequency inductively coupled plasma emission spectrometer. Remove the room temperature water or heated water and attach the liquid to be measured. Preliminary spraying is performed for about 20 seconds to stabilize the emission intensity. Perform the measurement. The liquid to be measured is sprayed for about 10 seconds, and the luminescence intensity is measured. The liquid to be measured is removed, and room temperature water or heated water is sprayed until the luminescence intensity becomes constant at around 0 to wash the nebulizer and the inside of the chamber of the nebulizer. The above is repeated.

【0012】図9(B)に、上記手順により試料溶液と
交互に加温水を噴霧して測定を行う際の発光強度の変化
を模式的に示す。なお、以下の比較テスト中では室温水
として23℃の水を用いた。比較テスト1 ジルコニア系セラミックス中のイットリウムの定量を、
以下の2方法で行った。
FIG. 9B schematically shows a change in luminescence intensity when measurement is performed by spraying warm water alternately with the sample solution according to the above procedure. In the following comparative tests, water at 23 ° C. was used as room temperature water. Comparative test 1 Determination of yttrium in zirconia ceramics
The following two methods were used.

【0013】Li247 :1gを3.6%塩酸:1
00ミリリットルに溶解し、100.0ppmのY23 を添
加して試料溶液を作製した。クロスフロー型ネブライザ
を使用し、測定波長371.03nmで手順、、
に従ってイットリウムの発光強度を測定した。その後、
室温蒸留水を発光強度が安定するまで噴霧した。この場
合は30秒間で十分であった。再び試料を噴霧し、発光
強度を測定することを10回繰り返した。測定結果を濃
度に換算したものを図1に示す。
Li 2 B 4 O 7 : 1 g is added to 3.6% hydrochloric acid: 1
The sample was dissolved in 00 ml, and 100.0 ppm of Y 2 O 3 was added to prepare a sample solution. Using a cross-flow nebulizer, the procedure was performed at a measurement wavelength of 371.03 nm,
The emission intensity of yttrium was measured according to the following. afterwards,
Room temperature distilled water was sprayed until the emission intensity became stable. In this case, 30 seconds was sufficient. Spraying the sample again and measuring the emission intensity were repeated 10 times. FIG. 1 shows the results of the measurement converted to concentrations.

【0014】次に、室温蒸留水の代わりに60℃加温蒸
留水を使用し、それ以外の条件は同じにして同一試料を
測定した。測定結果を濃度に換算したものを図2に示
す。この結果から分かるように、室温蒸留水を用いた場
合はネブライザの霧化部での塩の析出により試料の噴霧
状態が変動し、測定値が次第に高くなっている。4回目
の測定で既に測定誤差±1%以上となり、10回目の測
定では5%もの誤差を生じている。これに対し60℃加
温蒸留水を用いた場合には、すべての測定値が±1%以
内におさまっており、連続して精密測定が可能であるこ
とがわかる。
Next, the same sample was measured using distilled water heated at 60 ° C. instead of distilled water at room temperature under the same conditions. FIG. 2 shows the result of the measurement converted to a concentration. As can be seen from the results, when room temperature distilled water was used, the spraying state of the sample fluctuated due to the precipitation of salt in the atomization section of the nebulizer, and the measured value gradually increased. A measurement error of ± 1% or more has already occurred in the fourth measurement, and an error of as much as 5% has occurred in the tenth measurement. On the other hand, when the distilled water heated at 60 ° C. was used, all the measured values were within ± 1%, indicating that precise measurement could be continuously performed.

【0015】比較テスト2 酸化鉛系セラミックス中の鉛の定量を、以下の2方法で
行った。Na2 CO3 :0.12g、H3 BO3 :0.
03gを1.8%塩酸:100ミリリットルに溶解し、70.
0ppmのPbOを添加して試料溶液を作製した。クロ
スフロー型ネブライザを使用し、測定波長220.35
nmで手順、、に従って鉛の発光強度を測定し
た。その後、室温蒸留水を発光強度が安定するまで噴霧
した。この場合は30秒間で十分であった。再び試料を
噴霧し、発光強度を測定することを10回繰り返した。
測定結果を濃度に換算したものを図3に示す。
Comparative Test 2 The amount of lead in lead oxide-based ceramics was determined by the following two methods. Na 2 CO 3 : 0.12 g, H 3 BO 3 : 0.
03 g of 1.8% hydrochloric acid: dissolved in 100 ml.
A sample solution was prepared by adding 0 ppm of PbO. Use a cross-flow nebulizer and measure the wavelength 220.35
The emission intensity of lead was measured according to the procedure in nm. Thereafter, room temperature distilled water was sprayed until the emission intensity became stable. In this case, 30 seconds was sufficient. Spraying the sample again and measuring the emission intensity were repeated 10 times.
FIG. 3 shows the result of the measurement converted to a concentration.

