JP3201737B2 - Platinum plating bath and plating method - Google Patents

Platinum plating bath and plating method

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JP3201737B2 JP14615697A JP14615697A JP3201737B2 JP 3201737 B2 JP3201737 B2 JP 3201737B2 JP 14615697 A JP14615697 A JP 14615697A JP 14615697 A JP14615697 A JP 14615697A JP 3201737 B2 JP3201737 B2 JP 3201737B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は白金めっき浴及びその
めっき方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a platinum plating bath and a plating method therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術】白金めっきは、その析出層の内部歪みが
大きく、内部応力が高いため、めっき厚を厚くする事が
困難である。しかし、白金めっきは、高温大気中で使用
可能であり、良好な熱伝導性、良好な電気伝導性等の白
金としての諸特性ゆえに、高温環境で使用されるスイッ
チ、種々のセンサー材料、電極材料等に広く応用されて
いる。
2. Description of the Related Art Platinum plating has a large internal strain in a deposited layer and a high internal stress, so that it is difficult to increase the plating thickness. However, platinum plating can be used in a high-temperature atmosphere, and because of its various properties as platinum, such as good thermal conductivity and good electrical conductivity, switches used in high-temperature environments, various sensor materials, and electrode materials Widely used for such applications.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来から使用
されてきた白金めっき浴は、稀に強アルカリ性の浴が見
受けられるが、一般に塩化白金酸、アミノ亜硝酸塩、テ
トラクロロアンモニウム塩等を以て建浴された強酸性の
浴が主流であった。
However, the platinum plating baths which have been used in the past are rarely strongly alkaline baths, but are generally constructed with chloroplatinic acid, amino nitrite, tetrachloroammonium salt and the like. The strongly acidic baths that were used were the mainstream.

【0004】従って、白金めっき浴のpHが強酸性また
は強アルカリ性であるがゆえに、被めっき物自体がめっ
き液により侵され製品不良が生じやすいという問題が生
じていた。そこで、被めっき物自体がめっき液により侵
されことのない、より中性に近いpHを有し、しかも長
期安定性を備えた白金めっき浴が望まれていた。
[0004] Therefore, since the pH of the platinum plating bath is strongly acidic or strongly alkaline, there has been a problem that the plating object itself is attacked by the plating solution and a product defect easily occurs. Therefore, there has been a demand for a platinum plating bath which has a pH closer to neutrality and which has a long-term stability so that the plating object itself is not affected by the plating solution.

【0005】また、従来の水溶性白金めっき浴にあって
は、陽極側で酸化物が発生したり、めっき液が不安定で
分解しやすいという問題があった。加えて、電流効率も
最大で65パーセント程度であり、更にまた非常に低い
電流密度でなければ最大析出効率が得られないため、め
っき速度が非常に小さいという問題もあった。更に、こ
の従来の白金めっき浴は、めっき時の液温、浴組成濃度
の変動等の種々の要因の変動の影響を受けやすく、めっ
き速度にバラツキを生ずるため、目的とするめっき厚が
安定して得られなかった。この結果、品質管理を煩雑な
ものとし、製品歩留りを下げることとなっていた。
[0005] Further, in the conventional water-soluble platinum plating bath, there are problems that an oxide is generated on the anode side, and the plating solution is unstable and easily decomposed. In addition, the current efficiency is about 65% at the maximum, and the maximum deposition efficiency cannot be obtained unless the current density is very low. Therefore, there is a problem that the plating rate is very low. Furthermore, this conventional platinum plating bath is susceptible to fluctuations in various factors such as fluctuations in solution temperature and bath composition concentration during plating, and causes variations in plating speed. I couldn't get it. As a result, quality control is complicated, and the product yield is reduced.

