JP3240050B2 - Floating magnetic head - Google Patents

Floating magnetic head

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JP3240050B2
JP3240050B2 JP27348799A JP27348799A JP3240050B2 JP 3240050 B2 JP3240050 B2 JP 3240050B2 JP 27348799 A JP27348799 A JP 27348799A JP 27348799 A JP27348799 A JP 27348799A JP 3240050 B2 JP3240050 B2 JP 3240050B2
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cavity
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はHDDなどの記録装
置に用いられる磁気ヘッドに係り、特に磁気記録装置の
外界における気圧が変動しても、浮上量が大きく変らな
いスライダーを備えた浮上式磁気ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head used in a recording device such as an HDD, and more particularly to a levitation type magnetic device provided with a slider whose levitation amount does not largely change even if the atmospheric pressure in the outside of the magnetic recording device fluctuates. About the head.

【0002】[0002]

【従来の技術】コンピュータ等に用いられる磁気ディス
ク装置(HDDともいう)は、磁気ディスク(磁気記録
媒体)の回転に伴って生じる空気の粘性流(以下、空気
流と記す)を利用して、磁気ヘッドのスライダーを磁気
ディスク上に浮上させる方式を採用している。この空気
流を受けるスライダーの媒体対向面に関して様々な構成
が考えられている。例えば、特開平7−14139号公
報には、正圧面と負圧溝とを連接する壁面の角度を鋭角
にしたスライダーの構成が開示されている。特開平7ー
21720号公報には、媒体対向面に平坦な底面を有す
る溝を設けたスライダーの構成が開示されている。
2. Description of the Related Art A magnetic disk drive (also referred to as an HDD) used in a computer or the like utilizes a viscous flow of air (hereinafter, referred to as an air flow) generated by rotation of a magnetic disk (magnetic recording medium). It employs a method in which the slider of the magnetic head floats above the magnetic disk. Various configurations have been considered for the medium facing surface of the slider that receives this air flow. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-14139 discloses a configuration of a slider in which an angle of a wall connecting a positive pressure surface and a negative pressure groove is acute. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-21720 discloses a configuration of a slider in which a groove having a flat bottom surface is provided in a medium facing surface.

【0003】図6の側面図に従来の浮上式磁気ヘッドの
一例を示す。この浮上式磁気ヘッドはスライダー103
にジンバル104を介してスプリングアーム105を設
けた組立体である。このスライダー103は媒体対向面
106を有する。媒体対向面は空気流を受け入れる流入
端と、空気流が出ていく流出端を備える(空気流の流れ
の向きは図中の矢印で示す)。同図中で流出端はMRヘ
ッド102の周辺に相当する。さらに詳しく述べると、
流入端側とは回転する磁気ディスクの上でスライダーを
浮上させた時に、磁気ディスクの回転によって発生する
空気流か流れ込む側のことをいう。流出端側とは、スラ
イダーの媒体対向面に沿って通過した空気流が流れ出す
側のことをいう。スプリングアーム105は図示されて
ないボイスコイルモーター等の位置決め手段によって駆
動される。さらに、スプリングアーム105のバネの力
で、スライダーの媒体対向面106(空気軸受け面、も
しくはABS面ともいう)が磁気ディスク109に押し
つけられているため、磁気ディスクが回転していないと
き、両者は接触する。ディスク回転の停止による衝突を
避けるため、停止前に磁気ディスク上からスライダーを
移動させる方式が採用されることもある。
FIG. 6 is a side view showing an example of a conventional floating magnetic head. This floating magnetic head is a slider 103
This is an assembly provided with a spring arm 105 via a gimbal 104. The slider 103 has a medium facing surface 106. The medium facing surface has an inflow end for receiving the airflow and an outflow end for the airflow to exit (the direction of the airflow is indicated by an arrow in the figure). In the figure, the outflow end corresponds to the periphery of the MR head 102. To elaborate,
The inflow end side refers to a side into which an air flow generated by the rotation of the magnetic disk when the slider flies above the rotating magnetic disk flows. The outflow end side is a side from which the airflow that has passed along the medium facing surface of the slider flows out. The spring arm 105 is driven by a positioning means such as a voice coil motor (not shown). Further, the medium facing surface 106 (also referred to as an air bearing surface or an ABS surface) of the slider is pressed against the magnetic disk 109 by the force of the spring of the spring arm 105. Contact. In order to avoid collision due to stoppage of disk rotation, a method of moving a slider from above a magnetic disk before stoppage may be adopted.

