JP3201269B2 - Regeneration method of electroless plating bath - Google Patents

Regeneration method of electroless plating bath

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JP3201269B2
JP3201269B2 JP18159196A JP18159196A JP3201269B2 JP 3201269 B2 JP3201269 B2 JP 3201269B2 JP 18159196 A JP18159196 A JP 18159196A JP 18159196 A JP18159196 A JP 18159196A JP 3201269 B2 JP3201269 B2 JP 3201269B2
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phosphite
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、次亜リン酸ナトリ
ウムを還元剤とする無電解ニッケル又はニッケル合金め
っき浴等の無電解めっき浴を繰り返し使用することを可
能にした無電解めっき浴の再生方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a regeneration of an electroless plating bath which enables repeated use of an electroless plating bath such as an electroless nickel or nickel alloy plating bath using sodium hypophosphite as a reducing agent. About the method.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来よ
り、次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解めっ
き、特に無電解ニッケルめっき(無電解Ni−Pめっ
き)は各種分野で広く用いられている。この種の無電解
めっきは、次亜リン酸イオンの還元作用で金属イオンが
還元されて被めっき物に析出していくことにより、めっ
きが行われる。
2. Description of the Related Art Electroless plating using sodium hypophosphite as a reducing agent, particularly electroless nickel plating (electroless Ni-P plating), has been widely used in various fields. ing. In this type of electroless plating, plating is performed by reducing metal ions by the reducing action of hypophosphite ions and precipitating them on an object to be plated.

【0003】従って、めっきの進行により、めっき浴中
の金属イオン及び次亜リン酸イオンが低下し、析出速度
が低下したり析出物の組成(例えば、Ni−Pめっき浴
であればNiとPの合金組成)が変化する。このため、
不足した金属イオン及び次亜リン酸イオンを適宜補給
し、これらのイオンの濃度を初期のレベルに戻し、めっ
きを継続していくことが行われている。
Accordingly, as the plating proceeds, the metal ions and hypophosphite ions in the plating bath decrease, and the deposition rate decreases and the composition of the precipitate (for example, Ni and P in a Ni-P plating bath). Alloy composition) changes. For this reason,
Insufficient metal ions and hypophosphite ions are appropriately replenished, the concentration of these ions is returned to the initial level, and plating is continued.

【0004】しかし、上記のように次亜リン酸イオンの
還元作用で金属イオンを還元する時、同時に次亜リン酸
イオンが酸化されて亜リン酸イオン(H2PO 3 -)が
生成し、これが漸次めっき浴中に蓄積されていく。
However, as described above, hypophosphite ion
When reducing metal ions by reduction,
The ions are oxidized to phosphite ions (HTwoPO Three -)But
It forms and accumulates gradually in the plating bath.

【0005】この亜リン酸イオン(H2PO 3 -)は、
少量であればめっきに殆ど影響を与えないが、多量に蓄
積して例えば50〜100g/L以上、特に150g/
L以上になるとめっきに影響を与える場合が生じ、例え
ば被めっき物とめっき皮膜との密着性に問題を与えた
り、めっき皮膜中に共析してその均一性や耐食性に悪影
響を与え、はなはだしい場合はめっき浴を分解させる場
合がある。
This phosphite ion (HTwoPO Three -)
A small amount has little effect on plating, but a large amount
For example, 50 to 100 g / L or more, especially 150 g /
If it exceeds L, the plating may be affected.
Problems with the adhesion between the plating object and the plating film
Deposits in the plating film and adversely affects its uniformity and corrosion resistance.
To dissolve the plating bath,
There is a case.

【0006】このため、無電解Ni−Pめっきを行う場
合には、3〜10ターン(1ターンは最初の無電解Ni
−P浴中に含まれていたニッケルイオン全量が消費乃至
は析出した量で、例えば最初の無電解Ni−P浴中にニ
ッケルイオンが6g/L存在していたとすると、6g/
Lのニッケルイオンが消費乃至は析出した場合を1ター
ンとする。従ってこの場合、3〜10ターンはニッケル
イオンが18〜60g/L消費乃至は析出したことを意
味する。)使用した後は、無電解Ni−P浴を廃棄して
いたのが実情である。
Therefore, when performing electroless Ni-P plating, three to ten turns (one turn is the first electroless Ni-P plating)
-The total amount of nickel ions contained in the P bath was consumed or precipitated. For example, if 6 g / L of nickel ions were present in the first electroless Ni-P bath, 6 g / L
The case where the L nickel ions are consumed or precipitated is defined as one turn. Therefore, in this case, 3 to 10 turns mean that the nickel ions have been consumed or precipitated at 18 to 60 g / L. ) After use, the fact is that the electroless Ni-P bath was discarded.

【0007】従って、無電解Ni−P浴の寿命は比較的
短く、また無電解Ni−P浴の廃棄に伴う廃液処理が産
業上の問題となっているため、その対策として種々の無
電解Ni−P浴の再生方法も提案されているが、従来の
再生方法は、処理方法が複雑であったり、再生しためっ
き浴中にめっきに有害な不純物イオンが混入したり、装
置コストが高いなどの問題があるため、広く実施される
には至っていない。
[0007] Accordingly, the life of the electroless Ni-P bath is relatively short, and the waste liquid treatment accompanying the disposal of the electroless Ni-P bath has become an industrial problem. Although a regenerating method of the -P bath has been proposed, the conventional regenerating method involves a complicated processing method, impurity ions harmful to plating mixed in the regenerated plating bath, and high equipment cost. Due to problems, it has not been widely implemented.