【0016】次に、室温蒸留水の代わりに60℃加温蒸
留水を使用し、それ以外の条件は同じにして同一試料を
測定した。測定結果を濃度に換算したものを図4に示
す。この結果から分かるように、室温蒸留水を用いた場
合はネブライザの霧化部での塩の析出により試料の噴霧
状態が変動し、測定値が次第に高くなっている。3回目
の測定で既に測定誤差±1%以上となり、10回目の測
定では8.6%もの誤差を生じている。これに対し60
℃加温蒸留水を用いた場合には、すべての測定値が±1
%以内におさまっており、連続して精密測定が可能であ
ることがわかる。
Next, the same sample was measured using distilled water heated at 60 ° C. instead of distilled water at room temperature under the same other conditions. FIG. 4 shows the measurement results converted to concentrations. As can be seen from the results, when room temperature distilled water was used, the spraying state of the sample fluctuated due to the precipitation of salt in the atomization section of the nebulizer, and the measured value gradually increased. In the third measurement, the measurement error has already become ± 1% or more, and in the tenth measurement, an error of 8.6% has occurred. In contrast, 60
When using distilled water heated at ℃, all measured values are ± 1
%, Which indicates that precise measurement can be continuously performed.

【0017】比較テスト3 アルミナ中のジルコニウムの定量を、以下の2方法で行
った。Li247 :1g、シュウ酸:1gを3.6
%塩酸:100ミリリットルに溶解し、1.00ppmのZr
2 を添加して試料溶液を作製した。クロスフロー型ネ
ブライザを使用し、測定波長257.14nmで手順
、、に従ってジルコニウムの発光強度を測定し
た。その後、室温蒸留水を発光強度が安定するまで噴霧
した。この場合は30秒間で十分であった。再び試料を
噴霧し、発光強度を測定することを10回繰り返した。
測定結果を濃度に換算したものを図5に示す。
Comparative Test 3 The determination of zirconium in alumina was performed by the following two methods. 3.6 g of 1 g of Li 2 B 4 O 7 and 1 g of oxalic acid
% Hydrochloric acid: dissolved in 100 ml, 1.00 ppm Zr
O 2 was added to prepare a sample solution. Using a cross-flow nebulizer, the emission intensity of zirconium was measured at a measurement wavelength of 257.14 nm according to the procedure. Thereafter, room temperature distilled water was sprayed until the emission intensity became stable. In this case, 30 seconds was sufficient. Spraying the sample again and measuring the emission intensity were repeated 10 times.
FIG. 5 shows the result of the measurement converted to a concentration.

【0018】次に、室温蒸留水の代わりに60℃加温蒸
留水を使用し、それ以外の条件は同じにして同一試料を
測定した。測定結果を濃度に換算したものを図6に示
す。この結果から分かるように、室温蒸留水を用いた場
合はネブライザの霧化部での塩の析出により試料の噴霧
状態が変動し、測定値が大きくばらつきつつ次第に高く
なっている。2回目の測定で既に測定誤差±1%以上と
なり、5回目の測定では17%もの誤差を生じている。
これに対し60℃加温蒸留水を用いた場合には、9回目
の測定まで±1%以内におさまっており、実用上問題の
ない範囲で連続測定が可能である。
Next, the same sample was measured using distilled water heated at 60 ° C. instead of distilled water at room temperature, and the other conditions were the same. FIG. 6 shows the result of the measurement converted to a concentration. As can be seen from the results, when distilled water at room temperature was used, the spray state of the sample fluctuated due to the precipitation of salt in the atomization section of the nebulizer, and the measured values gradually increased with large fluctuations. The measurement error has already become ± 1% or more in the second measurement, and an error of 17% has occurred in the fifth measurement.
On the other hand, when the distilled water heated at 60 ° C. was used, the measurement was within ± 1% until the ninth measurement, and continuous measurement was possible within a practically acceptable range.

【0019】比較テスト4 アルミナ中のジルコニウムの定量を、以下の2方法で行
った。Na2 CO3 :0.12g、H3 BO3 :0.0
3gを1.8%塩酸:100ミリリットルに溶解し、1.00
ppmのZrO2 を添加して試料溶液を作製した。同軸
型ネブライザを使用し、測定波長257.14nmで手
順、、に従ってジルコニウムの発光強度を測定し
た。その後、室温蒸留水を発光強度が安定するまで噴霧
した。この場合は30秒間で十分であった。再び試料を
噴霧し、発光強度を測定することを10回繰り返した。
測定結果を濃度に換算したものを図7に示す。
Comparative Test 4 The determination of zirconium in alumina was performed by the following two methods. Na 2 CO 3 : 0.12 g, H 3 BO 3 : 0.0
3 g of 1.8% hydrochloric acid: dissolved in 100 ml,
A sample solution was prepared by adding ppm of ZrO 2 . Using a coaxial nebulizer, the emission intensity of zirconium was measured at a measurement wavelength of 257.14 nm according to the procedure. Thereafter, room temperature distilled water was sprayed until the emission intensity became stable. In this case, 30 seconds was sufficient. Spraying the sample again and measuring the emission intensity were repeated 10 times.
FIG. 7 shows the results of the measurement converted to concentrations.

【0020】次に、室温蒸留水の代わりに60℃加温蒸
留水を使用し、それ以外の条件は同じにして同一試料を
測定した。測定結果を濃度に換算したものを図8に示
す。この結果から分かるように、室温蒸留水を用いた場
合はネブライザの霧化部での塩の析出により試料の噴霧
状態が変動し、測定値が次第に高くなっている。3回目
の測定で既に測定誤差±1%以上となり、10回目の測
定では24%もの誤差を生じている。これに対し60℃
加温蒸留水を用いた場合には、ほとんどの測定値が±1
%以内におさまっており、連続して精密測定が可能であ
ることがわかる。
Next, the same sample was measured using distilled water heated at 60 ° C. instead of distilled water at room temperature under the same conditions. FIG. 8 shows the result of the measurement converted to a concentration. As can be seen from the results, when room temperature distilled water was used, the spraying state of the sample fluctuated due to the precipitation of salt in the atomization section of the nebulizer, and the measured value gradually increased. In the third measurement, the measurement error has already become ± 1% or more, and in the tenth measurement, an error of as much as 24% has occurred. 60 ° C
When heated distilled water was used, most of the measured values were ± 1.
%, Which indicates that precise measurement can be continuously performed.

