JP3169948B2 - Pressure control valve - Google Patents
Pressure control valveInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、高圧供給気体あるいは低圧吸引気体の圧
力制御に使用する圧力制御弁に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a pressure control valve used for pressure control of a high-pressure supply gas or a low-pressure suction gas.
［従来の技術］ 従来のこの種の圧力制御弁としては、比例電磁式制御
弁や電空レギュレータ制御弁が知られている。[Prior Art] As a conventional pressure control valve of this type, a proportional electromagnetic control valve and an electropneumatic regulator control valve are known.
［発明が解決しようとする課題］ ところが、前記の電空レギュレータでは気体の漏洩を
伴いながらスプールが摺動されて開閉されるものであ
り、又、比例電磁式制御弁では気体が常時ノズルからフ
ラッパに対して噴出されるものであるため、気体の大量
漏洩を招くという問題点があった。特に、高圧供給気体
の圧力制御において、圧力供給源がボンベになっている
場合には、気体の量が限定されるため、この気体の漏洩
防止が重要になる。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-described electropneumatic regulator, the spool is slid and opened and closed while leaking gas, and in the proportional electromagnetic control valve, gas is constantly flappered from the nozzle. However, there is a problem that a large amount of gas is leaked because the gas is blown out. Particularly, in the pressure control of the high-pressure supply gas, when the pressure supply source is a cylinder, the amount of the gas is limited, so that it is important to prevent the gas from leaking.
この発明は、このような従来技術に存在する問題点に
着目してなされたものであって、その目的とするところ
は、気体漏洩を最少限にすることができる圧力制御弁を
提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems existing in the prior art, and has as its object to provide a pressure control valve capable of minimizing gas leakage. is there.
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明で
は、弁本体に流体が流通する流路を設け、その流路の端
部には一次側圧力が入力される一次側ポート及び二次側
圧力が出力される二次側ポートをそれぞれ設け、前記流
路の一次側ポートと二次側ポートとの間にはその流路を
開閉することにより二次側圧力を決定付ける弁体を備え
た開閉部を設け、前記流路の開閉部よりも二次側ポート
側に開口するフィードバック通路を設け、そのフィード
バック通路に連通されるフィードバック室を設け、パイ
ロット流体が導入されるパイロット室を、受圧体を挟ん
でフィードバック室と対向するように設け、パイロット
室の内部圧力とフィードバック室の内部圧力との差圧に
よる前記受圧体の変位に基づいて、前記弁体を開閉動作
させることにより、二次側圧力を制御する圧力制御弁で
あって、前記パイロット室の内部圧力を検出する圧力セ
ンサを設け、前記パイロット流体をパイロット室に導入
する通路には、前記圧力センサの検出信号に基づいてパ
イロット室の内部圧力を目標値に制御する電磁弁を設け
た。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, in the invention according to claim 1, a flow path through which fluid flows is provided in the valve body, and a primary pressure is applied to an end of the flow path. A primary port to be input and a secondary port to output a secondary pressure are provided, respectively, and a secondary port is opened and closed between the primary port and the secondary port of the channel by opening and closing the channel. An opening / closing section having a valve body for determining a side pressure; a feedback passage opening to the secondary port side from the opening / closing section of the flow path; a feedback chamber communicated with the feedback passage; Is provided so as to face the feedback chamber with the pressure receiving member interposed therebetween, and the valve element is formed based on a displacement of the pressure receiving member due to a differential pressure between the internal pressure of the pilot chamber and the internal pressure of the feedback chamber. A pressure control valve for controlling the secondary pressure by opening and closing a pressure sensor for detecting the internal pressure of the pilot chamber, a passage for introducing the pilot fluid into the pilot chamber, An electromagnetic valve for controlling the internal pressure of the pilot chamber to a target value based on the detection signal of the sensor is provided.
［作用］ 請求項１に記載の発明によれば、電磁弁によりパイロ
ット室の内部圧力を制御するようにしたため、パイロッ
ト室からの流体の漏洩を最小限にすることができる。[Operation] According to the first aspect of the present invention, since the internal pressure of the pilot chamber is controlled by the solenoid valve, leakage of fluid from the pilot chamber can be minimized.
更に、請求項１に記載の発明では、圧力センサにより
パイロット室の圧力を検出し、その検出信号に基づいて
パイロット室の内部圧力が目標値に制御される。そし
て、この目標値に制御されたパイロット室の内部圧力と
二次側圧力を反映したフィードバック室の内部圧力との
差圧により受圧体が変位され、その変位に基づいて弁体
が開閉動作される。これにより、二次側圧力が目標値と
なるように制御される。Further, according to the first aspect of the present invention, the pressure in the pilot chamber is detected by the pressure sensor, and the internal pressure of the pilot chamber is controlled to a target value based on the detection signal. Then, the pressure receiving body is displaced by a differential pressure between the internal pressure of the pilot chamber controlled to the target value and the internal pressure of the feedback chamber reflecting the secondary pressure, and the valve body is opened and closed based on the displacement. . Thereby, the secondary pressure is controlled so as to be the target value.
このような構成では、二次側圧力の検出結果に基づい
て、その二次側圧力が設定圧力となるようにパイロット
室の内部圧力を制御する場合に生じる問題を解消するこ
とができる。With such a configuration, it is possible to solve a problem that occurs when the internal pressure of the pilot chamber is controlled such that the secondary pressure becomes the set pressure based on the detection result of the secondary pressure.
即ち、二次側圧力検出では、特に二次側の負荷容積が
大きい場合、圧力制御の開始時には二次側圧力と目標値
との差が大きいため、二次側圧力を目標値に早く近づけ
ようとしてパイロット室の圧力が非常に高くなる。これ
により、弁体が大きく開放されて二次側圧力を目標値に
より早く近づけることができる。しかし、パイロット室
の圧力は目標値に何ら関係なく高くなってしまうので、
二次側圧力が目標値に達した時の弁体の復帰が遅くな
り、安定した圧力制御ができないという問題がある。即
ち、二次側圧力が目標値を大幅に越えるという圧力の行
き過ぎが生じてしまい、その後目標値へ圧力を下げる制
御が行われるとはいうものの、その行き過ぎのために目
標値への圧力制御が安定して行われないのである。That is, in the detection of the secondary pressure, particularly when the load volume on the secondary side is large, the difference between the secondary pressure and the target value is large at the start of the pressure control. As a result, the pressure in the pilot chamber becomes very high. As a result, the valve body is largely opened, and the secondary pressure can be made closer to the target value earlier. However, since the pressure in the pilot chamber is high regardless of the target value,
There is a problem that the return of the valve body when the secondary pressure reaches the target value is delayed, and stable pressure control cannot be performed. In other words, although the pressure overshoots that the secondary pressure greatly exceeds the target value, and although the control to reduce the pressure to the target value is performed thereafter, the pressure control to the target value is performed due to the overshoot. It is not performed stably.
