JP3193688U - ノズル板構造 - Google Patents

Abstract

【課題】異なる層を有する構造を備え、液体微粒化効果を向上させるノズル板構造を提供する。【解決手段】プレート１０、及び、プレート１０を貫通する複数の開口部２０Ａを含むノズル板構造に関連する。各開口部２０は、貯水空間３０と出水空間５０を含む。貯水空間３０の設置により、コンテナ中の液体が円滑に導出される。出水空間５０の設置により、液体滴下が減少する。あるいは、導水空間４０が、貯水空間３０と出水空間５０の間に設置されて、開口部２０Ａ中の液体の共鳴振動が増加する。さらに、出水空間５０中の残りの液体が、導水空間４０の毛管現象により再吸収される。【選択図】図１

Description

本考案は、ノズル板構造に関するものであって、特に、電鋳法により製造され、且つ、液体微粒化装置、例えば半導体フォトレジストコーティング機、投薬装置、及び、アロマオイルディフューザーに適用されるミクロノズル板に関するものである。本考案のノズル板の各開口部は、異なる層を有する構造を備え、液体微粒化効果を向上させる。

ノズル板は、一般に、液体微粒化装置、例えば半導体フォトレジストコーティング機、投薬装置、アロマオイルディフューザー、噴霧器、インクカートリッジ等に用いられる。ノズル板は、電子振動の原理を用いて、高周波振動を生成して、液体の大きい分子クラスターを小さい分子クラスターに撒き散らし、霧状にする。

しかし、現在の微粒化装置のノズル板構造は、液体を完全に霧化するのには簡単すぎる構造である。例えば、開口部は単純な円形の貫通孔である。このような場合、液体は、開口部周辺に累積、及び、液滴が滴下しやすい。よって、微粒子化の効果、又は、噴霧の品質が低下する。

上述の問題を解決するため、本考案は、ノズル板構造を提供し、液滴の滴下の問題を解決し、液体微粒化の効果と品質を改善することを目的とする。

一つの実施例において、本考案は、プレート、及び、プレートを貫通する複数の開口部を有するノズル板構造に関連し、各開口部は、貯水空間、導水空間、及び、出水空間を備えている。貯水空間は、プレートの貯水壁により定義される。貯水空間は、第一貯水開口端、及び、第一貯水開口端と反対の第二貯水開口端を有する。貯水壁はアーチ型表面を有する。導水空間は、プレートの導水壁により定義される。導水空間は、第二貯水開口端により、貯水空間と接続、及び、連通する。導水壁は、貯水壁に滑らかに接続される。出水空間は、プレートの第一出水壁と第二出水壁により定義され、導水空間と接続、及び、連通する。第一出水壁は導水壁と接続される。第二出水壁は、第一出水壁と非平行に接続される。

別の実施例において、本考案は、プレート、及び、プレートを貫通する複数の開口部を備えるノズル板構造に関連し、各開口部は、貯水空間と出水空間を有する。貯水空間は、プレートの貯水壁により定義される。貯水空間は、第一貯水開口端、及び、第一貯水開口端と反対の第二貯水開口端を備える。貯水壁はアーチ型表面を有する。出水空間は、第二貯水開口端により、貯水空間と接続、及び、連通する。出水空間は、プレートの第一出水壁と第二出水壁により定義される。第一出水壁は貯水壁と接続される。第二出水壁は、第一出水壁と非平行に接続される。

本考案により、液滴の滴下の問題が解決され、液体微粒化の効果と品質を改善する。

本明細書は、本考案を特に指摘し明確に請求する特許請求の範囲にてまとめるが、以下の説明を添付図面と併せ読むことによって、本考案が更によく理解されると考えられている。

本考案の一実施例によるノズル板構造の一部の断面図である。 本考案の一実施例による開口部の貯水空間の断面図である。 本考案の一実施例による開口部の導水空間の断面図である。 本考案の一実施例による開口部の出水空間の断面図である。 本考案の異なる態様による、異なる挟角を有する出水空間の断面図である。 本考案の別の異なる態様による、異なる挟角を有する出水空間の断面図である。 本考案の別の態様によるノズル板構造の一部の断面図である。