【0021】比較テスト5 次に、高濃度塩溶液a〜lに各100.0ppmのY2
3 を添加し、クロスフロー型ネブライザを使用して、
比較テスト1、2、3と同様に各試料間に噴霧する蒸留
水の温度を変えてイットリウム濃度の測定状況を比較し
た。その結果を下記表1に示す。
Comparative Test 5 Next, 100.0 ppm of Y 2 was added to each of the high concentration salt solutions al.
Add O 3 and use a cross-flow nebulizer to
As in Comparative Tests 1, 2, and 3, the temperature of distilled water sprayed between the samples was changed to compare the measurement conditions of the yttrium concentration. The results are shown in Table 1 below.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】各試料溶液の組成は以下のとおりである。 (a)Na2 CO3 :2g+3.6%HCl:100ミリ
リットル (b)NaOH:2g+3.6%HCl:100ミリリットル (c)K227 :2g+蒸留水100ミリリットル (d)Na2 SO4 :2g+蒸留水100ミリリットル (e)Na22 :2g+3.6%HCl:100ミリリッ
トル (f)Li247 :2g+3.6%HCl:100
ミリリットル (g)Li2 BO7 :2g+3.6%HCl:100ミリ
リットル (h)H3 BO3 :4g+蒸留水100ミリリットル (i)シュウ酸:4g+蒸留水100ミリリットル (j)酒石酸:4g+蒸留水100ミリリットル (k)Al:2g+7.2%HCl:100ミリリットル (l)Na2 CO3 :1.5g+H3 BO3 :1.0g
+1.8%HCl:100ミリリットル 実施例5では、試料溶液と交互に30℃加温水を噴霧し
て繰り返し測定を行った。
The composition of each sample solution is as follows. (A) Na 2 CO 3 : 2 g + 3.6% HCl: 100 ml (b) NaOH: 2 g + 3.6% HCl: 100 ml (c) K 2 S 2 O 7 : 2 g + distilled water 100 ml (d) Na 2 SO 4 : 2 g + 100 ml of distilled water (e) Na 2 O 2 : 2 g + 3.6% HCl: 100 ml (f) Li 2 B 4 O 7 : 2 g + 3.6% HCl: 100
Milliliter (g) Li 2 BO 7 : 2 g + 3.6% HCl: 100 ml (h) H 3 BO 3 : 4 g + distilled water 100 ml (i) Oxalic acid: 4 g + distilled water 100 ml (j) Tartaric acid: 4 g + distilled water 100 Milliliter (k) Al: 2 g + 7.2% HCl: 100 ml (l) Na 2 CO 3 : 1.5 g + H 3 BO 3 : 1.0 g
+ 1.8% HCl: 100 ml In Example 5, the measurement was repeated by spraying warm water at 30 ° C. alternately with the sample solution.

【0024】実施例6では、試料溶液と交互に60℃加
温水と噴霧して繰り返し測定を行った。実施例7では、
試料溶液と交互に70℃加温水を噴霧して繰り返し測定
を行った。実施例8では、試料溶液と交互に60℃加温
水:100ミリリットル+界面活性剤:1ミリリットルの溶液を噴霧
して繰り返し測定を行った。界面活性剤としては、片山
化学製、トリトンX100を使用した。
In Example 6, the measurement was repeated by alternately spraying the sample solution with warm water at 60 ° C. In Example 7,
The measurement was repeated by spraying 70 ° C. warm water alternately with the sample solution. In Example 8, the measurement was repeated by spraying a solution of 100 ml of warm water at 60 ° C. + a surfactant of 1 ml alternately with the sample solution. Triton X100 manufactured by Katayama Chemical Co., Ltd. was used as the surfactant.

【0025】比較例5では、これらの試料溶液を従来ど
おり室温水と交互に噴霧して繰り返し測定を行った。比
較例6では、これらの試料溶液を従来どおり室温水と交
互に噴霧し、さらにアルゴンガスを加湿して繰り返し測
定を行った。繰り返し測定の結果、濃度測定値の誤差±
1%以内で連続して測定できる回数が、6回以上を全く
問題なしとして○、1〜5回を実用上は問題なしとして
△、誤差が大きいまたは火が消えるなどの理由で精密測
定が不可能な場合を×とする。
In Comparative Example 5, these sample solutions were sprayed alternately with room temperature water as in the past, and repeated measurements were made. In Comparative Example 6, these sample solutions were alternately sprayed with room temperature water as usual, and the measurement was repeated by humidifying the argon gas. As a result of repeated measurement, error of concentration measurement value ±
When the number of times of continuous measurement within 1% is 6 or more times, there is no problem at all. ○, 1 to 5 times at practically no problem, Δ If it is possible, it is marked as x.