請求項１に記載の発明の場合、パイロット室の内部圧
力が目標値に制御されるため、二次側の負荷容積が大き
い場合でも、その内部圧力が高くなり過ぎて二次側圧力
の行き過ぎが生じることはなく、二次側圧力を目標値へ
制御することを安定して行うことができる。In the case of the first aspect of the present invention, since the internal pressure of the pilot chamber is controlled to the target value, even when the load volume on the secondary side is large, the internal pressure becomes too high and the secondary pressure becomes excessive. This does not occur, and it is possible to stably control the secondary pressure to the target value.
［実施例］ 以下、この発明の第１実施例を第１図〜第５図に基づ
いて詳細に説明する。Embodiment Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS.
まず、第２図に示すディスペンサ装置の概要について
述べると、タンク１は内部にジュース等の被圧送液体２
を収容し、図示しない冷却装置によって冷却されてい
る。ボンベ３は内部に二酸化炭素（以下単に気体とい
う）を収容している。そして、ボンベ３内の気体が減圧
弁４、圧力制御弁５及び逆止弁６を介してタンク１内に
加圧供給され、開閉弁７が開放されることにより、被圧
送流体２がタンク１内から開閉弁７を介してコップ等の
容器８へと圧送される。First, the outline of the dispenser device shown in FIG. 2 will be described.
And is cooled by a cooling device (not shown). The cylinder 3 contains carbon dioxide (hereinafter simply referred to as gas) inside. The gas in the cylinder 3 is pressurized and supplied into the tank 1 via the pressure reducing valve 4, the pressure control valve 5, and the check valve 6, and the on-off valve 7 is opened. It is pressure-fed from inside to a container 8 such as a cup via an on-off valve 7.
前記圧力制御弁５はCPU（中央処理装置）やメモリを
含む制御装置９により、D/A変換器10及び圧力制御回路1
1を介して開閉制御され、タンク１内の被圧送液体２に
対する気体の圧力付与量を設定する。又、開閉弁７は制
御装置９により開閉制御され、容器８へ被圧送液体２を
供給する。The D / A converter 10 and the pressure control circuit 1 are controlled by a control device 9 including a CPU (central processing unit) and a memory.
Opening / closing control is performed via 1 to set the amount of gas pressure applied to the liquid 2 to be pressed in the tank 1. The opening and closing valve 7 is controlled to be opened and closed by the control device 9, and supplies the liquid to be fed 2 to the container 8.
そこで、前記圧力制御弁５の構成を第１図に基づいて
詳述すると、高圧気体の流路13は弁框12に形成され、そ
の両端には一次側ポートとしての給気ポート14及び二次
側ポートとしての出力ポート15が設けられている。流路
13を開閉するための開閉部16は弁座17と弁体18とから構
成され、常にはバネ19により閉鎖されている。The structure of the pressure control valve 5 will now be described in detail with reference to FIG. 1. A high-pressure gas flow path 13 is formed in a valve frame 12, and an air supply port 14 as a primary port and a secondary An output port 15 is provided as a side port. Channel
An opening / closing section 16 for opening / closing 13 is constituted by a valve seat 17 and a valve element 18, and is always closed by a spring 19.
蓋板20及び受圧体としてのダイヤフラム21は複数のボ
ルト22により弁框12の上面に取付けられ、この蓋板20と
ダイヤフラム21との間にはパイロット室としての上部圧
力室23aが形成され、ダイヤフラム21の下方にはフィー
ドバック室としての下部圧力室23bが形成されている。
そして、この実施例では弁框12と蓋板20とによって弁本
体が構成されている。弁棒24はナット25によりダイヤフ
ラム21に固定され、上部圧力室23aの内部圧力が上昇し
てダイヤフラム21が下動されたとき、この弁棒24を介し
て前記開閉部16の弁体18を開放させる。The cover plate 20 and the diaphragm 21 as a pressure receiving body are mounted on the upper surface of the valve frame 12 by a plurality of bolts 22, and an upper pressure chamber 23a as a pilot chamber is formed between the cover plate 20 and the diaphragm 21 to form a diaphragm. Below the 21, a lower pressure chamber 23b is formed as a feedback chamber.
In this embodiment, a valve body is constituted by the valve frame 12 and the cover plate 20. The valve stem 24 is fixed to the diaphragm 21 by a nut 25, and when the internal pressure of the upper pressure chamber 23a rises and the diaphragm 21 is moved down, the valve element 18 of the opening / closing portion 16 is opened via the valve stem 24. Let it.
給気路26は前記流路13の給気ポート14側と上部圧力室
23aとを接続するように、弁框12及び蓋板20に形成さ
れ、その途中には絞り用のオリフィス27が設けられてい
る。フィードバック通路としての連通路24aは流路13の
出力ポート15側と下部圧力室23bとを接続するように、
弁棒24の中心に沿って上下方向に形成されている。電磁
弁よりなる給気側弁28は、給気路26を開閉制御するよう
に蓋板20上に設けられ、必要に応じて上部圧力室23a内
に高圧気体を導入してその内部圧力を上昇させる。そし
て、この上部圧力室23aの内部圧力の上昇により、弁棒2
4が下降されて開閉部16が開放される。The air supply passage 26 is provided between the air supply port 14 side of the flow path 13 and the upper pressure chamber.
The valve frame 12 and the cover plate 20 are formed so as to be connected to the valve frame 23a, and an orifice 27 for throttle is provided in the middle thereof. The communication path 24a as a feedback path connects the output port 15 side of the flow path 13 and the lower pressure chamber 23b,
It is formed vertically along the center of the valve stem 24. An air supply-side valve 28 composed of an electromagnetic valve is provided on the cover plate 20 so as to control opening and closing of the air supply passage 26, and if necessary, introduces high-pressure gas into the upper pressure chamber 23a to increase its internal pressure. Let it. The rise in the internal pressure of the upper pressure chamber 23a causes the valve stem 2
4 is lowered, and the opening / closing section 16 is opened.
排気路29は上部圧力室23aと外部とを連通するように
蓋板20に形成され、その途中には絞り用のオリフィス30
が設けられている。電磁弁よりなる排気側弁31は、排気
路29を開閉制御するように蓋板20上に設けられ、必要に
応じて上部圧力室23a内の気体を外部に排出してその内
部圧力を低下させる。そして、この上部圧力室23aの内
部圧力の低下により弁棒24が上昇され、バネ19により弁
体18が上昇されて開閉部16が閉鎖される。The exhaust passage 29 is formed in the cover plate 20 so as to communicate the upper pressure chamber 23a with the outside, and an orifice 30
Is provided. An exhaust-side valve 31 composed of a solenoid valve is provided on the cover plate 20 so as to control the opening and closing of the exhaust path 29, and discharges gas in the upper pressure chamber 23a to the outside as necessary to reduce its internal pressure. . Then, the valve rod 24 is raised by the decrease in the internal pressure of the upper pressure chamber 23a, the valve element 18 is raised by the spring 19, and the opening / closing section 16 is closed.
