JPH03288100A - Pressure control valve - Google Patents

Pressure control valve

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JPH03288100A
JPH03288100A JP8778990A JP8778990A JPH03288100A JP H03288100 A JPH03288100 A JP H03288100A JP 8778990 A JP8778990 A JP 8778990A JP 8778990 A JP8778990 A JP 8778990A JP H03288100 A JPH03288100 A JP H03288100A
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pressure
valve
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gas
chamber
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Midori Nishigaki
緑 西垣
Goji Horie
堀江 剛司
Ichiro Mitsuishi
光石 一郎
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Abstract

PURPOSE:To minimize gas leak and utilize gas effectively when the gas quantity is limited by providing a switching part, a diaphragm and a pressure sensor, and changing/controlling the pressure of a pressure chamber electrically on the basis of the detection signal of the pressure sensor. CONSTITUTION:There are provided a switching part 16 for switching a passage 13 of high or low pressure gas, a diaphragm 21 for switching the switching part 16 according to the pressure fluctuation of a pressure chamber 23a, a pressure sensor 32 for detecting the pressure of the pressure chamber 23a, and control means 28, 31 for changing/controlling the pressure of the pressure chamber 23a electrically on the basis of the detection signal of the sensor 32. The pressure of the pressure chamber 23a is thus detected by the pressure sensor 32, and on the basis of its detection signal, the pressure of the pressure chamber 23a is electrically changed/controlled to switch the switching part 16 by the operation of the diaphragm 21. The pressure control of high pressure supplied gas or low pressure sucked gas can be thereby performed with the minimum gas leak.

Description

【発明の詳細な説明】 :産業上の利用分野] この発明は、高圧供給気体あるいは低圧吸引気体の圧力
制御に使用する圧力制御弁に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION: Industrial Application Field The present invention relates to a pressure control valve used to control the pressure of high-pressure supply gas or low-pressure suction gas.

二従来の技術; 従来のこの種の圧力制御弁としては、比例電磁式制御弁
や電空レギュレータ制御弁が知られている。
2. Prior Art; As conventional pressure control valves of this type, proportional electromagnetic control valves and electropneumatic regulator control valves are known.

[発明が解決しようとする課題] ところが、前記の電空レギュレータでは気体の漏洩を伴
いながらスプールが摺動されて開閉されるものであり、
又、比例電磁式制御弁では気体が常時ノズルからフラッ
パに対して噴出されるものであるため、気体の大量漏洩
を招くという問題点かあった。特に、高圧供給気体の圧
力制御において、圧力供給源がボンベになっている場合
には、気体の量が限定されるため、この気体の漏洩防止
が重要になる。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the electro-pneumatic regulator described above, the spool is slid to open and close while causing gas leakage.
Further, in the proportional electromagnetic control valve, gas is constantly ejected from the nozzle to the flapper, so there is a problem in that a large amount of gas leaks. Particularly in pressure control of high-pressure supply gas, when the pressure supply source is a cylinder, the amount of gas is limited, so preventing leakage of this gas is important.

この発明は、このような従来技術に存在する問題点に着
目してなされたものであって、その目的とするところは
、気体漏洩を最少限にすることができて、特に、高圧供
給気体の圧力制御において、圧力供給源がボンベになっ
ていて、気体の量が限定されている場合に有効な圧力制
御弁を提供することにある。
The present invention has been made by focusing on the problems existing in the prior art, and its purpose is to minimize gas leakage, and in particular, to minimize gas leakage. To provide a pressure control valve that is effective in pressure control when the pressure supply source is a cylinder and the amount of gas is limited.

[課題を解決するための手段] 上記の目的を達成するために、この発明の圧力制御弁に
おいては、高圧若しくは低圧気体の流路を開閉する開閉
部と一圧力室の圧力変動に応じて開閉部を開閉させるダ
イヤフラムと、前記圧力室の圧力を検出する圧力センサ
と、そのセンサの検出信号に基づき圧力室の圧力を電気
的に変更制御する制御手段とを設けたものである。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the pressure control valve of the present invention has an opening/closing part that opens and closes a flow path of high pressure or low pressure gas, and a pressure chamber that opens and closes according to pressure fluctuations. A diaphragm for opening and closing the pressure chamber, a pressure sensor for detecting the pressure in the pressure chamber, and a control means for electrically changing and controlling the pressure in the pressure chamber based on a detection signal from the sensor.

[作 用コ 上記のように構成された圧力制御弁においては。[Production use] In the pressure control valve configured as described above.

圧力室の圧力が圧力センサにより検出され、その検出信
号に基づき圧力室の圧力が電気的に変更制御されて、ダ
イヤフラムの作動により開閉部が開閉される。従って、
気体漏洩を最小限にして、高圧供給気体あるいは低圧吸
引気体の圧力制御を行うことができる。
The pressure in the pressure chamber is detected by a pressure sensor, and the pressure in the pressure chamber is electrically changed and controlled based on the detection signal, and the opening/closing section is opened and closed by the operation of the diaphragm. Therefore,
The pressure of high-pressure supply gas or low-pressure suction gas can be controlled while minimizing gas leakage.

[実施例コ 以下、この発明の第1実施例を第1図〜第5図に基づい
て詳細に説明する。
[Example 7] Hereinafter, a first example of the present invention will be described in detail based on FIGS. 1 to 5.

まず、第2図に示すデイスペンサ装置の概要について述
べると、タンク1は内部にジュース等の被圧送液体2を
収容し、図示しない冷却装置によって冷却されている。
First, the outline of the dispenser device shown in FIG. 2 will be described. A tank 1 contains therein a pressurized liquid 2 such as juice, and is cooled by a cooling device (not shown).

