JP3222319B2 - Electrostatic actuator - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はサンバイザ、ムーンルー
フ、リアウィンド等の動力源として好適に使用される静
電アクチュエータに関し、詳しくは、固定子と固定子に
対向して配置した移動子の間に発生させた静電気による
吸引力、反発力により移動子を駆動する静電アクチュエ
ータにおいて、移動子を駆動する出力の向上に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic actuator suitably used as a power source for a sun visor, a moon roof, a rear window, and the like. The present invention relates to an improvement in an output for driving a moving element in an electrostatic actuator that drives the moving element by a suction force and a repulsive force due to the generated static electricity.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の静電アクチュエータとし
ては、例えば特開平３−２７７８３号に、図９に示すよ
うな静電アクチュエータが開示されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as this type of electrostatic actuator, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 3-27783 discloses an electrostatic actuator as shown in FIG.
【０００３】この静電アクチュエータは、金属体１ａと
絶縁層１ｂを交互に等間隔で配置した移動子１と、この
移動子１の両側に配置した固定子２，２を備えている。
この固定子２は、絶縁層３の表面に等間隔で配置した電
極４を備え、これらの電極４を相互に接続して３相（Ｒ
相，Ｓ相，Ｔ相）としている。この３相に印加する電圧
の極性は、図１０に示すように、正（以下、“＋”と表
記する。）、電位が０（以下、“０”と表記する。）及
び負（以下、“−”と表記する。）の３種間で切り替え
られ、移動子１の金属体１ａと電極４の間に生じる吸引
力、反発力により移動子１が固定子２に対して移動す
る。[0003] This electrostatic actuator comprises a moving element 1 in which metal bodies 1a and insulating layers 1b are alternately arranged at equal intervals, and stators 2 and 2 arranged on both sides of the moving element 1.
The stator 2 includes electrodes 4 arranged at equal intervals on the surface of the insulating layer 3, and these electrodes 4 are interconnected to form a three-phase (R
Phase, S phase, T phase). As shown in FIG. 10, the polarity of the voltage applied to the three phases is positive (hereinafter, described as “+”), the potential is 0 (hereinafter, described as “0”), and the polarity is negative (hereinafter, described as “0”). (Indicated by “−”)), and the movable element 1 moves with respect to the stator 2 due to a suction force and a repulsive force generated between the metal body 1 a of the movable element 1 and the electrode 4.
【０００４】また、本出願人に係る特願平５−４２８４
８号では、図１１に示すような静電アクチュエータが開
示されている。この図１１の静電アクチュエータでは、
固定子６は、絶縁層７の表面に等間隔で配置した多数の
電極８ａ，８ｂ，８ｃ・・・８ａ，８ｂ，８ｃ・・・８
ａ，８ｂ，８ｃを備え、これらの電極８ａ〜８ｃのうち
二つおきに位置する各電極８ａ〜８ｃを相互に接続して
３相（Ａ相，Ｂ相，Ｃ相）としている。上記固定子６の
電極８ａ〜８ｃに印加する電圧の極性は、図１２で示す
ように、“＋”と“−”の２種間で切り替える。また、
移動子９も、絶縁層１０の表面に多数の電極１１ａ，１
１ｂ，１１ｃ・・・１１ａ，１１ｂ，１１ｃ・・・１１
ａ，１１ｂ，１１ｃを備え、これらの電極１１ａ〜１１
ｃのうち二つおきに位置する各電極１１ａ〜１１ｃを相
互に接続して３相（ａ相，ｂ相，ｃ相）とし、さらにｂ
相とｃ相を接続してｂｃ相としている。また、ａ相の電
極１１ａに“＋”の高電圧を固定的に印加する一方、ｂ
ｃ相の電極１１ｂ，１１ｃには“−”の高電圧を固定的
に印加しており、移動子９の電極１１ａ〜１１ｃと固定
子６の電極８ａ〜８ｃとの間に生じる吸引力、反発力に
より、移動子９は固定子６に対して浮上した状態で移動
する。[0004] Japanese Patent Application No. Hei 5-4284 filed by the applicant of the present invention.
No. 8 discloses an electrostatic actuator as shown in FIG. In the electrostatic actuator of FIG.
The stator 6 has a large number of electrodes 8a, 8b, 8c ... 8a, 8b, 8c ... 8 arranged at equal intervals on the surface of the insulating layer 7.
a, 8b, and 8c, and three electrodes (A phase, B phase, and C phase) are connected to each other at every third electrode 8a to 8c among these electrodes 8a to 8c. The polarity of the voltage applied to the electrodes 8a to 8c of the stator 6 is switched between "+" and "-" as shown in FIG. Also,
The mover 9 also has a large number of electrodes 11a, 1 on the surface of the insulating layer 10.
1b, 11c ... 11a, 11b, 11c ... 11
a, 11b, 11c, and these electrodes 11a-11
Each of the electrodes 11a to 11c located at every third one of c is connected to each other to form three phases (a phase, b phase, c phase), and b
The phase and the c phase are connected to form the bc phase. In addition, while a high voltage of “+” is fixedly applied to the a-phase electrode 11a,
A high voltage of "-" is fixedly applied to the c-phase electrodes 11b and 11c, and a suction force and a repulsion generated between the electrodes 11a to 11c of the movable element 9 and the electrodes 8a to 8c of the stator 6 are applied. Due to the force, the moving member 9 moves while floating with respect to the stator 6.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記図９に示
す静電アクチュエータでは、固定子２の電極４に対して
印加する電極の極性が“０”となる場合があり、この時
は、電極４と移動子１の金属体１ａの間に吸引力、反発
力が生じない。そのため、この静電アクチュエータで
は、移動子１に対する十分な駆動力を得ることができな
い。However, in the electrostatic actuator shown in FIG. 9, the polarity of the electrode applied to the electrode 4 of the stator 2 may be "0". No suction force or repulsion force is generated between the metal member 4 and the metal body 1a of the moving element 1. Therefore, this electrostatic actuator cannot obtain a sufficient driving force for the moving element 1.
【０００６】また、図９の静電アクチュエータでは、上
記のように移動子１には電圧を印加しておらず、移動子
１の金属体１ａが固定子２の電極４と反対の極性に帯電
するまでは電極４に印加する電圧の極性を切り替えるこ
とができない。そのため、この静電アクチュエータで
は、移動子１を高速で移動させるのは困難である。In the electrostatic actuator shown in FIG. 9, no voltage is applied to the movable element 1 as described above, and the metal body 1a of the movable element 1 is charged to the opposite polarity to the electrode 4 of the stator 2. Until the switching, the polarity of the voltage applied to the electrode 4 cannot be switched. Therefore, it is difficult for this electrostatic actuator to move the moving element 1 at high speed.
【０００７】さらに、この静電アクチュエータでは、３
相とした固定子２の電極４に対して“＋”“０”“−”
の３種類の極性の電圧を印加するため、極性を切り替え
るためのリレーが多数個必要である。そのため、この静
電アクチュエータは構造が複雑であると共に、コストが
高いという問題がある。Further, in this electrostatic actuator, 3
“+”, “0”, “−” with respect to the electrode 4 of the stator 2 in the phase
Therefore, a large number of relays for switching the polarity are required in order to apply the three types of voltages. Therefore, this electrostatic actuator has a problem that the structure is complicated and the cost is high.
【０００８】一方、上記図１１に示す特願平５−４２８
４８号に係る静電アクチュエータでは、固定子６の電極
８ａ〜８ｃに印加する電圧の極性は“＋”と“−”の２
種類であり、電極８ａ〜８ｃ，１１ａ〜１１ｃの極性が
“０”となる場合がないため、上記図１０のアクチュエ
ータと比較して移動子９に対して高い駆動力を付与する
ことができると共に、極性を切り替えるために必要なリ
レーの個数も少ない。また、この静電アクチュエータで
は、移動子９にも電極１１ａ〜１１ｃを設けて固定的に
電圧を印加しているため、上記図９の静電アクチュエー
タと比較して移動子９を高速で移動させることが可能で
ある。On the other hand, Japanese Patent Application No. 5-428 shown in FIG.
In the electrostatic actuator according to No. 48, the polarity of the voltage applied to the electrodes 8a to 8c of the stator 6 is two of "+" and "-".
Since the electrodes 8a to 8c and the polarities of the electrodes 11a to 11c do not become "0", a higher driving force can be applied to the moving element 9 as compared with the actuator of FIG. Also, the number of relays required to switch the polarity is small. Further, in this electrostatic actuator, since the movable element 9 is also provided with the electrodes 11a to 11c and the voltage is fixedly applied, the movable element 9 is moved at a higher speed than the electrostatic actuator of FIG. It is possible.
【０００９】しかし、この静電アクチュエータでは、上
記図１２に示すように、固定子６に印加される電圧の極
性は、１回の周期Ｔの３分の２が“＋”で残りの３分の
１が“−”であり、“＋”である時間は“−”である時
間よりも長い。また、絶縁層７は、一般に誘電体により
形成されている。そのため、この静電アクチュエータで
は、固定子６の絶縁層７が“−”に帯電する傾向があ
り、移動子９に対する駆動力が低下する原因となる。However, in this electrostatic actuator, as shown in FIG. 12, the polarity of the voltage applied to the stator 6 is “+” for two thirds of one cycle T and three minutes for the remaining three minutes. 1 is "-" and the time of "+" is longer than the time of "-". The insulating layer 7 is generally formed of a dielectric. Therefore, in this electrostatic actuator, the insulating layer 7 of the stator 6 tends to be charged "-", which causes a reduction in the driving force for the movable element 9.
【００１０】本発明、上記のような従来の静電アクチュ
エータにおける問題を解決するためになされたものであ
って、簡易な構成で固定子の絶縁層の帯電を防止し、移
動子に対する駆動力の向上を図ることを目的としてなさ
れたものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems in the conventional electrostatic actuator, and has a simple structure to prevent the insulating layer of the stator from being charged and to reduce the driving force applied to the moving element. This was done for the purpose of improvement.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】従って、請求項１は、絶
縁層の表面に複数の電極を配設した固定子と、絶縁層の
表面に複数の電極を配設し、上記固定子に対して対向し
て配置した移動子とを備え、上記移動子の電極に対して
正または負の電圧を固定的に印加すると共に、固定子の
電極に対して正または負の電圧を極性を切り替えて印加
し、移動子を所望の方向に移動させる吸引力と反発力を
発生させる構成とした静電アクチュエータにおいて、上
記移動子の停止時に固定子の電極の電位を０とする手段
を備えることを特徴とする静電アクチュエータを提供す
るものである。Accordingly, a first aspect of the present invention provides a stator having a plurality of electrodes disposed on a surface of an insulating layer and a plurality of electrodes disposed on a surface of the insulating layer. And a fixedly applied positive or negative voltage to the electrodes of the movable element, and switches the polarity of the positive or negative voltage to the electrodes of the fixed element. An electrostatic actuator configured to generate an attractive force and a repulsive force for applying and moving the moving element in a desired direction, characterized in that the electrostatic actuator includes means for setting the potential of the electrode of the stator to 0 when the moving element stops. Is provided.