【0008】このような点から、本発明者らは、先に水
溶性ニッケル塩、錯化剤及び還元剤として次亜リン酸又
はその塩を含み、かつめっきにより次亜リン酸又はその
塩が酸化して生成した亜リン酸イオンを100g/L以
上含有する無電解ニッケルめっき浴の老化液に、水溶性
ニッケル塩を上記亜リン酸イオン1モルに対し、0.5
モル以上の割合で添加して亜リン酸ニッケルを生成、沈
殿させ、この沈殿物を除去することを特徴とする無電解
ニッケルめっき浴の再生方法を提案した(特開平5−2
47660号公報)。
[0008] From such a point, the present inventors have previously included hypophosphorous acid or a salt thereof as a water-soluble nickel salt, a complexing agent and a reducing agent, and reduced the concentration of hypophosphorous acid or a salt thereof by plating. A water-soluble nickel salt was added to the aging solution of an electroless nickel plating bath containing 100 g / L or more of phosphite ions generated by oxidation in an amount of 0.5 to 1 mol of the phosphite ions.
A method for regenerating an electroless nickel plating bath, characterized in that nickel phosphite is formed and precipitated by adding it in a molar ratio of not less than 1 mole and the precipitate is removed (Japanese Patent Laid-Open No. 5-2 / 1993).
No. 47660).

【0009】また、本発明者らは、長期間めっきを行っ
て亜リン酸塩が100g/L以上蓄積した無電解ニッケ
ル又はニッケル合金めっき浴等の無電解めっき浴から効
率よく、しかもめっき浴中にめっき不純物を持ち込むこ
となく簡単に除去する方法について鋭意検討を行った結
果、下記(i),(ii),(iii)のいずれか1又
は2以上の処置、即ち、(i)上記無電解めっき浴から
析出される無電解めっき皮膜の構成金属と同じ又はこの
構成金属が2種以上である場合は少なくともその1種と
同じ金属の硫酸塩、塩化物、炭酸化物、水酸化物又はこ
れらの複塩を上記めっき浴のめっき作業における金属イ
オン濃度よりも高濃度になるように添加する(但し、上
記金属の硫酸塩又は塩化物の添加処理は(ii)及び/
又は(iii)の処置を伴う)、(ii)上記無電解め
っき浴をそのめっき作業温度より高温度に上げる、(i
ii)上記無電解めっき浴をそのめっき作業におけるp
Hより高pHに上げるという処理を施すことにより、難
溶性亜リン酸塩が確実に生成、沈殿し、従ってこの沈殿
物を除去することによって、上記無電解めっき浴中の亜
リン酸塩(H2PO 3 -イオン)が低減し、この再生め
っき浴を用いてめっきを行った場合、めっき皮膜の外観
も良好で、析出速度も最初のめっき浴のレベルに戻るこ
とを知見し、かかる再生方法を先に提案した(特願平8
−51077号)。
Further, the present inventors have conducted plating for a long period of time.
Electroless nickel with phosphite accumulated over 100 g / L
Effective from electroless plating baths such as metal or nickel alloy plating baths
Efficiently and bring in plating impurities into the plating bath.
After intensive studies on a simple and easy removal method,
As a result, one of the following (i), (ii) and (iii) or
Means two or more treatments: (i) from the electroless plating bath
Same as or the same as the constituent metal of the electroless plating film to be deposited
When there are two or more constituent metals, at least one of them
Sulfates, chlorides, carbonates, hydroxides or
These double salts were added to the metal
Add so that the concentration is higher than the ON concentration.
The addition treatment of the metal sulfate or chloride is (ii) and / or
Or with the treatment of (iii)), (ii)
The bath temperature to a temperature higher than the plating operation temperature, (i
ii) The above electroless plating bath is used in the plating operation.
By performing the treatment of raising the pH to a value higher than H,
Soluble phosphite is definitely formed and precipitates,
By removing the substances, the sub-electrode in the electroless plating bath is removed.
Phosphate (HTwoPO Three -Ion) is reduced,
Appearance of plating film when plating using plating bath
And the deposition rate returns to the level of the initial plating bath.
And proposed such a regenerating method first (Japanese Patent Application No. Hei 8
-51077).

【0010】上記の提案により、簡単かつ確実にしかも
有害な不純物イオンを混入するような不都合なく、次亜
リン酸又はその塩を還元剤とする無電解めっき浴を再生
し、再使用することが可能になったが、これによって新
たな問題が生じた。
According to the above proposal, it is possible to easily and reliably regenerate and reuse an electroless plating bath using hypophosphorous acid or a salt thereof as a reducing agent without inconvenience of mixing harmful impurity ions. Although possible, this has created a new problem.

【0011】即ち、無電解ニッケルめっき浴の場合、通
常、硫酸ニッケル、錯化剤、次亜リン酸ナトリウムを主
成分とするものが広く用いられ、これはめっきの進行に
よって低下するニッケルイオン、次亜リン酸イオン、p
Hを補給、調整するため、硫酸ニッケル、次亜リン酸ナ
トリウム、それにpH調整剤として水酸化ナトリウムを
補給しながら連続的に使用することが行われている。従
って、めっき浴中には、上述したように亜リン酸イオン
が蓄積していくと共に、ナトリウムイオン、硫酸イオン
も蓄積していく。この場合、硫酸ナトリウムは溶解度が
高いので、特にめっき皮膜に影響を与えることは少な
い。
That is, in the case of an electroless nickel plating bath, those containing nickel sulfate, a complexing agent, and sodium hypophosphite as main components are widely used. Phosphite ion, p
In order to replenish and adjust H, nickel sulfate, sodium hypophosphite and sodium hydroxide as a pH adjuster are continuously used while being replenished. Therefore, as described above, phosphite ions accumulate in the plating bath, and sodium ions and sulfate ions also accumulate. In this case, since sodium sulfate has high solubility, it does not particularly affect the plating film.

