JP3226645B2 - Surface acoustic wave filter - Google Patents

Surface acoustic wave filter

Info

Publication number
JP3226645B2
JP3226645B2 JP00980493A JP980493A JP3226645B2 JP 3226645 B2 JP3226645 B2 JP 3226645B2 JP 00980493 A JP00980493 A JP 00980493A JP 980493 A JP980493 A JP 980493A JP 3226645 B2 JP3226645 B2 JP 3226645B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
comb
electrodes
surface acoustic
electrode
pair
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP00980493A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06224683A (en
Inventor
恭一 篠田
吉彦 安原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP00980493A priority Critical patent/JP3226645B2/en
Publication of JPH06224683A publication Critical patent/JPH06224683A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3226645B2 publication Critical patent/JP3226645B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、トランスバーサル型の
弾性表面波フィルタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transversal type surface acoustic wave filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4にトランスバーサル型の弾性表面波
フィルタにおける電極構造の一般的な例を示す。同図に
示す例では、入力側にアポタイズ重み付けされた一対の
くし型電極1、2を設け、出力側にアポタイズ重み付け
されない一対のくし型電極3、4を設けている。そし
て、これをフィルタとして動作させるためには、図5に
示すように、入力側の一方のくし型電極1に信号源5を
接続し、他方のくし型電極2を接地するとともに、出力
側の一方のくし型電極3に増幅器6を接続し、他方のく
し型電極4を接地するアンバランス型の回路構成とす
る。
2. Description of the Related Art FIG. 4 shows a general example of an electrode structure in a transversal type surface acoustic wave filter. In the example shown in the figure, a pair of comb-shaped electrodes 1 and 2 weighted with apodization are provided on the input side, and a pair of comb-shaped electrodes 3 and 4 not weighted with apodization are provided on the output side. To operate this as a filter, as shown in FIG. 5, a signal source 5 is connected to one of the comb electrodes 1 on the input side, the other comb electrode 2 is grounded, and An amplifier 6 is connected to one comb-shaped electrode 3 and the other comb-shaped electrode 4 is grounded.

【0003】しかし、このような回路構成では、入力側
のくし型電極1に入力される信号の実効電圧Vinとくし
型電極2の電位(0)とが、出力側のくし型電極3から
出力される信号の実効電圧Vout とくし型電極4の電位
(0)とが、それぞれアンバランスであることから、入
出力信号に重畳したノイズや、入出力回路間の静電結合
や電磁結合による誘導によって帯域内に振幅リップルや
群遅延リップルが生じ、所望のフィルタ特性が得られな
い場合がある。
However, in such a circuit configuration, the effective voltage Vin of the signal input to the comb electrode 1 on the input side and the potential (0) of the comb electrode 2 are output from the comb electrode 3 on the output side. The effective voltage Vout of the signal and the potential (0) of the comb-shaped electrode 4 are unbalanced. In some cases, amplitude ripples and group delay ripples occur, and desired filter characteristics cannot be obtained.

