JP3233724U - シール及びこのようなシールを備えた真空システム - Google Patents

Abstract

【課題】より高温での動作及び／又は少なくとも幾つかの攻撃的な材料に耐性があり、比較的低いクランプ力で効果的なシールを形成するシールを提供すること。
【解決手段】内側セクションの周りの壁を含む断面を有する縦方向シールであって、壁は、シールの長さ及び断面のうちの少なくとも１つに沿って物理的特性が少なくとも１０％変化するように構成された材料で形成され、物理的特性の変化は、シールの対応する部分の変形性及び反発性のうちの少なくとも１つの変化を引き起こす。
【選択図】図１

Description

本考案の分野は、シール、このようなシールを有する真空システム、及びシールを製造する方法に関する。

真空システムのような圧力差で動作するシステムは、効果的に動作するために、異なる構成要素間の接続部にて効果的なシールを必要とする。

効果的なシールとは、反発性があり、変形して隙間を埋めることができるシールである。シールは、多くの場合、反発性があり変形可能でもあるエラストマー材料を使用して製造される。

一部の真空システムは、高温で動作し、及び／又は攻撃的な材料を処理する。エラストマーシールは、高温又は攻撃的な材料に対して十分な耐性がなく、このようなシステムにおいて効果的なシールとして機能しない場合がある。

このような環境に対してより高い耐性を有する材料は、金属を含む。メタルシールは既知である。金属シールの欠点は、これらが効果的にシールするには、高いクランプ力と、シールしようとする表面の微細な仕上げの両方が必要になることである。より高いクランプ力は、クランプされる構成要素の歪みもたらす可能性があり、クランプ構成要素を元に戻して締めるには、専門のクランプ構成要素及びツールが必要となる場合がある。表面仕上げは高価である。

より高温での動作及び／又は少なくとも幾つかの攻撃的な材料に耐性があり、比較的低いクランプ力で効果的なシールを形成するシールを提供することが望ましいであろう。

第１の態様は、内側セクションの周りの壁を含む断面を有する縦長シールを提供し、上記壁は、上記シールの長さ及び上記断面のうちの少なくとも１つに沿って物理的特性が少なくとも１０％変化するように構成された材料で形成され、上記材料の物理的特性の上記変化は、上記シールの対応する部分の変形性及び反発性のうちの少なくとも１つの変化を引き起こす。

シールの変形性の程度及び反発性の程度は、シール特性に影響を与える。本考案の考案者らは、反発性と変形性の両方がシールを形成する材料の物理的特性に依存すること、及びシールの異なる部分にてこれらの特性を変えることにより、シールがより効果的に機能できるようにすることができることを認識した。物理的特性は、シールの壁の密度及び幅を含む。

シールの長さ又は断面に沿って物理的特性を変化させると、シール特性が変化し、これらを選択して、シールのシール効果を向上させることができる。例えば、シールされる表面と嵌合するように構成されたセクションの変形性が増加し、これに応じてこのセクションの反発性が低下する場合がある。しかしながら、シールの全体的な反発性は、場合によっては変形性がそれほど重要ではないシールの別の部分の反発性を高めることによって、維持することができる。このようにして、エラストマーほど反発性又は変形性がない材料で形成されたシールの特性を調整して、シールの効果を高めることができる。これにより、伸縮性の低い材料で効果的なシールを作ることが可能となり、このような材料は、高温及び攻撃的な化学物質に対する耐性を向上させることができる。

縦長シールは、幅よりも長い細長いシールである。長さがシールの壁に沿った距離であり、幅が断面を横切る距離である。シールは、長さがループの円周である場合のループとすることができる。シール面は、壁の外周にある。

幾つかの実施形態では、上記少なくとも１つの物理的特性は、上記壁の厚さを含む。

壁の厚さ、すなわちシールの断面における壁の寸法を変えると、シールの反発性及び変形性が変化し、壁がより厚くなるほど、より高い反発性を提供し、壁がより薄くなるほど、より大きな変形性を提供する。壁の厚さの変化が特性に与える影響を認識することにより、適切な場所で高い変形性でシールを設計及び構成することができ、これは、変形性が重要でない他の箇所にて反発性を向上させることで補償される。

