JP3229182B2 - Conductive polysilane composition and method for producing the same - Google Patents

Conductive polysilane composition and method for producing the same

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JP3229182B2
JP3229182B2 JP33286295A JP33286295A JP3229182B2 JP 3229182 B2 JP3229182 B2 JP 3229182B2 JP 33286295 A JP33286295 A JP 33286295A JP 33286295 A JP33286295 A JP 33286295A JP 3229182 B2 JP3229182 B2 JP 3229182B2
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茂 若松
桂次 壁田
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ジーイー東芝シリコーン株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、有機ケイ素重合体
をベースポリマーとして用いる導電性組成物およびその
製造方法に関する。
The present invention relates to a conductive composition using an organosilicon polymer as a base polymer and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】ポリアセチレンに電子受容性物質または
電子供与性物質をドーピングすると、電化移動形成反応
が起こり、電子伝導に基づく高い電気伝導性が発現する
ことが見出されたことから、ポリアセチレン、ポリフェ
ニレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェン
などの有機高分子化合物が、高導電性薄膜などを形成す
る導電性材料として注目されている。
2. Description of the Related Art It has been found that when polyacetylene is doped with an electron-accepting substance or an electron-donating substance, a charge-transfer formation reaction takes place and high electrical conductivity based on electron conduction is developed. Organic polymer compounds such as polypyrrole, polyaniline, and polythiophene have attracted attention as conductive materials for forming highly conductive thin films.

【0003】しかしながら、このような有機高分子化合
物は、不溶不融であったり、賦形性に乏しかったりす
る。また、気相重合法や電解重合法で薄膜を形成する場
合、得られる薄膜の形状が反応容器や電極の形状によっ
て制約され、あるいは電子受容性物質または電子供与性
物質をドーピングする際に、著しい劣化を伴う。
However, such organic high molecular compounds are insoluble and infusible or have poor shapeability. In addition, when a thin film is formed by a gas phase polymerization method or an electrolytic polymerization method, the shape of the obtained thin film is restricted by the shape of a reaction vessel or an electrode, or when doping an electron accepting substance or an electron donating substance, With deterioration.

【0004】ポリシランのような、Si−Si結合骨格
を有する有機ケイ素重合体を、導電性材料として用いる
ことも研究されている。森らは、N−カルバゾリル置換
直鎖ポリシランの合成に成功し、ヨウ素をドーピングし
て、体積抵抗率7.7×102 Ωcmの導電性材料を得て
いる(Synthetic Metals 73, 1995., p113 〜116 、特開
平6−128488号公報参照)。石川らは、ジエチニ
レンジピリジレンジシラニレンポリマーの合成に成功
し、ヨウ素または第二塩化鉄をドーピングして、体積抵
抗率7.1×103 Ωcmの導電性材料を得ている(Organ
ometallics 1995,14, p714 〜720 参照)。これらのポ
リマーは、特殊な置換基を導入する必要があるなどによ
り、いずれも合成が困難である。また、ポリシランでは
ないが類似の有機ケイ素ポリマーの例では、玉尾、伊藤
らにより、体積抵抗率1×103 Ωcmの導電性を示すチ
オフェン−シロール共重合体が報告されている(特開平
6−100669号公報および特開平6−166746
号公報参照)。
[0004] The use of organosilicon polymers having a Si-Si bond skeleton, such as polysilane, as conductive materials has also been studied. Mori et al. Succeeded in synthesizing N-carbazolyl-substituted linear polysilane and obtained a conductive material having a volume resistivity of 7.7 × 10 2 Ωcm by doping with iodine (Synthetic Metals 73, 1995., p113). To 116, JP-A-6-128488). Ishikawa et al. Succeeded in synthesizing a diethynylenedipyridylenedisilanylene polymer, and obtained a conductive material having a volume resistivity of 7.1 × 10 3 Ωcm by doping with iodine or ferric chloride (Organ).
ometallics 1995, 14, p714-720). All of these polymers are difficult to synthesize due to the need to introduce a special substituent. In addition, as an example of a similar organosilicon polymer which is not polysilane, Tamao and Ito et al. Report a thiophene-silole copolymer exhibiting a conductivity of 1 × 10 3 Ωcm in volume resistivity (Japanese Patent Laid-Open No. Hei 6 (1994)). -100669 and JP-A-6-166746
Reference).

【0005】一方、早瀬らは、直鎖状ポリシランにオニ
ウム塩を加えて露光することにより、ポリシラン鎖を切
断しうることから、高い感光性を有するポリシラン組成
物が得られ、このことによってポリシランのパターニン
グが可能なことを報告している(特開平5−23038
0号公報参照)。ここで開示されている組成物は、感光
性組成物であって、ポリシランの導電性の向上について
は開示されていない。
On the other hand, Hayase et al. Can obtain a polysilane composition having high photosensitivity because a polysilane chain can be broken by adding an onium salt to a linear polysilane and exposing the same to light. It reports that patterning is possible (Japanese Patent Laid-Open No. 5-23038).
No. 0). The composition disclosed herein is a photosensitive composition, and does not disclose the improvement in conductivity of polysilane.