【0004】スライダーは、磁気ディスクと対向する側
に媒体対向面を有する。一般にスライダーの長手方向に
沿った形状のサイドレールが媒体対向面として用いられ
ている。MRヘッドはサイドレールの後端部に設けられ
ている。磁気ディスクの回転に伴う空気流がサイドレー
ルの媒体対向面に沿って流れることによって、この媒体
対向面と共にMRヘッドが磁気ディスクに対して浮上す
る。MRヘッドは、磁気抵抗効果もしくは巨大磁気抵抗
効果を利用して磁気ディスクからデータを読み取る再生
素子と、磁気ディスクにデータを書き込む記録素子を備
える。
[0004] The slider has a medium facing surface on the side facing the magnetic disk. Generally, a side rail having a shape along the longitudinal direction of the slider is used as a medium facing surface. The MR head is provided at the rear end of the side rail. When the air flow accompanying the rotation of the magnetic disk flows along the medium facing surface of the side rail, the MR head floats with respect to the magnetic disk together with the medium facing surface. The MR head includes a reproducing element for reading data from a magnetic disk using a magnetoresistance effect or a giant magnetoresistance effect, and a recording element for writing data to the magnetic disk.

【0005】MRヘッドの再生出力は非常に小さく、マ
イクロボルトオーダーになることもある。従って、再生
出力から確実にデータとなる信号を取り出すために、ノ
イズを低減したり、再生出力の信号の振幅が低下しない
ようにする必要がある。再生出力の低減をもたらす原因
の一つとして、浮上量の変動が挙げられる。浮上量とは
MRヘッド近傍の媒体対向面と磁気ディスク間の距離で
ある。
[0005] The reproduction output of the MR head is very small and may be on the order of microvolts. Therefore, in order to reliably extract a signal serving as data from the reproduced output, it is necessary to reduce noise and prevent the amplitude of the reproduced output signal from decreasing. One of the causes of the reduction in the reproduction output is a fluctuation in the flying height. The flying height is the distance between the medium facing surface near the MR head and the magnetic disk.

【0006】浮上量が大きく変ると、MRヘッドの検知
する再生出力が減少したり、MRヘッドが磁気ディスク
と摩擦する等の問題を生じる。浮上量を一定にすること
が要求されるが、スライダーの浮上量は、磁気ディスク
の回転によって生じる空気流に依る。従って、磁気記録
装置の外の気圧によって、磁気記録装置内部の気圧が変
化すると、スライダーの浮上量も変化してしまう。標準
的な気圧の地域で製造し、検査しても問題のないHDD
を、気圧の低い高地や航空機内で用いると、スライダー
の浮上量が変化して、再生出力に変動をもたらすことが
ある。そこで、本発明は気圧の変化に対して、浮上量が
大きく変動しない浮上式磁気ヘッドを得ることを目的と
する。
If the flying height changes greatly, there arise problems such as a decrease in the reproduction output detected by the MR head and a friction between the MR head and the magnetic disk. It is required to keep the flying height constant, but the flying height of the slider depends on the airflow generated by the rotation of the magnetic disk. Therefore, when the air pressure inside the magnetic recording device changes due to the air pressure outside the magnetic recording device, the flying height of the slider also changes. HDDs that are manufactured in a standard atmospheric pressure area and have no problem even when inspected
When used in a high altitude area or an aircraft where the air pressure is low, the flying height of the slider changes, which may cause fluctuations in the reproduction output. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a flying magnetic head in which the flying height does not fluctuate greatly with changes in atmospheric pressure.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記の目的を達成する
ために、本発明はハードディスク装置を気圧の低い場所
で用いても浮上量の変動を抑制できる浮上式磁気ヘッド
を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a flying magnetic head capable of suppressing fluctuations in flying height even when a hard disk drive is used in a place having a low atmospheric pressure.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の一つは、媒体対
向面と、前記媒体対向面の流入端側に設けられたステッ
プと、前記ステップより流出端側に設けられたキャビテ
ィとを備え、ステップとキャビティの深さの比ds/d
cが0.1から0.4の範囲内に規定され、前記媒体対
向面に保護膜を有する浮上式磁気ヘッドである。ステッ
プとは媒体対向面との間に段差を有する面であって、媒
体対向面の流入端側に配置される。媒体対向面とステッ
プの間は、斜面あるいは側壁で結ばれる。また、キャビ
ティとは媒体対向面との間に段差を有する面であって、
ステップよりも流出端側に近い方に設けられた面であ
る。さらに、前記浮上式磁気ヘッドにおいて前記dsと
dfの関係を次のように規定した構成とすることが好ま
しい。即ち、上記本発明において、前記媒体対向面はス
テップの方に正面側の段差と側面側の段差を有し、前記
媒体対向面はキャビティ側に後ろ側の段差を有するとと
もに、前記側面側の段差と前記後ろ側の段差の深さの比
dsf/dcが0.1から0.4の範囲内にあり、前記正
面側の段差と前記後ろ側の段差の深さの比ds/dcが
0.1から0.4の範囲内にあることとする。こうする
ことで媒体対向面に流入する空気流の向きが変わって
も、高度依存性を抑制しつつ安定した浮上特性を維持で
きる。
According to one aspect of the present invention, there is provided a medium facing surface, a step provided at an inflow end of the medium facing surface, and a cavity provided at an outflow end of the step. , The ratio of the depth of the step and the cavity ds / d
c is defined within the range of 0.1 to 0.4, the medium-to
This is a floating magnetic head having a protective film on the opposite surface . The step is a surface having a step between the medium facing surface and the step, and is arranged on the inflow end side of the medium facing surface. The step between the medium facing surface and the step is connected by a slope or a side wall. Further, the cavity is a surface having a step between the medium facing surface,
This is a surface provided closer to the outflow end than the step. Further, it is preferable that the flying magnetic head has a configuration in which the relationship between ds and df is defined as follows. That is, in the present invention, the medium facing surface has a step on the front side and a step on the side surface toward the step, and the medium facing surface has a step on the rear side on the cavity side and the step on the side surface. The ratio dsf / dc of the depth of the step on the rear side is in the range of 0.1 to 0.4, and the ratio ds / dc of the depth of the step on the front side and the depth of the step on the rear side is 0.1. It is assumed to be in the range of 1 to 0.4. In this way, even if the direction of the airflow flowing into the medium facing surface changes, stable flying characteristics can be maintained while suppressing altitude dependence.

