JP3239087U - Wet process equipment with carrier oriented system - Google Patents

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勝義 蘇
坤星 巫
理榕 呂
世達 ▲黄▼
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揚博科技股▲ふん▼有限公司
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Abstract

【課題】基板の歩留まりを向上させることが可能な、搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置を提供する。【解決手段】本体10、搬送器具20及びガイド部材30を含み、本体10は搬送器具移動通路12を有し、搬送器具20は外フレームと内環状フレームを含み、外フレームには複数のローラーが間隔で設けられており、内環状フレームは各ローラーの間に回転可能に設置され、内環状フレームは環形状体及び環形状体に固定されたガイド受部材を含み、環形状体は基板クランプエリアを有し、ガイド部材30は、搬送器具移動通路12に設置され、且つ内環状フレームの一方の側の面に形成されており、そのうち、搬送器具20が搬送器具移動通路12に沿って平行移動する過程中、ガイド受部材がガイド部材30に接触してガイドされ、内環状フレームに外フレームに対する指向性回転が生じる。【選択図】図1A wet process apparatus having a carrier orientation system capable of improving the yield of substrates is provided. A main body (10), a carrying device (20) and a guide member (30), the main body (10) having a carrying device moving passage (12), the carrying device (20) comprising an outer frame and an inner annular frame, the outer frame having a plurality of rollers. spaced apart, an inner annular frame is rotatably installed between each roller, the inner annular frame includes an annular body and a guide receiving member fixed to the annular body, the annulus defining a substrate clamping area; and a guide member 30 installed in the carrier movement passage 12 and formed on one side surface of the inner annular frame, wherein the carrier 20 translates along the carrier movement passage 12 . During the process, the guide receiving member contacts and is guided by the guide member 30, causing directional rotation of the inner annular frame with respect to the outer frame. [Selection drawing] Fig. 1

Description

本考案は、基板のウェットプロセス装置の技術に関し、特に搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置に関する。 The present invention relates to the technology of wet processing equipment for substrates, and more particularly to a wet processing equipment with a carrier orientation system.

プリント配線基板の加工工程中、例えばエッチング、洗浄などのウェットプロセスでは、通常、まず配線基板がクランプ治具によって位置決めされ、それから加工工程が行われる。加工工程では、プリント配線基板が直立にする方法で搬送ユニットに取り付けられ、搬送ユニットによってプリント配線基板を所定のルートに従い移動するよう動かすことにより、プリント配線基板へのエッチングや洗浄などの加工を行えるようにするのが一般的である。 During the process of processing a printed wiring board, for example, in wet processes such as etching and cleaning, the wiring board is usually positioned first by a clamping jig, and then the processing process is performed. In the processing process, the printed wiring board is attached to the transport unit in an upright manner, and the transport unit moves the printed wiring board along a predetermined route to perform processing such as etching and cleaning on the printed wiring board. It is common to do

上述のプリント配線基板に対する加工を様々な方向や角度で行えるよう、それに対応するプリント配線基板を載せて位置決めするための搬送器具の研究が行われ、複数の水流駆動器を用いて回転式搬送器具をそれぞれ駆動して回転させる、回転式の搬送器具が開発された。水流駆動器は、噴射される水柱の衝撃を受けることにより駆動され回転するものである。 In order to process the above-mentioned printed wiring board in various directions and angles, research has been conducted on a carrying device for placing and positioning the corresponding printed wiring board, and a rotary carrying device using a plurality of water flow drivers. A rotary carrier has been developed that drives and rotates each of the The water flow driver is driven and rotated by receiving the impact of the jetted water column.

しかし、搬送器具の薬液によるエッチングや水による洗浄の際に、それらの薬液や水の残留物がクランプ治具に付着することは避けられず、それらの残留物が重力の作用を受けてプリント配線基板の方へ垂れ流れてしまい、プリント配線基板に上述の残留物が付着することで、製品の効果や歩留まりを低下させてしまっていた。 However, it is unavoidable that residues of the chemical solution and water adhere to the clamping jig during chemical etching and water cleaning of the transport equipment. The residue drips down onto the substrate and adheres to the printed wiring board, thus reducing the effectiveness and yield of the product.

