JP3191244B2 - Photosensitive resin composition and image recording material using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition and image recording material using the same

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JP3191244B2 JP03762092A JP3762092A JP3191244B2 JP 3191244 B2 JP3191244 B2 JP 3191244B2 JP 03762092 A JP03762092 A JP 03762092A JP 3762092 A JP3762092 A JP 3762092A JP 3191244 B2 JP3191244 B2 JP 3191244B2
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  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光の作用によるオキサ
ゾール誘導体の光酸化反応を利用した感光性樹脂組成物
に関し、更に詳しくは、使用する増感剤の選択によって
紫外光線、可視光線さらに近赤外光線にいたる広い領域
に対して高い感光性を持つ感光性樹脂組成物に関するも
のである。この感光性樹脂は、各種基板上に塗布して印
刷版、フォトレジスト、ホログラフィーなどの画像記録
材料として、広い用途がある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition utilizing a photooxidation reaction of an oxazole derivative by the action of light. The present invention relates to a photosensitive resin composition having high photosensitivity to a wide range up to infrared rays. This photosensitive resin is widely applied as an image recording material such as a printing plate, a photoresist, and holography by being applied on various substrates.

【0002】[0002]

【従来の技術】印刷版やフォトレジストとして使用され
ている感光性樹脂組成物にはネガ型とポジ型がある。ネ
ガ型としては、光重合開始剤として芳香族ケトン化合
物,ベンゾイン誘導体、芳香族キノン化合物などを使用
した光重合型が一般的に用いられ、光重合感度は紫外線
に対しては十分であるが、可視光に対しては殆ど感光性
を示さない。さらに、光重合型の感光性樹脂組成物は空
気中の酸素によって大きな阻害作用を受ける。また、ポ
ジ型感光性樹脂組成物は酸素の影響は受けないものの、
可視光領域から近赤外光領域での増感が困難とされてい
る。
2. Description of the Related Art A photosensitive resin composition used as a printing plate or a photoresist includes a negative type and a positive type. As the negative type, a photopolymerization type using an aromatic ketone compound, a benzoin derivative, an aromatic quinone compound or the like as a photopolymerization initiator is generally used, and the photopolymerization sensitivity is sufficient for ultraviolet rays, It shows almost no sensitivity to visible light. Further, the photopolymerizable photosensitive resin composition is greatly inhibited by oxygen in the air. In addition, although the positive photosensitive resin composition is not affected by oxygen,
Sensitization from the visible light region to the near infrared light region is considered to be difficult.

【0003】一方、近年においては、レーザー技術の進
歩に伴いレーザー製版、プリント回路基板、光ディス
ク、光メモリ、ホログラム、レーザーリソグラフィー用
のレーザー記録材料の開発が求められている。現在、安
定な出力の得られるレーザー光源としては、アルゴンレ
ーザー、ヘリウム−ネオンレーザー、YAGレーザーさ
らに半導体レーザーなどがある。しかし、発振波長はい
ずれも約500nm以上の長い波長であり、従来の印刷
製版やホトリソグラフィーに用いられている感光性樹脂
組成物を用いてレーザー光記録を行なうには、困難であ
る。
On the other hand, in recent years, the development of laser plate making, printed circuit boards, optical disks, optical memories, holograms, and laser recording materials for laser lithography have been required with the advance of laser technology. At present, laser light sources that can obtain a stable output include an argon laser, a helium-neon laser, a YAG laser, and a semiconductor laser. However, the oscillation wavelengths are all long wavelengths of about 500 nm or more, and it is difficult to perform laser light recording using a photosensitive resin composition used in conventional plate making and photolithography.

