JP3236819U - Anti-corrosion magnetic gear - Google Patents

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巫坤星
呂理榕
鍾添達
呉寧
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揚博科技股▲ふん▼有限公司
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Abstract

【課題】 防食磁気歯車を提供することを課題とする。【解決手段】 本考案は、軸座と、マグネットリングと、防食メンブレンと、2つのシールリングと、側蓋リングとを備えた防食磁気歯車に関する。軸座は、基台と、基台から延びる軸棒とを備え、マグネットリングは軸棒を嵌め込み、外周面と、対向する二つの側平面とを備え、外周面が各側平面の間に連接され、防食メンブレンが外周面を被覆し、各側平面の少なくとも一部を遮蔽し、各シールリングが軸棒を嵌め込み、かつマグネットリングの両側にそれぞれ位置し、各側平面上の防食メンブレンに当接し、側蓋リングが軸棒に締め付け接合し、基台の縦方向に向けて各シールリング及びマグネットリングを付勢する。これにより、作業環境でマグネットリングが腐食性化学物質によって腐食されるのを効果的に防ぐことができる。【選択図】 図2PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an anticorrosion magnetic gear. The present invention relates to an anticorrosion magnetic gear provided with a shaft seat, a magnet ring, an anticorrosion membrane, two seal rings, and a side lid ring. The shaft seat is provided with a base and a shaft rod extending from the base, and the magnet ring is provided with an outer peripheral surface and two opposing side planes by fitting the shaft rod, and the outer peripheral surface is connected between the side planes. The anticorrosion membrane covers the outer peripheral surface, shields at least a part of each side plane, each seal ring fits the shaft rod, and is located on both sides of the magnet ring, and hits the anticorrosion membrane on each side plane. In contact, the side lid ring is tightened and joined to the shaft rod, and each seal ring and magnet ring are urged in the vertical direction of the base. This can effectively prevent the magnet ring from being corroded by corrosive chemicals in the working environment. [Selection diagram] Fig. 2

Description

本考案は、磁気歯車に関し、特に、マグネットリングを腐食性化学物質による腐食から保護することができる防食磁気歯車に関する。 The present invention relates to magnetic gears, in particular anticorrosion magnetic gears capable of protecting magnet rings from corrosion by corrosive chemicals.

歯車は、さまざまな製造業で最も一般的な動力伝達部品であるが、長期間の接触作用において摩耗の問題が起き、パーティクル(particle)が発生され、回路基板又はウェーハなどの製造工程で歩留まりに著しい影響を及ぼす。このため、歯車の作動に代わる磁気歯車(Magnetic Gear)を派生し、磁気歯車は在来の歯車の歯を持たないため、磁気結合力の引きつけ合い及び反発し合いを利用して動力伝達を実現している。 Gears are the most common power transmission component in various manufacturing industries, but wear problems occur during long-term contact action, particles are generated, and yield is reduced in the manufacturing process of circuit boards or wafers. Significant impact. For this reason, a magnetic gear that replaces the operation of the gear is derived, and since the magnetic gear does not have the teeth of the conventional gear, power transmission is realized by utilizing the attraction and repulsion of the magnetic coupling force. is doing.

一般的な磁気歯車は、通常、金属軸座にマグネットリングに取り付けられている。ただし、酸性・アルカリ性液体、酸性・アルカリ性ミスト、又は化学蒸気を有する湿式プロセスでは、金属腐食が発生しやすくなり、或いは酸洗い又は化学洗浄プロセスでの回路基板及びウェーハなどの生産ラインにおいて、作業環境に長期暴露されるマグネットリングは、酸性・アルカリ性物質や腐食性化学物質によって腐食されやすいことで、正常に動作しなくなり、交換が必要になるため、マグネットリングを効果的に防食し、交換の必要がなく、永久的に動作できるようにさせるかが改善すべき課題である。 Common magnetic gears are usually attached to a magnetic ring on a metal shaft seat. However, in wet processes with acidic / alkaline liquids, acidic / alkaline mists, or chemical vapors, metal corrosion is likely to occur, or in the production line of circuit boards and wafers in pickling or chemical cleaning processes, the working environment. Magnet rings that are exposed for a long period of time are easily corroded by acidic / alkaline substances and corrosive chemical substances, so they do not operate normally and need to be replaced. The issue to be improved is whether or not it can be operated permanently.