ボンベ3は内部に二酸化炭素(以下単に気体という〉を
収容している。そして、ボンベ3内の気体が減圧弁4、
圧力制御弁5及び逆止弁6を介してタンク1内に加圧供
給され、開閉弁7が開放されることにより、被圧送流体
2がタンク1内から開閉弁7を介してコツプ等の容器8
へと圧送される。
The cylinder 3 contains carbon dioxide (hereinafter simply referred to as gas).
Pressure is supplied into the tank 1 via the pressure control valve 5 and check valve 6, and when the on-off valve 7 is opened, the pressurized fluid 2 is transferred from the tank 1 through the on-off valve 7 to a container such as a pot. 8
be pumped to.

前記圧力制御弁5はCPU (中央処理装置)やメモリ
を含む制御装置9により、D/A変換器10及び圧力制
御回8311を介して開閉制御され、タンク1内の被圧
送液体2に対する気体の圧力付与量を設定する。又、開
閉弁7は制御装置9により開閉制御され、容器8へ被圧
送液体2を供給する。
The pressure control valve 5 is controlled to open and close by a control device 9 including a CPU (central processing unit) and memory via a D/A converter 10 and a pressure control circuit 8311, and controls the flow of gas to the pressurized liquid 2 in the tank 1. Set the amount of pressure applied. Further, the on-off valve 7 is controlled to open and close by the control device 9, and supplies the pressurized liquid 2 to the container 8.

そこで、前記圧力制御弁5の構成を第1図に基づいて詳
述すると、高圧気体の流路13はを椎12に形成され、
その両端には給気ボート14及び出力ボート15が設け
られている。流F!!113を開閉するための開閉部1
6は弁座17と弁体18とからm戒され、常にはバネ1
つにより閉鎖されている。
Therefore, the configuration of the pressure control valve 5 will be described in detail based on FIG. 1. The high pressure gas flow path 13 is formed in the vertebra 12,
An air supply boat 14 and an output boat 15 are provided at both ends thereof. Flow F! ! Opening/closing part 1 for opening/closing 113
6 is connected to the valve seat 17 and the valve body 18, and is always connected to the spring 1.
It is closed due to one reason.

蓋板20及びダイヤフラム21は複数のボルト22によ
りを椎12の上面に取付けられ、この蓋板20とタイヤ
フラム21との間には上部圧力室23aが形成され、ダ
イヤフラム21の下方には下部圧力室23bが形成され
ている。弁棒24はナツト25によりタイヤフラム21
に固定され、上部圧力室23aの内部圧力が上昇してダ
イヤフラム21か下動されたとき、この弁棒24を介し
て前記開閉部16の弁体18を開放させる。
The cover plate 20 and the diaphragm 21 are attached to the upper surface of the vertebra 12 by a plurality of bolts 22. An upper pressure chamber 23a is formed between the cover plate 20 and the tire flamm 21, and a lower pressure chamber 23a is formed below the diaphragm 21. A chamber 23b is formed. The valve stem 24 is connected to the tire flamm 21 by a nut 25.
When the internal pressure of the upper pressure chamber 23a increases and the diaphragm 21 is moved downward, the valve body 18 of the opening/closing portion 16 is opened via the valve rod 24.

給気路26は前記流路13の給気ボー)14rpJと上
部圧力室23aとを接続するように、を椎12及び蓋板
20に形成され、その途中には絞り用のオリフィス27
が設けられている。連通路24aは流路13の出力ボー
ト15側と下部圧力室23bとを接続するように、弁棒
24の中心に沿って上下方向に形成されている。を磁弁
よりなる給気側弁28は、給気路26を開閉制御するよ
うに蓋板20上に設けられ、必要に応じて上部圧力室2
3a内に高圧気体を導入してその内部圧力を上昇させる
。そして、この上部圧力室23aの内部圧力の上昇によ
り、弁棒24が下降されて開閉部16が開放される。
The air supply passage 26 is formed in the vertebrae 12 and the lid plate 20 so as to connect the air supply bow 14rpJ of the flow passage 13 and the upper pressure chamber 23a, and an orifice 27 for throttling is provided in the middle thereof.
is provided. The communication passage 24a is formed in the vertical direction along the center of the valve rod 24 so as to connect the output boat 15 side of the flow passage 13 and the lower pressure chamber 23b. The air supply side valve 28, which is a magnetic valve, is provided on the cover plate 20 to control the opening and closing of the air supply path 26, and opens and closes the upper pressure chamber 2 as needed.
High pressure gas is introduced into 3a to increase its internal pressure. Then, due to the increase in the internal pressure of the upper pressure chamber 23a, the valve rod 24 is lowered and the opening/closing portion 16 is opened.

排気路29は上部圧力室23aと外部とを連通ずるよう
に蓋板20に形成され、その途中には絞り用のオリフィ
ス30が設けられている。電磁弁よりなる排気側弁31
は、排気W@29を開閉制御するように蓋板20上に設
けられ、必要に応じて上部圧力室23a内の気体を外部
に排出してその内部圧力を低下させる。そして、この上
部圧力室23aの内部圧力の低下により弁棒24が上昇
され、バネ19により弁#−18が上昇されて開閉部1
6が閉鎖される。
The exhaust passage 29 is formed in the cover plate 20 so as to communicate the upper pressure chamber 23a with the outside, and an orifice 30 for throttling is provided in the middle of the exhaust passage 29. Exhaust side valve 31 consisting of a solenoid valve
is provided on the cover plate 20 to control the opening and closing of the exhaust W@29, and discharges the gas in the upper pressure chamber 23a to the outside to lower the internal pressure as necessary. Then, the valve stem 24 is raised due to the decrease in the internal pressure of the upper pressure chamber 23a, and the valve #-18 is raised by the spring 19, and the opening/closing part 1
6 is closed.

圧力センサ32は蓋板20上に設けられ、連通孔33を
介して上部圧力室23aの内部圧力E検出して検出信号
を出力する。カバー34は蓄板20上に取り付けられ、
給気開弁28、排気側弁31及び圧力センサ32を覆っ
ている。
The pressure sensor 32 is provided on the cover plate 20, detects the internal pressure E of the upper pressure chamber 23a through the communication hole 33, and outputs a detection signal. The cover 34 is mounted on the accumulator plate 20,
It covers the air supply opening valve 28, the exhaust side valve 31, and the pressure sensor 32.