【0009】本発明の他の一つは、正圧を発生する段差
と、負圧を発生する段差とを媒体対向面に備える浮上式
磁気ヘッドであって、正圧を発生する段差と負圧を発生
する段差の深さの比が0.1から0.4の範囲内で規定
され、前記媒体対向面に保護膜を有することを特徴とす
る浮上式磁気ヘッドである。ここで、正圧を発生する段
差とは、スライダーの流入端側から流れ込む空気流にと
って壁となる段差、急な斜面、凸部などのことを言う。
負圧を発生する段差とは、スライダーの流入端側から見
て空気流が巻き込まれる段差、窪み、凹部などのことを
言う。
Another aspect of the present invention is a flying magnetic head having a step for generating a positive pressure and a step for generating a negative pressure on a medium facing surface, wherein the step for generating a positive pressure and the negative pressure are provided. The floating magnetic head is characterized in that the ratio of the depth of the step at which the turbulence occurs is defined within the range of 0.1 to 0.4, and the protective film is provided on the medium facing surface . Here, the step that generates a positive pressure refers to a step, a steep slope, a convex portion, or the like that becomes a wall for the airflow flowing from the inflow end side of the slider.
The step that generates a negative pressure refers to a step, a dent, a recess, or the like into which the air flow is entrained when viewed from the inflow end side of the slider.

【0010】上記の各発明において、前記キャビティの
深さを5μm以下にすることが望ましい。このように規
定するのは、キャビティ深さを5μmより大きくする
と、負圧が弱くなってスライダーの浮上量を一定に保持
することが難しくなるためである。また、スライダーの
媒体対向面と、ステップ、キャビティ、これらの間を連
接する壁面に保護膜を設けることが望ましい。なお、本
発明において、「ds/dcが0.1から0.4の範囲
内」という表現は、0.1≦ds/dc≦0.4という関係と
等価である。
In each of the above inventions, it is desirable that the depth of the cavity is 5 μm or less. The reason for this definition is that if the cavity depth is larger than 5 μm, the negative pressure becomes weak and it becomes difficult to keep the flying height of the slider constant. Further, it is desirable to provide a protective film on the medium facing surface of the slider, the step, the cavity, and the wall surface connecting these. In the present invention, the expression “ds / dc is in the range of 0.1 to 0.4” is equivalent to the relationship of 0.1 ≦ ds / dc ≦ 0.4.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の浮上式磁気ヘッド
を図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、ステッ
プとキャビティの比に対するドロップレートを表したグ
ラフである。図2は、スライダーのステップ深さに対す
るドロップレートを表したグラフである。図1および図
2はシミュレーションで得たグラフである。図3ないし
図5は本発明の一実施形態である浮上式磁気ヘッドを説
明する図であり、媒体対向面から見たスライダーの平面
図と、スライダーの断面図とからなる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A floating magnetic head according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a graph showing a drop rate with respect to a ratio of a step to a cavity. FIG. 2 is a graph showing the drop rate with respect to the step depth of the slider. 1 and 2 are graphs obtained by simulation. 3 to 5 are views for explaining a floating magnetic head according to an embodiment of the present invention, and include a plan view of a slider viewed from a medium facing surface and a cross-sectional view of the slider.