これに鑑み、本考案者は、上記の従来技術の欠陥に対し、鋭意研究を重ねると共に学理の運用を組み合わせ、上記問題点を解決することに努めた結果、本考案者の改良の目標となった。 In view of this, the present inventor has made efforts to solve the above-mentioned problems by repeating diligent research and combining the operation of the theory for the above-mentioned defects of the prior art, and as a result, the present inventor has become the goal of improvement. rice field.

本考案の主な目的は、作業環境でマグネットリングが腐食性化学物質によって腐食されるのを効果的に防ぐことができる防食磁気歯車を提供することである。 A main object of the present invention is to provide an anticorrosion magnetic gear capable of effectively preventing a magnet ring from being corroded by corrosive chemicals in a working environment.

上記目的を達成するため、本考案は、軸座と、マグネットリングと、防食メンブレンと、2つのシールリングと、側蓋リングとを備えた防食磁気歯車を提供する。軸座は、基台と、基台から延びる軸棒とを備え、マグネットリングは軸棒を嵌め込み、外周面と、対向する2つの側平面とを備え、外周面が各側平面の間に連接され、防食メンブレンが外周面を被覆し、各側平面の少なくとも一部を遮蔽し、各シールリングが軸棒を嵌め込み、かつマグネットリングの両側にそれぞれ位置し、各側平面上の防食メンブレンに当接し、側蓋リングが軸棒に締め付け接合し、基台の縦方向に向けて各シールリング及びマグネットリングを付勢する。 In order to achieve the above object, the present invention provides an anticorrosion magnetic gear provided with a shaft seat, a magnet ring, an anticorrosion membrane, two seal rings, and a side lid ring. The shaft seat is provided with a base and a shaft rod extending from the base, and the magnet ring is provided with an outer peripheral surface and two opposing side planes by fitting the shaft rod, and the outer peripheral surface is connected between the side planes. The anticorrosion membrane covers the outer peripheral surface, shields at least a part of each side plane, each seal ring fits the shaft rod, and is located on both sides of the magnet ring, and hits the anticorrosion membrane on each side plane. In contact, the side lid ring is fastened and joined to the shaft rod, and each seal ring and magnet ring are urged in the vertical direction of the base.

本考案は、次の効果も有する。すなわち、位置決め具を基台から軸穴に貫通する位置決め穴に挿入することで、回転軸を付勢して軸座に固定できる。雌ねじ及び雄ねじの表面にスレッドシーラントを塗布することにより、螺接後に完全に密封できることで、腐食性化学物質がねじ部から浸入することを防ぐ。基台及び側蓋リングの外縁上の挟持平面を工具で保持することで、力をかけて締め付けることを容易にする。各シールリングを各環状溝内に収容することにより、各シールリングが直接外部に露出して腐食性化学物質によって腐食されることはない。 The present invention also has the following effects. That is, by inserting the positioning tool into the positioning hole penetrating the shaft hole from the base, the rotating shaft can be urged and fixed to the shaft seat. By applying a thread sealant to the surface of the female and male threads, it can be completely sealed after screwing, which prevents corrosive chemicals from entering through the threaded portion. By holding the holding plane on the outer edge of the base and the side lid ring with a tool, it is easy to apply force to tighten. By accommodating each seal ring in each annular groove, each seal ring is not directly exposed to the outside and corroded by corrosive chemical substances.

本考案の立体外観図である。It is a three-dimensional appearance view of this invention. 本考案の立体分解図である。It is a three-dimensional exploded view of this invention. 本考案の断面図である。It is sectional drawing of this invention.

以下、本考案の詳細な説明及び技術内容は、図面を参照しつつ説明するが、添付図面は、例示のみを目的としており、本考案を限定することを意図するものではない。 Hereinafter, the detailed description and technical contents of the present invention will be described with reference to the drawings, but the attached drawings are for illustration purposes only and are not intended to limit the present invention.