気体の排出路35は前記流路13の出力ポート15側と
連通ずるようにを椎12に形成され、その端部には排気
ボート36が設けられている。排出路35を開閉するた
めの開閉部37は弁座38と弁体39とから構成され、
常にはバネ40により閉鎖されている。そして、流路1
3の出力ポート15側の気体圧力が高くなったとき、開
閉部37の弁体39がバネ40に抗して開放され、流路
13内の気体圧力が排気ボート36から排出される。
A gas exhaust path 35 is formed in the vertebra 12 so as to communicate with the output port 15 side of the flow path 13, and an exhaust boat 36 is provided at the end thereof. The opening/closing part 37 for opening and closing the discharge passage 35 is composed of a valve seat 38 and a valve body 39,
It is normally closed by a spring 40. And flow path 1
When the gas pressure on the output port 15 side of 3 becomes high, the valve body 39 of the opening/closing part 37 is opened against the spring 40, and the gas pressure in the flow path 13 is discharged from the exhaust boat 36.

なお、前記ダイヤフラム21はバネ40Aにより上方へ
付勢されている。
Note that the diaphragm 21 is urged upward by a spring 40A.

次に、前記圧力制御弁5を開閉制御するための圧力制御
回路について第3図に基づき詳述すると、入力手段とし
ての入力装置41は、被圧送液体温度センサ、気体温度
センサ等の各種のセンサや液体供給速度等をキー人力に
より設定したりするためのキーボード等から構成され、
被圧送液体2の温度データや圧送量等の外部データを前
記制御装置9に入力する。制御装置9は入力されたデー
タに基づき被圧送液体2の圧送に必要な出力ポート15
の圧力を目標値として設定して、D/A変換器10に出
力する。D/A変換器10は入力された目標値に対応す
る信号をアナログ信号に変換し、設定電圧信号として前
段増幅器42に出力する。
Next, the pressure control circuit for controlling the opening and closing of the pressure control valve 5 will be described in detail based on FIG. It consists of a keyboard, etc. for manually setting the liquid supply speed, etc.
External data such as the temperature data of the liquid 2 to be pressurized and the amount of liquid to be pumped are input to the control device 9 . The control device 9 selects output ports 15 necessary for pressurizing the liquid 2 to be pressurized based on the input data.
The pressure is set as a target value and output to the D/A converter 10. The D/A converter 10 converts a signal corresponding to the input target value into an analog signal, and outputs it to the preamplifier 42 as a set voltage signal.

前段増幅器42は設定電圧信号をゼロ点、スパン調整し
、基準入力信号として偏差増幅器43に出力する。
The preamplifier 42 subjects the set voltage signal to zero point and span adjustment, and outputs it to the deviation amplifier 43 as a reference input signal.

偏差増幅器43は、前記圧力制御弁5内の圧力センサ3
2から増幅器44を介してフィードバックされる検出信
号と、前段増幅器42からの基準入力信号とを比較し、
第4.5図に示すようにその偏差分を増幅して制御偏差
信号を出力する。比較手段としての比較器45.46は
、偏差増幅器43からの制御偏差信号と、基準信号発生
器47から出力された50Hz〜200Hz程度の三角
波若しくは鋸歯状波等の基準信号とを比較し、オン・オ
フの制御動作信号を駆動回路48.49を介して圧力制
御弁5の給気側弁28又は排気側弁31に出力する。そ
して、給気側弁28及び排気側弁31は制御動作信号の
オン・オフ周期に応じたデユーティ比で開閉制御される
The deviation amplifier 43 is connected to the pressure sensor 3 in the pressure control valve 5.
2 through the amplifier 44 and the reference input signal from the previous stage amplifier 42,
As shown in Fig. 4.5, the deviation is amplified and a control deviation signal is output. Comparators 45 and 46 as comparison means compare the control deviation signal from the deviation amplifier 43 with a reference signal such as a triangular wave or sawtooth wave of approximately 50 Hz to 200 Hz output from the reference signal generator 47, and turn on the control deviation signal. - Outputs an OFF control operation signal to the air supply side valve 28 or the exhaust side valve 31 of the pressure control valve 5 via the drive circuits 48 and 49. The intake side valve 28 and the exhaust side valve 31 are controlled to open and close at a duty ratio according to the on/off period of the control operation signal.

この場合、第4図及び第5図に示すように、排気側弁3
1測の比較器46には、給気側弁28測の比較器45に
入力される制御偏差信号に対して反転された制御偏差信
号が入力される。
In this case, as shown in FIGS. 4 and 5, the exhaust side valve 3
A control deviation signal that is inverted with respect to the control deviation signal input to the comparator 45 for the 28th measurement of the intake valve is input to the comparator 46 for the 1st measurement.

さて、第1図は給気側及び排気側の弁28,31が閉じ
一上部圧力室23aと下部圧力室23bとの圧力が低圧
状態でつり合っている状態を示し、この状態では弁!!
24が中立位置にあって上下の開閉部37.16が閉鎖
されている。又、このとき、第2図に示す開閉弁7も閉
鎖されている。
Now, FIG. 1 shows a state in which the valves 28 and 31 on the air supply side and exhaust side are closed, and the pressures in the upper pressure chamber 23a and the lower pressure chamber 23b are balanced in a low pressure state, and in this state, the valves 28 and 31 are closed. !
24 is in the neutral position and the upper and lower opening/closing parts 37.16 are closed. Further, at this time, the on-off valve 7 shown in FIG. 2 is also closed.

