JP3236343U - Resist recovery device - Google Patents
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Abstract
【課題】レジストと、薬液との混合物から、レジストと、薬液との分離が、容易なレジスト回収装置を提供する。【解決手段】レジスト回収装置10は、レジストと、薬液と、の混合物を収納する回収機本体20と、回収機本体に取り付けるとともに、混合物をレジストと、薬液と、に分離する網部30と、回収機本体を振動させるために駆動する動力部40と、側面視において、回収機本体の後部に取り付けた後ろバネ50と、回収機本体の前部に取り付けた前バネ80と、を有し、後ろバネは、回収機本体の後部を支持するように取り付けるとともに、前バネは、回収機本体の前部を吊り下げるように取り付け、動力部を駆動させることで、回収機本体を振動させるというものである。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resist recovery device in which a resist and a chemical solution can be easily separated from a mixture of the resist and the chemical solution. SOLUTION: A resist recovery device 10 is attached to a recovery machine main body 20 for storing a mixture of a resist and a chemical solution, and a net portion 30 for separating the mixture into a resist and a chemical solution while being attached to the recovery machine main body. It has a power unit 40 that drives the recovery machine body to vibrate, a rear spring 50 attached to the rear part of the recovery machine body, and a front spring 80 attached to the front part of the recovery machine body in a side view. The rear spring is attached so as to support the rear part of the recovery machine body, and the front spring is attached so as to suspend the front part of the recovery machine body and drives the power unit to vibrate the recovery machine body. Is. [Selection diagram] Fig. 1
Description
本考案は、プリント配線基板の製造工程において剥離液と感光性レジストを分離し、回収するレジスト回収装置に関するものである。 The present invention relates to a resist recovery device that separates and recovers a stripping liquid and a photosensitive resist in the manufacturing process of a printed wiring board.
プリント配線基板の製造工程では、プリント配線基板材に対し、エッチングし、感光性レジストを除去することで、プリント配線基板が作成されるこのときそのプリント配線基板材から除去された剥離液と感光性レジストは混合された状態となる。 In the printed wiring board manufacturing process, the printed wiring board material is etched and the photosensitive resist is removed to create a printed wiring board. At this time, the stripping liquid removed from the printed wiring board material and the photosensitive material are photosensitive. The resist is in a mixed state.
混合された状態の剥離液と感光性レジストはレジストの回収によって、剥離液と感光性レジストとに分離し、その剥離液は、剥離装置に供給されて再使用される一方で、その感光性レジストは廃棄されている。 The stripped solution and the photosensitive resist in a mixed state are separated into a stripping solution and a photosensitive resist by recovering the resist, and the stripping solution is supplied to the stripping device and reused, while the photosensitive resist is used. Has been discarded.
このように剥離液と感光性レジストとは、レジスト回収装置によって分離することができる。このような、レジスト回収装置は、レジストの剥離装置から供給された混合物を、網目部分を通して、剥離液と感光性レジストに分離するものが開示されている。 In this way, the stripping liquid and the photosensitive resist can be separated by the resist recovery device. As such a resist recovery device, a device that separates a mixture supplied from a resist stripping device into a stripping liquid and a photosensitive resist through a mesh portion is disclosed.
例えば、特開2006-300994号が開示されている。レジスト回収装置11においてレジストが回収されているが、そのレジスト回収装置11におけるレジスト濃縮部14は、プレ脱液部13から供給された混合体Dについて、レジストAを濃縮すると共に、アルカリ溶液Bを分離して液槽12へと回収させる。すなわち、レジスト濃縮部14は、液槽12中に立設された略逆円錐状の捕集ネット23を備えており、プレ脱液部13の脱液ネット16上から供給された混合体Dは、捕集ネット23内を下方に向け吸引、流下される。これにより、混合体Dは、かなりのアルカリ溶液Bが、捕集ネット23外に流出し、下方に向け吸引、流下されて、液槽12へと吸引、回収されるので、レジストAが、捕集ネット23内の下部に向けて、順次濃縮されて行く、というものである。
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-300994 is disclosed. The resist is recovered in the resist recovery device 11, and the resist concentration unit 14 in the resist recovery device 11 concentrates the resist A and the alkaline solution B for the mixture D supplied from the pre-drainage unit 13. It is separated and collected in the liquid tank 12. That is, the resist concentrating unit 14 includes a substantially inverted
しかしながら、レジストは、略逆円錐状の捕集ネット23に捕集されるものであり、レジストが積み重ねられると、薬液との分離が、困難となり、また図示しない作業者が、この捕集ネット23からレジストを回収しなければならず、極めて不利不便である。
However, the resist is collected by a substantially inverted
本考案は前記の実情に鑑みなされたもので、その課題は、レジストと、薬液との混合物から、レジストと、薬液との分離が、容易なレジスト回収装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a resist recovery device in which the resist and the chemical solution can be easily separated from the mixture of the resist and the chemical solution.