【0004】そこで、図6に示すように、信号源5をバ
ルントランス7を介して入力側の各くし型電極1、2
(以下、くし型電極1をhot1、くし型電極2をco
ld2と呼ぶ。)に接続するとともに、出力側の各くし
型電極3、4(以下、くし型電極3をhot3、くし型
電極4をcold4と呼ぶ。)を差動増幅器8に接続し
たバランス型の回路構成とすることが行われている。こ
のような回路構成にすると、入力側にノイズが乗った場
合、入力側のhot1とcold2には同相のノイズが
それぞれ重畳し、フィルタ内を通過する各ノイズ信号は
所定の伝達関数が乗じられて出力側のhot3とcol
d4より出力されるが、出力されるノイズ信号は同相で
かつ同じ大きさであることから差動増幅器8でキャンセ
ルされる。また、出力側に新たに乗ったノイズも同様に
差動増幅器8でキャンセルされる。また、入出力間の誘
導は、圧電基板上のくし型電極1、2とくし型電極3、
4との間にシールド電極を設けることで、効果的に抑圧
できる。
Therefore, as shown in FIG. 6, a signal source 5 is connected to each of the comb electrodes 1, 2 on the input side via a balun transformer 7.
(Hereinafter, the comb-shaped electrode 1 is hot1, and the comb-shaped electrode 2 is co.
Call it ld2. ), And each of the comb-shaped electrodes 3 and 4 on the output side (hereinafter, the comb-shaped electrode 3 is referred to as “hot3” and the comb-shaped electrode 4 is referred to as “cold4”). That is being done. With such a circuit configuration, when noise is present on the input side, in-phase noise is superimposed on hot1 and cold2 on the input side, and each noise signal passing through the filter is multiplied by a predetermined transfer function. Output hot3 and col
Although output from d4, the output noise signal is canceled by the differential amplifier 8 because it is in phase and the same magnitude. Further, noise newly loaded on the output side is similarly canceled by the differential amplifier 8. In addition, the induction between the input and output is performed by the comb electrodes 1 and 2 and the comb electrodes 3 on the piezoelectric substrate.
4 can be suppressed effectively by providing a shield electrode between them.

【0005】さらに、外部端子の入出力間の誘導は、出
力側のhot3とcold4に弾性表面波が同レベルか
つ同相で到達すると仮定すると、差動増幅器8でキャン
セルされることになる。
Further, the induction between the input and output of the external terminal is canceled by the differential amplifier 8 assuming that the surface acoustic waves reach the hot 3 and the cold 4 on the output side at the same level and in the same phase.

【0006】しかも、バランス型の回路構成とすること
で、電気的に誘導を取り除くことができる。ここで、図
7にバランス型の回路構成の場合に入力側の電極に生じ
る電圧と信号源電圧との関係を示し、図8にアンバラン
ス型の回路構成の場合に入力側の電極に生じる電圧と信
号源電圧との関係を示す。図7に示すように、バランス
型の回路構成の場合、hot1は1/2V、cold2
は−1/2Vの電位になる。図8に示すように、アンバ
ランス型の回路構成の場合、hot1はV、cold2
は0の電位になる。したがって、バランス型の回路構成
の場合、電極の実効電圧は0になり、アンバランス型の
回路構成の場合、電極の実効電圧は1/2Vになる。つ
まり、実効電圧が0であれば電磁放射がないのであるか
ら、バランス型の回路構成とすれば電磁放射による誘導
をなくすことができる。なお、このことは、出力側の電
極でも同様である。
In addition, by using a balanced circuit configuration, induction can be electrically removed. Here, FIG. 7 shows the relationship between the voltage generated at the input side electrode and the signal source voltage in the case of the balanced type circuit configuration, and FIG. 8 shows the voltage generated at the input side electrode in the case of the unbalanced type circuit configuration. And the relationship between the signal and the signal source voltage. As shown in FIG. 7, in the case of a balanced circuit configuration, hot1 is 1/2 V, cold2
Has a potential of -1 / 2V. As shown in FIG. 8, in the case of an unbalanced circuit configuration, hot1 is V, cold2
Becomes 0 potential. Therefore, in the case of a balanced circuit configuration, the effective voltage of the electrode is 0, and in the case of the unbalanced circuit configuration, the effective voltage of the electrode is 1 / 2V. That is, if the effective voltage is 0, there is no electromagnetic radiation. Therefore, if a circuit configuration of a balance type is used, induction by electromagnetic radiation can be eliminated. This also applies to the output side electrode.

【0007】ところで、バランス型の回路構成におい
て、hot、cold間の実効電圧を実際に0とするた
めには、hotとcoldとが幾何学的に対称であるこ
とが前提となる。つまり、hotからみたcoldと、
coldからみたhotが合同であることが必要とされ
る。
By the way, in a balanced circuit configuration, in order to make the effective voltage between hot and cold actually zero, it is assumed that hot and cold are geometrically symmetric. In other words, cold from the viewpoint of hot,
It is required that the hots seen from the cold are congruent.