この状態において、容器8に液体を注ぐ場合には、入力
装置41のスイッチの操作等に基づいて制御装置9が開
閉弁7を開放動作させる。これと同時に制御装置9はボ
ンベ3内の圧力、気体温度、被圧送液体の温度等のデー
タをもとに、出力ポート15のb適圧力に対応した目標
値を設定して出力する。この出力は第3図に示すD/A
変換器10及び前段増幅器42を介して基準入力信号と
して偏差増幅器43に入力される。
In this state, when pouring liquid into the container 8, the control device 9 opens the on-off valve 7 based on the operation of a switch on the input device 41, etc. At the same time, the control device 9 sets and outputs a target value corresponding to the optimum pressure b of the output port 15 based on data such as the pressure in the cylinder 3, the gas temperature, and the temperature of the liquid to be pressurized. This output is the D/A shown in Figure 3.
The signal is input to the deviation amplifier 43 as a reference input signal via the converter 10 and the preamplifier 42.

一方、この偏差増幅器43には圧力センサ32により検
出された上部圧力室23a内の圧力値に対応するレベル
の信号がフィードバックされる。
On the other hand, a signal at a level corresponding to the pressure value in the upper pressure chamber 23a detected by the pressure sensor 32 is fed back to the deviation amplifier 43.

偏差増幅器43は前記基準入力信号とフィードバック信
号とを比較して上部圧力室23aの圧力と、その目標値
との間の差に対応した制御偏差信号を出力する。この制
御偏差信号は比較器45及び反転回路51を介して比較
器46にそれぞれ入力される。この場合、例えば、上部
圧力室23aの圧力か目標値より少ない場合には、第4
,5図に示すように両比較器45.46に入力される制
御偏差信号か相互に反転しているので、給気側弁28側
の比較器45には給気側弁28の開放側の偏差として、
排気側弁31側の比較器46には閉鎖側の偏差として入
力される。
The deviation amplifier 43 compares the reference input signal with the feedback signal and outputs a control deviation signal corresponding to the difference between the pressure in the upper pressure chamber 23a and its target value. This control deviation signal is input to a comparator 46 via a comparator 45 and an inversion circuit 51, respectively. In this case, for example, if the pressure in the upper pressure chamber 23a is lower than the target value, the fourth
As shown in FIG. As a deviation,
The comparator 46 on the exhaust side valve 31 side is inputted as a deviation on the closing side.

従って、比較器45は基準信号発生器47からの基準信
号をもとにして、偏差に対応した制御動作信号を出力す
るが、比較器46は制御動作信号を全くあるいはほとん
ど出力しない、又、出力ボ−ト15の圧力が目標値より
大きい場合にはこの逆となる。このため、出力ボート1
5が最適の圧力となるように給気側弁28及び排気側弁
31が開閉制御され、適量の気体圧がタンク1内に付与
されて、液体がi適状態で容器8に注がれる。
Therefore, the comparator 45 outputs a control operation signal corresponding to the deviation based on the reference signal from the reference signal generator 47, but the comparator 46 outputs no or almost no control operation signal. The opposite is true if the pressure in the boat 15 is greater than the target value. Therefore, output boat 1
The air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 are controlled to open and close so that the pressure of 5 is optimal, an appropriate amount of gas pressure is applied in the tank 1, and the liquid is poured into the container 8 in an appropriate state.

そして、供給停止のためのスイッチ操作が行われると、
前記開閉弁7か閉じられて液体供給が停止される。
Then, when the switch is operated to stop the supply,
The on-off valve 7 is closed and the liquid supply is stopped.

そして、前記給気側弁28及び排気側弁31の開閉動作
時には、気体圧力や液体温度等の種々の要因に応じて、
あるいはウォータハンマ等の不都合が発生しないように
、制御装置9が最適の目標値を設定し、両弁28.31
の制御量のデータがフィードバックされて目標値と一致
するように制御されるので、最適の液体供給状態を得る
ことができる。
When the air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 open and close, depending on various factors such as gas pressure and liquid temperature,
Alternatively, in order to prevent problems such as water hammer from occurring, the control device 9 sets an optimal target value, and both valves 28, 31
Since the data on the controlled variable is fed back and controlled to match the target value, an optimal liquid supply state can be obtained.

さらに、液体供給が行われていないときには、排気側弁
31が閉じて気体漏洩が防止され、その気体単独での外
部への放出は被圧送液体供給停止時において、ダイヤフ
ラム21の復帰に伴う上部圧力室23aの縮小分だけで
あるから、その排出量はきわめて少ない。特に、飲料水
の自動販売機に使用されるデイスペンサ装置のように、
圧力供給源がボンベになっていて、気体の量が限定され
ている場合には、気体を有効利用することかできる。
Furthermore, when the liquid supply is not being performed, the exhaust side valve 31 is closed to prevent gas leakage, and the gas is released to the outside only when the pressure-fed liquid supply is stopped. Since it is only the reduction of the chamber 23a, the amount of discharge is extremely small. In particular, like dispenser devices used in drinking water vending machines,
When the pressure supply source is a cylinder and the amount of gas is limited, the gas can be used effectively.

[別の実施例] 次に、この発明の第2実施例を、第6図〜第9図に基づ
いて説明する。なお、前記第1実施例と同−又は近似す
る構成については一第1実施例と同一の符号を付して、
それらの詳細な説明を省略する。
[Another Embodiment] Next, a second embodiment of the present invention will be described based on FIGS. 6 to 9. Note that the same or similar configurations as in the first embodiment are designated by the same reference numerals as in the first embodiment.
Their detailed explanation will be omitted.