他の実施の形態及び利点が以下の詳細な説明に述べられる。この概要は、本考案を定めるものではない。本考案は請求項によって定められる。

図１は、本考案の一実施例によるノズル板構造の一部の断面図である。ノズル板構造は、プレート１０、及び、プレート１０を貫通する複数の開口部２０Ａを備える。開口部２０Ａは、貯水空間３０、導水空間４０、及び、出水空間５０を備えている。

図２は、本考案の一つの実施例による開口部２０Ａの貯水空間３０の断面図である。開口部２０Ａの部分／空間として設置される貯水空間３０は、最初、コンテナ (図示しない)内の液体と接触する。つまり、貯水空間３０は、コンテナ内部に面して設置される。貯水空間３０は、プレート１０の貯水壁３２により定義される。貯水空間３０は、第一貯水開口端３０２、及び、第一貯水開口端３０２と反対の第二貯水開口端３０４を有する。好ましくは、貯水壁３２はアーチ型表面を有する。好ましくは、第一貯水開口端３０２は一幅を有し、第二貯水開口端３０４は、第一貯水開口端３０２の幅より小さい幅Ｄ１を有する。好ましい態様において、貯水壁３２はアーチ型表面を有する;第一貯水開口端３０２の幅は、第二貯水開口端３０４の幅Ｄ１より大きい。好ましくは、第二貯水開口端３０４の幅Ｄ１は３〜４５μｍである。貯水壁３２はアーチ型表面を有し、第一貯水開口端３０２の幅は、第二貯水開口端３０４の幅Ｄ１より大きく、コンテナ中の液体は、広い第一貯水開口端３０２から、貯水空間３０に容易に進入することができ、その後、貯水壁３２のアーチ型表面は、円滑に、液体を狭い第二貯水開口端３０４から排出する。このような構造は、微粒化液体、又は、小さい液体分子を形成する。

図３は、本考案の一つの実施例による開口部２０Ａの導水空間４０の断面図である。図１に示されるように、導水空間４０は、貯水空間３０と出水空間５０と接続、及び、連通し、液体を、貯水空間３０から出水空間５０に導く。導水空間４０は、プレート１０の導水壁４２により定義され、且つ、幅Ｄ２を有する。導水空間４０は、第二貯水開口端３０４により、貯水空間３０と接続、及び、連通する。導水壁４２は、貯水壁３２と滑らかに接続される。好ましくは、導水空間４０の幅Ｄ２は３〜４５μｍである。好ましくは、導水空間４０の幅Ｄ２は、一般に、第二貯水開口端３０４の幅Ｄ１に等しい。導水空間４０のこのような設置と配置であり、導水空間４０は毛細管効果を生成し、コンテナ中の液体を、貯水空間３０から排出する。さらに、導水空間４０は、また、導水空間４０中の液体の共鳴を増強し、微粒子化の効果を改善する。さらに、液滴のサイズは、導水空間４０の幅Ｄ２を調節することにより制御される。好ましくは、導水空間４０は、０．０１〜３５μｍの高さＴ１を有する。

図４は、本考案の一つの実施例による開口部２０Ａの出水空間５０の断面図である。図１に示されるように、出水空間５０は、貯水空間３０に対応して、導水空間４０と連接し、よって、コンテナ内の霧状の液体をコンテナ外側に出力する。出水空間５０は、プレート１０の第一出水壁５２と第二出水壁５４により定義される。出水空間５０は、導水空間４０と接続、及び、連通する。第一出水壁５２は導水壁４２と接続される。第二出水壁５４は、第一出水壁５２と非平行に接続される。出水空間開口５０２は、第一出水壁５２から離れた第二出水壁５４の一端により定義される。好ましくは、第一出水壁５２は、出水空間５０で第一出水壁５２と第二出水壁５４間の挟角 θにより、第二出水壁５４に接続される。好ましくは、出水空間５０は、０．０１〜２５μｍの高さＴ２を有する。第一出水壁５２と第二出水壁５４の接合部は、出水空間５０の幅Ｄ３を定義する。好ましくは、幅Ｄ３は１５〜８０μｍである。出水空間５０のこのような設定と配置であり、出水空間５０は、容器外部に発散されない霧状の液体を貯めることが出来る。出水空間５０と導水空間４０間の連通に基づいて、出水空間５０中に貯留した液体が、導水空間４０の毛細管効果により、導水空間４０、又は、貯水空間３０中に再吸収される。これにより、出水空間５０は貯留した液体を留め、貯留した液体が滴り落ちるのを回避する。