【0012】しかし、上述した提案に従って蓄積した亜
リン酸イオンを硫酸ニッケルを添加して亜リン酸ニッケ
ルとして沈殿させ、これを除去して無電解ニッケルめっ
き浴を再生し、再使用を繰り返していくと、遂には硫酸
ナトリウムの溶解限度を超え、その結晶が析出して、め
っき皮膜の特性に悪影響を与える。
However, the phosphite ions accumulated in accordance with the above-mentioned proposal are precipitated as nickel phosphite by adding nickel sulfate, and are removed to regenerate the electroless nickel plating bath and to repeat reuse. Finally, the solubility exceeds the solubility limit of sodium sulfate, and its crystals precipitate, which adversely affects the properties of the plating film.

【0013】このため、上記めっき浴の再生、再使用に
伴って蓄積した硫酸ナトリウムを有害な不純物イオンを
混入するような不都合なく除去することが望まれた。
For this reason, it has been desired to remove sodium sulfate accumulated during regeneration and reuse of the plating bath without inconvenience such as mixing of harmful impurity ions.

【0014】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、上記のように蓄積した硫酸ナトリウムを確実にしか
も有害な不純物イオンを混入することなく除去して、次
亜リン酸ナトリウムを還元剤として使用した無電解めっ
き浴を再生し、再使用することができる無電解めっき浴
の再生方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and removes sodium sulfate accumulated as described above reliably and without mixing harmful impurity ions, and uses sodium hypophosphite as a reducing agent. An object of the present invention is to provide a method for regenerating an electroless plating bath which can recycle a used electroless plating bath and reuse it.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明は、上記目的を達成するため、無電解析出されるべ
き金属の水溶性硫酸塩、その錯化剤及び還元剤として次
亜リン酸ナトリウムを含み、亜リン酸ナトリウムが蓄積
された無電解めっき浴に、上記無電解めっき浴から析出
される無電解めっき皮膜の構成金属と同じ又はこの構成
金属が2種以上である場合は少なくともその1種と同じ
金属の硫酸塩、塩化物、炭酸化物、水酸化物又はこれら
の複塩を上記めっき浴のめっき作業における金属イオン
濃度よりも高濃度になるように添加して上記金属の難溶
性亜リン酸塩を生成、沈殿させ、この難溶性亜リン酸塩
を除去して上記無電解めっき浴を再生し、再使用するこ
とを繰り返すと共に、この再使用にかかる無電解めっき
浴中の硫酸ナトリウムが200g/l以上に蓄積された
場合、めっき浴を0〜15℃に冷却して硫酸ナトリウム
を析出、沈殿させ、これを除去することを特徴とする無
電解めっき浴の再生方法を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides a water-soluble sulfate of a metal to be electrolessly deposited, a complexing agent thereof and a hypophosphorous acid as a reducing agent. Including sodium, the electroless plating bath in which sodium phosphite has been accumulated, the same as the constituent metal of the electroless plating film deposited from the electroless plating bath or when the constituent metal is two or more, at least the A sulfate, chloride, carbonate, hydroxide or a double salt thereof of the same metal is added so as to have a concentration higher than the metal ion concentration in the plating operation of the plating bath, so that the metal is hardly soluble. Phosphite is generated and precipitated, and the poorly soluble phosphite is removed to regenerate the electroless plating bath and reuse is repeated. Natori The present invention provides a method for regenerating an electroless plating bath, comprising cooling a plating bath to 0 to 15 ° C. to precipitate and precipitate sodium sulfate when the amount of accumulated water exceeds 200 g / l. .

【0016】この場合、本発明は特に無電解ニッケルめ
っき浴に対して好適に用いることができ、このような点
から、本発明はその好適実施態様として、硫酸ニッケ
ル、その錯化剤及び還元剤として次亜リン酸ナトリウム
を含み、亜リン酸ナトリウムが蓄積された無電解ニッケ
ルめっき浴に硫酸ニッケルを上記めっき浴のめっき作業
におけるニッケルイオン濃度よりも高濃度になるように
添加して亜リン酸ニッケルを生成、沈殿させ、この亜リ
ン酸ニッケルを除去して上記無電解ニッケルめっき浴を
再生し、再使用することを繰り返すと共に、この再使用
にかかる無電解ニッケルめっき浴中の硫酸ナトリウムが
200g/l以上蓄積された場合、めっき浴を0〜15
℃に冷却して硫酸ナトリウムを析出、沈殿させ、これを
除去することを特徴とする無電解ニッケルめっき浴の再
生方法を提供する。
In this case, the present invention can be suitably used especially for an electroless nickel plating bath. In view of such a point, the present invention provides nickel sulfate, a complexing agent and a reducing agent thereof as preferred embodiments. And adding sodium sulfate to the electroless nickel plating bath containing sodium phosphite so as to have a concentration higher than the nickel ion concentration in the plating operation of the plating bath. Nickel is generated and precipitated, the nickel phosphite is removed, the electroless nickel plating bath is regenerated, and reuse is repeated. At the same time, 200 g of sodium sulfate in the electroless nickel plating bath is reused. / L or more, the plating bath is changed from 0 to 15
The present invention provides a method for regenerating an electroless nickel plating bath, wherein sodium sulfate is precipitated and precipitated by cooling to a temperature of ℃.

【0017】本発明によれば、上述した方法により、め
っき浴中に蓄積する亜リン酸イオンを効果的に除去して
めっき浴を再生し、再使用することができると共に、こ
のような使用の繰り返しによって大量に蓄積する硫酸ナ
トリウムを簡単かつ確実に、しかも不純物イオンを混入
することなく除去することができ、従ってめっき浴が更
に長寿命化し、より長期間に亘って無電解めっき浴の繰
り返し使用が可能である。
According to the present invention, by the above-described method, the phosphite ions accumulated in the plating bath can be effectively removed, and the plating bath can be regenerated and reused. A large amount of sodium sulfate accumulated by repetition can be easily and reliably removed without mixing in impurity ions, so that the plating bath has a longer life and the electroless plating bath can be used repeatedly for a longer period of time. Is possible.