【００１２】請求項２は、上記請求項１において、上記
移動子の停止後、移動子および固定子の電極に正または
負のいずれかの電圧を所定時間固定的に印加した後、固
定子および移動子の電極の電位を０とする手段を備える
ことを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, after the movable element is stopped, a positive or negative voltage is fixedly applied to the electrodes of the movable element and the stator for a predetermined time. It is characterized in that there is provided means for setting the potential of the electrode of the moving element to 0.
【００１３】請求項３は、上記請求項１において、上記
移動子の停止後、移動子および固定子の電極に正または
負のいずれかの電圧を所定時間固定的に印加した後、固
定子および移動子の電極の電位を０とすると共に、移動
子の移動開始時に、上記停止時に固定子の電極に所定時
固定的に印加する電圧と逆の極性の電圧を、固定子の電
極に所定時間印加する手段を備えることを特徴としてい
る。According to a third aspect of the present invention, after the movable element is stopped, either positive or negative voltage is fixedly applied to the electrodes of the movable element and the stator for a predetermined time. The potential of the electrode of the movable element is set to 0, and at the time of starting the movement of the movable element, a voltage having a polarity opposite to the voltage fixedly applied to the electrode of the stationary element at the predetermined time at the time of the stop is applied to the electrode of the stationary element for a predetermined time. It is characterized by having means for applying.
【００１４】請求項４は、絶縁層の表面に複数の電極を
配設した固定子と、絶縁層の表面に複数の電極を配設
し、上記固定子に対して対向して配置した移動子とを備
え、上記移動子の電極に対して正または負の電圧を固定
的に印加する一方、固定子の電極に対して正または負の
電圧を極性を切り替えて印加し、移動子を所望の方向に
移動させる吸引力と反発力を発生させる構成とした静電
アクチュエータにおいて、上記移動子の駆動中に、所定
時間間隔で所定時間の間、固定子の電極の電位を０とす
る手段を備えることを特徴とする静電アクチュエータを
提供するものである。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a stator having a plurality of electrodes disposed on a surface of an insulating layer, and a movable element having a plurality of electrodes disposed on a surface of the insulating layer and facing the stator. And fixedly applying a positive or negative voltage to the electrodes of the mover, while applying a positive or negative voltage to the electrodes of the stator by switching the polarity, and moving the mover to a desired position. An electrostatic actuator configured to generate an attraction force and a repulsion force to move in a direction, comprising means for setting the potential of the electrode of the stator to 0 for a predetermined time at a predetermined time interval during driving of the mover. It is intended to provide an electrostatic actuator characterized by the above.
【００１５】請求項５は、絶縁層の表面に複数の電極を
配設した固定子と、絶縁層の表面に複数の電極を配設
し、上記固定子に対して対向して配置した移動子とを備
え、上記移動子の電極に対して正または負の電圧を固定
的に印加する一方、固定子の電極に対して正または負の
電圧を極性を切り替えて印加し、移動子を所望の方向に
移動させる吸引力と反発力を発生させる構成とした静電
アクチュエータにおいて、上記移動子の駆動中に固定子
の電極に対して印加する電圧の極性のうち、印加する回
数の多い極性と逆の極性の電圧を所定時間間隔で所定時
間印加する手段を備えることを特徴とする静電アクチュ
エータを提供するものである。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a stator having a plurality of electrodes disposed on a surface of an insulating layer, and a movable element having a plurality of electrodes disposed on a surface of the insulating layer and disposed to face the stator. And fixedly applying a positive or negative voltage to the electrodes of the mover, while applying a positive or negative voltage to the electrodes of the stator by switching the polarity, and moving the mover to a desired position. In the electrostatic actuator configured to generate a suction force and a repulsion force to move in the direction, the polarity of the voltage applied to the electrode of the stator during driving of the moving member is opposite to the polarity of the voltage applied many times. And a means for applying a voltage having a polarity of at a predetermined time interval for a predetermined time.
【００１６】[0016]
【作用】請求項１の静電アクチュエータでは、移動子の
停止時に固定子の電極の電位を０とするため、固定子の
絶縁層が正または負に帯電するのを防止することができ
る。In the electrostatic actuator according to the first aspect, the potential of the electrode of the stator is set to 0 when the movable member stops, so that the insulating layer of the stator can be prevented from being positively or negatively charged.
【００１７】請求項２の静電アクチュエータでは、移動
子の停止時に固定子の電極の電位を０とするため、固定
子の絶縁層が正または負に帯電するのを防止でき、しか
も移動子の停止時に、固定子及び移動子の電極に所定時
間固定的に電圧を印加するため、移動子を確実に所定の
位置に停止させることができる。In the electrostatic actuator according to the present invention, the potential of the electrode of the stator is set to 0 when the movable member is stopped, so that the insulating layer of the stator can be prevented from being positively or negatively charged. At the time of stop, since a voltage is fixedly applied to the electrodes of the stator and the mover for a predetermined time, the mover can be reliably stopped at a predetermined position.
【００１８】請求項３の静電アクチュエータでは、移動
子を確実に所定の位置に停止させることができると共
に、移動子の移動、停止を頻繁に繰り替え場合にも、移
動子の絶縁層の帯電を確実に防止することができる。In the electrostatic actuator according to the third aspect, the movable element can be surely stopped at a predetermined position, and even when the movement and the stop of the movable element are frequently repeated, the charging of the insulating layer of the movable element is performed. It can be reliably prevented.
【００１９】請求項４の静電アクチュエータでは、移動
子の駆動中に、所定時間間隔で所定時間の間、固定子の
電極の電位を０とするため、固定子の絶縁層が正または
負に帯電するのを防止することができる。In the electrostatic actuator according to the fourth aspect, the potential of the electrode of the stator is set to 0 at a predetermined time interval for a predetermined time during driving of the movable element, so that the insulating layer of the stator becomes positive or negative. Charge can be prevented.
【００２０】請求項５の静電アクチュエータでは、移動
子の駆動中に固定子の電極に対して印加する電圧の極性
のうち、印加する回数の多い極性と逆の極性の電圧を所
定時間間隔で所定時間印加する構成としているため、固
定子の絶縁層が帯電するのを防止することができる。In the electrostatic actuator according to the fifth aspect, of the polarities applied to the electrodes of the stator during driving of the moving element, a voltage having a polarity opposite to the polarity applied many times is applied at predetermined time intervals. Since the voltage is applied for a predetermined time, the insulating layer of the stator can be prevented from being charged.
【００２１】[0021]
【実施例】次に、図面に示す実施例に基づいて、本発明
について詳細に説明する。図１は、第１実施例に係る静
電アクチュエータを示している。この静電アクチュエー
タは、移動子２１、固定子２２、制御手段２３および操
作スイッチ２４を備えている。Next, the present invention will be described in detail based on an embodiment shown in the drawings. FIG. 1 shows an electrostatic actuator according to the first embodiment. This electrostatic actuator includes a moving member 21, a stator 22, a control unit 23 and an operation switch 24.
【００２２】上記移動子２１は、誘電体からなる絶縁層
２６の表面に電極２７ａ，２７ｂ，２７ｃ・・・２７
ａ，２７ｂ，２７ｃ・・・２７ａ，２７ｂ，２７ｃを等
間隔で配置してなり、二つおきに位置する各電極２７
ａ，２７ｂ，２７ｃを相互に接続して３相としている。
また、この３相のうち、２相（電極２７ｂ，２７ｃ）を
相互に接続して１相としている。すなわち、本実施例で
は、移動子２１の電極２７ａ〜２７ｃを、Ｓ相（電極２
７ａ）とＴ相（電極２７ｂ，２７ｃ）の２相としてい
る。The movable element 21 has electrodes 27a, 27b, 27c... 27 on the surface of an insulating layer 26 made of a dielectric material.
a, 27b, 27c... 27a, 27b, 27c are arranged at equal intervals, and each electrode 27 positioned every third
a, 27b and 27c are interconnected to form three phases.
Also, of the three phases, two phases (electrodes 27b and 27c) are interconnected to form one phase. That is, in the present embodiment, the electrodes 27a to 27c of the moving element 21 are connected to the S phase (electrode 2).
7a) and a T phase (electrodes 27b, 27c).
【００２３】上記移動子２１の電極２７ａ〜２７ｃのう
ち、上記Ｓ相の電極２７ａをリレーＲ１に接続してい
る。このリレーＲ１は、制御手段２３からの指令に応じ
てａ側とｂ側に切り替えられ、ａ側に切り替えると電極
２７ａは“＋”に接続され、ｂ側に切り替えると、電極
２７ａは“０”に接続される。同様に、Ｔ相の電極２７
ｂ，２７ｃは、リレーＲ２に接続している。このリレー
Ｒ２は、制御手段２３からの指令に応じてａ側とｂ側に
切り替えられ、ａ側に切り替えると電極２７ｂ，２７ｃ
は“−”に接続され、ｂ側に切り替えると、電極２７
ｂ，２７ｃは“０”に接続される。The S-phase electrode 27a among the electrodes 27a to 27c of the movable element 21 is connected to the relay R1. The relay R1 is switched between the a side and the b side in response to a command from the control means 23. When the relay R1 is switched to the a side, the electrode 27a is connected to "+". Connected to. Similarly, the T-phase electrode 27
b and 27c are connected to the relay R2. The relay R2 is switched between the a side and the b side in response to a command from the control means 23, and when switched to the a side, the electrodes 27b and 27c are switched.
Is connected to “−”, and when switching to the b side, the electrode 27
b and 27c are connected to "0".