さて、この実施例の圧力制御弁5は、例えば真空圧を利
用して物品の吸着及び解放動作等を行う場合の真空圧の
制御に具体化したものであって、第6図〜第8図に示す
ように、流路13の出力ボート15がタンク等の負圧機
器に接続される設定圧力口に、給気ボート14が吸引ボ
ン1に接続される真空圧力口に、排気ボート36が大気
を取り入れるための大気圧力口になっている。給気路2
6はダイヤフラム21の下方の下部圧力室23bと大気
とを連通ずるように設けられ、その途中には給気#12
6を開閉制御するための給気側弁28が介装されている
。排気路2つは流路13の真空圧力口14と下部圧力室
23bとを連通ずるように設けられ、その途中には排気
路29を開閉制御するための排気側弁31が介装されて
いる。
Now, the pressure control valve 5 of this embodiment is embodied in the control of vacuum pressure when, for example, suction and release operations of articles are performed using vacuum pressure, and are shown in FIGS. 6 to 8. As shown in the figure, the output boat 15 of the flow path 13 is connected to a set pressure port connected to a negative pressure device such as a tank, the air supply boat 14 is connected to a vacuum pressure port connected to the suction bong 1, and the exhaust boat 36 is connected to the atmosphere. It is an atmospheric pressure port for taking in air. Air supply path 2
Reference numeral 6 is provided to communicate the lower pressure chamber 23b below the diaphragm 21 with the atmosphere.
An air supply side valve 28 for controlling the opening and closing of the valve 6 is interposed. The two exhaust passages are provided to communicate the vacuum pressure port 14 of the flow passage 13 and the lower pressure chamber 23b, and an exhaust side valve 31 for controlling the opening and closing of the exhaust passage 29 is interposed in the middle thereof. .

圧力センサ32は連通孔33を介して設定圧力口15に
接続され、設定圧力を検出して検出信号を出力するよう
になっている。又、ダイヤフラム2.1の上方の上部圧
力室23aは弁棒24の中心の連通路24a及び開閉部
16の弁体18と弁棒24との間を介して設定圧力口1
5に連通され、設定圧力が上部圧力室23aに導かれて
いる。
The pressure sensor 32 is connected to the set pressure port 15 through the communication hole 33, and is configured to detect the set pressure and output a detection signal. Further, the upper pressure chamber 23a above the diaphragm 2.1 is connected to the set pressure port 1 through the communication passage 24a at the center of the valve stem 24 and between the valve element 18 of the opening/closing part 16 and the valve stem 24.
5, and the set pressure is guided to the upper pressure chamber 23a.

そして、第9図に示すように、この実施例においてら、
第1実施例の回路構成とほぼ同様に、圧力センサ32か
ら出力される設定圧力の検出信号と入力信号とが偏差増
幅器43で比較されて偏差増幅が行われ、この偏差信号
と基準信号発生回路47からの基準信号とが、信号比較
回路45及び反転回路51を介して信号比較回路46で
比較加算され、オンオフ信号が駆動回路48.49を介
して給気開弁28及び排気側弁31に入力される。
As shown in FIG. 9, in this embodiment,
Almost the same as the circuit configuration of the first embodiment, the detection signal of the set pressure outputted from the pressure sensor 32 and the input signal are compared in the deviation amplifier 43 to perform deviation amplification, and this deviation signal and the reference signal generation circuit The reference signal from 47 is compared and added in the signal comparison circuit 46 via the signal comparison circuit 45 and the inversion circuit 51, and the on/off signal is sent to the air supply opening valve 28 and the exhaust side valve 31 via the drive circuit 48.49. is input.

このように給気側弁28及び排気側弁310オンオフ信
号のデユーティ比が制御され、偏差が存在するときには
、両弁28.31を駆動して、偏差が小さくなる方向に
下部圧力室23bの圧力か調節される。
In this way, the duty ratios of the on/off signals of the intake side valve 28 and the exhaust side valve 310 are controlled, and when a deviation exists, both valves 28 and 31 are driven to reduce the pressure in the lower pressure chamber 23b. or adjusted.

すなわち、外部からの指令信号が入力信号として制御量
F!@11に入力される。制御回路11内の両差増幅器
43では設定圧力側の圧力をセンサ32で検出した信号
と、入力信号とが比較され、偏差増幅が行なわれる。
That is, a command signal from the outside is used as an input signal to control the amount F! Input to @11. The difference amplifier 43 in the control circuit 11 compares the signal detected by the sensor 32 of the pressure on the set pressure side with the input signal, and performs deviation amplification.

この偏差信号は比較器45において、又、反転回路51
を介して比較器46において基準信号発生回路47から
の信号と比較、加算され、オンオフ信号が駆動回路48
.49へ出力される。
This deviation signal is sent to the comparator 45 and also to the inverting circuit 51.
The comparator 46 compares and adds the signal from the reference signal generation circuit 47 via the on/off signal to the drive circuit 48.
.. 49.

このように弁28.31のオンオフ信号のデユーティ比
が制御される。偏差が存在する時、弁28.31が駆動
され、偏差の小さくなる方向ヘダイヤフラム室23a、
23bの圧力が調節される。
In this way, the duty ratio of the on/off signal of the valve 28.31 is controlled. When a deviation exists, the valve 28.31 is actuated to move the diaphragm chamber 23a in the direction of decreasing deviation;
The pressure at 23b is adjusted.

そして、真空圧力は真空圧力口14より排気側弁31の
2次側に導かれ、給気側弁28、排気側弁31のオンオ
フ動作による操作圧は給気路26通し、パイロット室下
部23bの圧力を設定する。
Then, the vacuum pressure is guided to the secondary side of the exhaust side valve 31 from the vacuum pressure port 14, and the operating pressure due to the on/off operation of the air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 is passed through the air supply path 26 and into the pilot chamber lower part 23b. Set pressure.

給気側弁28の1次側は大気開放であり、以上のことか
ら操作圧は真空から大気圧までが可能となる。
The primary side of the air supply side valve 28 is open to the atmosphere, and from the above, the operating pressure can range from vacuum to atmospheric pressure.

また設定圧力ボート15のエアは弁棒24と弁体の間に
あるオリフィス及び°弁棒24の連通路24aを通りパ
イロット室上部23aに導がれる。
Further, the air in the set pressure boat 15 is guided to the pilot chamber upper part 23a through an orifice between the valve stem 24 and the valve body and a communication passage 24a of the valve stem 24.

制御回路11への入力信号が変化し、パイロット室下部
23bの圧力が増加すると、弁体39が押し上げられ、
大気圧力口36から設定圧力口15ヘエアが流れる。
When the input signal to the control circuit 11 changes and the pressure in the pilot chamber lower part 23b increases, the valve body 39 is pushed up,
Air flows from the atmospheric pressure port 36 to the set pressure port 15 .

