JP3236343U

JP3236343U - Resist recovery device

Info

Publication number: JP3236343U
Application number: JP2021004774U
Authority: JP
Inventors: 剛大窪; 大貴加藤
Original assignee: Toa Electronics Ltd
Current assignee: Toa Electronics Ltd
Priority date: 2021-12-14
Filing date: 2021-12-14
Publication date: 2022-02-14
Anticipated expiration: 2031-12-14

Abstract

【課題】レジストと、薬液との混合物から、レジストと、薬液との分離が、容易なレジスト回収装置を提供する。【解決手段】レジスト回収装置１０は、レジストと、薬液と、の混合物を収納する回収機本体２０と、回収機本体に取り付けるとともに、混合物をレジストと、薬液と、に分離する網部３０と、回収機本体を振動させるために駆動する動力部４０と、側面視において、回収機本体の後部に取り付けた後ろバネ５０と、回収機本体の前部に取り付けた前バネ８０と、を有し、後ろバネは、回収機本体の後部を支持するように取り付けるとともに、前バネは、回収機本体の前部を吊り下げるように取り付け、動力部を駆動させることで、回収機本体を振動させるというものである。【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resist recovery device in which a resist and a chemical solution can be easily separated from a mixture of the resist and the chemical solution. SOLUTION: A resist recovery device 10 is attached to a recovery machine main body 20 for storing a mixture of a resist and a chemical solution, and a net portion 30 for separating the mixture into a resist and a chemical solution while being attached to the recovery machine main body. It has a power unit 40 that drives the recovery machine body to vibrate, a rear spring 50 attached to the rear part of the recovery machine body, and a front spring 80 attached to the front part of the recovery machine body in a side view. The rear spring is attached so as to support the rear part of the recovery machine body, and the front spring is attached so as to suspend the front part of the recovery machine body and drives the power unit to vibrate the recovery machine body. Is. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本考案は、プリント配線基板の製造工程において剥離液と感光性レジストを分離し、回収するレジスト回収装置に関するものである。 The present invention relates to a resist recovery device that separates and recovers a stripping liquid and a photosensitive resist in the manufacturing process of a printed wiring board.

Conventional technology

プリント配線基板の製造工程では、プリント配線基板材に対し、エッチングし、感光性レジストを除去することで、プリント配線基板が作成されるこのときそのプリント配線基板材から除去された剥離液と感光性レジストは混合された状態となる。 In the printed wiring board manufacturing process, the printed wiring board material is etched and the photosensitive resist is removed to create a printed wiring board. At this time, the stripping liquid removed from the printed wiring board material and the photosensitive material are photosensitive. The resist is in a mixed state.

混合された状態の剥離液と感光性レジストはレジストの回収によって、剥離液と感光性レジストとに分離し、その剥離液は、剥離装置に供給されて再使用される一方で、その感光性レジストは廃棄されている。 The stripped solution and the photosensitive resist in a mixed state are separated into a stripping solution and a photosensitive resist by recovering the resist, and the stripping solution is supplied to the stripping device and reused, while the photosensitive resist is used. Has been discarded.

このように剥離液と感光性レジストとは、レジスト回収装置によって分離することができる。このような、レジスト回収装置は、レジストの剥離装置から供給された混合物を、網目部分を通して、剥離液と感光性レジストに分離するものが開示されている。 In this way, the stripping liquid and the photosensitive resist can be separated by the resist recovery device. As such a resist recovery device, a device that separates a mixture supplied from a resist stripping device into a stripping liquid and a photosensitive resist through a mesh portion is disclosed.