図1~図3を参照すると、本考案は、主に軸座10と、マグネットリング20と、防食メンブレン30と、2つのシールリング40と、側蓋リング50とを備えた防食磁気歯車を提供する。 Referring to FIGS. 1 to 3, the present invention mainly provides an anticorrosion magnetic gear including a shaft seat 10, a magnet ring 20, an anticorrosion membrane 30, two seal rings 40, and a side lid ring 50. do.

本実施例において、軸座10は、プラスチック部品であるが、本考案はこれに限定されることなく、例えば軸座10が耐食性金属部品又はその他の耐食性材料で製造されることもできる。軸座10は、基台11と、軸棒12とを備え、軸棒12は基台11の一側面から縦方向に延びる。具体的には、基台11及び軸棒12は、いずれも円柱状を呈すると共に同じ軸心を有し、軸棒12の直径が基台11の直径よりも小さい。軸座10は、軸穴13を有し、基台11及び軸棒12を縦方向に貫通し、軸座10が回転軸(図示せず)に嵌着するめに用いられる。又、基台11には、位置決め穴14も設けられ、位置決め穴14は基台11の外縁から軸穴13に貫通し、位置決め具(図示せず)が挿入して回転軸を付勢して軸座10上に固定させる。本実施例において、位置決め穴14は、螺合穴で、位置決め具がボルトであるが、本考案はこれに限定されず、例えば位置決め具はピンであってもよい。なお、軸穴13も非円形孔でもよいので、軸座10が位置決め具及び位置決め穴14を介することなく回転軸と緊合することで滑ることはない。 In the present embodiment, the shaft seat 10 is a plastic part, but the present invention is not limited thereto, and for example, the shaft seat 10 may be manufactured of a corrosion-resistant metal part or other corrosion-resistant material. The shaft seat 10 includes a base 11 and a shaft rod 12, and the shaft rod 12 extends in the vertical direction from one side surface of the base 11. Specifically, the base 11 and the shaft rod 12 both have a columnar shape and have the same axis, and the diameter of the shaft rod 12 is smaller than the diameter of the base 11. The shaft seat 10 has a shaft hole 13, penetrates the base 11 and the shaft rod 12 in the vertical direction, and is used for fitting the shaft seat 10 to a rotating shaft (not shown). Further, the base 11 is also provided with a positioning hole 14, and the positioning hole 14 penetrates the shaft hole 13 from the outer edge of the base 11, and a positioning tool (not shown) is inserted to urge the rotating shaft. It is fixed on the shaft seat 10. In the present embodiment, the positioning hole 14 is a screw hole and the positioning tool is a bolt, but the present invention is not limited to this, and the positioning tool may be a pin, for example. Since the shaft hole 13 may also be a non-circular hole, the shaft seat 10 does not slip because it is brought into close contact with the rotating shaft without going through the positioning tool and the positioning hole 14.

マグネットリング20は、リング状の磁石であり、本考案は磁石の磁性を制限することなく、設計者が異なるニーズに応じて自ら調整できる。マグネットリング20は、軸棒12を嵌め込む。マグネットリング20は、外周面21と、対向する両側平面22とを備え、外周面21が両側平面22の間に連接される。 The magnet ring 20 is a ring-shaped magnet, and the present invention does not limit the magnetism of the magnet, and the designer can adjust himself / herself according to different needs. The magnet ring 20 fits the shaft rod 12. The magnet ring 20 includes an outer peripheral surface 21 and opposite side planes 22, and the outer peripheral surface 21 is connected between the both side planes 22.

防食メンブレン30は、外周面21を被覆し、各側平面22の少なくとも一部を遮蔽する。本実施例において、防食メンブレン30は、有機塗膜、無機塗膜、金属塗膜、表面硬化処理、陰極処理又は陽極処理等によって形成された保護層であり得るが、本考案はこれを限定することなく、腐食性化学物質による腐食を効果的に防止できるだけで、設計者も異なる作業環境のニーズに応じて防食メンブレン30の成分及び厚さ等を調整できる。 The anticorrosion membrane 30 covers the outer peripheral surface 21 and shields at least a part of each side plane 22. In the present embodiment, the anticorrosion membrane 30 may be a protective layer formed by an organic coating film, an inorganic coating film, a metal coating film, a surface hardening treatment, a cathode treatment, an anodizing treatment, or the like, but the present invention limits this. Not only can the corrosion caused by the corrosive chemicals be effectively prevented, but the designer can also adjust the composition and thickness of the anticorrosive membrane 30 according to the needs of different working environments.

