JP3202358U - アジャストタイプウエハーチャッキバルブ - Google Patents
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Abstract
Description
1 バルブボディ
11 弁体
12 緊合部
13 密接部
14 コロイド
2 フラップ弁
21 バルブ
22 ピボット
23 リミット軸
24 弾力ユニット
25 ワッシャー
3 弾性付勢部材
31 スナップリング
32 皿型ばね座金
R バルブハウジング
S 接合面
G 嵌合槽
Claims (10)
- 流体漏出を軽減するためのアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブであって、
バルブハウジングと、前記バルブハウジングの内壁面に形成される緊合部と、前記緊合部に設置される密接部とを含むバルブボディと、
前記バルブハウジングに設置され、ピボットを有するフラップ弁と、
弾性付勢部材と、を含み、
前記ピボットの端部が前記密接部に連接され、前記弾性付勢部材が設置されることによって径方向外向きの付勢力で常時前記密接部が前記バルブボディの緊合部に当接密圧されることを特徴とするアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブ。 - 前記弾性付勢部材がスナップリングであって、前記バルブボディがさらに嵌合槽を含み、前記嵌合槽が前記密接部の内面及び前記バルブハウジングの内壁面に環設され、前記嵌合槽に前記スナップリングが設置されることによって、前記密接部が前記バルブボディの緊合部に当接密圧されることを特徴とする請求項1に記載のアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブ。
- 前記弾性付勢部材が皿型ばね座金であって、更に、前記密接部が少なくとも一つの枢軸孔を含み、前記皿型ばね座金が前記一つの枢軸孔に設置されることによって、前記密接部が前記バルブボディの緊合部に当接密圧されることを特徴とする請求項1に記載のアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブ。
- 前記弾性付勢部材がスナップリングと、皿型ばね座金とを含み、前記バルブボディがさらに嵌合槽を含み、前記嵌合槽が前記密接部の内面及び前記バルブハウジングの内壁面に環設され、更に前記密接部が少なくとも一つの枢軸孔を含み、前記嵌合槽に前記スナップリングが設置されることによって、且つ前記皿型ばね座金が前記一つの枢軸孔に設置されることによって、前記密接部が前記バルブボディの緊合部に当接密圧されることを特徴とする請求項1に記載のアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブ。
- 前記密接部は前記緊合部と互いに形状が合致されることを特徴とする請求項1に記載のアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブ。
- 前記緊合部が前記バルブハウジングの内壁面に形成された凹部であって、前記密接部が前記凹部と互いに形状が合致する滑動部材であることを特徴とする請求項1に記載のアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブ。
- さらにリミット軸を含み、且つ前記密接部が二つの枢軸孔を有し、前記リミット軸が前記二つの枢軸孔のうち一つの枢軸孔と連接され、前記ピボットが前記二つの枢軸孔のうち他方の枢軸孔と連接されることを特徴とする請求項1に記載のアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブ。
- 前記ピボットに設置されることによって、前記フラップ弁のバルブ、弾力ユニット及び前記密接部との間を隔離する複数のワッシャーを備えることを特徴とする請求項1に記載のアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブ。
- 前記バルブボディの表面に塗布されたコロイドを備えることを特徴とする請求項1に記載のアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブ。
- 前記フラップ弁のバルブがバタフライバルブであることを特徴とする請求項1に記載のアジャストタイプ ウエハーチャッキ バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015005899U JP3202358U (ja) | 2015-11-19 | 2015-11-19 | アジャストタイプウエハーチャッキバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015005899U JP3202358U (ja) | 2015-11-19 | 2015-11-19 | アジャストタイプウエハーチャッキバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3202358U true JP3202358U (ja) | 2016-01-28 |
Family
ID=55176323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015005899U Expired - Lifetime JP3202358U (ja) | 2015-11-19 | 2015-11-19 | アジャストタイプウエハーチャッキバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3202358U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190079102A (ko) * | 2017-12-27 | 2019-07-05 | 주식회사 현대케피코 | 공기차단밸브의 자가 정렬구조 |
| WO2021068081A1 (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | Compression Capital Corp. | Adaptive fluid flow management device |
-
2015
- 2015-11-19 JP JP2015005899U patent/JP3202358U/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190079102A (ko) * | 2017-12-27 | 2019-07-05 | 주식회사 현대케피코 | 공기차단밸브의 자가 정렬구조 |
| WO2021068081A1 (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | Compression Capital Corp. | Adaptive fluid flow management device |
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