【0012】図1は、ステップとキャビティの比に対す
るドロップレートを表したグラフである。図1の縦軸は
ドロップレートであり、正常な浮上量と高度3000m
における浮上量の比を表す。すなわち、ドロップレート
が0.9の場合、気圧の低下に応じて浮上量が10%低
下したことを表す。ドロップレート1.0は、浮上量が
気圧の影響を受けていない状態である。図1の横軸はス
ライダーに形成したステップとキャビティの深さの比で
あって、ステップの深さdsをキャビティの深さdcで
割った数値である。以下、この比をds/dcで表す。
FIG. 1 is a graph showing the drop rate with respect to the ratio between the step and the cavity. The vertical axis in FIG. 1 is a drop rate, a normal flying height and an altitude of 3000 m.
Represents the ratio of the flying height at. That is, when the drop rate is 0.9, it indicates that the flying height has decreased by 10% in accordance with the decrease in the atmospheric pressure. The drop rate 1.0 is a state in which the flying height is not affected by the atmospheric pressure. The horizontal axis in FIG. 1 is the ratio of the step formed in the slider to the depth of the cavity, and is a numerical value obtained by dividing the step depth ds by the cavity depth dc. Hereinafter, this ratio is represented by ds / dc.

【0013】図1によると、ds/dcが0.1より小
さくなるとドロップレートが急激に低下する傾向が判っ
た。気圧の変化以外の外乱が加わると、浮上量がさらに
に落ち込む可能性がある。また、ステップ深さについて
シミュレーションしたところ、図2に示すようにステッ
プ深さが小さいとドロップレートが急激に変化し易いこ
とも判った。従って、浮上量の低下によるスライダーと
磁気ディスクの接触を抑制するためには、ステップとキ
ャビティの深さの比を0.1以上にすればよい。こうす
ることで、浮上量を15%より大きく低下させないで済
む。
FIG. 1 shows that when ds / dc is smaller than 0.1, the drop rate tends to decrease sharply. When a disturbance other than a change in the atmospheric pressure is applied, the flying height may further decrease. Also, a simulation of the step depth revealed that, as shown in FIG. 2, if the step depth was small, the drop rate was likely to change rapidly. Therefore, in order to suppress the contact between the slider and the magnetic disk due to the decrease in the flying height, the ratio between the step and the depth of the cavity may be set to 0.1 or more. In this way, the flying height does not need to be reduced by more than 15%.

【0014】一方、ドロップレートが上がると(即ち浮
上量が高くなると)、磁気ヘッドの再生出力が低下する
という問題がある。図1によると、ds/dcが0.3
から0.4に上がるにつれて逆三角形のデータ点のよう
に、増大する傾向が判る。媒体からの信号磁界の強さは
距離の2乗に反比例するため、浮上量が少しでも大きく
なると、再生出力は大きく減少する。従って、安定した
再生出力を得るためには、ds/dcを0.4以下にす
ることが望ましい。以上から、ds/dcの好ましい範
囲は0.1から0.4の範囲内であることが判った。
On the other hand, when the drop rate increases (that is, when the flying height increases), there is a problem that the reproduction output of the magnetic head decreases. According to FIG. 1, ds / dc is 0.3
From 0.4 to 0.4, like an inverted triangular data point. Since the strength of the signal magnetic field from the medium is inversely proportional to the square of the distance, even if the flying height increases even slightly, the reproduction output greatly decreases. Therefore, in order to obtain a stable reproduction output, it is desirable to set ds / dc to 0.4 or less. From the above, it was found that the preferred range of ds / dc was in the range of 0.1 to 0.4.