圧力の平衡状態から減圧する方向へ入力信号が変化する
と、パイロット室下部23bの圧力は減圧されてより真
空に近くなる。これにより、ダイヤフラム21は押し下
げられ、弁棒24と共に弁体18も下降し、真空圧力口
14ヘエアが流れる。
When the input signal changes in the direction of pressure reduction from the pressure equilibrium state, the pressure in the pilot chamber lower part 23b is reduced and becomes closer to vacuum. As a result, the diaphragm 21 is pushed down, the valve body 18 is also lowered together with the valve rod 24, and air flows to the vacuum pressure port 14.

そして、パイロット室上下23a、23bの圧力が等し
くなった時に平衡状態となる。
Then, when the pressures in the upper and lower pilot chambers 23a and 23b become equal, an equilibrium state is reached.

従って、この第2実鯵例においても、エアの漏洩を最小
限に止めて真空圧の制御を行うことかできる。
Therefore, in this second example as well, the vacuum pressure can be controlled while minimizing air leakage.

次に、この発明の第3実施例を、第10図〜第13図に
基づいて説明する。なお、前記第1及び第2実腫例と同
−又は近似する構成については、両実施例と同一の符号
を付して、それらの詳細な説明を省略する。
Next, a third embodiment of the present invention will be described based on FIGS. 10 to 13. Note that structures that are the same as or similar to those of the first and second actual tumor examples are given the same reference numerals as in both embodiments, and detailed explanation thereof will be omitted.

さて、この実施例の圧力制御弁5も、前述した第2実施
例と同様に、真空圧を利用して物品の吸着及び解放動作
等を行う場合の真空圧の制御に具体化したものであって
、第10図〜第12図に示すように、流路13の設定圧
力口15がタンク等の負圧機器に接続される設定圧力口
に、真空圧力口14が吸引ポンプに接続される真空圧力
口に、供給圧力口36が数hf/−程度の所定圧力を供
給するための供給圧力口になっている。
Now, similarly to the second embodiment described above, the pressure control valve 5 of this embodiment is also designed to control the vacuum pressure when vacuum pressure is used to adsorb and release an article. As shown in FIGS. 10 to 12, the set pressure port 15 of the flow path 13 is a set pressure port connected to a negative pressure device such as a tank, and the vacuum pressure port 14 is a vacuum port connected to a suction pump. A supply pressure port 36 serves as a supply pressure port for supplying a predetermined pressure of about several hf/- to the pressure port.

切換弁52は葺板20上に設けられ、供給圧力口361
1!Iの圧力が給気路26、給気側弁28及び出力側流
路53を介して切換弁52に導かれ、この切換弁52の
切換状態に応じて、流通路54から上部圧力室23aに
、又は流通路55を介して下部圧力室23bに供給され
る。排気口56.57は切換弁52に設けられ、切換弁
52の切換状態に応じて、上部圧力室23a又は下部圧
力室23bの圧力がこの排気口56.57から排出され
る。
The switching valve 52 is provided on the roofing board 20 and has a supply pressure port 361.
1! The pressure of I is led to the switching valve 52 via the air supply path 26, the air supply side valve 28, and the output side flow path 53, and is transferred from the flow path 54 to the upper pressure chamber 23a depending on the switching state of the switching valve 52. , or supplied to the lower pressure chamber 23b via the flow path 55. The exhaust port 56.57 is provided in the switching valve 52, and depending on the switching state of the switching valve 52, the pressure in the upper pressure chamber 23a or the lower pressure chamber 23b is discharged from the exhaust port 56.57.

排気側弁31は給気側弁28の出力側流路53に接続さ
れ、その出力側圧力が排気側弁31の開放時に排気路2
9を通して排出される。第1圧カセンサ32は連通孔3
3を介して設定圧力口15に接続され、設定圧力を検出
して検出信号を出力する。第2圧カセンサ58は吸気側
弁28の出力側流N53に接続され、その出力側圧力を
検出して検出信号を出力する。
The exhaust side valve 31 is connected to the output side flow path 53 of the air supply side valve 28, and the output side pressure is applied to the exhaust path 2 when the exhaust side valve 31 is opened.
It is discharged through 9. The first pressure sensor 32 is connected to the communication hole 3
3 to the set pressure port 15 to detect the set pressure and output a detection signal. The second pressure sensor 58 is connected to the output side flow N53 of the intake side valve 28, detects the output side pressure, and outputs a detection signal.

そして、第13図に示すように、この実施例においては
、第1圧カセンサ32から出力される設定圧力の検出信
号と入力信号とが偏差増幅器43で比較されて偏差増幅
が行われ、この偏差信号と基準信号とか比較器59で比
較されて、駆動回路60を介して切換弁52が切り換え
られる。又、前記偏差増幅器43からの偏差信号と第2
圧力センサ58からの検出信号とが偏差増幅器61で比
較されて偏差増幅され、前述した第2実施例の回路構成
と同様に、その偏差信号と基準信号発生回路47からの
基準信号とが、信号比較器45及び反転口8@51を介
して信号比較器46で比較加算され一オンオフ信号か駆
動回路48.49を介して給気側弁28及び排気側弁3
1に入力される。
As shown in FIG. 13, in this embodiment, the detection signal of the set pressure outputted from the first pressure sensor 32 and the input signal are compared in the deviation amplifier 43 to perform deviation amplification. The signal and the reference signal are compared by a comparator 59, and the switching valve 52 is switched via a drive circuit 60. Further, the deviation signal from the deviation amplifier 43 and the second
The detection signal from the pressure sensor 58 is compared and amplified by the deviation amplifier 61, and similarly to the circuit configuration of the second embodiment described above, the deviation signal and the reference signal from the reference signal generation circuit 47 are converted into a signal. The signal comparator 46 compares and adds the one on/off signal via the comparator 45 and the reversing port 8 @ 51, and the on/off signal is sent to the intake side valve 28 and the exhaust side valve 3 via the drive circuit 48 and 49.
1 is input.