【0004】これらの問題を解決するために、現在、可
視光から近赤外光までに対して感光性を持つ感光性樹脂
組成物の開発がなされている。
[0004] In order to solve these problems, photosensitive resin compositions which are sensitive to visible light to near infrared light have been developed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の感光性樹脂組成物は可視光領域に感光性を示すもの
の、その感光領域には限度があり、利用可能な波長領域
が制限されてしまうために実用的には不十分である。ま
た、これらの感光性樹脂組成物の多くが光重合性樹脂で
あり、酸素の影響を受ける。そのために、前述の感光性
樹脂組成物を記録材料として用いる場合には、光源の選
択に制約があるのみならず、酸素遮断のための特別な工
夫を必要とするなどの問題点を有しており、これらを解
決することが要求されている。
However, although these photosensitive resin compositions exhibit photosensitivity in the visible light region, the photosensitive region is limited and the usable wavelength region is limited. It is not enough for practical use. Many of these photosensitive resin compositions are photopolymerizable resins and are affected by oxygen. Therefore, when the above-described photosensitive resin composition is used as a recording material, not only is there a limitation in the selection of a light source, but there is a problem that a special device for blocking oxygen is required. There is a need to solve these.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、増感光酸
化反応における増感剤の種類は、紫外線領域から近赤外
領域にまで至ることを考慮に入れて、オキサゾール誘導
体の増感光酸化反応に着目して鋭意研究を重ねた結果、
高分子側鎖に結合したオキサゾール誘導体が溶液中では
勿論のこと、固体状態においても容易に増感光酸化さ
れ、溶剤に対する溶解性が変化することを見いだし、本
発明に至ったものである。
Means for Solving the Problems The present inventors have considered that the type of sensitizer in the sensitized oxidation reaction ranges from the ultraviolet region to the near infrared region, and As a result of intensive research focusing on reactions,
The inventors have found that the oxazole derivative bonded to the polymer side chain is easily sensitized and oxidized not only in a solution but also in a solid state, resulting in a change in solubility in a solvent, which has led to the present invention.

【0007】すなわち、本発明は、(1)側鎖にオキサ
ゾール誘導体を有する樹脂と、一重項酸素を生成する三
重項増感剤とを含有する感光性樹脂組成物、および
(2)基板上にその感光性樹脂組成物を塗布した画像記
録材料に光照射を行った後に、アミン水溶液で現像する
ことによって画像を記録することができる画像記録材料
を提供する。
That is, the present invention provides (1) a photosensitive resin composition containing a resin having an oxazole derivative in a side chain, and a triplet sensitizer that generates singlet oxygen; The present invention provides an image recording material capable of recording an image by irradiating the image recording material coated with the photosensitive resin composition with light and then developing with an aqueous amine solution.

【0008】本発明で使用する側鎖にオキサゾール誘導
体を有する樹脂は、オキサゾール誘導体を有するビニル
モノマーのホモポリマーまたは他のビニルモノマーとの
コポリマーであり、これらのポリマーは重合開始剤とし
てアゾイソブチロニトリルなどを用いた通常のラジカル
重合によって容易に合成することができる。これらのポ
リマーは増感剤の吸収する波長の光に対して透過性を示
すものであればよい。
The resin having an oxazole derivative in the side chain used in the present invention is a homopolymer of a vinyl monomer having an oxazole derivative or a copolymer with another vinyl monomer, and these polymers are azoisobutyroyl as a polymerization initiator. It can be easily synthesized by ordinary radical polymerization using nitrile or the like. These polymers need only be transparent to light having a wavelength that the sensitizer absorbs.

【0009】ここで、本発明の側鎖にオキサゾール誘導
体を有する樹脂を得るためのオキサゾール誘導体を有す
るビニルモノマーの代表的なものの例を以下に示す。し
かし、これらに限定されるものではない。
Here, typical examples of the vinyl monomer having an oxazole derivative for obtaining the resin having an oxazole derivative in the side chain of the present invention are shown below. However, it is not limited to these.

【0010】[0010]

【化1】 Embedded image

【0011】また、コポリマーとするときの他のビニル
モノマーの例としては、(メタ)アクリルアミド、N、
N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピ
ル(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリル酸−2−
(2−メトキシエトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸
テトラヒドロフルフリル、(メタ)アクリル酸、などを
挙げることができる。しかしながら、オキサゾール誘導
体を有するビニルモノマーとラジカル重合可能なモノマ
ーであればよく、この限りではない。
Examples of other vinyl monomers when forming a copolymer include (meth) acrylamide, N,
N-dimethyl (meth) acrylamide, N-isopropyl (meth) acrylamide, (meth) acrylic acid-2-
Examples thereof include (2-methoxyethoxy) ethyl, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid. However, a monomer that can be radically polymerized with a vinyl monomer having an oxazole derivative may be used.