【0015】次に、図3に本発明の一実施例である浮上
式スライダーを説明する。図3の平面図(a)に示した
浮上式磁気ヘッドは、スライダーの媒体対向面にステッ
プ11とキャビティ12と媒体対向面13を有し、この
媒体対向面13の流出端側の端部にはMRヘッド14を
設けた。各々の媒体対向面は間隔をおいた2本のレール
として配置した。平面図(a)をA−B線でみた断面図
を(b)に示す。ステップ11の深さdsとキャビティ
12の深さの比は0.3とした。図示したように、深さ
は、媒体対向面13からどれだけ凹んでいるかを表す。
スライダーとジンバルとサスペンションの構成は従来の
磁気ヘッドを同様であるので、図3では記載を省略し
た。
Next, a floating slider according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The flying magnetic head shown in the plan view (a) of FIG. 3 has a step 11, a cavity 12, and a medium facing surface 13 on the medium facing surface of the slider. Provided an MR head 14. Each medium facing surface was arranged as two spaced rails. A sectional view of the plan view (a) taken along the line AB is shown in FIG. The ratio of the depth ds of the step 11 to the depth of the cavity 12 was 0.3. As shown in the drawing, the depth indicates how much the groove is depressed from the medium facing surface 13.
The configuration of the slider, gimbal, and suspension is the same as that of the conventional magnetic head, and is not shown in FIG.

【0016】次に、図4に本発明の他の実施例である浮
上式スライダーを説明する。図4の平面図(a)に示し
た浮上式磁気ヘッドは、スライダーの媒体対向面にステ
ップ21とキャビティ22と、媒体対向面23R及び2
3Lと、媒体対向面27を有する。媒体対向面27の流
出端側の端部にはMRヘッド24を設けた。媒体対向面
23R及び23Lは、ステップに面した正面側の段差23
aと側面側の段差23bを有し、キャビティに面した後
ろ側の段差23cを備える。段差23cは媒体対向面の
正面側からステップまでの深さdsと、媒体対向面から
キャビティまでの深さdcの2段の段差面を形成してい
る。さらに、平面図(a)をC−C’線でみた断面図を
(b)に示す。ステップ21の深さdsとキャビティ2
2の深さdcの比は0.1とした。(b)は分かり易く
する為にdsを拡大して図示したが、実寸を表したもの
ではない。また、深さは媒体対向面23R及び23Lを基
準とした。さらに、図4の構成は高度依存性を抑制すべ
く、C−C’断面におけるdsとdcの関係をD−D’
断面にも適用した。D−D’断面でみた媒体対向面23
Lは、側面側の段差22bがdsfであり、キャビティ側
の段差23cはdcとし、(dsf/dc)=0.1とし
た。こうすると、媒体対向面に流入する空気流の向きが
D−D’とC−C’のいずれかに沿った向きであって
も、高度依存性の影響が小さく、浮上量を安定させるこ
とができた。従って、この浮上式磁気ヘッドは、気圧が
変動したとしても、磁気ディスク上の異なる位置を記録
された複数のデータを順に再生する動作について、実質
的に一定の浮上量で用いることができることが判った。
Next, a floating slider according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The floating magnetic head shown in the plan view (a) of FIG. 4 has a step 21 and a cavity 22 on the medium facing surface of the slider, and medium facing surfaces 23R and 23R.
3L and a medium facing surface 27. An MR head 24 was provided at the end of the medium facing surface 27 on the outflow end side. The medium facing surfaces 23R and 23L have a step 23 on the front side facing the step.
a and a step 23b on the side surface, and a step 23c on the rear side facing the cavity. The step 23c forms a two-step surface having a depth ds from the front side of the medium facing surface to the step and a depth dc from the medium facing surface to the cavity. Further, FIG. 2B is a cross-sectional view of the plan view (a) taken along the line CC ′. Step 21 Depth ds and Cavity 2
The ratio of the depth dc of 2 was 0.1. (B) is enlarged to illustrate ds for clarity, but does not show the actual size. The depth is based on the medium facing surfaces 23R and 23L. Further, in the configuration of FIG. 4, the relationship between ds and dc in the CC ′ section is changed to DD ′ in order to suppress the altitude dependence.
Applied to cross sections. Medium facing surface 23 as seen in DD ′ section
In L, the step 22b on the side surface is dsf, the step 23c on the cavity side is dc, and (dsf / dc) = 0.1. In this way, even if the direction of the airflow flowing into the medium facing surface is along one of DD ′ and CC ′, the influence of altitude dependence is small and the flying height can be stabilized. did it. Therefore, it can be seen that this flying magnetic head can be used with a substantially constant flying height for the operation of sequentially reproducing a plurality of data recorded at different positions on the magnetic disk even if the air pressure fluctuates. Was.