【0018】従って、上記方法は、特に無電解めっき浴
が、硫酸ニッケル等の無電解析出されるべき金属の水溶
性硫酸塩、次亜リン酸ナトリウム及びpH調整剤として
水酸化ナトリウムを補給して連続使用するタイプの硫酸
イオン、ナトリウムイオンがめっきの進行につれて蓄
積、増加しているものである場合に有効である。
Therefore, the above method is particularly advantageous in that the electroless plating bath is continuously supplied with a water-soluble sulfate of a metal to be electrolessly deposited such as nickel sulfate, sodium hypophosphite, and sodium hydroxide as a pH adjuster. This is effective when the type of sulfate ion and sodium ion used accumulates and increases as plating proceeds.

【0019】また、上述した方法の実施にあたり、難溶
性亜リン酸塩を生成、沈殿させる際に、無電解めっき浴
をめっき作業温度より高温度に上げる操作及びめっき作
業におけるpHより高pHに上げる操作のいずれか一方
又は双方を同時に行うことにより、難溶性亜リン酸塩を
より効果的に除去することができる。
In the above-mentioned method, when producing and precipitating a sparingly soluble phosphite, the operation of raising the electroless plating bath to a temperature higher than the plating operation temperature and raising the pH to a higher pH than the plating operation. By performing one or both of the operations simultaneously, the poorly soluble phosphite can be more effectively removed.

【0020】以下、本発明につき更に詳述すると、本発
明の再生対象となる無電解めっき浴は、無電解析出され
るべき金属の水溶性硫酸塩、その錯化剤、及び還元剤と
して次亜リン酸ナトリウムを主成分とし、好ましくは上
記硫酸塩、次亜リン酸ナトリウム、及びpH調整剤とし
て水酸化ナトリウムを補給して連続使用するタイプのも
のであればいずれのものでもよく、例えば、無電解ニッ
ケル、コバルト、銅などの単一めっき浴、無電解ニッケ
ル−コバルト、ニッケル−銅、ニッケル−タングステ
ン、コバルト−タングステン等の合金めっき浴が挙げら
れるが、特に無電解ニッケル及びニッケル合金めっき浴
が好適に適用される。これら無電解めっき浴は酸性タイ
プ、中性タイプ、アルカリ性タイプのいずれでもよく、
またその組成は公知のものとすることができるが、特に
pH4〜6の酸性浴に好ましく適用される。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail. The electroless plating bath to be regenerated according to the present invention is composed of a water-soluble sulfate of a metal to be electrolessly deposited, a complexing agent thereof, and phosphorous hypophosphite as a reducing agent. Any type may be used as long as it is a type mainly containing sodium acid, preferably, the above-mentioned sulfate, sodium hypophosphite, and a type that is continuously used by replenishing sodium hydroxide as a pH adjuster. Nickel, cobalt, copper and other single plating baths, and electroless nickel-cobalt, nickel-copper, nickel-tungsten, cobalt-tungsten and other alloy plating baths can be mentioned, and in particular, electroless nickel and nickel alloy plating baths are preferable. Applied to These electroless plating baths may be any of an acidic type, a neutral type, and an alkaline type.
The composition may be a known one, but is particularly preferably applied to an acidic bath having a pH of 4 to 6.

【0021】この場合、無電解ニッケルめっき浴は、硫
酸ニッケル、クエン酸、コハク酸、リンゴ酸、酢酸、乳
酸などのカルボン酸やそれらの塩、その他公知のニッケ
ルの錯化剤、次亜リン酸ナトリウムを主成分としたもの
が用いられる。これらの成分の濃度は通常の範囲であ
り、例えば硫酸ニッケルは0.05〜0.3モル/L、
錯化剤は硫酸ニッケル1モルに対し1〜5モル/Lの範
囲、次亜リン酸ナトリウムは15〜90g/Lとするこ
とができる。なお、このめっき浴には安定剤、pH調整
剤などを添加し得、無電解ニッケルめっき浴のpHもア
ルカリ性、酸性とすることができるが、連続使用のため
のめっき液としてはpHが3.5〜6.5とすることが
通常である。
In this case, the electroless nickel plating bath contains a carboxylic acid such as nickel sulfate, citric acid, succinic acid, malic acid, acetic acid, lactic acid and salts thereof, other known complexing agents for nickel, and hypophosphorous acid. Those containing sodium as a main component are used. The concentration of these components is in a normal range, for example, nickel sulfate is 0.05 to 0.3 mol / L,
The complexing agent can be in the range of 1 to 5 mol / L per mol of nickel sulfate, and sodium hypophosphite can be in the range of 15 to 90 g / L. In addition, a stabilizer, a pH adjuster and the like can be added to this plating bath, and the pH of the electroless nickel plating bath can be made alkaline or acidic. However, the plating solution for continuous use has a pH of 3. It is usually 5 to 6.5.