【0008】しかしながら、図4に示した従来の電極構
造では、hotの電極指とcoldの電極指とを交叉し
た構造としているので、hotとcoldとが幾何学的
に完全に対称とはいえない。このため、hot、col
d間の実効電圧は実際には0とはならず、入力側のho
t、cold間である電位を生じて電磁波が発生し、こ
の電磁波が出力側の電極に直接波として飛び込み、誘導
による特性劣化を引き起こす。
However, in the conventional electrode structure shown in FIG. 4, since the hot electrode finger and the cold electrode finger cross each other, the hot and cold are not completely geometrically symmetric. . For this reason, hot, col
The effective voltage between d and d does not actually become 0, and
An electromagnetic wave is generated by generating a certain potential between t and cold, and this electromagnetic wave jumps into the output-side electrode as a direct wave, causing characteristic deterioration due to induction.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】このように弾性表面波
フィルタをバランス型の回路構成としても、従来の弾性
表面波フィルタの電極構造では、hotとcoldとが
幾何学的に完全に対称ではないため、hot、cold
間の実効電圧が0とはならず、誘導による特性劣化を引
き起こしていた。
As described above, even if the surface acoustic wave filter is configured as a balanced circuit, in the electrode structure of the conventional surface acoustic wave filter, hot and cold are not completely geometrically symmetric. Because of hot, cold
The effective voltage between them did not become 0, causing characteristic deterioration due to induction.

【0010】本発明は、このような事情に基づきなされ
たもので、バランス型の回路構成とすることで対向する
くし型電極間の実効電圧を0にでき耐誘導特性に優れた
弾性表面波フィルタを提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has a balanced type circuit configuration to reduce the effective voltage between opposing comb-shaped electrodes to zero, and to provide a surface acoustic wave filter having excellent induction resistance. It is intended to provide.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】 本発明は、かかる課題
を解決するため、圧電基板上に弾性表面波を励振する一
対のくし型電極と弾性表面波を受信する一対のくし型電
極とを設け、前記各対のくし型電極間に接地されたブス
バーを互いに同一直線上にのるように配置するととも
に、前記各対のくし型電極を前記ブスバーを挟んで各対
のくし型電極の各電極指が対向しかつ鏡面対称となるよ
うに配置し、かつ前記くし型電極の電極指と交叉しかつ
前記ブスバーに接続された電極指を前記ブスバーに挟ん
で鏡面対称となるように配置し、かついずれか一方のく
し型電極対にアポタイズ重み付けしたことを特徴とす
る。
Means for Solving the Problems In order to solve the problem, the present invention provides a pair of comb-shaped electrodes for exciting surface acoustic waves and a pair of comb-shaped electrodes for receiving surface acoustic waves on a piezoelectric substrate. , together arranged to rest on the same straight line with one another bus bars that is grounded between before Symbol interdigital electrodes of each pair, each of the comb electrodes of each pair interdigital electrodes of each pair across the bus bars The electrode fingers are arranged so as to face each other and are mirror-symmetrical, and are arranged so as to be mirror-symmetrical with the electrode fingers of the comb-shaped electrode intersecting and connected to the bus bar between the bus bars , And either one
The method is characterized in that the apodized weight is applied to the pair of electrode pairs .

【0012】上記弾性表面波フィルタにおいては、各対
のくし型電極間に挟まれたブスバーを1本のブスバーで
構成してもよい。また、各対のくし型電極間に挟まれた
ブスバーの間にシールド電極を配置してもよい。
In the above-mentioned surface acoustic wave filter, the bus bar sandwiched between each pair of comb-shaped electrodes may be constituted by one bus bar. Further, a shield electrode may be arranged between bus bars sandwiched between each pair of comb electrodes.