【0017】次に、図5に本発明の他の実施例である浮
上式スライダーを説明する。この構成は、図4の構成に
おいて、媒体対向面33R及び33Lとキャビティ32の
間に、深さdcの一つの段差を設けた点で異なるが、他
の構成は実質同様である。詳しく説明すると(a)にお
いて、スライダーの媒体対向面にステップ31とキャビ
ティ32と、媒体対向面33R及び33Lと、媒体対向面
37を有する。媒体対向面37の流出端側の端部にはM
Rヘッド34を設けた。媒体対向面33R及び33Lは、
ステップに面した正面側の段差33aと側面側の段差3
3bを有し、キャビティに面した後ろ側の段差33cを
備える。段差33cは媒体対向面からキャビティまでの
深さdcの一段の段差面を形成している。さらに、平面
図(a)をE−E’線でみた断面図を(b)に示す。ス
テップ31の深さdsとキャビティ22の深さdcの比
ds/dc=0.12とした。また、断面F−F’にお
いて側面の段差33bと後ろ側の段差33cの関係をd
sf/dc=0.12とした。こうすることで、図4の
構成と同様に磁気ディスク上でスライダーを移動させつ
つ、気圧依存性を抑制して安定した再生特性を得ること
ができた。
Next, a floating slider according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This configuration differs from the configuration in FIG. 4 in that one step having a depth dc is provided between the medium facing surfaces 33R and 33L and the cavity 32, but the other configurations are substantially the same. More specifically, in (a), the slider has a step 31, a cavity 32, medium facing surfaces 33R and 33L, and a medium facing surface 37 on the medium facing surface of the slider. The end on the outflow end side of the medium facing surface 37 has M
An R head 34 was provided. The medium facing surfaces 33R and 33L are
Step 33a on the front side facing the step and step 3 on the side surface
3b and a rear step 33c facing the cavity. The step 33c forms one step surface of a depth dc from the medium facing surface to the cavity. Further, a cross-sectional view of the plan view (a) taken along the line EE ′ is shown in FIG. The ratio ds / dc of the depth ds of the step 31 and the depth dc of the cavity 22 was set to ds / dc = 0.12. Further, the relationship between the step 33b on the side surface and the step 33c on the rear side in the section FF ′ is d.
sf / dc = 0.12. In this way, it was possible to obtain a stable reproduction characteristic by suppressing the atmospheric pressure dependency while moving the slider on the magnetic disk in the same manner as in the configuration of FIG.

【0018】図5の浮上式磁気ヘッドには、スライダー
の長さ方向(E−E’に沿った向き)に長く、流入端側
が互いに近接した形状の浮上面33R,33Lを設けた。
右側の浮上面33Rと左側の浮上面33Lの間には、ステ
ップからキャビティへ直接抜ける経路を設けた。MR素
子を有する浮上面37は、他の浮上面33R,33Lと離
隔させ、スライダーの流出端の近傍に設けると共に、そ
の流入端側には浮上面より低い面36を設けた。この実
施例の変形タイプとして、次に挙げる構成を用いること
もできる。前記浮上面33R,33Lの形状を長手方向に
短くして略四角形状あるいは台形状とした構成、前記浮
上面33R、33Lの各々について流出端側の近傍により
小さい補助的な浮上面を付加した構成、浮上面33R,3
3Lの各々について中央付近あるいは流出端側の幅が流
入端側の幅より狭い構成等を用いることができる。
The flying magnetic head shown in FIG. 5 is provided with flying surfaces 33R and 33L which are long in the length direction of the slider (direction along EE ') and whose inlet ends are close to each other.
A path is provided between the right floating surface 33R and the left floating surface 33L to directly pass from the step to the cavity. The air bearing surface 37 having the MR element is separated from the other air bearing surfaces 33R and 33L, provided near the outflow end of the slider, and provided with a surface 36 lower than the air bearing surface on the inflow end side. The following configuration can be used as a modification of this embodiment. A configuration in which the shape of the floating surfaces 33R and 33L is shortened in the longitudinal direction to have a substantially square shape or a trapezoidal shape, and a configuration in which a smaller auxiliary floating surface is added to each of the floating surfaces 33R and 33L near the outflow end side. , Air bearing surface 33R, 3
For each of the 3Ls, a configuration in which the width near the center or on the outflow end side is smaller than the width on the inflow end side can be used.