好ましくは、図５Ａと図５Ｂに示される例のように、第一出水壁５２と第二出水壁５４間の挟角θは特定角度である。すなわち、挟角θは固定角である。挟角θは４５〜１６５度であり、第二出水壁５４の断面は対称的に設置される。図５Ａにおいて、挟角θは鋭角であり、出水空間５０は、図４より狭い出水空間開口５０２を有し、この例のノズル板により生成される霧状の液体はさらに集中され、出水空間５０の液体保持効果がさらに向上する。図５Ｂにおいて、挟角θは鈍角であり、出水空間５０は、図４より広い出水空間開口５０２を有し、この例のノズル板により生成される霧状の液体はさらに拡散し、出水空間５０の液体保持効果も向上する。さらに、出水空間５０の体積が増加して、さらに多くの液体を収容し、ノズル板構造は、噴霧の長期過程で液体滴下を効果的に減少させることができる。任意の別の態様において、第一出水壁５２と第二出水壁５４間の挟角θは特定角度ではない。すなわち、挟角θは可変角度である。挟角θは４５〜１６５度であり、よって第二出水壁５４の断面は非対称的に設置され(図示しない)、別の態様のノズル板構造は、また、出水空間５０での液体滴下を減少させ、霧状の液体を特定方向で噴霧することができる。

図６は、本考案の別の態様によるノズル板構造の一部の断面図であり、プレート１０の開口部２０Ｂの構造を示す図である。開口部２０Ｂは、貯水空間３０と出水空間５０を備える。この態様において、出水空間５０は、貯水空間３０と接続、及び、連通し、第一出水壁３２は貯水壁３２と接続される。さらに特に、出水空間５０は、第二貯水開口端３０４により、貯水空間３０と接続、及び、連通する。貯水空間３０の第二貯水開口端３０４が設置されて、毛細管効果を生成し、コンテナの液体を、貯水空間３０から出水空間５０に導き、残りの液体を貯水空間３０に再吸収させる。この態様の別の構造と特徴は、本考案の上述の態様と同じであり、ここに詳述しない。

注意すべきことは、本考案において、第二貯水開口端３０４の幅Ｄ１、導水空間４０の幅Ｄ２、出水空間５０の幅Ｄ３、導水空間４０の高さＴ１と出水空間５０の高さＴ２の各値は、０．０１μmのインクリメント、又は、デクリメントにより調整される。例えば、導水空間４０の高さＴ１は、０．０１μm、０．０２μm、０．０３μm、・・・、３４.９９μm、又は、３５μｍの値を有する。つまり、導水空間４０の高さＴ１は、０．０１μmの公差を有する等差数列の形式であり、０．０１μm〜３５μｍで分布する。同様に、第一出水壁５２と第二出水壁５４間の挟角θの値は、０．０１度のインクリメント、又は、デクリメントにより調整される。

本考案では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本考案に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本考案の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本考案の保護範囲は、実用新案請求の範囲で指定した内容を基準とする。

１０： プレート
２０Ａ、２０Ｂ： 開口部
３０： 貯水空間
３２： 貯水壁
３０２： 第一貯水開口端
３０４： 第二貯水開口端
４０： 導水空間
４２： 導水壁
５０： 出水空間
５２： 第一出水壁
５４： 第二出水壁
５０２： 出水空間開口
Ｄ： 幅
Ｔ： 高さ
θ： 角度

Claims (13)