【0013】[0013]

【作用】本発明では、くし型電極対がそれぞれブスバー
を挟んで鏡面対称であることから、バランス型の回路構
成とすることで、くし型電極対間の実効電圧がそれぞれ
完全に0になる。したがって、各くし型電極対から電磁
波が放射されることがなくなり、誘導による特性劣化を
引き起こすことはない。
In the present invention, since the comb-shaped electrode pairs are mirror-symmetrical with respect to each other with the bus bar interposed therebetween, the effective voltage between the comb-shaped electrode pairs is completely zero by employing a balanced circuit configuration. Therefore, no electromagnetic wave is radiated from each comb-shaped electrode pair, and no characteristic deterioration due to induction is caused.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0015】図1は本発明の一実施例に係る弾性表面波
フィルタの平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a surface acoustic wave filter according to one embodiment of the present invention.

【0016】同図において、10は圧電基板である。こ
の圧電基板10上には、弾性表面波を励振する入力側の
一対のくし型電極11、12と弾性表面波を受信する出
力側の一対のくし型電極13、14が設けられている。
そして、入力側のくし型電極11、12には、アポタイ
ズ重み付けがされている。
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a piezoelectric substrate. On the piezoelectric substrate 10, a pair of comb electrodes 11, 12 on the input side for exciting surface acoustic waves and a pair of comb electrodes 13, 14 on the output side for receiving surface acoustic waves are provided.
The comb-shaped electrodes 11 and 12 on the input side are weighted with apodization.

【0017】くし型電極11、12間およびくし型電極
13、14には、それぞれ接地されたブスバー15、1
6が配置されている。そして、これらブスバー15とブ
スバー16とは、同一直線上にのるように配置されてい
る。
Between the comb electrodes 11 and 12, and between the comb electrodes 13 and 14, bus bars 15, 1
6 are arranged. The bus bar 15 and the bus bar 16 are arranged on the same straight line.

【0018】また、くし型電極11、12は、ブスバー
15を挟んでくし型電極11、12の各電極指11a、
12aが対向しかつ鏡面対称となるように配置されてい
る。同様に、くし型電極13、14も、ブスバー16を
挟んでくし型電極13、14の各電極指13a、14a
が対向しかつ鏡面対称となるように配置されている。さ
らに、ブスバー15には、くし型電極11、12の電極
指11a、12aと交叉する電極指15aがブスバー1
5を挟んで鏡面対称となるように接続されている。同様
に、ブスバー16にも、くし型電極13、14の電極指
13a、14aと交叉する電極指16aがブスバー16
を挟んで鏡面対称となるように接続されている。
The electrode fingers 11a of the comb electrodes 11 and 12 sandwich the bus bar 15 therebetween.
12a are arranged so as to face each other and have mirror symmetry. Similarly, each of the comb electrodes 13 and 14 has the electrode fingers 13 a and 14 a of the comb electrodes 13 and 14 with the bus bar 16 interposed therebetween.
Are arranged so as to face each other and have mirror symmetry. Further, the bus bar 15 is provided with an electrode finger 15a intersecting with the electrode fingers 11a and 12a of the comb-shaped electrodes 11 and 12.
5 are connected so as to be mirror-symmetrical. Similarly, the bus bar 16 is also provided with an electrode finger 16 a crossing the electrode fingers 13 a and 14 a of the comb electrodes 13 and 14.
Are connected so as to be mirror-symmetrical with respect to.

【0019】そして、このように構成された弾性表面波
フィルタを用い、図6に示したようなバランス型の回路
構成とする。
Using the surface acoustic wave filter thus configured, a balanced circuit configuration as shown in FIG. 6 is obtained.