各シールリング40は、軸棒12を嵌め込み、マグネットリング20の左右両側にそれぞれ位置し、かつ各シールリング40も各側平面22上の防食メンブレン30にそれぞれ当接する。本実施例において、シールリング40は、Oリングであるが、本考案はこれに限定されない。 Each seal ring 40 is fitted with a shaft rod 12 and is located on both the left and right sides of the magnet ring 20, and each seal ring 40 also abuts on the anticorrosion membrane 30 on each side plane 22. In this embodiment, the seal ring 40 is an O-ring, but the present invention is not limited thereto.

側蓋リング50は、軸棒12に締め付け接合し、基台11の縦方向に向けて各シールリング40及びマグネットリング20を付勢し、各シールリング40を各側平面22の防食メンブレン30上に密着するように挟着させる。本実施例において、側蓋リング50は、プラスチック部品であるが、本考案はこれに限定されることなく、例えば側蓋リング50が耐食性金属部品又はその他の耐食性材料で製造されることもでき、かつ製造及び組立配置を容易にするため、側蓋リング50が軸座10と同じ材質で製造されることが好ましい。側蓋リング50の内縁には、雌ねじ51が設けられ、軸棒12の末端に雄ねじ15が設けられ、雌ねじ51は雄ねじ15に螺接することで側蓋リング50を軸棒12に締め付ける。好ましくは、雌ねじ51及び雄ねじ15の表面にスレッドシーラントAを塗布して、雌ねじ51と雄ねじ15が螺接後、固化したスレッドシーラントAによって完全に密封されることができることから腐食性化学物質がねじ部から浸入するのを防ぐ。また、基台11及び側蓋リング50の外縁に対向する二つの挟持平面16、52が各々設けられ、側蓋リング50を軸棒12に締め付けさせた時、各挟持平面16、52を工具(例:ペンチ)で保持することで、力をかけて締め付けることを容易にする。 The side lid ring 50 is fastened and joined to the shaft rod 12, and each seal ring 40 and the magnet ring 20 are urged toward the vertical direction of the base 11, and each seal ring 40 is placed on the anticorrosion membrane 30 of each side flat surface 22. It is sandwiched so that it is in close contact with. In the present embodiment, the side lid ring 50 is a plastic part, but the present invention is not limited thereto, and for example, the side lid ring 50 may be manufactured of a corrosion-resistant metal part or other corrosion-resistant material. Moreover, in order to facilitate manufacturing and assembly arrangement, it is preferable that the side lid ring 50 is manufactured of the same material as the shaft seat 10. A female screw 51 is provided on the inner edge of the side lid ring 50, a male screw 15 is provided at the end of the shaft rod 12, and the female screw 51 is screwed into the male screw 15 to fasten the side lid ring 50 to the shaft rod 12. Preferably, the thread sealant A is applied to the surfaces of the female thread 51 and the male thread 15, and after the female thread 51 and the male thread 15 are screwed together, the thread sealant A can be completely sealed by the solidified thread sealant A, so that the corrosive chemical substance is screwed. Prevent intrusion from the part. Further, two holding planes 16 and 52 facing the outer edges of the base 11 and the side lid ring 50 are provided, respectively, and when the side lid ring 50 is tightened to the shaft rod 12, the holding planes 16 and 52 are used as tools ( For example, by holding it with a pliers), it is easy to apply force and tighten it.