【0022】この無電解ニッケルめっき浴を用いためっ
き法も通常の方法を採用し得るが、めっき反応の進行と
共にめっき浴中のニッケルイオン、次亜リン酸イオンが
低下すると共に、pHが低下する。このため、連続的又
は間欠的にめっき浴に対し補給剤として硫酸ニッケル、
次亜リン酸ナトリウムを添加すると共に、水酸化ナトリ
ウム等のpH上昇剤を添加し、めっき浴中のニッケルイ
オン濃度、次亜リン酸イオン濃度及びpHを所定濃度に
維持する。これによって、長期間に亘り良好な無電解め
っきを行うことができるが、めっき浴中に次亜リン酸イ
オンの酸化によって生じる亜リン酸イオンが蓄積した場
合、その除去処理を施す。
The plating method using this electroless nickel plating bath can also employ a usual method, but as the plating reaction proceeds, the nickel ions and hypophosphite ions in the plating bath decrease and the pH decreases. . For this reason, nickel sulfate, as a supplement to the plating bath, continuously or intermittently,
At the same time as adding sodium hypophosphite, a pH increasing agent such as sodium hydroxide is added to maintain the nickel ion concentration, the hypophosphite ion concentration and the pH in the plating bath at predetermined concentrations. Thereby, good electroless plating can be performed over a long period of time. However, when phosphite ions generated by oxidation of hypophosphite ions accumulate in the plating bath, a treatment for removing the phosphite ions is performed.

【0023】即ち、本発明の再生方法は、上記のような
めっき浴の使用により、次亜リン酸イオンH2PO 2 -
の消費(酸化)で亜リン酸塩(亜リン酸塩イオンH2
3 -)が蓄積しためっき浴(この場合、再生時期は適
宜選定され、限定されるものではないが、通常50g/
L以上であり、好ましくは100g/L以上、特に15
0g/L以上、場合によっては200g/L以上蓄積し
ためっき浴)に対し、上記無電解めっき浴から析出され
る無電解めっき皮膜の構成金属と同じ又はこの構成金属
が2種以上である場合は少なくともその1種と同じ金属
の硫酸塩、塩化物、炭酸化物、水酸化物又はこれらの複
塩を上記めっき浴のめっき作業における金属イオン濃度
よりも高濃度になるように添加する。
That is, the reproducing method of the present invention has the following
By using a plating bath, hypophosphite ion HTwoPO Two -
Consumption (oxidation) of phosphite (phosphite ion HTwoP
O Three -) Accumulated plating bath (in this case, the regeneration time is
It is appropriately selected and is not limited, but usually 50 g /
L or more, preferably 100 g / L or more, especially 15 g / L or more.
0g / L or more, and sometimes 200g / L or more
Plating bath), and is deposited from the above electroless plating bath.
Or the same as the constituent metal of the electroless plating film
Is the same metal as at least one of them when two or more are
Sulfate, chloride, carbonate, hydroxide or
Metal ion concentration in the plating operation of the above plating bath with salt
Is added so as to have a higher concentration.

【0024】この処置は、例えば無電解ニッケルめっき
浴であれば、硫酸ニッケル、塩化ニッケル、炭酸ニッケ
ル、水酸化ニッケル、塩基性炭酸ニッケル〔NiCO3
・Ni(OH)2・nH2O〕などを添加するものであ
り、また例えば無電解ニッケル−銅合金めっき浴の場合
には、上記のほか、銅の硫酸塩、塩化物、炭酸塩、水酸
化物、これらの複塩を添加するものである。好ましく
は、ここで添加する添加剤は、硫酸ニッケル等の水溶性
硫酸塩であることが、本発明に適している。
In this treatment, for example, in the case of an electroless nickel plating bath, nickel sulfate, nickel chloride, nickel carbonate, nickel hydroxide, basic nickel carbonate [NiCO 3
Ni (OH) 2 .nH 2 O] or the like. For example, in the case of an electroless nickel-copper alloy plating bath, copper sulfate, chloride, carbonate, water Oxides and double salts thereof are added. Preferably, the additive added here is a water-soluble sulfate such as nickel sulfate, which is suitable for the present invention.

【0025】この場合、この処置における添加量は、そ
のめっき浴の通常のめっき作業における金属イオン濃度
(通常のめっき管理金属イオン濃度)より高濃度であれ
ばよいが、好ましくは当該めっき管理金属イオン濃度の
1を超え10重量倍以下、好ましくは1.2〜10重量
倍、特に1.5〜6重量倍になるように添加すること
が、難溶性亜リン酸塩の生成、沈殿の点で好適である。
また、上記硫酸ニッケル等の添加剤の添加は、亜リン酸
イオン1モルに対して0.5モル以上、好ましくは1モ
ル以上となる割合とすることが好ましい。
In this case, the amount added in this treatment may be higher than the metal ion concentration (normal plating control metal ion concentration) in the normal plating operation of the plating bath, but is preferably the plating control metal ion. It is preferable to add so that the concentration becomes more than 1 and 10 times by weight or less, preferably 1.2 to 10 times by weight, particularly 1.5 to 6 times by weight, in terms of formation and precipitation of poorly soluble phosphite. It is suitable.
It is preferable that the additive such as nickel sulfate is added at a ratio of 0.5 mol or more, preferably 1 mol or more, per 1 mol of phosphite ions.

【0026】なお、上記添加剤の添加と共に、上記無電
解めっき浴をそのめっき作業温度(通常のめっき管理温
度)より高温度に上げる操作及び上記無電解めっき浴を
そのめっき作業におけるpH(通常のめっき管理pH)
より高pHに上げる操作のいずれか一方又は双方の処置
を行うことが、難溶性亜リン酸塩の生成、沈殿を更に効
果的に行う点で好ましい。
In addition, the operation of raising the temperature of the electroless plating bath to a temperature higher than the plating operation temperature (normal plating control temperature) together with the addition of the additive, and the operation of raising the pH of the electroless plating bath during the plating operation (normal plating operation). Plating control pH)
It is preferable to perform one or both of the operations of raising the pH to a higher pH, since the formation and precipitation of the hardly soluble phosphite are more effectively performed.