【0006】本発明は、このような従来の技術に見られ
る問題点に着目してなされたものであり、安定で分解し
にくく、高い電流効率と速いめっき速度を達成すること
のできる実用的な白金めっき浴を提供するものである。
The present invention has been made in view of such problems in the prior art, and is practical and stable, hardly decomposed, and capable of achieving high current efficiency and high plating rate. It provides a platinum plating bath.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明に係る白金めっ
き浴は、白金化合物として、白金(II) 錯塩に、マロン
酸二ナトリウム、マロンアミド、酢酸、シュウ酸、酒石
酸、プロピオン酸ナトリウム、尿素からなる群より選ば
れた一種以上の化合物を加え攪拌したものを使用するも
のとしている。
The platinum plating bath according to the present invention comprises, as a platinum compound, a platinum (II) complex salt, disodium malonate, malonamide, acetic acid, oxalic acid, tartaric acid, sodium propionate, and urea. One obtained by adding one or more compounds selected from the group and stirring the mixture is used.

【0008】そして、白金濃度は白金として1〜200
g/l含有するものとし、好ましくは10〜20g/l
存在させることができる。白金濃度が1g/lより少な
いと電流密度の上限が小さくなって実用に供することが
難しくなり、200g/lより多いと飽和溶解量を越
え、コストが高価になり実用上不適となる。白金(II)
塩としては、テトラクロロ白金(II) 酸塩、テトラブロ
モ白金(II) 酸塩、テトラアンミン白金(II) 酸塩、ビ
スオキサラト白金(II) 酸塩等を採用できる。
The platinum concentration is 1 to 200 as platinum.
g / l, preferably 10 to 20 g / l
Can be present. If the platinum concentration is less than 1 g / l, the upper limit of the current density becomes small and it becomes difficult to put the alloy to practical use. If the platinum concentration is more than 200 g / l, the amount exceeds the saturation dissolution amount, and the cost becomes high, which is not suitable for practical use. Platinum (II)
As salts, tetrachloroplatinate (II), tetrabromoplatinate (II), tetraammineplatinate (II), bisoxalatoplatinate (II) and the like can be used.

【0009】更に、マロン酸二ナトリウム、マロンアミ
ド、酢酸、シュウ酸、酒石酸、プロピオン酸ナトリウ
ム、尿素からなる群より選ばれた一種以上の化合物を濃
度0.001〜1.0mol/lの範囲で、前述した白
金(II) 塩に添加するものとし、好ましくは0.01〜
0.20mol/lの添加量とする。この添加量を0.
001〜1.0mol/lとしたのは、0.001mo
l/lより少ないと添加による白金めっき液の安定化効
果がほとんど現れないためであり、1.0mol/lよ
り多いと析出が妨げられるためである。ここでいう化合
物の内、好ましくはマロン酸二ナトリウムを用いるのが
望ましい。そして、本件発明に係る白金めっき液では、
40g/lのホウ酸を添加するのである。
Further, at least one compound selected from the group consisting of disodium malonate, malonamide, acetic acid, oxalic acid, tartaric acid, sodium propionate and urea at a concentration of 0.001 to 1.0 mol / l, It should be added to the above-mentioned platinum (II) salt, preferably from 0.01 to
The addition amount is 0.20 mol / l. When the amount of addition is 0.
001 to 1.0 mol / l is 0.001 mol
When the amount is less than 1 / l, the effect of stabilizing the platinum plating solution by the addition hardly appears, and when it is more than 1.0 mol / l, the precipitation is hindered. Of the compounds mentioned herein, it is desirable to use disodium malonate. And in the platinum plating solution according to the present invention,
Add 40 g / l of boric acid.

【0010】加えて、本発明に係る白金のめっき方法に
おけるめっき条件は、以下のように設定する。以下にお
いて、好ましいとして記載したそれぞれの値の範囲は、
目的とする白金めっきの性能および実操業における工程
管理の容易さを考慮して定めたものである。
[0010] In addition, the plating conditions in the platinum plating method according to the present invention are set as follows. In the following, each value range described as preferable is
It is determined in consideration of the desired performance of platinum plating and the easiness of process control in actual operation.