【0012】本発明の側鎖にオキサゾール誘導体を有す
る樹脂の重合度は10以上が好ましく、この範囲よりも
少なければ成膜性が悪く、基板の上に塗布しにくくなる
傾向がある。
The degree of polymerization of the resin having an oxazole derivative in the side chain of the present invention is preferably 10 or more. If the degree of polymerization is less than this range, the film-forming property is poor and the coating on the substrate tends to be difficult.

【0013】本発明で使用することができる増感剤とし
ては、キサンテン系色素、チアジン系色素、クマリン系
色素、ポルフィリン系色素、シアニンまたはメロシアニ
ン系色素、などが挙げられる。更に詳しくは、フルオレ
セン、エオシン、エリトロシン、3,3´−カルボニル
ビス(7−ジエチルアミノクマリン)、ローズベンガ
ル、チオニン、メチレンブルー、テトラフェニルポルフ
ィリン及びその亜鉛錯体、メソ−フェニルテトラベンゾ
ポルフィリン及びその亜鉛錯体、テトラキス(3,4−
ジメトキシフェニル)ポルフィリン及びその亜鉛錯体、
クロロフィルa、クロロフィルbなどが挙げられる。し
かしながら、一重項酸素を生成するような三重項増感剤
であれば上記の限りではない。
The sensitizer that can be used in the present invention includes xanthene dyes, thiazine dyes, coumarin dyes, porphyrin dyes, cyanine or merocyanine dyes, and the like. More specifically, fluorescein, eosin, erythrosine, 3,3′-carbonylbis (7-diethylaminocoumarin), rose bengal, thionin, methylene blue, tetraphenylporphyrin and its zinc complex, meso-phenyltetrabenzoporphyrin and its zinc complex, Tetrakis (3,4-
Dimethoxyphenyl) porphyrin and its zinc complex,
Chlorophyll a, chlorophyll b and the like. However, it is not limited to the above as long as it is a triplet sensitizer that generates singlet oxygen.

【0014】これらの増感剤の含有量は、本発明の側鎖
にオキサゾール誘導体を有する樹脂に含まれるオキサゾ
ール誘導体に対して、0.1〜50重量%の範囲になる
ことが好ましく、1〜20重量%の範囲であることがよ
り好ましい。この範囲よりも少ないと一重項酸素の生成
が低下して、側鎖のオキサゾール誘導体の光酸化速度が
遅くなり、感度が低下する傾向がある。また、この範囲
よりも多ければ増感剤の自己消光が起こり、感度が低下
すると共に現像の際に溶解阻害をする傾向がある。
The content of these sensitizers is preferably in the range of 0.1 to 50% by weight based on the oxazole derivative contained in the resin having an oxazole derivative in the side chain of the present invention. More preferably, it is in the range of 20% by weight. If the amount is less than this range, the generation of singlet oxygen is reduced, and the photooxidation rate of the oxazole derivative in the side chain is reduced, and the sensitivity tends to be reduced. On the other hand, if it is larger than this range, the sensitizer will be self-quenched to lower the sensitivity and to inhibit dissolution during development.

【0015】本発明の側鎖にオキサゾール誘導体を有す
る樹脂と増感剤とを含有する感光性樹脂組成物を塗布
し、光照射を行なった後に、現像するために要するアミ
ン水溶液に使用することができるアミンは、モノエタノ
ールアミン、ジエタノールアミン、メチルエタノールア
ミン、ジメチルエタノールアミン、モノエチルアミン、
アンモニア、モルホリン、グリシン、タウリン、N,N
−ジメチルエチレンジアミン、N,N´−ジメチルエチ
レンジアミン、3−アミノプロパノールなどが挙げられ
る。しかしながら、使用可能なアミンはこれらに限定さ
れるものではない。また、この水溶液中にメタノールな
どの有機溶剤を添加しても構わない。
The photosensitive resin composition containing a resin having an oxazole derivative on the side chain and a sensitizer of the present invention is applied, and after irradiation with light, it can be used in an aqueous amine solution required for development. Possible amines are monoethanolamine, diethanolamine, methylethanolamine, dimethylethanolamine, monoethylamine,
Ammonia, morpholine, glycine, taurine, N, N
-Dimethylethylenediamine, N, N'-dimethylethylenediamine, 3-aminopropanol and the like. However, usable amines are not limited to these. Further, an organic solvent such as methanol may be added to the aqueous solution.