【0020】ここで、入力側のくし型極11、12をバ
ランス信号で駆動した場合、これらくし型極11、12
はブスバー15を挟んでくし型電極11、12の各電極
指11a、12aが対向しかつ鏡面対称となるように配
置されているので、入力側のくし型極11、12全体の
実効電圧は0となる。これにより、入力側のくし型極1
1、12から出力側のくし型電極13、14への電磁波
の放射がなくなる。
Here, when the comb-shaped poles 11 and 12 on the input side are driven by a balance signal, these comb-shaped poles 11 and 12 are driven.
Are arranged so that the electrode fingers 11a and 12a of the comb-shaped electrodes 11 and 12 face each other with the bus bar 15 therebetween and are mirror-symmetrical, so that the effective voltage of the entire comb-shaped poles 11 and 12 on the input side is zero. Becomes Thereby, the comb-shaped pole 1 on the input side
Electromagnetic waves are not radiated from the electrodes 1 and 12 to the comb electrodes 13 and 14 on the output side.

【0021】また、入力側のくし型極11、12および
ブスバー15で励振された表面波は出力側のくし型電極
13、14およびブスバー16により受信されて電気信
号に変換されるが、図6に示したようにこれをバランス
信号で出力信号を取り出し差動増幅器8に入力する場合
には、出力側のくし型電極13、14はブスバー16を
挟んでくし型電極13、14の各電極指13a、14a
が対向しかつ鏡面対称となるように配置されているの
で、入力側のくし型極11、12の場合と同様、出力側
のくし型電極13、14全体の実効電圧は0となる。こ
れにより、出力側のくし型電極13、14から入力側の
くし型極11、12への電磁波の放射がなくなる。
The surface waves excited by the comb-shaped poles 11 and 12 and the bus bar 15 on the input side are received by the comb-shaped electrodes 13 and 14 and the bus bar 16 on the output side and are converted into electric signals. When the output signal is taken out as a balance signal and input to the differential amplifier 8 as shown in (1), the comb electrodes 13 and 14 on the output side are connected to the electrode fingers of the comb electrodes 13 and 14 with the bus bar 16 interposed therebetween. 13a, 14a
Are arranged so as to face each other and have mirror symmetry, so that the entire effective voltage of the comb electrodes 13 and 14 on the output side becomes 0 as in the case of the comb electrodes 11 and 12 on the input side. As a result, radiation of electromagnetic waves from the comb electrodes 13 and 14 on the output side to the comb electrodes 11 and 12 on the input side is eliminated.

【0022】このように本発明の弾性表面波フィルタを
用い、図6に示したようなバランス型の回路構成とすれ
ば、入力側のくし型極11、12と出力側のくし型電極
13、14の相互間の電磁波の放射がなくなるので、耐
誘導特性に優れたフィルタを実現できる。
As described above, when the surface acoustic wave filter of the present invention is used and the circuit configuration is of a balanced type as shown in FIG. 6, the comb-shaped poles 11 and 12 on the input side and the comb-shaped electrodes 13 on the output side are Since the radiation of the electromagnetic wave between the fourteen is eliminated, a filter having excellent induction resistance can be realized.

【0023】なお、本発明の弾性表面波フィルタでは、
入力側のブスバー15およびくし型極11で励振された
信号は出力側のブスバー16およびくし型電極13で、
入力側のブスバー15およびくし型極12で励振された
信号は出力側のブスバー16およびくし型電極14で受
信しなければならないので、ブスバー15とブスバー1
6とを同一直線上にのるように配置している。
In the surface acoustic wave filter of the present invention,
The signal excited by the input-side bus bar 15 and the comb-shaped pole 11 is output by the output-side bus bar 16 and the comb-shaped electrode 13.
The signals excited by the busbar 15 on the input side and the comb-shaped pole 12 must be received by the busbar 16 and the comb-shaped electrode 14 on the output side.
6 are arranged on the same straight line.

【0024】また、本発明の弾性表面波フィルタは、従
来のそれに対して電極構造のみの変更で実現できるた
め、露光マスクの変更だけで従来の製造プロセス、設備
で製造できる。
Further, since the surface acoustic wave filter of the present invention can be realized by changing only the electrode structure, it can be manufactured by the conventional manufacturing process and equipment only by changing the exposure mask.

【0025】本発明は、上述した実施例に限定されな
い。
The present invention is not limited to the embodiment described above.

