JP3192759B2 - Cleaning device and cleaning method for plate material - Google Patents
Cleaning device and cleaning method for plate materialInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は板状材のクリーニング装
置及び方法に関する。 The present invention relates about the cleaning apparatus and method of the plate-like member.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶表示素子に用いられるガラス基板等
の板状材をクリーニングする方法として、従来より、板
状材をベルト又はコロにより搬送する際にクリーンエア
を吹き付け、舞い上がったゴミを吸引するという、いわ
ゆるブローアンドバキュームの技術は広く利用されてい
る。As a method of cleaning a plate-like material such as a glass substrate which need use of the Prior Art Liquid crystal display device, conventionally, blowing clean air in transporting the plate-shaped member by a belt or roller, sucking dust soared The so-called blow-and-vacuum technology is widely used.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、ベルト、コロ
等による搬送ではブローによって板状材自身が浮き上が
り、バキュームにより吸い付けられてしまうという欠点
があることから、板状材の搬送には強固な真空吸着テー
ブル（以下、単にテーブルと呼ぶ。）で板状材を吸着
し、テーブルごと走行させるという方法が採用される。
このため、板状材の下面（テーブルに吸着される面）に
付着しているゴミは除去することができなかった。However, there is a drawback that the plate-like material itself is lifted up by the blow when it is conveyed by a belt, a roller, or the like, and is sucked up by vacuum. A method is employed in which a plate-shaped material is sucked by a vacuum suction table (hereinafter, simply referred to as a table) and the table is run.
Therefore, dust adhering to the lower surface of the plate-shaped material (the surface adsorbed on the table) could not be removed.
【０００４】また、従来法ではブローによって舞い上が
ったゴミをバキュームで完全に吸い取れず、板状材に再
付着するという欠点があった。すなわち、吹き出された
空気の一部はテーブルの搬送具（ボールねじ等）に吹き
付けられ、ここで発生したゴミ及び吸引しきれなかった
ゴミを舞い上がらせて板状材に再付着させることにな
る。これを回避するためには板状材の３倍程度の大きさ
のテーブルとし、吹き出し口下部をテーブルでさえぎる
構造にしておく必要があり、装置が大型化になる欠点も
あった。In addition, the conventional method has a drawback that dust blown up by blowing cannot be completely sucked off by vacuum and reattach to the plate-like material. That is, a part of the blown air is blown to the table carrying tool (ball screw or the like), so that the dust generated here and the dust that cannot be completely sucked up are sowed up and reattached to the plate-shaped material. To avoid this, the size is about three times the size of the plate
And the tables, must have a structure to block the outlet bottom in the table, there was a drawback that the apparatus becomes large.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の問題点
を解決すべくなされたものであり、請求項１は、上部が
開口された箱体とその上部開口面近傍に配設された粘着
ローラーとを備えた板状材のクリーニング装置であっ
て、箱体内を負圧に保持する手段と、粘着ローラー上で
板状材が搬送され得るように粘着ローラーを駆動する手
段とを備え、箱体の内部に負圧が発生せしめられ、板状
材が粘着ローラーに押し付けられるようにされた板状材
のクリーニング装置である。請求項２は、粘着ローラー
の下方に粘着ローラーと接するようにクリーニングロー
ラーが配設された請求項１に記載の クリーニング装置で
ある。請求項３は、粘着ローラーが導電性の材料から作
製され、粘着ローラーの間をあけるように中間ローラー
が配設された請求項１又は２に記載のクリーニング装置
である。また、請求項４は、上部が開口された箱体の上
部開口面近傍に粘着ローラーを配設し、箱体の内部に負
圧を発生させ、板状材の下方から板状材を吸引して板状
材を粘着ローラーに押し付けるとともに、板状材を粘着
ローラー上で搬送することを特徴とする板状材のクリー
ニング方法である。さらに、請求項５は、板状材が電極
付ガラス基板である請求項４に記載のクリーニング方法
である。The present invention SUMMARY OF] has been made to solve the above problems, according to claim 1, the upper is disposed on the upper opening surface near the opening is a box body a cleaning device of a plate-like member and a adhesive roller, and means for means for holding the box body at a negative pressure, the plate-like member on the viscosity adhesive roller drives the adhesive roller to be conveyed , A negative pressure is generated inside the box,
Plate material that allows the material to be pressed against the adhesive roller
Der of the cleaning device Ru. In claim 2, the cleaning device according to claim 1 in which the cleaning roller in contact with the adhesive roller to the lower tacky adhesive roller is arranged
Oh Ru. Claim 3 is made tacky adhesive roller of a conductive material, the intermediate roller to open between the adhesive roller
The cleaning device according to claim 1, wherein the cleaning device is provided.