【0006】また、一般にポリシランの合成には、あら
かじめ原料となる特定の有機基置換クロロシランの合成
や精製を行わなければならず、さらに、アルカリ金属を
大量に用いて縮合反応させなければならない。また、ポ
リシランのケイ素原子に結合した特定の置換基の量がそ
の導電性に大きく寄与している場合、該置換基の含有量
を制御したポリシランを選択的に合成するには、煩雑な
方法が必要である。そのため、簡便な操作によってポリ
シラン系の高導電性組成物を提供するのには困難を伴
う。以上のように、上記のいずれの報告においても、ポ
リシランにオニウム塩を添加した後、酸化性物質でドー
ピングすることにより、導電性を向上させることについ
ては、開示されていない。
In general, synthesis of polysilane requires synthesis or purification of a specific organic group-substituted chlorosilane as a raw material in advance, and furthermore, a large amount of alkali metal must be used for a condensation reaction. In addition, when the amount of a specific substituent bonded to a silicon atom of polysilane greatly contributes to its conductivity, a complicated method for selectively synthesizing a polysilane having a controlled content of the substituent is required. is necessary. Therefore, it is difficult to provide a polysilane-based highly conductive composition by a simple operation. As described above, none of the above reports disclose improving conductivity by adding an onium salt to polysilane and then doping with an oxidizing substance.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、合成
と取扱いの容易なポリシランをベースポリマーとして、
溶媒に可溶で、任意の形状の薄膜への賦形性が良好で、
簡便な操作によって調製でき、劣化が少なく、高導電性
のケイ素系高分子組成物およびその製造方法を提供する
ことである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to use polysilane, which is easy to synthesize and handle, as a base polymer.
Soluble in solvent, good shapeability to thin film of any shape,
An object of the present invention is to provide a highly conductive silicon-based polymer composition which can be prepared by a simple operation and has little deterioration, and a method for producing the same.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決するために鋭意検討を行った結果、オニウム塩
を添加したポリシランが、有機溶媒に可溶で、任意の形
状の薄膜に賦形でき、しかも予期しなかったことに、ヨ
ウ素のような酸化性物質をドーピングすることにより、
劣化が少なく、組成物の導電性がオニウム塩を添加しな
いで酸化性物質をドーピングした場合に比べて著しく向
上することを見出して、本発明を完成するに至った。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies in order to solve the above-mentioned problems, and as a result, it has been found that a polysilane to which an onium salt is added is soluble in an organic solvent and has a thin film of an arbitrary shape. Unexpectedly, by doping with an oxidizing substance such as iodine,
The inventors have found that the deterioration of the composition is small and that the conductivity of the composition is remarkably improved as compared with the case where an oxidizing substance is doped without adding an onium salt, thereby completing the present invention.

【0009】すなわち、本発明の要旨は、オニウム塩類
を添加したポリシランに、酸化性物質をドーピングした
ことを特徴とする導電性ポリシラン組成物である。
That is, the gist of the present invention is a conductive polysilane composition characterized by doping an oxidizing substance to polysilane to which onium salts are added.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明に用いられるポリシラン
は、好ましくは、平均式(I):
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The polysilane used in the present invention is preferably of the average formula (I):

【化2】 (式中、R1 はたがいに同一でも異なっていてもよく、
ケイ素原子に結合した、置換または非置換の1価の炭化
水素基を表し、一部は水素原子であってもよく;R2
たがいに同一でも異なっていてもよく、酸素原子を介し
てケイ素原子に結合した、水素原子または置換もしくは
非置換の1価の炭化水素基を表し;R3 は2個のケイ素
原子に結合した、2価の置換もしくは非置換の炭化水素
基または複素環基を表し;主鎖骨格がSi−Si結合お
よび場合によってはSi−R3 −Si結合から構成さ
れ、aは1.00〜1.97、bは正の数、cは0≦c
/(an+bn+c)≦0.3を満足させる数であり;
nはポリシランの重量平均分子量が500〜3,00
0,000になるように選ばれる数である)で示され
る。
Embedded image (Wherein R 1 may be the same or different,
Represents a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group bonded to a silicon atom, part of which may be a hydrogen atom; R 2 may be the same or different, and represents R 3 represents a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group bonded to an atom; R 3 represents a divalent substituted or unsubstituted hydrocarbon group or heterocyclic group bonded to two silicon atoms. And the main chain skeleton is composed of a Si—Si bond and, in some cases, a Si—R 3 —Si bond, a is 1.00 to 1.97, b is a positive number, and c is 0 ≦ c.
/(An+bn+c)≦0.3;
n represents a weight average molecular weight of the polysilane of 500 to 3,000.
000).

【0011】このようなポリシランは、直鎖状、分岐
状、環状、網目状のいずれのポリシラン骨格を有するも
のであってもよく、またその構造中に、部分的に、分子
中に分散して、ケイ素原子の間に上記のR3 が存在して
いてもよいが、酸化性物質をドーピングすることによる
劣化や分子量の低下を抑制することから、ポリシラン骨
格自体および/またはR3 によって網目状構造を形成し
ていることが好ましい。
Such a polysilane may have a linear, branched, cyclic, or network-like polysilane skeleton, and may be partially dispersed in a molecule in the structure. The above-mentioned R 3 may be present between silicon atoms. However, since the deterioration and the molecular weight due to doping with an oxidizing substance are suppressed, a network structure is formed by the polysilane skeleton itself and / or R 3 . Is preferably formed.

【0012】このようなポリシランとしては、たとえば
一般式(II)または(III)
Examples of such a polysilane include those represented by the general formula (II) or (III):

【化3】 (式中、R 、R2 およびR3 は前述のとおりであ
り;p、qおよびsは0または正の整数、rは正の整数
であって、該p、q、rおよびsは上記の平均式(I)
のa、b、cおよびnを満足させる数であり;式はシラ
ン単位およびR3 の数を表わすもので、ブロック共重合
体を意味するものではない)で示され、R1 Si単位お
よび必要に応じてR3 によって架橋され、網目状骨格を
有するポリシランが挙げられる。
Embedded image Wherein R 1 , R 2 and R 3 are as described above; p, q and s are 0 or a positive integer, r is a positive integer, and p, q, r and s are as defined above. Average formula (I)
Be of a, b, the number to satisfy c and n; expression represents the number of silane units and R 3, shown in does not mean a block copolymer), R 1 Si units and need And a polysilane having a network skeleton crosslinked by R 3 .