圧力センサ32は蓋板20上に設けられ、連通孔33を介し
て上部圧力室23aの内部圧力を検出して検出信号を出力
する。カバー34は蓋板20上に取り付けられ、給気側弁2
8、排気側弁31及び圧力センサ32を覆っている。The pressure sensor 32 is provided on the cover plate 20, detects the internal pressure of the upper pressure chamber 23a through the communication hole 33, and outputs a detection signal. The cover 34 is mounted on the lid plate 20 and the air supply side valve 2
8. Covers the exhaust side valve 31 and the pressure sensor 32.
気体の排出路35は前記流路13の出力ポート15側と連通
するように弁框12に形成され、その端部には排気ポート
36が設けられている。排出路35を開閉するための開閉部
37は弁座38と弁体39とから構成され、常にはバネ40によ
り閉鎖されている。そして、流路13の出力ポート15側の
気体圧力が高くなったとき、開閉部37の弁体39がバネ40
に抗して開放され、流路13内の気体圧力が排気ポート36
から排出される。A gas discharge path 35 is formed in the valve frame 12 so as to communicate with the output port 15 side of the flow path 13, and an exhaust port is provided at an end thereof.
36 are provided. Opening / closing section for opening / closing the discharge path 35
37 comprises a valve seat 38 and a valve body 39, and is always closed by a spring 40. When the gas pressure on the output port 15 side of the flow path 13 increases, the valve 39 of the opening / closing section 37
The gas pressure in the flow path 13
Is discharged from
なお、前記ダイヤフラム21はバネ40Aによる上方へ付
勢されている。The diaphragm 21 is urged upward by a spring 40A.
次に、前記圧力制御弁５を開閉制御するための圧力制
御回路について第３図に基づき詳述すると、入力手段と
しての入力装置41は、被圧送液体温度センサ、気体温度
センサ等の各種のセンサや液体供給速度等をキー入力に
より設定したりするためのキーボード等から構成され、
被圧送液体２の温度データや圧送量等の外部データを前
記制御装置９に入力する。制御装置９は入力されたデー
タに基づき被圧送液体２の圧送に必要な出力ポート15の
圧力を目標値として設定して、D/A変換器10に出力す
る。D/A変換器10は入力された目標値に対応する信号を
アナログ信号に変換し、設定電圧信号として前段増幅器
42を出力する。前段増幅器42は設定電圧信号をゼロ点、
スパン調整し、基準入力信号として偏差増幅器43に出力
する。Next, a pressure control circuit for controlling the opening and closing of the pressure control valve 5 will be described in detail with reference to FIG. 3. An input device 41 as an input means is composed of various sensors such as a pressure-transmitted liquid temperature sensor and a gas temperature sensor. And a keyboard for setting the liquid supply speed by key input, etc.
External data such as the temperature data of the liquid to be pumped 2 and the amount of pumped liquid are input to the control device 9. The control device 9 sets the pressure of the output port 15 necessary for pumping the liquid 2 under pressure as a target value based on the input data, and outputs the target value to the D / A converter 10. The D / A converter 10 converts the signal corresponding to the input target value into an analog signal, and converts the signal to a pre-amplifier as a set voltage signal.
Outputs 42. The preamplifier 42 sets the set voltage signal to the zero point,
The span is adjusted and output to the deviation amplifier 43 as a reference input signal.
偏差増幅器43は、前記圧力制御弁５内の圧力センサ32
から増幅器44を介してフィードバックされる検出信号
と、前段増幅器42からの基準入力信号とを比較し、第4,
5図に示すようにその偏差分を増幅して制御偏差信号を
出力する。比較手段としての比較器45,46は、偏差増幅
器43からの制御偏差信号と、基準信号発生器47から出力
された50Hz〜200Hz程度の三角波若しくは鋸歯状波等の
基準信号とを比較し、オン・オフの制御動作信号を駆動
回路48,49を介して圧力制御弁５の給気側弁28又は排気
側弁31に出力する。そして、給気側弁28及び排気側弁31
は制御動作信号のオン・オフ周期に応じたデューティ比
で開閉制御される。The deviation amplifier 43 is connected to the pressure sensor 32 in the pressure control valve 5.
A comparison is made between the detection signal fed back through the amplifier 44 from the reference input signal from the preamplifier 42,
As shown in FIG. 5, the deviation is amplified to output a control deviation signal. The comparators 45 and 46 as comparison means compare the control deviation signal from the deviation amplifier 43 with a reference signal such as a triangular wave or a sawtooth wave of about 50 Hz to 200 Hz output from the reference signal generator 47, and turned on. Outputs an OFF control operation signal to the supply side valve 28 or the exhaust side valve 31 of the pressure control valve 5 via the drive circuits 48 and 49. Then, the supply side valve 28 and the exhaust side valve 31
Are controlled to open and close at a duty ratio corresponding to the ON / OFF cycle of the control operation signal.
この場合、第４図及び第５図に示すように、排気側弁
31側の比較器46には、給気側弁28側の比較器45に入力さ
れる制御偏差信号に対して反転された制御偏差信号が入
力される。In this case, as shown in FIG. 4 and FIG.
The control deviation signal that is inverted with respect to the control deviation signal that is input to the comparator 45 on the air supply side valve 28 side is input to the comparator 46 on the 31 side.
さて、第１図は給気側及び排気側の弁28,31が閉じ、
上部圧力室23aと下部圧力室23bとの圧力が低圧状態でつ
り合っている状態を示し、この状態では弁棒24が中立位
置にあって上下の開閉部37,16が閉鎖されている。又、
このとき、第２図に示す開閉弁７も閉鎖されている。FIG. 1 shows that the valves 28 and 31 on the supply and exhaust sides are closed,
This shows a state in which the pressures of the upper pressure chamber 23a and the lower pressure chamber 23b are balanced in a low pressure state. In this state, the valve stem 24 is in the neutral position and the upper and lower opening / closing parts 37, 16 are closed. or,
At this time, the on-off valve 7 shown in FIG. 2 is also closed.
この状態において、容器８に液体を注ぐ場合には、入
力装置42のスイッチの操作等に基づいて制御装置９が開
閉弁７を開放動作させる。これと同時に制御装置９はボ
ンベ３内の圧力、気体温度、被圧送液体の温度等のデー
タをもとに、出力ポート15の最適圧力に対応した目標値
を設定して出力する。この出力は第３図に示すD/A変換
器10及び前段増幅器42を介して基準入力信号として偏差
増幅器43に入力される。In this state, when the liquid is poured into the container 8, the control device 9 opens the on-off valve 7 based on the operation of the switch of the input device 42 or the like. At the same time, the control device 9 sets and outputs a target value corresponding to the optimum pressure of the output port 15 based on data such as the pressure in the cylinder 3, the gas temperature, and the temperature of the liquid to be sent. This output is input to the deviation amplifier 43 as a reference input signal via the D / A converter 10 and the pre-amplifier 42 shown in FIG.