【0011】めっき溶液のpH値については1〜8の範
囲とし、好ましくはpH値4〜5の領域である。ここ
で、溶液pHを1〜8の範囲としたのは、pHが1より
小さいと使用可能な電流密度の上限値が小さくなり、め
っき速度を速くできず、pHが8より大きいと水酸化物
を生成し沈殿を生じ、めっき液の寿命が短くなるからで
あるからである。
The pH value of the plating solution is in the range of 1 to 8, preferably in the range of 4 to 5. Here, the solution pH was set in the range of 1 to 8 because if the pH is less than 1, the upper limit of the usable current density becomes small, and the plating rate cannot be increased. This causes precipitation to occur, which shortens the life of the plating solution.

【0012】めっき液温度については50〜98℃の範
囲とし、温度80〜90℃を使用する。ここで、下限温
度を50℃としたのは、この温度以下になると白金の析
出速度が極端に遅くなり、上限温度を98℃としたのは
水の蒸発速度が増し、めっき液濃度の変動が起こりやす
くなるためである。
The temperature of the plating solution is in the range of 50 to 98 ° C., and the temperature is 80 to 90 ° C. Here, the reason why the lower limit temperature is set to 50 ° C. is that when the temperature is lower than this temperature, the deposition rate of platinum becomes extremely slow, and when the upper limit temperature is set to 98 ° C., the evaporation rate of water increases, and the fluctuation of the plating solution concentration is reduced. This is because it tends to occur.

【0013】次に、めっき時に使用する電流密度は、
0.01〜3.0A/dmとし、好ましくは電流密
度0.10〜0.20A/dmの範囲とする。これ
は、電流密度が0.01A/dmより低い場合は白
金の析出速度が極端に小さくなり、3.0A/dm
より高い電流密度の場合は水素と白金間の分極割合が逆
転し、供給電流の殆どが水素の分極に消費され、白金の
析出より水素ガスの発生が優先して起こり、電流効率を
著しく低下させることになるからである。
Next, the current density used during plating is:
And 0.01~3.0A / dm 2, preferably in the range of current density 0.10~0.20A / dm 2. This is because when the current density is lower than 0.01 A / dm 2 , the deposition rate of platinum becomes extremely low, and 3.0 A / dm 2.
At higher current densities, the polarization ratio between hydrogen and platinum is reversed, most of the supply current is consumed by the polarization of hydrogen, and the generation of hydrogen gas takes precedence over the deposition of platinum, significantly reducing the current efficiency. Because it will be.

【0014】[0014]

【実施例】次に実施例によってこの発明を更に詳細に説
明する。実施例1 テトラクロロ白金(II) 酸ナトリウム(メタル濃度で)10g/l ホウ酸 40g/l マロン酸二ナトリウム 0.02mol/l pH 5.0 温度 85℃ 電流密度 0.15A/dm 本実施例では、白金化合物として、上記テトラクロロ白
金(II) 酸ナトリウムに、「ジカルボン酸塩」としての
マロン酸二ナトリウムを加え、ホットバスで85℃に保
ちながらマグネチックスターラで1時間攪拌したものを
用いた。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples.
I will tell.Example 1 Sodium tetrachloroplatinate (II) (at metal concentration) 10 g / l Boric acid 40 g / l Disodium malonate 0.02 mol / l pH 5.0 Temperature 85 ° C Current density 0.15 A / dm2  In this example, the above-mentioned tetrachloro white
Sodium gold (II) salt as a “dicarboxylate”
Add disodium malonate and keep at 85 ° C in a hot bath.
While stirring with a magnetic stirrer for 1 hour
Using.

【0015】そして、予め被めっき物であるテスト用真
鍮片に金ストライクめっきを施し、更にその上に1μm
の金めっきを施した後、上述の条件でめっきを行なった
ところ、平均膜厚が8μmの光沢ある白金めっき層が得
られた。そして、この白金めっき層は硬度、密着性、耐
熱性、ボンディング性等において実用上十分な特性を備
えていることが確認できた。この時の、電流効率は10
0%であり、めっき速度は平均1.5μm/hであっ
た。
[0015] Then, a gold strike plating is applied to a test brass piece which is an object to be plated in advance, and a 1 µm
After gold plating, plating was carried out under the above conditions, and a bright platinum plating layer having an average film thickness of 8 μm was obtained. Then, it was confirmed that this platinum plating layer had practically sufficient characteristics in hardness, adhesion, heat resistance, bonding property and the like. At this time, the current efficiency is 10
0%, and the plating rate was 1.5 μm / h on average.