【００２４】上記固定子２２は、誘電体からなる絶縁層
２９の表面に等間隔で配置した多数の電極３０ａ，３０
ｂ，３０ｃ・・・３０ａ，３０ｂ，３０ｃ・・・３０
ａ，３０ｂ，３０ｃを備え、これらの電極３０ａ〜３０
ｃのうち二つおきに位置する各電極３０ａ〜３０ｃを相
互に接続して３相（Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相）としている。The stator 22 has a large number of electrodes 30a, 30 arranged at equal intervals on the surface of an insulating layer 29 made of a dielectric material.
b, 30c ... 30a, 30b, 30c ... 30
a, 30b, 30c, and these electrodes 30a-30
Each of the electrodes 30a to 30c positioned at every third of the lines c is interconnected to form three phases (U phase, V phase, W phase).
【００２５】上記固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃのう
ち、上記Ｕ相の電極３０ａをリレーＲ３に接続してい
る。このリレーＲ３は、制御手段２３の指令に応じて、
ｃ側とｄ側に切り替えられ、ｃ側に切り替えると電極３
０ａはリレーＲ６，Ｒ９側に接続され、ｄ側に切り替え
ると電極３０ａは“０”に接続される。これらリレーＲ
６，Ｒ９はそれぞれ高電圧源２５の“＋”、“−”に接
続しており上記制御手段２３からの指令に応じてＵ相の
電極３０ａ側と高電圧源２５の“＋”側、“−”側との
間を連通、遮断する。The U-phase electrode 30a among the electrodes 30a to 30c of the stator 22 is connected to a relay R3. This relay R3 responds to a command from the control means 23,
Switching to c side and d side, switching to c side causes electrode 3
0a is connected to the relays R6 and R9, and when switched to the d side, the electrode 30a is connected to "0". These relays R
6, R9 are connected to the "+" and "-" of the high voltage source 25, respectively, and in response to a command from the control means 23, the U-phase electrode 30a side and the "+" side of the high voltage source 25, " -Communication with the "" side is interrupted.
【００２６】同様に、Ｖ相の電極３０ｂをリレーＲ４に
接続している。このリレーＲ４は、制御手段２３の指令
に応じて、ｃ側とｄ側に切り替えられ、ｃ側に切り替え
ると電極３０ｂはリレーＲ７，Ｒ１０側に接続され、ｄ
側に切り替えると電極３０ｂは“０”に接続される。こ
れらリレーＲ７，Ｒ１０はそれぞれ高電圧源２５の
“＋”側、“−”側に接続しており上記制御手段２３か
らの指令に応じてＶ相の電極３０ｂ側と高電圧源２５の
“＋”側、“−”側との間を連通、遮断する。Similarly, the V-phase electrode 30b is connected to the relay R4. The relay R4 is switched between the c-side and the d-side in response to a command from the control means 23. When the relay R4 is switched over to the c-side, the electrode 30b is connected to the relays R7 and R10.
When switched to the side, the electrode 30b is connected to "0". These relays R7 and R10 are respectively connected to the "+" side and the "-" side of the high voltage source 25, and in response to a command from the control means 23, the V-phase electrode 30b side and the "+" side of the high voltage source 25. The communication between the "-" side and the "-" side is interrupted.
【００２７】さらに、固定子２２のＷ相の電極３０ｃを
リレーＲ５に接続している。このリレーＲ５も、制御手
段２３の指令に応じて、ｃ側とｄ側に切り替えられ、ｃ
側に切り替えると電極３０ｃはリレーＲ８，Ｒ１１側に
接続され、ｄ側に切り替えると電極３０ｃは“０”に接
続される。これらのリレーＲ８，Ｒ１１はそれぞれ高電
圧源２５の“＋”側、“−”側に接続しておりＷ相の電
極３０ｃ側と高電圧源２５の“＋”側、“−”側との間
を連通、遮断する。Further, the W-phase electrode 30c of the stator 22 is connected to the relay R5. This relay R5 is also switched between the c-side and the d-side in response to a command from the control means 23.
When switched to the side, the electrode 30c is connected to the relays R8 and R11, and when switched to the d side, the electrode 30c is connected to "0". These relays R8 and R11 are connected to the "+" side and "-" side of the high voltage source 25, respectively, and are connected between the W-phase electrode 30c side and the "+" side and "-" side of the high voltage source 25. Communication and shut-off between them.
【００２８】なお、上記リレーＲ１〜Ｒ１１は、耐電圧
数１００Ｖであって、応答時間が数１０ｍｓ程度、切替
え電流容量が数１００ｍＡ程度の安価な仕様のリレーが
用いられる。The relays R1 to R11 are inexpensive relays having a withstand voltage of several hundred volts, a response time of about several tens of ms, and a switching current capacity of about several hundred mA.
【００２９】制御手段２３は、上記リレーＲ１〜Ｒ１１
を以下のように切り替えて、上記移動子２１、固定子２
２の電極２７ａ〜２７ｃ，３０ａ〜３０ｃに印加する電
圧の極性を切り替える構成としている。The control means 23 includes the relays R1 to R11.
Are switched as follows, and the moving member 21 and the stator 2
The polarity of the voltage applied to the two electrodes 27a to 27c and 30a to 30c is switched.
【００３０】まず、移動子２１の電極２７ａ，２７ｂ，
２７ｃの電位を“０”とする場合には、制御手段２３
は、上記リレーＲ１，Ｒ２をｂ側に切り替える。また、
移動子２１のＳ相の電極２７ａに“＋”の高電圧を印加
するときには、制御手段２３はリレーＲ１をａ側に切り
替える。さらに、移動子２１のＴ相の電極２７ｂ，２７
ｃに“−”の高電圧を印加するときには、リレーＲ２を
ａ側に切り替える。First, the electrodes 27a, 27b,
When the potential of 27c is set to “0”, the control unit 23
Switches the relays R1 and R2 to the b side. Also,
When applying a high voltage of "+" to the S-phase electrode 27a of the movable element 21, the control means 23 switches the relay R1 to the a side. Further, the T-phase electrodes 27b, 27
When applying a high voltage of "-" to c, the relay R2 is switched to the a side.
【００３１】固定子２２の電極３０ａ，３０ｂ，３０ｃ
に“＋”の高電圧を印加する場合には、制御手段２３
は、リレーＲ３〜Ｒ５をｃ側に切り替えると共に、リレ
ーＲ６〜Ｒ８を連通、リレーＲ９〜Ｒ１１を遮断する。
さらに、固定子２２の電極３０ａ，３０ｂ，３０ｃに
“−”の高電圧を印加する場合には、制御手段２３は、
リレーＲ３〜Ｒ５をｃ側に切り替えると共に、リレーＲ
６〜Ｒ８を遮断、リレーＲ９〜Ｒ１１を連通する。さら
に、固定子２２の電極３０ａ，３０ｂ，３０ｃの電位を
“０”とする場合には、制御手段２３はリレーＲ３〜Ｒ
５をｄ側に切り替える。Electrodes 30a, 30b, 30c of stator 22
When a high voltage of “+” is applied to the
Switches the relays R3 to R5 to the c side, connects the relays R6 to R8, and shuts off the relays R9 to R11.
Further, when a high voltage “−” is applied to the electrodes 30 a, 30 b and 30 c of the stator 22, the control means 23
While switching the relays R3 to R5 to the c side,
6 to R8 are cut off, and relays R9 to R11 are connected. Further, when the potential of the electrodes 30a, 30b, 30c of the stator 22 is set to “0”, the control means 23 sets the relays R3 to R
5 is switched to the d side.
【００３２】操作スイッチ２４は、手動で“停止”、
“右側へ移動”および“左側へ移動”の３位置に設定す
ることができ、この操作スイッチ２４の設定に応じて上
記制御手段２３がリレーＲ１〜Ｒ１１の切り替えを行
う。ただし、操作スイッチ２４は、手動スイッチに限定
されるものではく、例えば、他の機器からの指令により
自動的に上記３位置のいずれかに設定されるものであっ
てもよい。The operation switch 24 is manually turned off,
The position can be set to three positions of “move to the right” and “move to the left”, and the control means 23 switches the relays R1 to R11 according to the setting of the operation switch 24. However, the operation switch 24 is not limited to a manual switch. For example, the operation switch 24 may be automatically set to any one of the three positions according to a command from another device.
【００３３】次に、第１実施例の作動について説明す
る。図２中、時刻ｔ0〜時刻ｔ1は、操作スイッチ２４は
“停止”に設定されている。この移動子２１が停止して
いる時には、リレーＲ１，Ｒ２はｂ側、リレーＲ３〜Ｒ
５はｄ側に切り替えられ、移動子２１の電極２７ａ〜２
７ｃおよび固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃに対して印
加される電圧の極性は“０”となる。Next, the operation of the first embodiment will be described. In FIG. 2, the operation switch 24 is set to “stop” from time t 0 to time t 1 . When the movable member 21 is stopped, the relays R1 and R2 are on the b side, and the relays R3 to R
5 is switched to the d side, and the electrodes 27a to 27
The polarity of the voltage applied to 7c and the electrodes 30a to 30c of the stator 22 is "0".
【００３４】時刻ｔ1〜時刻ｔ2の間は、操作スイッチ２
４が“右側へ移動”に設定されている。このとき、移動
子２１のＳ相の電極２７ａには“＋”の高電圧が固定的
に印加され、移動子２１のＴ相の電極２７ｂ，２７ｃに
は“−”の高電圧が固定的に印加される。Between time t 1 and time t 2 , the operation switch 2
4 is set to “move right”. At this time, a high voltage of “+” is fixedly applied to the S-phase electrode 27 a of the movable element 21, and a high voltage of “−” is fixedly applied to the T-phase electrodes 27 b and 27 c of the movable element 21. Applied.
【００３５】また、この時刻ｔ1〜時刻ｔ2の間には、固
定子２２のＵ相、Ｖ相およびＷ相の電極３０ａ〜３０ｃ
は、以下のように“＋”と“−”の間で周期的に極性が
切り替えられる。Between time t 1 and time t 2 , U-phase, V-phase and W-phase electrodes 30a-30c of stator 22 are provided.
The polarity is periodically switched between "+" and "-" as follows.