幾つかの実施形態では、上記壁の上記厚さは、上記シールの長さに沿って変化する。

壁の厚さは、シールの長さに沿って変化することができ、幾つかの実施形態では、シールに沿った幾つかの場所において、０．０１ｍｍまで低下し、他の場所では、場合によっては最大で０．５ｍｍまでの高い値まで増大することができる。何れの場合も、長さに沿った変化は、少なくとも１０％であり、幾つかの実施形態では、少なくとも５０％、他の実施形態では少なくとも１００％である。

幾つかの実施形態では、上記シールは、真空システムにおいて表面をシールするように構成され、上記壁は、上記表面間で上記シールをクランプするためのクランプ要素から離れた上記シールの長さに沿った部分にてより薄くなるように構成され、上記クランプ要素から離れた上記シールの反発性が減少するようになる。

シールの長さに沿って壁の厚さを変えることにより、使用時にシールがクランプされる箇所にてより大きな反発性を有するようにシールを構成することができるようになる。これらのクランプ箇所では、シールに作用するより大きな力があり、これらの箇所での反発性が高くなるため、シールは、シールの長さに沿ってより均一な断面とより均一なシール効果を維持できるようになる。実際に、クランプ要素から離れたシールの反発性を低下させ、クランプ力を低減し、より効果的なシールを可能にする。

幾つかの実施形態では、上記壁の厚さは、上記シールの上記断面の周りで変化する。

或いは及び／又はこれに加えて、壁の厚さは、シールの断面の周りで変化することができる。例えば、壁の厚さは、シールのシール面又はその近傍でより薄くなる場合がある。この点に関して、シールは、シール面を有する外周面で構成される。外面のこれらの部分は、シールを提供するように機能する部分である。これは、これらのシール面が高い変形性を有する場合に有利であり、従って、これらの箇所で壁の厚さを制限することが有利とすることができる。他の箇所の厚みを厚くすることで、シール箇所での変形を可能にしながら、より高い反発性及び堅牢性のシールを提供する。

幾つかの実施形態では、上記少なくとも１つの物理的特性は、上記壁を形成する材料の密度を含む。

シールの反発性及び変形性に影響を与える別の物理的特性は、当該シールの壁を形成する材料の密度である。この密度の変化により、シールの特性を変化させ、シールを特定の用途に合わせて調整することが可能となる。

幾つかの実施形態では、上記シールの外周のシール部分における上記材料の密度は、上記シールの内縁における上記材料の密度よりも低い。

シールのシール外面にある低密度の材料により、シールがより容易に変形可能となり、より効果的なシールが提供できるようになる。この部分から離れた高い密度により、より反発性のシールが提供される。

幾つかの実施形態では、上記シール部分及びその近傍にある上記壁の部分は、多孔質又は気泡質部分を含む。幾つかの実施形態では、これは、外壁から延びる追加の突出部とすることができる。また、この突出部を用いて、シールを所望の位置に配置する助けとすることができる。

材料の密度を下げ、より変形可能な表面を提供する１つの方法は、圧壊して合わせ面に一致するようにシール面及びその近傍で構造を変更させることである。多孔質又は気泡質構造が、これらの特性を提供することになる。

幾つかの実施形態では、上記壁を形成する材料の密度は、上記シールの長さに沿って変化する。

材料の密度が断面の周りで変化することに対する代替及び／又は追加として、壁を形成する材料の密度もまた、シールの長さに沿って変化することができる。壁が多孔質又は気泡質物質で形成されている場合、この密度の変化は、壁の長さに沿って多孔度を変化させることによって達成することができる。

幾つかの実施形態では、上記壁を形成する材料の密度は、上記表面間でシールをクランプするためのクランプ要素から離れた上記シールの部分でより低く、その結果、上記クランプ要素から離れた上記シールの反発性が低下するようになる。

特に、使用時にクランプ要素に隣接するように構成されたシールの部分及びこれらの領域から離れた材料の低密度部分において高密度材料を有することが有利とすることができる。これにより、クランプ要素から離れたシールの反発性が低下し、クランプ要素に隣接する反発性が向上する。クランプ要素に隣接してクランプ力がより高くなり、従って、シールは、より大きな圧縮を受けることになる。必要なクランプ力を低減しながらこのように密度を変化させることによって、シールのより均一な圧縮断面を達成することができる。

幾つかの実施形態では、上記内側部分の周りの壁は、実質的に均一な断面を有する部分と、ばね様構成を有する部分とを含む。

断面の周りのシールの特性に差異を提供する１つの方法は、均一な断面を有する部分とばね様構成を有する部分を有するようにすることである。ばね様構成は、伸縮性と反発性を提供し、他方、均一な部分は、効果的なシール面を提供することになる。