一方、この偏差増幅器43には圧力センサ32により検出
された上部圧力室23a内の圧力値に対応するレベルの信
号がフィードバックされる。偏差増幅器43は前記基準入
力信号とフィードバック信号とを比較して上部圧力室23
aの圧力と、その目標値との間の差に対応した制御偏差
信号を出力する。この制御偏差信号は比較器45及び反転
回路51を介して比較器46にそれぞれ入力される。この場
合、例えば、上部圧力室23aの圧力が目標値より少ない
場合には、第4,5図に示すように両比較器45,46に入力さ
れる制御偏差信号が相互に反転しているので、給気側弁
28側の比較器45には給気側弁28の開放側の偏差として、
排気側弁31側の比較器46には閉鎖側の偏差として入力さ
れる。On the other hand, a signal of a level corresponding to the pressure value in the upper pressure chamber 23a detected by the pressure sensor 32 is fed back to the deviation amplifier 43. The deviation amplifier 43 compares the reference input signal with the feedback signal and
A control deviation signal corresponding to the difference between the pressure of a and the target value is output. This control deviation signal is input to the comparator 46 via the comparator 45 and the inverting circuit 51, respectively. In this case, for example, when the pressure in the upper pressure chamber 23a is smaller than the target value, the control deviation signals input to the comparators 45 and 46 are mutually inverted as shown in FIGS. , Air supply valve
The comparator 45 on the 28 side calculates the deviation on the open side of the air supply side valve 28 as
The deviation on the closing side is input to the comparator 46 on the exhaust side valve 31 side.
従って、比較器45は基準信号発生器47からの基準信号
をもとにして、偏差に対応した制御動作信号を出力する
が、比較器46は制御動作信号を全くあるいはほとんど出
力しない。又、上部圧力室23aの圧力が目標値より大き
い場合にはこの逆となる。このため、出力ポート15が最
適の圧力となるように給気側弁28及び排気側弁31が開閉
制御され、適量の気体圧がタンク１内に付与されて、液
体が最適状態で容器８に注がれる。Therefore, the comparator 45 outputs a control operation signal corresponding to the deviation based on the reference signal from the reference signal generator 47, but the comparator 46 outputs no or almost no control operation signal. If the pressure in the upper pressure chamber 23a is higher than the target value, the reverse is true. Therefore, the supply-side valve 28 and the exhaust-side valve 31 are controlled to open and close so that the output port 15 has an optimum pressure, and an appropriate amount of gas pressure is applied to the inside of the tank 1 so that the liquid is stored in the container 8 in an optimum state. Be poured.
そして、供給停止のためのスイッチ操作が行われる
と、前記開閉弁７が閉じられて液体供給が停止される。Then, when a switch operation for stopping the supply is performed, the on-off valve 7 is closed and the liquid supply is stopped.
そして、前記給気側弁28及び排気側弁31の開閉動作時
には、気体圧力や液体温度等の種々の要因に応じて、あ
るいはウォータハンマ等の不都合が発生しないように、
制御装置９が最適の目標値を設定し、両弁28,31の制御
量のデータがフィードバックされて目標値と一致するよ
うに制御されるので、最適の液体供給状態を得ることが
できる。Then, at the time of opening / closing operation of the air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31, depending on various factors such as gas pressure and liquid temperature, or so as to prevent inconvenience such as water hammer from occurring.
The control device 9 sets an optimal target value, and the data of the control amounts of the two valves 28 and 31 is fed back and controlled so as to match the target value, so that an optimal liquid supply state can be obtained.
さらに、液体供給が行われていないときには、排気側
弁31が閉じて気体漏洩が防止され、その気体単独での外
部への放出は被圧送液体供給停止時において、ダイヤフ
ラム21の復帰に伴う上部圧力室23aの縮小分だけである
から、その排出量はきわめて少ない。特に、飲料水の自
動販売機に使用されるディスペンサ装置のように、圧力
供給源がボンベになっていて、気体の量が限定されてい
る場合には、気体を有効利用することができる。Further, when the liquid supply is not being performed, the exhaust side valve 31 is closed to prevent gas leakage, and the gas alone is discharged to the outside when the supply of the liquid under pressure is stopped, the upper pressure accompanying the return of the diaphragm 21 is reduced. Since only the size of the chamber 23a is reduced, the discharge amount is extremely small. In particular, when the pressure supply source is a cylinder and the amount of gas is limited, as in a dispenser device used in a vending machine for drinking water, the gas can be effectively used.
以上より、この実施例では、給気側弁28及び排気側弁
31により上部圧力室23aの内部圧力が制御されるため、
その上部圧力室23aからの気体の漏洩を最小限にするこ
とができる。As described above, in this embodiment, the air supply side valve 28 and the exhaust side valve
31 controls the internal pressure of the upper pressure chamber 23a,
Leakage of gas from the upper pressure chamber 23a can be minimized.
又、この実施例では、目標値に一致するように制御さ
れた上部圧力室23aの内部圧力と、出力ポート15の圧力
が連通路24aを介して導入された下部圧力室23bの内部圧
力との差圧によりダイヤフラム21が変位され、その変位
に基づいて弁体18が開閉動作される。これにより、出力
ポート15の圧力が目標値となるように制御される。この
ため、上部圧力室23aの内部圧力は目標値に何ら関係な
く高くなってしまうことがなく、出力ポート15の圧力を
目標値へ制御することを安定して行うことができる。Further, in this embodiment, the internal pressure of the upper pressure chamber 23a controlled to match the target value and the internal pressure of the lower pressure chamber 23b in which the pressure of the output port 15 is introduced through the communication passage 24a. The diaphragm 21 is displaced by the differential pressure, and the valve element 18 is opened and closed based on the displacement. Thereby, control is performed so that the pressure of the output port 15 becomes the target value. For this reason, the internal pressure of the upper pressure chamber 23a does not increase at all regardless of the target value, and it is possible to stably control the pressure of the output port 15 to the target value.
又、蓋板20の上面上に圧力センサ32、給気側弁28及び
排気側弁31を設置し、その圧力センサ32、給気側弁28及
び排気側弁31がカバー34によって覆われた構成となって
いるため、圧力センサ32、給気側弁28及び排気側弁31の
組み付けを容易に行うことができる。しかも、カバー34
を外せば圧力センサ32、給気側弁28及び排気側弁31が露
出するため、それらのメンテナンスを容易に行うことが
できる。Further, a pressure sensor 32, an air supply side valve 28 and an exhaust side valve 31 are installed on the upper surface of the lid plate 20, and the pressure sensor 32, the air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 are covered by a cover 34. Therefore, the pressure sensor 32, the supply side valve 28, and the exhaust side valve 31 can be easily assembled. Moreover, the cover 34
Is removed, the pressure sensor 32, the supply side valve 28, and the exhaust side valve 31 are exposed, so that maintenance thereof can be easily performed.
［別の実施例］ 次に、この発明の第２実施例を、第６図〜第９図に基
づいて説明する。なお、前記第１実施例と同一又は近似
する構成については、第１実施例と同一の符号を付し
て、それらの詳細な説明を省略する。Another Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about the structure which is the same as or similar to the said 1st Example, the same code | symbol as 1st Example is attached and those detailed description is abbreviate | omitted.