【0016】このアミン水溶液中のアミンの含有率は
0.1〜50重量%の範囲が好ましく、1〜20重量%
の範囲がより好ましい。この範囲よりも少ないと現像性
が悪くなり、長い現像時間を要したり、画像記録ができ
にくくなる傾向がある。また、この範囲よりも多けれ
ば、膜の破損を生じたり、画像記録が困難になる。
The amine content in the aqueous amine solution is preferably in the range of 0.1 to 50% by weight, and more preferably 1 to 20% by weight.
Is more preferable. If the amount is less than this range, the developability tends to be poor, a long development time is required, and image recording tends to be difficult. On the other hand, if it is larger than this range, the film may be damaged or image recording may be difficult.

【0017】本発明の画像記録材料を製造する方法とし
ては、例えば、公知の印刷板(PS板)やフォトレジス
ト基板などの製造方法に類似した方法を用いることがで
きる。すなわち、金属やガラス等の基板の表面に本発明
の側鎖にオキサゾール誘導体を有する樹脂と、増感剤と
を含有する感光性樹脂組成物をトルエンなどの適当な溶
剤に溶かした溶液をコーター機械やスピンコーターによ
って塗布すればよい。
As a method for producing the image recording material of the present invention, for example, a method similar to a known method for producing a printing plate (PS plate) or a photoresist substrate can be used. That is, a solution prepared by dissolving a resin having an oxazole derivative in the side chain of the present invention on the surface of a substrate such as metal or glass and a photosensitive resin composition containing a sensitizer in a suitable solvent such as toluene is used as a coater machine. Alternatively, it may be applied by a spin coater.

【0018】通常、感光性樹脂組成物は塗布した基板表
面に対して腐食などの悪影響は与えないが、側鎖にオキ
サゾール誘導体を有する樹脂と、増感剤とから成る本発
明の感光性樹脂組成物においても同様である。
Usually, the photosensitive resin composition does not have an adverse effect such as corrosion on the surface of the coated substrate, but the photosensitive resin composition of the present invention comprises a resin having an oxazole derivative in a side chain and a sensitizer. The same applies to objects.

【0019】[0019]

【作用】化学式に示すようにオキサゾール誘導体は、希
釈溶液中の光酸化反応によってトリアシルアミド化合物
になることが知られている。
As shown in the chemical formula, it is known that an oxazole derivative becomes a triacylamide compound by a photooxidation reaction in a dilute solution.

【0020】[0020]

【化2】 Embedded image

【0021】本発明の側鎖にオキサゾール誘導体を有す
る樹脂と増感剤とを含有する感光性樹脂組成物において
も溶液中では勿論のこと、金属やガラス等の基板表面に
塗布した膜中において、より効率よく光酸化反応が起こ
り、光照射部分がトリアシルアミド化合物に変化する。
ここで使用できる増感剤は、酸素との間でエネルギー移
動を起こし、一重項酸素を生成するような三重項増感で
あれば制限がない。従って、増感剤を選択することによ
って可視光線から近赤外光線にいたる幅広い領域で画像
記録が可能となる。
In the photosensitive resin composition of the present invention containing a resin having an oxazole derivative in the side chain and a sensitizer, not only in a solution but also in a film applied to a substrate surface such as a metal or glass, The photooxidation reaction occurs more efficiently, and the light-irradiated portion changes to a triacylamide compound.
The sensitizer that can be used here is not limited as long as it is a triplet sensitizer that causes energy transfer with oxygen to generate singlet oxygen. Therefore, by selecting a sensitizer, an image can be recorded in a wide range from visible light to near infrared light.

【0022】本発明の基板上に、側鎖にオキサゾール誘
導体を有する樹脂と増感剤とを含有する感光性樹脂組成
物を塗布しものに、光照射を行った後にアミン水溶液に
浸すことによって、トリアシルアミド化合物に変換した
部分とアミンとが容易に反応し、水溶性が増加して溶け
出すために画像記録が可能となる。
A photosensitive resin composition containing a resin having an oxazole derivative in a side chain and a sensitizer is coated on a substrate of the present invention, and the resultant is irradiated with light and then immersed in an aqueous amine solution. The portion converted to the triacylamide compound easily reacts with the amine, and the solubility in water increases, so that the compound is dissolved, thereby enabling image recording.