【0016】なお、上記と同様の組成及び条件におい
て、マロン酸二ナトリウムを以下の化合物に代えてそれ
ぞれめっきを行なったところ、表1に示した結果が得ら
れた。ここで、モノカルボン酸として酢酸、ジカルボン
酸としてシュウ酸、そしてヒドロキシカルボン酸として
酒石酸を使用している。表1に示した特性以外の、外観
等他の特性に関してはそれぞれ上記マロン酸二ナトリウ
ムを用いた場合と同様の効果が得られた。
When plating was carried out under the same composition and conditions as described above, except that disodium malonate was replaced with the following compounds, the results shown in Table 1 were obtained. Here, acetic acid is used as a monocarboxylic acid, oxalic acid is used as a dicarboxylic acid, and tartaric acid is used as a hydroxycarboxylic acid. With respect to other characteristics such as the appearance other than the characteristics shown in Table 1, the same effects as in the case of using the above disodium malonate were obtained.

【0017】[0017]

【表1】 [Table 1]

【0018】実施例2 テトラクロロ白金(II) 酸ナトリウム(メタル濃度で)10g/l ホウ酸 40g/l マロン酸二ナトリウム 0.02mol/l pH 5 温度 85℃ 電流密度 0.5A/dm 本実施例では、白金化合物として、上記テトラクロロ白
金(II) 酸ナトリウムに、マロン酸二ナトリウムを加
え、ホットバスで85℃に保ちながらマグネチックスタ
ーラで30分攪拌したものを用いた。
Example 2 Sodium tetrachloroplatinate (II) 10 g / l Boric acid 40 g / l Disodium malonate 0.02 mol / l pH 5 Temperature 85 ° C. Current density 0.5 A / dm 2 In the examples, as the platinum compound, a compound obtained by adding disodium malonate to the above sodium tetrachloroplatinate (II) and stirring with a magnetic stirrer for 30 minutes while maintaining at 85 ° C. in a hot bath was used.

【0019】そして、予め被めっき物であるテスト用真
鍮片に金ストライクめっきを施し、更にその上に1μm
の金めっきを施した後、上述の条件でめっきを行なった
ところ、平均膜厚が3μmの光沢ある白金めっき層が得
られた。そして、この白金めっき層は硬度、密着性、耐
熱性、ボンディング性等において実用上十分な特性を備
えていることが確認できた。この時の、電流効率は98
%であった。
The test brass piece to be plated is subjected to gold strike plating in advance, and a 1 μm
After gold plating, plating was performed under the above conditions, and a bright platinum plating layer having an average film thickness of 3 μm was obtained. Then, it was confirmed that this platinum plating layer had practically sufficient characteristics in hardness, adhesion, heat resistance, bonding property and the like. At this time, the current efficiency is 98
%Met.

【0020】また、上記と同様の組成及び条件におい
て、マロン酸二ナトリウムをモノカルボン酸塩であるプ
ロピオン酸ナトリウム0.2mol/lに置き換えて、
めっきを行なった。その結果、電流効率60%、膜厚
0.1μm、めっき速度0.9μm/hとなり、外観等
の他の特性に関しては上記マロン酸二ナトリウムを用い
た場合と同様の効果が得られた。
In the same composition and under the same conditions as above, disodium malonate was replaced with monocarboxylate sodium propionate 0.2 mol / l,
Plating was performed. As a result, the current efficiency was 60%, the film thickness was 0.1 μm, the plating rate was 0.9 μm / h, and the other effects such as the appearance were the same as those obtained when disodium malonate was used.