【0026】従来どおり室温水を噴霧した場合には、試
料f、g、h、i、j、lにおいてはネブライザの霧化
部での塩の析出が著しく、信頼性の高い測定は不可能で
あった。またアルゴンガスを加湿した場合にも、若干の
効果は見られるものの、試料h、i、lに対してはその
効果は充分ではなかった。これに対し、30℃の加温水
を用いた場合には、すべての試料が実用上問題のないレ
ベルで精密測定可能であり、更に60℃および70℃の
加温水を用いた場合には、全く問題なく誤差±1%以内
の精度で6回以上連続して精密測定することができた。
When room temperature water is sprayed as in the past, salt precipitation was remarkable in the atomization section of the nebulizer in samples f, g, h, i, j, and l, so that highly reliable measurement was impossible. there were. Also, when the argon gas was humidified, some effects were observed, but the effects were not sufficient for the samples h, i, and l. On the other hand, when the warming water at 30 ° C. is used, all the samples can be precisely measured at a level that does not cause a practical problem. Accurate measurement could be performed continuously six times or more with no error within ± 1%.

【0027】また、60℃加温水に界面活性剤を加えた
場合にも、同様の効果が見られた。比較テスト6 同様に、高濃度塩溶液m、nに各100.0ppmのY
23 を添加し、試料間に噴霧する加温水に各種の酸を
加えて使用して、イットリウム濃度の測定状況を酸を加
えない場合と比較した。その結果を下記表2に示す。
The same effect was obtained when a surfactant was added to 60 ° C. warm water. Similarly to Comparative Test 6 , 100.0 ppm of Y was added to each of the high concentration salt solutions m and n.
2 O 3 was added, and various acids were added to warm water sprayed between samples and used, and the measurement state of the yttrium concentration was compared with the case where no acid was added. The results are shown in Table 2 below.

【0028】[0028]

【表2】 [Table 2]

【0029】各試料溶液の組成は次のとおりである。 (m)Nb:0.5g+18%HCl:100ミリリットル (n)W:0.5g+酒石酸:1g+1.8%HCl:
100ミリリットル 実施例6では、これらの試料溶液を60℃加温水のみと
交互に噴霧して繰り返し測定を行った。
The composition of each sample solution is as follows. (M) Nb: 0.5 g + 18% HCl: 100 ml (n) W: 0.5 g + tartaric acid: 1 g + 1.8% HCl:
100 ml In Example 6, these sample solutions were alternately sprayed with only 60 ° C. heated water to repeatedly measure.

【0030】実施例9では、試料溶液と交互に60℃加
温水:100ミリリットル+36%HCl:1ミリリットルの溶液を
噴霧して繰り返し測定を行った。実施例10では、試料
溶液と交互に60℃加温水:100ミリリットル:61%HN
3 :1ミリリットルの溶液を噴霧して繰り返し測定を行っ
た。実施例11では、試料溶液と交互に60℃加温水:
100ミリリットル+98%H2SO4 :1ミリリットルの溶液を噴
霧して繰り返し測定を行った。
In Example 9, the measurement was repeated by spraying a solution of 100 ml of warm water at 60 ° C. + 1 ml of 36% HCl alternately with the sample solution. In Example 10, the sample solution and the heating water were alternately heated at 60 ° C .: 100 ml: 61% HN.
O 3 : One milliliter of the solution was sprayed for repeated measurements. In Example 11, heated water at 60 ° C. alternately with the sample solution:
The measurement was repeated by spraying a solution of 100 ml + 98% H 2 SO 4 : 1 ml.

【0031】実施例12では、試料溶液と交互に60℃
加温水:100ミリリットル+クエン酸:1gの溶液を噴霧し
て繰り返し測定を行った。測定結果の表記方法は、表1
と同様である。試料m、nに対して、60℃加温水を用
いた場合にも実用上問題のないレベルでの測定は可能だ
が、酸の添加により更に好ましい結果が得られた。
In Example 12, the temperature was changed to 60 ° C. alternately with the sample solution.
The measurement was repeated by spraying a solution of 100 ml of warm water + 1 g of citric acid. Table 1 shows the notation method of measurement results.
Is the same as The measurement at a practically acceptable level is possible even when 60 ° C. heated water is used for the samples m and n, but more favorable results were obtained by adding an acid.

【0032】本発明の方法においては、試料溶液と交互
に加温水の噴霧を行ったにもかかわらず噴霧効率の変化
による精度低下の影響は見られなかった。その原因とし
ては、加温水噴霧終了後、試料溶液の予備噴霧を行って
いる間にチャンバー内の温度が再び室温に戻るので、実
際に測定を行う際には安定した噴霧効率が得られている
ためと考えられる。図9(A)に試料溶液と加温水を交
互に噴霧した際のチャンバー内の温度変化を模式的に示
す。すなわち、測定時の温度は一定のままで、しかもネ
ブライザの霧化部洗浄時には加温水により洗浄効果が高
められるため、精度の高い測定が可能となったのであ
る。
In the method of the present invention, the effect of a decrease in accuracy due to a change in the spraying efficiency was not observed even though the heating water was sprayed alternately with the sample solution. The reason for this is that the temperature in the chamber returns to room temperature again during the preliminary spraying of the sample solution after the completion of the spraying of the heated water, so that a stable spraying efficiency is obtained when actually performing the measurement. It is thought to be. FIG. 9A schematically shows a temperature change in the chamber when the sample solution and the heated water are sprayed alternately. That is, the temperature at the time of measurement is kept constant, and at the time of cleaning the atomization part of the nebulizer, the cleaning effect is enhanced by the heated water, so that highly accurate measurement is possible.