そこで、本考案者は改良を目標として、上述の従来技術の欠点について研究に専念し、且つ学理を応用して組み合わせ、上述の問題点を解決するために尽力した。 Therefore, with the goal of improvement, the inventor of the present invention devoted himself to researching the above-mentioned shortcomings of the prior art, and applied and combined theories to try to solve the above-mentioned problems.

本考案は、薬液や水などの残留物が垂れ流れによる影響を効果的に回避することで基板の歩留まりを向上させることが可能な、搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置を提供することを目的としている。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a wet process apparatus having a transfer device-oriented system that can improve the yield of substrates by effectively avoiding the effects of dripping and flowing of residues such as chemicals and water. and

上述の目的を達成するために、本考案が提供する搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置は、本体と、搬送器具と、ガイド部材と、を含み、本体は搬送器具移動通路を有し、搬送器具は外フレームと内環状フレームを含み、外フレームには複数のローラーが間隔で設けられており、内環状フレームは各ローラーの間に回転可能に設置され、内環状フレームは環形状体及び環形状体に固定された少なくとも1つのガイド受部材を含み、環形状体は基板クランプエリアを有し、ガイド部材は、搬送器具移動通路に設置され、且つ内環状フレームの一方の側の面に形成されており、そのうち、搬送器具が搬送器具移動通路に沿って平行移動する過程中、ガイド受部材がガイド部材に接触してガイドされることにより、内環状フレームに外フレームに対する指向性回転を生じさせる。 To achieve the above objects, the present invention provides a wet process apparatus with a carrier orientation system, comprising a body, a carrier, and a guide member, the body having a carrier movement passage, and a carrier The device includes an outer frame and an inner annular frame, the outer frame is provided with a plurality of rollers spaced apart, the inner annular frame is rotatably installed between the rollers, the inner annular frame includes an annular body and an annular body. At least one guide receiving member secured to the profile, the annular profile having a substrate clamping area, the guide member located in the carrier travel path and formed on one side surface of the inner annular frame. During the process of parallel movement of the carrying device along the carrying device moving path, the guide receiving member is guided by contact with the guide member, thereby causing the inner annular frame to rotate in a directional manner with respect to the outer frame. Let

本考案は以下の効果をさらに有する。ガイド部材とガイド受部材の組み合わせにより、各クランプ部材を水平状に設置することができ、これによって基板の取り外し作業の自動化が達成される。傾斜バーのストッパと下向き傾斜バーを設けることにより、ガイド受部材がガイド部材のガイド作用から離れてしまうのを防止できるだけでなく、搬送器具を逆方向に移動させるときに、内環状フレームに対する角度調整を行うこともできる。 The present invention further has the following effects. By combining the guide member and the guide receiving member, each clamp member can be installed horizontally, thereby achieving automation of the board removal work. By providing a stop on the slanted bar and a downwardly slanted bar, not only is it possible to prevent the guide receiving member from moving away from the guiding action of the guide member, but it is also possible to adjust the angle relative to the inner annular frame when the carrier is moved in the opposite direction. can also be done.

本考案のウェットプロセス装置の組立概念図である。1 is an assembly conceptual diagram of a wet process apparatus of the present invention; FIG. 本考案の搬送器具とガイド部材の配置概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram of the arrangement of the carrier and the guide member of the present invention; 本考案の搬送器具とガイド部材の別方向の概念図である。FIG. 4 is a conceptual view of the carrier and the guide member of the present invention in different directions; 本考案の搬送器具とガイド部材の側面図である。Fig. 2 is a side view of the delivery device and guide member of the present invention; 本考案の搬送器具が搬送機構に結合された組立概念図である。FIG. 4 is an assembly conceptual diagram of the carrying device of the present invention coupled to a carrying mechanism; 本考案の使用状態の概念図(1)である。It is a conceptual diagram (1) of the use state of this invention. 本考案の使用状態の概念図(2)である。It is a conceptual diagram (2) of the use state of this invention. 本考案の使用状態の概念図(3)である。It is a conceptual diagram (3) of the use state of this invention. 本考案の別の使用状態の概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram of another use state of the present invention; 本考案のもうひとつの使用状態の概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram of another use state of the present invention;

以下、本考案の詳細な説明及び技術内容について図に基づき説明するが、添付図面はもっぱら参考及び説明のために提供するものであり、本考案を制限するためのものではない。 The detailed description and technical content of the present invention will be described below with reference to the drawings. The accompanying drawings are provided for reference and explanation only, and are not intended to limit the present invention.