【0013】R1 はポリシランのケイ素原子に結合した
置換または非置換の1価の炭化水素基で、メチル、エチ
ル、プロピル、ブチル、ペンチル、ヘキシル、オクチ
ル、デシル、ドデシル、テトラデシル、オクタデシルな
どの直鎖状または分岐状のアルキル基;シクロヘキシル
などのシクロアルキル基;2−フェニルエチル、2−フ
ェニルプロピルなどのアラルキル基;フェニル、トリ
ル、キシリル、メシチルなどのアリール基;ビニル、ア
リルなどのアルケニル基;p−ビニルフェニルなどのア
ルケニルアリール基;ならびにクロロメチル、トリフル
オロプロピル、メトキシフェニルなどの置換炭化水素基
が例示され、一部のR1 は水素原子であってもよい。こ
れらのうち、合成のし易さから、メチル、エチル、プロ
ピル、ブチル、ペンチル、ヘキシルのような炭素数1〜
6のアルキル基、シクロヘキシル基およびフェニル基が
好ましい。
R 1 is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group bonded to a silicon atom of polysilane, and is a straight-chain such as methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, octyl, decyl, dodecyl, tetradecyl, octadecyl or the like. A chain or branched alkyl group; a cycloalkyl group such as cyclohexyl; an aralkyl group such as 2-phenylethyl and 2-phenylpropyl; an aryl group such as phenyl, tolyl, xylyl, and mesityl; an alkenyl group such as vinyl and allyl; Examples thereof include alkenylaryl groups such as p-vinylphenyl; and substituted hydrocarbon groups such as chloromethyl, trifluoropropyl, and methoxyphenyl, and some R 1 may be a hydrogen atom. Among them, C1-C1 such as methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, etc.
6 alkyl groups, cyclohexyl groups and phenyl groups are preferred.

【0014】ポリシラン分子中のR1 の数は、前述の網
目状構造の度合と関係があり、そのケイ素原子に対する
比R1 /Siが1.00〜1.97の範囲であることが
好ましく、1.00〜1.91がさらに好ましい。
The number of R 1 in the polysilane molecule is related to the degree of the network structure described above, and the ratio R 1 / Si to silicon atom is preferably in the range of 1.00 to 1.97, 1.00 to 1.91 are more preferred.

【0015】R2 は、ケイ素原子に結合したOR2 を構
成する水素原子または置換もしくは非置換の1価の炭化
水素基であり、水素原子のほか;メチル、エチル、プロ
ピル、ブチル、ペンチル、ヘキシル、ドデシルなどの直
鎖状または分岐状のアルキル基;シクロヘキシルなどの
シクロアルキル基;フェニル、トリル、キシリル、メシ
チルなどのアリール基;および2−メトキシエチル、2
−エトキシエチルおよび2−ブトキシエチルのような置
換炭化水素基が例示され、合成のし易さおよび取り扱い
易さから、メチル、エチル、プロピル、ブチルのような
炭素数1〜4のアルキル基およびフェニル基が好まし
く、メチルおよびエチルが最も好ましい。すなわち、O
2 としては、メトキシ、エトキシのような低級アルコ
キシ基が最も好ましい。このようなOR2 基は、ポリシ
ラン分子鎖の末端、中間および分岐位置のいずれのケイ
素原子に結合していてもよい。
R 2 is a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group constituting OR 2 bonded to a silicon atom. In addition to the hydrogen atom, methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl , A linear or branched alkyl group such as dodecyl; a cycloalkyl group such as cyclohexyl; an aryl group such as phenyl, tolyl, xylyl, and mesityl;
And substituted hydrocarbon groups such as -ethoxyethyl and 2-butoxyethyl. For ease of synthesis and handling, alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms such as methyl, ethyl, propyl and butyl and phenyl are preferable. The groups are preferred, and methyl and ethyl are most preferred. That is, O
R 2 is most preferably a lower alkoxy group such as methoxy and ethoxy. Such an OR 2 group may be bonded to any of the silicon atoms at the terminal, intermediate and branched positions of the polysilane molecular chain.

【0016】R3 は、ポリシラン鎖中、ポリシラン鎖を
架橋する形、または網目状ポリシラン構造中に、ケイ素
原子の間に導入された置換もしくは非置換の2価の炭化
水素基または複素環基であり、ポリシランの分子中に分
散して存在することが好ましい。R3 としては、メチレ
ン、エチレン、トリメチレンなどのアルキレン基;ブタ
ジエニレンなどの2価の脂肪族飽和炭化水素基;フェニ
レン、ナフチレン、9,10−アントラセニレン、フェ
ロセニレンなどのアリーレン基;キシリレンなどの2価
の芳香族置換炭化水素基;チエニレン、ジチエニレン、
ピロリレン、ピリジニレンなどの複素環基が例示されビ
フェニレン、トリフェニレン、チエニレンのような、2
個以上の芳香環または複素環が反復して存在する2価の
連鎖であってもよく、合成のし易さと組成物の導電性か
ら、芳香族炭化水素基または複素環が好ましく、フェニ
レン、9,10−アントラセニレンおよびチエニレンが
特に好ましい。
R 3 is a substituted or unsubstituted divalent hydrocarbon or heterocyclic group introduced between silicon atoms in a polysilane chain, in a form that crosslinks the polysilane chain, or in a network polysilane structure. Yes, it is preferable to exist in a dispersed state in the polysilane molecule. R 3 is an alkylene group such as methylene, ethylene, and trimethylene; a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group such as butadienylene; an arylene group such as phenylene, naphthylene, 9,10-anthracenylene, and ferrosenylene; a divalent group such as xylylene Aromatic-substituted hydrocarbon groups; thienylene, dithienylene,
Examples of heterocyclic groups such as pyrrolylene and pyridinylene include biphenylene, triphenylene, and thienylene.
A divalent chain in which two or more aromatic rings or heterocyclic rings are repeatedly present may be used, and an aromatic hydrocarbon group or a heterocyclic ring is preferable from the viewpoint of ease of synthesis and conductivity of the composition. , 10-anthracenylene and thienylene are particularly preferred.

【0017】ポリシラン中にR3 、特に芳香族基または
複素環基であるR3 が存在することにより、ポリシラン
組成物の導電性を高めるとともに、溶媒に対する溶解性
を付与し、該ポリシランの薄膜をより容易に、かつ均一
に行うことができる。この場合、R3 の数cは、ポリシ
ラン中の置換基の全個数an+bn+cに対して30%
以下であることが好ましく、0.1〜20%がさらに好
ましい。この比率が大きいほどポリシランの導電性を上
げることができるが、30%を越えると、高分子量の固
体ポリシランを得ることが困難となり、安定で物性の良
好な薄膜を形成できない。
[0017] During polysilane R 3, by R 3 is present in particular aromatic group or a heterocyclic group, to increase the conductivity of the polysilane composition, impart solubility in a solvent, the thin film of the polysilane It can be performed more easily and uniformly. In this case, the number c of R 3 is 30% of the total number of substituents an + bn + c in the polysilane.
It is preferably at most 0.1%, more preferably 0.1% to 20%. As the ratio increases, the conductivity of the polysilane can be increased. However, when the ratio exceeds 30%, it becomes difficult to obtain a solid polysilane having a high molecular weight, and a stable thin film having good physical properties cannot be formed.