例えば、特開２００６－３００９９４号が開示されている。レジスト回収装置１１においてレジストが回収されているが、そのレジスト回収装置１１におけるレジスト濃縮部１４は、プレ脱液部１３から供給された混合体Ｄについて、レジストＡを濃縮すると共に、アルカリ溶液Ｂを分離して液槽１２へと回収させる。すなわち、レジスト濃縮部１４は、液槽１２中に立設された略逆円錐状の捕集ネット２３を備えており、プレ脱液部１３の脱液ネット１６上から供給された混合体Ｄは、捕集ネット２３内を下方に向け吸引、流下される。これにより、混合体Ｄは、かなりのアルカリ溶液Ｂが、捕集ネット２３外に流出し、下方に向け吸引、流下されて、液槽１２へと吸引、回収されるので、レジストＡが、捕集ネット２３内の下部に向けて、順次濃縮されて行く、というものである。 For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-300994 is disclosed. The resist is recovered in the resist recovery device 11, and the resist concentration unit 14 in the resist recovery device 11 concentrates the resist A and the alkaline solution B for the mixture D supplied from the pre-drainage unit 13. It is separated and collected in the liquid tank 12. That is, the resist concentrating unit 14 includes a substantially inverted conical collection net 23 erected in the liquid tank 12, and the mixture D supplied from the liquid removal net 16 of the pre-liquid removal unit 13 is , The inside of the collection net 23 is directed downward and sucked and flowed down. As a result, in the mixture D, a considerable amount of the alkaline solution B flows out of the collection net 23, is sucked and flowed downward, and is sucked and collected in the liquid tank 12, so that the resist A collects the mixture D. It is gradually concentrated toward the lower part of the collecting net 23.

しかしながら、レジストは、略逆円錐状の捕集ネット２３に捕集されるものであり、レジストが積み重ねられると、薬液との分離が、困難となり、また図示しない作業者が、この捕集ネット２３からレジストを回収しなければならず、極めて不利不便である。 However, the resist is collected by a substantially inverted conical collection net 23, and when the resist is stacked, it becomes difficult to separate the resist from the chemical solution, and an operator (not shown) can use the collection net 23. It is extremely disadvantageous and inconvenient because the resist must be recovered from.

特開２００６－３００９９４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-30994

本考案は前記の実情に鑑みなされたもので、その課題は、レジストと、薬液との混合物から、レジストと、薬液との分離が、容易なレジスト回収装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a resist recovery device in which the resist and the chemical solution can be easily separated from the mixture of the resist and the chemical solution.

前記の課題を解決するため、第１観点のレジスト回収装置は、レジストと、薬液との混合物を収納する回収機本体と、回収機本体に取り付けるとともに、混合物をレジストと、薬液と、に分離する網部と、回収機本体を振動させるために駆動する動力部と、側面視において、回収機本体の後部に取り付けた後ろバネと、回収機本体の前部に取り付けた前バネと、を有し、後ろバネは、回収機本体の後部を支持するように取り付けるとともに、前バネは、回収機本体の前部を吊り下げるように取り付け、動力部を駆動させることで、回収機本体を振動させるというものである。 In order to solve the above-mentioned problems, the resist recovery device of the first aspect is attached to the recovery machine main body for storing the mixture of the resist and the chemical solution, and the recovery machine main body, and separates the mixture into the resist and the chemical solution. It has a net part, a power part that drives the recovery machine body to vibrate, a rear spring attached to the rear part of the recovery machine body, and a front spring attached to the front part of the recovery machine body in a side view. The rear spring is attached so as to support the rear part of the recovery machine body, and the front spring is attached so as to suspend the front part of the recovery machine body, and the power unit is driven to vibrate the recovery machine body. It is a thing.

また、第２観点のレジスト回収装置は、第１観点において、回収機本体は、当該回収機本体の底を構成する底部を具備し、網部は、底部に取り付けるというものである。 Further, in the resist recovery device of the second aspect, in the first aspect, the recovery machine main body includes a bottom portion constituting the bottom of the recovery machine main body, and the net unit is attached to the bottom portion.