図1~図5を参照されたい。本考案は搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置を提供するが、それは主に本体10、搬送器具20及びガイド部材30を含む。 See FIGS. 1-5. The present invention provides a wet processing apparatus with a carrier device orientation system, which mainly includes a body 10, a carrier device 20 and a guide member 30.

本体10は略短冊形状の箱体であり、本体10の上部に搬送ベルト11が配置されており、搬送ベルト11の下方には搬送器具移動通路12が形成されており、また本体10の下部には噴射装置13が配置されており、噴射装置13は間隔で配列された複数のノズル131を含む。 The main body 10 is a substantially strip-shaped box, and a conveyor belt 11 is arranged on the upper part of the main body 10 . , an injection device 13 is arranged, and the injection device 13 includes a plurality of nozzles 131 arranged at intervals.

搬送器具20は主に外フレーム21と内環状フレーム22を含み、外フレーム21は主に2本の横方向バー210と2本の縦方向バー211を組み立てて接続してなるものである。本実施例の外フレーム21は略四辺形であり、外フレーム21の各横方向バー210と各縦方向バー211には複数のローラー212が間隔で設置されており、そのうち、ローラー212は3つの従動ローラー213と2つの駆動ローラー214を含み、各従動ローラー213はそれぞれ上側の横方向バー210と左右両側の縦方向バー211に設置されており、各駆動ローラー214は下側の横方向バー210に間隔で設置されている。 The carrying device 20 mainly includes an outer frame 21 and an inner annular frame 22, and the outer frame 21 is mainly composed of two transverse bars 210 and two longitudinal bars 211 assembled and connected. The outer frame 21 of this embodiment is substantially rectangular, and a plurality of rollers 212 are installed on each horizontal bar 210 and each vertical bar 211 of the outer frame 21 at intervals. Including a driven roller 213 and two driving rollers 214, each driven roller 213 is respectively installed on the upper horizontal bar 210 and the left and right vertical bars 211, and each driving roller 214 is installed on the lower horizontal bar 210 are installed at intervals.

内環状フレーム22は、各従動ローラー213及び各駆動ローラー214の間に回転可能に設置されており、内環状フレーム22は環形状体221及び環形状体221に固定された少なくとも1つのガイド受部材222を含み、環形状体221の中間部分には、複数のクランプ部材23によって内環状フレーム22に固定され、且つ基板7に対しクランプ固定を行うための基板クランプエリア223が設けられており、ここでの基板7はフレキシブル配線基板でよい。 The inner annular frame 22 is rotatably installed between each driven roller 213 and each driving roller 214, and the inner annular frame 22 includes an annular body 221 and at least one guide receiving member fixed to the annular body 221. 222, the intermediate portion of the annular body 221 is provided with a substrate clamping area 223 which is fixed to the inner annular frame 22 by a plurality of clamping members 23 and for clamping to the substrate 7, wherein The substrate 7 may be a flexible wiring substrate.

1つの実施例において、内環状フレーム22は円形の内環状フレームであり、ガイド受部材222の数は2つであり、各ガイド受部材222の結ぶ線は円形の内環状フレームの円心を通り、これによってガイド受部材222とガイド部材30の接触頻度を増加させる。また、各ガイド受部材222は回転ホイールでよく、これによってガイド部材30と接触したときの摩擦抵抗を低減させる。 In one embodiment, the inner annular frame 22 is a circular inner annular frame, the number of guide receiving members 222 is two, and the line connecting each guide receiving member 222 passes through the center of the circular inner annular frame. , thereby increasing the contact frequency between the guide receiving member 222 and the guide member 30 . Also, each guide receiving member 222 may be a rotating wheel, thereby reducing frictional resistance when in contact with the guide member 30 .