具体的には、基台11は、軸棒12が延びる側面に環状溝17が凹設され、側蓋リング50の基台11に面する側面に対向する別の環状溝53が凹設される。各シールリング40は、各環状溝17、53内にそれぞれ収容され、各シールリング40が外部に直接露出されて腐食性化学物質によって腐食されないようにさせる。 Specifically, in the base 11, an annular groove 17 is recessed on the side surface on which the shaft rod 12 extends, and another annular groove 53 facing the side surface of the side lid ring 50 facing the base 11 is recessed. .. Each seal ring 40 is housed in each of the annular grooves 17 and 53, respectively, so that each seal ring 40 is directly exposed to the outside and is not corroded by corrosive chemical substances.

マグネットリング20は、厚さtを有し、各シールリング40が直径Dを有し、各環状溝17、53が幅w及び深さdを有することに留意されたい。本実施例において、幅wは、直径Dよりも大きく、直径Dが深さdよりも大きいので、各シールリング40は各環状溝17、53から突出し、側蓋リング50を締め付けた時マグネットリング20が各シールリング40に接触して縦方向に付勢することから、各シールリング40に弾性変形を生じさせる。又、防食メンブレン30は、側平面22を遮蔽する遮蔽長さlを有する。遮蔽長さlと1/2幅wの和は、厚さtよりも大きいため、各シールリング40が防食メンブレン30に当接することで密封の効果を奏することができることで、腐食性化学物質が防食メンブレン30とシールリング40との間に浸入してマグネットリング20を腐食させることを防ぐことができる。本実施例において、遮蔽長さlは、マグネットリング20の厚さtと同じ長さであるが、本考案はこれに限定されない。 Note that the magnet ring 20 has a thickness t, each seal ring 40 has a diameter D, and each annular grooves 17 and 53 have a width w and a depth d. In this embodiment, since the width w is larger than the diameter D and the diameter D is larger than the depth d, each seal ring 40 protrudes from each of the annular grooves 17 and 53, and the magnet ring when the side lid ring 50 is tightened. Since 20 comes into contact with each seal ring 40 and is urged in the vertical direction, elastic deformation is caused in each seal ring 40. Further, the anticorrosion membrane 30 has a shielding length l that shields the side plane 22. Since the sum of the shielding length l and the 1/2 width w is larger than the thickness t, the corrosive chemical substances can be produced by the sealing effect of each sealing ring 40 coming into contact with the anticorrosive membrane 30. It is possible to prevent the magnet ring 20 from being corroded by entering between the anticorrosion membrane 30 and the seal ring 40. In the present embodiment, the shielding length l is the same as the thickness t of the magnet ring 20, but the present invention is not limited to this.

本考案が他の様々な実施例を有することもでき、本考案の精神及びその本質から逸脱しない限り、当業者は本考案に対して様々な改良変更をなし得ることは勿論である。ただし、かかる改良変更及び変形は本考案の保護範囲に含まれる。 It goes without saying that a person skilled in the art may make various improvements and changes to the present invention as long as the present invention may have various other embodiments and does not deviate from the spirit and the essence of the present invention. However, such improvements and modifications are included in the scope of protection of the present invention.

10 軸座
11 基台
12 軸棒
13 軸穴
14 位置決め穴
15 雄ねじ
16、52 挟持平面
17、53 環状溝
20 マグネットリング
21 外周面
22 側平面
30 防食メンブレン
40 シールリング
50 側蓋リング
51 雌ねじ
A スレッドシーラント
d 深さ
D 直径
l 遮蔽長さ
t 厚さ

w 幅
10 Shaft Seat 11 Base 12 Shaft Rod 13 Shaft Hole 14 Positioning Hole 15 Male Thread 16, 52 Holding Plane 17, 53 Circular Groove 20 Magnet Ring 21 Peripheral Surface 22 Side Plane 30 Anticorrosion Membrane 40 Sealant 50 Side Cover Ring 51 Female Thread A Thread Sealant d Depth D Diameter l Shielding length t Thickness

w width

Claims (10)