【0033】次に本発明の溶液試料の測定方法に用いた
クロスフロー型ネブライザの一例を図11に示す。この
クロスフロー型ネブライザ10は、ネブライザ本体11
とチャンバー12とからなる。ネブライザ本体11には
アルゴンガス等のキャリアガスを導入するキャリアガス
導入口13と試料溶液、室温水、加温水等を導入する試
料溶液導入口14とを備える。ネブライザの霧化部18
では、キャリアガス導入口13の下流側端部から導入さ
れるキャリアガスの流速によって生じる負圧により試料
溶液導入口14の下流側端部から試料、室温水、加温水
等がチャンバー12の内部に吸い出されるようになって
いる。チャンバー12内の霧状になった試料粒子は、粒
径の相対的に小さな粒子のみが分析部につながる出口1
6より送り出される。また粒径の相対的に大きな粒子は
ドレイン17から外部に排出される。
Next, an example of a cross-flow type nebulizer used in the method for measuring a solution sample of the present invention is shown in FIG. This cross-flow type nebulizer 10 includes a nebulizer main body 11.
And a chamber 12. The nebulizer main body 11 has a carrier gas inlet 13 for introducing a carrier gas such as an argon gas and a sample solution inlet 14 for introducing a sample solution, room temperature water, heated water and the like. Nebulizer atomization unit 18
Then, the sample, room temperature water, heated water, and the like enter the inside of the chamber 12 from the downstream end of the sample solution inlet 14 due to the negative pressure generated by the flow rate of the carrier gas introduced from the downstream end of the carrier gas inlet 13. It is being sucked out. The atomized sample particles in the chamber 12 have only an outlet 1 in which only relatively small particles are connected to the analysis unit.
Sent from 6. Particles having a relatively large particle diameter are discharged from the drain 17 to the outside.

【0034】次にネブライザ11に供給する試料と室温
水または加温水とを選択的に供給する供給装置の一例を
図14および図15に示す。ネブライザ11の試料溶液
導入口14には吸い上げノズル制御部21から選択的に
吸い上げられた試料または室温水または加温水が吸い上
げポンプ22により供給される。吸い上げノズル制御部
21は、回転可能な試料台23の外周近傍に円周に沿っ
て多数開口される穴にはめられる試料用試験管25から
試料吸い上げノズル26により試料を吸い上げるかある
いは、室温水が貯蔵される室温水洗浄槽27または加温
水が貯蔵される加温水洗浄槽28から試料吸い上げノズ
ル26により室温水または加温水を選択的に吸い上げる
ようになっている。室温水洗浄槽27には、室温水供給
タンク30から室温水供給ポンプ31により室温水が供
給される。また加温水洗浄槽28には、加温水を加熱す
る加温部を備えた加温水供給タンク32から加温水供給
ポンプ33により加温水が供給される。そして吸い上げ
ノズル制御部21の試料吸い上げノズル26が図14に
示すように回動可能になっており試験管25または室温
水洗浄槽27または加温水洗浄槽28から試料、室温
水、または加温水を選択的に吸い上げるようになってい
る。吸い上げられた試料、室温水または加温水は吸い上
げポンプ22よりネブライザ10の試料溶液導入口14
よりチャンバー12内に供給される。
Next, an example of a supply device for selectively supplying a sample to be supplied to the nebulizer 11 and room temperature water or heated water is shown in FIGS. To the sample solution inlet 14 of the nebulizer 11, a sample or room temperature water or heated water selectively sucked up by the suction nozzle control unit 21 is supplied by a suction pump 22. The siphoning nozzle control unit 21 sucks up the sample from the sample test tube 25 which is fitted in a large number of holes opened along the circumference in the vicinity of the outer periphery of the rotatable sample stage 23 by using the sample siphoning nozzle 26 or when room temperature water is discharged. A sample sucking nozzle 26 selectively sucks room-temperature water or heated water from the stored room-temperature water washing tank 27 or the heated-water washing tank 28 that stores heated water. Room temperature water is supplied from a room temperature water supply tank 30 to a room temperature water washing tank 27 by a room temperature water supply pump 31. Further, the heated water washing tank 28 is supplied with heated water from a heated water supply tank 32 provided with a heating section for heating the heated water by a heated water supply pump 33. Then, the sample suction nozzle 26 of the suction nozzle control unit 21 is rotatable as shown in FIG. 14, and the sample, the room temperature water, or the heated water is supplied from the test tube 25, the room temperature water washing tank 27, or the heated water washing tank 28. It is designed to selectively suck up. The sucked sample, room temperature water or heated water is supplied from the suction pump 22 to the sample solution inlet 14 of the nebulizer 10.
And supplied into the chamber 12.

【0035】他の実施例として、室温水または加温水が
無機酸、有機酸または界面活性剤の1種以上の混合物を
含んでもよい。試料台23は、駆動軸36により図15
に示す矢印A方向に回転および停止を繰り返し、順次試
料用試験管25内の試料を1個ずつ試料吸い上げノズル
26により吸い上げ可能位置に回転移動するようになっ
ている。
In another embodiment, the room temperature or warm water may comprise a mixture of one or more inorganic acids, organic acids or surfactants. The sample stage 23 is driven by a drive shaft 36 as shown in FIG.
Are repeatedly rotated and stopped in the direction of arrow A shown in FIG. 3, and the sample in the sample test tube 25 is sequentially rotated one by one by the sample suction nozzle 26 to a position where it can be sucked up.