【0023】本発明の画像記録材料を用いた画像記録方
法を図1〜図3に基いて更に詳細に説明する。図1は、
基板3上に、側鎖にオキサゾール誘導体1を有する樹脂
と増感剤2とを含有する本発明の感光性樹脂組成物を塗
布しものである。次いで、図2に示すように光照射を行
なうと、増感光酸化反応によってオキサゾール誘導体1
がトリアシルアミド化合物4に変化して潜像を形成し、
それをアミン水溶液に浸すことでトリアミド化合物部分
がアミンと反応して水溶液中に溶け出し、図3に示すよ
うにポジ画像5が記録される。
An image recording method using the image recording material of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. FIG.
The photosensitive resin composition of the present invention containing a resin having an oxazole derivative 1 in a side chain and a sensitizer 2 is applied on a substrate 3. Next, when light irradiation is performed as shown in FIG. 2, the oxazole derivative 1
Changes to a triacylamide compound 4 to form a latent image,
By immersing it in an aqueous amine solution, the triamide compound portion reacts with the amine and dissolves in the aqueous solution, and a positive image 5 is recorded as shown in FIG.

【0024】本発明の画像記録方法に使用される光源と
しては、水銀灯、キセノン灯などの他に、使用した増感
剤が吸収し得る波長範囲の光を安定に出力するレーザー
光源として、アルゴンレーザー、ヘリウム−ネオンレー
ザー、YAGレーザーさらに半導体レーザーなどを適宜
用いることができる。これらのレーザーを使用する場合
には走査露光によって画像形成することが可能である。
The light source used in the image recording method of the present invention may be a mercury lamp, a xenon lamp or the like, or an argon laser as a laser light source for stably outputting light in a wavelength range that can be absorbed by the sensitizer used. , A helium-neon laser, a YAG laser, and a semiconductor laser can be used as appropriate. When these lasers are used, it is possible to form an image by scanning exposure.

【0025】[0025]

【実施例】以下に、本発明の詳細を実施例によって具体
的に説明する。しかしながら、本発明はこれらの実施例
に限定されるものではない。
EXAMPLES The details of the present invention will be specifically described below with reference to examples. However, the invention is not limited to these examples.

【0026】(実施例1)ベンゾインを無水酢酸と反応
させてベンゾインアセテートとした後、さらに酢酸アン
モニウムと反応させ2−メチル−4,5−ジフェニルオ
キサゾールを得た。これをTHF(テトラヒドロフラ
ン)中、−78℃でn−ブチルリチウムとジイソプロピ
ルアミンとともに攪拌した後、2−ヨードエチルテトラ
ヒドロピラニルエーテルを加え反応し、さらにメチルア
ルコール中で酢酸を加えて加水分解することにより、2
−(ω−ヒドロキシ)プロピル−4、5−ジフェニルオ
キサゾールを合成した。
Example 1 Benzoin was reacted with acetic anhydride to form benzoin acetate, and further reacted with ammonium acetate to obtain 2-methyl-4,5-diphenyloxazole. This was stirred in THF (tetrahydrofuran) at −78 ° C. with n-butyllithium and diisopropylamine, and reacted by adding 2-iodoethyltetrahydropyranyl ether, followed by hydrolysis by adding acetic acid in methyl alcohol. , 2
-(Ω-Hydroxy) propyl-4,5-diphenyloxazole was synthesized.

【0027】これをメタクリル酸クロリドと反応してオ
キサゾール誘導体を含有するモノマーを得た。さらに、
このモノマーとN−イソプロピルアクリルアミドとをア
ゾイソブチロニトリルを重合開始剤に用いて、ラジカル
重合することで(化3)の化学物質を合成した。
This was reacted with methacrylic chloride to obtain a monomer containing an oxazole derivative. further,
This monomer and N-isopropylacrylamide were subjected to radical polymerization using azoisobutyronitrile as a polymerization initiator to synthesize a chemical substance of the formula (3).