【0027】この場合、前者の操作は、通常のめっき管
理温度より5℃以上であることが好ましい。例えば、通
常の酸性タイプの無電解ニッケルめっき浴は90℃でめ
っきすることが多く、このようなめっき浴に対しては9
5℃以上、特に97℃以上、場合によっては沸点に上げ
る。また、後者の操作は、通常のめっき管理pHより
0.1以上、特に1以上pHを上げることが好ましく、
例えばpH4〜6の酸性タイプの無電解めっき浴の場
合、pH4.5〜12、好ましくはpH4.5〜7、特
にpH5〜7の範囲において上記のような高pHにする
ことが好ましい。
In this case, the former operation is preferably performed at a temperature of 5 ° C. or higher than a normal plating control temperature. For example, a common acidic electroless nickel plating bath is often plated at 90 ° C.
The temperature is raised to 5 ° C. or higher, particularly 97 ° C. or higher, and in some cases, to the boiling point. In the latter operation, it is preferable to raise the pH by 0.1 or more, particularly 1 or more, from the normal plating management pH,
For example, in the case of an acidic electroless plating bath having a pH of 4 to 6, it is preferable that the pH be as high as described above in the range of pH 4.5 to 12, preferably pH 4.5 to 7, particularly pH 5 to 7.

【0028】なお、めっき浴のpHを上げる方法として
は、水酸化ナトリウム等の水酸化アルカリを添加する方
法が挙げられるほか、上で述べた金属の水酸化物や炭酸
化物を添加する方法が挙げられる。なお、後者の場合、
このpHを上げるための処置においては、その添加によ
ってpHが上昇するため、上記の添加剤の添加の処置よ
りも金属イオンの添加量は少なくてもよい。
As a method for increasing the pH of the plating bath, a method of adding an alkali hydroxide such as sodium hydroxide and the like, and a method of adding a hydroxide or a carbonate of a metal described above may be mentioned. Can be In the latter case,
In the treatment for increasing the pH, the addition increases the pH, so that the amount of addition of the metal ion may be smaller than in the above-described treatment for adding the additive.

【0029】このpHの上昇方法を実施する場合、めっ
き浴は室温でもよいが、40〜90℃、特に50〜70
℃に上げて放置することが好ましい。
When carrying out this method of raising the pH, the plating bath may be at room temperature, but at a temperature of 40 to 90 ° C., particularly 50 to 70 ° C.
It is preferred that the temperature be raised to 0 ° C. and left.

【0030】なお、上記の各処置は、必要により撹拌下
に放置して難溶性亜リン酸塩を生成、沈殿させるが、こ
の場合、放置時間は30分〜24時間、特に1〜5時間
とすることが好ましい。
In each of the above treatments, if necessary, the mixture is left under stirring to produce and precipitate a sparingly soluble phosphite. In this case, the standing time is 30 minutes to 24 hours, particularly 1 to 5 hours. Is preferred.

【0031】生じた沈殿の分離、除去は濾過などの常法
に従って行うことができる。この場合、高温度下で濾別
することが好ましく、まためっき槽近くに別槽及び複数
の濾過装置を設置し、一方を休止中に沈殿生成、濾別を
行うことができ、めっき浴を取り出して別槽で濾過処理
してもよい。
Separation and removal of the formed precipitate can be carried out according to a conventional method such as filtration. In this case, it is preferable to perform filtration at a high temperature, and a separate tank and a plurality of filtration devices are installed near the plating tank, and precipitation can be performed and filtration can be performed while one of the tanks is stopped. Alternatively, filtration may be performed in a separate tank.

【0032】この再生された無電解めっき浴は、金属イ
オン濃度、次亜リン酸イオン濃度、pHなどを調整した
後、再度同じようにめっきに使用でき、この無電解めっ
き浴中に再度亜リン酸イオンが蓄積されてきた場合は上
述したように再生処理を行うことにより、繰り返して使
用でき、従って無電解めっき浴の寿命を延長することが
できる。
The regenerated electroless plating bath can be used for plating again after adjusting the metal ion concentration, hypophosphite ion concentration, pH, etc. When acid ions are accumulated, by performing the regeneration treatment as described above, the acid ions can be used repeatedly, and thus the life of the electroless plating bath can be extended.

【0033】本発明においては、このようにめっき浴の
繰り返し使用でめっき浴中にナトリウムイオン及び硫酸
イオンが蓄積し、硫酸ナトリウムが大量に生成してくる
が、この硫酸ナトリウムが所定値以上に増加した場合
は、めっき浴を室温より低温に冷却し、硫酸ナトリウム
を析出、沈殿させ、これを除去するものである。
In the present invention, sodium ions and sulfate ions accumulate in the plating bath due to repeated use of the plating bath, and a large amount of sodium sulfate is generated. In this case, the plating bath is cooled to a temperature lower than room temperature to precipitate and precipitate sodium sulfate and remove it.

【0034】ここで、硫酸ナトリウムの蓄積量がどの程
度になったらかかる処置を施すかは200g/L以上、
特に400g/L以上で、硫酸ナトリウムの溶解限度に
達する前である。また、冷却温度は0〜15℃、特に0
〜5℃である。低すぎるとめっき浴全体が結晶化し、高
すぎると一度に除去できる量が少なくなる。更に、析出
した硫酸ナトリウムの除去方法としては、上記難溶性亜
リン酸塩の除去方法と同様である。
Here, the amount of the accumulated sodium sulfate when the above treatment is to be performed is 200 g / L or more.
Particularly at 400 g / L or more, before reaching the solubility limit of sodium sulfate. Further, the cooling temperature is 0 to 15 ° C, especially 0 ° C.
55 ° C. If it is too low, the entire plating bath will crystallize, and if it is too high, the amount that can be removed at one time will be small. Further, the method of removing the precipitated sodium sulfate is the same as the method of removing the hardly soluble phosphite.