ガイド部材30は、搬送器具移動通路12に設置され、且つ内環状フレーム22の一方の側の面に形成されており、本実施例のガイド部材30は主に傾斜バー31を含み、傾斜バー31の両端はそれぞれ導入部311と導出部312を有し、導入部311にはストッパ32が下向きに延在しており、導出部312には下向き傾斜バー33が下向きに延在している。そのうち、ストッパ32は、ガイド受部材222がガイド部材30のガイド作用から離れてしまうのを防止することができ、下向き傾斜バー33は、搬送器具20を逆方向に移動させるときに、内環状フレーム22に対する角度調整を行うこともでき、製造工程におけるニーズに応えることができる。 The guide member 30 is installed in the carrier moving passage 12 and formed on one side surface of the inner annular frame 22 . has an introduction portion 311 and a lead-out portion 312, respectively, the introduction portion 311 has a stopper 32 extending downward, and the lead-out portion 312 has a downwardly inclined bar 33 extending downward. Among them, the stopper 32 can prevent the guide receiving member 222 from being separated from the guiding action of the guide member 30, and the downward inclined bar 33 can prevent the inner ring frame from moving backward when the carrier device 20 is moved in the reverse direction. 22 can also be adjusted to meet the needs of the manufacturing process.

1つの実施例において、搬送器具20はハンガー24をさらに含み、ハンガー24の下側は外フレーム21に接続されており、ハンガー24の上側は上述の搬送ベルト11に接続されており、これにより、搬送ベルト11による搬送器具20の平行搬送を行う。 In one embodiment, the carrier 20 further comprises a hanger 24, the lower side of which is connected to the outer frame 21, and the upper side of which is connected to the conveyor belt 11 described above, thereby: The conveying device 20 is conveyed in parallel by the conveying belt 11 .

1つの実施例において、搬送器具20は2つの保護輪25をさらに含み、各保護輪25はねじなどの締結部材によって上述の各横方向バー210と各縦方向バー211に固定され、各保護輪25によって内環状フレーム22が外フレーム21と保護輪25の間に拘束されるようにする。 In one embodiment, the carrying device 20 further includes two guard rings 25, each guard ring 25 being fixed to each of the above-mentioned transverse bars 210 and each longitudinal bar 211 by fastening members such as screws, and each guard ring The inner annular frame 22 is restrained between the outer frame 21 and the protective ring 25 by 25 .

1つの実施例において、搬送器具20は伝動機構26をさらに含み、それは外フレーム21と内環状フレーム22の間に設置され、伝動機構26は主にインペラ261と歯車群262を含み、歯車群262は第1はすば歯車2621と第2はすば歯車2622を含み、第1はすば歯車2621はインペラ261と接続され、第2はすば歯車2622は上述の駆動ローラー214と接続され、且つ第1はすば歯車2621と互いに噛み合い伝動する。 In one embodiment, the carrying device 20 further includes a transmission mechanism 26, which is installed between the outer frame 21 and the inner annular frame 22, the transmission mechanism 26 mainly includes an impeller 261 and a gear group 262, and the gear group 262 includes a first helical gear 2621 and a second helical gear 2622, the first helical gear 2621 is connected with the impeller 261, the second helical gear 2622 is connected with the drive roller 214 described above, Also, it meshes with the first helical gear 2621 to transmit power.

次に図6~図8を参照して、作動時には搬送器具20が搬送ベルト11に駆動され、搬送器具移動通路12に沿って平行移動し、内環状フレーム22が左に傾斜した状況下において、ガイド受部材222がガイド部材30の導入部311に到達したとき、搬送器具20が継続して平行移動するにつれて、ガイド受部材222が傾斜バー31に押し上げられ、内環状フレーム22に外フレーム21に対して反時計回り方向の回転を生じさせ、ガイド受部材222がガイド部材30の導出部312に到達したとき、各クランプ部材23がちょうど上・下両側の位置になり、このようにすることで基板7に対する取り外し作業の自動化を行うのが有利となる。 Next, referring to FIGS. 6 to 8, in operation, the conveying device 20 is driven by the conveying belt 11, moves parallel along the conveying device moving path 12, and under the condition that the inner annular frame 22 is tilted to the left, When the guide receiving member 222 reaches the introduction portion 311 of the guide member 30 , the guide receiving member 222 is pushed up by the inclined bar 31 as the conveying device 20 continues to move in parallel, and the inner annular frame 22 and the outer frame 21 move. When the guide receiving member 222 reaches the lead-out portion 312 of the guide member 30 by rotating in the counterclockwise direction, the clamp members 23 are positioned just above and below. It would be advantageous to automate the removal of the substrate 7 .