【0028】[0028]

【化3】 Embedded image

【0029】(化3)で示される側鎖にオキサゾール誘
導体を有する樹脂100重量%に対してテトラフェニル
ポルフィリン(以下単にTPPという)3重量%の感光
性樹脂組成物をクロロホルム2000重量%に溶解した
溶液を調製した。
A photosensitive resin composition in which 3% by weight of tetraphenylporphyrin (hereinafter simply referred to as TPP) is dissolved in 2000% by weight of chloroform with respect to 100% by weight of a resin having an oxazole derivative in a side chain represented by the following formula (3): A solution was prepared.

【0030】この溶液をスピンコーターを用いて膜厚が
約2μmになるように陽極酸化を施したアルミ基板表面
に塗布し、乾燥することによって画像記録材料を作製し
た。
This solution was applied to the surface of an anodized aluminum substrate so as to have a thickness of about 2 μm using a spin coater, and dried to prepare an image recording material.

【0031】この画像記録材料にコダック社製ステップ
タブレットを密着させ、500W高圧水銀灯の光から東
芝硝子(株)社製のUVカットフィルターUV39及び
干渉フィルタ−KL40を通して取り出した400nm
光を照射し、5重量%モノエタノール水溶液を用いて現
像した後、溶解段数から画像形成に要する光量を求め
た。その結果、70mJ/cm2 であった。
A step tablet manufactured by Kodak Co., Ltd. was brought into close contact with the image recording material, and 400 nm was taken out from the light of a 500 W high-pressure mercury lamp through a UV cut filter UV39 and an interference filter KL40 manufactured by Toshiba Glass Co., Ltd.
After irradiation with light and development using a 5% by weight aqueous solution of monoethanol, the amount of light required for image formation was determined from the number of dissolution steps. As a result, it was 70 mJ / cm 2 .

【0032】(実施例2)実施例1と全く同じ条件およ
び方法で画像記録材料を作製した。この画像記録材料を
干渉フィルターKL40の代わりに550nmの光を透
過するKL55を用いる以外は実施例1と全く同様にし
て感度を求めた。その結果は、170mJ/cm2 であ
った。
Example 2 An image recording material was produced under exactly the same conditions and method as in Example 1. The sensitivity was determined in the same manner as in Example 1 except that this image recording material was replaced by KL55 that transmits light of 550 nm instead of the interference filter KL40. The result was 170 mJ / cm 2 .

【0033】(実施例3)TPPの代わりに3,3´−
カルボニルビス(7−ジエチルアミノクマリン)を使用
する以外は、実施例1と全く同じ条件および方法で画像
記録材料を作製した。この画像記録材料を干渉フィルタ
ーKL40の代わりに500nmの光を透過するKL5
0を用いる以外は実施例1と全く同様にして感度を求め
た。その結果は、60mJ/cm2 であった。
(Embodiment 3) Instead of TPP, 3,3'-
An image recording material was produced under exactly the same conditions and method as in Example 1 except that carbonyl bis (7-diethylaminocoumarin) was used. This image recording material is replaced with an interference filter KL40 by using KL5 that transmits 500 nm light.
The sensitivity was determined in the same manner as in Example 1 except that 0 was used. The result was 60 mJ / cm 2 .

【0034】(実施例4)TPPの代わりにメソ-フェ
ニルテトラベンゾポルフィリンの亜鉛錯体を使用する以
外は、実施例1と全く同じ条件および方法で画像記録材
料を作製した。この画像記録材料を干渉フィルターKL
40の代わりに550nmの光を透過するKL55を用
いる以外は実施例1と全く同様にして感度を求めた。そ
の結果は、170mJ/cm2 であった。
Example 4 An image recording material was produced under the same conditions and method as in Example 1 except that a zinc complex of meso-phenyltetrabenzoporphyrin was used instead of TPP. This image recording material is used as an interference filter KL
The sensitivity was determined in exactly the same manner as in Example 1 except that KL55 transmitting 550 nm light was used instead of 40. The result was 170 mJ / cm 2 .

【0035】(実施例5)TPPの代わりにテトラキス
(3,4−ジメトキシフェニル)ポルフィリンを使用す
る以外は、実施例1と全く同じ条件および方法で画像記
録材料を作製した。この画像記録材料を干渉フィルター
KL40の代わりに550nmの光を透過するKL55
を用いる以外は実施例1と全く同様にして感度を求め
た。その結果は、170mJ/cm2 であった。
Example 5 An image recording material was produced under the same conditions and method as in Example 1, except that tetrakis (3,4-dimethoxyphenyl) porphyrin was used instead of TPP. This image recording material is replaced by an interference filter KL40 instead of KL55, which transmits 550 nm light.
The sensitivity was determined in exactly the same manner as in Example 1 except for using. The result was 170 mJ / cm 2 .