前記の課題を解決するため、第1観点のレジスト回収装置は、レジストと、薬液との混合物を収納する回収機本体と、回収機本体に取り付けるとともに、混合物をレジストと、薬液と、に分離する網部と、回収機本体を振動させるために駆動する動力部と、側面視において、回収機本体の後部に取り付けた後ろバネと、回収機本体の前部に取り付けた前バネと、を有し、後ろバネは、回収機本体の後部を支持するように取り付けるとともに、前バネは、回収機本体の前部を吊り下げるように取り付け、動力部を駆動させることで、回収機本体を振動させるというものである。 In order to solve the above-mentioned problems, the resist recovery device of the first aspect is attached to the recovery machine main body for storing the mixture of the resist and the chemical solution, and the recovery machine main body, and separates the mixture into the resist and the chemical solution. It has a net part, a power part that drives the recovery machine body to vibrate, a rear spring attached to the rear part of the recovery machine body, and a front spring attached to the front part of the recovery machine body in a side view. The rear spring is attached so as to support the rear part of the recovery machine body, and the front spring is attached so as to suspend the front part of the recovery machine body, and the power unit is driven to vibrate the recovery machine body. It is a thing.
また、第2観点のレジスト回収装置は、第1観点において、回収機本体は、当該回収機本体の底を構成する底部を具備し、網部は、底部に取り付けるというものである。 Further, in the resist recovery device of the second aspect, in the first aspect, the recovery machine main body includes a bottom portion constituting the bottom of the recovery machine main body, and the net unit is attached to the bottom portion.
また、第3観点のレジスト回収装置は、第1観点または第2観点において、前バネを取り付けるために前バネ取り付け部と、をさらに有し、前バネ取り付け部は、回収機本体の前部を吊り下げるために、当該回収機本体の前部よりも高い位置に配置し、前バネを取り付けて回収機本体の前部を吊り下げるというものである。 Further, the resist recovery device according to the third aspect further has a front spring mounting portion for mounting the front spring in the first or second viewpoint, and the front spring mounting portion includes the front portion of the recovery machine main body. In order to hang it, it is placed at a position higher than the front part of the recovery machine main body, and a front spring is attached to hang the front part of the recovery machine main body.
また、第4観点のレジスト回収装置は、第3観点において、回収機本体を支持するためにフレーム部と、を有し、フレーム部は、後ろバネを載置する後ろバネ載置部と、を有し、後ろバネ載置部と、前バネ取り付け部と、は、フレーム部に取り付けたというものである。 Further, in the third aspect, the resist recovery device of the fourth aspect has a frame portion for supporting the recovery machine main body, and the frame portion has a rear spring mounting portion on which the rear spring is mounted. The rear spring mounting portion and the front spring mounting portion are attached to the frame portion.
また、第5観点のレジスト回収装置は、第1観点から第4観点において、回収機本体は、動力部を取りつけるための動力取り付け部と、をさらに有し、動力取り付け部は、回収機本体の前方に配置するというものである。 Further, in the resist recovery device of the fifth aspect, from the first viewpoint to the fourth viewpoint, the recovery machine main body further has a power mounting unit for mounting the power unit, and the power mounting unit is the recovery machine main body. It is to be placed in front.
また、第6観点のレジスト回収装置は、第1観点から第5観点において、動力部は、振動モータであるというものである。 Further, in the resist recovery device of the sixth aspect, the power unit is a vibration motor from the first aspect to the fifth aspect.