さて、この実施例の圧力制御弁５は、例えば真空圧を
利用して物品の吸着及び解放動作等を行う場合の真空圧
の制御に具体化したものであって、第６図〜第８図に示
すように、流路13の出力ポート15がタンク等の負圧機器
に接続される設定圧力口に、給気ポート14が吸引ポンプ
に接続される真空圧力口に、排気ポート36が大気を取り
入れるための大気圧力口になっている。給気路26はダイ
ヤフラム21の下方の下部圧力室23bと大気とを連通する
ように設けられ、その途中には給気路26を開閉制御する
ための給気側弁28が介装されている。排気路29は流路13
の真空圧力口14と下部圧力室23bとを連通するように設
けられ、その途中には排気路29を開閉制御するための排
気側弁31が介装されている。The pressure control valve 5 of this embodiment is embodied in controlling vacuum pressure when performing suction and release operations of articles using, for example, vacuum pressure. As shown in the figure, the output port 15 of the flow path 13 is connected to a set pressure port connected to a negative pressure device such as a tank, the air supply port 14 is connected to a vacuum pressure port connected to a suction pump, and the exhaust port 36 is connected to the atmosphere. It is an atmospheric pressure port to take in. The air supply passage 26 is provided to communicate the lower pressure chamber 23b below the diaphragm 21 with the atmosphere, and an air supply side valve 28 for controlling the opening and closing of the air supply passage 26 is provided in the middle of the air supply passage 26. . The exhaust path 29 is the flow path 13
The vacuum pressure port 14 and the lower pressure chamber 23b are provided so as to communicate with each other, and an exhaust-side valve 31 for controlling the opening and closing of the exhaust path 29 is interposed in the middle thereof.
圧力センサ32は連通孔33を介して設定圧力口15に接続
され、設定圧力を検出して検出信号を出力するようにな
っている。又、ダイヤフラム21の上方の上部圧力室23a
は弁棒24の中心の連通路24a及び開閉部16の弁体18と弁
棒24との間を介して設定圧力口15に連通され、設定圧力
が上部圧力室23aに導かれている。従って、この実施例
では下部圧力室23bがパイロット室とされている。The pressure sensor 32 is connected to the set pressure port 15 via the communication hole 33, and detects the set pressure and outputs a detection signal. Also, the upper pressure chamber 23a above the diaphragm 21
Is communicated with the set pressure port 15 via the communication passage 24a at the center of the valve rod 24 and the valve body 18 of the opening / closing section 16 and the valve rod 24, and the set pressure is guided to the upper pressure chamber 23a. Therefore, in this embodiment, the lower pressure chamber 23b is a pilot chamber.
そして、第９図に示すように、この実施例において
も、第１実施例の回路構成とほぼ同様に、圧力センサ32
から出力される設定圧力の検出信号と入力信号とが偏差
増幅器43で比較されて偏差増幅が行われ、この偏差信号
と基準信号発生回路47からの基準信号とが、信号比較回
路45及び反転回路51を介して信号比較回路46で比較加算
され、オンオフ信号が駆動回路48,49を介して給気側弁2
8及び排気側弁31に入力される。このように給気側弁28
及び排気側弁31のオンオフ信号のデューティ比が制御さ
れ、偏差が存在するときには、両弁28,31を駆動して、
偏差が小さくなる方向に下部圧力室23bの圧力が調節さ
れる。As shown in FIG. 9, in this embodiment, the pressure sensor 32 is substantially similar to the circuit configuration of the first embodiment.
The input signal is compared with the detection signal of the set pressure output from the amplifier and deviation amplification is performed. This deviation signal and the reference signal from the reference signal generation circuit 47 are compared with a signal comparison circuit 45 and an inversion circuit. The signal is compared and added by the signal comparison circuit 46 via the output circuit 51, and the on / off signal is supplied to the air supply side valve 2 via the drive circuits 48 and 49.
8 and input to the exhaust side valve 31. Thus, the air supply side valve 28
And the duty ratio of the on / off signal of the exhaust side valve 31 is controlled, and when there is a deviation, both valves 28 and 31 are driven,
The pressure in the lower pressure chamber 23b is adjusted in a direction in which the deviation decreases.
すなわち、外部からの指令信号が入力信号として制御
回路11に入力される。制御回路11内の偏差増幅器43では
設定圧力側の圧力をセンサ32で検出した信号と、入力信
号とが比較され、偏差増幅が行なわれる。That is, an external command signal is input to the control circuit 11 as an input signal. The deviation amplifier 43 in the control circuit 11 compares the signal detected by the sensor 32 with the pressure on the set pressure side with the input signal, and performs deviation amplification.
この偏差信号は比較器45において、又、反転回路51を
介して比較器46において基準信号発生回路47からの信号
と比較、加算され、オンオフ信号が駆動回路48,49へ出
力される。The deviation signal is compared with the signal from the reference signal generation circuit 47 in the comparator 45 and in the comparator 46 via the inverting circuit 51 and added, and the on / off signal is output to the drive circuits 48 and 49.
このように弁28,31のオンオフ信号のデューティ比が
制御される。偏差が存在する時、弁28,31が駆動され、
偏差の小さくなる方向へ下部圧力室23bの圧力が調節さ
れる。Thus, the duty ratio of the on / off signals of the valves 28, 31 is controlled. When a deviation exists, valves 28 and 31 are activated,
The pressure in the lower pressure chamber 23b is adjusted in the direction in which the deviation decreases.
そして、真空圧力は真空圧力口14より排気側弁31の２
次側に導かれ、給気側弁28、排気側弁31のオンオフ動作
による操作圧は給気路26を通し、下部圧力室23bの圧力
を設定する。給気側弁28の１次側は大気開放であり、以
上のことから操作圧は真空から大気圧までが可能とな
る。The vacuum pressure is applied from the vacuum pressure port 14 to the exhaust side valve 31.
The operation pressure that is guided to the next side and is turned on and off by the supply-side valve 28 and the exhaust-side valve 31 passes through the supply path 26 and sets the pressure in the lower pressure chamber 23b. The primary side of the supply side valve 28 is open to the atmosphere, and from the above, the operating pressure can be from vacuum to atmospheric pressure.
また設定圧力ポート15のエアは弁棒24と弁体の間にあ
るオリフィス及び弁棒24の連通路24aを通り上部圧力室2
3aに導かれる。The air in the set pressure port 15 passes through the orifice between the valve stem 24 and the valve body and the communication passage 24a of the valve stem 24, and the upper pressure chamber 2
Guided to 3a.
制御回路11への入力信号が変化し、下部圧力室23bの
圧力が増加すると、弁体39が押し上げられ、大気圧力口
36から設定圧力口15へエアが流れる。When the input signal to the control circuit 11 changes and the pressure in the lower pressure chamber 23b increases, the valve body 39 is pushed up and the atmospheric pressure port
Air flows from 36 to the set pressure port 15.