1. ノズル板構造であって、
   プレート、及び、
   前記プレートを貫通する複数の開口部、
   を含み、前記開口部は、それぞれ、
   前記プレートの貯水壁により定義され、第一貯水開口端、及び、前記第一貯水開口端と反対の第二貯水開口端を有し、表面がアーチ型である貯水空間、
   前記プレートの導水壁により定義され、前記第二貯水開口端により、前記貯水空間と接続、及び、連通し、前記導水壁が円滑に、前記貯水壁と接続される導水空間、及び、
   前記プレートの第一出水壁と第二出水壁により定義され、前記導水空間と接続、及び、連通され、前記第一出水壁は前記導水壁と接続され、且つ、前記第二出水壁は、非平行に、前記第一出水壁と接続される出水空間、
   を含むことを特徴とする、前記ノズル板構造。
2. 前記出水空間は、０．０１〜２５μｍの高さを有し、前記出水空間の幅は、前記第一出水壁と前記第二出水壁の接合部により定義され、１５〜８０μｍであることを特徴とする、請求項１に記載のノズル板構造。
3. 前記第一貯水開口端の幅は、前記第二貯水開口端の幅より大きく、前記第二貯水開口端の前記幅は、３〜４５μｍであることを特徴とする、請求項１又は２に記載のノズル板構造。
4. 前記第一貯水開口端の幅は、前記第二貯水開口端の幅より大きく、前記第二貯水開口端の前記幅は３〜４５μｍであり、前記出水空間の前記幅は、前記第二貯水開口端の前記幅より大きいことを特徴とする、請求項２に記載のノズル板構造。
5. 前記導水空間は幅と高さを有し、前記導水空間の前記幅は、且つ、前記第二貯水開口端の前記幅と一致し、前記導水空間の前記高さは０．０１〜３５μｍであることを特徴とする、請求項４に記載のノズル板構造。
6. 前記第一出水壁は、前記出水空間で前記第一出水壁と前記第二出水壁間の挟角により、前記第二出水壁と接続され、前記挟角は４５〜１６５度の特定角度であり、よって前記第二出水壁の断面は対称的に設置されることを特徴とする、請求項１〜５の何れか一項に記載のノズル板構造。
7. 前記第一出水壁は、前記出水空間で前記第一出水壁と前記第二出水壁間の挟角により、前記第二出水壁と接続され、前記挟角は４５〜１６５度の特定角度ではなく、よって前記第二出水壁の断面は非対称的に設置されることを特徴とする、請求項１〜５の何れか一項に記載のノズル板構造。
8. ノズル板構造であって、
   プレート、及び、
   前記プレートを貫通する複数の開口部を有し、
   前記開口部は、それぞれ、
   前記プレートの貯水壁により定義され、第一貯水開口端、及び、前記第一貯水開口端と反対の第二貯水開口端を有し、前記貯水壁表面がアーチ型である貯水空間、及び、
   前記第二貯水開口端により、前記貯水空間と接続、及び、連通し、前記プレートの第一出水壁と第二出水壁により定義され、前記第一出水壁は前記貯水壁と接続し、前記第二出水壁は、前記第一出水壁に非平行に接続される出水空間、
   を含むことを特徴とする、前記ノズル板構造。
9. 前記出水空間は、０．０１〜２５μｍの高さを有し、前記出水空間の幅は、前記第一出水壁と前記第二出水壁の接合部により定義され、１５〜８０μｍであることを特徴とする、請求項８に記載のノズル板構造。
10. 前記第一貯水開口端の幅は、前記第二貯水開口端の幅より大きく、前記第二貯水開口端の前記幅は３〜４５μｍであることを特徴とする、請求項８又は９に記載のノズル板構造。
11. 前記第一貯水開口端の幅は、前記第二貯水開口端の幅より大きく、前記第二貯水開口端の前記幅は３〜４５μｍであり、前記出水空間の前記幅は、前記第二貯水開口端の前記幅より大きいことを特徴とする、請求項９に記載のノズル板構造。
12. 前記第一出水壁は、前記出水空間で前記第一出水壁と前記第二出水壁間の挟角により、前記第二出水壁と接続され、前記挟角は、４５−１６５度の特定角度であり、よって前記第二出水壁の断面は対称的に設置されることを特徴とする、請求項８〜１１の何れか一項に記載のノズル板構造。
13. 前記第一出水壁は、前記出水空間で前記第一出水壁と前記第二出水壁間の挟角により、前記第二出水壁と接続され、前記挟角は、４５〜１６５度の特定角度ではなく、よって前記第二出水壁の断面は非対称的に設置されることを特徴とする、請求項８〜１１の何れか一項に記載のノズル板構造。