【００３６】まず、第１実施例では、上記固定子２２に
対する“＋”と“−”の極性の切り替えの１つの周期Ｔ
は、３つのステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３からなる。すなわ
ち、１つの周期Ｔを０゜〜３６０゜とすると、周期Ｔは
０゜〜１２０゜の第１ステップＳ１、１２０゜〜２４０
゜の第２ステップＳ２および２４０゜〜３６０゜の第３
ステップＳ３からなる。また、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相に対し
ては、同一のパターンで“＋”、“−”の極性を切り替
えているが、Ｖ相、Ｗ相は、Ｕ相に対してそれぞれ１２
０゜、２４０゜遅れで極性を切り替えている。First, in the first embodiment, one cycle T of switching the polarity of "+" and "-" with respect to the stator 22 is described.
Consists of three steps S1, S2, S3. That is, if one cycle T is 0 ° to 360 °, the cycle T is 0 ° to 120 ° in the first step S1, 120 ° to 240 °.
{2nd step S2} and 240 ° -360 ° third step
It consists of step S3. In addition, the polarity of “+” and “−” is switched in the same pattern for the U phase, V phase, and W phase.
The polarity is switched with a delay of 0 ° and 240 °.
【００３７】第１ステップＳ１（０゜〜１２０゜）で
は、Ｕ相：“＋”、Ｖ相：“＋”、Ｗ相：“−”とす
る。このとき、図３（Ａ）に示すように、移動子２１に
対して固定子２２から浮上するように反発力が作用する
と共に、右方向に移動させる反発力、吸引力が作用す
る。In the first step S1 (0 ° to 120 °), the U-phase: “+”, the V-phase: “+”, and the W-phase: “−”. At this time, as shown in FIG. 3A, a repulsive force acts on the movable member 21 so as to float from the stator 22, and a repulsive force and a suction force for moving the movable member 21 rightward act.
【００３８】第２ステップ（１２０゜〜２４０゜）で
は、Ｕ相：“＋”、Ｖ相“−”、Ｗ相：“＋”とする。
このとき、図３（Ｂ）に示すように、移動子２１に対し
て固定子２２から浮上するように反発力が作用すると共
に、右方向に移動させる反発力、吸引力が作用する。In the second step (120 ° to 240 °), the U-phase: “+”, the V-phase “−”, and the W-phase: “+”.
At this time, as shown in FIG. 3B, a repulsive force acts on the mover 21 so as to float from the stator 22, and a repulsive force and a suction force act to move the mover 21 rightward.
【００３９】第３ステップ（２４０゜〜３６０゜）で
は、Ｕ相：“−”、Ｖ相：“＋”、Ｗ相：“＋”とす
る。このとき、図３（Ｃ）に示すように、移動子２１は
安定状態となる。In the third step (240 ° to 360 °), the U-phase: “−”, the V-phase: “+”, and the W-phase: “+”. At this time, as shown in FIG. 3C, the movable element 21 is in a stable state.
【００４０】上記第１ステップＳ１から第３ステップＳ
３の作動を繰り返すことにより、移動子２１は固定子２
２に対して浮上した状態で図中右側へ移動する。From the first step S1 to the third step S
By repeating the operation of Step 3, the movable element 21 is fixed to the stator 2
2 moves to the right side in the figure while floating.
【００４１】このように第１実施例では、固定子２２の
電極３０ａ〜３０ｃに対して“＋”“−”の間で極性を
切り替えて電圧を印加することにより、移動子２１を浮
上、移動させている。また、固定子２２の電極３０ａ〜
３０ｃのうち一つの電極３０ａ〜３０ｃに着目すると、
１つの周期Ｔのうち２つのステップでは“＋”の電極が
され、残りの１つのステップで“−”が印加されてい
る。すなわち、本実施例の静電アクチュエータでは、
“＋”の電圧が印加されている時間が“−”の電圧が印
加されている時間よりも長い。As described above, in the first embodiment, the movable element 21 is raised and moved by switching the polarity between "+" and "-" to the electrodes 30a to 30c of the stator 22 and applying a voltage. Let me. Further, the electrodes 30a to 30
Focusing on one of the electrodes 30a to 30c out of 30c,
In two steps in one cycle T, a “+” electrode is applied, and in another step, “−” is applied. That is, in the electrostatic actuator of the present embodiment,
The time during which the “+” voltage is applied is longer than the time during which the “−” voltage is applied.
【００４２】次に、時刻ｔ2に操作スイッチ２４が“停
止”に設定されると、リレーＲ１，Ｒ２がｂ側、リレー
Ｒ３〜Ｒ５はｄ側に設定され、移動子２１の電極２７ａ
〜２７ｃおよび固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃは
“０”となり、移動子２１に対する反発力、吸引力がな
くなり移動子２１の移動は停止する。Next, when the operation switch 24 at time t 2 is set to "stop", relays R1, R2 are b-side, the relay R3~R5 is set to d side, electrodes 27a of the movable element 21
27c and the electrodes 30a to 30c of the stator 22 become "0", the repulsive force and the attractive force against the movable member 21 disappear, and the movement of the movable member 21 stops.
【００４３】一方、この第１実施例において、操作スイ
ッチ２４を“停止”から“左側へ移動”に設定した場合
には、この静電アクチュエータは図４に示すように作動
する。On the other hand, in the first embodiment, when the operation switch 24 is set from "stop" to "move to the left", the electrostatic actuator operates as shown in FIG.
【００４４】時刻ｔ0〜時刻ｔ1は、操作スイッチ２４は
“停止”に設定されており、移動子２１の電極２７ａ〜
２７ｃおよび固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃに対して
印加される電圧の極性は“０”である。From time t 0 to time t 1 , the operation switch 24 is set to “stop”, and the electrodes 27a to 27
The polarity of the voltage applied to the electrodes 30a to 30c of the stator 27c and the stator 22 is “0”.
【００４５】時刻ｔ1に操作スイッチ２４を“左側へ移
動”に設定すると、移動子２１のＳ相の電極２７ａには
“＋”の高電圧が固定的に印加される一方、Ｔ相の電極
２７ｂ，２７ｃには“−”の高電圧が固定的に印加され
る。When the operation switch 24 is set to “move to the left” at time t 1 , a high voltage of “+” is fixedly applied to the S-phase electrode 27 a of the movable element 21, while the T-phase electrode is A high voltage of "-" is fixedly applied to 27b and 27c.
【００４６】一方、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃに
対して印加される高電圧の極性は、第１ステップＳ１
（０゜〜１２０゜）ではＵ相：“＋”、Ｖ相：“−”、
Ｗ相“＋”（図５（Ａ）参照）、第２ステップＳ２（１
２０゜〜２４０゜）では、Ｕ相：“＋”、Ｖ相：
“＋”、Ｗ相：“−”（図５（Ｂ）参照）、第３ステッ
プＳ３（２４０゜〜３６０゜）では、Ｕ相：“−”、Ｖ
相：“＋”、Ｗ相：“＋”（図５（Ｃ）参照）に切り替
えられ、移動子２１の電極２７ａ〜２７ｃと固定子２２
の電極３０ａ〜３０ｃの間に生じる吸引力、加圧力によ
り移動子２１は図中左側に移動する。On the other hand, the polarity of the high voltage applied to the electrodes 30a to 30c of the stator 22 is determined in the first step S1.
(0 ° to 120 °), U phase: “+”, V phase: “−”,
W-phase “+” (see FIG. 5A), second step S2 (1
20 ° to 240 °), U phase: “+”, V phase:
“+”, W phase: “−” (see FIG. 5B), and in the third step S3 (240 ° to 360 °), U phase: “−”, V
The phase is switched to “+” and the W phase is switched to “+” (see FIG. 5C), and the electrodes 27 a to 27 c of the movable element 21 and the stator 22 are switched.
The moving element 21 moves to the left side in the figure due to the suction force and the pressing force generated between the electrodes 30a to 30c.
【００４７】この状態から、図４中、時刻ｔ2に操作ス
イッチ２４を“停止”に設定すると、移動子２１および
固定子２２の電極２７ａ〜２７ｃ，３０ａ〜３０ｃに印
加される電圧は“０”に設定され、移動子２１の移動は
停止する。In this state, when the operation switch 24 is set to “stop” at time t 2 in FIG. 4, the voltage applied to the electrodes 27 a to 27 c and 30 a to 30 c of the movable member 21 and the stator 22 becomes “0”. ", And the movement of the movable element 21 stops.
【００４８】このように、第１実施例の静電アクチュエ
ータでは、操作スイッチ２４が“停止”に設定されてい
るとき、すなわち移動子２１の停止時には、移動子２１
の電極２７ａ〜２７ｃに印加する電圧を“０”とするた
め、移動子２１の絶縁層２６を構成する誘電体が“＋”
または“−”に帯電するのを防止することができる。ま
た、この静電アクチュエータでは、操作スイッチ２４が
“停止”に設定されているときには、固定子２２の３０
ａ〜３０ｃに印加する電圧を“０”とするため、上記の
ように移動子２１の移動中に固定子２２の電極３０ａ〜
３０ｃに対して印加される電圧は“＋”のほうが“−”
よりも長時間であることにより、移動子２１、固定子２
２の絶縁層２９を構成する誘電体が“−”の電圧を帯電
するのを防止することができる。そのため、第１実施例
の静電アクチュエータでは、絶縁層２６，２９の帯電に
よる移動子２１に対する駆動力の低下を防止することが
でき、かつ、上記のように移動の駆動中に固定子２２の
電極３０ａ〜３０ｃに印加する電圧は、“＋”“−”の
２種間で切替えるため、十分な駆動力を得ることができ
る。また、この静電アクチュエータでは、移動子２１に
も電極２７ａ〜２７ｃを設けて電圧を印加する構成とし
ているため、移動子２１を高速で駆動することができ
る。As described above, in the electrostatic actuator of the first embodiment, when the operation switch 24 is set to “stop”, that is, when the movable element 21 is stopped,
In order to set the voltage applied to the electrodes 27a to 27c to “0”, the dielectric forming the insulating layer 26 of the movable element 21 is “+”.
Alternatively, charging to "-" can be prevented. In this electrostatic actuator, when the operation switch 24 is set to “stop”, the 30
In order to set the voltage applied to a to 30 c to “0”, the electrodes 30 a to 30 c of the stator 22 are
The voltage applied to 30c is "-" for "+".
Since the time is longer than that of the moving member 21 and the stator 2
The dielectric material constituting the second insulating layer 29 can be prevented from being charged with a "-" voltage. Therefore, in the electrostatic actuator according to the first embodiment, it is possible to prevent the driving force for the movable element 21 from being reduced due to the charging of the insulating layers 26 and 29, and to prevent the stator 22 from being moved during the movement as described above. Since the voltage applied to the electrodes 30a to 30c is switched between two types of "+" and "-", a sufficient driving force can be obtained. Further, in this electrostatic actuator, since the movable element 21 is also provided with the electrodes 27a to 27c to apply a voltage, the movable element 21 can be driven at a high speed.