圧力の平衡状態から減圧する方向へ入力信号が変化す
ると、下部圧力室23bの圧力は減圧されてより真空に近
くになる。これにより、ダイヤフラム21は押し下げら
れ、弁棒24と共に弁体18も下降し、真空圧力口14へエア
が流れる。そして、上部圧力室23aと下部圧力室23bとの
圧力が等しくなった時に平衡状態となる。When the input signal changes from the equilibrium state of the pressure to the direction of decreasing the pressure, the pressure in the lower pressure chamber 23b is reduced and becomes closer to vacuum. As a result, the diaphragm 21 is pushed down, the valve element 18 is lowered together with the valve rod 24, and air flows to the vacuum pressure port 14. When the pressures in the upper pressure chamber 23a and the lower pressure chamber 23b become equal, an equilibrium state is established.
従って、この第２実施例においても、給気側弁28及び
排気側弁31により下部圧力室23bの内部圧力が制御され
るため、その下部圧力室23bからの気体の漏洩を最小限
にすることができる。Therefore, also in the second embodiment, since the internal pressure of the lower pressure chamber 23b is controlled by the supply-side valve 28 and the exhaust-side valve 31, it is possible to minimize gas leakage from the lower pressure chamber 23b. Can be.
又、この第２実施例においても、圧力センサ32、給気
側弁28及び排気側弁31の設置構成は蓋板20上に設置され
カバー34で覆われているという点で前述の第１実施例と
同じであり、圧力センサ32、給気側弁28及び排気側弁31
の組み付けやメンテナンスを容易に行うことができる。Also, in the second embodiment, the pressure sensor 32, the air supply side valve 28, and the exhaust side valve 31 are installed on the cover plate 20 and covered with the cover 34. As in the example, the pressure sensor 32, the supply side valve 28 and the exhaust side valve 31
Can be easily assembled and maintained.
次に、この発明の第３実施例を、第10図〜第13図に基
づいて説明する。なお、前記第１及び第２実施例と同一
又は近似する構成については、両実施例と同一の符号を
付して、それらの詳細な説明を省略する。Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about the structure similar to or similar to the said 1st and 2nd Example, the same code | symbol as both Example is attached | subjected, and those detailed description is abbreviate | omitted.
さて、この実施例の圧力制御弁５も、前述した第２実
施例と同様に、真空圧を利用して物品の吸着及び解放動
作等を行う場合の真空圧の制御に具体化したものであっ
て、第10図〜第12図に示すように、流路13の設定圧力口
15がタンク等の負圧機器に接続される設定圧力口に、真
空圧力口14が吸引ポンプに接続される真空圧力口に、供
給圧力口36が数kg f/cm2程度の所定圧力を供給するため
の供給圧力口になっている。Now, the pressure control valve 5 of this embodiment is also embodied in controlling the vacuum pressure in the case of performing the suction and release operations of the article using the vacuum pressure, as in the second embodiment described above. As shown in FIG. 10 to FIG.
The set pressure port 15 is connected to the negative pressure device such as a tank, the vacuum pressure port vacuum pressure port 14 is connected to a suction pump, supplying a predetermined pressure of about supply pressure port 36 is several kg f / cm 2 Supply pressure port for
切換弁52は蓋板20上に設けられ、供給圧力口36側の圧
力が給気路26、給気側弁28及び出力側流路53を介して切
換弁52に導かれ、この切換弁52の切換状態に応じて、流
通路54から上部圧力室23aに、又は流通路55を介して下
部圧力室23bに供給される。排気口56,57は切換弁52に設
けられ、切換弁52の切換状態に応じて、上部圧力室23a
又は下部圧力室23bの圧力がこの排気口56,57から排出さ
れる。The switching valve 52 is provided on the cover plate 20, and the pressure on the supply pressure port 36 side is guided to the switching valve 52 via the air supply passage 26, the air supply side valve 28, and the output side flow path 53, and the switching valve 52 Is supplied from the flow passage 54 to the upper pressure chamber 23a or via the flow passage 55 to the lower pressure chamber 23b, depending on the switching state. The exhaust ports 56 and 57 are provided in the switching valve 52, and according to the switching state of the switching valve 52, the upper pressure chamber 23a
Alternatively, the pressure in the lower pressure chamber 23b is exhausted from the exhaust ports 56 and 57.
排気側弁31は給気側弁28の出力側流路53に接続され、
その出力側圧力が排気側弁31の開放時に排気路29を通し
て排出される。第１圧力センサ32は連通孔33を介して設
定圧力口15に接続され、設定圧力を検出して検出信号を
出力する。第２圧力センサ58は給気側弁28の出力側流路
53に接続され、その出力側圧力を検出して検出信号を出
力する。The exhaust side valve 31 is connected to the output side flow path 53 of the supply side valve 28,
The output pressure is discharged through the exhaust passage 29 when the exhaust valve 31 is opened. The first pressure sensor 32 is connected to the set pressure port 15 through the communication hole 33, detects the set pressure, and outputs a detection signal. The second pressure sensor 58 is an output side flow path of the supply side valve 28.
It is connected to 53 and detects its output pressure and outputs a detection signal.
そして、第13図に示すように、この実施例において
は、第１圧力センサ32から出力される設定圧力の検出信
号と入力信号とが偏差増幅器43で比較されて偏差増幅が
行われ、この偏差信号と基準信号とが比較器59で比較さ
れて、駆動回路60を介して切換弁52が切り換えられる。
又、前記偏差増幅器43からの偏差信号と第２圧力センサ
58からの検出信号とが偏差増幅器61で比較されて偏差増
幅され、前述した第２実施例の回路構成と同様に、その
偏差信号と基準信号発生回路47からの基準信号とが、信
号比較器45及び反転回路51を介して信号比較器46で比較
加算され、オンオフ信号が駆動回路48,49を介して給気
側弁28及び排気側弁31に入力される。As shown in FIG. 13, in this embodiment, the detection signal of the set pressure output from the first pressure sensor 32 and the input signal are compared by a deviation amplifier 43 to perform deviation amplification. The signal and the reference signal are compared by the comparator 59, and the switching valve 52 is switched via the drive circuit 60.
Also, a deviation signal from the deviation amplifier 43 and a second pressure sensor
The detection signal from the reference signal generator 58 is compared with the detection signal from the reference signal generator 58 and amplified by the deviation amplifier 61. The deviation signal and the reference signal from the reference signal generation circuit 47 are compared with the signal comparator as in the circuit configuration of the second embodiment. The signals are compared and added by the signal comparator 46 via the inverter circuit 45 and the inverting circuit 51, and the on / off signal is input to the intake valve 28 and the exhaust valve 31 via the drive circuits 48 and 49.