【0021】実施例3 テトラクロロ白金(II) 酸ナトリウム(メタル濃度で)10g/l ホウ酸 40g/l シュウ酸 0.02mol/l pH 5 温度 85℃ 電流密度 1.0A/dm 本実施例では、白金化合物として、上記テトラクロロ白
金(II) 酸ナトリウムに、シュウ酸を加え、ホットバス
で85℃に保ちながらマグネチックスターラで1時間攪
拌したものを用いた。
Example 3 Sodium tetrachloroplatinate (II) (at a metal concentration) 10 g / l Boric acid 40 g / l Oxalic acid 0.02 mol / l pH 5 Temperature 85 ° C. Current density 1.0 A / dm 2 As the platinum compound, a compound obtained by adding oxalic acid to the above sodium tetrachloroplatinate (II) and stirring with a magnetic stirrer for 1 hour while maintaining at 85 ° C. in a hot bath was used.

【0022】そして、予め被めっき物であるテスト用真
鍮片に金ストライクめっきを施し、更にその上に1μm
の金めっきを施した後、上述の条件でめっきを行なった
ところ、膜厚が5μmの光沢ある白金めっき層が得られ
た。そして、この白金めっき層は硬度、密着性、耐熱
性、ボンディング性等において実用上十分な特性を備え
ていることが確認できた。この時、電流効率は90%で
あった。
Then, a gold strike plating is applied to a test brass piece to be plated in advance, and a 1 μm
After gold plating, plating was performed under the above conditions, and a bright platinum plating layer having a thickness of 5 μm was obtained. Then, it was confirmed that this platinum plating layer had practically sufficient characteristics in hardness, adhesion, heat resistance, bonding property and the like. At this time, the current efficiency was 90%.

【0023】実施例4 テトラクロロ白金(II) 酸ナトリウム(メタル濃度で)10g/l ホウ酸 40g/l マロンアミド 0.2mol/l pH 5 温度 85℃ 電流密度 0.15A/dm 本実施例では、白金化合物として、上記テトラクロロ白
金(II) 酸ナトリウムに、マロンアミドを加え、ホット
バスで85℃に保ちながらマグネチックスターラで1時
間攪拌したものを用いた。
[0023]Example 4 Sodium tetrachloroplatinate (II) 10g / l Boric acid 40g / l Malonamide 0.2mol / l pH5 Temperature 85 ° C Current density 0.15A / dm2  In this example, the above-mentioned tetrachloro white
Add malonamide to sodium gold (II) salt and add hot
1 hour by magnetic stirrer while keeping at 85 ° C by bus
What was stirred for a while was used.

【0024】そして、予め被めっき物であるテスト用真
鍮片に金ストライクめっきを施し、更にその上に1μm
の金めっきを施した後、上述の条件でめっきを行なった
ところ、膜厚が3μmの光沢ある白金めっき層が得られ
た。そして、この白金めっき層は硬度、密着性、耐熱
性、ボンディング性等、実用上十分な特性を備えている
ことが確認できた。この時、電流効率は84%であっ
た。
The test brass piece to be plated is subjected to gold strike plating in advance, and a 1 μm
After gold plating, plating was performed under the above conditions, and a bright platinum plating layer having a thickness of 3 μm was obtained. Then, it was confirmed that this platinum plating layer had practically sufficient characteristics such as hardness, adhesion, heat resistance and bonding property. At this time, the current efficiency was 84%.