また、第３観点のレジスト回収装置は、第１観点または第２観点において、前バネを取り付けるために前バネ取り付け部と、をさらに有し、前バネ取り付け部は、回収機本体の前部を吊り下げるために、当該回収機本体の前部よりも高い位置に配置し、前バネを取り付けて回収機本体の前部を吊り下げるというものである。 Further, the resist recovery device according to the third aspect further has a front spring mounting portion for mounting the front spring in the first or second viewpoint, and the front spring mounting portion includes the front portion of the recovery machine main body. In order to hang it, it is placed at a position higher than the front part of the recovery machine main body, and a front spring is attached to hang the front part of the recovery machine main body.

また、第４観点のレジスト回収装置は、第３観点において、回収機本体を支持するためにフレーム部と、を有し、フレーム部は、後ろバネを載置する後ろバネ載置部と、を有し、後ろバネ載置部と、前バネ取り付け部と、は、フレーム部に取り付けたというものである。 Further, in the third aspect, the resist recovery device of the fourth aspect has a frame portion for supporting the recovery machine main body, and the frame portion has a rear spring mounting portion on which the rear spring is mounted. The rear spring mounting portion and the front spring mounting portion are attached to the frame portion.

また、第５観点のレジスト回収装置は、第１観点から第４観点において、回収機本体は、動力部を取りつけるための動力取り付け部と、をさらに有し、動力取り付け部は、回収機本体の前方に配置するというものである。 Further, in the resist recovery device of the fifth aspect, from the first viewpoint to the fourth viewpoint, the recovery machine main body further has a power mounting unit for mounting the power unit, and the power mounting unit is the recovery machine main body. It is to be placed in front.

また、第６観点のレジスト回収装置は、第１観点から第５観点において、動力部は、振動モータであるというものである。 Further, in the resist recovery device of the sixth aspect, the power unit is a vibration motor from the first aspect to the fifth aspect.

本考案は以上のように構成され、かつ作用するものであるものであるから、レジストと、薬液との混合物から、レジストと、薬液との分離が、容易なレジスト回収装置を提供することができる。 Since the present invention is configured and acts as described above, it is possible to provide a resist recovery device in which the resist and the chemical solution can be easily separated from the mixture of the resist and the chemical solution. ..

Ａは、第１実施例のレジスト回収装置の平面図。Ｂは、第１実施例のレジスト回収装置の側面図。A is a plan view of the resist recovery device of the first embodiment. B is a side view of the resist recovery device of the first embodiment. Ａは、第２実施例のレジスト回収装置の平面図。Ｂは、第２実施例のレジスト回収装置の側面図。A is a plan view of the resist recovery device of the second embodiment. B is a side view of the resist recovery device of the second embodiment. レジスト剥離装置と、レジスト回収装置との概念図Conceptual diagram of resist stripping device and resist recovery device

以下図示の実施形態を参照して本実施例について説明する。第１実施例のレジスト回収装置１０は、薬液ＸとレジストＹの混合物Ｚを文字通り薬液ＸとレジストＹに分離して回収するためのものであり、薬液回収タンク４５０に回収された薬液Ｘは、再び、基板３００に吹き付けて、レジスト剥離処理に供されるように循環するものである。また、回収したレジストＹは、後述するレジスト回収タンク４００に収集されたのちに処理することができる（図３参照）。 Hereinafter, this embodiment will be described with reference to the illustrated embodiment. The resist recovery device 10 of the first embodiment is for literally separating and recovering the mixture Z of the chemical solution X and the resist Y into the chemical solution X and the resist Y, and the chemical solution X recovered in the chemical solution recovery tank 450 is used. It is sprayed on the substrate 300 again and circulated so as to be subjected to the resist peeling treatment. Further, the recovered resist Y can be processed after being collected in the resist recovery tank 400 described later (see FIG. 3).