基台と、前記基台から延びる軸棒とを備えた軸座と、
前記軸棒を嵌め込み、外周面と、対向する二つの側平面とを備え、前記外周面が各前記側平面の間に連接されるマグネットリングと、
前記外周面を被覆し、各前記側平面の少なくとも一部を遮蔽する防食メンブレンと、
前記軸棒を嵌め込み、前記マグネットリングの両側にそれぞれ位置し、各前記側平面上の前記防食メンブレンに当接する2つのシールリングと、
前記軸棒に締め付け接合し、前記基台の縦方向に向けて各前記シールリング及び前記マグネットリングを付勢する側蓋リングと、を備える防食磁気歯車。
A shaft seat having a base and a shaft rod extending from the base, and
A magnet ring into which the shaft rod is fitted, has an outer peripheral surface and two opposing side planes, and the outer peripheral surface is connected between the respective side planes.
An anticorrosion membrane that covers the outer peripheral surface and shields at least a part of each of the side planes.
Two seal rings into which the shaft rod is fitted, located on both sides of the magnet ring, and in contact with the anticorrosion membrane on each side plane,
An anticorrosion magnetic gear provided with a seal ring and a side lid ring for urging each of the seal rings and magnet rings in the vertical direction of the base, which are fastened and joined to the shaft rod.
前記基台及び前記側蓋リングは、それぞれ対向して環状溝を凹設し、各前記シールリングが各前記環状溝内にそれぞれ収容される請求項1に記載の防食磁気歯車。 The anticorrosion magnetic gear according to claim 1, wherein the base and the side lid ring each have an annular groove recessed so as to face each other, and each of the seal rings is housed in each of the annular grooves. 各前記シールリングは、直径を有し、各前記環状溝が幅を有し、前記幅が前記直径よりも大きい請求項2に記載の防食磁気歯車。 The anticorrosion magnetic gear according to claim 2, wherein each of the seal rings has a diameter, each of the annular grooves has a width, and the width is larger than the diameter. 前記マグネットリングは、厚さを有し、前記防食メンブレンが各前記側平面を遮蔽する遮蔽長さを有し、前記遮蔽長さと1/2の前記幅の和が前記厚さよりも大きい請求項3に記載の防食磁気歯車。 3. The magnet ring has a thickness, the anticorrosion membrane has a shielding length for shielding each side plane, and the sum of the shielding length and the width of 1/2 is larger than the thickness. Anticorrosion magnetic gear described in. 各前記シールリングは、直径を有し、各前記環状溝が深さを有し、前記直径が前記深さよりも大きい請求項2に記載の防食磁気歯車。 The anticorrosion magnetic gear according to claim 2, wherein each of the seal rings has a diameter, each of the annular grooves has a depth, and the diameter is larger than the depth. 前記側蓋リングには、雌ねじが設けられ、前記軸棒に雄ねじが設けられ、前記雌ねじは前記雄ねじに螺接することで前記側蓋リングを前記軸棒に締め付ける請求項1に記載の防食磁気歯車。 The anticorrosion magnetic gear according to claim 1, wherein the side lid ring is provided with a female screw, the shaft rod is provided with a male screw, and the female screw is screwed into the male screw to fasten the side lid ring to the shaft rod. .. 前記雌ねじ及び前記雄ねじの表面には、スレッドシーラントが塗布されている請求項6に記載の防食磁気歯車。 The anticorrosion magnetic gear according to claim 6, wherein a thread sealant is applied to the surfaces of the female screw and the male screw. 前記基台及び側蓋リングの外縁には、対向する二つの挟持平面がそれぞれ設けられる請求項6に記載の防食磁気歯車。 The anticorrosion magnetic gear according to claim 6, wherein two sandwiching planes facing each other are provided on the outer edges of the base and the side lid ring. 前記軸座は、軸穴を有し、前記軸穴が前記基台及び前記軸棒を縦方向に貫通する請求項1に記載の防食磁気歯車。 The anticorrosion magnetic gear according to claim 1, wherein the shaft seat has a shaft hole, and the shaft hole penetrates the base and the shaft rod in the vertical direction. 前記基台に位置決め穴が設けられ、前記位置決め穴は、前記基台の外縁から前記軸穴までに貫通する請求項9に記載の防食磁気歯車。 The anticorrosion magnetic gear according to claim 9, wherein a positioning hole is provided in the base, and the positioning hole penetrates from the outer edge of the base to the shaft hole.
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