【0018】ポリシランの重量平均分子量は、該ポリシ
ランが溶媒に可溶であって、固体膜が形成できれば特に
限定されないが、合成のし易さ、溶媒への可溶性、成膜
性などから、500〜3,000,000の範囲が好ま
しく、1,000〜1,000,000がさらに好まし
く、2,500〜100,000が特に好ましい。
The weight average molecular weight of the polysilane is not particularly limited as long as the polysilane is soluble in a solvent and a solid film can be formed. The range of 3,000,000 is preferred, 1,000 to 1,000,000 is more preferred, and 2,500 to 100,000 is particularly preferred.

【0019】本発明に用いられるポリシラン、特に網目
状骨格ポリシランは、既知のポリシランの合成法を用い
て製造することができる。たとえば、金属ナトリウムに
よるオルガノクロロシラン類の脱塩縮合反応(ウルツ
法)を用いて、原料のオルガノクロロシラン類の混合比
を調整することにより、分子骨格の網目の程度を制御し
た様々な網目状骨格ポリシランを得ることができる。
The polysilane used in the present invention, in particular, the network skeleton polysilane, can be produced by using a known polysilane synthesis method. For example, by using a desalting condensation reaction of organochlorosilanes with sodium metal (Wurtz method), the mixing ratio of organochlorosilanes as a raw material is adjusted to control the degree of the network of the molecular skeleton. Can be obtained.

【0020】また、アルコキシジシラン類の不均化反応
を利用すれば、温和な条件で、様々な有機置換基を有す
る網目状骨格のポリシランの合成が可能である(特開平
4−311727号公報、特開平6−57002号公報
およびK. Kabeta ら、Chem.Lett., 1994, p835 〜838
参照)。さらに、2個のケイ素原子の間にR3 を導入し
たポリシランを得ることも可能である(Chem. Lett., 1
994, 119〜120 参照)。これらはアルコキシ基含有ポリ
シランについて記載されたものであるが、これをアルコ
キシ基以外のOR2 基を有するポリシランに適用するこ
とは、当業者にとっては容易であろう。
Further, by utilizing the disproportionation reaction of alkoxydisilanes, it is possible to synthesize a polysilane having a network-like skeleton having various organic substituents under mild conditions (Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-31727, JP-A-6-57002 and K. Kabeta et al., Chem. Lett., 1994, p835-838.
reference). Furthermore, it is also possible to obtain a polysilane having R 3 introduced between two silicon atoms (Chem. Lett., 1
994, 119-120). Although these are described for an alkoxy group-containing polysilane, it would be easy for those skilled in the art to apply this to a polysilane having an OR 2 group other than the alkoxy group.

【0021】本発明において、ポリシランに添加される
オニウム塩は、本発明のポリシラン組成物に高い導電性
を付与するために不可欠な成分である。このようなオニ
ウム塩としては、ヨードニウム塩およびスルホニウム塩
が好適であり、たとえば、次に列挙する分子構造を有す
る化合物の1種または2種以上を用いることができる。
In the present invention, the onium salt added to the polysilane is an essential component for imparting high conductivity to the polysilane composition of the present invention. As such an onium salt, an iodonium salt and a sulfonium salt are preferable. For example, one or more compounds having the molecular structures listed below can be used.

【0022】[0022]

【化4】 Embedded image

【0023】[0023]

【化5】 Embedded image

【0024】これらのオニウム塩のうち、取り扱い易さ
と、ドーピング後の組成物に優れた導電性を与えること
から、下記の化合物が好ましい。
Among these onium salts, the following compounds are preferred from the viewpoint of easy handling and imparting excellent conductivity to the composition after doping.

【0025】[0025]

【化6】 Embedded image

【0026】添加されるオニウム塩の量は、ポリシラン
100重量部に対して、オニウム塩の種類によっても異
なるが、通常1〜200重量部、好ましくは30〜12
0重量部であり、(p−ドデシルベンゼン)ヨードニウ
ムヘキサフルオロアンチモン塩の場合、さらに好ましく
は30〜60重量部である。1重量部未満では、組成物
に高い導電性を与える効果が十分でなく、200重量部
を越えて添加すると成膜性が悪くなる。
The amount of the onium salt to be added varies depending on the type of the onium salt with respect to 100 parts by weight of the polysilane, but is usually 1 to 200 parts by weight, preferably 30 to 12 parts by weight.
0 parts by weight, and in the case of (p-dodecylbenzene) iodonium hexafluoroantimonate, more preferably 30 to 60 parts by weight. If the amount is less than 1 part by weight, the effect of imparting high conductivity to the composition is not sufficient, and if the amount exceeds 200 parts by weight, the film formability deteriorates.

【0027】オニウム塩を添加したポリシランを、適切
な溶媒に溶解して、基材表面に薄膜を形成するための処
理液を調製することができる。溶媒としては、非極性溶
媒、極性溶媒のいずれを用いてもよく、たとえば、n−
ヘプタン、n−ヘキサン、トルエン、キシレン、ベンゼ
ン、ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフラン、ジエ
チルエーエル、クロロホルムなどが挙げられるが、ポリ
シランを容易に溶解させることから、テトラヒドロフラ
ンのような極性溶媒の方が好ましい。良好な作業性を得
るための溶媒の量は、ポリシラン100重量部に対し
て、通常50〜10,000重量部、好ましくは500
〜2,000重量部である。
The polysilane to which the onium salt has been added can be dissolved in an appropriate solvent to prepare a treatment liquid for forming a thin film on the surface of the substrate. As the solvent, any of a nonpolar solvent and a polar solvent may be used.
Heptane, n-hexane, toluene, xylene, benzene, dimethylformamide, tetrahydrofuran, diethyl ether, chloroform and the like can be mentioned, but a polar solvent such as tetrahydrofuran is preferable because polysilane is easily dissolved. The amount of the solvent for obtaining good workability is usually 50 to 10,000 parts by weight, preferably 500 parts by weight, per 100 parts by weight of the polysilane.
2,000 parts by weight.