Der Ru. According to a fourth aspect of the present invention, the upper part of the box body is opened.
An adhesive roller is placed near the opening of the box, and a negative
Generates pressure and sucks the plate from below the plate
Pressing the wood in the adhesive roller Rutotomoni, Cree plate material, characterized by conveying the plate-like material on the adhesive roller
Training methods Ru der. According to a fifth aspect of the present invention , in the cleaning method according to the fourth aspect , the plate-shaped material is a glass substrate with electrodes.
It is .
【０００６】請求項１に記載のクリーニング装置及び請
求項４に記載のクリーニング方法の構成を採用すること
により以下のような効果がもたらされる。 （１）負圧を発生させたことにより板状材を粘着ローラ
ーに均一に一定圧力で押し付けながら搬送でき、単に板
状材の自重によって粘着ローラーに押し付けるよりゴミ
の除去効率が高い。 （２）負圧を発生させることにより、ブローアンドバキ
ュームによるクリーニングを行っても板状材が浮き上が
ることが防止できる。 （３）搬送に吸着テーブルを必要とせず、省スペースで
ある。 （４）板状材の上下面を同時にクリーニングすることが
できる。また、請求項２に記載のクリーニング装置の構
成を採用することにより、粘着ローラーに付着したゴミ
をクリーニングローラーに転写させ、板状材下面には常
にクリーンな粘着ロール面が接触するようになる。さら
に、請求項３に記載のクリーニング装置の構成を採用す
ることにより、静電気によるゴミの再付着を防止でき
る。そして、請求項５に記載のクリーニング方法の構成
を採用することにより、液晶表示素子等に用いられる電
極付ガラス基板の裏面のゴミを効率よく除去できる。The following effects are obtained by employing the configuration of the cleaning device according to the first aspect and the configuration of the cleaning method according to the fourth aspect. (1) By generating a negative pressure, the plate-like material can be conveyed while being pressed uniformly to the adhesive roller at a constant pressure, and the dust removal efficiency is higher than simply pressing the plate-like material against the adhesive roller by its own weight. (2) By generating a negative pressure, it is possible to prevent the plate-shaped material from floating even when cleaning is performed by blow and vacuum. (3) does not require the adsorption table to the transport, a space-saving. (4) The upper and lower surfaces of the plate member can be cleaned simultaneously. In addition, by adopting the configuration of the cleaning device according to the second aspect, dust adhering to the adhesive roller is transferred to the cleaning roller, and a clean adhesive roll surface always comes into contact with the lower surface of the plate-shaped material. Further, by adopting the configuration of a cleaning device according to claim 3, Ru <br/> can redeposition of dust due to static electricity prevention. By employing the configuration of the cleaning method according to the fifth aspect, dust on the back surface of the glass substrate with electrodes used for a liquid crystal display device or the like can be efficiently removed.
【０００７】[0007]
【実施例】以下本発明の実施例について図１〜図３に基
づき説明する。図１、図２において１はブローアンドバ
キュームのユニットであり従来より使用されているもの
である。２はクリーニングの対象となるワークで、本例
においてはガラス板を使用した。３は箱体、４はスペー
サ、５は中間ローラー、６は粘着ローラー、７はクリー
ニングローラーを示している。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a blow-and-vacuum unit which has been conventionally used. Reference numeral 2 denotes a work to be cleaned. In this example, a glass plate was used. Reference numeral 3 denotes a box, 4 denotes a spacer, 5 denotes an intermediate roller, 6 denotes an adhesive roller, and 7 denotes a cleaning roller.