このように第１圧力センサ32の検出信号に対して入力
信号が大きければ、切換弁52が下部圧力室23bを加圧で
きる状態に、又第１圧力センサ32の検出信号に対して入
力信号が小さければ、切換弁52が上部圧力室23aを加圧
できる状態に切り換えられ、この状態で給気側弁28及び
排気側弁31のオンオフ信号のデューティ比が制御され
て、偏差が存在するときには両弁28,31を駆動して、偏
差が小さくなる方向に上部又は下部圧力室23a,23bの圧
力が調節される。従って、本実施例では上部圧力室23a
及び下部圧力室23bがパイロット室とされている。As described above, if the input signal is large relative to the detection signal of the first pressure sensor 32, the switching valve 52 can pressurize the lower pressure chamber 23b, and the input signal corresponds to the detection signal of the first pressure sensor 32. If it is smaller, the switching valve 52 is switched to a state in which the upper pressure chamber 23a can be pressurized. In this state, the duty ratio of the on / off signal of the supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 is controlled. By driving the valves 28 and 31, the pressure in the upper or lower pressure chambers 23a and 23b is adjusted in a direction in which the deviation becomes smaller. Therefore, in the present embodiment, the upper pressure chamber 23a
The lower pressure chamber 23b is a pilot chamber.
すなわち、供給圧力口36には５〜6kg f/cm2の圧力が
供給され、これは給気側弁28の入力に導かれる。給気側
弁28の出力は排気側弁31へと導かれ、同時に操作圧力と
して切換弁52を介して上部圧力室23a及び下部圧力室23b
へと導かれる。That is, the supply pressure port 36 is supplied with a pressure of 5 to 6 kgf / cm 2 , which is led to the input of the supply side valve 28. The output of the supply-side valve 28 is guided to the exhaust-side valve 31, and at the same time, as the operating pressure, via the switching valve 52, the upper pressure chamber 23a and the lower pressure chamber 23b.
It is led to.
この操作圧力は第２圧力センサ58によって制御回路に
入力され、給気側弁28、排気側弁31がオンオフされ、上
部圧力室23a及び下部圧力室23bの圧力が操作される。ま
た、第１圧力センサ32と入力信号の偏差が取られ、切換
弁52が動作される。第１圧力センサ32の信号に対して入
力信号が大きければ下部圧力室23bを加圧できるよう
に、逆に小さければ上部圧力室23aを加圧できるように
切り換える。これによって必要最少のエアで操作圧を制
御できる。This operating pressure is input to the control circuit by the second pressure sensor 58, the air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 are turned on and off, and the pressures in the upper pressure chamber 23a and the lower pressure chamber 23b are operated. Further, a deviation between the first pressure sensor 32 and the input signal is obtained, and the switching valve 52 is operated. When the input signal is large relative to the signal of the first pressure sensor 32, the lower pressure chamber 23b can be pressurized, and when the input signal is small, the upper pressure chamber 23a can be pressurized. Thus, the operating pressure can be controlled with the minimum necessary air.
設定圧力を下げるように入力信号が変化すると、設定
圧力口15の第１圧力センサ32からの信号と入力信号の偏
差から切換弁52が上部圧力室23aを加圧できるように切
換る。この時、下部圧力室23bは大気圧となる。When the input signal changes so as to lower the set pressure, the switching valve 52 switches so that the upper pressure chamber 23a can be pressurized based on the difference between the signal from the first pressure sensor 32 at the set pressure port 15 and the input signal. At this time, the lower pressure chamber 23b becomes atmospheric pressure.
先の偏差信号と操作圧力につながる第１圧力センサ32
の信号とでもう一度偏差がとられ、この偏差が小さくな
るように給気側弁28、排気側弁31がオンオフされる。つ
まり、先の偏差信号に対応する操作圧力が上部圧力室23
aに送られることになる。First pressure sensor 32 leading to the previous deviation signal and operating pressure
The deviation is again taken with the signal (1), and the air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 are turned on and off so that this deviation becomes small. That is, the operating pressure corresponding to the previous deviation signal is
will be sent to a.
この時、ダイヤフラム21は押し下げられ、下側の開閉
部16が開き設定圧力口15はエアは真空圧力口14へと流れ
る。At this time, the diaphragm 21 is pushed down, the lower opening / closing section 16 is opened, and the air flows through the set pressure port 15 to the vacuum pressure port 14.
設定圧力口15の圧力が下がると、入力信号と第１圧力
センサ32との偏差が小さくなっていき、操作圧力は大気
圧に近付いていく。このため開閉部16の開度は小さくな
っていき、偏差がゼロの時第10,11図の平衡状態とな
る。When the pressure at the set pressure port 15 decreases, the deviation between the input signal and the first pressure sensor 32 decreases, and the operating pressure approaches the atmospheric pressure. Therefore, the opening degree of the opening / closing section 16 becomes smaller, and when the deviation is zero, the equilibrium state shown in FIGS.
次に、設定圧力を上げるように入力信号が変化する
と、前記と同様に第１圧力センサ32と入力信号の偏差か
ら切換弁52は下部圧力室23bを加圧できるように動作す
る（この時上部圧力室23aは大気圧となる）。Next, when the input signal changes so as to increase the set pressure, the switching valve 52 operates to pressurize the lower pressure chamber 23b from the deviation between the first pressure sensor 32 and the input signal as described above (at this time, the upper The pressure chamber 23a is at atmospheric pressure).
この偏差信号と操作圧力につながる第２圧力センサ58
の信号とでもう一度偏差をとり、先の偏差信号に追従す
る形で給気側弁28、排気側弁31がオンオフされ、操作圧
力が下部圧力室23bへ送られる。このため、ダイヤフラ
ム21は押し上げられ、上側の開閉部37が開き供給圧力口
36のエアが設定圧力口15へ流れる。The second pressure sensor 58 connected to the deviation signal and the operating pressure
A deviation is again taken with the above signal, and the air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 are turned on / off in a manner following the previous deviation signal, and the operating pressure is sent to the lower pressure chamber 23b. For this reason, the diaphragm 21 is pushed up, and the upper opening / closing part 37 is opened, and the supply pressure port is opened.
36 air flows to the set pressure port 15.
そして、設定圧力口15の圧力、つまり第１圧力センサ
32の信号が入力信号に近付くと（偏差信号が小さくなる
と）、操作圧力は大気圧に近付いていく。このため開閉
部37の開度は小さくなっていき、偏差が０の時平衡状態
となる。Then, the pressure of the set pressure port 15, that is, the first pressure sensor
As the 32 signals approach the input signal (as the deviation signal decreases), the operating pressure approaches atmospheric pressure. For this reason, the opening degree of the opening / closing part 37 becomes smaller, and when the deviation is zero, the state becomes an equilibrium state.
そして、以上の動作においては、供給圧力口36に５〜
6kg f/cm2の圧力が供給されるため、より反応の速い真
空破壊を行うことができる。In the above operation, the supply pressure port 36
Since a pressure of 6 kg f / cm 2 is supplied, a faster reaction vacuum break can be performed.
又、偏差が発生した時に、大気圧となっている上部圧
力室23a及び下部圧力室23bを真空側へ導くようにすれば
一層速い応答が期待できる。Further, when the deviation occurs, if the upper pressure chamber 23a and the lower pressure chamber 23b, which are at the atmospheric pressure, are led to the vacuum side, a faster response can be expected.