【0035】このように硫酸ナトリウムが除去されため
っき浴は、上記と同様に浴組成を調整し、めっき浴を再
使用する。
The plating bath from which sodium sulfate has been removed is adjusted in the same manner as described above, and the plating bath is reused.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明によれば、亜リン酸イオンが多量
に蓄積した老化した無電解めっき浴から亜リン酸イオン
を不純物を導入することなく簡単かつ確実にしかも安価
に除去することができると共に、めっき浴の繰り返し使
用で大量に蓄積した硫酸ナトリウムを同様に簡単、確実
に、かつ安価に除去し、めっき浴を再生、繰り返して長
期に亘って使用することができる。
According to the present invention, phosphite ions can be easily, reliably and inexpensively removed from an aged electroless plating bath in which a large amount of phosphite ions have accumulated without introducing impurities. At the same time, sodium sulfate accumulated in large quantities by repeated use of the plating bath can be similarly easily, reliably, and inexpensively removed, and the plating bath can be regenerated and repeatedly used for a long time.

【0037】[0037]

【実施例】以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明
するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではな
い。
The present invention will be described below in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.

【0038】下記組成の無電解ニッケルめっき浴を建浴
した。 硫酸ニッケル 5.0 g/L(Ni2+として) NaH2PO2・H2O 25.0 g/L 酢酸ナトリウム 18.0 g/L リンゴ酸 40.0 g/L Pb2+ 0.3mg/L (NaH2PO3 0 g/L) pH 4.5
An electroless nickel plating bath having the following composition was prepared. Nickel sulfate 5.0 g / L (as Ni 2+ ) NaH 2 PO 2 .H 2 O 25.0 g / L Sodium acetate 18.0 g / L Malic acid 40.0 g / L Pb 2+ 0.3 mg / L (NaH 2 PO 30 g / L) pH 4.5

【0039】上記無電解ニッケルめっき浴を用い、硫酸
ニッケル、NaH2PO2・H2O及びpH調整剤として
NaOH(又はH2SO4)を所定間隔で上記Ni2+
度、NaH2PO2・H2O濃度及びpH4.5になるよ
うに補給し、また必要に応じて酢酸ナトリウム、リンゴ
酸、Pb2+を適宜補給しながら90℃でめっきを行い、
更に亜リン酸イオンが所定値以上に増加した場合に後述
すると同様の硫酸ニッケル添加処理を施して亜リン酸イ
オン除去操作を施した後、上記と同様にしてめっきを行
い、その後めっき浴(比較例1)の分析を行った。その
結果は下記の通りである。
Using the above electroless nickel plating bath, nickel sulfate, NaH 2 PO 2 .H 2 O, and NaOH (or H 2 SO 4 ) as a pH adjuster were added at predetermined intervals to the above Ni 2+ concentration, NaH 2 PO 2・ Plating is performed at 90 ° C. while replenishing so that the H 2 O concentration and the pH become 4.5 and, if necessary, while replenishing sodium acetate, malic acid, and Pb 2+ appropriately.
Further, when the phosphite ion increases to a predetermined value or more, a nickel sulphate ion removal treatment similar to that described later is performed, a phosphite ion removal operation is performed, plating is performed in the same manner as above, and then a plating bath (comparison) The analysis of Example 1) was performed. The results are as follows.

【0040】 Ni2+ 5.0 g/L NaH2PO2・H2O 25.0 g/L NaH2PO3 205 g/L Na2SO4・7H2O 430 g/L Pb2+ 0.3mg/L[0040] Ni 2+ 5.0 g / L NaH 2 PO 2 · H 2 O 25.0 g / L NaH 2 PO 3 205 g / L Na 2 SO 4 · 7H 2 O 430 g / L Pb 2+ 0 0.3mg / L

【0041】次に、この比較例1にかかるめっき浴を5
℃に1時間放置し、晶析した硫酸ナトリウムを濾過によ
り除去した後、得られためっき浴(比較例2)の分析を
行い、下記の結果を得た。
Next, the plating bath according to Comparative Example 1
After leaving at room temperature for 1 hour and removing the crystallized sodium sulfate by filtration, the obtained plating bath (Comparative Example 2) was analyzed, and the following results were obtained.

【0042】 Ni2+ 5.0 g/L NaH2PO2・H2O 24.3 g/L NaH2PO3 203 g/L Na2SO4・7H2O 110 g/L Pb2+ 0.3mg/L[0042] Ni 2+ 5.0 g / L NaH 2 PO 2 · H 2 O 24.3 g / L NaH 2 PO 3 203 g / L Na 2 SO 4 · 7H 2 O 110 g / L Pb 2+ 0 0.3mg / L

【0043】更に、この比較例2のめっき浴に硫酸ニッ
ケルを30g/Lになるように添加した後、95℃に1
時間保ち、生じた沈殿を除去した。得られためっき浴
(実施例1)の分析結果は下記の通りである。
Further, nickel sulfate was added to the plating bath of Comparative Example 2 at a concentration of 30 g / L.
The mixture was kept for a while, and the resulting precipitate was removed. The analysis results of the obtained plating bath (Example 1) are as follows.

【0044】 Ni2+ 9.0 g/L NaH2PO2・H2O 7.3 g/L NaH2PO3 99 g/L Na2SO4・7H2O 106 g/L Pb2+ 0.1mg/L[0044] Ni 2+ 9.0 g / L NaH 2 PO 2 · H 2 O 7.3 g / L NaH 2 PO 3 99 g / L Na 2 SO 4 · 7H 2 O 106 g / L Pb 2+ 0 .1 mg / L

【0045】以上の各めっき浴について、Ni2+5.0
g/L、NaH2PO2・H2O25.0g/L、pH
4.5に調整した後、90℃で30分間めっきを行っ
た。被めっき物としては5×10cmの軟鋼板を用い、
まためっき浴量は1リットルとした。得られためっき皮
膜の外観を目視で観察した結果は下記の通りであった。
For each of the above plating baths, Ni 2+ 5.0
g / L, NaH 2 PO 2 · H 2 O25.0g / L, pH
After adjusting to 4.5, plating was performed at 90 ° C. for 30 minutes. A 5 × 10 cm mild steel plate was used as the object to be plated.
The plating bath volume was 1 liter. The results of visual observation of the appearance of the obtained plating film were as follows.