【0028】オニウム塩を添加されたポリシランの薄膜
を形成する方法としては、上述のような溶媒に該ポリシ
ランを溶解し、ついでこれを基板上に塗布し、常圧また
は減圧で常温に放置、または加温して溶媒を揮散させ、
ポリシラン薄膜を得る方法が一般的である。塗布方法と
してはディッピング、スピンコーティングなどが例示さ
れ、スピンコーティングを用いることが好ましい。
As a method of forming a thin film of polysilane to which an onium salt is added, the polysilane is dissolved in the above-mentioned solvent, and then applied on a substrate and left at normal pressure or reduced pressure at normal temperature, or Heat to evaporate the solvent,
A method of obtaining a polysilane thin film is generally used. Examples of the application method include dipping and spin coating, and it is preferable to use spin coating.

【0029】このようにして得られたポリシラン薄膜
に、酸化性物質をドーピングして、導電性ポリシラン組
成物を得ることができる。
The polysilane thin film thus obtained can be doped with an oxidizing substance to obtain a conductive polysilane composition.

【0030】本発明に用いられる酸化性物質としては、
塩素、臭素、ヨウ素のようなハロゲン類、塩化スズ塩化
第二鉄のような遷移金属塩化物、五フッ化アンチモン、
五フッ化ヒ素のようなルイス酸などが有効であり、安全
で、取扱い易いことから、ヨウ素や塩化第二鉄を用いる
ことが好ましい。
The oxidizing substance used in the present invention includes:
Halogens such as chlorine, bromine and iodine; transition metal chlorides such as tin chloride and ferric chloride; antimony pentafluoride;
It is preferable to use iodine or ferric chloride because Lewis acids such as arsenic pentafluoride are effective, safe and easy to handle.

【0031】ドーピングに用いる酸化性物質の量は、ポ
リシラン100重量部に対して、通常1〜1,000重
量部、好ましくは10〜100重量部である。1重量部
未満では組成物に高い導電性を与えることができず、
1,000重量部を越えると製膜性が悪く、得られたポ
リシラン膜に欠陥を生じやすくなる。
The amount of the oxidizing substance used for doping is usually 1 to 1,000 parts by weight, preferably 10 to 100 parts by weight, based on 100 parts by weight of polysilane. If the amount is less than 1 part by weight, high conductivity cannot be imparted to the composition,
If the amount exceeds 1,000 parts by weight, the film-forming properties are poor, and the resulting polysilane film tends to have defects.

【0032】ドーピングの方法としては、ポリシラン薄
膜を、たとえば (a)ヨウ素や塩化第二鉄などの酸化性物質の蒸気雰囲
気下にさらす気相(乾式)ドーピング法; (b)ヨウ素や塩化第二鉄などを不活性溶媒中に溶解し
た溶液中にポリシランを浸漬する湿式ドーピング法;お
よび (c)ヨウ素とポリシランに共通に溶解させる溶媒を用
い、ヨウ素を溶解した溶液にポリシランを溶解させ、該
溶液から乾式製膜することによりフィルムあるいは薄膜
に賦形すると同時にドーピングする同時ドーピング法 があり、そのいずれかを用いることができる。
As the doping method, for example, (a) a gas phase (dry) doping method in which a polysilane thin film is exposed to a vapor atmosphere of an oxidizing substance such as iodine or ferric chloride; A wet doping method in which polysilane is immersed in a solution in which iron or the like is dissolved in an inert solvent; and (c) using a solvent in which iodine and polysilane are commonly dissolved, dissolving polysilane in a solution in which iodine is dissolved; There is a simultaneous doping method in which the film is formed into a film or a thin film by dry film forming from the same, and simultaneously doping is performed, and either of them can be used.

【0033】気相ドーピング法とは、ドーパント雰囲気
の温度およびドーパントの分圧を制御することにより、
ドーピング速度をコントロールすることができる。一般
にドーピングはドーパント雰囲気の温度が−30〜20
0℃の範囲で行うことができる。−30℃未満ではドー
ピング速度が遅く、200℃を越える温度ではドーピン
グの際にポリシランの劣化を招き、好ましくない。ドー
パント分圧は1Torrから5気圧の範囲が好ましい。1To
rr未満では一般にドーピング速度が遅く、5気圧を越え
て圧力を増しても特にその効果がない。
The gas phase doping method controls the temperature of the dopant atmosphere and the partial pressure of the dopant,
The doping rate can be controlled. Generally, doping is performed at a temperature of a dopant atmosphere of -30 to 20.
It can be performed in the range of 0 ° C. If the temperature is lower than −30 ° C., the doping rate is low, and if the temperature exceeds 200 ° C., polysilane is deteriorated during doping, which is not preferable. The dopant partial pressure is preferably in the range of 1 Torr to 5 atm. 1To
If the pressure is less than rr, the doping rate is generally low, and increasing the pressure beyond 5 atm has no particular effect.