第１実施例のレジスト回収装置１０は、箱状を呈し、平面視矩形状を呈する回収機本体２０と、その混合物Ｚを薬液ＸとレジストＹと、に分離する網部３０と、回収機本体２０を振動させるための動力部４０と、回収機本体２０の後部２３に取り付けた後ろバネ５０、５０と、回収機本体２０の前部２４に取り付けた前バネ８０、８０と、を有するものである。 The resist recovery device 10 of the first embodiment has a recovery machine main body 20 having a box shape and a rectangular shape in a plan view, a net portion 30 for separating the mixture Z into a chemical solution X and a resist Y, and a recovery machine main body. It has a power unit 40 for vibrating the 20, rear springs 50 and 50 attached to the rear portion 23 of the recovery machine main body 20, and front springs 80 and 80 attached to the front portion 24 of the recovery machine main body 20. be.

回収機本体２０は、薬液ＸとレジストＹとの混合物Ｚを収納するために、所定の大きさを有し、平面視矩形状の箱型形状を呈するものである。回収機本体２０は、側面視において前方Ｆ方向を下方にし、後方Ｒｅ方向を上昇させた位置に配置する。すなわち前傾させた位置に配置することが好ましく、その調整範囲は、０度から５度であり、さらに１度から２度前傾させた位置に配置することが好ましい（図示せず）。また、回収機本体２０の底を構成する底部２１には、薬液ＸとレジストＹの混合物Ｚを、薬液ＸとレジストＹに分離する網部３０を有している。網部３０は、ステンレス製の金網が好ましく、この目の細かさは、５０から２００メッシュが好ましく、また１００メッシュも好ましい。 The recovery machine main body 20 has a predetermined size for accommodating the mixture Z of the chemical solution X and the resist Y, and has a rectangular box shape in a plan view. The recovery machine main body 20 is arranged at a position where the front F direction is downward and the rear Re direction is raised in the side view. That is, it is preferable to arrange it at a position tilted forward, the adjustment range is 0 to 5 degrees, and it is preferable to arrange it at a position tilted forward 1 degree to 2 degrees (not shown). Further, the bottom portion 21 constituting the bottom of the recovery machine main body 20 has a net unit 30 for separating the mixture Z of the chemical solution X and the resist Y into the chemical solution X and the resist Y. The net unit 30 is preferably a stainless steel wire mesh, and the fineness of the mesh is preferably 50 to 200 mesh, and 100 mesh is also preferable.

また、動力部４０は、振動モータが好ましく、図示しない回転軸に振動子を取り付け、その回転軸を回転させることで振動を発生させるものである。動力部４０は、回収機本体２０の左右ＬＲ方向に渡す薄板状の動力取り付け部４５に取り付けられている。動力取り付け部４５は、回収機本体２０の側面視中央部２２よりも前方Ｆ方向に配置することが好ましい。 Further, the power unit 40 is preferably a vibration motor, in which a vibrator is attached to a rotating shaft (not shown) and the rotating shaft is rotated to generate vibration. The power unit 40 is attached to a thin plate-shaped power attachment unit 45 passing in the left-right LR direction of the recovery machine main body 20. It is preferable that the power mounting portion 45 is arranged in the front F direction with respect to the side view central portion 22 of the recovery machine main body 20.

また、後ろバネ５０、５０は、文字通り回収機本体２０の後部２３を支持するように取り付ける。第１実施例のレジスト回収装置１０においては、後ろバネ５０、５０の一端５１、５１は、後ろバネ取り付け部６０、６０を介して回収機本体２０に取り付けられている。後ろバネ取り付け部６０、６０は、平面視において、回収機本体２０の側部２５において左右ＬＲ方向に突出するように取り付けられていることが好ましい。また、後ろバネ取り付け部６０、６０は、側部２５において、その底部２１と、天部２６との間のほぼ中間に取り付けることが好ましい。 Further, the rear springs 50 and 50 are literally attached so as to support the rear portion 23 of the recovery machine main body 20. In the resist recovery device 10 of the first embodiment, the rear springs 50, 50, one ends 51, 51 are attached to the recovery machine main body 20 via the rear spring attachment portions 60, 60. It is preferable that the rear spring mounting portions 60, 60 are mounted so as to project in the left-right LR direction on the side portion 25 of the recovery machine main body 20 in a plan view. Further, it is preferable that the rear spring mounting portions 60, 60 are mounted in the side portion 25 substantially in the middle between the bottom portion 21 and the top portion 26.