以上のように、この第３実施例においても、給気側弁
28及び排気側弁31により上部圧力室23a及び下部圧力室2
3bの内部圧力が制御されるため、それら圧力室23a,23b
からの気体の漏洩を最小限にすることができる。As described above, also in the third embodiment, the air supply side valve
The upper pressure chamber 23a and the lower pressure chamber 2
Since the internal pressure of 3b is controlled, these pressure chambers 23a, 23b
Gas leakage from the fuel cell can be minimized.
又、この第３実施例においても、目標値を検出する第
１圧力センサ32、給気側弁28及び排気側弁31の設置構成
は蓋板20上に設置されカバー34で覆われているという点
で前述の第１及び２実施例と同じであり、第１圧力セン
サ32、給気側弁28及び排気側弁31の組み付けやメンテナ
ンスを容易に行うことができる。Also in the third embodiment, the installation configuration of the first pressure sensor 32 for detecting the target value, the air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 is installed on the cover plate 20 and covered by the cover 34. This is the same as the first and second embodiments in that the first pressure sensor 32, the air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 can be easily assembled and maintained.
なお、この発明は前記各実施例の構成に限定されるも
のではなく、例えば、前述した第３実施例において、供
給圧力口36とは別の圧力口を設けて、この圧力口から圧
力室23a,23bに操作圧力が供給されるように構成して、
応答性を一層高めたりする等、この発明の趣旨から逸脱
しない範囲で各部の構成を任意に変更して具体化するこ
とも可能である。The present invention is not limited to the configuration of each of the above embodiments. For example, in the third embodiment described above, a pressure port different from the supply pressure port 36 is provided, and the pressure chamber 23a , 23b to be supplied with operating pressure,
The configuration of each unit may be arbitrarily changed and embodied without departing from the spirit of the present invention, such as by further improving the response.
［発明の効果］ 請求項１に記載の発明によれば、電磁弁によりパイロ
ット室の内部圧力を制御するようにしたため、パイロッ
ト室からの流体の漏洩を最小限にすることができる。[Effect of the Invention] According to the first aspect of the present invention, since the internal pressure of the pilot chamber is controlled by the solenoid valve, leakage of fluid from the pilot chamber can be minimized.
更に、請求項１に記載の発明によれば、二次側圧力を
目標値へ制御することを安定して行うことができる。Further, according to the first aspect of the invention, it is possible to stably control the secondary pressure to the target value.
第１図はこの発明を具体化した圧力制御弁の第１実施例
を示す正断面図、第２図はディスペンサ装置の概要を示
す配管図、第３図は液体供給装置の回路構成を示すブロ
ック図、第４図及び第５図は制御弁における排気側及び
給気側弁のための駆動信号の発生動作を説明する説明
図、第６図はこの発明の圧力制御弁の第２実施例を示す
正面断面図、第７図はその圧力制御弁の側断面図、第８
図は圧力制御弁を含む制御装置の概要図、第９図は制御
装置の回路構成を示すブロック図、第10図はこの発明の
圧力制御弁の第３実施例を示す正面断面図、第11図はそ
の圧力制御弁の側断面図、第12図は圧力制御弁を含む制
御装置の概要図、第13図は制御装置の回路構成を示すブ
ロック図である。 ５……圧力制御弁、13……気体の流路、16……開閉部、
21……ダイヤフラム、23a,23b……圧力室、28……制御
手段を構成する給気側弁、31……制御手段を構成する排
気側弁。1 is a front sectional view showing a first embodiment of a pressure control valve embodying the present invention, FIG. 2 is a piping diagram showing an outline of a dispenser device, and FIG. 3 is a block diagram showing a circuit configuration of a liquid supply device. FIGS. 4 and 5 are explanatory diagrams for explaining the operation of generating drive signals for the exhaust side and supply side valves in the control valve, and FIG. 6 is a diagram showing a second embodiment of the pressure control valve of the present invention. 7 is a sectional side view of the pressure control valve, and FIG.
FIG. 9 is a schematic diagram of a control device including a pressure control valve. FIG. 9 is a block diagram showing a circuit configuration of the control device. FIG. 10 is a front sectional view showing a third embodiment of the pressure control valve of the present invention. FIG. 12 is a side sectional view of the pressure control valve, FIG. 12 is a schematic diagram of a control device including the pressure control valve, and FIG. 13 is a block diagram showing a circuit configuration of the control device. 5 ... pressure control valve, 13 ... gas flow path, 16 ... open / close section,
21 ... diaphragm, 23a, 23b ... pressure chamber, 28 ... supply-side valve constituting control means, 31 ... exhaust-side valve constituting control means.
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−20605（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−72214（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−12068（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F17C 13/02 Continuation of the front page (56) References JP-A-63-20605 (JP, A) JP-A-64-72214 (JP, A) Japanese Utility Model Showa 62-12068 (JP, U) (58) Fields investigated (Int) .Cl. 7 , DB name) F17C 13/02
Claims (1)
流路の端部には一次側圧力が入力される一次側ポート及
び二次側圧力が出力される二次側ポートをそれぞれ設
け、前記流路の一次側ポートと二次側ポートとの間には
その流路を開閉することにより二次側圧力を決定付ける
弁体を備えた開閉部を設け、前記流路の開閉部よりも二
次側ポート側に開口するフィードバック通路を設け、そ
のフィードバック通路に連通されるフィードバック室を
設け、パイロット流体が導入されるパイロット室を、受
圧体を挟んでフィードバック室と対向するように設け、
パイロット室の内部圧力とフィードバック室の内部圧力
との差圧による前記受圧体の変位に基づいて、前記弁体
を開閉動作させることにより、二次側圧力を制御する圧
力制御弁であって、 前記パイロット室の内部圧力を検出する圧力センサを設
け、前記パイロット流体をパイロット室に導入する通路
には、前記圧力センサの検出信号に基づいてパイロット
室の内部圧力を目標値に制御する電磁弁を設けた圧力制
御弁。A flow path through which fluid flows is provided in a valve body, and a primary port to which a primary pressure is input and a secondary port to which a secondary pressure is output are provided at ends of the flow path. An opening / closing section provided with a valve element that determines a secondary pressure by opening and closing the flow path between the primary port and the secondary port of the flow path; A feedback passage that opens to the secondary port side, a feedback chamber that communicates with the feedback passage, and a pilot chamber in which a pilot fluid is introduced is provided to face the feedback chamber with the pressure receiving member interposed therebetween. ,
A pressure control valve that controls a secondary pressure by opening and closing the valve body based on a displacement of the pressure receiving body due to a differential pressure between an internal pressure of the pilot chamber and an internal pressure of the feedback chamber, A pressure sensor for detecting the internal pressure of the pilot chamber is provided, and a passage for introducing the pilot fluid into the pilot chamber is provided with an electromagnetic valve for controlling the internal pressure of the pilot chamber to a target value based on a detection signal of the pressure sensor. Pressure control valve.
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- 1990-04-02 JP JP08778990A patent/JP3169948B2/en not_active Expired - Fee Related
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