【0026】例えば、図2に示すように、各対のくし型
電極間に挟まれたブスバーを1本のブスバー17で構成
してもよい。
For example, as shown in FIG. 2, the bus bar sandwiched between each pair of comb electrodes may be constituted by one bus bar 17.

【0027】また、図3に示すように各対のくし型電極
間に挟まれたブスバー15、16の間にシールド電極1
8を配置してもよい。
As shown in FIG. 3, a shield electrode 1 is provided between bus bars 15, 16 sandwiched between each pair of comb electrodes.
8 may be arranged.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように本発明の弾性表面波
フィルタによれば、バランス型の回路構成とすることで
対向するくし型電極間の実効電圧を0にできるので、各
くし型電極対から電磁波が放射されることがなくなり、
耐誘導特性に優れたフィルタを実現できる。また、従来
の弾性表面波フィルタの電極構造のみを変更すればよい
ので、製造コストの面でも問題がない。
As described above, according to the surface acoustic wave filter of the present invention, the effective voltage between the opposing interdigital electrodes can be made zero by forming a balanced circuit configuration. No longer emits electromagnetic waves from
A filter having excellent induction resistance can be realized. Further, since only the electrode structure of the conventional surface acoustic wave filter needs to be changed, there is no problem in terms of manufacturing cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る弾性表面波フィルタの
平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a surface acoustic wave filter according to one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例に係る弾性表面波フィルタ
の平面図である。
FIG. 2 is a plan view of a surface acoustic wave filter according to another embodiment of the present invention.

【図3】本発明の他の実施例に係る弾性表面波フィルタ
の平面図である。
FIG. 3 is a plan view of a surface acoustic wave filter according to another embodiment of the present invention.

【図4】従来のトランスバーサル型の弾性表面波フィル
タにおける電極構造の平面図である。
FIG. 4 is a plan view of an electrode structure in a conventional transversal surface acoustic wave filter.

【図5】弾性表面波フィルタを用いたアンバランス型の
回路構成を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an unbalanced circuit configuration using a surface acoustic wave filter.

【図6】弾性表面波フィルタを用いたバランス型の回路
構成を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a balanced circuit configuration using a surface acoustic wave filter.

【図7】バランス型の回路構成の場合に入力側の電極に
生じる電圧と信号源電圧との関係を示す図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a relationship between a voltage generated at an input electrode and a signal source voltage in the case of a balanced circuit configuration.

【図8】アンバランス型の回路構成の場合に入力側の電
極に生じる電圧と信号源電圧との関係を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a relationship between a voltage generated at an input-side electrode and a signal source voltage in the case of an unbalanced circuit configuration.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…圧電基板、11、12…入力側のくし型電極、1
3、14…出力側のくし型電極、15…入力側のブスバ
ー、16…出力側のブスバー、11a、12a…入力側
のくし型電極の電極指、13a、14a…出力側のくし
型電極の電極指、15a…入力側のブスバーの電極指、
16a…出力側のブスバーの電極指。
10: piezoelectric substrate, 11, 12: comb-shaped electrode on input side, 1
3, 14 ... comb electrodes on the output side, 15 ... busbars on the input side, 16 ... busbars on the output side, 11a, 12a ... electrode fingers of the comb electrodes on the input side, 13a, 14a ... comb electrodes on the output side Electrode finger, 15a ... electrode finger of busbar on input side,
16a: electrode fingers of the busbar on the output side.