【0019】他の実施例に係る浮上式磁気ヘッドを説明
する。この浮上式磁気ヘッドの媒体対向面は、スライダ
ーの長手方向に延びた2本のレールと、前記レールの流
入端側を接続するクロスバーで構成した。ステップはレ
ールとクロスバーより媒体対向面の流入端側に形成さ
れ、V字状に広がって設けられた。このステップは空気
流の流れ込む入り口の役割を果たす。ステップの深さは
0.4μmとした。キャビティは、レールとクロスバー
に囲われた領域に形成した。キャビティの深さは2.0
μmとした。このサイドレールの一方にはMRヘッドを
設けた。MRヘッドの構成は、磁気ディスクの磁気的な
信号を読みとる磁気抵抗効果素子と、磁気ディスクに磁
気な信号を記録する磁極と励磁コイルを有するものとし
た。
A floating magnetic head according to another embodiment will be described. The medium facing surface of the flying magnetic head was composed of two rails extending in the longitudinal direction of the slider and a crossbar connecting the inflow end sides of the rails. The step is formed on the inflow end side of the medium facing surface with respect to the rail and the crossbar, and is provided in a V-shape. This step serves as an inlet for the flow of air. The depth of the step was 0.4 μm. The cavity was formed in the area surrounded by the rail and the crossbar. 2.0 cavity depth
μm. An MR head was provided on one of the side rails. The configuration of the MR head includes a magnetoresistive element for reading a magnetic signal of a magnetic disk, a magnetic pole for recording a magnetic signal on the magnetic disk, and an exciting coil.

【0020】各々のサイドレールは、その流入端側に最
も幅の広い部分を有し、その最も幅の広い部分の先端に
傾斜部あるいは段差部を有するものとした。また、サイ
ドレールはほぼ中間部分に最も幅の狭い部分を有してお
り、この幅の狭い部分は側縁から内側に後退された。ま
たこの最も幅の狭い部分は略平行となっていて、スライ
ダーの長手方向に対して斜めとなっていて側縁に対して
傾斜角を付けられた。この傾斜角は2〜10°程度が好
ましい。最も幅の狭い部分は、長さでサイドレールの長
さの5%以上、40%以下が好ましく、最も幅の狭い部
分の幅はサイドレールの幅の50%以下とし、好ましく
は25%以下である。
Each of the side rails has the widest portion on the inflow end side, and has a slope or a step at the tip of the widest portion. Further, the side rail has a narrowest portion substantially at the middle portion, and the narrow portion is retreated inward from the side edge. The narrowest part is substantially parallel, is inclined with respect to the longitudinal direction of the slider, and is inclined with respect to the side edge. This inclination angle is preferably about 2 to 10 °. The width of the narrowest portion is preferably 5% or more and 40% or less of the length of the side rail, and the width of the narrowest portion is 50% or less, preferably 25% or less of the width of the side rail. is there.

【0021】上記のスライダーを、MRヘッドを含む媒
体対向面を磁気ディスクと対向して設置し、気圧変動に
対する浮上量の安定性を評価した。磁気ディスクの回転
に伴って発生した空気流がステップから流れ込み、サイ
ドレールの面に作用して浮揚力を生じ、磁気ヘッドを浮
上させた。同時に、媒体対向面からキャビティに回り込
んだ空気流によって負圧が発生し、正圧とバランスをと
って一定の高さ(浮上量)でスライダーは浮上した。磁
気ディスク装置の内外の気圧を下げたところ、浮上量を
急減することなく、磁気ヘッドの記録および再生を実行
することができた。
The above-mentioned slider was placed with the medium facing surface including the MR head facing the magnetic disk, and the stability of the flying height with respect to atmospheric pressure fluctuation was evaluated. The air flow generated by the rotation of the magnetic disk flows from the step and acts on the surface of the side rail to generate a levitation force, thereby causing the magnetic head to fly. At the same time, a negative pressure was generated by the airflow flowing from the medium facing surface into the cavity, and the slider floated at a certain height (floating amount) in balance with the positive pressure. When the air pressure inside and outside the magnetic disk device was lowered, recording and reproduction of the magnetic head could be executed without suddenly decreasing the flying height.