さらに説明すると、ここで、ガイド部材30の傾斜バー31の角度は実際の使用ニーズに応じて設置又は調整することができ、そのようにして搬送器具20の内環状フレーム22の回転角度を所定の角度にさせることが達成でき、図8の2つのガイド受部材222が水平状態を呈する形態に限定されない。 For further explanation, here, the angle of the slant bar 31 of the guide member 30 can be set or adjusted according to the actual use needs, so that the rotation angle of the inner annular frame 22 of the carrying device 20 can be set to a predetermined value. An angle can be achieved, and the two guide receiving members 222 in FIG. 8 are not limited to the horizontal state.

次に図9を参照して、内環状フレーム22が右に傾斜した状況下において、ガイド受部材222がガイド部材30の導入部311に到達したとき、搬送器具20が継続して平行移動するにつれて、ガイド受部材222が傾斜バー31に押し上げられ、内環状フレーム22に外フレーム21に対して時計回り方向の回転を生じさせ、ガイド受部材222がガイド部材30の導出部312に到達したとき、各クランプ部材23がちょうど上・下両側の位置になる。 Next, referring to FIG. 9, when the guide receiving member 222 reaches the introduction portion 311 of the guide member 30 under the condition that the inner annular frame 22 is tilted to the right, the conveying device 20 continues to move in parallel. , the guide receiving member 222 is pushed up by the inclined bar 31, causing the inner annular frame 22 to rotate clockwise with respect to the outer frame 21, and when the guide receiving member 222 reaches the lead-out portion 312 of the guide member 30, Each clamping member 23 is positioned just above and below.

次に図10を参照して、ベルト式生産の作業過程中、各搬送器具20は順に搬送器具移動通路12に進入し、且つ各ガイド受部材222がそれぞれガイド部材30と接触することにより、各搬送器具20を一つ一つ特定の方位に指向させる。 Next, referring to FIG. 10, during the work process of belt-type production, each conveying device 20 enters the conveying device movement passage 12 in turn, and each guide receiving member 222 comes into contact with the guide member 30, thereby Each delivery device 20 is oriented in a specific orientation.

要約すると、本考案の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置は、想定した使用目的を達成し、従来における欠点を解決することができる。 In summary, the wet processing apparatus with the carrier orientation system of the present invention can achieve its intended use and overcome the shortcomings of the prior art.

10 本体
11 搬送ベルト
12 搬送器具移動通路
13 噴射装置
131 ノズル
20 搬送器具
21 外フレーム
210 横方向バー
211 縦方向バー
212 ローラー
213 従動ローラー
214 駆動ローラー
22 内環状フレーム
221 環形状体
222 ガイド受部材
223 基板クランプエリア
23 クランプ部材
24 ハンガー
25 保護輪
26 伝動機構
261 インペラ
262 歯車群
2621 第1はすば歯車
2622 第2はすば歯車
30 ガイド部材
31 傾斜バー
311 導入部
312 導出部
32 ストッパ
33 下向き傾斜バー
7 基板
10 Main body 11 Conveyor belt 12 Conveyor moving passage 13 Injector 131 Nozzle 20 Conveyor 21 Outer frame 210 Horizontal bar 211 Vertical bar 212 Roller 213 Driven roller 214 Driving roller 22 Inner annular frame 221 Ring-shaped body 222 Guide receiving member 223 Substrate clamping area 23 Clamping member 24 Hanger 25 Protective wheel 26 Transmission mechanism 261 Impeller 262 Gear group 2621 First helical gear 2622 Second helical gear 30 Guide member 31 Inclined bar 311 Lead-in portion 312 Lead-out portion 32 Stopper 33 Downwardly inclined bar 7 board

Claims (10)