幾つかの実施形態では、ばね様構成を有する上記部分は、均一な断面を有して上記部分に対して角度を付けてこれを接続する接続部分を含み、上記接続部分は、これらの間にギャップを有する。

幾つかの実施形態では、ばね様部分の構成は、シールの長さに沿って変化することができ、その結果、接続部分間のギャップ又は厚さは、その長さに沿ったシールの反発性を変えるように変化することができる。

シールは、複数の形状を有することができるが、幾つかの実施形態では、上記壁及び内側部分は、円形の断面を有する。

壁は、シールの長さの少なくとも一部で内側部分の一部の周りにのみ延びることができるが、幾つかの実施形態では、壁は内側部分を囲む。

幾つかの実施形態では、上記壁は、長手方向に延在し、管状形状を有する。

幾つかの実施形態では。上記壁は、長手方向に延在してループを形成する。

幾つかの実施形態では、上記シールの壁を形成する上記材料は、非エラストマー材料である。

様々な反発性及び変形性を提供するように構成されたシールにより、効果的なシールをエラストマーではない材料で形成することができる。エラストマーは、伸縮性が高く、一般に良好なシールを形成するが、高温又は攻撃的な化学物質に対して反発性ではない可能性がある。従って、エラストマーではない材料のシールを形成することにより、高温で攻撃的な化学物質に適した特性を備えた材料を選択することができ、構成が実施形態による場合、このようなシールは依然として効果的なシールを提供することができる。

幾つかの実施形態では、上記材料は金属材料を含む。

幾つかの実施形態では、上記金属材料は、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、ニッケル合金、貴金属、鋼、ステンレス鋼、銅のうちの少なくとも１つを含む。

他の実施形態では、上記材料は、１又は２以上の熱可塑性プラスチックを含むポリマー材料を含む。

幾つかの実施形態では、上記ポリマー材料は、フルオロポリマー、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）及びポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）のうちの少なくとも１つを含む。

シールは、完全に金属又は完全にポリマー材料で形成することができるが、幾つかの実施形態では、これらの材料の両方の組み合わせで形成することができる。

幾つかの実施形態では、上記内側部分は空隙を含む。

他の実施形態では、上記内側部分は、上記シールの反発性を高めるための物質を含む。

本考案の考案者らは、変形性は増加するが反発性が低下した外周は、反発性を向上させるために外周内に内部構造が設けられたシールに使用できることを認識した。このようにすることで、例えば壁厚を薄くしてより変形可能にし、良好なシール面を提供することができる。このような場合、０．０１ｍｍ程度の厚さでも許容可能とすることができる。

幾つかの実施形態では、上記物質は、上記壁に取り付けられた連続的な固体構造を含む。

幾つかの実施形態では、上記連続的な固体構造は、上記シールの長さに沿って不均一であり、その結果、上記シールの反発性は、上記長さに沿って変化するようになる。

前述のように望ましいとすることができるシールの長さに沿ったシールの反発性の変化を提供するために、シールの内側の構造は、シールの長さに沿って不均一にすることができる。

連続した固体構造は、複数の形態を有することができるが、幾つかの実施形態では、連続した固体構造は、内部セクションを横切って延びる少なくとも１つの内壁を含む。

幾つかの実施形態では、上記少なくとも１つの内壁は、上記内側部分の直径を横切って延びる。

他の実施形態では、上記物質は、多孔質又は気泡質材料を含む。

多孔質又は気泡質材料、すなわち空隙のある材料は、圧縮を可能にしながら、反発性を提供する。

幾つかの実施形態では、上記シールは、シールされる表面と嵌合するように構成され、上記表面間で上記シールをクランプするためのクランプ要素から離れた上記多孔質材料の密度が低くなり、上記クランプ要素から離れる上記シールの反発性が減少するようになる。

内部物質の密度の変化は、シールの反発性を変化させるのに使用することができる。シールを保持するために、シールをクランプ要素と組み合わせて使用する場合、クランプ要素に隣接する箇所での反発性を高め、他の箇所で反発性を下げることが有利とすることができる。