【0036】この試料と室温水または加温水とを選択的
に供給する供給装置によると、吸い上げノズル制御部2
1に設けられる回動可能な試料吸い上げノズル26によ
り試料、室温水または加温水を選択的に吸い上げ可能で
ある。これにより試料、室温水または加温水を自動的に
試料吸い上げノズル26から吸い上げノズル制御部21
により吸い上げることができるため、ネブライザの霧化
部18に自動的にかつ容易に選択切り換えして試料、室
温水または加温水を選択供給できる。
According to the supply device for selectively supplying the sample and room temperature water or heated water, the suction nozzle control unit 2
The sample, room temperature water, or heated water can be selectively sucked up by the rotatable sample sucking nozzle 26 provided in 1. Thereby, the sample, room temperature water or heated water is automatically drawn from the sample suction nozzle 26 to the nozzle control unit 21.
Therefore, the sample, room temperature water or heated water can be selectively supplied to the nebulizer 18 of the nebulizer automatically and easily by switching.

【0037】クロスフロー型と同様に広く用いられてい
る同軸型ネブライザの一例を図12に示す。この同軸型
ネブライザ40は、ネブライザ本体41とチャンバー4
2とからなる。ネブライザ本体41にはアルゴンガス等
のキャリアガスを導入するキャリアガス導入口43と試
料溶液、室温水、加温水等を導入する試料溶液導入口4
4とを備える。ネブライザの霧化部48では、キャリア
ガス導入口43の下流側端部から導入されるキャリアガ
スの流速によって生じる負圧により試料溶液導入口44
の下流側端部から試料、室温水、加温水等がチャンバー
42の内部に吸い出されるようになっている。チャンバ
ー42内の霧状になった試料粒子は、粒径の相対的に小
さな粒子のみが分析部につながる出口46より送り出さ
れる。また粒径の相対的に大きな粒子はドレイン47か
ら外部に排出される。
FIG. 12 shows an example of a coaxial nebulizer widely used similarly to the cross flow type. The coaxial nebulizer 40 includes a nebulizer main body 41 and a chamber 4.
Consists of two. The nebulizer body 41 has a carrier gas inlet 43 for introducing a carrier gas such as argon gas and a sample solution inlet 4 for introducing a sample solution, room temperature water, heated water, and the like.
4 is provided. In the nebulizing section 48 of the nebulizer, the sample solution inlet 44 is formed by a negative pressure generated by the flow rate of the carrier gas introduced from the downstream end of the carrier gas inlet 43.
A sample, room temperature water, heated water, and the like are sucked into the chamber 42 from the downstream end of the chamber 42. As for the atomized sample particles in the chamber 42, only particles having a relatively small particle size are sent out from an outlet 46 leading to the analysis unit. Particles having a relatively large particle diameter are discharged from the drain 47 to the outside.

【0038】クロスフロー型と同様に広く用いられてい
る超音波ネブライザの一例を図13に示す。この超音波
ネブライザ50は、トランスデューサ51と、エアロゾ
ルチャンバー52と、加熱チューブ61と、凝縮器62
とからなる。エアロゾルチャンバー52はアルゴンガス
等のキャリアガスを導入するキャリアガス導入口53と
試料溶液、室温水、加温水等を導入する試料溶液導入口
54とを備える。ネブライザの霧化部58では、試料注
入口54から注入された試料、室温水、加温水等がトラ
ンスデューサ51の振動により霧化する。エアロゾルチ
ャンバー52内の霧状になった試料粒子は、粒径の相対
的に小さな粒子のみが加熱チューブ61内へ送り出され
る。また、霧状にならなかった試料溶液および粒径の相
対的に大きな試料粒子は、エアロゾルチャンバー52に
設けられたドレイン57から外部に排出される。粒径の
相対的に小さな粒子は加熱チューブ61内で過熱された
後、凝縮器62内で凝縮される。凝縮した際、粒径の相
対的に小さな粒子のみが分析部につながる出口56から
送り出される。また粒径の相対的に大きな粒子はドレイ
ン67から外部に排出される。
FIG. 13 shows an example of an ultrasonic nebulizer widely used similarly to the cross flow type. The ultrasonic nebulizer 50 includes a transducer 51, an aerosol chamber 52, a heating tube 61, and a condenser 62.
Consists of The aerosol chamber 52 has a carrier gas inlet 53 for introducing a carrier gas such as argon gas and a sample solution inlet 54 for introducing a sample solution, room temperature water, heated water and the like. In the nebulizing part 58 of the nebulizer, the sample, room temperature water, heated water and the like injected from the sample injection port 54 are atomized by the vibration of the transducer 51. As for the atomized sample particles in the aerosol chamber 52, only particles having a relatively small particle size are sent out into the heating tube 61. The sample solution that has not been atomized and the sample particles having a relatively large particle size are discharged to the outside from a drain 57 provided in the aerosol chamber 52. The particles having a relatively small particle size are superheated in the heating tube 61 and then condensed in the condenser 62. When condensed, only relatively small particles are pumped out of the outlet 56 leading to the analyzer. Particles having a relatively large particle diameter are discharged from the drain 67 to the outside.