【0036】(実施例6)TPPの代わりにテトラキス
(3,4−ジメトキシフェニル)ポルフィリンの亜鉛錯
体を使用する以外は、実施例1と全く同じ条件および方
法で画像記録材料を作製した。この画像記録材料を干渉
フィルターKL40の代わりにKL55を用いる以外は
実施例1と全く同様にして感度を求めた。その結果は、
80mJ/cm2 であった。
Example 6 An image recording material was produced under the same conditions and method as in Example 1, except that a zinc complex of tetrakis (3,4-dimethoxyphenyl) porphyrin was used instead of TPP. The sensitivity was determined in the same manner as in Example 1 except that this image recording material was replaced with KL55 instead of the interference filter KL40. The result is
It was 80 mJ / cm 2 .

【0037】(実施例7)実施例5と全く同じ条件およ
び方法で画像記録材料を作製した。この画像形成材料に
コダック社製ステップタブレットを密着させ、659n
mの単色光を照射し、5重量%モノエタノール水溶液を
用いて現像した後、硬化段数から画像形成に要する光量
を求めた。その結果、200mJ/cm2 であった。
Example 7 An image recording material was produced under exactly the same conditions and method as in Example 5. A step tablet manufactured by Kodak Company was brought into close contact with this image forming material,
m, and developed using a 5% by weight aqueous solution of monoethanol, the amount of light required for image formation was determined from the number of curing stages. As a result, it was 200 mJ / cm 2 .

【0038】(実施例8)実施例4と全く同じ条件およ
び方法で画像記録材料を作製した。この画像形成材料に
コダック社製ステップタブレットを密着させ、632n
mの単色光を照射し、5重量%モノエタノール水溶液を
用いて現像した後、硬化段数から画像形成に要する光量
を求めた。その結果、20mJ/cm2 であった。
Example 8 An image recording material was produced under exactly the same conditions and method as in Example 4. A step tablet manufactured by Kodak Company is brought into close contact with the image forming material, and 632n
m, and developed using a 5% by weight aqueous solution of monoethanol, the amount of light required for image formation was determined from the number of curing stages. As a result, it was 20 mJ / cm 2 .

【0039】(実施例9)実施例1と全く同じ条件およ
び方法で画像記録材料を作製した。この画像記録材料を
5重量%モノエタノールアミンに20重量%のメタノー
ルを加える以外は実施例1と全く同様にして感度を求め
た。その結果は、10mJ/cm2 であった。
Example 9 An image recording material was produced under exactly the same conditions and method as in Example 1. The sensitivity of this image recording material was determined in exactly the same manner as in Example 1 except that 20% by weight of methanol was added to 5% by weight of monoethanolamine. The result was 10 mJ / cm 2 .

【0040】(実施例10)実施例1と全く同じ条件お
よび方法で画像記録材料を作製した。この画像記録材料
をモノエタノールアミンの代わりにN−メチルエタノー
ルアミンを用いる以外は実施例1と全く同様にして感度
を求めた。その結果は、70mJ/cm2 であった。
Example 10 An image recording material was produced under exactly the same conditions and method as in Example 1. The sensitivity was determined in exactly the same manner as in Example 1 except that N-methylethanolamine was used instead of monoethanolamine for this image recording material. The result was 70 mJ / cm 2 .

【0041】(実施例11)実施例1と全く同じ条件お
よび方法で画像記録材料を作製した。この画像記録材料
をモノエタノールアミンの代わりにN,N−ジメチルエ
チレンジアミンを用いる以外は実施例1と全く同様にし
て感度を求めた。その結果は、70mJ/cm2 であっ
た。
Example 11 An image recording material was produced under exactly the same conditions and method as in Example 1. The sensitivity was determined in exactly the same manner as in Example 1 except that N, N-dimethylethylenediamine was used instead of monoethanolamine for this image recording material. The result was 70 mJ / cm 2 .