本考案の第２の態様は、本考案の第１の態様による、少なくとも１つのシールを含む真空システムを提供する。

幾つかの実施形態では、真空システムは、壁の減少した厚さ及び／又は内部構造の低下した反発性の何れかによって反発性が低下した部分で構成された少なくとも１つのシールを含み、真空システムは、反発性が向上したシールの部分にある２つの協働面の間の少なくとも１つのシールを保持するクランプ要素を有する。

本考案の第３の態様は、付加製造技術を使用して、何れかの前述の請求項に記載のシールを製造する方法を提供する。

従来、例えば金属で作られたシールは、金属管又は他のプロファイルを形成し、これらを溶接によって接合して作られる。これらの従来の方法で作成されたシール要素のヤング率及び他の機械的特性を制御することは困難である。付加製造技術を使用することで、シールの断面とシールの周囲付近及びその長さに沿って機械的特性を変化させることができる。これにより、環境に適切にこれらの特性を変化させてシールを設計することができ、伸縮性の低い材料が効果的なシールを提供することができる。これにより、真空システムがより低いクランプ力を使用しながら、高いシールの完全性を提供することができる。

幾つかの実施形態では、付加製造技術は、ステレオリソグラフィー（ＳＬＡ）、熱溶解積層法（ＦＤＭ）、マルチジェットモデリング（ＭＪＭ）、３Ｄ印刷、及び選択的レーザー焼結（ＳＬＳ）から選択される。

更に特定の好ましい態様は、添付の独立請求項及び従属請求項に記載されている。従属請求項の特徴は、必要に応じて、請求項に明示的に記載されているもの以外の組み合わせで、独立クレームの特徴と組み合わせることができる。

装置特徴が機能を提供するように動作可能であると記載される場合、この記載は、当該機能を提供し、又は当該機能を提供するように適応又は構成された装置の特徴を含むことを理解されたい。

次に、本考案の実施形態について、添付図面を参照しながら更に説明する。

第１の実施形態による、可変の壁厚を有するシールの断面を示す図である。 第２の実施形態による、シールの長さに沿って可変の壁厚を有するシールの長手方向断面を示す図である。 第３の実施形態による、断面全体にわたって可変の密度を有するシールの概略断面図である。 更なる実施形態による、断面全体にわたって可変の密度を有するシールの概略断面図である。 反発性を高めるための内部構造を有するシールの断面を示す図である。 シールの長さに沿って可変の密度を有する内部構造を有するシールの長手方向断面図である。 外壁のセクションのためのばね様構成を有するシールの長手方向断面図である。 図７のシールの断面図である。

実施形態を更に詳細に議論する前に、最初に概要が提供される。

シールの製造に付加製造技術を採用することで、目標とする伸縮性の変化を有してシールを製造することができ、これによりクランプ力に対するシールの有効性のためにシール力を最適化することができる。実際に、シールのプロファイル、形状及び構成材料は、低いクランプ力で望ましいシールの完全性を提供するように設計することができる。

シールの設計を微調整するこの機能の結果として、シールは、金属などの低い反発特性を有する材料で作ることができる。このような材料は、耐熱性及び耐薬品性を向上させることができる。

低減されたクランプ力でシールの完全性を向上させる機能は、
プロファイルの要素に対する可変の厚さ；
伸縮性を提供するためのシール内の複雑な構造；
シール面での構造又は密度の変化、例えば、圧壊して合わせ面に一致する発泡体などの開放構造の提供、
を含む。

幾つかの実施形態では、シールをシール面に配置又は位置合わせする機能、及びシールの完全性を高めるためのシール面上のコーティングなど、更なる特徴を追加することができる。

図１は、１つの実施形態によるシールの断面を示しており、内側セクションを囲む外壁１０は可変の壁厚を有する。壁の厚さを変化させることで、壁の一部、すなわち厚い部分の反発性を高め、薄い部分の変形性を高めるようにすることができる。変形性の高い部分は、変形が容易であるので、より効果的なシール面を提供する。従って、真空システムで使用する際にシールを取り付けるときにシール効果を提供する外面の領域であるシールのシール領域では、これらのシール部分から離れた他の部分よりも壁が薄くなるように構成されている。このように、効果的なシール部分はより変形可能であり、シール全体は厚い部分の結果として反発性を保持している。