【0039】前述の実施例では、試料溶液と加温水とを
共に試料溶液導入口より供給していたが、試料溶液導入
口とは別に加温水吹き付け口を設ける方法も使用可能で
ある。図16〜図18に加温水吹き付け口を備えたネブ
ライザの部分断面図を示す。加温水吹き付け口19、4
9、59からは、それぞれネブライザの霧化部18、4
8、58に加温水が吹き付けられる。
In the above-described embodiment, both the sample solution and the heated water are supplied from the sample solution inlet, but a method in which a heated water spray port is provided separately from the sample solution inlet can also be used. 16 to 18 show partial cross-sectional views of a nebulizer provided with a heated water spray port. Heating water spray port 19, 4
From 9 and 59, the nebulizer atomizing units 18 and 4
Warming water is sprayed on 8,58.

【0040】図19は、図14に示した試料溶液、室温
水、加温水を選択的に供給する供給装置に加温水吹き付
け口を設けた例である。加温水供給タンク70内の加温
水は加温水供給ポンプ71によって、加温水吹き付け口
19に供給される。
FIG. 19 shows an example in which a heating water spray port is provided in the supply device for selectively supplying the sample solution, room temperature water, and heating water shown in FIG. The heated water in the heated water supply tank 70 is supplied to the heated water spray port 19 by the heated water supply pump 71.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】比較例1の測定回数と測定結果の関係のデータ
を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing data on the relationship between the number of measurements and a measurement result in Comparative Example 1.

【図2】実施例1の測定回数と測定結果の関係のデータ
を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing data on the relationship between the number of measurements and a measurement result in Example 1.

【図3】比較例2の測定回数と測定結果の関係のデータ
を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing data on the relationship between the number of measurements and the measurement results in Comparative Example 2.

【図4】実施例2の測定回数と測定結果の関係のデータ
を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing data on the relationship between the number of measurements and a measurement result in Example 2.

【図5】比較例3の測定回数と測定結果の関係のデータ
を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing data on the relationship between the number of measurements and measurement results in Comparative Example 3.

【図6】実施例3の測定回数と測定結果の関係のデータ
を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing data on the relationship between the number of measurements and a measurement result in Example 3.

【図7】比較例4の測定回数と測定結果の関係のデータ
を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing data on the relationship between the number of measurements and the measurement results in Comparative Example 4.

【図8】実施例4の測定回数と測定結果の関係のデータ
を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing data on the relationship between the number of measurements and the measurement result in Example 4.

【図9】(A)は各測定時間とチャンバー内温度の関係
を示す図であり、(B)は各測定時間と発光強度との関
係を示す図である。
9A is a diagram showing a relationship between each measurement time and a temperature in a chamber, and FIG. 9B is a diagram showing a relationship between each measurement time and a light emission intensity.

【図10】本発明の実施例による測定方法の手順を示す
フローチャート図である。
FIG. 10 is a flowchart illustrating a procedure of a measurement method according to an embodiment of the present invention.

【図11】本発明の実施例で使用したクロスフロー型ネ
ブライザを示す部分断面図である。
FIG. 11 is a partial cross-sectional view showing a cross-flow type nebulizer used in an embodiment of the present invention.

【図12】本発明の実施例で使用した同軸型ネブライザ
を示す部分断面図である。
FIG. 12 is a partial sectional view showing a coaxial nebulizer used in the embodiment of the present invention.

【図13】超音波ネブライザを示す部分断面図である。FIG. 13 is a partial sectional view showing an ultrasonic nebulizer.

【図14】本発明の実施例で使用した試料溶液、室温
水、加温水を選択的に供給する供給装置を示す模式的側
面図である。
FIG. 14 is a schematic side view showing a supply device for selectively supplying a sample solution, room temperature water, and heated water used in an example of the present invention.

【図15】本発明の実施例で使用した試料溶液、室温
水、加温水を選択的に供給する供給装置を示す模式的平
面図である。
FIG. 15 is a schematic plan view showing a supply device for selectively supplying a sample solution, room temperature water, and heated water used in an example of the present invention.

【図16】加温水吹き付け口を備えたクロスフロー型ネ
ブライザを示す部分断面図である。
FIG. 16 is a partial sectional view showing a cross-flow type nebulizer provided with a heated water spray port.

【図17】加温水吹き付け口を備えた同軸型ネブライザ
を示す部分断面図である。
FIG. 17 is a partial sectional view showing a coaxial nebulizer provided with a heated water spray port.

【図18】加温水吹き付け口を備えた超音波ネブライザ
を示す部分断面図である。
FIG. 18 is a partial sectional view showing an ultrasonic nebulizer provided with a heated water spray port.