本考案は以上のように構成され、かつ作用するものであるものであるから、レジストと、薬液との混合物から、レジストと、薬液との分離が、容易なレジスト回収装置を提供することができる。 Since the present invention is configured and acts as described above, it is possible to provide a resist recovery device in which the resist and the chemical solution can be easily separated from the mixture of the resist and the chemical solution. ..
以下図示の実施形態を参照して本実施例について説明する。第1実施例のレジスト回収装置10は、薬液XとレジストYの混合物Zを文字通り薬液XとレジストYに分離して回収するためのものであり、薬液回収タンク450に回収された薬液Xは、再び、基板300に吹き付けて、レジスト剥離処理に供されるように循環するものである。また、回収したレジストYは、後述するレジスト回収タンク400に収集されたのちに処理することができる(図3参照)。
Hereinafter, this embodiment will be described with reference to the illustrated embodiment. The
第1実施例のレジスト回収装置10は、箱状を呈し、平面視矩形状を呈する回収機本体20と、その混合物Zを薬液XとレジストYと、に分離する網部30と、回収機本体20を振動させるための動力部40と、回収機本体20の後部23に取り付けた後ろバネ50、50と、回収機本体20の前部24に取り付けた前バネ80、80と、を有するものである。
The
回収機本体20は、薬液XとレジストYとの混合物Zを収納するために、所定の大きさを有し、平面視矩形状の箱型形状を呈するものである。回収機本体20は、側面視において前方F方向を下方にし、後方Re方向を上昇させた位置に配置する。すなわち前傾させた位置に配置することが好ましく、その調整範囲は、0度から5度であり、さらに1度から2度前傾させた位置に配置することが好ましい(図示せず)。また、回収機本体20の底を構成する底部21には、薬液XとレジストYの混合物Zを、薬液XとレジストYに分離する網部30を有している。網部30は、ステンレス製の金網が好ましく、この目の細かさは、50から200メッシュが好ましく、また100メッシュも好ましい。
The recovery machine
また、動力部40は、振動モータが好ましく、図示しない回転軸に振動子を取り付け、その回転軸を回転させることで振動を発生させるものである。動力部40は、回収機本体20の左右LR方向に渡す薄板状の動力取り付け部45に取り付けられている。動力取り付け部45は、回収機本体20の側面視中央部22よりも前方F方向に配置することが好ましい。
Further, the
また、後ろバネ50、50は、文字通り回収機本体20の後部23を支持するように取り付ける。第1実施例のレジスト回収装置10においては、後ろバネ50、50の一端51、51は、後ろバネ取り付け部60、60を介して回収機本体20に取り付けられている。後ろバネ取り付け部60、60は、平面視において、回収機本体20の側部25において左右LR方向に突出するように取り付けられていることが好ましい。また、後ろバネ取り付け部60、60は、側部25において、その底部21と、天部26との間のほぼ中間に取り付けることが好ましい。
Further, the
また、後ろバネ50、50の他端55、55は、後ろバネ載置部70、70に載置され、図示しない台に取りけられている。このように後ろバネ50、50は、回収機本体20を下方から支持するように取り付けられている。したがって、後ろバネ50、50が、縮むと、回収機本体20における後部23が、下方に移動し、後ろバネ50、50が、伸びると、回収機本体20における後部23が、上方に移動する。
Further, the
また、前バネ80、80は、回収機本体20の前部24を吊り下げるように取り付ける。前バネ80、80の一端81、81は、回収機本体20の前部24よりも高い位置から、吊り下げることができれば好ましい。
Further, the
また、前バネ80、80の他端85、85は、平面視において、回収機本体20の底部21から左右LR方向に突出するように取り付けることも好ましい。このように前バネ80、80は、回収機本体20を吊り下げるように取り付けられている。したがって、前バネ80、80が、縮むと、回収機本体20における前部24が、上方に移動し、前バネ80、80が、伸びると、回収機本体20における前部24が下方に移動する。
Further, it is also preferable that the
また、前バネ80、80のバネ定数は、後ろバネ50、50のバネ定数よりも、小であることが好ましく、例えば、前バネ80、80のバネ定数は、4N~10N/mmが好ましく、後ろバネ50、50のバネ定数は、後ろバネ50、50は、25N~60N/mmが好ましい。
Further, the spring constants of the
次に、第2実施例のレジスト回収装置10Aについて説明する。第2実施例のレジスト回収装置10Aは、第1実施例のレジスト回収装置10に、さらにフレーム部100を有するものである。したがって、第2実施例のレジスト回収装置10Aにおいて、第1実施例のレジスト回収装置10と同様の構成においては同様の符号を付し、その説明を省略する場合がある。
Next, the resist