【００４９】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。この第２実施例において、移動子２１、固定子２
２、リレーＲ１〜Ｒ１１、高電圧源２５等の構造は、上
記した第１実施例と同一であり、制御手段２３がリレー
Ｒ１〜Ｒ１１を開閉する方法が第１実施例と異なる。Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the second embodiment, the moving member 21 and the stator 2
2. The structures of the relays R1 to R11, the high voltage source 25, and the like are the same as those in the first embodiment, and the method by which the control means 23 opens and closes the relays R1 to R11 is different from that of the first embodiment.
【００５０】すなわち、第２実施例では、“左側へ移
動”または“右側へ移動”のいずれかに設定されていた
操作スイッチ２４を“停止”に設定した場合には、操作
スイッチ２４を切り替えてから所定時間αの間は、リレ
ーＲ１〜Ｒ１１をその状態のままで維持して移動子２
１、固定子２２の電極２７ａ〜２７ｃ、３０ａ〜３０ｃ
に対して操作スイッチ２４を“停止”に設定した時点の
極性のままで電圧を印加する。次に、上記所定時間αが
経過した後に上記リレーＲ１，Ｒ２をｂ側、リレーＲ３
〜Ｒ５をｄ側に設定して移動子２１および固定子２２の
電極２７ａ〜２７ｃ，３０ａ〜３０ｃを“０”に設定す
る。That is, in the second embodiment, when the operation switch 24 set to either “move to the left” or “move to the right” is set to “stop”, the operation switch 24 is switched. , The relays R1 to R11 are maintained in that state for a predetermined time α
1. Electrodes 27a to 27c, 30a to 30c of stator 22
The voltage is applied while maintaining the polarity at the time when the operation switch 24 is set to “stop”. Next, after the predetermined time α has elapsed, the relays R1 and R2 are set to the b side and the relay R3
R5 are set to the d side, and the electrodes 27a to 27c and 30a to 30c of the movable member 21 and the stator 22 are set to "0".
【００５１】例えば、図６に示すように、時刻ｔ1から
“右側へ移動”に設定されていた操作スイッチ２４を時
刻ｔ2に“停止”に設定し、このとき固定子２２のＵ相
の電極３０ａは“−”、Ｖ相の電極３０ｂは“＋”、Ｗ
相の電極３０ｃは“＋”、移動子２１のＳ相の電極２７
ａは“＋”、Ｔ相の電極２７ｂ，２７ｃは“−”である
とすると、上記時刻ｔ2から所定時間αの間は、移動子
２１はＳ相：“＋”Ｔ相：“−”に維持され、かつ、固
定子２２はＵ相：“−”，Ｖ相：“＋”，Ｗ相：“＋”
のまま維持される。そして、時刻ｔ２から所定時間αを
経過した時刻ｔ3から移動子２１、固定子２２の電極２
７ａ〜２７ｃ、３０ａ〜３０ｃに印加される電圧の極性
は全て“０”に設定される。For example, as shown in FIG. 6, the operation switch 24 which has been set to “move to the right” from time t 1 is set to “stop” at time t 2, and the U-phase The electrode 30a is "-", the V-phase electrode 30b is "+", W
The phase electrode 30 c is “+”, and the S-phase electrode 27 of the moving element 21 is
a is "+", T-phase electrodes 27b, 27c are "-" When a, between the time t 2 of the predetermined time α, the movable element 21 is S-phase: "+" T phase: "-" , And the stator 22 has a U-phase: “−”, a V-phase: “+”, and a W-phase: “+”.
Will be maintained. The electrodes 2 of the moving member 21 and the stator 22 start at time t 3 when a predetermined time α has elapsed from time t 2.
The polarities of the voltages applied to 7a to 27c and 30a to 30c are all set to “0”.
【００５２】このように、操作スイッチ２４を“停止”
に設定してから所定時間αの経過後に、移動子２１およ
び固定子２２の電極２７ａ〜２７ｃ，３０ａ〜３０ｃの
電位を“０”にする構成とした場合には、移動子２１が
それまで移動した慣性の影響がなくなり、移動子２１が
完全に停止した状態で固定子２２および移動子２１の電
極２７ａ〜２７ｃ，３０ａ〜３０ｃ間の吸引、反発力が
消失する。そのため、この第２実施例では、操作スイッ
チ２４を“停止”に設定した後に、慣性により移動子２
１が移動するのを防止することができ、移動子２１を確
実に所定の位置に停止させることができる。As described above, the operation switch 24 is "stopped".
When the potential of the electrodes 27a to 27c and 30a to 30c of the moving element 21 and the stator 22 is set to "0" after a predetermined time α has elapsed since the setting of the moving element 21, the moving element 21 moves to that point. In this state, the influence of inertia disappears, and the suction and repulsive force between the electrodes 22a to 27c and 30a to 30c of the stator 22 and the mover 21 disappear in a state where the mover 21 is completely stopped. Therefore, in the second embodiment, after the operation switch 24 is set to “stop”, the moving element 2
1 can be prevented from moving, and the moving element 21 can be reliably stopped at a predetermined position.
【００５３】また、上記所定時間αの経過後は、第１実
施例と同様に移動子２１および固定子２２の電極２７ａ
〜２７ｃ，３０ａ〜３０ｃに印加する電圧をいずれも
“０”に設定するため、上記のように移動子２１、固定
子２２の絶縁層２６，２９を構成する誘電体が帯電する
のを防止することができ、移動子２１に対して十分な駆
動力を付与することができる。After the lapse of the predetermined time α, the electrodes 27a of the moving member 21 and the stator 22 are operated in the same manner as in the first embodiment.
To 27c and 30a to 30c are all set to "0", so that the dielectrics constituting the insulating layers 26 and 29 of the mover 21 and the stator 22 are prevented from being charged as described above. Therefore, a sufficient driving force can be applied to the movable element 21.
【００５４】第２実施例のその他の構成および作用は、
上記した第１実施例と同一である。Other configurations and operations of the second embodiment are as follows.
This is the same as the first embodiment.
【００５５】次に、本発明の第３実施例について説明す
る。この第３実施例も、移動子２１、固定子２２、リレ
ーＲ１〜Ｒ１１、高電圧源２５等の構造は、上記した第
１実施例と同一であり、制御手段２３がリレーＲ１〜Ｒ
１１を開閉する方法が第１実施例と異なる。Next, a third embodiment of the present invention will be described. Also in the third embodiment, the structures of the moving member 21, the stator 22, the relays R1 to R11, the high voltage source 25, and the like are the same as those in the first embodiment described above.
The method of opening and closing 11 is different from that of the first embodiment.
【００５６】この第３実施例に係る静電アクチュエータ
では、移動子２１の電極２７ａ〜２７ｃおよび固定子２
２の電極３０ａ〜３０ｃを、上記第１から第３ステップ
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３毎に、電位を“０”とする構成として
いる。In the electrostatic actuator according to the third embodiment, the electrodes 27a to 27c of the movable element 21 and the stator 2
The potential of the two electrodes 30a to 30c is set to "0" in each of the first to third steps S1, S2, and S3.
【００５７】すなわち、図７に示すように、時刻ｔ1に
操作スイッチ２４を“右側に移動”に設定すると、第１
ステップＳ１の所定時間βの間、移動子２１の電極２７
ａは、“＋”、電極２７ｂ，２７ｃは“−”に設定さ
れ、第１ステップＳ１の残りの所定時間γの間、電極２
７ａ，２７ｂは“０”に設定される。同様に、第２ステ
ップＳ２、第３ステップＳ３においても、最初の所定時
間βの間、移動子２１の電極２７ａ〜２７ｃは“＋”ま
たは“−”に設定され、残りの時間γは“０”となる。That is, as shown in FIG. 7, when the operation switch 24 is set to “move to the right” at time t 1 , the first
During the predetermined time β in step S1, the electrode 27 of the moving element 21 is
a is set to “+”, the electrodes 27b and 27c are set to “−”, and the electrodes 2b and 27c are set to “−” for the remaining predetermined time γ in the first step S1.
7a and 27b are set to "0". Similarly, in the second step S2 and the third step S3, the electrodes 27a to 27c of the movable element 21 are set to “+” or “−” during the first predetermined time β, and the remaining time γ is set to “0”. ".
【００５８】また、固定子２２の電極３０ａ，３０ｂ，
３０ｃでは、第１ステップＳ１の最初の所定時間βの間
はＵ相：“＋”、Ｖ相：“＋”、Ｗ相：“−”とし、残
りの所定時間γの間、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相のすべてを
“０”に設定する。また、第２ステップＳ２の最初の所
定時間βの間はＵ相：“＋”、Ｖ相：“−”、Ｗ相：
“＋”とし、残りの所定時間βの間、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相
のすべてを“０”に設定する。さらに、第３ステップＳ
３の最初の所定時間βの間はＵ相：“−”、Ｖ相：
“＋”、Ｗ相：“＋”、残りの所定時間γの間Ｕ相、Ｖ
相、Ｗ相のすべてを“０”に設定する。The electrodes 30a, 30b,
At 30c, the U-phase: "+", the V-phase: "+", the W-phase: "-" during the first predetermined time β of the first step S1, and the U-phase and V-phase during the remaining predetermined time γ. All phases and W phases are set to “0”. During the first predetermined time β of the second step S2, the U phase: “+”, the V phase: “−”, the W phase:
It is set to “+”, and all of the U phase, V phase, and W phase are set to “0” for the remaining predetermined time β. Further, the third step S
3, during the first predetermined time β, U-phase: “−”, V-phase:
“+”, W phase: “+”, U phase, V for the remaining predetermined time γ
All phases and W phases are set to “0”.
【００５９】移動子２１の電極２７ａ〜２７ｂおよび固
定子２２の電極３０ａ〜３０ｃに印加する電圧を上記の
ように切り替えることにより、第１から第３ステップＳ
１〜Ｓ３の最初の所定時間βの間、移動子２１の電極２
７ａ〜２７ｃと固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃの間に
吸引力、反発力が生じ、これにより移動子２１は図中右
側に移動する。By switching the voltages applied to the electrodes 27a to 27b of the movable element 21 and the electrodes 30a to 30c of the stator 22 as described above, the first to third steps S are performed.