【０００８】箱体３の下部からブロワ装置等により吸引
を行うと、箱体内が負圧になり、中間ローラー５と粘着
ローラー６の間隙ａ及びローラーと箱体の間隙ｂから大
量の空気が箱体内に流入する。その状態にある時にガラ
ス板２が搬送されてくると、中間ローラー５と粘着ロー
ラー６に囲まれた部分８が外気に対して負圧になり、ガ
ラス板２が粘着ローラー６に押し付けられる力が作用す
る。When suction is performed from the lower portion of the box 3 by a blower device or the like, a negative pressure is generated in the box, and a large amount of air flows from the gap a between the intermediate roller 5 and the adhesive roller 6 and the gap b between the rollers and the box. It flows into the body. When the glass plate 2 is conveyed in this state, the portion 8 surrounded by the intermediate roller 5 and the adhesive roller 6 becomes a negative pressure against the outside air, and the force of pressing the glass plate 2 against the adhesive roller 6 is reduced. Works.
【０００９】これによりガラス板２の下面のゴミが粘着
ローラー６によって除去される。スぺーサ４はガラス板
の端部と箱体の間に形成される大きな空間を埋めて、箱
体３内の負圧保持を容易にするもので、ガラス板２の幅
より小さい箱体を使用する場合には必要ない。As a result, dust on the lower surface of the glass plate 2 is removed by the adhesive roller 6. Spacer 4 is a glass plate
To fill the large space formed between the end of the box and the box body to facilitate holding the negative pressure in the box body 3, and is not necessary when a box body smaller than the width of the glass plate 2 is used. .
【００１０】クリーニングローラー７は粘着ローラーよ
りさらに強い粘着力を有する材料で製作し、粘着ローラ
ー６に付着したゴミを転写し、ガラス板の下面には常に
クリーンな粘着ロール面が接触するようにしたものであ
る。The cleaning roller 7 is made of a material having a stronger adhesive force than the adhesive roller, and transfers the dust adhered to the adhesive roller 6 so that the lower surface of the glass plate is always in contact with the clean adhesive roll surface. Things.
【００１１】なお、本装置を通過させたガラス板には静
電気の帯電が認められることがあるため、装置通過直後
に静電気除去を行うために、静電気除去装置（図示せ
ず）を取り付けるか又は粘着ローラー６及び中間ローラ
ー５を導電性の材料で製作し、静電気によるゴミの再付
着を防止することが望ましい。In some cases, static electricity may be recognized on the glass plate that has passed through the apparatus. To remove static electricity immediately after passing the apparatus , a static eliminator (not shown) is attached or an adhesive is attached. It is desirable that the roller 6 and the intermediate roller 5 be made of a conductive material to prevent reattachment of dust due to static electricity.
【００１２】また、中間ローラー５は、粘着ローラー６
の間隔をあけることによりクリーニングローラー７の設
置、交換等を容易とするために使用されるものであっ
て、必ずしも用いなくともよい。ただし、中間ローラー
の存在する部分にローラーをなくしてしまうと、板状体
に対するローラーによる支持点数が減るため、板状体の
たわみ、両端のそりなどが生ずるおそれがある。また、
中間ローラーをすべて粘着ローラーにおきかえると、ク
リーニングローラーの脱着が困難になるなどの問題点が
生じることもあり、図２に示したように配設することが
最も好ましい。The intermediate roller 5 has an adhesive roller 6
Installation interval of the cleaning roller 7 by opening the of, be one that is used to facilitate the replacement may not necessarily be used. However, if the roller is lost in the area where the intermediate roller exists, the plate
The number of points supported by the rollers with respect to the plate is reduced, so that there is a possibility that the plate-like body may be bent or the both ends may be warped . Also ,
When replacing an intermediate roller to all adhesive roller, sometimes problems such as detachment of the cleaning roller becomes difficult occurs, it is most preferable to dispose, as shown in FIG.
【００１３】図３における間隔ａ、ｂ、ｃをそれぞれ
０．５ｍｍとし、静圧７００ｍｍＡｑのブロワで箱体内
の空気を吸引した場合３０ｃｍ×４０ｃｍ（１２００ｃ
ｍ2）のガラス板に生じる押し付け力は５ｋｇｆであっ
た。この装置を液晶表示素子製造工程中にガラス板に付
着するラビング布の除去に適用した。その結果、ガラス
板裏表全体で９０％の除去率を示した。[0013] When the distances a, b, and c in FIG. 3 are each set to 0.5 mm and the air inside the box is sucked by a blower having a static pressure of 700 mmAq, the size is 30 cm × 40 cm (1200 c
The pressing force generated on the glass plate of m 2 ) was 5 kgf. This apparatus was applied to remove a rubbing cloth adhered to a glass plate during a liquid crystal display element manufacturing process . As a result, a removal rate of 90% was shown on the entire front and back of the glass plate.
【００１４】[0014]
【発明の効果】本発明は省スペースを達成できるだけで
なく、板状材の表裏両面を同時にクリーニングできると
いう優れた効果を有し、特に前述のラビング布の除去に
関して、従来は液中洗浄を用いていたが、本発明によれ
ば乾式化できるという効果も認められる。According to the present invention, only space saving can be achieved.
Without having an excellent effect that both the front and back surfaces of the plate-like member can be cleaned at the same time, in particular regarding <br/> the removal of the aforementioned rubbing cloth, it has been conventionally used in liquid cleaning according to the present invention
Effect also recognized that it can be dry of it.
【００１５】また、下方から板状材を吸引するので、板
状材の浮き上がりを防止するとともに、板状材が粘着ロ
ーラーに効果的に押し付けられるので、ゴミの除去効率
が高いという効果もある。In addition, since the plate-like material is sucked from below, the plate-like material is prevented from floating, and the plate-like material is effectively pressed against the adhesive roller, so that there is an effect that dust removal efficiency is high.
【図１】本発明のクリーニング装置の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a cleaning device of the present invention.
【図２】本発明のクリーニング装置の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of the cleaning device of the present invention.
【図３】本発明のクリーニング装置の部分拡大断面図で
ある。FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of the cleaning device of the present invention.
１：ブローアンドバキュームユニット ２：ガラス板 ３：箱体 ４：スペーサ ５：中間ローラー ６：粘着ローラー ７：クリーニングローラー 1: Blow and vacuum unit 2: Glass plate 3: Box 4: Spacer 5: Intermediate roller 6: Adhesive roller 7: Cleaning roller
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/1333 500 B08B 11/04 G02F 1/13 101 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/1333 500 B08B 11/04 G02F 1/13 101
Claims (5)
傍に配設された粘着ローラーとを備えた板状材のクリー
ニング装置であって、箱体内を負圧に保持する手段と、
粘着ローラー上で板状材が搬送され得るように粘着ロー
ラーを駆動する手段とを備え、箱体の内部に負圧が発生
せしめられ、板状材が粘着ローラーに押し付けられるよ
うにされた板状材のクリーニング装置。An apparatus for cleaning a plate-like material comprising a box having an open top and an adhesive roller disposed near an upper opening surface thereof , comprising: means for maintaining the inside of the box at a negative pressure ;
And means for the plate-like member on the viscosity adhesive roller drives the adhesive roller to be transported, negative pressure is generated inside of the box
The plate material is pressed against the adhesive roller
A cleaning device for the plate material that has been set .
るようにクリーニングローラーが配設された請求項１に
記載の板状材のクリーニング装置。2. A cleaning apparatus of the plate material according to claim 1 in which the cleaning roller is disposed in contact with the adhesive roller to the lower tacky adhesive roller.
れ、粘着ローラーの間をあけるように中間ローラーが配
設された請求項１又は２に記載の板状材のクリーニング
装置。3. The adhesive roller is made of a conductive material, and an intermediate roller is arranged so as to leave a gap between the adhesive rollers.
Wood plates of the cleaning device according to claim 1 or 2 has been set.
粘着ローラーを配設し、箱体の内部に負圧を発生させ、
板状材を下方から吸引して板状材を粘着ローラーに押し
付けるとともに、板状材を粘着ローラー上で搬送するこ
とを特徴とする板状材のクリーニング方法。4. In the vicinity of an upper opening surface of a box body whose upper part is opened.
Arrange the adhesive roller, generate negative pressure inside the box,
Suck the plate from below and press the plate against the adhesive roller
Give Rutotomoni, cleaning method of the plate-like member, characterized in that for conveying the plate-like material on the adhesive roller.
に記載の板状材のクリーニング方法。5. The plate-shaped material is a glass substrate with electrodes.
3. The method for cleaning a plate-like material according to item 1.
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| Publication Number | Publication Date |
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| JPH05341278A JPH05341278A (en) | 1993-12-24 |
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1992
- 1992-06-10 JP JP17618292A patent/JP3192759B2/en not_active Expired - Fee Related
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