このように第1圧カセンサ32の検出信号に対して入力
信号が大きければ、切換弁52か下部圧力室23bを加
圧できる状態に、又第1圧カセンサ32の検出信号に対
して入力信号が小さければ、切換弁52が上部圧力室2
3aを加圧できる状態に切り換えられ、この状態で給気
側弁28及び排気側弁31のオンオフ信号のデユーティ
比が制御されて、偏差が存在するときには両弁28.3
1を駆動して、偏差が小さくなる方向に上部又は下部圧
力室23a、23bの圧力が調節される。
In this way, if the input signal is larger than the detection signal of the first pressure sensor 32, the switching valve 52 can pressurize the lower pressure chamber 23b, and the input signal is larger than the detection signal of the first pressure sensor 32. If it is smaller, the switching valve 52 will switch to the upper pressure chamber 2.
3a is switched to a state where it can pressurize, and in this state, the duty ratios of the on/off signals of the intake side valve 28 and the exhaust side valve 31 are controlled, and when a deviation exists, both valves 28.3
1, the pressure in the upper or lower pressure chambers 23a, 23b is adjusted in a direction that reduces the deviation.

すなわち、供給圧力口36には5〜6bf/−の圧力が
供給され、これは給気側弁28の入力に専かれる。給気
側弁28の出力は排気側弁31へと導かれ、同時に操作
圧力として切換弁52を介してパイロット室23a、2
3bへと導かれる。
That is, a pressure of 5 to 6 bf/- is supplied to the supply pressure port 36, and this is exclusively used as an input to the air supply side valve 28. The output of the air supply side valve 28 is guided to the exhaust side valve 31, and at the same time, the output is sent to the pilot chambers 23a, 2 via the switching valve 52 as operating pressure.
Which brings us to 3b.

この操作圧力は第2圧力センサ58によって制御回路に
入力され、給気側弁28、排気側弁31がオンオフされ
、パイロット室23a、23bの圧力が操作される。ま
た、第1圧カセンサ32と入力信号の偏差が取られ、切
換弁52が動作される。第1圧カセンサ32の信号に対
して入力信号が大きければパイロット室下部23bを加
圧できるように、逆に小さければパイロット室上部23
aを加圧できるように切り換える。これによって必要最
少のエアで操作圧を制御できる。
This operating pressure is input to the control circuit by the second pressure sensor 58, the air supply side valve 28 and the exhaust side valve 31 are turned on and off, and the pressure in the pilot chambers 23a, 23b is controlled. Further, the deviation between the first pressure sensor 32 and the input signal is determined, and the switching valve 52 is operated. If the input signal is larger than the signal from the first pressure sensor 32, the pilot chamber lower part 23b can be pressurized, and if it is smaller, the pilot chamber upper part 23b can be pressurized.
Switch so that a can be pressurized. This allows the operating pressure to be controlled using the minimum amount of air required.

設定圧力を下げるように入力信号が変化すると、設定圧
力口15の第1圧カセンサ32からの信号と入力信号の
偏差から切換弁52がパイロット室上部23aを加圧で
きるように切換る。この時、パイロット室下部23bは
大気圧となる。
When the input signal changes to lower the set pressure, the switching valve 52 is switched to pressurize the pilot chamber upper part 23a based on the deviation between the input signal and the signal from the first pressure sensor 32 of the set pressure port 15. At this time, the lower part 23b of the pilot chamber becomes atmospheric pressure.

先の偏差信号と操作圧力につながる第1圧カセンサ32
の信号とでもう一度偏差がとられ、この偏差が小さくな
るように給気側弁28、排気側弁31かオンオフされる
。つまり、先の偏差信号に対応する操作圧力がダイヤフ
ラム室上部23aに送られることになる。
A first pressure sensor 32 connected to the previous deviation signal and operating pressure
The deviation is taken again with the signal, and the intake valve 28 and the exhaust valve 31 are turned on and off so that this deviation becomes smaller. In other words, the operating pressure corresponding to the previous deviation signal is sent to the diaphragm chamber upper part 23a.

この時、ダイヤフラム21は押し下げられ、下側の開閉
部16が開き設定圧力口15のエアは真空圧力口14へ
と流れる。
At this time, the diaphragm 21 is pushed down and the lower opening/closing part 16 opens and the air in the set pressure port 15 flows to the vacuum pressure port 14.

設定圧力口15の圧力が下がると、入力信号と第1圧カ
センサ32との偏差が小さくなっていき、操作圧力は大
気圧に近付いていく、このため開閉部16の開度は小さ
くなっていき、偏差がゼロの時第10.11図の平衡状
態となる。
When the pressure at the set pressure port 15 decreases, the deviation between the input signal and the first pressure sensor 32 decreases, and the operating pressure approaches atmospheric pressure, so the opening degree of the opening/closing portion 16 decreases. , when the deviation is zero, the equilibrium state shown in Figure 10.11 is reached.

次に、設定圧力を上げるように入力信号が変化すると、
前記と同様に第1圧カセンサ32と入力信号の偏差から
切換弁52はパイロット室下部23bを加圧できるよう
に動作する(この時パイロット室上部23aは大気圧と
なる)。
Then, when the input signal changes to increase the set pressure,
Similarly to the above, the switching valve 52 operates to pressurize the pilot chamber lower part 23b based on the deviation between the first pressure sensor 32 and the input signal (at this time, the pilot chamber upper part 23a becomes atmospheric pressure).