また、後ろバネ５０、５０の他端５５、５５は、後ろバネ載置部７０、７０に載置され、図示しない台に取りけられている。このように後ろバネ５０、５０は、回収機本体２０を下方から支持するように取り付けられている。したがって、後ろバネ５０、５０が、縮むと、回収機本体２０における後部２３が、下方に移動し、後ろバネ５０、５０が、伸びると、回収機本体２０における後部２３が、上方に移動する。 Further, the other ends 55 and 55 of the rear springs 50 and 50 are mounted on the rear spring mounting portions 70 and 70 and are set aside on a table (not shown). In this way, the rear springs 50 and 50 are attached so as to support the recovery machine main body 20 from below. Therefore, when the rear springs 50 and 50 contract, the rear portion 23 of the recovery machine main body 20 moves downward, and when the rear springs 50 and 50 expand, the rear portion 23 of the recovery machine main body 20 moves upward.

また、前バネ８０、８０は、回収機本体２０の前部２４を吊り下げるように取り付ける。前バネ８０、８０の一端８１、８１は、回収機本体２０の前部２４よりも高い位置から、吊り下げることができれば好ましい。 Further, the front springs 80 and 80 are attached so as to suspend the front portion 24 of the recovery machine main body 20. It is preferable that the front springs 80, 80, one ends 81, 81 can be suspended from a position higher than the front portion 24 of the recovery machine main body 20.

また、前バネ８０、８０の他端８５、８５は、平面視において、回収機本体２０の底部２１から左右ＬＲ方向に突出するように取り付けることも好ましい。このように前バネ８０、８０は、回収機本体２０を吊り下げるように取り付けられている。したがって、前バネ８０、８０が、縮むと、回収機本体２０における前部２４が、上方に移動し、前バネ８０、８０が、伸びると、回収機本体２０における前部２４が下方に移動する。 Further, it is also preferable that the other ends 85, 85 of the front springs 80, 80 are attached so as to project from the bottom portion 21 of the recovery machine main body 20 in the left-right LR direction in a plan view. In this way, the front springs 80 and 80 are attached so as to suspend the recovery machine main body 20. Therefore, when the front springs 80 and 80 contract, the front portion 24 of the recovery machine main body 20 moves upward, and when the front springs 80 and 80 expand, the front portion 24 of the recovery machine main body 20 moves downward. ..

また、前バネ８０、８０のバネ定数は、後ろバネ５０、５０のバネ定数よりも、小であることが好ましく、例えば、前バネ８０、８０のバネ定数は、４Ｎ～１０Ｎ／ｍｍが好ましく、後ろバネ５０、５０のバネ定数は、後ろバネ５０、５０は、２５Ｎ～６０Ｎ／ｍｍが好ましい。 Further, the spring constants of the front springs 80 and 80 are preferably smaller than the spring constants of the rear springs 50 and 50. For example, the spring constants of the front springs 80 and 80 are preferably 4N to 10N / mm. The spring constants of the rear springs 50 and 50 are preferably 25 N to 60 N / mm for the rear springs 50 and 50.

次に、第２実施例のレジスト回収装置１０Ａについて説明する。第２実施例のレジスト回収装置１０Ａは、第１実施例のレジスト回収装置１０に、さらにフレーム部１００を有するものである。したがって、第２実施例のレジスト回収装置１０Ａにおいて、第１実施例のレジスト回収装置１０と同様の構成においては同様の符号を付し、その説明を省略する場合がある。 Next, the resist recovery device 10A of the second embodiment will be described. The resist recovery device 10A of the second embodiment further includes a frame portion 100 in the resist recovery device 10 of the first embodiment. Therefore, in the resist recovery device 10A of the second embodiment, the same reference numerals may be given in the same configuration as the resist recovery device 10 of the first embodiment, and the description thereof may be omitted.