フレーム部100は、回収機本体20を支持するためのものであり、後ろバネ50、50を載置する後ろバネ載置部70、70を有するものである。また、フレーム部100は、前バネ80、80の一端81、81を取り付ける前バネ取り付け部110、110を有するものである。前バネ取り付け部110、110は柱状を呈するものである。また、前バネ取り付け部110、110の高さは、前バネ80、80が、回収機本体20の前部24を吊り下げるのに十分な高さを有することが好ましく、回収機本体20の前部24よりも高い位置にあることが好ましい。すなわち、回収機本体20の前部24よりも高い位置に、前バネ80、80の一端81、81を前バネ取り付け部110、110に取り付ければ好ましい。
The
前バネ取り付け部110、110は、回収機本体20の前部24よりも高い位置において、前方F方向に突出するピンであり、前バネ80、80の一端81、81は、そのピンである前バネ取り付け部材111、111に吊り下げるように取り付けられている。なお、前バネ80、80の他端は、上記のとおり、平面視において、回収機本体20の側部25において底部21から左右LR方向に突出するように取り付けられている。なお、前バネ取り付け部110、110の高さは50ミリメートルから200ミリメートルが好ましく、また100ミリメートル程度が好ましい。
The front
つぎに、第2実施例のレジスト回収装置10Aの使用状態について説明する。なお、使用状態については、第1実施例のレジスト回収装置10と同様である。レジスト剥離装置200においてレジストの剥離処理をするために薬液Xをノズル210から噴射し、基板300に薬液Xを噴射してその基盤300を、レジスト剥離処理をする。その際に、薬液XとレジストYとの混合物Zが排出される。
Next, the usage state of the resist
混合物Zは、第2実施例のレジスト回収装置10Aにおける回収機本体20の後部23上に供給される。そのとき、動力部40を駆動させ振動を発生させる。動力部40の駆動により発生した振動は、動力取り付け部45を介して、回収機本体20に伝達される。この際、後ろバネ50、50が縮み、その後ろバネ50、50に支持された回収機本体20における後部23が、下方に移動するとともに、前バネ80、80が縮み、その前バネ80、80に吊り下げられた回収機本体20における前部24が、上方に移動する。また、今度は反対に、後ろバネ50、50が伸び、その後ろバネ50、50に支持された回収機本体20における後部23が、上方に移動するとともに、前バネ80、80が伸び、その前バネ80、80に吊り下げられた回収機本体20における前部24が、下方に移動する。このような動作を繰り返すことで、混合物Zを前方F方向に徐々に移動させることができる。
The mixture Z is supplied onto the
このとき、それぞれ上述のバネ定数にすることで、後ろバネ50、50の振幅に比べて前バネ80、80の振幅が大きくなることで、さらに、混合物Zを前方に徐々に移動させることができる。また、回収機本体20は、側面視において前方F方向を下方にし、後方Re方向を上昇させた位置に配置、すなわち回収機本体20を前傾させた位置に配置すると、さらに、混合物Zを前方F方向に徐々に移動させることができる。
At this time, by setting the spring constants as described above, the amplitudes of the front springs 80 and 80 are larger than the amplitudes of the rear springs 50 and 50, so that the mixture Z can be gradually moved forward. .. Further, when the recovery machine
また、動力部40の振動は、後ろバネ50、50と前バネ80,80が吸収するために、後述するレジスト回収タンク400あるいは、薬液回収タンク450の、その動力部40の振動が伝わることを可及的に軽減することができる。
Further, since the vibration of the
また、上述の振動により、回収機本体20の底部21に配置した網部30によって、混合物Zを薬液XとレジストYに分離し、薬液Xは、その網部30から滴下され、ポンプ500によってふたたび、ノズル管600に供給され、ノズル210から薬液Xを再び基盤300に噴射することで、レジスト剥離処理に使用する。
Further, due to the above-mentioned vibration, the mixture Z is separated into the chemical solution X and the resist Y by the
また混合物Zから分離したレジストYは、回収機本体20の後部から前部に徐々に移動し、回収機本体20の前方に配置したレジスト回収タンク400に搬送される。このように、レジストYを確実に前方Fに移動させることができる。よって、上記のとおり、第2実施例のレジスト回収装置10Aは、混合物Zを薬液XとレジストYに確実に分離することができる。なお、第1実施例のレジスト回収装置10も同様に混合物Zを薬液XとレジストYに確実に分離することができる。なお、レジスト回収タンク400に回収されたレジストYはその後廃棄される。
Further, the resist Y separated from the mixture Z gradually moves from the rear part to the front part of the recovery machine
10 第1実施例のレジスト回収装置
10A 第2実施例のレジスト回収装置
20 回収機本体
21 底部
22 中央部
23 後部
24 前部
25 側部
26 天部
30 網部
40 動力部
50 後ろバネ
60 後ろバネ取り付け部
80 前バネ
100 フレーム部
110 前バネ取り付け部
X 薬液
Y レジスト
Z 混合物
10 Resist recovery device of the
Claims (6)
前記回収機本体に取り付けるとともに、前記混合物を前記レジストと、前記薬液と、に分離する網部と、