During the first predetermined time β of 1 to S3, the electrode 2 of the moving element 21
A suction force and a repulsive force are generated between the electrodes 7a to 27c and the electrodes 30a to 30c of the stator 22, whereby the moving element 21 moves to the right in the drawing.
【００６０】また、上記のように第１から第３ステップ
Ｓ１〜Ｓ３のうち上記所定時間βを除いた残りの時間γ
において、移動子２１の電極２７ａ〜２７ｂおよび固定
子２２の電極３０ａ〜３０ｂを“０”としているため、
移動子２１、固定子２２の絶縁層２６，２９の帯電を防
止することができる。また、この第３実施例では、操作
スイッチ２４が“停止”に設定されている間、すなわち
時刻ｔ0〜ｔ1及び時刻ｔ2以降は、移動子２１および固
定子２２の電極２７ａ〜２７ｃ，３０ａ〜３０ｃの電位
を“０”に設定しているため、これによっても絶縁層２
６，２９の帯電を防止することができる。As described above, of the first to third steps S1 to S3, the remaining time γ excluding the predetermined time β
In the above, since the electrodes 27a to 27b of the movable element 21 and the electrodes 30a to 30b of the stator 22 are set to "0",
It is possible to prevent the insulating layers 26 and 29 of the mover 21 and the stator 22 from being charged. Further, in the third embodiment, while the operation switch 24 is set to "stop", i.e. the time t 0 ~t 1 and time t 2 later, the movable element 21 and the electrode 27a~27c of the stator 22, Since the potentials of 30a to 30c are set to “0”, the potential of the insulating layer 2
6, 29 can be prevented from being charged.
【００６１】このように第３実施例では、移動子２１、
固定子２２の絶縁層２６，２９の帯電を防止することが
できると共に、移動子２１の駆動中に固定子２２に印加
される電極は“＋”と“−”の２種であるため、移動子
２１に対して十分な駆動力を得る付与することができ
る。As described above, in the third embodiment, the moving element 21
Since the insulating layers 26 and 29 of the stator 22 can be prevented from being charged, the electrodes applied to the stator 22 during driving of the movable member 21 are two types of “+” and “−”. A sufficient driving force can be obtained for the child 21.
【００６２】第３実施例のその他の構成および作用は上
記した第１実施例と同様である。Other structures and operations of the third embodiment are the same as those of the first embodiment.
【００６３】次に、本発明の第４実施例について説明す
る。この第４実施例では、制御手段２３は、移動子２１
及び固定子２２の電極２７ａ〜２７ｃ、３０ａ〜３０ｃ
の電極が“０”に設定されている時間を計測するタイマ
を備えている。移動子２１、固定子２２、リレーＲ１〜
Ｒ１１、高電圧源２５等第４実施例のその他の構造は、
上記した第１実施例と同一である。Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. In this fourth embodiment, the control means 23
And electrodes 27a to 27c and 30a to 30c of the stator 22
Is provided with a timer for measuring the time during which the electrodes are set to “0”. Mover 21, stator 22, relay R1
Other structures of the fourth embodiment such as R11 and high voltage source 25 are as follows:
This is the same as the first embodiment.
【００６４】この第４実施例では、制御手段２３は下記
のようにして移動子２１の電極２７ａ〜２７ｃおよび固
定子２２の電極３０ａ〜３０ｃの極性を切り替える。In the fourth embodiment, the control means 23 switches the polarity of the electrodes 27a to 27c of the movable element 21 and the electrodes 30a to 30c of the stator 22 as described below.
【００６５】まず、第４実施例では、操作スイッチ２４
が“右側へ移動”または“左側へ移動”から“停止”に
設定されると、所定時間αの間、固定子２２の電極３０
ａ〜３０ｃに対して“−”の電圧を印加し、この所定時
間αが経過した後に、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃ
を“０”に設定する。First, in the fourth embodiment, the operation switch 24
Is set to “stop” from “move to the right” or “move to the left”, the electrode 30 of the stator 22 is kept for a predetermined time α.
A voltage of “−” is applied to the electrodes 30 a to 30 c of the stator 22 after a predetermined time α has elapsed.
Is set to “0”.
【００６６】また、第４実施例では、操作スイッチ２４
が“停止”から“右側へ移動”または“左側へ移動”に
設定されると、上記タイマが測定した、前回操作スイッ
チ２４を“停止”に設定した後、固定子２２の電極３０
ａ〜３０ｃが“０”であった時間が所定値未満であれ
ば、所定時間εの間、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃ
に対して“＋”の電圧を印加する。このように所定時間
εの間“＋”を印加することにより、上記操作スイッチ
２４を“停止”に設定した後に、固定子２２の電極３０
ａ〜３０ｃを所定時間αの間“−”の電圧を印加するこ
とにより、固定子２２の絶縁層２９が“＋”の電圧を帯
電する傾向にある場合にも、この“＋”の電荷を中和す
ることができる。In the fourth embodiment, the operation switch 24
Is set to “move to the right” or “move to the left” from “stop”, after the previous operation switch 24 was set to “stop” measured by the timer, the electrode 30 of the stator 22 was
If the time during which a to 30c is "0" is less than a predetermined value, the electrodes 30a to 30c of the stator 22 for a predetermined time?
Is applied. By applying “+” for the predetermined time ε, the operation switch 24 is set to “stop”, and then the electrode 30 of the stator 22 is turned off.
By applying a voltage of “−” to a to 30 c for a predetermined time α, even if the insulating layer 29 of the stator 22 tends to charge a voltage of “+”, the charge of “+” is removed. Can be neutralized.
【００６７】一方、上記タイマの測定した時間が、所定
値以上の場合には、操作スイッチ２４を、停止”から
“右側へ移動”または“左側へ移動”した時に、上記固
定子２２の電極３０ａ〜３０ｃに対して“＋”の電極を
印加しない。これは、上記操作スイッチ２４を“停止”
に設定した後、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃが
“０”であった時間が十分長い場合には、上記所定時間
αの間、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃの電圧に対し
て“−”を電圧を印加したことにより、固定子２１の絶
縁層２９が“＋”に帯電した場合にも、この“＋”の電
荷は既に中和されているからである。On the other hand, when the time measured by the timer is equal to or longer than a predetermined value, when the operation switch 24 is moved from “stop” to “move right” or “move left”, the electrode 30a of the stator 22 is turned off. No "+" electrode is applied to .about.30c, which means that the operation switch 24 is "stopped".
If the time during which the electrodes 30a to 30c of the stator 22 are "0" is sufficiently long after the setting, the voltage of the electrodes 30a to 30c of the stator 22 is set to "-" during the predetermined time α. This is because even when the insulating layer 29 of the stator 21 is charged to “+” by applying the voltage “+”, the charge of “+” is already neutralized.
【００６８】第４実施例では、操作スイッチ２４が“右
側へ移動”または“左側へ移動”に設定された場合に
は、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｂに対して、設定当
初の上記所定時間εを除き、１回の周期Ｔの第１から第
３ステップＳ１〜Ｓ３毎に、所定時間δを移動子２１を
移動させるために極性を切り替えて電圧を印加し、残り
の時間σでは“−”としている。In the fourth embodiment, when the operation switch 24 is set to "move to the right" or "move to the left", the electrodes 30a to 30b of the stator 22 are set to the predetermined time at the beginning of the setting. Except for ε, in each of the first to third steps S1 to S3 of one cycle T, a voltage is applied by switching the polarity to move the moving element 21 for a predetermined time δ, and “−” is applied for the remaining time σ. "
【００６９】図８を用いて、第４実施例の作動を具体的
に説明すると、操作スイッチ２４が“停止”に設定され
ている時刻ｔ0〜時刻ｔ1では、移動子２１の電極２７ａ
〜２７ｃは“０”に設定されている。一方、この時刻ｔ
0〜時刻ｔ1では、固定子２２の電極３０ａ，３０ｂ，３
０ｃにはいずれも“−”の高電圧が印加されている。The operation of the fourth embodiment will be described in detail with reference to FIG. 8. From time t 0 to time t 1 when the operation switch 24 is set to “stop”, the electrode 27 a
27c are set to "0". On the other hand, this time t
At 0 to time t 1, the electrode 30a of the stator 22, 30b, 3
A high voltage of "-" is applied to each of 0c.
【００７０】次に、時刻ｔ1に操作スイッチ２４が“右
側へ移動”に設定されると、上記タイマの計測した時間
が所定以上であれば、所定時間εの間、固定子２２の電
極３０ａ，３０ｂ，３０ｃは“＋”の電圧が印加され
る。このように、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃに対
して、移動子２１の停止時には“−”を印加する一方、
移動子２１の駆動開始時には“＋”を印加することによ
り、固定子２２の絶縁層２９の電位は中和される。Next, when the operation switch 24 is set to “move to the right” at time t 1 , if the time measured by the timer is equal to or longer than a predetermined time, the electrode 30a of the stator 22 is maintained for a predetermined time ε. , 30b, 30c are applied with a voltage of "+". As described above, while the mover 21 is stopped, “−” is applied to the electrodes 30 a to 30 c of the stator 22,
By applying “+” at the start of driving the movable element 21, the potential of the insulating layer 29 of the stator 22 is neutralized.
【００７１】また、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃで
は、第１ステップＳ１の最初の所定時間δの間はＵ相：
“＋”、Ｖ相：“＋”、Ｗ相：“−”とし、残りの所定
時間σの間、Ｕ相、Ｖ相およびＷ相の電極３０ａ，３０
ｂ，３０ｃを“−”に設定する。また、第２ステップＳ
２の最初の所定時間δの間はＵ相：“＋”、Ｖ相：
“−”、Ｗ相：“＋”とし、残りの所定時間σの間、Ｕ
相、Ｖ相およびＷ相の電極３０ａ，３０ｂ，３０ｃを
“−”に設定する。さらに、第３ステップＳ３の最初の
所定時間δの間はＵ相：“−”、Ｖ相：“＋”、Ｗ相：
“＋”、残りの所定時間σの間、Ｕ相、Ｖ相およびＷ相
の電極３０ａ，３０ｂ，３０ｃを“−”に設定する。上
記所定時間δは、上記所定時間σの３倍の時間に設定し
ている。In the electrodes 30a to 30c of the stator 22, during the first predetermined time δ of the first step S1, the U phase:
“+”, V-phase: “+”, W-phase: “−”, and U-phase, V-phase, and W-phase electrodes 30a, 30 for the remaining predetermined time σ
b, 30c are set to "-". Also, the second step S
2 during the first predetermined time δ, U phase: “+”, V phase:
“-”, W phase: “+”, and U
The phase, V phase and W phase electrodes 30a, 30b, 30c are set to "-". Further, during the first predetermined time δ of the third step S3, the U phase: “−”, the V phase: “+”, the W phase:
For the remaining predetermined time σ, the U-phase, V-phase, and W-phase electrodes 30a, 30b, 30c are set to “−”. The predetermined time δ is set to be three times the predetermined time σ.