フレーム部１００は、回収機本体２０を支持するためのものであり、後ろバネ５０、５０を載置する後ろバネ載置部７０、７０を有するものである。また、フレーム部１００は、前バネ８０、８０の一端８１、８１を取り付ける前バネ取り付け部１１０、１１０を有するものである。前バネ取り付け部１１０、１１０は柱状を呈するものである。また、前バネ取り付け部１１０、１１０の高さは、前バネ８０、８０が、回収機本体２０の前部２４を吊り下げるのに十分な高さを有することが好ましく、回収機本体２０の前部２４よりも高い位置にあることが好ましい。すなわち、回収機本体２０の前部２４よりも高い位置に、前バネ８０、８０の一端８１、８１を前バネ取り付け部１１０、１１０に取り付ければ好ましい。 The frame portion 100 is for supporting the recovery machine main body 20, and has the rear spring mounting portions 70, 70 on which the rear springs 50, 50 are mounted. Further, the frame portion 100 has front spring mounting portions 110, 110 for mounting the front springs 80, 80 at one ends 81, 81. The front spring mounting portions 110 and 110 are columnar. Further, the height of the front spring mounting portions 110, 110 is preferably such that the front springs 80, 80 have a height sufficient for suspending the front portion 24 of the recovery machine main body 20, and the front of the recovery machine main body 20. It is preferably located higher than the portion 24. That is, it is preferable to attach the one ends 81, 81 of the front springs 80, 80 to the front spring mounting portions 110, 110 at a position higher than the front portion 24 of the recovery machine main body 20.

前バネ取り付け部１１０、１１０は、回収機本体２０の前部２４よりも高い位置において、前方Ｆ方向に突出するピンであり、前バネ８０、８０の一端８１、８１は、そのピンである前バネ取り付け部材１１１、１１１に吊り下げるように取り付けられている。なお、前バネ８０、８０の他端は、上記のとおり、平面視において、回収機本体２０の側部２５において底部２１から左右ＬＲ方向に突出するように取り付けられている。なお、前バネ取り付け部１１０、１１０の高さは５０ミリメートルから２００ミリメートルが好ましく、また１００ミリメートル程度が好ましい。 The front spring mounting portions 110 and 110 are pins protruding in the front F direction at a position higher than the front portion 24 of the recovery machine main body 20, and the front ends 81 and 81 of the front springs 80 and 80 are the pins. It is attached so as to be suspended from the spring mounting members 111 and 111. As described above, the other ends of the front springs 80 and 80 are attached so as to project from the bottom portion 21 in the left-right LR direction on the side portion 25 of the recovery machine main body 20 in a plan view. The height of the front spring mounting portions 110, 110 is preferably 50 mm to 200 mm, and more preferably about 100 mm.

つぎに、第２実施例のレジスト回収装置１０Ａの使用状態について説明する。なお、使用状態については、第１実施例のレジスト回収装置１０と同様である。レジスト剥離装置２００においてレジストの剥離処理をするために薬液Ｘをノズル２１０から噴射し、基板３００に薬液Ｘを噴射してその基盤３００を、レジスト剥離処理をする。その際に、薬液ＸとレジストＹとの混合物Ｚが排出される。 Next, the usage state of the resist recovery device 10A of the second embodiment will be described. The usage state is the same as that of the resist recovery device 10 of the first embodiment. In the resist stripping device 200, the chemical solution X is sprayed from the nozzle 210 to perform the resist stripping treatment, the chemical liquid X is sprayed onto the substrate 300, and the substrate 300 is subjected to the resist stripping treatment. At that time, the mixture Z of the chemical solution X and the resist Y is discharged.