前記回収機本体を振動させるために駆動する動力部と、
前記回収機本体の後部に取り付けた後ろバネと、
前記回収機本体の前部に取り付けた前バネと、を有し、
前記後ろバネは、前記回収機本体の後部を支持するように取り付けるとともに、
前記前バネは、前記回収機本体の前部を吊り下げるように取り付け、
前記動力部を駆動させることで、前記回収機本体を振動させるレジスト回収装置。 The recovery machine body that stores the mixture of resist and chemical solution,
A net unit that is attached to the recovery machine main body and separates the mixture into the resist and the chemical solution.
The power unit that drives the collector body to vibrate,
The rear spring attached to the rear of the recovery machine body and
It has a front spring attached to the front part of the recovery machine body,
The rear spring is attached so as to support the rear portion of the recovery machine main body, and the rear spring is attached.
The front spring is attached so as to suspend the front portion of the recovery machine main body.
A resist recovery device that vibrates the recovery machine body by driving the power unit.
前記網部は、前記底部に取り付ける請求項1記載のレジスト回収装置。 The recovery machine main body includes a bottom portion constituting the bottom of the recovery machine main body.
The resist recovery device according to claim 1, wherein the net unit is attached to the bottom portion.
前記前バネ取り付け部は、前記回収機本体の前部を吊り下げるために、当該回収機本体の前部よりも高い位置に配置し、前記前バネを取り付けて前記回収機本体の前部を吊り下げる請求項1または2記載のレジスト回収装置。 Further has a front spring mounting portion for mounting the front spring,
The front spring mounting portion is arranged at a position higher than the front portion of the recovery machine main body in order to suspend the front portion of the recovery machine main body, and the front spring is attached to suspend the front portion of the recovery machine main body. The resist recovery device according to claim 1 or 2.
前記フレーム部は、前記後ろバネを載置する後ろバネ載置部と、を有し、
前記後ろバネ載置部と、前記前バネ取り付け部と、は、前記フレーム部に取り付けた請求項3記載のレジスト回収装置。 It has a frame portion for supporting the recovery machine main body, and has.
The frame portion has a rear spring mounting portion on which the rear spring is mounted.
The resist recovery device according to claim 3, wherein the rear spring mounting portion and the front spring mounting portion are attached to the frame portion.
前記動力取り付け部は、前記回収機本体の前方に配置する請求項1から4のいずれかに記載のレジスト回収装置。 The recovery machine main body further includes a power mounting unit for mounting the power unit.
The resist recovery device according to any one of claims 1 to 4, wherein the power mounting unit is arranged in front of the recovery machine main body.
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JP2021004774U JP3236343U (en) | 2021-12-14 | 2021-12-14 | Resist recovery device |
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