【0025】なお、上記と同様の組成及び条件におい
て、マロンアミドに代えてプロピオンアミド0.2mo
l/lを用いてめっきを行なったところ、電流効率77
%、膜厚0.1μmとなり、同じくマロンアミドに代え
て尿素0.2mol/lを用いたところ、電流効率85
%、膜厚2.8μmとなった。外観等の他の特性に関し
ては上記マロンアミドを用いた場合と同様の効果が得ら
れた。
In the same composition and conditions as above, instead of malonamide, 0.2 mol of propionamide was used.
When plating was performed using 1 / l, the current efficiency was 77
%, And a film thickness of 0.1 μm. Similarly, when urea 0.2 mol / l was used instead of malonamide, the current efficiency was 85%.
%, And a film thickness of 2.8 μm. With respect to other characteristics such as appearance, the same effects as in the case of using the above malonamide were obtained.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上のことから、本発明にかかる白金め
っき浴及びそのめっき方法は、マロン酸二ナトリウム、
マロンアミド、酢酸、シュウ酸、酒石酸、プロピオン酸
ナトリウム、尿素からなる群より選ばれた一種以上の化
合物を加えて反応させた白金(II) 錯塩を用いることに
よって、中性に近いpH値を有し、しかもめっき浴が分
解しにくく浴の安定性が増すという効果がある。更に、
本発明にかかるめっき浴及びそのめっき方法は、白金め
っきにおける高い電流効率の達成を可能とし、良好なめ
っき速度が得ることができる。
As described above, the platinum plating bath and the plating method according to the present invention include disodium malonate,
By using a platinum (II) complex salt obtained by adding and reacting at least one compound selected from the group consisting of malonamide, acetic acid, oxalic acid, tartaric acid, sodium propionate, and urea, it has a nearly neutral pH value. In addition, there is an effect that the plating bath is hardly decomposed and the stability of the bath is increased. Furthermore,
INDUSTRIAL APPLICABILITY The plating bath and the plating method according to the present invention make it possible to achieve high current efficiency in platinum plating and obtain a good plating rate.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−90672(JP,A) 特開 平2−107794(JP,A) 特開 平4−333587(JP,A) 特開 平4−333588(JP,A) 特開 平4−333589(JP,A) 特開 平6−316786(JP,A) 特開 平8−319595(JP,A) 特許2577832(JP,B2) 特許2972567(JP,B2) 特公 昭61−58557(JP,B2) 特公 昭41−16412(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C25D 3/50 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-7-90672 (JP, A) JP-A-2-107794 (JP, A) JP-A-4-333587 (JP, A) JP-A-4- 333588 (JP, A) JP-A-4-333589 (JP, A) JP-A-6-316786 (JP, A) JP-A 8-319595 (JP, A) Patent 2577832 (JP, B2) Patent 2972567 (JP) , B2) JP-B-61-58557 (JP, B2) JP-B-41-16412 (JP, B1) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C25D 3/50

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 二価の白金塩を含むテトラクロロ白金
(II) 酸塩、テトラブロモ白金(II) 酸塩、テトラアン
ミン白金(II) 酸塩、ビスオキサラト白金(II) 酸塩の
いずれかを用い白金として1〜200g/l濃度とした
水溶液に、マロン酸二ナトリウム、マロンアミド、酢
酸、シュウ酸、酒石酸、プロピオン酸ナトリウム、尿素
からなる群より選ばれた一種以上の化合物を0.001
〜1.0mol/lの濃度となるよう加え撹拌して反応
させ得られる白金化合物と、 40g/lのホウ酸とを含み、pHが4〜5である白金
めっき浴。
Claims: 1. Use of any one of tetrachloroplatinate (II), tetrabromoplatinate (II), tetraammineplatinate (II) and bisoxalatoplatinum (II) containing a divalent platinum salt In an aqueous solution having a concentration of 1 to 200 g / l, 0.001 or more of one or more compounds selected from the group consisting of disodium malonate, malonamide, acetic acid, oxalic acid, tartaric acid, sodium propionate, and urea are added.
A platinum plating bath having a pH of 4 to 5 containing a platinum compound obtained by adding and stirring to a concentration of 1.0 mol / l and reacting by stirring, and 40 g / l of boric acid.
【請求項2】 請求項1に記載のめっき浴を使用し、温
度50〜98℃、電流密度0.01〜3.0A/dm
の条件で行う白金めっき方法。
2. The plating bath according to claim 1, wherein the temperature is 50 to 98 ° C. and the current density is 0.01 to 3.0 A / dm.
Platinum plating method performed under condition 2 .
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