搬送器具移動通路を有する、本体と、
外フレーム及び内環状フレームを含み、前記外フレームには複数のローラーが間隔で設けられており、前記内環状フレームは前記ローラーの間に回転可能に設置され、前記内環状フレームは環形状体及び前記環形状体に固定された少なくとも1つのガイド受部材を含み、前記環形状体は基板クランプエリアを有する、搬送器具と、
前記搬送器具移動通路に設置され、且つ前記内環状フレームの一方の側の面に形成された、ガイド部材と、を含み、
前記搬送器具が前記搬送器具移動通路に沿って平行移動する過程中、前記ガイド受部材が前記ガイド部材に接触してガイドされることにより、前記内環状フレームに前記外フレームに対する指向性回転を生じさせる、搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。
a body having a carrier travel path;
It comprises an outer frame and an inner annular frame, wherein the outer frame is provided with a plurality of rollers at intervals, the inner annular frame is rotatably installed between the rollers, the inner annular frame comprises an annular body and an inner annular frame. a carrier device including at least one guide receiving member secured to said annulus, said annulus having a substrate clamping area;
a guide member installed in the carrier movement path and formed on one side surface of the inner annular frame;
During the process of parallel movement of the carrying device along the carrying device moving path, the guide receiving member contacts and is guided by the guide member, thereby causing directional rotation of the inner annular frame with respect to the outer frame. Wet process equipment having a carrier orientation system that allows
前記ガイド部材は傾斜バーを含み、前記傾斜バーの両端にそれぞれ導入部と導出部を有する、請求項1に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。 2. The wet process apparatus with carrier orientation system of claim 1, wherein said guide member comprises an angled bar having respective inlet and outlet portions at opposite ends of said angled bar. 前記導入部にはストッパが下向きに延在しており、前記導出部には下向き傾斜バーが下向きに延在している、請求項2に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。 3. The wet process apparatus with carrier directing system of claim 2, wherein the lead-in portion has a stopper extending downwardly and the outlet portion has a downwardly sloping bar extending downwardly. 2つのガイド受部材を有し、前記内環状フレームは円形内環状フレームであり、各前記ガイド受部材の結ぶ線は前記円形内環状フレームの円心を通る、請求項1に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。 2. The delivery device oriented according to claim 1, having two guide receiving members, wherein said inner annular frame is a circular inner annular frame, and a line connecting each said guide receiving member passes through the center of said circular inner annular frame. Wet process equipment with system. 前記外フレームは、2本の横方向バーと、各前記横方向バーに接続された2本の縦方向バーを含み、3つの従動ローラーと2つの駆動ローラーを有し、各前記従動ローラーはそれぞれ1つの前記横方向バー及び各前記縦方向バーに設置され、各前記駆動ローラーはもう1つの前記横方向バーに間隔で設置される、請求項1に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。 The outer frame includes two transverse bars and two longitudinal bars connected to each transverse bar, and has three driven rollers and two driving rollers, each driven roller respectively 2. Wet process apparatus with carrier orientation system according to claim 1, located on one said transverse bar and each said longitudinal bar, each said drive roller being located on another said transverse bar at intervals. . 前記搬送器具はハンガーをさらに含み、前記ハンガーは前記外フレームに接続される、請求項1に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。 2. The wet process apparatus with carrier orientation system of claim 1, wherein said carrier further comprises a hanger, said hanger connected to said outer frame. 前記搬送器具は複数の保護輪をさらに含み、各前記保護輪は前記外フレームに固定され、各前記保護輪によって前記内環状フレームが前記外フレームと各前記保護輪の間に拘束される、請求項1に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。 The carrying device further comprises a plurality of protective rings, each of the protective rings being fixed to the outer frame, each of the protective rings constraining the inner annular frame between the outer frame and each of the protective rings. A wet process apparatus comprising the carrier directing system of claim 1. 前記搬送器具は伝動機構をさらに含み、前記伝動機構は前記外フレームと前記内環状フレームの間に設置される、請求項1に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。 2. The wet process apparatus with carrier orientation system of claim 1, wherein the carrier further comprises a transmission mechanism, wherein the transmission mechanism is installed between the outer frame and the inner annular frame. 前記伝動機構はインペラと歯車群を含み、前記歯車群は第1はすば歯車と第2はすば歯車を含み、前記第1はすば歯車はインペラと接続され、前記第2はすば歯車は一部の各前記ローラーと接続され、且つ前記第1はすば歯車と互いに噛み合い伝動する、請求項8に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。 The transmission mechanism includes an impeller and a gear group, the gear group includes a first helical gear and a second helical gear, the first helical gear is connected with the impeller, and the second helical gear is 9. Wet process equipment with carrier directing system according to claim 8, wherein a gear is connected with each of said rollers in part and in meshing transmission with said first helical gear. 前記本体には噴射装置が配置されており、前記噴射装置は間隔で配列された複数のノズルを含む、請求項1に記載の搬送器具指向システムを有するウェットプロセス装置。 2. The wet process apparatus with carrier directing system of claim 1, wherein said body has an injector disposed thereon, said injector including a plurality of spaced apart nozzles.
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