【００７２】移動子２１の電極２７ａ〜２７ｃおよび固
定子２２の電極３０ａ〜３０ｃに印加する電圧を上記の
ように切り替えることにより、第１から第３ステップＳ
１〜Ｓ３の最初の所定時間δの間、移動子２１の電極２
７ａ〜２７ｃと固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃの間に
は吸引力、反発力が生じ、これにより移動子２１が移動
する。By switching the voltages applied to the electrodes 27a to 27c of the moving element 21 and the electrodes 30a to 30c of the stator 22 as described above, the first to third steps are performed.
During the first predetermined time δ of 1 to S3, the electrode 2 of the moving element 21
A suction force and a repulsion force are generated between the electrodes 7a to 27c and the electrodes 30a to 30c of the stator 22, and the moving element 21 moves.
【００７３】時刻ｔ3に操作スイッチ２４を“停止”に
設定すると、この時刻ｔ3以降所定時間αの間、移動子
２１の電極２７ａ〜２７ｃに印加される電圧は、そのま
まの極性で維持される。一方、この所定時間αの間、固
定子２２の電極３０ａ〜３０ｃには“−”の電圧が印加
される。[0073] The operation switch 24 at time t 3 is set to "stop", the predetermined time α this time t 3 after the voltage applied to the electrodes 27a~27c of the movable element 21 is maintained as it is polar You. On the other hand, during this predetermined time α, a voltage of “−” is applied to the electrodes 30 a to 30 c of the stator 22.
【００７４】この第４実施例では、上記のように第１か
ら第３ステップＳ１〜Ｓ３のうち上記所定時間δを除い
た残りの時間σにおいて、固定子２２の電極３０ａ〜３
０ｂを“−”としているため、固定子２２の絶縁層２９
が“−”の電圧を帯電するのを防止することができる。
すなわち、この第４実施例では、１周期を構成する第１
から第３ステップＳ１〜Ｓ３のうち２つのステップで
“＋”、１つのステップで“−”に設定されるが、上記
のように第１から第３の各ステップＳ１〜Ｓ２毎に
“＋”を印加する時間（所定時間δ）の１／３の時間
（所定時間σ）だけ、“−”を印加する構成としている
ため、１つの周期Ｔ全体でみた電極３０ａ〜３０ｃに対
する“＋”の印加時間と“−”の印加時間は等しくな
る。そのため、この第４実施例では、アクチュエータ作
動時における固定子２２の絶縁層２９の帯電を防止する
ことができる。In the fourth embodiment, as described above, the electrodes 30a-3 of the stator 22 during the remaining time σ excluding the predetermined time δ in the first through third steps S1-S3.
0b is “−”, so that the insulating layer 29 of the stator 22
Can be prevented from charging the "-" voltage.
That is, in the fourth embodiment, the first
Are set to “+” in two steps out of the third steps S1 to S3, and “−” in one step. As described above, “+” is set in each of the first to third steps S1 to S2. Is applied for only one-third of the time (predetermined time δ) of the time (predetermined time δ) to apply “+” to the electrodes 30a to 30c in one cycle T. The time and the application time of “−” become equal. Therefore, in the fourth embodiment, charging of the insulating layer 29 of the stator 22 during operation of the actuator can be prevented.
【００７５】また、第４実施例の静電アクチュエータで
は、上記のように移動子２１の電極２７ａ〜２７ｃに対
しては、停止時には電位を“０”とするため、移動子２
１の絶縁層２６の帯電を防止することができる。In the electrostatic actuator according to the fourth embodiment, the potential of the electrodes 27a to 27c of the movable element 21 is set to "0" when the movable element 21 is stopped.
The first insulating layer 26 can be prevented from being charged.
【００７６】さらに、第４実施例の静電アクチュエータ
では、操作スイッチ２１を“停止”に設定した後所定時
間αの間、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃの電圧を
“−”に設定した後“０”とする一方、その後移動子２
１を移動させる場合には、上記移動子２１の停止中に電
極３０ａ〜３０ｃを“０”に設定した時間が所定値未満
の場合には、所定時間εの間、固定子２２の電極３０ａ
〜３０ｃの電圧を“＋”に設定するため、頻繁に操作ス
イッチ２４を切り替える場合にも、固定子２２の絶縁層
２９の帯電を防止することができる。Further, in the electrostatic actuator of the fourth embodiment, the voltage of the electrodes 30a to 30c of the stator 22 is set to "-" for a predetermined time α after the operation switch 21 is set to "stop". While it is set to “0”, the moving element 2
1 is moved, when the time during which the electrodes 30a to 30c are set to "0" while the moving element 21 is stopped is less than a predetermined value, the electrode 30a of the stator 22 is kept for a predetermined time ε.
Since the voltages of .about.30c are set to "+", the charging of the insulating layer 29 of the stator 22 can be prevented even when the operation switch 24 is frequently switched.
【００７７】さらにまた、第４実施例の静電アクチュエ
ータでは、移動子２１の停止中は移動子２１の電極２７
ａ〜２７ｃの電圧を“０”とするため、移動子２１の絶
縁層２６の帯電を防止することができる。Further, in the electrostatic actuator of the fourth embodiment, the electrodes 27 of the movable member 21 are stopped while the movable member 21 is stopped.
Since the voltages a to 27c are set to “0”, the charging of the insulating layer 26 of the movable element 21 can be prevented.
【００７８】第４実施例では、上記のように移動子２
１、固定子２２の絶縁層２６，２９の帯電を防止するこ
とができると共に、移動子２１の駆動中は、移動子２
１、固定子２２の電極２７ａ〜２７ｃ、電極３０ａ〜３
０ｃに対して“＋”と“−”の２種類の電圧を印加する
構成としているため、移動子２１に対して十分な駆動力
を付与することができる。In the fourth embodiment, the moving element 2
1. The charging of the insulating layers 26 and 29 of the stator 22 can be prevented, and the moving element 2 can be moved while the moving element 21 is being driven.
1. Electrodes 27a to 27c of stator 22, electrodes 30a to 3
Since two types of voltages “+” and “−” are applied to 0 c, a sufficient driving force can be applied to the movable element 21.
【００７９】なお、上記ステップＳ１〜Ｓ３毎に“−”
を印加する所定時間δは、絶縁層の抵抗、誘電率に応じ
て“＋”の電荷を中和できるように設定すればよく、上
記所定時間σを所定時間δの１／３とする必要はない。Note that "-" is set for each of the steps S1 to S3.
May be set so as to neutralize the electric charge of “+” according to the resistance and the dielectric constant of the insulating layer, and it is not necessary to set the predetermined time σ to １ ／ of the predetermined time δ. Absent.
【００８０】本発明は、上記実施例に限定されず、種々
の変形が可能である。例えば、上記実施例では、移動子
２１の電極２７ａ〜２７ｃに固定的に電圧を印加する一
方、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃに対しては極性を
切替えて電圧を印加する構成としているが、これとは逆
に、固定子２２の電極３０ａ〜３０ｃに対して固定的に
電圧を印加する一方、移動子２１の電圧２７ａ〜２７ｃ
に対しては極性を切り替えて電圧を印加する構成として
もよい。The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, in the above embodiment, while a voltage is fixedly applied to the electrodes 27a to 27c of the movable member 21, a voltage is applied to the electrodes 30a to 30c of the stator 22 by switching the polarity. Conversely, a voltage is fixedly applied to the electrodes 30 a to 30 c of the stator 22, while the voltages 27 a to 27 c
, The voltage may be applied by switching the polarity.
【００８１】また、上記実施例において、電極２７ａ〜
２７ｃ、３０ａ〜３０ｃに対して印加する極性を逆にし
てもよい、例えば、上記第４実施例において操作スイッ
チ２１を“停止”に設定した後、所定時間εの間固定子
２２の電極３０ａ〜３０ｃを“＋”に設定し、その後移
動子２１を移動させる際には、固定子２２の電極３０ａ
〜３０ｃを“−”に設定してもよい。In the above embodiment, the electrodes 27a to 27a
The polarity applied to the electrodes 27a and 30a to 30c may be reversed. For example, after the operation switch 21 is set to “stop” in the fourth embodiment, the electrodes 30a to 30c of the stator 22 are kept for a predetermined time ε. 30c is set to “+”, and when the moving element 21 is moved thereafter, the electrode 30a of the stator 22 is moved.
30c may be set to "-".
【００８２】[0082]
【発明の効果】請求項１の静電アクチュエータでは、移
動子の停止時に固定子の電極の電位を０とするため、固
定子の絶縁層が正または負に帯電するのを防止すること
ができ、かつ、移動子の駆動中に固定子の電極に印加す
る電圧は正と負の２種間で切替えるため移動子に対して
十分な駆動力を付与することができる。According to the first aspect of the present invention, since the potential of the electrode of the stator is set to 0 when the moving member stops, it is possible to prevent the insulating layer of the stator from being positively or negatively charged. In addition, since the voltage applied to the electrodes of the stator during the driving of the moving element is switched between positive and negative, a sufficient driving force can be applied to the moving element.
【００８３】請求項２の静電アクチュエータでは、移動
子の停止時に固定子の電極の電位を０とするため、固定
子の絶縁層が正または負に帯電するのを防止でき、か
つ、移動子の駆動中に固定子の電極に印加する電圧は正
と負の２種間で切替えるため移動子に対して十分な駆動
力を付与することができる。また、移動子の停止時に、
固定子及び移動子の電極に所定時間固定的に電圧を印加
するため、移動子を確実に所定の位置に停止させること
ができる。In the electrostatic actuator according to the second aspect, since the potential of the electrode of the stator is set to 0 when the movable member stops, the insulating layer of the stator can be prevented from being positively or negatively charged. Since the voltage applied to the electrodes of the stator is switched between positive and negative during driving, a sufficient driving force can be applied to the movable element. Also, when the mover stops,
Since the voltage is fixedly applied to the electrodes of the stator and the moving element for a predetermined time, the moving element can be reliably stopped at a predetermined position.