図２は、図１の実施形態と同様の方法で、外壁１０の変化する厚さを有するシールの第２の実施形態の長手方向断面を示す図である。この特定の実施形態では、厚さの変化は、シールの長さに沿って発生する。この変化は、断面にわって、及び／又は周辺で、及び／又はシールの長さに沿って発生する可能性がある点に留意されたい。この場合、シールのより厚い部分は、クランプ要素に隣接する真空システム内に配置されるように構成され、クランプ力２０は、シールのより反発性のある部分に作用するようになり、クランプ要素から離れ且つクランプ要素に作用するクランプ力が低減されたシールの部分は、より薄い壁で形成されて、反発性は低くなるが変形性は大きくなる。このようにして、用途に適合され、シール力を最適化するか、少なくともクランプ力に対するシール効果を向上させることができるシールが提供される。

図３は、使用中にシールに作用する力にシールを適合させるのに使用される物理的特性が材料の密度であり、外壁１０を形成する材料の密度が変化する、代替の実施形態を示す。この場合、密度は、シールの断面にわたって変化するか、シールの長さに沿って変化することができる。従って、反発性の低い低密度部分が提供され、反発性の高い高密度部分が提供される。反発性の低い部分は、周囲付近でシール面に向けて提供することができ、高密度部分は、反発性の低い部分から離れて、真空組立体において使用中にシールが取り付けられたときにクランプ要素が配置される場所に対応する長手方向位置に提供される。

図４は、外壁が、壁から突出する追加の領域１２を備え、材料が多孔質であり、従って特に低密度である更なる実施形態を示す。これらは、シールのシール面にて設けられており、圧縮して合わせ面に適合することになる。また、真空システム内の特定の方向にシールを配置するように機能することができる。

図５は、内部構造が外壁１０内に設けられる更なる実施形態の断面を示す。この実施形態では、シールの内側セクションを横切り、シールの変形に対する反発性をもたらす内壁２２が提供される。このような内部構造を追加することで、内部構造が存在しない場合よりも外壁を薄く作ることができる。これには、外部構造の変形性が改善されるという利点があり、これにより、シールが改善され、それほど細かくないシールの表面仕上げで真空システムにおいて効果的なシールを提供することができる。

この実施形態では、内部構造は、外壁１０に延在及び取り付けられた内壁によって提供されるが、他の実施形態では、内部構造は異なっていてもよく、例えば、多孔質材料で形成することができる。この多孔質材料は、断面全体で異なる密度を有することができ、また、長さに沿って異なる密度を有することができ、これにより様々な箇所でシールの反発性の目標とする変化をもたらす。同様に、図５のシールは、反発性の差異を提供するために、その長さに沿って内壁２２の幅の変化を有することができる。の変化、多孔質物質で形成することができる壁の内部物質の多孔度及びひいては密度の変化と同様に、壁の多孔度もその長さに沿って変化することができる。

図６は、多孔質内部２４を有するシールの縦断面を示し、ここで多孔質内部の密度は、シールの長さに沿って変化し、密度が高く反発性が向上した領域がクランプ要素に近接しており、密度が低く反発性が低下した領域が真空組立体に取り付けられたときにこれらの要素から離れているようにシールを配置することが可能となる。これにより、シールのシール特性に過度の影響を与えることなく、クランプ力を低減してシールを所定位置に保持することができる。

図７は、シールの周囲の一部が外壁１０を形成する材料のストリップ３０で形成されている更なる実施形態の側面図を示している。これにより、ばね様構造が提供され、シールの反発性が向上する。

図８は、このようなシールの断面図を示す。ストリップ間の数、厚さ及びギャップは、シールの長さに沿って変化して、必要に応じて異なる部分でシールの反発性を増減することができる点に留意されたい。

シールは、断面図、縦断面図、又は側面図で示されている。これらは、管状形態を有することができ、この管状形態は、例えば真空ポンプのステータ間、又は真空システムにおける接続要素の周りをシールするように適合されたループとすることができる。これらのシールにエラストマー材料を使用しない能力の結果として、攻撃的な材料がポンプ送給され、高温が使用される可能性のある排ガス処理システムでの使用に特に効果的である。

シールを製造するための付加製造技術の使用は、これらシールを、例えば金属で作ることを可能にし、更に長さに沿って及び／又は周囲付近で及び／又は断面にわたって変化させることができる特性を有することができる。これにより、シールを特定の位置及び特定のクランプ力に適合させることができ、シール効果が向上する。

本考案の例示的な実施形態は、添付図面を参照しながら本明細書において詳細に開示してきたが、本考案は、この厳密な実施形態に限定されず、当業者であれば、特許請求の範囲及び均等物によって定義される本考案の範囲から逸脱することなく、様々な変更及び修正を実施形態において行うことができる点は理解される。

１０ シール外壁
１２ 多孔質構造
２０ クランプ要素
２２ 内壁
２４ 気泡質内部充填
３０ ばね様トリップ

Claims (19)

1. 真空システム内の表面をシールするように構成された縦長シールであって、内側セクションの周りの壁を含む断面を有し、
   前記壁は、前記シールの長さ及び前記断面のうちの少なくとも１つに沿って物理的特性が少なくとも１０％変化するように構成された材料で形成され、前記物理的特性の前記変化が、前記シールの対応する部分の変形性及び反発性のうちの少なくとも１つの変化を引き起こす、
   ことを特徴とする縦長シール。
2. 前記少なくとも１つの物理的特性が前記壁の厚さを含み、前記壁の前記厚さが、前記シールの長さに沿って変化する、
   請求項１に記載のシール。
3. 使用時に前記表面間で前記シールをクランプするためのクランプ要素から離れるように構成された前記シールの長さに沿った部分で、前記壁がより薄くなるように構成され、前記クランプ要素から離れた前記シールの反発性が減少するように構成されている、
   請求項２に記載のシール。
4. 前記壁の厚さが、前記シールの前記断面の周りで変化する、
   請求項２又は３に記載のシール。
5. 前記壁の厚さが、前記シールのシール面で、より薄い、
   請求項４に記載のシール。
6. 前記少なくとも１つの物理的特性が、前記壁を形成する前記材料の密度を含み、前記壁を形成する前記材料の密度が、前記シールの長さに沿って変化する、
   請求項１〜５の何れか１項に記載のシール。
7. 前記シールの外周のシール部分における前記材料の密度が、前記シールの内縁における前記材料の密度よりも低い、
   請求項６に記載のシール。
8. 前記シールのシール部分における前記壁の密度が、前記シール部分から離れた箇所における前記壁の密度よりも低い、
   請求項６又は７に記載のシール。
9. 前記シール部分及びその近傍にある前記壁の部分が、多孔質又は気泡質部分を含む、
   請求項８に記載のシール。
10. 前記壁を形成する前記材料の密度が、使用時に前記シールを表面間でクランプするためのクランプ要素から離れて構成された前記シールの部分においてより低く、前記クランプ要素から離れた前記シールの反発性が低下するようになる、
    請求項６〜９の何れか１項に記載のシール。
11. 前記内側部分の周りの前記壁が、実質的に均一な断面を有する部分と、ばね様構成を有する部分とを含む、
    請求項１〜１０の何れか１項に記載のシール。
12. 前記ばね様構成を有する前記部分が、均一な断面を有して前記部分に対して角度を付けて前記部分を接続する接続部分を含み、前記接続部分が、間にギャップを有する、
    請求項１１に記載のシール。
13. 前記シールの前記壁を形成する前記材料が、非エラストマー材料である、
    請求項１〜１２の何れか１項に記載のシール。
14. 前記材料が、
    好ましくはアルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、ニッケル合金、貴金属、鋼、ステンレス鋼、銅のうちの少なくとも１つである、金属材料、
    及び／又は
    １又は２以上の熱可塑性プラスチック、好ましくはフルオロポリマー、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）及びポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）のうちの少なくとも１つを含むポリマー材料、を含む、
    請求項１３に記載のシール。
15. 前記内側部分が空隙を含む、
    請求項１〜１４の何れか１項に記載のシール。
16. 前記内側部分が、前記シールの反発性を高めるための物質を含む、
    請求項１〜１４の何れか１項に記載のシール。
17. 前記壁が、多孔質又は気泡質材料で形成された少なくとも１つの外部突出部を含む、
    請求項１〜１６の何れか１項に記載のシール。
18. 請求項１〜１７の何れか１項に記載の少なくとも１つのシールを含む真空システム。
19. 請求項３又は１０に記載の少なくとも１つのシールと、前記少なくとも１つのシールを２つの協働面の間に保持するための少なくとも１つのクランプ要素と、を備え、前記シールは、前記少なくとも１つのクランプ要素から離れた部分にて前記シールの反発性が減少するように構成される、
    請求項１８に記載の真空システム。

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