混合物Ｚは、第２実施例のレジスト回収装置１０Ａにおける回収機本体２０の後部２３上に供給される。そのとき、動力部４０を駆動させ振動を発生させる。動力部４０の駆動により発生した振動は、動力取り付け部４５を介して、回収機本体２０に伝達される。この際、後ろバネ５０、５０が縮み、その後ろバネ５０、５０に支持された回収機本体２０における後部２３が、下方に移動するとともに、前バネ８０、８０が縮み、その前バネ８０、８０に吊り下げられた回収機本体２０における前部２４が、上方に移動する。また、今度は反対に、後ろバネ５０、５０が伸び、その後ろバネ５０、５０に支持された回収機本体２０における後部２３が、上方に移動するとともに、前バネ８０、８０が伸び、その前バネ８０、８０に吊り下げられた回収機本体２０における前部２４が、下方に移動する。このような動作を繰り返すことで、混合物Ｚを前方Ｆ方向に徐々に移動させることができる。 The mixture Z is supplied onto the rear portion 23 of the recovery machine main body 20 in the resist recovery device 10A of the second embodiment. At that time, the power unit 40 is driven to generate vibration. The vibration generated by driving the power unit 40 is transmitted to the recovery machine main body 20 via the power mounting unit 45. At this time, the rear springs 50, 50 contract, the rear portion 23 of the recovery machine main body 20 supported by the rear springs 50, 50 moves downward, and the front springs 80, 80 contract, and the front springs 80, 80 thereof. The front portion 24 of the recovery machine main body 20 suspended from the above moves upward. Further, on the contrary, the rear springs 50 and 50 are extended, the rear portion 23 of the recovery machine main body 20 supported by the rear springs 50 and 50 is moved upward, and the front springs 80 and 80 are extended and in front of the rear springs 80 and 80. The front portion 24 of the recovery machine main body 20 suspended from the springs 80 and 80 moves downward. By repeating such an operation, the mixture Z can be gradually moved in the forward F direction.

このとき、それぞれ上述のバネ定数にすることで、後ろバネ５０、５０の振幅に比べて前バネ８０、８０の振幅が大きくなることで、さらに、混合物Ｚを前方に徐々に移動させることができる。また、回収機本体２０は、側面視において前方Ｆ方向を下方にし、後方Ｒｅ方向を上昇させた位置に配置、すなわち回収機本体２０を前傾させた位置に配置すると、さらに、混合物Ｚを前方Ｆ方向に徐々に移動させることができる。 At this time, by setting the spring constants as described above, the amplitudes of the front springs 80 and 80 are larger than the amplitudes of the rear springs 50 and 50, so that the mixture Z can be gradually moved forward. .. Further, when the recovery machine main body 20 is arranged at a position where the front F direction is downward and the rear Re direction is raised in the side view, that is, the recovery machine main body 20 is arranged at a position where the recovery machine main body 20 is tilted forward, the mixture Z is further moved forward. It can be gradually moved in the F direction.

また、動力部４０の振動は、後ろバネ５０、５０と前バネ８０,８０が吸収するために、後述するレジスト回収タンク４００あるいは、薬液回収タンク４５０の、その動力部４０の振動が伝わることを可及的に軽減することができる。 Further, since the vibration of the power unit 40 is absorbed by the rear springs 50 and 50 and the front springs 80 and 80, the vibration of the power unit 40 of the resist recovery tank 400 or the chemical liquid recovery tank 450 described later is transmitted. It can be reduced as much as possible.

また、上述の振動により、回収機本体２０の底部２１に配置した網部３０によって、混合物Ｚを薬液ＸとレジストＹに分離し、薬液Ｘは、その網部３０から滴下され、ポンプ５００によってふたたび、ノズル管６００に供給され、ノズル２１０から薬液Ｘを再び基盤３００に噴射することで、レジスト剥離処理に使用する。 Further, due to the above-mentioned vibration, the mixture Z is separated into the chemical solution X and the resist Y by the net unit 30 arranged at the bottom 21 of the recovery machine main body 20, and the chemical solution X is dropped from the net unit 30 and again by the pump 500. Is supplied to the nozzle tube 600, and the chemical solution X is sprayed again from the nozzle 210 onto the substrate 300 to be used for the resist peeling treatment.