【００８４】請求項３の静電アクチュエータでは、移動
子を確実に所定の位置に停止させることができると共
に、移動子の移動、停止を頻繁に繰り替え場合にも、移
動子の絶縁層の帯電を確実に防止し、移動子に対して十
分な駆動力を付与することができる。According to the electrostatic actuator of the third aspect, the movable element can be reliably stopped at a predetermined position, and even when the movement and stop of the movable element are frequently repeated, the charging of the insulating layer of the movable element can be performed. Thus, it is possible to reliably prevent the moving element and to apply a sufficient driving force to the moving element.
【００８５】請求項４の静電アクチュエータでは、移動
子の駆動中に、所定時間間隔で所定時間の間、固定子の
電極の電位を０とするため、固定子の絶縁層が正または
負に帯電するのを防止することができ、かつ、移動子の
駆動中に固定子の電極に印加する電圧は正と負の２種間
で切替えるため移動子に対して十分な駆動力を付与する
ことができる。In the electrostatic actuator according to the fourth aspect, the potential of the electrode of the stator is set to 0 for a predetermined time at a predetermined time interval during driving of the movable element, so that the insulating layer of the stator becomes positive or negative. A sufficient driving force can be applied to the movable element because the voltage applied to the electrodes of the stator can be switched between positive and negative during driving of the movable element. Can be.
【００８６】請求項５の静電アクチュエータでは、移動
子の駆動中に固定子の電極に対して印加する電圧の極性
のうち、印加する回数の多い極性と逆の極性の電圧を所
定時間間隔で所定時間印加する構成としているため、固
定子の絶縁層が帯電するのを防止することができ、か
つ、移動子の駆動中に固定子の電極に印加する電圧は正
と負の２種間で切替えるため移動子に対して十分な駆動
力を付与することができる。In the electrostatic actuator according to the fifth aspect, of the polarities of the voltage applied to the electrodes of the stator during driving of the movable element, a voltage having a polarity opposite to the polarity applied a large number of times is applied at predetermined time intervals. Since the configuration is such that the voltage is applied for a predetermined time, it is possible to prevent the insulating layer of the stator from being charged, and the voltage applied to the electrode of the stator during driving of the movable element is between two types, positive and negative. A sufficient driving force can be applied to the movable element for switching.
【図１】 本発明の第１実施例を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a first embodiment of the present invention.
【図２】 第１実施例における極性の切り替えの一例を
示す線図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of polarity switching in the first embodiment.
【図３】 （Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は第１実施例におい
て移動子が右側に移動する場合の作動を示す概略図であ
る。FIGS. 3A, 3B, and 3C are schematic diagrams showing an operation when the moving element moves to the right in the first embodiment.
【図４】 第１実施例における極性の切り替えの他の一
例を示す線図である。FIG. 4 is a diagram showing another example of polarity switching in the first embodiment.
【図５】 （Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は第２実施例におい
て移動子が左側に移動する場合の作動を示す概略図であ
る。FIGS. 5A, 5B, and 5C are schematic diagrams showing an operation when the moving element moves to the left in the second embodiment.
【図６】 本発明の第２実施例における極性の切り替え
の一例を示す線図である。FIG. 6 is a diagram showing an example of polarity switching in a second embodiment of the present invention.
【図７】 本発明の第３実施例における極性の切り替え
の一例を示す線図である。FIG. 7 is a diagram illustrating an example of polarity switching in a third embodiment of the present invention.
【図８】 第４実施例における極性の切り替えの一例を
示す線図である。FIG. 8 is a diagram showing an example of polarity switching in a fourth embodiment.
【図９】 従来の静電アクチュエータの一例を示す概略
図である。FIG. 9 is a schematic view showing an example of a conventional electrostatic actuator.
【図１０】 図１０の静電アクチュエータにおける極性
の切り替えの一例を示す線図である。FIG. 10 is a diagram showing an example of polarity switching in the electrostatic actuator of FIG. 10;
【図１１】 従来の静電アクチュエータの他の一例を示
す概略図である。FIG. 11 is a schematic view showing another example of a conventional electrostatic actuator.
【図１２】 図１２の静電アクチュエータにおける極性
の切り替えの一例を示す線図である。FIG. 12 is a diagram showing an example of polarity switching in the electrostatic actuator of FIG. 12;
２１ 移動子 ２２ 固定子 ２３ 制御手段 ２４ 操作スイッチ ２５ 高電圧源 ２６，２９ 絶縁層 ２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ 電
極 Ｒ１〜Ｒ１１ リレーReference Signs List 21 mover 22 stator 23 control means 24 operation switch 25 high voltage source 26, 29 insulating layer 27a, 27b, 27c, 30a, 30b, 30c electrode R1 to R11 relay
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大場 大祐 静岡県湖西市梅田390番地 アスモ株式 会社内 (56)参考文献 特開 平６−121549（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−202992（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 1/00 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Daisuke Oba 390 Umeda, Kosai-shi, Shizuoka Asmo Co., Ltd. (56) References JP-A-6-121549 (JP, A) JP-A-4-2022992 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H02N 1/00
Claims (5)
定子と、 絶縁層の表面に複数の電極を配設し、上記固定子に対し
て対向して配置した移動子とを備え、 上記移動子の電極に対して正または負の電圧を固定的に
印加すると共に、固定子の電極に対して正または負の電
圧を極性を切り替えて印加し、移動子を所望の方向に移
動させる吸引力と反発力を発生させる構成とした静電ア
クチュエータにおいて、 上記移動子の停止中は、固定子の電極の電位を０とする
手段を備えることを特徴とする静電アクチュエータ。1. A stator having a plurality of electrodes disposed on a surface of an insulating layer, and a mover having a plurality of electrodes disposed on a surface of the insulating layer and facing the stator. A positive or negative voltage is fixedly applied to the mover electrode, and a positive or negative voltage is applied to the stator electrode by switching the polarity, and the mover is moved in a desired direction. An electrostatic actuator configured to generate a suction force and a repulsive force to be applied, wherein the electrostatic actuator includes means for setting the potential of an electrode of the stator to 0 while the movable element is stopped.
子の電極に正または負のいずれかの電圧を所定時間固定
的に印加した後、固定子および移動子の電極の電位を０
とする手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の
静電アクチュエータ。2. After stopping the mover, either a positive or negative voltage is fixedly applied to the electrodes of the mover and the stator for a predetermined time, and then the potentials of the electrodes of the stator and the mover are set to 0.
The electrostatic actuator according to claim 1, further comprising:
子の電極に正または負のいずれかの電圧を所定時間固定
的に印加した後、固定子および移動子の電極の電位を０
とすると共に、移動子の移動開始時に、上記停止時に固
定子の電極に所定時固定的に印加する電圧と逆の極性の
電圧を、固定子の電極に所定時間印加する手段を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエー
タ。3. After stopping the mover, a positive or negative voltage is fixedly applied to the electrodes of the mover and the stator for a predetermined time, and then the potentials of the electrodes of the stator and the mover are set to 0.
And a means for applying a voltage having a polarity opposite to that of a voltage fixedly applied to the electrodes of the stator at a predetermined time at the time of the stop when the movement of the movable element is started to the electrodes of the stator for a predetermined time. The electrostatic actuator according to claim 1, wherein
定子と、絶縁層の表面に複数の電極を配設し、上記固定
子に対して対向して配置した移動子とを備え、 上記移動子の電極に対して正または負の電圧を固定的に
印加する一方、固定子の電極に対して正または負の電圧
を極性を切り替えて印加し、移動子を所望の方向に移動
させる吸引力と反発力を発生させる構成とした静電アク
チュエータにおいて、 上記移動子の駆動中に、所定時間間隔で所定時間の間、
固定子の電極の電位を０とする手段を備えることを特徴
とする静電アクチュエータ。4. A stator having a plurality of electrodes disposed on a surface of an insulating layer, and a mover having a plurality of electrodes disposed on a surface of the insulating layer and disposed to face the stator. A positive or negative voltage is fixedly applied to the electrodes of the mover, and a positive or negative voltage is applied to the electrodes of the stator by switching the polarity to move the mover in a desired direction. In the electrostatic actuator configured to generate a suction force and a repulsion force to be applied, while the moving element is being driven, for a predetermined time at predetermined time intervals,
An electrostatic actuator comprising means for setting the potential of an electrode of a stator to zero.
定子と、絶縁層の表面に複数の電極を配設し、上記固定
子に対して対向して配置した移動子とを備え、 上記移動子の電極に対して正または負の電圧を固定的に
印加する一方、固定子の電極に対して正または負の電圧
を極性を切り替えて印加し、移動子を所望の方向に移動
させる吸引力と反発力を発生させる構成とした静電アク
チュエータにおいて、 上記移動子の駆動中に固定子の電極に対して印加する電
圧の極性のうち、印加する回数の多い極性と逆の極性の
電圧を所定時間間隔で所定時間印加する手段を備えるこ
とを特徴とする静電アクチュエータ。5. A stator having a plurality of electrodes disposed on a surface of an insulating layer, and a movable element having a plurality of electrodes disposed on a surface of the insulating layer and facing the stator. A positive or negative voltage is fixedly applied to the electrodes of the mover, while a positive or negative voltage is applied to the electrodes of the stator by switching the polarity to move the mover in a desired direction. An electrostatic actuator configured to generate a suction force and a repulsion force to be applied, wherein the polarity of the voltage applied to the electrodes of the stator during driving of the movable element has a polarity opposite to the polarity applied many times. An electrostatic actuator comprising: means for applying a voltage at predetermined time intervals for a predetermined time.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14307794A JP3222319B2 (en) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | Electrostatic actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14307794A JP3222319B2 (en) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | Electrostatic actuator |
Publications (2)
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| JPH0819270A JPH0819270A (en) | 1996-01-19 |
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| JP14307794A Expired - Fee Related JP3222319B2 (en) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | Electrostatic actuator |
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|---|---|---|---|---|
| JP4045090B2 (en) | 2001-11-06 | 2008-02-13 | オムロン株式会社 | Adjustment method of electrostatic actuator |
-
1994
- 1994-06-24 JP JP14307794A patent/JP3222319B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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|---|---|
| JPH0819270A (en) | 1996-01-19 |
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