【0046】比較例1:表面にはザラツキがあり、水洗
水中に30分放置しただけで茶色の鉄さびが発生した。 比較例2:表面にザラツキはなかったが、水洗水中に3
0分放置したところ、茶色の鉄さびの発生が認められ
た。 実施例1:表面にザラツキはなく、水洗水中に60分放
置しても鉄さびの発生がなかった。
Comparative Example 1: The surface had roughness, and brown iron rust was generated only after being left in the washing water for 30 minutes. Comparative Example 2: There was no roughness on the surface, but 3
When left for 0 minutes, generation of brown iron rust was observed. Example 1: There was no roughness on the surface, and there was no generation of iron rust even after being left in the washing water for 60 minutes.

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 無電解析出されるべき金属の水溶性硫酸
塩、その錯化剤及び還元剤として次亜リン酸ナトリウム
を含み、亜リン酸ナトリウムが蓄積された無電解めっき
浴に、上記無電解めっき浴から析出される無電解めっき
皮膜の構成金属と同じ又はこの構成金属が2種以上であ
る場合は少なくともその1種と同じ金属の硫酸塩、塩化
物、炭酸化物、水酸化物又はこれらの複塩を上記めっき
浴のめっき作業における金属イオン濃度よりも高濃度に
なるように添加して上記金属の難溶性亜リン酸塩を生
成、沈殿させ、この難溶性亜リン酸塩を除去して上記無
電解めっき浴を再生し、再使用することを繰り返すと共
に、この再使用にかかる無電解めっき浴中の硫酸ナトリ
ウムが200g/l以上に蓄積された場合、めっき浴を
0〜15℃に冷却して硫酸ナトリウムを析出、沈殿さ
せ、これを除去することを特徴とする無電解めっき浴の
再生方法。
1. An electroless plating bath containing sodium hypophosphite as a water-soluble sulfate of a metal to be electrolessly deposited, a complexing agent thereof and a reducing agent, wherein sodium phosphite is accumulated. When the constituent metal of the electroless plating film deposited from the plating bath is the same as the constituent metal or two or more constituent metals, sulfate, chloride, carbonate, hydroxide or the same of at least one of the same metals is used. A double salt is added so as to have a concentration higher than the metal ion concentration in the plating operation of the plating bath to generate and precipitate the hardly soluble phosphite of the metal, and the hardly soluble phosphite is removed. The electroless plating bath is regenerated and reused repeatedly. When the sodium sulfate in the electroless plating bath according to the reuse is accumulated at 200 g / l or more, the plating bath is cooled to 0 to 15 ° C. do it A method for regenerating an electroless plating bath, comprising depositing and precipitating sodium sulfate and removing the same.
【請求項2】 硫酸ニッケル、その錯化剤及び還元剤と
して次亜リン酸ナトリウムを含み、亜リン酸ナトリウム
が蓄積された無電解ニッケルめっき浴に硫酸ニッケルを
上記めっき浴のめっき作業におけるニッケルイオン濃度
よりも高濃度になるように添加して亜リン酸ニッケルを
生成、沈殿させ、この亜リン酸ニッケルを除去して上記
無電解ニッケルめっき浴を再生し、再使用することを繰
り返すと共に、この再使用にかかる無電解ニッケルめっ
き浴中の硫酸ナトリウムが200g/l以上蓄積された
場合、めっき浴を0〜15℃に冷却して硫酸ナトリウム
を析出、沈殿させ、これを除去することを特徴とする無
電解ニッケルめっき浴の再生方法。
2. An electroless nickel plating bath containing sodium hypophosphite as a nickel sulphite, a complexing agent and a reducing agent thereof, wherein nickel sulphate is accumulated in an electroless nickel plating bath in which sodium phosphite is accumulated. Nickel phosphite is generated and precipitated by adding so as to have a concentration higher than the concentration, and the nickel phosphite is removed, the electroless nickel plating bath is regenerated, and reuse is repeated. When sodium sulfate in the electroless nickel plating bath for reuse is accumulated at 200 g / l or more, the plating bath is cooled to 0 to 15 ° C. to precipitate and precipitate sodium sulfate, and the sodium sulfate is removed. To regenerate an electroless nickel plating bath.
【請求項3】 無電解めっき浴が、無電解析出されるべ
き金属の水溶性硫酸塩、次亜リン酸ナトリウム及びpH
調整剤として水酸化ナトリウムを補強して連続使用する
タイプのものである請求項1又は2記載の再生方法。
3. An electroless plating bath comprising: a water-soluble sulfate of a metal to be electrolessly deposited; sodium hypophosphite;
3. The method according to claim 1, wherein the modifier is of a type which is reinforced and continuously used with sodium hydroxide.
【請求項4】 難溶性亜リン酸塩を生成、沈殿させる
際、無電解めっき浴をめっき作業温度より高温度に上げ
る操作及びめっき作業におけるpHより高pHに上げる
操作のいずれか一方又は双方を同時に行うようにした請
求項1,2又は3記載の再生方法。
4. When producing and precipitating a sparingly soluble phosphite, one or both of an operation of raising an electroless plating bath to a temperature higher than a plating operation temperature and an operation of raising a pH to a pH higher than a plating operation is performed. 4. The reproducing method according to claim 1, wherein the reproducing method is performed simultaneously.
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