【0034】湿式ドーピング法に用いられる不活性溶媒
としては、ヨウ素と反応して電子受容体性化合物として
の能力を失活させない溶媒が用いられる。このような溶
媒として、ヘキサン、オクタン、石油エーテル、シクロ
ヘキサンのような脂肪族炭化水素類;ベンゼン、トルエ
ン、キシレンのような芳香族炭化水素類;ジエチルエー
テル、テトラヒドロフランのようなエーテル類;酢酸エ
チルのようなエステル類;メタノール、エタノールのよ
うなアルコール類;ジメチルホルムアミド、ジメチルス
ルホキシドのような非プロトン系極性溶媒;その他、ニ
トロメタン、ニトロベンゼン、アセトニトリルなどが例
示される。なかでもテトラヒドロフランのような溶媒
は、ポリシランの良溶媒であるため、特に同時ドーピン
グ法に好適である。この場合、ドーパントを含む溶液に
ポリシランを溶解させ、この溶液をキャスティングした
後、乾燥することにより、ドーピングと製膜を同時に行
うことができる。キャスティング後の乾燥は、常圧また
は減圧下に、0〜150℃の温度で行うことができる。
As the inert solvent used in the wet doping method, a solvent that does not react with iodine and deactivate the ability as an electron acceptor compound is used. Examples of such a solvent include aliphatic hydrocarbons such as hexane, octane, petroleum ether and cyclohexane; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene; ethers such as diethyl ether and tetrahydrofuran; Esters; alcohols such as methanol and ethanol; aprotic polar solvents such as dimethylformamide and dimethylsulfoxide; and nitromethane, nitrobenzene, and acetonitrile. Among them, a solvent such as tetrahydrofuran is a good solvent for polysilane, and is particularly suitable for the simultaneous doping method. In this case, doping and film formation can be performed simultaneously by dissolving polysilane in a solution containing a dopant, casting the solution, and then drying. Drying after casting can be performed at a temperature of 0 to 150 ° C. under normal pressure or reduced pressure.

【0035】本発明の組成物に、さらにラジカル発生剤
を添加することができる。
A radical generator may be further added to the composition of the present invention.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明によって、簡便かつ迅速な操作に
より、102 Ωcmまでの高い導電性を有するポリシラン
組成物、特にその薄膜を得ることができる。本発明によ
って提供される導電性ポリシラン組成物は、それに含ま
れる添加物の種類や量を変えることにより、ポリシラン
組成物の導電性を向上させることができる。また、ポリ
シランの骨格構造や置換基を変えることによっても、導
電性の制御は可能である。また、ヨードニウム塩やスル
ホニウム塩のような添加剤を加えることにより、該ポリ
シランの導電性を安定に保つ効果がある。
According to the present invention, a polysilane composition having high conductivity up to 10 2 Ωcm, particularly a thin film thereof, can be obtained by a simple and quick operation. The conductive polysilane composition provided by the present invention can improve the conductivity of the polysilane composition by changing the types and amounts of additives contained therein. The conductivity can also be controlled by changing the skeleton structure and the substituent of the polysilane. The addition of an additive such as an iodonium salt or a sulfonium salt has an effect of stably maintaining the conductivity of the polysilane.

【0037】本発明の導電性組成物は、上記の特徴に加
えて、取扱いが容易で賦形性が良いことから、光導電材
料や導電材料などのエレクトロニクス分野に広く応用可
能な素材として、きわめて有用である。
The conductive composition of the present invention, in addition to the features described above, is easy to handle and has good shapeability. Therefore, it is extremely useful as a material widely applicable to the electronics field such as photoconductive materials and conductive materials. Useful.

【0038】[0038]

【実施例】以下の合成例、実施例および比較例によっ
て、本発明をさらに詳しく説明する。これらの例中、部
はすべて重量部を表し、物性値は25℃における値であ
る。本発明は、これらの実施例によって制限されるもの
ではない。
The present invention will be described in more detail with reference to the following synthesis examples, examples and comparative examples. In these examples, all parts are parts by weight, and physical property values are values at 25 ° C. The present invention is not limited by these examples.

【0039】合成例1(網目状構造ポリシランの合成) 乾燥アルゴンガス気流下で、冷却管および撹拌機を備え
たフラスコに1,2−ジメチル−1,1,2,2−テト
ラエトキシジシラン50部を仕込み、これにナトリウム
エトキシド1.5部を加え、撹拌しながら100℃で2
0時間加熱した。冷却後、吸引濾過により固形分を除
き、濾液を無水メタノール1,000部中にゆっくりと
注ぎ、白色固体を再沈殿させた。吸引濾過により濾別し
て集めた固体を、無水エタノールで洗浄し、減圧下で乾
燥させ、網目状の分子骨格を有するポリシラン5部を得
た。得られたポリシランの 1H NMRを測定した結
果、メチル基とエトキシ基の存在が確認され、その比率
は10:1であった。GPCによるポリスチレン換算分
子量は3,300であった。
Synthesis Example 1 (Synthesis of network-structured polysilane) Under a dry argon gas flow, 50 parts of 1,2-dimethyl-1,1,2,2-tetraethoxydisilane was placed in a flask equipped with a condenser and a stirrer. Was added thereto, and 1.5 parts of sodium ethoxide was added thereto.
Heated for 0 hours. After cooling, the solid content was removed by suction filtration, and the filtrate was slowly poured into 1,000 parts of anhydrous methanol to reprecipitate a white solid. The solid collected by filtration by suction filtration was washed with anhydrous ethanol and dried under reduced pressure to obtain 5 parts of a polysilane having a network-like molecular skeleton. As a result of 1 H NMR measurement of the obtained polysilane, the presence of a methyl group and an ethoxy group was confirmed, and the ratio was 10: 1. The molecular weight in terms of polystyrene by GPC was 3,300.