【0042】(実施例12)実施例1と全く同じ条件お
よび方法で画像記録材料を作製した。この画像記録材料
をモノエタノールアミンの代わりにモルホリンを用いる
以外は実施例1と全く同様にして感度を求めた。その結
果は、100mJ/cm2 であった。
Example 12 An image recording material was produced under exactly the same conditions and method as in Example 1. The sensitivity was determined in the same manner as in Example 1 except that morpholine was used in place of monoethanolamine for this image recording material. The result was 100 mJ / cm 2 .

【0043】(実施例13)実施例1のN−イソプロピ
ルアクリルアミドの代わりに、N−ジメチルアクリルア
ミドを用いて、(化4)の化学物質を合成した。
Example 13 A chemical substance of formula 4 was synthesized using N-dimethylacrylamide instead of N-isopropylacrylamide of Example 1.

【0044】[0044]

【化4】 Embedded image

【0045】この(化4)の側鎖にオキサゾール誘導体
を有する樹脂を用いる以外は実施例1と全く同じ条件お
よび方法で画像記録材料を作製した。この画像記録材料
を実施例1と全く同じ条件および方法で感度を求めた。
その結果は、70mJ/cm2 であった。
An image recording material was produced under the same conditions and method as in Example 1 except that a resin having an oxazole derivative in the side chain was used. The sensitivity of this image recording material was determined under exactly the same conditions and method as in Example 1.
The result was 70 mJ / cm 2 .

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、励起エネ
ルギーの低い酸素による増感光酸化を利用しているため
に、増感剤を選択することによって可視光線から近赤外
光線の幅広い領域の波長の光で画像形成できるという優
れた特徴を有する。本発明の感光性樹脂は、各種基板上
に塗布して画像記録材料とすることができ、印刷版、フ
ォトレジスト、ホログラフィーなどの画像記録材料とし
て、広い用途がある。
Since the photosensitive resin composition of the present invention utilizes sensitized oxidation by oxygen having a low excitation energy, a wide range of visible light to near infrared light can be obtained by selecting a sensitizer. Has an excellent feature that an image can be formed with light having a wavelength of The photosensitive resin of the present invention can be coated on various substrates to form an image recording material, and has a wide range of uses as an image recording material for printing plates, photoresists, holography and the like.

【0047】[0047]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】基板上に、側鎖にオキサゾール誘導体を有する
樹脂と増感剤とを含有する本発明の感光性樹脂組成物を
塗布した状態を示す説明図。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a state where a photosensitive resin composition of the present invention containing a resin having an oxazole derivative in a side chain and a sensitizer is applied on a substrate.

【図2】光照射して、オキサゾール誘導体がトリアシル
アミド化合物に変わることを示す説明図。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing that an oxazole derivative is changed to a triacylamide compound by light irradiation.

【図3】トリアシルアミド化合物となった部分の樹脂
が、アミン水溶液中に溶出し、ポジ画像が形成されるこ
とを示す説明図。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing that a portion of a resin that has become a triacylamide compound is eluted into an amine aqueous solution to form a positive image.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1;オキサゾール誘導体 2;増感剤 3;基板 4;トリアシルアミド化合物 5;ポジ画像 Reference Signs List 1; oxazole derivative 2; sensitizer 3; substrate 4; triacylamide compound 5;

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G03F 7/039 G03F 7/004 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G03F 7/039 G03F 7/004

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】側鎖にオキサゾール誘導体を有する樹脂
と、一重項酸素を生成する三重項増感剤とを含有するこ
とを特徴とする感光性樹脂組成物。
1. A photosensitive resin composition comprising: a resin having an oxazole derivative in a side chain; and a triplet sensitizer generating singlet oxygen .
【請求項2】基板上に、感光性樹脂を塗布し、光照射を
行った後に、アミン水溶液で現像することによって画像
を記録することができる画像記録材料であって、上記の
感光性樹脂が、側鎖にオキサゾール誘導体を有する樹脂
一重項酸素を生成する三重項増感剤とを含有する感光
性樹脂組成物であることを特徴とする画像記録材料。
2. An image recording material capable of recording an image by applying a photosensitive resin on a substrate, irradiating the resin with light, and then developing with an aqueous amine solution. An image recording material comprising a photosensitive resin composition containing a resin having an oxazole derivative in a side chain and a triplet sensitizer generating singlet oxygen .
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