【図19】加温水吹き付け口を備えた、試料溶液、室温
水、加温水を選択的に供給する供給装置を示す模式的平
面図である。
FIG. 19 is a schematic plan view showing a supply device provided with a heated water spray port for selectively supplying a sample solution, room temperature water, and heated water.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ネブライザ 11 ネブライザ 12 チャンバー 18 ネブライザの霧化部 21 吸い上げノズル制御部 22 吸い上げポンプ 23 試料台 25 試料用試験管 27 室温水洗浄槽 28 加温水洗浄槽 35 オートサンプラー DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Nebulizer 11 Nebulizer 12 Chamber 18 Nebulizer atomization part 21 Suction nozzle control part 22 Suction pump 23 Sample stand 25 Sample test tube 27 Room temperature water washing tank 28 Heated water washing tank 35 Auto sampler

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−47638(JP,A) 特開 昭63−225150(JP,A) 特開 昭61−225637(JP,A) 特開 昭63−168538(JP,A) 特開 平2−64438(JP,A) 実開 平4−64754(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/62 - 21/74 G01N 27/62 G01N 1/00 - 1/34 JICSTファイル(JOIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-63-47638 (JP, A) JP-A-63-225150 (JP, A) JP-A-61-225637 (JP, A) JP-A-63-225637 168538 (JP, A) JP-A-2-64438 (JP, A) JP-A-4-64754 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 21/62-21 / 74 G01N 27/62 G01N 1/00-1/34 JICST file (JOIS)

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 試料溶液を霧化するネブライザを備える
分析装置を使用する測定方法において、前記ネブライザ
の霧化部に加温水を供給することを特徴とする溶液試料
の測定方法。
1. A method for measuring a solution sample, comprising: using a analyzer having a nebulizer for atomizing a sample solution, wherein heating water is supplied to an atomizing section of the nebulizer.
【請求項2】 分析装置が高周波誘導結合プラズマ発光
分光分析装置または高周波誘導結合プラズマ質量分析装
置のいずれかであることを特徴とする請求項1記載の溶
液試料の測定方法。
2. The method for measuring a solution sample according to claim 1, wherein the analyzer is one of a high frequency inductively coupled plasma emission spectrometer and a high frequency inductively coupled plasma mass spectrometer.
【請求項3】 溶液試料と、加温水とを交互に噴霧する
ことを特徴とする請求項1または2記載の溶液試料の測
定方法。
3. The method for measuring a solution sample according to claim 1, wherein the solution sample and the heated water are sprayed alternately.
【請求項4】 ネブライザの霧化部に外部から導入した
加温水を強制的に吹き付けることを特徴とする請求項1
または2記載の溶液試料の測定方法。
4. The nebulizer according to claim 1, wherein heated water introduced from the outside is forcibly sprayed onto the atomizing part of the nebulizer.
Or the method for measuring a solution sample according to 2.
【請求項5】 溶液試料の噴霧と、室温水を噴霧させた
状態での加温水の吹き付けとを交互に行うことを特徴と
する請求項1、2、のいずれか1項記載の溶液試料の
測定方法。
And spraying 5. solution sample, according to claim 1, characterized in that alternately perform O by blowing pressurized hot water while being sprayed with water at room temperature, a solution sample according to any one of the 4 Measurement method.
【請求項6】 ネブライザの霧化部へ加温水を通過させ
る時間または吹き付ける時間が、溶液試料から前記加温
水への切り替えにより、発光強度またはイオン強度が変
化し安定するまでの時間以上であることを特徴とする請
求項1、2、3、4または5記載の溶液試料の測定方
法。
6. The time for passing or blowing heated water to the atomizing part of the nebulizer is equal to or longer than the time required for the emission intensity or ionic intensity to change and stabilize by switching from the solution sample to the heated water. The method for measuring a solution sample according to claim 1, 2, 3, 4, or 5, wherein
【請求項7】 加温水の温度が30℃以上沸点以下の範
囲であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5ま
たは6記載の溶液試料の測定方法。
Claim temperature of 7. The pressurized hot water is characterized in that in the range of 30 ° C. above the boiling point or less, five or
Or the method for measuring a solution sample according to 6 .
【請求項8】 加温水が、加温水単独、または、無機
酸、有機酸もしくは界面活性剤の1種以上の混合物を含
むことを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6また
は7記載の溶液試料の測定方法。
Is 8. A pressurized hot water, pressurized hot water alone, or claim 1,2,3,4,5,6, characterized in that it comprises an inorganic acid, one or more of a mixture of an organic acid or surfactant Also
Is a method for measuring a solution sample according to 7 .
【請求項9】 請求項1記載の溶液試料の測定方法を実
施するための試料または加温水の供給装置であって、 試料を供給する試料供給部と、 加温水を保存する加温水槽と、 前記試料供給部または加温水槽内の試料または加温水に
選択的に浸漬可能な吸い上げノズルと、 前記吸い上げノズルから試料または加温水を選択的に吸
い上げ前記ネプライザの霧化部に供給する吸い上げポン
プとを備えた試料または加温水の供給装置。
9. A sample or heated water supply apparatus for performing the method for measuring a solution sample according to claim 1, comprising: a sample supply section for supplying a sample; a heated water tank for storing heated water; A suction nozzle that can be selectively immersed in a sample or heated water in the sample supply unit or the heated water tank; and a suction pump that selectively sucks up the sample or heated water from the suction nozzle and supplies the sample or heated water to the atomizing unit of the nebulizer. A sample or heated water supply device provided with
【請求項10】 前記試料供給部は、回転可能なターン
テーブルと、溶液試料が入れられ、前記ターンテーブル
に脱着可能な試験管とを有する請求項記載の試料また
は加温水の供給装置。
10. The sample or heated water supply apparatus according to claim 9 , wherein the sample supply unit has a rotatable turntable and a test tube in which a solution sample is placed and which is detachable from the turntable.
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