【0040】合成例2(チエニレン基含有網目状構造ポ
リシランの合成) 冷却管および撹拌機を備えたフラスコに、乾燥アルゴン
気流下で2,5−ジブロモチオフェン2重量部を仕込
み、テトラヒドロフラン100部を加えて溶解させ、ド
ライアイス−アセトン浴で温度を−78℃とした。これ
にn−ブチルリチウムの1.8M n−ヘキサン溶液1.
5部を滴下し、そのまま1時間撹拌した。これに1,2
−ジメチル−1,1,2,2−テトラエトキシジシラン
50部を仕込み、室温まで昇温させた後、撹拌しながら
100℃で20時間加熱した。冷却後、吸引濾過により
固形分を除き、濾液を無水メタノール1,000部中に
ゆっくりと注ぎ、白色固体を再沈殿させた。吸引濾過に
より濾別した固体を、無水エタノールで洗浄し、減圧下
で乾燥させて、網目状構造のポリシラン6部を得た。得
られたポリシランの 1H NMRを測定した結果、メチ
ル基、エトキシ基およびチエニレン基の存在が確認さ
れ、その比率は85:13:2であった。GPCによる
ポリスチレン換算分子量は、11,000であった。
Synthesis Example 2 (Synthesis of Thienylene Group-Containing Network-Shaped Polysilane) A flask equipped with a cooling tube and a stirrer was charged with 2 parts by weight of 2,5-dibromothiophene under a stream of dry argon, and 100 parts of tetrahydrofuran was added. And the temperature was adjusted to −78 ° C. with a dry ice-acetone bath. To this was added a 1.8 M n-hexane solution of n-butyllithium.
Five parts were added dropwise, and the mixture was stirred for 1 hour. This is 1,2
-Dimethyl-1,1,2,2-tetraethoxydisilane (50 parts) was charged, heated to room temperature, and then heated at 100 ° C. for 20 hours with stirring. After cooling, the solid content was removed by suction filtration, and the filtrate was slowly poured into 1,000 parts of anhydrous methanol to reprecipitate a white solid. The solid separated by suction filtration was washed with anhydrous ethanol and dried under reduced pressure to obtain 6 parts of polysilane having a network structure. As a result of 1 H NMR measurement of the obtained polysilane, the presence of a methyl group, an ethoxy group and a thienylene group was confirmed, and the ratio was 85: 13: 2. The molecular weight in terms of polystyrene by GPC was 11,000.

【0041】合成例3(アントラセニレン基含有網目状
構造ポリシランの合成) 冷却管および撹拌機を備えたフラスコに、乾燥アルゴン
気流下で9,10−ジブロモアントラセン6部を仕込
み、テトラヒドロフラン100部を加えて溶解させ、ド
ライアイス−アセトン浴で温度を−78℃とした。これ
にn−ブチルリチウムの1.8M n−ヘキサン溶液1.
5部を滴下し、そのまま1時間撹拌した。これに1,2
−ジメチル−1,1,2,2−テトラエトキシジシラン
50部を仕込み、室温まで昇温した後、撹拌しながら1
00℃で20時間加熱した。冷却後、吸引濾過により固
形分を除き、濾液を無水メタノール1,000部中にゆ
っくりと注ぎ、白色固体を再沈殿させた。吸引濾過によ
り濾別した固体を、無水エタノールで洗浄し、減圧下で
乾燥させて、網目状構造のポリシラン7部を得た。得ら
れたポリシランの 1H NMRを測定した結果、メチル
基、エトキシ基および9,10−アントラセニレン基の
存在が確認され、その比率は78:18:4であった。
GPCによるポリスチレン換算分子量は、2,700で
あった。
Synthesis Example 3 (Synthesis of anthracenylene group-containing polysilane having a network structure) A flask equipped with a cooling tube and a stirrer was charged with 6 parts of 9,10-dibromoanthracene under a stream of dry argon, and 100 parts of tetrahydrofuran was added. After melting, the temperature was adjusted to −78 ° C. with a dry ice-acetone bath. To this was added a 1.8 M n-hexane solution of n-butyllithium.
Five parts were added dropwise, and the mixture was stirred for 1 hour. This is 1,2
-Dimethyl-1,1,2,2-tetraethoxydisilane (50 parts) was charged, the temperature was raised to room temperature, and 1 part was stirred.
Heat at 00 ° C. for 20 hours. After cooling, the solid content was removed by suction filtration, and the filtrate was slowly poured into 1,000 parts of anhydrous methanol to reprecipitate a white solid. The solid separated by suction filtration was washed with anhydrous ethanol and dried under reduced pressure to obtain 7 parts of polysilane having a network structure. As a result of 1 H NMR measurement of the obtained polysilane, the presence of a methyl group, an ethoxy group and a 9,10-anthracenylene group was confirmed, and the ratio was 78: 18: 4.
The molecular weight in terms of polystyrene by GPC was 2,700.

【0042】実施例1〜3 合成例1〜3で得られた網目状構造のポリシランをそれ
ぞれ用いて、表1に示す配合比により、該ポリシランと
ビス(p−ドデシルベンゼン)ヨードニウムヘキサフル
オロアンチモン塩とをテトラヒドロフランに溶解させ
て、ポリシラン10重量%の溶液を調製した。これを白
金電極を蒸着させたガラス板上にスピンコートし、50
℃/2Torrで減圧加熱して乾燥させ、厚さ1μm の薄膜
を形成させた。このようにして得られた薄膜の体積抵抗
率を、窒素雰囲気中で2端針法で測定したところ、1×
1012Ωcm以上と、まったく導電性を示さなかった。こ
れを、固体ヨウ素を入れて乾燥窒素で置換した遮光性容
器中に25℃で1時間静置すると、ヨウ素蒸気にさらさ
れて、薄膜の外観は、透明から褐色に変化した。薄膜の
体積抵抗率を測定したところ、表1に示すように、3.
4×102 Ωcm〜2.4×103 Ωcmの値を示し、優れ
た導電性を有することが観察された。これらのポリシラ
ン薄膜は、導電性を5日間以上安定に保持していた。
Examples 1 to 3 Using the polysilanes having a network structure obtained in Synthesis Examples 1 to 3, the polysilanes and bis (p-dodecylbenzene) iodonium hexafluoroantimonate were used at the compounding ratios shown in Table 1. Was dissolved in tetrahydrofuran to prepare a 10% by weight solution of polysilane. This was spin-coated on a glass plate on which a platinum electrode was deposited, and 50
The film was dried by heating at a reduced pressure of 2 ° C./2 Torr to form a thin film having a thickness of 1 μm. The volume resistivity of the thin film thus obtained was measured in a nitrogen atmosphere by a two-end needle method.
When it was 10 12 Ωcm or more, no conductivity was exhibited. When this was allowed to stand at 25 ° C. for 1 hour in a light-shielding container filled with solid iodine and replaced with dry nitrogen, the thin film was exposed to iodine vapor and the appearance of the thin film changed from transparent to brown. When the volume resistivity of the thin film was measured, as shown in Table 1, 3.
It showed a value of 4 × 10 2 Ωcm to 2.4 × 10 3 Ωcm, and was observed to have excellent conductivity. These polysilane thin films stably maintained conductivity for 5 days or more.