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−77646(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/145 H03H 9/64 Continuation of the front page (56) References JP-A-52-77646 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H03H 9/145 H03H 9/64

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 圧電基板上に弾性表面波を励振する一対
のくし型電極と弾性表面波を受信する一対のくし型電極
とを設け 記各対のくし型電極間に接地されたブスバーを互いに
同一直線上にのるように配置するとともに、前記各対の
くし型電極を前記ブスバーを挟んで各対のくし型電極の
各電極指が対向しかつ鏡面対称となるように配置し、か
つ前記くし型電極の電極指と交叉しかつ前記ブスバーに
接続された電極指を前記ブスバーに挟んで鏡面対称とな
るように配置し、かついずれか一方のくし型電極対にア
ポタイズ重み付けしたことを特徴とする弾性表面波フィ
ルタ。
1. A provided a pair of comb electrodes for receiving a pair of comb electrodes and the surface acoustic wave for exciting surface acoustic waves on a piezoelectric substrate, which is grounded before SL between interdigital electrodes of each pair busbar Are arranged so as to be on the same straight line with each other, and the comb-shaped electrodes of each pair are arranged so that the electrode fingers of the comb-shaped electrodes of each pair face each other with the bus bar therebetween and are mirror-symmetrical, and a in said cross the electrode fingers of the interdigital electrodes and the electrode fingers connected to the bus bar is arranged so as to be mirror-symmetrical with respect to said bus bars, and one of the comb-shaped electrode pairs either
A surface acoustic wave filter characterized by being weighted with a potize .
【請求項2】 請求項1記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 各対のくし型電極間に挟まれたブスバーを1本のブスバ
ーで構成したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
2. The surface acoustic wave filter according to claim 1, wherein a bus bar sandwiched between each pair of comb electrodes is constituted by one bus bar.
【請求項3】 請求項1記載の弾性表面波フィルタにお
いて、 各対のくし型電極間に挟まれたブスバーの間にシールド
電極を配置したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
3. The surface acoustic wave filter according to claim 1, wherein a shield electrode is arranged between bus bars sandwiched between each pair of comb electrodes.
JP00980493A 1993-01-25 1993-01-25 Surface acoustic wave filter Expired - Fee Related JP3226645B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP00980493A JP3226645B2 (en) 1993-01-25 1993-01-25 Surface acoustic wave filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP00980493A JP3226645B2 (en) 1993-01-25 1993-01-25 Surface acoustic wave filter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06224683A JPH06224683A (en) 1994-08-12
JP3226645B2 true JP3226645B2 (en) 2001-11-05

Family

ID=11730379

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP00980493A Expired - Fee Related JP3226645B2 (en) 1993-01-25 1993-01-25 Surface acoustic wave filter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3226645B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4962717B2 (en) * 2007-04-25 2012-06-27 株式会社島津製作所 High frequency induction heating device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06224683A (en) 1994-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20180048289A1 (en) Acoustic wave element, duplexer, and communication module
US7683735B2 (en) Balanced acoustic wave filter
US7528683B2 (en) Balanced acoustic wave filter device
US6777855B2 (en) Surface wave converter with optimized reflection
US7429905B2 (en) Balanced acoustic wave filter
JPS5948565B2 (en) Coupled elastic wave resonator device
JP3226645B2 (en) Surface acoustic wave filter
US7479853B2 (en) Balanced type surface acoustic wave filter
JP3174052B2 (en) Low loss surface acoustic wave filter
JP5977181B2 (en) Elastic wave device, duplexer and communication module
US4539502A (en) Magnetic feedthrough cancelling surface acoustic wave device
JPH09172342A (en) Dual mode surface acoustic wave resonator filter
JPH0633423Y2 (en) Black cell
JP2714189B2 (en) Surface acoustic wave filter and communication device using the same
JPS62142409A (en) Electrode structure for reflector type high frequency narrow-band multiplex mode filter
JP2590347B2 (en) Surface acoustic wave device
JP3355039B2 (en) Surface acoustic wave device
JPS60246115A (en) Surface wave filter
JP3157022B2 (en) Surface acoustic wave device and communication system using the same
JPH08307191A (en) Surface acoustic wave device
JPS6130338Y2 (en)
JPH03127505A (en) Surface acoustic wave device
JP2001244776A (en) Surface acoustic wave filter
JPS5826688B2 (en) Dansei Hiyoumenhasouchi
JPH03242013A (en) Surface acoustic wave device

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010814

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070831

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080831

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090831

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090831

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110831

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees