JP3191473B2 - Surface acoustic wave filter - Google Patents

Surface acoustic wave filter

Info

Publication number
JP3191473B2
JP3191473B2 JP04805593A JP4805593A JP3191473B2 JP 3191473 B2 JP3191473 B2 JP 3191473B2 JP 04805593 A JP04805593 A JP 04805593A JP 4805593 A JP4805593 A JP 4805593A JP 3191473 B2 JP3191473 B2 JP 3191473B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
surface acoustic
acoustic wave
wave resonator
terminal
port
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP04805593A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06260876A (en
Inventor
勉 永塚
修三 和高
幸一郎 三須
友則 木村
康治 村井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=12792661&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3191473(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP04805593A priority Critical patent/JP3191473B2/en
Publication of JPH06260876A publication Critical patent/JPH06260876A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3191473B2 publication Critical patent/JP3191473B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、移動体通信装置の高
周波回路などに用いられる弾性表面波フィルタに関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave filter used for a high frequency circuit of a mobile communication device.

【0002】[0002]

【従来の技術】図18は、例えば文献「電子情報通信学
会技術研究報告(超音波)」、US92−52、pp.
9−16に示された、従来のこの種の弾性表面波フィル
タの構成を示したものである。図18において、4a、
4bは1端子対弾性表面波共振器、6は入力端子、7は
出力端子である。図において、直列腕に挿入した1端子
対弾性表面波共振器4aと並列腕に挿入した1端子対弾
性表面波共振器4bを、入力端子6と出力端子7の間
に、複数個梯子形に接続している。図18における1端
子対弾性表面波共振器4a、4bの一般的な構成を図1
9に示す。図19において、1は圧電体基板、2はすだ
れ状電極、3は反射器である。圧電体基板1上にすだれ
状電極2と2つの反射器3を配置して1端子対弾性表面
波共振器4を構成している。
2. Description of the Related Art FIG. 18 is, for example, a document “Technical Research Report of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers (Ultrasonics)”, US92-52, pp.
FIG. 9-16 shows a configuration of a conventional surface acoustic wave filter of this type shown in FIG. In FIG. 18, 4a,
4b is a one-port surface acoustic wave resonator, 6 is an input terminal, and 7 is an output terminal. In the figure, a one-port pair surface acoustic wave resonator 4a inserted in a series arm and a one-port pair surface acoustic wave resonator 4b inserted in a parallel arm are provided in a ladder form between an input terminal 6 and an output terminal 7. Connected. FIG. 1 shows a general configuration of one-port surface acoustic wave resonators 4a and 4b in FIG.
It is shown in FIG. In FIG. 19, 1 is a piezoelectric substrate, 2 is an interdigital electrode, and 3 is a reflector. An IDT 2 and two reflectors 3 are arranged on a piezoelectric substrate 1 to form a one-terminal surface acoustic wave resonator 4.

【0003】次に、動作について説明する。図19の端
子間に電気信号を印加すると、すだれ状電極2から弾性
表面波が励振される。すだれ状電極2の両側に設けられ
た反射器3は、弾性表面波を反射する。このため、励振
された弾性表面波は、両側の反射器3の間で多重反射を
起こし、共振が生じる。
Next, the operation will be described. When an electric signal is applied between the terminals in FIG. 19, a surface acoustic wave is excited from the interdigital transducer 2. The reflectors 3 provided on both sides of the interdigital transducer 2 reflect surface acoustic waves. Therefore, the excited surface acoustic waves cause multiple reflections between the reflectors 3 on both sides, and resonance occurs.

【0004】図20は、図19に示した1端子対弾性表
面波共振器4のインピーダンス特性を示したものであ
る。図中、縦軸はインピーダンスの虚数部を示してい
る。インピーダンスは共振周波数frで零となり、反共
振周波数faで無限大となる。また、共振周波数frと
反共振周波数faとの間ではインピーダンスは誘導性と
なり、それ以外の周波数ではインピーダンスは容量性と
なる。
FIG. 20 shows the impedance characteristics of the one-port surface acoustic wave resonator 4 shown in FIG. In the figure, the vertical axis indicates the imaginary part of the impedance. The impedance becomes zero at the resonance frequency fr and becomes infinite at the anti-resonance frequency fa. Further, the impedance becomes inductive between the resonance frequency fr and the anti-resonance frequency fa, and the impedance becomes capacitive at other frequencies.

【0005】図18では、直列腕の1端子対弾性表面波
共振器4aの共振周波数frと並列腕の1端子対弾性表
面波共振器4bの反共振周波数faとを一致させてい
る。この周波数をf0とすれば、周波数f0付近では、
直列腕の1端子対弾性表面波共振器4aのインピーダン
スは小さく、並列腕の1端子対弾性表面波共振器4bの
インピーダンスは大きいため、入力端子6へ入力した電
気信号は、ほとんど減衰せずに出力端子7から出力し、
通過電力が大きくなる。逆に、f0から離れた周波数で
は、直列腕の1端子対弾性表面波共振器4aのインピー
ダンスが大きく、並列腕の1端子対弾性表面波共振器4
bのインピーダンスは小さくなっていくため、入力端子
6へ入力した電気信号は、ほとんど出力端子7から出力
されず、通過電力が小さくなる。したがって、f0近傍
を通過帯域とし、それ以外の周波数を減衰帯域とするパ
ンドパスフィルタとして動作する。
In FIG. 18, the resonance frequency fr of the one-port surface acoustic wave resonator 4a of the serial arm is matched with the anti-resonance frequency fa of the one-port surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm. Assuming that this frequency is f0, near the frequency f0,
Since the impedance of the one arm of the serial arm to the surface acoustic wave resonator 4a is small and the impedance of the one arm of the parallel arm to the surface acoustic wave resonator 4b is large, the electric signal input to the input terminal 6 is hardly attenuated. Output from output terminal 7,
The passing power increases. On the other hand, at a frequency apart from f0, the impedance of the one terminal / surface acoustic wave resonator 4a of the serial arm is large, and the one terminal / surface acoustic wave resonator 4a of the parallel arm is large.
Since the impedance of b decreases, the electric signal input to the input terminal 6 is hardly output from the output terminal 7 and the passing power decreases. Therefore, it operates as a bandpass filter having a pass band near f0 and an attenuation band at other frequencies.

【0006】図21に、図18に示した弾性表面波フィ
ルタの通過特性を示す。直列腕の1端子対弾性表面波共
振器4aの反共振周波数と並列腕の1端子対弾性表面波
共振器4bの共振周波数に対応して、それぞれ通過帯域
の高域側と低域側に減衰極が生じる。しかしながら、減
衰極より離れた周波数では、再び通過電力が大きくな
る。これは、直列腕の1端子対弾性表面波共振器4aと
並列腕の1端子対弾性表面波共振器4bがともに容量性
のインピーダンスとなり、入力端子6へ入力した電気信
号の一部が、出力端子7に出力してしまうためである。
このため、通過帯域から離れた周波数において、十分な
帯域外減衰量を得にくい欠点がある。
FIG. 21 shows the pass characteristics of the surface acoustic wave filter shown in FIG. Corresponding to the anti-resonance frequency of the one-port pair surface acoustic wave resonator 4a of the serial arm and the resonance frequency of the one-port pair surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm, attenuation occurs on the higher and lower sides of the pass band, respectively. A pole occurs. However, at frequencies away from the attenuation pole, the passing power increases again. This is because the one-port surface acoustic wave resonator 4a of the serial arm and the one-port surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm both have capacitive impedance, and a part of the electric signal input to the input terminal 6 is output. This is because the signal is output to the terminal 7.
For this reason, there is a disadvantage that it is difficult to obtain a sufficient amount of out-of-band attenuation at a frequency distant from the pass band.

【0007】また、実際には、反射器3はどんな周波数
の弾性表面波も反射するわけではなく、反射が生じる周
波数帯域は限られている。図22は、反射器3の反射効
率の周波数特性を示したものである。ストップバンドと
呼ばれる帯域では、反射器3に入射した弾性表面波はほ
とんど完全に反射するが、それ以外の帯域では反射効率
が著しく低下する。反射器3のストップバンドの幅は、
反射器3を形成している金属膜の厚さなどによって変え
ることができ、一般には金属膜を厚くするほど大きくで
きる。しかし、金属膜を厚くするほどバルク変換損など
が増え、反射効率が全体に低下してしまう。このため、
反射器3のストップバンドの幅には限界がある。
In practice, the reflector 3 does not reflect surface acoustic waves of any frequency, and the frequency band in which reflection occurs is limited. FIG. 22 shows the frequency characteristics of the reflection efficiency of the reflector 3. In a band called a stop band, the surface acoustic wave incident on the reflector 3 is almost completely reflected, but in other bands, the reflection efficiency is significantly reduced. The width of the stop band of the reflector 3 is
The thickness can be changed depending on the thickness of the metal film forming the reflector 3 and the like. In general, the thickness can be increased as the thickness of the metal film increases. However, the thicker the metal film, the greater the bulk conversion loss and the like, and the lower the reflection efficiency as a whole. For this reason,
The width of the stop band of the reflector 3 is limited.

【0008】反射器3の反射効率が小さいと弾性表面波
が反射されず、1端子対弾性表面波共振器4に入力した
電力に損失が生じる。したがって、弾性表面波フィルタ
を構成した際、通過帯域の損失が大きくなってしまう。
しかも、直列腕の1端子対弾性表面波共振器4aの反射
器3のストップバンドと、並列腕の1端子対弾性表面波
共振器4bの反射器3のストップバンドとは、一般に帯
域がずれているので、両者が重なる周波数範囲以外では
電力の損失が生じ、フィルタの損失が大きくなる。この
ため、直列腕と並列腕の反射器3のストップバンドが重
なっている幅によって、弾性表面波フィルタの通過帯域
幅が制限されてしまう。
If the reflection efficiency of the reflector 3 is low, the surface acoustic wave is not reflected, and a loss occurs in the power input to the one-port surface acoustic wave resonator 4. Therefore, when a surface acoustic wave filter is configured, the loss in the pass band increases.
In addition, the stop band of the reflector 3 of the one-terminal pair surface acoustic wave resonator 4a of the series arm and the stop band of the reflector 3 of the one terminal pair surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm generally deviate in band. Therefore, power loss occurs outside the frequency range where the two overlap, and the filter loss increases. For this reason, the pass band width of the surface acoustic wave filter is limited by the width of the overlap between the stop bands of the reflectors 3 of the serial arm and the parallel arm.

【0009】さらに、図18において、1端子対弾性表
面波共振器4a、4bの間の接続は、実際には、金属の
ワイヤで結線されたり、圧電体基板1上に金属膜からな
る線路を形成して接続されたりする。このため、入力端
子6と出力端子7の間で、ワイヤや線路の長さが長くな
ると、これらの抵抗成分が増加し弾性表面波フィルタの
損失が全体的に大きくなってしまう。
Further, in FIG. 18, the connection between the one terminal and the surface acoustic wave resonators 4a and 4b is actually connected by a metal wire or a line made of a metal film on the piezoelectric substrate 1. It is formed and connected. For this reason, when the length of the wire or the line between the input terminal 6 and the output terminal 7 is increased, these resistance components are increased, and the loss of the surface acoustic wave filter is increased as a whole.

【0010】次に、従来の弾性表面波フィルタの他の構
成について述べる。図23は、例えば文献「1990年
電子情報通信学会秋季全国大会」、SA−10−3に示
された、従来のこの種の弾性表面波フィルタの他の構成
を示したものである。図23において、1は圧電体基
板、2はすだれ状電極、3は反射器、5は2端子対弾性
表面波共振器、6は入力端子、7は出力端子である。図
23において、圧電体基板1上に2つのすだれ状電極2
と、その両側に反射器3を配置することにより、2端子
対弾性表面波共振器5を構成している。また、2端子対
弾性表面波共振器5の2つのすだれ状電極2のうち一方
を入力端子6に、他方を出力端子7に接続している。
Next, another configuration of the conventional surface acoustic wave filter will be described. FIG. 23 shows another configuration of a conventional surface acoustic wave filter of this type shown in, for example, a document "1990 IEICE Autumn National Convention", SA-10-3. In FIG. 23, 1 is a piezoelectric substrate, 2 is an interdigital electrode, 3 is a reflector, 5 is a two-terminal surface acoustic wave resonator, 6 is an input terminal, and 7 is an output terminal. In FIG. 23, two interdigital electrodes 2 are provided on a piezoelectric substrate 1.
And the reflectors 3 arranged on both sides thereof, thereby forming a two-terminal pair surface acoustic wave resonator 5. One of the two interdigital transducers 2 of the two-terminal surface acoustic wave resonator 5 is connected to the input terminal 6 and the other is connected to the output terminal 7.

【0011】次に、動作について説明する。入力端子6
に電気信号を入力すると、一方のすだれ状電極2から弾
性表面波が励振される。弾性表面波は反射器3で反射さ
れるため、2つの反射器3の間で多重反射し、特定の周
波数において共振する。共振した弾性表面波の一部は他
方のすだれ状電極2で再び電気信号に変換され出力端子
7から出力する。図24は、図23に示した2端子対弾
性表面波共振器5の共振周波数における振幅分布を示し
たものである。図中に実線で示す対称モードと、破線で
示す反対称モードとが生じ、これら2つモードの共振周
波数は若干異なっている。この共振周波数の差を所要の
値にすれば、バンドパス特性を有する2重モードフィル
タが得られる。
Next, the operation will be described. Input terminal 6
When an electric signal is input to the electrode, a surface acoustic wave is excited from one of the interdigital transducers 2. Since the surface acoustic wave is reflected by the reflector 3, it is multiple-reflected between the two reflectors 3 and resonates at a specific frequency. A part of the resonated surface acoustic wave is converted again into an electric signal by the other IDT 2 and output from the output terminal 7. FIG. 24 shows an amplitude distribution at a resonance frequency of the two-terminal surface acoustic wave resonator 5 shown in FIG. In the figure, a symmetric mode indicated by a solid line and an anti-symmetric mode indicated by a broken line occur, and the resonance frequencies of these two modes are slightly different. By setting the difference between the resonance frequencies to a required value, a dual mode filter having bandpass characteristics can be obtained.

【0012】図25に、図23に示した弾性表面波フィ
ルタの通過特性を示す。通過帯域から離れた周波数で
は、すだれ状電極2から弾性表面波があまり励振されな
いため、図21に比べて大きい減衰量が得られる。しか
し、通過帯域の近傍で、通過帯域よりやや高域側に減衰
量が小さい部分が生じている。これは、通過帯域よりや
や高い周波数でも、すだれ状電極2中での弾性表面波の
多重反射が生じてしまい、この共振がスプリアスとなる
ためである。スプリアスのレベルを低減するため、2端
子対弾性表面波共振器5を多数縦続接続して段数を増や
す事が考えられるが、同時に通過帯域の挿入損失も増加
してしまう。
FIG. 25 shows the pass characteristics of the surface acoustic wave filter shown in FIG. At a frequency away from the pass band, the surface acoustic wave is not much excited from the interdigital transducer 2, so that a larger attenuation is obtained as compared with FIG. However, in the vicinity of the pass band, there is a portion where the amount of attenuation is slightly higher than the pass band. This is because, even at a frequency slightly higher than the pass band, multiple reflection of the surface acoustic wave occurs in the interdigital electrode 2, and this resonance becomes spurious. In order to reduce the level of spurious, it is conceivable to increase the number of stages by cascading a large number of two-port surface acoustic wave resonators 5, but at the same time, the insertion loss in the pass band increases.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
弾性表面波フィルタでは、1端子対弾性表面波共振器4
のみを用いて構成していたり、2端子対弾性表面波共振
器5のみを用いて構成しているため、通過帯域から離れ
た周波数や通過帯域の近傍において、帯域外減衰量が小
さくなる問題がある。さらに、帯域外減衰量を大きくす
るために段数を増やすと、挿入損失が大きくなるなどの
欠点が生じる。さらに、1端子対弾性表面波共振器4を
梯子形に接続して構成した場合では、反射器3のストッ
プバンドの制限により、挿入損失が大きくなったり、通
過帯域幅が狭くなるなどの欠点が生じる。この発明は、
上述した問題点を解決するためになされたもので、損失
が小さく帯域外減衰量が大きい弾性表面波フィルタを得
ることを目的とする。また、損失が小さく通過帯域幅の
広い弾性表面波フィルタを得ることを目的とする。
As described above, in the conventional surface acoustic wave filter, the one-port surface acoustic wave resonator 4
Or the configuration using only the two-port surface acoustic wave resonator 5, there is a problem that the out-of-band attenuation becomes small at a frequency far from the pass band or near the pass band. is there. Further, when the number of stages is increased in order to increase the out-of-band attenuation, a drawback such as an increase in insertion loss occurs. Further, in the case where the one-port surface acoustic wave resonator 4 is connected in a ladder shape, disadvantages such as an increase in insertion loss and a decrease in the pass band due to the limitation of the stop band of the reflector 3 are encountered. Occurs. The present invention
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problem, and an object of the present invention is to provide a surface acoustic wave filter having a small loss and a large out-of-band attenuation. It is another object of the present invention to obtain a surface acoustic wave filter having a small loss and a wide pass band.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る弾
性表面波フィルタは、弾性表面波共振器に1端子対弾性
表面波共振器と2端子対弾性表面波共振器を電気的に縦
続接続したことを特徴とするものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a surface acoustic wave filter in which a surface acoustic wave resonator is electrically connected to a one-port surface acoustic wave resonator and a two-terminal surface acoustic wave resonator. It is characterized by being connected.

【0015】請求項2の発明に係る弾性表面波フィルタ
は、上記1端子対弾性表面波共振器と上記2端子対弾性
表面波共振器とを、上記弾性表面波フィルタの入力端子
と出力端子に対して対称に接続したことを特徴とするも
のである。
According to a second aspect of the present invention, in the surface acoustic wave filter, the one-port surface acoustic wave resonator and the two-terminal surface acoustic wave resonator are connected to an input terminal and an output terminal of the surface acoustic wave filter. It is characterized in that it is connected symmetrically.

【0016】請求項3の発明に係る弾性表面波フィルタ
は、3個以上のすだれ状電極を有する2端子対弾性表面
波共振器を備えたことを特徴とするものである。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a surface acoustic wave filter comprising a two-terminal surface acoustic wave resonator having three or more interdigital electrodes.

【0017】請求項の発明に係る弾性表面波フィルタ
は、直列腕の構成要素および並列腕の構成要素として、
すだれ状電極と反射器とを有する1端子対弾性表面波共
振器を用い、上記直列腕の1端子対弾性表面波共振器と
上記並列腕の1端子対弾性表面波共振器とを梯子形に接
続し、上記直列腕の1端子対弾性表面波共振器の、上記
直列腕のすだれ状電極の電極指配列周期および上記反射
器の格子配列周期をそれぞれLis、Lrsとし、上記
並列腕の1端子対弾性表面波共振器の、上記すだれ状電
極の電極指配列周期および上記反射器の格子配列周期を
それぞれLip、Lrpとしたとき、Lis/Lrs
< Lip/Lrpとしたことを特徴とするものであ
る。
A surface acoustic wave filter according to a fourth aspect of the present invention comprises a series arm and a parallel arm.
A one-port pair surface acoustic wave resonator having interdigital electrodes and a reflector is used, and the one-port pair surface acoustic wave resonator of the series arm and the one-port pair surface acoustic wave resonator of the parallel arm are formed in a ladder shape. The one terminal of the parallel arm is connected to one terminal of the parallel arm, and the electrode finger arrangement period of the interdigital electrode of the serial arm and the lattice arrangement period of the reflector of the surface arm of the surface arm are Lis and Lrs, respectively. When the electrode arrangement period of the interdigital transducer and the lattice arrangement period of the reflector of the surface acoustic wave resonator are Lip and Lrp, respectively, Lis / Lrs
<Lip / Lrp.

【0018】請求項の発明に係る弾性表面波フィルタ
は、弾性表面波共振器を複数個電気的に接続してなる弾
性表面波フィルタにおいて、直列腕の構成要素および並
列腕の構成要素として1端子対弾性表面波共振器を用
い、上記弾性表面波フィルタの入力端子と出力端子の間
に複数の上記直列腕の1端子対弾性表面波共振器と一つ
以上の上記並列腕の1端子対弾性表面波共振器とを梯子
形に接続し、かつ、上記複数の直列腕の1端子対弾性表
面波共振器の2つ以上にまたがってインダクタを並列に
接続したことを特徴とするものである。
A surface acoustic wave filter according to a fifth aspect of the present invention is a surface acoustic wave filter in which a plurality of surface acoustic wave resonators are electrically connected to each other. One terminal pair of the plurality of series arms and one terminal pair of the one or more parallel arms are provided between the input terminal and the output terminal of the surface acoustic wave filter using a terminal pair surface acoustic wave resonator. A surface acoustic wave resonator is connected in a ladder form, and an inductor is connected in parallel across two or more of the one terminal of the plurality of series arms and the surface acoustic wave resonator. .

【0019】[0019]

【作用】請求項1の発明によれば、1端子対弾性表面波
共振器と2端子対弾性表面波共振器を電気的に縦続接続
して弾性表面波フィルタを構成したので、2端子対弾性
表面波共振器のスプリアスを1端子対弾性表面波共振器
の減衰極で打ち消すことができ、低損失で帯域外減衰量
の大きい弾性表面波フィルタが得られる。
According to the first aspect of the present invention, a one-port surface acoustic wave resonator and a two-terminal surface acoustic wave resonator are electrically connected in cascade to form a surface acoustic wave filter. The spurious of the surface acoustic wave resonator can be canceled by the attenuation pole of the one-port pair surface acoustic wave resonator, and a surface acoustic wave filter with low loss and large out-of-band attenuation can be obtained.

【0020】請求項2の発明によれば、1端子対弾性表
面波共振器と2端子対弾性表面波共振器とを、弾性表面
波フィルタの入力端子と出力端子に対して対称に接続し
たので、入力端子と出力端子のインピーダンスを等しく
することができ、外部回路との整合がとりやすく、低損
失な弾性表面波フィルタが得られる。
According to the second aspect of the present invention, the one-port surface acoustic wave resonator and the two-port surface acoustic wave resonator are symmetrically connected to the input terminal and the output terminal of the surface acoustic wave filter. The impedance of the input terminal and the output terminal can be equalized, matching with an external circuit can be easily achieved, and a low-loss surface acoustic wave filter can be obtained.

【0021】請求項3の発明によれば、3個以上のすだ
れ状電極を有する2端子対弾性表面波共振器を備えたの
で、通過帯域の広い弾性表面波フィルタが得られる。
According to the third aspect of the present invention, since a two-terminal surface acoustic wave resonator having three or more interdigital electrodes is provided, a surface acoustic wave filter having a wide pass band can be obtained.

【0022】請求項の発明によれば、直列腕と並列腕
の1端子対弾性表面波共振器にそれぞれの、すだれ状電
極の電極指配列周期と反射器の格子配列周期を所定の関
係が満たされるようにしたので、反射器のストップバン
ドをさらに有効に利用でき、通過帯域のさらに広い弾性
表面波フィルタが得られる。
According to the fourth aspect of the present invention, the one-terminal pair surface acoustic wave resonator of the serial arm and the parallel arm has a predetermined relationship between the electrode finger arrangement period of the interdigital transducer and the lattice arrangement period of the reflector. Since the condition is satisfied, the stop band of the reflector can be more effectively used, and a surface acoustic wave filter having a wider pass band can be obtained.

【0023】請求項の発明によれば、弾性表面波共振
器を複数個電気的に接続してなる弾性表面波フィルタに
おいて、直列腕の構成要素および並列腕の構成要素とし
て1端子対弾性表面波共振器を用い、上記弾性表面波フ
ィルタの入力端子と出力端子の間に複数の上記直列腕の
1端子対弾性表面波共振器と一つ以上の上記並列腕の1
端子対弾性表面波共振器とを梯子形に接続し、かつ、上
記複数の直列腕の1端子対弾性表面波共振器の2つ以上
にまたがってインダクタを並列に接続したので、帯域外
での通過信号を互いに打ち消すことができ、通過特性に
減衰極を作ることができる。したがって、帯域外減衰量
の大きい弾性表面波フィルタが得られる。
According to the fifth aspect of the present invention, in a surface acoustic wave filter in which a plurality of surface acoustic wave resonators are electrically connected, one terminal pair surface acoustic surface is used as a component of the series arm and a component of the parallel arm. A wave resonator is used, and one terminal of a plurality of series arms and one surface of one or more parallel arms are arranged between an input terminal and an output terminal of the surface acoustic wave filter.
Since the terminal and the surface acoustic wave resonator are connected in a ladder form, and the inductor is connected in parallel across two or more of the one terminal and the surface acoustic wave resonator of the plurality of series arms, the out-of-band The passing signals can cancel each other, and an attenuation pole can be created in the passing characteristics. Accordingly, a surface acoustic wave filter having a large out-of-band attenuation can be obtained.

【0024】[0024]

【実施例】実施例1 この発明の一実施例の構成を図1を参照しながら説明す
る。図1は、この発明の実施例1を示す構成図である。
図1において、1は圧電体基板、2はすだれ状電極、3
は反射器、4は1端子対弾性表面波共振器、5は2端子
対弾性表面波共振器、6は入力端子、7は出力端子であ
る。図において、圧電体基板1上に、1つのすだれ状電
極2からなる1端子対弾性表面共振器4と、2つのすだ
れ状電極2からなる2端子対弾性表面波共振器5とを配
置し、上記1端子対弾性表面波共振器4と、上記2端子
対弾性表面波共振器5とを電気的に接続している。
Embodiment 1 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of the present invention.
In FIG. 1, 1 is a piezoelectric substrate, 2 is an interdigital electrode, 3
Is a reflector, 4 is a one-port surface acoustic wave resonator, 5 is a two-terminal surface acoustic wave resonator, 6 is an input terminal, and 7 is an output terminal. In the figure, a one-terminal pair surface acoustic resonator 4 composed of one interdigital electrode 2 and a two-terminal pair surface acoustic wave resonator 5 composed of two interdigital electrodes 2 are arranged on a piezoelectric substrate 1. The one-port surface acoustic wave resonator 4 and the two-port surface acoustic wave resonator 5 are electrically connected.

【0025】次に、動作について説明する。図1におけ
る1端子対弾性表面波共振器4は、図18に用いている
ものと同様に、図20に示したようなインピーダンス特
性を有している。すなわち、共振周波数frでインピー
ダンスは零となり、反共振周波数faでインピーダンス
は無限大となる。したがって1端子対弾性表面波共振器
4を図2のように直列に接続して2端子対回路とすれ
ば、入力端子6に入力した電気信号は、共振周波数fr
ではすべて出力端子7に通過し、反共振周波数faでは
全く通過せず減衰極が生じる。したがって、図3(a)
のような通過特性を示す。
Next, the operation will be described. The one-port surface acoustic wave resonator 4 in FIG. 1 has the impedance characteristic as shown in FIG. 20, similarly to the one used in FIG. That is, the impedance becomes zero at the resonance frequency fr, and becomes infinite at the anti-resonance frequency fa. Accordingly, if the one-port surface acoustic wave resonator 4 is connected in series as shown in FIG. 2 to form a two-port circuit, the electric signal input to the input terminal 6 has a resonance frequency fr.
All pass through the output terminal 7 and do not pass at all at the anti-resonance frequency fa, resulting in an attenuation pole. Therefore, FIG.
It shows the pass characteristics as follows.

【0026】一方、図1における2端子対弾性表面波共
振器5は、図23と同様に、図3(b)に示すような通
過特性となり、通過帯域の高域側近傍fsにスプリアス
が生じる。
On the other hand, the two-terminal pair surface acoustic wave resonator 5 in FIG. 1 has a pass characteristic as shown in FIG. 3B similarly to FIG. 23, and a spurious is generated in the vicinity fs near the high frequency side of the pass band. .

【0027】しかし、図1においては、上記1端子対弾
性表面波共振器4と、上記2端子対弾性表面波共振器5
とを縦続接続した構成となっている。さらに、図1で
は、図3(a)の減衰極faと、図3(b)のスプリア
スが生じる周波数fsが、ほぼ等しくなるように、上記
1端子対弾性表面波共振器4と、上記2端子対弾性表面
波共振器5を構成している。したがって、全体の通過特
性は、図3(c)に示すようになり、上記2端子対弾性
表面波共振器5のスプリアスが、上記1端子対弾性表面
波共振器4の減衰極によって打ち消され、帯域外減衰量
を大きくできる。
In FIG. 1, however, the one-port pair surface acoustic wave resonator 4 and the two-port pair surface acoustic wave resonator 5
Are connected in cascade. Further, in FIG. 1, the one-port surface acoustic wave resonator 4 and the two-port surface acoustic wave resonator 2 are arranged such that the attenuation pole fa in FIG. 3A is substantially equal to the frequency fs at which the spurious in FIG. The terminal pair surface acoustic wave resonator 5 is formed. Therefore, the entire transmission characteristic is as shown in FIG. 3C, and the spurious of the two-port surface acoustic wave resonator 5 is canceled by the attenuation pole of the one-port surface acoustic wave resonator 4. Out-of-band attenuation can be increased.

【0028】さらにこのとき、2端子対弾性表面波共振
器5の通過帯域と、1端子対弾性表面波共振器4の共振
周波数frとはほぼ等しくできるので、2端子対弾性表
面波共振器5単体の挿入損失に対して、1端子対弾性表
面波共振器4を接続したことによる挿入損失の増加は小
さい。したがって、2端子対弾性表面波共振器5を多段
に接続した場合に比べ、挿入損失を小さくできる。以上
のように、この発明の実施例1によれば、低損失で帯域
外減衰量の大きい弾性表面波フィルタが得られる。
Further, at this time, the pass band of the two-port surface acoustic wave resonator 5 and the resonance frequency fr of the one-port surface acoustic wave resonator 4 can be substantially equalized. The increase in the insertion loss due to the connection of the one-terminal surface acoustic wave resonator 4 is small with respect to the insertion loss of a single unit. Therefore, the insertion loss can be reduced as compared with a case where the two-terminal surface acoustic wave resonator 5 is connected in multiple stages. As described above, according to the first embodiment of the present invention, a surface acoustic wave filter having a low loss and a large amount of out-of-band attenuation can be obtained.

【0029】実施例2 図4は、この発明の実施例2を示す構成図である。図4
において、1から7は図1と同様のものである。図にお
いて、圧電体基板1上に、2端子対弾性表面波共振器5
を配置し、その両側に1端子対弾性表面波共振器4を1
つずつ配置し、上記2つの1端子対弾性表面波共振器4
と上記2端子対弾性表面波共振器5とを、入力端子6と
出力端子7に対して対称となるように電気的に接続して
いる。
Second Embodiment FIG. 4 is a configuration diagram showing a second embodiment of the present invention. FIG.
, 1 to 7 are the same as those in FIG. In the figure, a two-terminal pair surface acoustic wave resonator 5 is provided on a piezoelectric substrate 1.
And one terminal-pair surface acoustic wave resonator 4 is provided on both sides thereof.
Two one-terminal to surface acoustic wave resonators 4
And the two-terminal surface acoustic wave resonator 5 are electrically connected to the input terminal 6 and the output terminal 7 so as to be symmetrical.

【0030】次に、動作について説明する。図4におけ
る1端子対弾性表面波共振器4と2端子対弾性表面波共
振器5の動作は、それぞれ、実施例1の場合と同様であ
る。しかし、図4では、図1と異なり、1端子対弾性表
面波共振器4を2つ用いているため、図3(a)におけ
る減衰極の効果が大きくなり、帯域外減衰量をより大き
くできる。
Next, the operation will be described. The operations of the one-port SAW resonator 4 and the two-port SAW resonator 5 in FIG. 4 are the same as those in the first embodiment. However, unlike FIG. 1, FIG. 4 uses two one-port surface acoustic wave resonators 4, so that the effect of the attenuation pole in FIG. 3A is increased, and the out-of-band attenuation can be further increased. .

【0031】さらに、図4においては、弾性表面波フィ
ルタの構成が、入力端子6と出力端子7に対して対称な
構成となっている。したがって、入力端子6からみた入
力インピーダンスと出力端子7からみた入力インピーダ
ンスが、互いに等しくなっている。弾性表面波フィルタ
の入力端子6と出力端子7のそれぞれに接続される外部
回路のインピーダンスは、通常同一であるから、図4の
構成では外部回路とのインピーダンス整合が容易にな
る。したがって、フィルタの不整合損失や、外部整合回
路による損失が少なくなり、低損失な弾性表面波フィル
タが得られる。
Further, in FIG. 4, the configuration of the surface acoustic wave filter is symmetrical with respect to the input terminal 6 and the output terminal 7. Therefore, the input impedance as viewed from the input terminal 6 and the input impedance as viewed from the output terminal 7 are equal to each other. Since the impedance of the external circuit connected to each of the input terminal 6 and the output terminal 7 of the surface acoustic wave filter is usually the same, the configuration of FIG. 4 facilitates impedance matching with the external circuit. Therefore, the mismatch loss of the filter and the loss due to the external matching circuit are reduced, and a low-loss surface acoustic wave filter is obtained.

【0032】実施例3 図5は、この発明の実施例3を示す構成図である。図5
において、1から7は図1と同様のものである。図にお
いて、圧電体基板1上に、2端子対弾性表面波共振器5
を配置し、その両側に1端子対弾性表面波共振器4を2
つ配置し、上記2つの1端子対弾性表面波共振器4と上
記2端子対弾性表面波共振器5とを電気的に接続してい
る。さらに、2端子対弾性表面波共振器5として、すだ
れ状電極2を3個用いた、いわゆる3電極形を用いてい
る。
Third Embodiment FIG. 5 is a configuration diagram showing a third embodiment of the present invention. FIG.
, 1 to 7 are the same as those in FIG. In the figure, a two-terminal pair surface acoustic wave resonator 5 is provided on a piezoelectric substrate 1.
And one terminal pair surface acoustic wave resonator 4 is provided on both sides thereof.
And the two one-port surface acoustic wave resonators 4 and the two-terminal surface acoustic wave resonators 5 are electrically connected. Further, as the two-terminal surface acoustic wave resonator 5, a so-called three-electrode type using three interdigital electrodes 2 is used.

【0033】次に、動作について説明する。図5におけ
る1端子対弾性表面波共振器4と2端子対弾性表面波共
振器5の動作は、それぞれ、実施例1、実施例2の場合
と同様である。しかし、図5では、2端子対弾性表面波
共振器5のすだれ状電極2が3個あり、中央のすだれ状
電極2を入力側とし、両端のすだれ状電極2を接続して
出力側としている。図6は、図5における2端子対弾性
表面波共振器5の共振周波数における振幅分布を示した
ものである。図中に実線で示す0次対称モードと、破線
で示す2次対称モードとが生じ、図24に示した反対称
モードは励振されない。このときも図23の場合と同
様、0次対称モードと2次対称モードの共振周波数の差
を所要の値にすれば、バンドパス特性を有する2重モー
ドフィルタが得られる。
Next, the operation will be described. The operations of the one-port SAW resonator 4 and the two-terminal SAW resonator 5 in FIG. 5 are the same as those in the first and second embodiments, respectively. However, in FIG. 5, there are three IDTs 2 of the two-terminal SAW resonator 5, the IDT 2 at the center is the input side, and the IDTs 2 at both ends are connected to the output side. . FIG. 6 shows the amplitude distribution at the resonance frequency of the two-terminal surface acoustic wave resonator 5 in FIG. In the figure, a zero-order symmetric mode shown by a solid line and a second-order symmetric mode shown by a broken line occur, and the anti-symmetric mode shown in FIG. 24 is not excited. At this time, as in the case of FIG. 23, if the difference between the resonance frequencies of the zero-order symmetric mode and the second-order symmetric mode is set to a required value, a dual mode filter having bandpass characteristics can be obtained.

【0034】しかも、図6の0次対称モードと2次対称
モードの共振周波数の差は、図24の対称モードと反対
称モードの共振周波数の差よりも大きくできるので、図
5における3電極形の2端子対弾性表面波共振器5の方
が、図23における2電極形の2端子対弾性表面波共振
器5よりも通過帯域を広くできる。したがって、実施例
3では、実施例1よりもさらに通過帯域の広い弾性表面
波フィルタが得られる効果がある。
In addition, the difference between the resonance frequencies of the 0-order symmetric mode and the second-order symmetric mode in FIG. 6 can be made larger than the difference between the resonance frequencies of the symmetric mode and the anti-symmetric mode in FIG. 23 can have a wider pass band than the two-electrode surface acoustic wave resonator 5 of the two-electrode type shown in FIG. Therefore, the third embodiment has an effect of obtaining a surface acoustic wave filter having a wider pass band than the first embodiment.

【0035】以上の実施例1から3においては、1端子
対弾性表面波共振器4と2端子対弾性表面波共振器5と
を同一の圧電体基板1上に配置した場合を示したが、本
発明はこれに限らず、1端子対弾性表面波共振器4と2
端子対弾性表面波共振器5とを別々の圧電体基板1上に
配置してもよく、このとき異なる種類の圧電体基板1を
用いてもよい。また、1端子対弾性表面波共振器4の数
や2端子対弾性表面波共振器5の数は、以上の実施例に
示したものとは限らない。一般に、1端子対弾性表面波
共振器4や2端子対弾性表面波共振器5を多数縦続接続
すれば、接続する数を増やすと帯域外減衰量は大きくな
り、挿入損失は増加する。したがって、帯域外減衰量や
挿入損失の所要値に応じて、接続数を任意に選択してよ
い。
In the first to third embodiments, the case where the one-port surface acoustic wave resonator 4 and the two-port surface acoustic wave resonator 5 are arranged on the same piezoelectric substrate 1 has been described. The present invention is not limited to this, and the one-port surface acoustic wave resonators 4 and 2
The terminal pair surface acoustic wave resonator 5 may be disposed on a separate piezoelectric substrate 1, and at this time, different types of piezoelectric substrates 1 may be used. Further, the number of one-port surface acoustic wave resonators 4 and the number of two-port surface acoustic wave resonators 5 are not limited to those described in the above embodiments. In general, if a large number of one-port surface acoustic wave resonators 4 and two-port surface acoustic wave resonators 5 are cascaded, the out-of-band attenuation increases and the insertion loss increases as the number of connected devices increases. Therefore, the number of connections may be arbitrarily selected according to the required values of the out-of-band attenuation and the insertion loss.

【0036】さらに、以上の実施例1から3において
は、1端子対弾性表面波共振器4や2端子対弾性表面波
共振器5として反射器3を有するものを用いているが、
これに限らず、反射器3を有さずすだれ状電極2自体の
共振のみを利用した弾性表面波共振器を用いてもよい。
Further, in the above-described first to third embodiments, the one-port-pair surface acoustic wave resonator 4 and the two-port-pair surface acoustic wave resonator 5 having the reflector 3 are used.
However, the present invention is not limited to this, and a surface acoustic wave resonator using only the resonance of the interdigital transducer 2 itself without the reflector 3 may be used.

【0037】実施例4 図7は、この発明の実施例4を示す構成図である。図7
において、1は圧電体基板、2はすだれ状電極、3は反
射器、4は1端子対弾性表面波共振器、6は入力端子、
7は出力端子である。図において、圧電体基板1上に、
1端子対弾性表面波共振器4と、すだれ状電極2を配置
し、これらを電気的に接続し、逆L形回路を構成してい
る。
Fourth Embodiment FIG. 7 is a configuration diagram showing a fourth embodiment of the present invention. FIG.
, 1 is a piezoelectric substrate, 2 is an interdigital electrode, 3 is a reflector, 4 is a one-terminal surface acoustic wave resonator, 6 is an input terminal,
7 is an output terminal. In the figure, on a piezoelectric substrate 1,
A one-terminal surface acoustic wave resonator 4 and an interdigital electrode 2 are arranged, and these are electrically connected to each other to form an inverted L-shaped circuit.

【0038】次に、動作について説明する。図8は、こ
の発明の実施例4の動作を説明するための図であり、8
はキャパシタである。図8において、入力端子6と出力
端子7との間に、1端子対弾性表面波共振器4を直列
に、キャパシタ8を並列に、それぞれ挿入している。1
端子対弾性表面波共振器4は、前述したように、図20
のようなインピーダンス特性を有しているので、共振周
波数frと反共振周波数faとの間で誘導性インピーダ
ンスとなる。このとき、キャパシタ8は容量性のインピ
ーダンスであるので、図8の回路は、伝送回路理論で良
く知られている定K形フィルタと同様の低損失なバンド
パスフィルタが得られる。ただし、1端子対弾性表面波
共振器4の反共振周波数faでは、減衰極が生じるの
で、通過特性は図9の実線に示すように通過帯域の高域
側に減衰極を有する特性となる。
Next, the operation will be described. FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the fourth embodiment of the present invention.
Is a capacitor. 8, a one-terminal surface acoustic wave resonator 4 is inserted in series between an input terminal 6 and an output terminal 7, and a capacitor 8 is inserted in parallel. 1
As described above, the terminal-pair surface acoustic wave resonator 4 is
, The impedance becomes inductive between the resonance frequency fr and the anti-resonance frequency fa. At this time, since the capacitor 8 has a capacitive impedance, the circuit of FIG. 8 can provide a low-loss bandpass filter similar to a constant K filter well known in transmission circuit theory. However, since an attenuation pole is generated at the anti-resonance frequency fa of the one-port SAW resonator 4, the pass characteristic has an attenuation pole on the higher side of the pass band as shown by the solid line in FIG.

【0039】図7では、図8のキャパシタ8を、すだれ
状電極2で置き換えた構成となっている。すだれ状電極
2のインピーダンスは、弾性表面波を励振する周波数以
外の周波数では、キャパシタ8と同様の容量性の特性を
示す。したがって、図7に示す弾性表面波フィルタは、
すだれ状電極2が弾性表面波を励振する周波数以外の周
波数では、図8に示したフィルタと同様の特性を示す。
したがって、通過帯域特性も図8と同様に低損失にでき
る。しかし、すだれ状電極2が弾性表面波を励振する周
波数では、すだれ状電極2に入力した電気信号は弾性表
面波に変換され、電力の損失が生じる。したがって、図
9の破線に示すように、すだれ状電極2が弾性表面波を
励振する周波数fiで、入力信号の電力が損失を受け、
出力信号の電力が小さくなる。したがって、周波数fi
で通過特性の減衰量が大きくすることができる。このと
き、弾性表面波が励振される周波数fiは、すだれ状電
極2の電極指配列周期を変えることにより自由に変える
ことができるから、帯域外の任意の周波数で減衰量を大
きくすることができる。
FIG. 7 shows a configuration in which the capacitor 8 of FIG. The impedance of the interdigital transducer 2 exhibits the same capacitive characteristics as the capacitor 8 at frequencies other than the frequency at which the surface acoustic wave is excited. Therefore, the surface acoustic wave filter shown in FIG.
At a frequency other than the frequency at which the interdigital transducer 2 excites the surface acoustic wave, the filter exhibits characteristics similar to those of the filter shown in FIG.
Therefore, the pass band characteristic can be reduced as in FIG. However, at a frequency at which the interdigital transducer 2 excites a surface acoustic wave, an electric signal input to the interdigital transducer 2 is converted into a surface acoustic wave, and a power loss occurs. Therefore, as shown by the broken line in FIG. 9, the power of the input signal suffers a loss at the frequency fi at which the interdigital transducer 2 excites the surface acoustic wave,
The power of the output signal decreases. Therefore, the frequency fi
Thus, the attenuation of the passage characteristic can be increased. At this time, the frequency fi at which the surface acoustic wave is excited can be freely changed by changing the electrode finger arrangement cycle of the interdigital transducer 2, so that the attenuation can be increased at an arbitrary frequency outside the band. .

【0040】実施例5 図10は、この発明の実施例5を示す構成図である。図
10において、1から7は図7と同様のものである。図
において、圧電体基板1上に、2つの1端子対弾性表面
波共振器4と、すだれ状電極2を配置し、これらを電気
的に接続し、T形回路を構成している。
Fifth Embodiment FIG. 10 is a block diagram showing a fifth embodiment of the present invention. In FIG. 10, 1 to 7 are the same as those in FIG. In the figure, two one-terminal surface acoustic wave resonators 4 and interdigital electrodes 2 are arranged on a piezoelectric substrate 1 and electrically connected to each other to form a T-shaped circuit.

【0041】次に、動作について説明する。図10の構
成は、図7に示した弾性表面波フィルタを2個、出力端
子7どうしで接続し、中央にできる2個並列に並んだす
だれ状電極2を1つにまとめたものである。したがっ
て、図7と同様のバンドパスフィルタとして動作する。
しかも、図7よりもフィルタの段数が増える分、帯域外
減衰量を大きくでき、急峻なフィルタ特性が得られる。
この場合も、すだれ状電極2から弾性表面波が励振され
る周波数を変えることにより帯域外の任意の周波数で減
衰量をさらに大きくすることができる。
Next, the operation will be described. In the configuration of FIG. 10, two surface acoustic wave filters shown in FIG. 7 are connected to each other by the output terminals 7, and two parallel IDTs 2 formed at the center are arranged in parallel. Therefore, it operates as a bandpass filter similar to that of FIG.
In addition, since the number of filter stages is increased as compared with FIG. 7, the amount of attenuation outside the band can be increased, and steep filter characteristics can be obtained.
Also in this case, the attenuation can be further increased at an arbitrary frequency outside the band by changing the frequency at which the SAW is excited from the IDT 2.

【0042】実施例6 図11は、この発明の実施例6を示す構成図である。図
11において、1から7は図7と同様のものである。図
において、圧電体基板1上に、1端子対弾性表面波共振
器4と、すだれ状電極2を配置し、これらを電気的に接
続し、逆L形回路を構成している。しかし、図11で
は、図7と異なり、入力端子6と出力端子7との間に、
すだれ状電極2を直列に、1端子対弾性表面波共振器4
を並列に、それぞれ挿入している。
Sixth Embodiment FIG. 11 is a configuration diagram showing a sixth embodiment of the present invention. In FIG. 11, reference numerals 1 to 7 are the same as those in FIG. In the figure, a one-terminal surface acoustic wave resonator 4 and an interdigital electrode 2 are arranged on a piezoelectric substrate 1 and electrically connected to each other to form an inverted L-shaped circuit. However, in FIG. 11, unlike FIG. 7, between the input terminal 6 and the output terminal 7,
The IDTs 2 are connected in series, and the one-terminal surface acoustic wave resonator 4
Are inserted in parallel.

【0043】図11も、図7と同様にバンドパスフィル
タとして動作する。この場合は、1端子対弾性表面波共
振器4の共振周波数frで減衰極が生じるので、通過特
性は通過帯域の低域側に減衰極を有する特性となる。し
かし、図11も図7と同様にすだれ状電極2から弾性表
面波が励振される周波数を変えることにより、帯域外の
任意の周波数で減衰量をさらに大きくすることができる
ことはいうまでもない。
FIG. 11 also operates as a bandpass filter as in FIG. In this case, since an attenuation pole is generated at the resonance frequency fr of the one-port surface acoustic wave resonator 4, the transmission characteristic has an attenuation pole on the lower side of the pass band. However, in FIG. 11 as well as in FIG. 7, it goes without saying that the attenuation can be further increased at an arbitrary frequency outside the band by changing the frequency at which the surface acoustic wave is excited from the interdigital electrode 2.

【0044】実施例7 図12は、この発明の実施例7を示す構成図である。図
12において、1から7は図7と同様のものである。図
において、圧電体基板1上に、2つのすだれ状電極2
と、1端子対弾性表面波共振器4を配置し、これらを電
気的に接続し、T形回路を構成している。
Seventh Embodiment FIG. 12 is a configuration diagram showing a seventh embodiment of the present invention. 12, reference numerals 1 to 7 are the same as those in FIG. In the figure, two interdigital electrodes 2 are provided on a piezoelectric substrate 1.
And a one-terminal surface acoustic wave resonator 4 are arranged and electrically connected to each other to form a T-shaped circuit.

【0045】図12の構成は、図11に示した弾性表面
波フィルタを2個、出力端子どうしで接続し、中央にで
きる2個並列に並んだ1端子対弾性表面波共振器を1つ
にまとめたものである。したがって、図11と同様のバ
ンドパスフィルタとして動作し、図11よりも急峻なフ
ィルタ特性が得られる。この場合も、すだれ状電極2か
ら弾性表面波が励振される周波数を変えることにより帯
域外の任意の周波数で減衰量をさらに大きくすることが
できる。さらに、上下2つのすだれ状電極2について、
弾性表面波が励振される周波数を、それぞれ異ならせる
ことにより、異なる2つの帯域で減衰量を大きくするこ
とができる効果がある。
The configuration shown in FIG. 12 is such that two surface acoustic wave filters shown in FIG. 11 are connected to each other at output terminals, and two parallel one-port surface acoustic wave resonators formed at the center are combined into one. It is a summary. Therefore, it operates as a band-pass filter similar to that of FIG. 11, and a filter characteristic steeper than that of FIG. 11 is obtained. Also in this case, the attenuation can be further increased at an arbitrary frequency outside the band by changing the frequency at which the SAW is excited from the IDT 2. Further, for the upper and lower two interdigital electrodes 2,
By making the frequencies at which the surface acoustic waves are excited different from each other, there is an effect that the attenuation can be increased in two different bands.

【0046】以上の実施例4から7においては、弾性表
面波フィルタの回路構成を、逆L形やT形としたものに
ついて示したが、本発明はこれに限らず、π形の回路構
成としてもよく、より段数を増やしてもよい。さらに、
すだれ状電極2の変わりに、キャパシタ8を一部残して
いても構わない。また、多数のすだれ状電極2がある場
合、これらから弾性表面波が励振される周波数は、個別
に変えてもよいし、同一のものがあってもよい。
In the above embodiments 4 to 7, the circuit configuration of the surface acoustic wave filter is shown as an inverted L type or a T type. However, the present invention is not limited to this. And the number of stages may be increased. further,
A part of the capacitor 8 may be left instead of the IDT 2. When there are a large number of interdigital electrodes 2, the frequencies at which the surface acoustic waves are excited may be changed individually or may be the same.

【0047】また、以上の実施例4から7においては、
1端子対弾性表面波共振器4とすだれ状電極2とを同一
の圧電体基板1上に配置した場合を示したが、本発明は
これに限らず、1端子対弾性表面波共振器4とすだれ状
電極2とを別々の圧電体基板1上に配置してもよく、こ
のとき異なる種類の圧電体基板1を用いてもよい。
Further, in the above Examples 4 to 7,
Although the case where the one-terminal pair surface acoustic wave resonator 4 and the interdigital electrode 2 are arranged on the same piezoelectric substrate 1 has been described, the present invention is not limited to this, and the one-terminal pair surface acoustic wave resonator 4 and The interdigital transducers 2 may be arranged on separate piezoelectric substrates 1, and at this time, different types of piezoelectric substrates 1 may be used.

【0048】実施例8 図13は、この発明の実施例8を示す構成図である。図
13において、1は圧電体基板、2はすだれ状電極、3
は反射器、4a、4bは1端子対弾性表面波共振器、6
は入力端子、7は出力端子である。図において、圧電体
基板1上に、1端子対弾性表面波共振器4を複数個配置
し、これらを電気的に接続して梯子形回路を構成してい
る。また、直列腕の1端子対弾性表面波共振器4aにお
いて、すだれ状電極2の電極指配列周期(以下、すだれ
状電極2のピッチという)Lisと、反射器3の格子配
列周期(以下、反射器3のピッチという)Lrsとを異
ならせ、Lis<Lrsとしている。
Eighth Embodiment FIG. 13 is a block diagram showing an eighth embodiment of the present invention. In FIG. 13, 1 is a piezoelectric substrate, 2 is an interdigital electrode, 3
Is a reflector, 4a and 4b are one-port surface acoustic wave resonators, 6
Is an input terminal and 7 is an output terminal. In the figure, a plurality of one-terminal surface acoustic wave resonators 4 are arranged on a piezoelectric substrate 1 and are electrically connected to form a ladder circuit. Further, in the one-terminal pair surface acoustic wave resonator 4a of the serial arm, the electrode finger arrangement period Lis of the interdigital electrodes 2 (hereinafter, referred to as the pitch of the interdigital electrodes 2) and the lattice arrangement period of the reflector 3 (hereinafter, reflection). Lrs) (Litch <Lrs).

【0049】次に、動作について説明する。図13にお
いて、直列腕の1端子対弾性表面波共振器4aの共振周
波数frと並列腕の1端子対弾性表面波共振器4bの反
共振周波数faとをほぼ一致させ、バンドパスフィルタ
として動作させている。これは、図18に示した従来の
弾性表面波フィルタと同様である。したがって、直列腕
の1端子対弾性表面波共振器4aの共振周波数frは、
フィルタの中心周波数となる。
Next, the operation will be described. In FIG. 13, the resonance frequency fr of the one-terminal pair surface acoustic wave resonator 4a of the series arm and the anti-resonance frequency fa of the one-terminal pair surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm are made substantially coincident to operate as a bandpass filter. ing. This is the same as the conventional surface acoustic wave filter shown in FIG. Therefore, the resonance frequency fr of the one arm pair surface acoustic wave resonator 4a of the serial arm is
This is the center frequency of the filter.

【0050】図14は、図19に示したものと同様の1
端子対弾性表面波共振器4において、反射器3のピッチ
Lrを一定としたまま、すだれ状電極2のピッチLiの
みを変化させたときの、共振周波数frと反共振周波数
faの変化を等価回路モデルを用いて計算したものであ
る。横軸はLi/Lrとしているので、Li/Lrが1
のとき、すだれ状電極2と反射器3のピッチが等しくな
る。すだれ状電極2のピッチLiを変えても、すだれ状
電極2と反射器3の間の距離は一定としている。図か
ら、すだれ状電極2のピッチLiを変えたとき、共振周
波数frと反共振周波数faがともに変化し、共振周波
数frと反共振周波数faとの周波数差は余り変化しな
いことが分かった。
FIG. 14 is a circuit diagram similar to the one shown in FIG.
In the terminal-to-surface acoustic wave resonator 4, a change in the resonance frequency fr and the anti-resonance frequency fa when only the pitch Li of the interdigital transducer 2 is changed while keeping the pitch Lr of the reflector 3 constant is an equivalent circuit. It is calculated using a model. Since the horizontal axis is Li / Lr, Li / Lr is 1
In this case, the pitch between the interdigital transducer 2 and the reflector 3 becomes equal. Even if the pitch Li of the interdigital transducer 2 is changed, the distance between the interdigital transducer 2 and the reflector 3 is kept constant. From the figure, it was found that when the pitch Li of the interdigital transducer 2 was changed, both the resonance frequency fr and the anti-resonance frequency fa changed, and the frequency difference between the resonance frequency fr and the anti-resonance frequency fa did not change much.

【0051】図14中点線で示しているのは、反射器3
のストップバンドの下限周波数および上限周波数であ
る。すだれ状電極2と反射器3のピッチが等しいとき、
共振周波数frは、反射器3のストップバンドの下限周
波数にほぼ等しくなっている。したがって、共振周波数
frより少しでも低い周波数では、反射器3のストップ
バンドから外れてしまうため、反射器3の反射効率が小
さくなる。
The dotted line in FIG.
Are the lower limit frequency and upper limit frequency of the stop band. When the pitch between the interdigital transducer 2 and the reflector 3 is equal,
The resonance frequency fr is substantially equal to the lower limit frequency of the stop band of the reflector 3. Therefore, if the frequency is slightly lower than the resonance frequency fr, the frequency deviates from the stop band of the reflector 3, and the reflection efficiency of the reflector 3 decreases.

【0052】図13では、直列腕の1端子対弾性表面波
共振器4aにおいて、すだれ状電極2のピッチLis
と、反射器3のピッチLrsとを異ならせ、Lis<L
rsとしている。このため、図14から分かるように、
共振周波数frは反射器3のストップバンドの下限周波
数よりも高くなる。このとき、共振周波数frより少し
低い周波数でもストップバンドに含まれるので、大きい
反射効率が得られる。
In FIG. 13, the pitch Lis of the interdigital electrodes 2 in the one-terminal surface acoustic wave resonator 4a of the serial arm is shown.
And the pitch Lrs of the reflector 3 are different, and Lis <L
rs. Therefore, as can be seen from FIG.
The resonance frequency fr becomes higher than the lower limit frequency of the stop band of the reflector 3. At this time, since a frequency slightly lower than the resonance frequency fr is included in the stop band, a large reflection efficiency can be obtained.

【0053】前にも述べたように、直列腕の1端子対弾
性表面波共振器4aの共振周波数frは、フィルタの中
心周波数となっている。よって、すだれ状電極2と反射
器3のピッチを図13のように変えることにより、フィ
ルタの中心周波数より低い周波数での反射器3の反射効
率低下による損失を小さくでき、通過帯域でのフィルタ
の挿入損失を小さくできる。また直列腕と並列腕の反射
器3のストップバンドが重なり合う周波数幅を広くでき
るので、フィルタの通過帯域をより広帯域にできる。
As described above, the resonance frequency fr of the one-terminal surface acoustic wave resonator 4a of the serial arm is the center frequency of the filter. Therefore, by changing the pitch between the interdigital transducer 2 and the reflector 3 as shown in FIG. 13, it is possible to reduce the loss due to the decrease in the reflection efficiency of the reflector 3 at a frequency lower than the center frequency of the filter, and to reduce the loss of the filter in the pass band. Insertion loss can be reduced. Further, since the frequency width at which the stop bands of the reflectors 3 of the series arm and the parallel arm overlap can be widened, the pass band of the filter can be made wider.

【0054】実施例9 図15は、この発明の実施例9を示す構成図である。図
15において、1から4および6、7は、図13と同様
のものである。図において、圧電体基板1上に、1端子
対弾性表面波共振器4を複数個配置し、これらを電気的
に接続して梯子形回路を構成している。また、図に示す
ように、直列腕の1端子対弾性表面波共振器4aのすだ
れ状電極2および反射器3のピッチを、それぞれLi
s、Lrsとし、並列腕の1端子対弾性表面波共振器4
bのすだれ状電極2および反射器3のピッチを、それぞ
れLip、Lrpとしたとき、Lis/Lrs<1と
し、かつ、Lip/Lrp>1となるようにしている。
このとき、Lis/Lrs <Lip/Lrpが成り立
っている。
Ninth Embodiment FIG. 15 is a block diagram showing a ninth embodiment of the present invention. In FIG. 15, reference numerals 1 to 4 and 6, 7 are the same as those in FIG. In the figure, a plurality of one-terminal surface acoustic wave resonators 4 are arranged on a piezoelectric substrate 1 and are electrically connected to form a ladder circuit. Further, as shown in the figure, the pitch between the IDT 2 and the reflector 3 of the one-terminal-pair surface acoustic wave resonator 4a of the serial arm is set to Li, respectively.
s, Lrs, one terminal of a parallel arm vs. a surface acoustic wave resonator 4
When the pitch of the interdigital transducer 2 and the reflector 3 of b is Lip and Lrp, respectively, Lis / Lrs <1 and Lip / Lrp> 1.
At this time, Lis / Lrs <Lip / Lrp holds.

【0055】実施例9の動作は、実施例8と同様であ
る。しかし、実施例9では、並列腕の1端子対弾性表面
波共振器4bにおいても、すだれ状電極2のピッチLi
pと反射器3のピッチLrpとを異ならせ、Lip/L
rp>1としている。このとき、図14から分かるよう
に、ピッチが等しい場合に比べ、反共振周波数faを反
射器3のストップバンドの中心周波数に、より近付ける
ことができる。したがって、反共振周波数faより高い
周波数で、反射器3のストップバンドに含まれる周波数
幅がより広くなる。
The operation of the ninth embodiment is the same as that of the eighth embodiment. However, in the ninth embodiment, the pitch Li of the interdigital transducer 2 is also set in the one-terminal surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm.
p and the pitch Lrp of the reflector 3 are different, and Lip / L
rp> 1. At this time, as can be seen from FIG. 14, the anti-resonance frequency fa can be made closer to the center frequency of the stop band of the reflector 3 as compared with the case where the pitch is equal. Therefore, at a frequency higher than the anti-resonance frequency fa, the frequency band included in the stop band of the reflector 3 becomes wider.

【0056】並列腕の1端子対弾性表面波共振器4bの
反共振周波数faも、フィルタの中心周波数となってい
るので、図15では、フィルタの中心周波数より高い周
波数で反射器3の反射効率が低下しない周波数幅を広げ
ることができ、直列腕と並列腕の反射器3のストップバ
ンドが重なり合う周波数幅をより広くできるので、フィ
ルタの通過帯域を図13以上に広帯域にできる。
Since the anti-resonance frequency fa of the one-port surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm is also the center frequency of the filter, the reflection efficiency of the reflector 3 at a frequency higher than the center frequency of the filter is shown in FIG. Can be increased, and the frequency width at which the stop bands of the reflectors 3 of the series arm and the parallel arm overlap can be made wider, so that the pass band of the filter can be made wider than that of FIG.

【0057】なお、図15では、直列腕の1端子対弾性
表面波共振器4aが2個あり、これらの交差幅を互いに
異ならせている。このように1端子対弾性表面波共振器
4の交差幅は、それぞれ変化してもよい。同様に、直列
腕の1端子対弾性表面波共振器4aが3個以上ある場合
にも、それぞれの交差幅を変化してよく、変化のしかた
は種々考えられる。これは、並列腕の1端子対弾性表面
波共振器4bに関しても同様である。
In FIG. 15, there are two one-terminal surface acoustic wave resonators 4a of the serial arm, and their cross widths are different from each other. As described above, the crossing width of the one-terminal surface acoustic wave resonator 4 may vary. Similarly, when there are three or more one-terminal surface acoustic wave resonators 4a in the series arm, the respective intersection widths may be changed, and there are various ways of change. This is the same for the one-port surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm.

【0058】このとき、直列腕の1端子対弾性表面波共
振器4aや並列腕の1端子対弾性表面波共振器4bの交
差幅を変化させ、交差幅を所要の値にすることにより、
フィルタの帯域通過特性を、伝送回路理論で知られてい
る振幅平坦特性、振幅波状特性(チェビシェフ特性)、
遅延平坦特性などの種々の特性に近似することができ、
任意の特性を得ることができる。
At this time, by changing the crossing width of the one-port surface acoustic wave resonator 4a of the series arm and the one-port surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm, the crossing width is set to a required value.
The band pass characteristics of the filter can be changed to the amplitude flat characteristics, amplitude wavy characteristics (Chebyshev characteristics),
It can approximate various characteristics such as delay flat characteristics,
Any property can be obtained.

【0059】さらに、図15では明示していないが、複
数の直列腕の1端子対弾性表面波共振器4aの共振周波
数frを全く等しくする必要はなく、それぞれ変えても
よい。これは、前述したように、すだれ状電極2のピッ
チLiや、反射器3のピッチLr、さらにこれらの比L
i/Lrなどを変化することにより容易に実現できる。
また、並列腕の1端子対弾性表面波共振器4bの反共振
周波数faに関しても、それらをそれぞれ変えてもよ
い。この場合にも、共振周波数frや反共振周波数fa
を所要の値にすることにより、フィルタの帯域通過特性
を種々の特性に近似することができる。
Further, although not explicitly shown in FIG. 15, the resonance frequencies fr of the one-terminal surface acoustic wave resonators 4a of the plurality of serial arms need not be completely equal, and may be changed. This is because, as described above, the pitch Li of the interdigital transducer 2, the pitch Lr of the reflector 3, and the ratio L
It can be easily realized by changing i / Lr and the like.
The anti-resonance frequency fa of the one-port surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm may be changed. Also in this case, the resonance frequency fr and the anti-resonance frequency fa
Is set to a required value, it is possible to approximate the bandpass characteristic of the filter to various characteristics.

【0060】実施例10 図16は、この発明の実施例10を示す構成図である。
図16において、1から4および6、7は、図13と同
様のものである。図13と同様に、圧電体基板1上に、
1端子対弾性表面波共振器4を複数個配置し、これらを
電気的に接続して梯子形回路を構成している。また、図
13では、5個の1端子対弾性表面波共振器4のうち、
直列腕の1端子対弾性表面波共振器4aが3個あり、こ
れら直列腕の1端子対弾性表面波共振器4a3つを隣接
して配置している。
Embodiment 10 FIG. 16 is a block diagram showing a tenth embodiment of the present invention.
In FIG. 16, 1 to 4 and 6, 7 are the same as those in FIG. As in FIG. 13, on the piezoelectric substrate 1,
A plurality of one-port surface acoustic wave resonators 4 are arranged and electrically connected to form a ladder circuit. Further, in FIG. 13, among the five one-port surface acoustic wave resonators 4,
There are three series arm one-port surface acoustic wave resonators 4a, and three series arm one-terminal surface acoustic wave resonators 4a are arranged adjacent to each other.

【0061】実施例10の動作も、実施例8および実施
例9と同様である。しかし、実施例10では、直列腕の
1端子対弾性表面波共振器4aを3つ隣接して配置する
ことにより、同数の直列腕の1端子対弾性表面波共振器
4aおよび並列腕の1端子対弾性表面波共振器4bを互
い違いに配置した場合に比べ、入力端子6と出力端子7
の間の距離を短くできる。したがって、直列腕の1端子
対弾性表面波共振器4aどうしを接続するワイヤあるい
は線路の長さを短くでき、これらの抵抗成分の影響を少
なくできるため、挿入損失の小さい弾性表面波フィルタ
が得られる。
The operation of the tenth embodiment is the same as that of the eighth and ninth embodiments. However, in the tenth embodiment, by arranging three one terminals of the serial arm to the surface acoustic wave resonator 4a adjacent to each other, the same number of one terminal of the serial arm to the surface acoustic wave resonator 4a and one terminal of the parallel arm are arranged. As compared with the case where the surface acoustic wave resonators 4b are staggered, the input terminal 6 and the output terminal 7
Can be shortened. Therefore, the length of the wire or line connecting the one-terminal surface acoustic wave resonators 4a of the serial arm to each other can be reduced, and the effect of these resistance components can be reduced, so that a surface acoustic wave filter with a small insertion loss can be obtained. .

【0062】このとき、逆に、並列腕の1端子対弾性表
面波共振器4bを接続するワイヤあるいは線路の長さは
長くなり、抵抗成分が増えてしまう。しかし、フィルタ
の通過域ではもともと並列腕のインピーダンスがほぼ無
限大と大きくなっているので、抵抗成分が増えても、フ
ィルタの挿入損失はほとんど変わらず、低損失の特性が
得られる。
At this time, on the contrary, the length of the wire or line connecting the one terminal of the parallel arm and the surface acoustic wave resonator 4b increases, and the resistance component increases. However, since the impedance of the parallel arm is originally substantially infinite in the pass band of the filter, even if the resistance component increases, the insertion loss of the filter hardly changes and a low-loss characteristic can be obtained.

【0063】以上の実施例8から10においては、1端
子対弾性表面波共振器4を同一の圧電体基板1上に配置
した場合を示したが、本発明はこれに限らず、1端子対
弾性表面波共振器4とすだれ状電極2とを別々の圧電体
基板1上に配置してもよく、このとき異なる種類の圧電
体基板1を用いてもよい。また、1端子対弾性表面波共
振器4a、4bの数は、以上の実施例に示したものとは
限らず、帯域外減衰量や挿入損失の所要値に応じて任意
に選択してよい。
In the above-described embodiments 8 to 10, the case where the one-port surface acoustic wave resonator 4 is arranged on the same piezoelectric substrate 1 has been described. The surface acoustic wave resonator 4 and the interdigital transducer 2 may be arranged on separate piezoelectric substrates 1, and different types of piezoelectric substrates 1 may be used at this time. Further, the number of one-port surface acoustic wave resonators 4a and 4b is not limited to the number shown in the above embodiment, and may be arbitrarily selected according to required values of the out-of-band attenuation and the insertion loss.

【0064】実施例11 図17は、この発明の実施例11を示す構成図である。
図17において、4a、4b、6、7は、図18や図1
3などと同様のものであり、9はインダクタである。図
13と同様に、直列腕の1端子対弾性表面波共振器4a
と並列腕の1端子対弾性表面波共振器4bを、入力端子
6と出力端子7の間に、複数個梯子形に接続している。
しかし、図17では図13と異なり、インダクタ9を1
端子対弾性表面波共振器4に対して直列あるいは並列に
接続している。さらにインダクタ9を、複数個の1端子
対弾性表面波共振器4にまたがって接続している。
Embodiment 11 FIG. 17 is a block diagram showing Embodiment 11 of the present invention.
In FIG. 17, 4a, 4b, 6, and 7 correspond to FIGS.
Similar to 3 and the like, 9 is an inductor. Similarly to FIG. 13, one terminal of a serial arm vs. a surface acoustic wave resonator 4a.
And one terminal-pair surface acoustic wave resonator 4b of the parallel arm is connected between the input terminal 6 and the output terminal 7 in the form of a ladder.
However, in FIG. 17, unlike FIG.
The terminal is connected in series or parallel to the surface acoustic wave resonator 4. Further, the inductor 9 is connected across the plurality of one-terminal surface acoustic wave resonators 4.

【0065】実施例11の動作も、実施例8から実施例
10と同様であり、低損失なバンドパスフィルタとして
動作する。しかし、実施例11では、インダクタ9を1
端子対弾性表面波共振器4に対して、例えば、直列に接
続している。このとき、1端子対弾性表面波共振器4と
インダクタ9とを合わせたインピーダンス特性を考える
と、図20に示した1端子対弾性表面波共振器4単独の
インピーダンスに対して、インダクタ9を接続した分イ
ンピーダンスの虚部が全体に大きくなる。よって、反共
振周波数faは変わらないが共振周波数frが低くな
り、frとfaとの周波数差が大きくなる。また、イン
ダクタ9を並列に接続した場合には、インダクタ9を接
続した分インピーダンスの逆数の虚部が全体に小さくな
る。このときは、共振周波数frは変わらないが反共振
周波数faが高くなり、やはり、frとfaとの周波数
差が大きくなる。
The operation of the eleventh embodiment is similar to that of the eighth to tenth embodiments, and operates as a low-loss bandpass filter. However, in the eleventh embodiment, the inductor 9 is set to 1
For example, the terminal-to-surface acoustic wave resonator 4 is connected in series. At this time, considering the combined impedance characteristics of the one-port surface acoustic wave resonator 4 and the inductor 9, the inductor 9 is connected to the impedance of the single-port surface acoustic wave resonator 4 shown in FIG. As a result, the imaginary part of the impedance increases as a whole. Therefore, the anti-resonance frequency fa does not change but the resonance frequency fr decreases, and the frequency difference between fr and fa increases. When the inductors 9 are connected in parallel, the imaginary part of the reciprocal of the impedance becomes smaller as a whole by the connection of the inductors 9. At this time, the resonance frequency fr does not change, but the anti-resonance frequency fa increases, and the frequency difference between fr and fa also increases.

【0066】このように、インダクタ9を接続すること
により、1端子対弾性表面波共振器4の共振周波数fr
と反共振周波数faとの周波数差を、見掛上大きくでき
る。したがって、図21に示したフィルタの通過特性に
おいて、2つの減衰極の周波数間隔を広くすることがで
き、通過帯域幅の広い弾性表面波フィルタが得られる。
As described above, by connecting the inductor 9, the resonance frequency fr of the one-port surface acoustic wave resonator 4 is obtained.
And the anti-resonance frequency fa can be apparently increased. Therefore, in the pass characteristic of the filter shown in FIG. 21, the frequency interval between the two attenuation poles can be widened, and a surface acoustic wave filter having a wide pass bandwidth can be obtained.

【0067】さらに、実施例11では、インダクタ9を
複数個の1端子対弾性表面波共振器4にまたがって接続
している。すでに述べたように、フィルタの通過帯域か
ら離れた周波数では、1端子対弾性表面波共振器4は容
量性のインピーダンス特性を示す。よって、誘導性のイ
ンピーダンスを有するインダクタ9を接続することによ
り、帯域外での通過信号を互いに打ち消すことができ、
通過特性に減衰極を作ることができる。したがって、帯
域外減衰量の大きい弾性表面波フィルタが得られる。
Further, in the eleventh embodiment, the inductor 9 is connected across a plurality of one-terminal surface acoustic wave resonators 4. As described above, at a frequency apart from the pass band of the filter, the one-port surface acoustic wave resonator 4 exhibits a capacitive impedance characteristic. Therefore, by connecting the inductor 9 having an inductive impedance, signals passing outside the band can be canceled each other,
An attenuation pole can be created in the transmission characteristic. Accordingly, a surface acoustic wave filter having a large out-of-band attenuation can be obtained.

【0068】実施例11において、インダクタ9は図1
7に示した全てのものを用いる必要はなく、少なくとも
1つのインダクタ9を接続することによって、本発明の
効果が得られる。インダクタ9の構造はどのようなもの
でもよく、例えば、1端子対弾性表面波共振器4と同一
の圧電体基板1上に形成してもよいし、金属ワイヤなど
で構成してもよい。1端子対弾性表面波共振器4をパッ
ケージに封入する場合には、インダクタ9を同一パッケ
ージに収めてもよいし、インダクタ9を外部に設けて接
続してもよい。さらに、インダクタ9の接続方法は図1
7に示したものに限らず、種々の方法を用いることがで
きる。
In the eleventh embodiment, the inductor 9 is
It is not necessary to use all of the components shown in FIG. 7 and the effect of the present invention can be obtained by connecting at least one inductor 9. The inductor 9 may have any structure. For example, the inductor 9 may be formed on the same piezoelectric substrate 1 as the one-terminal surface acoustic wave resonator 4, or may be formed of a metal wire or the like. When the one-terminal surface acoustic wave resonator 4 is sealed in a package, the inductor 9 may be housed in the same package, or the inductor 9 may be provided outside and connected. Further, the connection method of the inductor 9 is shown in FIG.
7, various methods can be used.

【0069】以上の実施例1から11において、圧電体
基板1の材料は単結晶でも他の基板に圧電薄膜を形成し
たものでもよく、弾性表面波を励振するものであれば何
を用いても構わない。また、弾性表面波はレイリー波と
は限らず、いわゆる擬似弾性表面波などの表面波を利用
しても差し支えない。さらに、以上の実施例において、
回路素子として用いている1端子対弾性表面波共振器4
やすだれ状電極2の代わりに、同一または異なる2つ以
上の1端子対弾性表面波共振器4やすだれ状電極2を直
列あるいは並列に接続したものを用いてもよく、この場
合にも本発明の効果が得られる。
In the first to eleventh embodiments, the material of the piezoelectric substrate 1 may be a single crystal or a substrate in which a piezoelectric thin film is formed on another substrate, and any material that excites a surface acoustic wave may be used. I do not care. Further, the surface acoustic wave is not limited to a Rayleigh wave, and a surface wave such as a so-called pseudo-surface acoustic wave may be used. Further, in the above embodiment,
One terminal pair surface acoustic wave resonator 4 used as a circuit element
Instead of the interdigital transducer 2, two or more identical or different one-terminal-pair surface acoustic wave resonators 4 or interdigital transducers 2 connected in series or in parallel may be used. The effect of is obtained.

【0070】[0070]

【発明の効果】請求項1の発明によれば、1端子対弾性
表面波共振器と2端子対弾性表面波共振器を電気的に縦
続接続して弾性表面波フィルタを構成したので、2端子
対弾性表面波共振器のスプリアスを1端子対弾性表面波
共振器の減衰極で打ち消すことができ、低損失で帯域外
減衰量の大きい弾性表面波フィルタが得られる効果があ
る。
According to the first aspect of the present invention, the one-terminal surface acoustic wave resonator and the two-terminal surface acoustic wave resonator are electrically connected in cascade to form a surface acoustic wave filter. The spurious of the surface acoustic wave resonator can be canceled by the attenuation pole of the one-port surface acoustic wave resonator, and a surface acoustic wave filter having a low loss and a large out-of-band attenuation can be obtained.

【0071】請求項2の発明によれば、1端子対弾性表
面波共振器と2端子対弾性表面波共振器とを、弾性表面
波フィルタの入力端子と出力端子に対して対称に接続し
たので、入力端子と出力端子のインピーダンスを等しく
することができ、外部回路との整合がとりやすく、低損
失な弾性表面波フィルタが得られる効果がある。
According to the second aspect of the present invention, the one-port surface acoustic wave resonator and the two-port surface acoustic wave resonator are symmetrically connected to the input terminal and the output terminal of the surface acoustic wave filter. The impedance of the input terminal and the output terminal can be equalized, matching with an external circuit can be easily performed, and a low-loss surface acoustic wave filter can be obtained.

【0072】請求項3の発明によれば、3個以上のすだ
れ状電極を有する2端子対弾性表面波共振器を備えたの
で、通過帯域の広い弾性表面波フィルタが得られる効果
がある。
According to the third aspect of the present invention, since a two-terminal pair surface acoustic wave resonator having three or more interdigital electrodes is provided, a surface acoustic wave filter having a wide pass band can be obtained.

【0073】請求項の発明によれば、直列腕と並列腕
の1端子対弾性表面波共振器にそれぞれの、すだれ状電
極の電極指配列周期と反射器の格子配列周期を所定の関
係が満たされるようにしたので、反射器のストップバン
ドをさらに有効に利用でき、通過帯域のさらに広い弾性
表面波フィルタが得られる効果がある。
According to the fourth aspect of the present invention, the one-terminal pair surface acoustic wave resonator of the serial arm and the parallel arm has a predetermined relationship between the electrode finger arrangement period of the interdigital transducer and the lattice arrangement period of the reflector. Since the condition is satisfied, the stop band of the reflector can be more effectively used, and the surface acoustic wave filter having a wider pass band can be obtained.

【0074】請求項の発明によれば、弾性表面波共振
器を複数個電気的に接続してなる弾性表面波フィルタに
おいて、直列腕の構成要素および並列腕の構成要素とし
て1端子対弾性表面波共振器を用い、上記弾性表面波フ
ィルタの入力端子と出力端子の間に複数の上記直列腕の
1端子対弾性表面波共振器と一つ以上の上記並列腕の1
端子対弾性表面波共振器とを梯子形に接続し、かつ、上
記複数の直列腕の1端子対弾性表面波共振器の2つ以上
にまたがってインダクタを並列に接続したので、通過特
性に減衰極を作ることができ、帯域外減衰量の大きい弾
性表面波フィルタが得られる。
According to the fifth aspect of the present invention, in a surface acoustic wave filter in which a plurality of surface acoustic wave resonators are electrically connected, one terminal pair surface acoustic surface is used as a component of the series arm and a component of the parallel arm. A wave resonator is used, and one terminal of a plurality of series arms and one surface of one or more parallel arms are arranged between an input terminal and an output terminal of the surface acoustic wave filter.
The terminal-to-surface acoustic wave resonator is connected in a ladder form, and the inductor is connected in parallel across two or more of the one-terminal to surface-acoustic wave resonators of the plurality of series arms, so that the attenuation is caused to pass characteristics. The poles can be formed, and a surface acoustic wave filter having a large out-of-band attenuation can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施例1を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of the present invention.

【図2】この発明の実施例1の動作を説明するための図
である。
FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the first embodiment of the present invention.

【図3】この発明の実施例1の動作を説明するための図
である。
FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the first embodiment of the present invention.

【図4】この発明の実施例2を示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図5】この発明の実施例3を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図6】この発明の実施例3の動作を説明するための図
である。
FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the third embodiment of the present invention.

【図7】この発明の実施例4を示す構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram showing a fourth embodiment of the present invention.

【図8】この発明の実施例4の動作を説明するための図
である。
FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the fourth embodiment of the present invention.

【図9】この発明の実施例4の動作を説明するための図
である。
FIG. 9 is a diagram for explaining the operation of the fourth embodiment of the present invention.

【図10】この発明の実施例5を示す構成図である。FIG. 10 is a configuration diagram showing a fifth embodiment of the present invention.

【図11】この発明の実施例6を示す構成図である。FIG. 11 is a configuration diagram showing a sixth embodiment of the present invention.

【図12】この発明の実施例7を示す構成図である。FIG. 12 is a configuration diagram showing a seventh embodiment of the present invention.

【図13】この発明の実施例8を示す構成図である。FIG. 13 is a configuration diagram showing Embodiment 8 of the present invention.

【図14】この発明の実施例8の動作を説明するための
図である。
FIG. 14 is a diagram for explaining the operation of the eighth embodiment of the present invention.

【図15】この発明の実施例9を示す構成図である。FIG. 15 is a configuration diagram showing a ninth embodiment of the present invention.

【図16】この発明の実施例10を示す構成図である。FIG. 16 is a configuration diagram showing a tenth embodiment of the present invention.

【図17】この発明の実施例11を示す構成図である。FIG. 17 is a configuration diagram showing Embodiment 11 of the present invention.

【図18】従来の弾性表面波フィルタを示す構成図であ
る。
FIG. 18 is a configuration diagram showing a conventional surface acoustic wave filter.

【図19】従来の弾性表面波フィルタの動作を説明する
ための図である。
FIG. 19 is a view for explaining the operation of a conventional surface acoustic wave filter.

【図20】従来の弾性表面波フィルタの動作を説明する
ための図である。
FIG. 20 is a diagram for explaining the operation of a conventional surface acoustic wave filter.

【図21】従来の弾性表面波フィルタの動作を説明する
ための図である。
FIG. 21 is a view for explaining the operation of a conventional surface acoustic wave filter.

【図22】従来の弾性表面波フィルタの動作を説明する
ための図である。
FIG. 22 is a view for explaining the operation of a conventional surface acoustic wave filter.

【図23】従来の弾性表面波フィルタを示す構成図であ
る。
FIG. 23 is a configuration diagram showing a conventional surface acoustic wave filter.

【図24】従来の弾性表面波フィルタの動作を説明する
ための図である。
FIG. 24 is a diagram for explaining the operation of a conventional surface acoustic wave filter.

【図25】従来の弾性表面波フィルタの動作を説明する
ための図である。
FIG. 25 is a diagram for explaining the operation of a conventional surface acoustic wave filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 圧電体基板 2 すだれ状電極 3 反射器 4 1端子対弾性表面波共振器 5 2端子対弾性表面波共振器 6 入力端子 7 出力端子 8 キャパシタ 9 インダクタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Piezoelectric substrate 2 IDT 3 Reflector 4 1 terminal vs. surface acoustic wave resonator 5 2 terminal vs. surface acoustic wave resonator 6 input terminal 7 output terminal 8 capacitor 9 inductor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 友則 鎌倉市大船五丁目1番1号 三菱電機株 式会社 電子システム研究所内 (72)発明者 村井 康治 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電 機株式会社 通信機製作所内 (56)参考文献 特開 平5−83084(JP,A) 特開 昭58−131810(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/145 H03H 9/64 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Tomonori Kimura 5-1-1, Ofuna, Kamakura City Mitsubishi Electric Corporation Electronic Systems Laboratory (72) Inventor Koji Murai 8-1-1, Tsukaguchi Honcho, Amagasaki City Mitsubishi (56) References JP-A-5-83084 (JP, A) JP-A-58-131810 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) ) H03H 9/145 H03H 9/64

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 弾性表面波共振器を複数個電気的に接続
してなる弾性表面波フィルタにおいて、上記弾性表面波
共振器は、1端子対弾性表面波共振器と、この1端子対
弾性表面波共振器に縦続接続された2端子対弾性表面波
共振器とを備えたことを特徴とする弾性表面波フィル
タ。
1. A surface acoustic wave filter in which a plurality of surface acoustic wave resonators are electrically connected, wherein the surface acoustic wave resonator is a one-port surface acoustic wave resonator, and the one-port surface acoustic wave resonator. A surface acoustic wave filter comprising: a two-terminal pair surface acoustic wave resonator cascaded to a wave resonator.
【請求項2】 上記1端子対弾性表面波共振器と上記2
端子対弾性表面波共振器とを、上記弾性表面波フィルタ
の入力端子と出力端子に対して対称に接続したことを特
徴とする請求項1記載の弾性表面波フィルタ。
2. The one-port pair surface acoustic wave resonator and the two-port surface acoustic wave resonator.
2. The surface acoustic wave filter according to claim 1, wherein a terminal-to-surface acoustic wave resonator is symmetrically connected to an input terminal and an output terminal of the surface acoustic wave filter.
【請求項3】 上記2端子対弾性表面波共振器は、3個
以上のすだれ状電極を有することを特徴とする請求項1
記載の弾性表面波フィルタ。
3. The surface acoustic wave resonator according to claim 2, wherein the two-terminal surface acoustic wave resonator has three or more interdigital electrodes.
The surface acoustic wave filter according to any one of the preceding claims.
【請求項4】 直列腕の構成要素および並列腕の構成要
素として、すだれ状電極と反射器とを有する1端子対弾
性表面波共振器を用い、上記直列腕の1端子対弾性表面
波共振器と上記並列腕の1端子対弾性表面波共振器とを
梯子形に接続してなる弾性表面波フィルタにおいて、上
記直列腕の1端子対弾性表面波共振器の、上記すだれ状
電極の電極指配列周期および上記反射器の格子配列周期
をそれぞれLis、Lrsとし、上記並列腕の1端子対
弾性表面波共振器の、上記すだれ状電極の電極指配列周
期および上記反射器の格子配列周期をそれぞれLip、
Lrpとしたとき、Lis/Lrs < Lip/Lr
pとしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
4. A one-port pair surface acoustic wave resonator having an interdigital transducer and a reflector as a component of the series arm and a component of the parallel arm, wherein the one-terminal pair surface acoustic wave resonator of the series arm is used. And a one-terminal pair surface acoustic wave resonator of the parallel arm connected in a ladder form, wherein the electrode fingers of the interdigital transducers of the one-terminal pair surface acoustic wave resonator of the serial arm are connected. The period and the lattice arrangement period of the reflector are Lis and Lrs, respectively, and the electrode finger arrangement period of the interdigital transducer and the lattice arrangement period of the reflector of the one-port surface acoustic wave resonator of the parallel arm are Lip, respectively. ,
When Lrp is set, Lis / Lrs <Lip / Lr
A surface acoustic wave filter characterized by p.
【請求項5】 弾性表面波共振器を複数個電気的に接続
してなる弾性表面波フィルタにおいて、直列腕の構成要
素および並列腕の構成要素として1端子対弾性表面波共
振器を用い、上記弾性表面波フィルタの入力端子と出力
端子の間に複数の上記直列腕の1端子対弾性表面波共振
器と一つ以上の上記並列腕の1端子対弾性表面波共振器
とを梯子形に接続し、かつ、上記複数の直列腕の1端子
対弾性表面波共振器の2つ以上にまたがってインダクタ
を並列に接続したことを特徴とする弾性表面波フィル
タ。
5. A surface acoustic wave filter in which a plurality of surface acoustic wave resonators are electrically connected, wherein a one-port pair surface acoustic wave resonator is used as a component of a series arm and a component of a parallel arm. A plurality of one-arm surface acoustic wave resonators of the series arm and one or more one-arm surface acoustic wave resonators of one or more parallel arms are connected in a ladder shape between an input terminal and an output terminal of the surface acoustic wave filter. A surface acoustic wave filter in which an inductor is connected in parallel across two or more of the one-terminal pair surface acoustic wave resonators of the plurality of serial arms.
JP04805593A 1993-03-09 1993-03-09 Surface acoustic wave filter Expired - Lifetime JP3191473B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04805593A JP3191473B2 (en) 1993-03-09 1993-03-09 Surface acoustic wave filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04805593A JP3191473B2 (en) 1993-03-09 1993-03-09 Surface acoustic wave filter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06260876A JPH06260876A (en) 1994-09-16
JP3191473B2 true JP3191473B2 (en) 2001-07-23

Family

ID=12792661

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP04805593A Expired - Lifetime JP3191473B2 (en) 1993-03-09 1993-03-09 Surface acoustic wave filter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3191473B2 (en)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69625734T2 (en) * 1995-03-15 2003-05-22 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Acoustic surface wave filter
JP3383508B2 (en) * 1995-03-15 2003-03-04 松下電器産業株式会社 Surface acoustic wave filter
US5635883A (en) * 1995-08-28 1997-06-03 Motorola, Inc. Acoustic wave filter with filter-shaping element and method
US5638036A (en) * 1995-09-11 1997-06-10 Motorola, Inc. Acoustic wave ladder filter with unequal series and shunt transducer periodicities and method of making
JPH09167937A (en) * 1995-12-18 1997-06-24 Oki Electric Ind Co Ltd Surface acoustic wave filter
US6501208B1 (en) * 1997-07-18 2002-12-31 Kabushiki Kaisha Toshiba Compensated surface acoustic wave filter having a longitudinal mode resonator connected with a second resonator
US5933062A (en) * 1997-11-04 1999-08-03 Motorola Inc. Acoustic wave ladder filter with effectively increased coupling coefficient and method of providing same
JP2000059176A (en) 1998-08-06 2000-02-25 Toshiba Corp Surface acoustic wave element
US6201457B1 (en) * 1998-11-18 2001-03-13 Cts Corporation Notch filter incorporating saw devices and a delay line
JP3454239B2 (en) 2000-08-31 2003-10-06 株式会社村田製作所 Surface acoustic wave filter
JP2002185284A (en) 2000-12-15 2002-06-28 Sanyo Electric Co Ltd Surface acoustic wave filter
JP2002232261A (en) * 2001-01-30 2002-08-16 Kinseki Ltd Surface acoustic wave device
US6975180B2 (en) 2002-08-08 2005-12-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave filter, and antenna duplexer and communication equipment using the same
US6879224B2 (en) * 2002-09-12 2005-04-12 Agilent Technologies, Inc. Integrated filter and impedance matching network
US7112912B2 (en) 2004-03-16 2006-09-26 Tdk Corporation Surface acoustic wave device and branching filter
JP2004128928A (en) * 2002-10-03 2004-04-22 Murata Mfg Co Ltd Surface acoustic wave filter and communication device
JP2004173245A (en) 2002-10-30 2004-06-17 Murata Mfg Co Ltd Ladder filter, branching filter, and communication device
JP4144509B2 (en) * 2003-01-16 2008-09-03 株式会社村田製作所 Ladder type filter, duplexer, communication device
WO2005088835A1 (en) * 2004-03-12 2005-09-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Demultiplexer and surface acoustic wave filter
JP2004248321A (en) * 2004-04-22 2004-09-02 Oki Electric Ind Co Ltd Polar saw filter
JP4627198B2 (en) * 2005-02-25 2011-02-09 京セラキンセキ株式会社 Low pass filter
JP2007036856A (en) * 2005-07-28 2007-02-08 Fujitsu Media Device Kk Resonator, filter and antenna branching filter
DE102005051852B4 (en) * 2005-10-28 2021-05-20 Snaptrack, Inc. SAW filter with broadband bandstop filter
WO2007077825A1 (en) 2006-01-06 2007-07-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elastic wave filter
JP4813984B2 (en) * 2006-06-23 2011-11-09 京セラキンセキ株式会社 Low pass filter
JP2008011151A (en) * 2006-06-29 2008-01-17 Kyocera Kinseki Corp Bandpass filter
EP2416496B1 (en) * 2009-03-30 2019-05-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elastic wave filter
WO2010125934A1 (en) * 2009-04-30 2010-11-04 株式会社村田製作所 Elastic wave device
WO2011093449A1 (en) * 2010-01-28 2011-08-04 株式会社村田製作所 Tunable filter
JP5901101B2 (en) 2010-02-25 2016-04-06 太陽誘電株式会社 Filter, duplexer, communication module, communication device
JP5588838B2 (en) 2010-11-17 2014-09-10 太陽誘電株式会社 Filter circuit, duplexer and RF module
JP5890670B2 (en) 2011-12-05 2016-03-22 太陽誘電株式会社 Filter and duplexer
US9978927B2 (en) * 2013-11-26 2018-05-22 Kyocera Corporation Acoustic wave element, duplexer and communication device
CN110383681A (en) * 2017-03-31 2019-10-25 株式会社村田制作所 Composite filter device
JP7429612B2 (en) * 2020-06-26 2024-02-08 NDK SAW devices株式会社 Surface acoustic wave filters and surface acoustic wave devices

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06260876A (en) 1994-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3191473B2 (en) Surface acoustic wave filter
JP3139225B2 (en) Surface acoustic wave filter
JP3449352B2 (en) Surface acoustic wave filter
JP4407696B2 (en) Surface acoustic wave device
US7211925B2 (en) Surface acoustic wave device and branching filter
CN109787579B (en) SAW resonator with reduce spurious function
JPH08265087A (en) Surface acoustic wave filter
JP3391309B2 (en) Surface wave device and communication device
JPH01260911A (en) Composite filter for surface acoustic wave resonator
JP3255128B2 (en) Surface acoustic wave filter
WO2022158470A1 (en) Elastic wave filter and multiplexer
JP3341709B2 (en) Surface wave device and communication device using the same
US6828879B2 (en) Longitudinal coupled multiple mode surface acoustic wave filter
JPH09232908A (en) Surface acoustic wave filter
JP2024036840A (en) Acoustic wave filter and multiplexer
JPH09121136A (en) Ladder surface acoustic wave filter for resonator
JP2000049558A (en) Surface acoustic wave filter
JPH09172342A (en) Dual mode surface acoustic wave resonator filter
JPH06177703A (en) Longitudinal triplex mode saw filter
JPH10276062A (en) Surface acoustic wave device
JP3327433B2 (en) Surface acoustic wave filter
JP3117021B2 (en) Surface acoustic wave filter
CN118353415B (en) Dual-mode coupling surface acoustic wave filter and elastic wave filter
JPH0767060B2 (en) Single-mode two-terminal pair surface acoustic wave resonator and surface acoustic wave filter
JP2004516703A (en) Transversal mode coupled resonator filter

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080525

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090525

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525

Year of fee payment: 9

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525

Year of fee payment: 9

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525

Year of fee payment: 9

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525

Year of fee payment: 9

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110525

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110525

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120525

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120525

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130525

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term