【0043】比較例1〜3 対応する実施例1〜3とそれぞれ同じポリシランを用
い、表1のように、オニウム塩を添加しないほかは実施
例1〜3と同様にして、ポリシラン薄膜を得た。これを
実施例1〜3と同様の条件でヨウ素蒸気にさらしたとこ
ろ、表1に示すように、体積抵抗率は2.7×103
5.0×105 であって、それぞれ対応する実施例に比
べて劣る導電性しか得られなかった。
Comparative Examples 1 to 3 Polysilane thin films were obtained in the same manner as in Examples 1 to 3, except that the same polysilane as in Examples 1 to 3 was used and no onium salt was added, as shown in Table 1. . When this was exposed to iodine vapor under the same conditions as in Examples 1 to 3, as shown in Table 1, the volume resistivity was 2.7 × 10 3 to
It was 5.0 × 10 5 , and only inferior conductivity was obtained as compared with the corresponding examples.

【0044】[0044]

【表1】 [Table 1]

【0045】実施例4 合成例3で得られたアントラセニレン基含有網目状構造
ポリシランと、オニウム塩としてp−メトキシフェニル
(ジフェニル)スルホニウムフルオロアンチモン塩を、
重量比1:1で用いたほかは、実施例1〜3と同様にし
て、ヨウ素でドーピングした組成物を得た。その体積抵
抗率を測定したところ、5.7×102Ωcmの値を示
し、優れた導電性を有していた。
Example 4 Anthracenylene group-containing network-structured polysilane obtained in Synthesis Example 3 and p-methoxyphenyl (diphenyl) sulfonium fluoroantimony salt as an onium salt
A composition doped with iodine was obtained in the same manner as in Examples 1 to 3, except that the composition was used at a weight ratio of 1: 1. When its volume resistivity was measured, it showed a value of 5.7 × 10 2 Ωcm, indicating that it had excellent conductivity.

【0046】実施例5 合成例3で得られたアントラセニレン基含有網目状構造
ポリシランと、オニウム塩としてビス(p−tert−ブチ
ルフェニル)ヨードニウムフルオロアンチモン塩を、重
量比1:1で用いたほかは、実施例1〜3と同様にし
て、ヨウ素でドーピングした組成物を得た。その体積抵
抗率を測定したところ、3.8×101 Ωcmの値を示
し、優れた導電性を有していた。
Example 5 Except for using the anthracenylene group-containing network-structured polysilane obtained in Synthesis Example 3 and bis (p-tert-butylphenyl) iodonium fluoroantimony salt as an onium salt in a weight ratio of 1: 1. In the same manner as in Examples 1 to 3, a composition doped with iodine was obtained. When its volume resistivity was measured, it showed a value of 3.8 × 10 1 Ωcm, indicating that it had excellent conductivity.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−134221(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08L 83/16 C08K 3/22 C08K 5/03 C08K 5/36 C08G 77/60 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-8-134221 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C08L 83/16 C08K 3/22 C08K 5 / 03 C08K 5/36 C08G 77/60

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ポリシラン100重量部に対してオニウ
ム塩1〜200重量部を添加したポリシランに、酸化性
物質1〜1,000重量部をドーピングしたことを特徴
とする導電性ポリシラン組成物。
1. A conductive polysilane composition, characterized in that polysilane obtained by adding 1 to 200 parts by weight of an onium salt to 100 parts by weight of polysilane is doped with 1 to 1,000 parts by weight of an oxidizing substance.
【請求項2】 ポリシランが、平均式(I): 【化1】 (式中、R1 はたがいに同一でも異なっていてもよく、
ケイ素原子に結合した、置換または非置換の1価の炭化
水素基を表し、一部は水素原子であってもよく;R2
たがいに同一でも異なっていてもよく、酸素原子を介し
てケイ素原子に結合した、水素原子または置換もしくは
非置換の1価の炭化水素基を表し;R3 は2個のケイ素
原子に結合した、2価の置換もしくは非置換の炭化水素
基または複素環基を表し;主鎖骨格がSi−Si結合お
よび場合によってはSi−R3 −Si結合から構成さ
れ、aは1.00〜1.97、bは正の数、cは0≦c
/(an+bn+c)≦0.3を満足させる数であり;
nはポリシランの重量平均分子量が500〜3,00
0,000になるように選ばれる数である)で示され
る、請求項1記載の導電性ポリシラン組成物。
2. The polysilane has an average formula (I): (Wherein R 1 may be the same or different,
Represents a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group bonded to a silicon atom, part of which may be a hydrogen atom; R 2 may be the same or different, and represents R 3 represents a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group bonded to an atom; R 3 represents a divalent substituted or unsubstituted hydrocarbon group or heterocyclic group bonded to two silicon atoms. And the main chain skeleton is composed of a Si—Si bond and, in some cases, a Si—R 3 —Si bond, a is 1.00 to 1.97, b is a positive number, and c is 0 ≦ c.
/(An+bn+c)≦0.3;
n represents a weight average molecular weight of the polysilane of 500 to 3,000.
The conductive polysilane composition according to claim 1, wherein the number is selected to be 0.000).
【請求項3】 オニウム塩が、ヨードニウム塩またはス
ルホニウム塩である、請求項1または2記載の導電性ポ
リシラン組成物。
3. The conductive polysilane composition according to claim 1, wherein the onium salt is an iodonium salt or a sulfonium salt.
【請求項4】 酸化性物質が、ヨウ素、塩化第二鉄また
は五フッ化アンチモンである、請求項1〜3のいずれか
1項に記載の導電性ポリシラン組成物。
4. The conductive polysilane composition according to claim 1, wherein the oxidizing substance is iodine, ferric chloride, or antimony pentafluoride.
【請求項5】 オニウム塩を添加したポリシランの薄膜
を形成した後、酸化性物質をドーピングすることを特徴
とする導電性ポリシラン組成物の製造方法。
5. A method for producing a conductive polysilane composition, comprising forming a polysilane thin film to which an onium salt is added, and then doping with an oxidizing substance.
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