【0022】本発明の他の実施例を説明する。上記の実
施例では、浮上量の低下によるスライダーと磁気ディス
クの接触による磨耗を抑制するために媒体対向面のみに
保護膜を設けた。しかし、媒体対向面のみに保護膜を設
けると、保護膜の注入端側の端部の傷みが早くなる。そ
こで本実施例では、媒体対向面のみならず、媒体対向面
とステップの双方とその間にある段差の壁面にダイヤモ
ンドライクカーボンの保護膜を連続した膜として設け
た。この保護膜の構成としては、ダイヤモンドライクカ
ーボンとスライダーの間にシリコンの下地膜を設けた2
層構造のものと、ダイヤモンドライクカーボン単層のも
のを用いることができた。
Another embodiment of the present invention will be described. In the above embodiment, the protective film is provided only on the medium facing surface in order to suppress the abrasion due to the contact between the slider and the magnetic disk due to the decrease in the flying height. However, if the protective film is provided only on the medium facing surface, the damage of the end of the protective film on the injection end side is accelerated. Therefore, in the present embodiment, the protective film of diamond-like carbon is provided as a continuous film not only on the medium facing surface, but also on both the medium facing surface and the step and on the wall surface of the step between them. The structure of this protective film is such that a silicon base film is provided between diamond-like carbon and the slider.
One having a layer structure and one having a diamond-like carbon single layer could be used.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上で述べたように、本発明によれば気
圧の変化に影響を受けにくい浮上式磁気ヘッドを提供す
ることができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a floating magnetic head which is hardly affected by changes in atmospheric pressure.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】ステップとキャビティの比に対するドロップレ
ートを表したグラフである。
FIG. 1 is a graph showing a drop rate with respect to a ratio of a step and a cavity.

【図2】スライダーのステップ深さに対するドロップレ
ートを表したグラフである。
FIG. 2 is a graph showing a drop rate with respect to a step depth of a slider.

【図3】本発明の浮上式スライダーの媒体対向面を説明
する図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a medium facing surface of a floating slider according to the present invention.

【図4】本発明の他の浮上式スライダーの媒体対向面を
説明する図である。
FIG. 4 is a view illustrating a medium facing surface of another floating slider according to the present invention.

【図5】本発明の他の浮上式スライダーの媒体対向面を
説明する図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a medium facing surface of another floating slider according to the present invention.

【図6】従来の浮上式スライダーの側面図である。FIG. 6 is a side view of a conventional floating slider.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11,21,31 ステップ、 12,22,32 キ
ャビティ、13 媒体対向面、 14 M
Rヘッド、23R,23L 媒体対向面、 33R,
33L 媒体対向面、23a,33a 正面側の段差、
23b,33b 側面側の段差、23c,33c 後ろ
側の段差、 24,34 MRヘッド、26 27よ
り深い面、 36 37より深い面、27
MR素子を備える媒体対向面、37 MR素子を備える
媒体対向面。
11, 21, 31 steps, 12, 22, 32 cavities, 13 medium facing surface, 14 M
R head, 23R, 23L medium facing surface, 33R,
33L medium facing surface, 23a, 33a step on front side,
23b, 33b Side step, 23c, 33c Back step, 24, 34 MR head, 26 27 deeper surface, 36 37 deeper surface, 27
Medium facing surface with MR element, 37 Medium facing surface with MR element.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 媒体対向面と、前記媒体対向面の流入端
側に設けられたステップと、前記ステップより流出端側
に設けられたキャビティとを備え、ステップとキャビテ
ィの深さの比ds/dcが0.1から0.4の範囲内に
規定され、前記媒体対向面に保護膜を有することを特徴
とする浮上式磁気ヘッド。
1. A medium facing surface, a step provided on an inflow end side of the medium facing surface, and a cavity provided on an outflow end side from the step, wherein a ratio ds / d of a depth of the step and the cavity is provided. A floating magnetic head , wherein dc is defined in a range of 0.1 to 0.4, and a protective film is provided on the medium facing surface .
【請求項2】 正圧を発生する段差と、負圧を発生する
段差とを媒体対向面に備える浮上式の磁気ヘッドであっ
て、正圧を発生する段差と負圧を発生する段差の深さの
比が0.1から0.4の範囲内に規定され、前記媒体対
向面に保護膜を有することを特徴とする浮上式磁気ヘッ
ド。
2. A floating magnetic head having a step for generating a positive pressure and a step for generating a negative pressure on a medium facing surface, wherein the step for generating a positive pressure and the depth of the step for generating a negative pressure are provided. the ratio is defined within the range of 0.1 to 0.4, the medium-to
A floating magnetic head having a protective film on an opposite surface .
【請求項3】 請求項1または2に記載された浮上式磁
気ヘッドにおいて、前記キャビティの深さまたは前記負
圧を発生する段差の深さが5μm以下であることを特徴
とする浮上式磁気ヘッド。
3. The floating magnetic head according to claim 1, wherein a depth of the cavity or a depth of a step for generating the negative pressure is 5 μm or less. .
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