また混合物Ｚから分離したレジストＹは、回収機本体２０の後部から前部に徐々に移動し、回収機本体２０の前方に配置したレジスト回収タンク４００に搬送される。このように、レジストＹを確実に前方Ｆに移動させることができる。よって、上記のとおり、第２実施例のレジスト回収装置１０Ａは、混合物Ｚを薬液ＸとレジストＹに確実に分離することができる。なお、第１実施例のレジスト回収装置１０も同様に混合物Ｚを薬液ＸとレジストＹに確実に分離することができる。なお、レジスト回収タンク４００に回収されたレジストＹはその後廃棄される。 Further, the resist Y separated from the mixture Z gradually moves from the rear part to the front part of the recovery machine main body 20 and is conveyed to the resist recovery tank 400 arranged in front of the recovery machine main body 20. In this way, the resist Y can be reliably moved forward F. Therefore, as described above, the resist recovery device 10A of the second embodiment can reliably separate the mixture Z into the chemical solution X and the resist Y. Similarly, the resist recovery device 10 of the first embodiment can reliably separate the mixture Z into the chemical solution X and the resist Y. The resist Y recovered in the resist recovery tank 400 is subsequently discarded.

１０第１実施例のレジスト回収装置
１０Ａ第２実施例のレジスト回収装置
２０回収機本体
２１底部
２２中央部
２３後部
２４前部
２５側部
２６天部
３０網部
４０動力部
５０後ろバネ
６０後ろバネ取り付け部
８０前バネ
１００フレーム部
１１０前バネ取り付け部
Ｘ薬液
Ｙレジスト
Ｚ混合物 10 Resist recovery device of the first embodiment 10A Resist recovery device of the second embodiment 20 Recovery machine main body 21 Bottom 22 Central 23 Rear 24 Front 25 Side 26 Top 30 Net unit 40 Power section 50 Rear spring 60 Rear spring Mounting part 80 Front spring 100 Frame part 110 Front spring mounting part X Chemical solution Y Resist Z Mixture

Claims

The recovery machine body that stores the mixture of resist and chemical solution,
A net unit that is attached to the recovery machine main body and separates the mixture into the resist and the chemical solution.
The power unit that drives the collector body to vibrate,
The rear spring attached to the rear of the recovery machine body and
It has a front spring attached to the front part of the recovery machine body,
The rear spring is attached so as to support the rear portion of the recovery machine main body, and the rear spring is attached.
The front spring is attached so as to suspend the front portion of the recovery machine main body.
A resist recovery device that vibrates the recovery machine body by driving the power unit.

The recovery machine main body includes a bottom portion constituting the bottom of the recovery machine main body.
The resist recovery device according to claim 1, wherein the net unit is attached to the bottom portion.

Further has a front spring mounting portion for mounting the front spring,
The front spring mounting portion is arranged at a position higher than the front portion of the recovery machine main body in order to suspend the front portion of the recovery machine main body, and the front spring is attached to suspend the front portion of the recovery machine main body. The resist recovery device according to claim 1 or 2.

It has a frame portion for supporting the recovery machine main body, and has.
The frame portion has a rear spring mounting portion on which the rear spring is mounted.
The resist recovery device according to claim 3, wherein the rear spring mounting portion and the front spring mounting portion are attached to the frame portion.

The recovery machine main body further includes a power mounting unit for mounting the power unit.
The resist recovery device according to any one of claims 1 to 4, wherein the power mounting unit is arranged in front of the recovery machine main body.

The resist recovery device according to any one of claims 1 to 5, wherein the power unit is a vibration motor.