この偏差信号と操作圧力につながる第2圧力センサ58
の信号とでもう一度偏差をとり、先の偏差信号に追従す
る形で給気側弁28、排気側弁31がオンオフされ、操
作圧力がパイロット室下部23bへ送られる。このため
、ダイヤフラム21は押し上げられ、上側の開閉部37
が開き供給圧力口36のエアが設定圧力口15へ流れる
A second pressure sensor 58 connected to this deviation signal and the operating pressure
The deviation is taken again with the signal, and the intake side valve 28 and the exhaust side valve 31 are turned on and off in a manner that follows the previous deviation signal, and the operating pressure is sent to the pilot chamber lower part 23b. Therefore, the diaphragm 21 is pushed up and the upper opening/closing part 37
opens and air in the supply pressure port 36 flows to the set pressure port 15.

そして、設定圧力口15の圧力、つまり第1圧カセンサ
32の信号が入力信号に近付くとく偏差信号が小さくな
ると)、操作圧力は大気圧に近付いていく。このため開
閉部37の開度は小さくなっていき、偏差がOの時平衡
状態となる。
Then, as the pressure at the set pressure port 15, that is, the signal from the first pressure sensor 32 approaches the input signal (as the deviation signal becomes smaller), the operating pressure approaches atmospheric pressure. Therefore, the opening degree of the opening/closing part 37 becomes smaller, and when the deviation is O, an equilibrium state is reached.

そして、以上の動作においては、供給圧力口36に5〜
6kgf/diの圧力が供給されるため、より反応の速
い真空破壊を行うことができる。
In the above operation, the supply pressure port 36 is
Since a pressure of 6 kgf/di is supplied, vacuum breaking can be performed with a faster reaction.

又、偏差が発生した時に、大気圧となっているパイロッ
ト室23a、23bを真空側へ導くようにすれば一層速
い応答が期待できる。
Further, if a deviation occurs, a faster response can be expected if the pilot chambers 23a and 23b, which are at atmospheric pressure, are guided to the vacuum side.

なお、この発明は前記各実施例の構成に限定されるもの
ではなく、例えば、前述した第3実施例において、供給
圧力口36とは別の圧力口を設けて、この圧力口から圧
力室23a、23bに操作圧力が供給されるように構成
して、応答性を一層高めたりする等、この発明の趣旨か
ら逸脱しない範囲で各部の構成を任意に変更して具体化
することも可能である。
Note that the present invention is not limited to the configuration of each of the embodiments described above. For example, in the third embodiment described above, a pressure port other than the supply pressure port 36 is provided, and the pressure chamber 23a is supplied from this pressure port. , 23b so that the operating pressure is supplied to further improve responsiveness, etc. It is also possible to arbitrarily change the configuration of each part without departing from the spirit of the invention. .

[発明の効果] この発明は、以上説明したように構成されているため、
気体の漏洩を極めて少なくすることかできて、特に、高
圧供給気体の圧力制御において、圧力供給源かボンベに
なっていて、気体の量が限定されている場合には、気体
を有効利用することができるという優れた効果を奏する
[Effect of the invention] Since this invention is configured as explained above,
It is possible to minimize gas leakage, and to make effective use of gas, especially in pressure control of high-pressure supply gas, when the pressure supply source is a cylinder or the amount of gas is limited. It has the excellent effect of being able to

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明を具体化した圧力制御弁の第1実施例
を示す正断面図、第2図はデイスペンサ装置の概要を示
す配管図、第3図は液体供給装置の回路構成を示すブロ
ック図、第4図及び第5図は制御弁における排気側及び
給気側弁のための駆動信号の発生動作を説明する説明図
、第6図はこの発明の圧力制御弁の第2実斃例を示す正
面断面図、第7図はその圧力制御弁の側断面図、第8図
は圧力制御弁を含む制御装置の概要図、第9図は制御装
置の回路構成を示すブロック図、第10図はこの発明の
圧力制御弁の第3実施例を示す正面断面図、第11図は
その圧力制御弁の側断面図、第12図は圧力制御弁を含
む制御装置の概要図、第13図は制御装置の回路構成を
示すブロック図である。 5・・・圧力制御弁、13・・・気体の流路−16・・
・開閉部、21・・・ダイヤフラム、23a、23b・
・・圧力室、28・・・制御手段を構成する給気側弁、
31・・・制御手段を構成する排気側弁。
Fig. 1 is a front sectional view showing a first embodiment of a pressure control valve embodying the present invention, Fig. 2 is a piping diagram showing an overview of the dispenser device, and Fig. 3 is a block diagram showing the circuit configuration of the liquid supply device. 4 and 5 are explanatory diagrams explaining the operation of generating drive signals for the exhaust side and intake side valves in the control valve, and FIG. 6 is a second practical example of the pressure control valve of the present invention. 7 is a side sectional view of the pressure control valve, FIG. 8 is a schematic diagram of the control device including the pressure control valve, FIG. 9 is a block diagram showing the circuit configuration of the control device, and FIG. 11 is a side sectional view of the pressure control valve, FIG. 12 is a schematic diagram of a control device including the pressure control valve, and FIG. 13 is a front sectional view showing a third embodiment of the pressure control valve of the present invention. FIG. 2 is a block diagram showing a circuit configuration of a control device. 5...Pressure control valve, 13...Gas flow path-16...
・Opening/closing part, 21...Diaphragm, 23a, 23b・
...Pressure chamber, 28...Air supply side valve constituting the control means,
31... Exhaust side valve constituting the control means.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、高圧若しくは低圧気体の流路(13)を開閉する開
閉部(16)と、 圧力室(23a)の圧力変動に応じて前記開閉部(16
)を開閉させるダイヤフラム(21)と、前記圧力室(
23a)の圧力を検出する圧力センサ(32)と、 そのセンサ(32)の検出信号に基づき前記圧力室(2
3a)の圧力を電気的に変更制御する制御手段(28,
31)とを設けたことを特徴とする圧力制御弁。
[Claims] 1. An opening/closing part (16) that opens and closes the high-pressure or low-pressure gas flow path (13);
), a diaphragm (21) that opens and closes the pressure chamber (
a pressure sensor (32) for detecting the pressure in the pressure chamber (23a); and a pressure sensor (32) for detecting the pressure in the pressure chamber (23a).
3a) control means (28,
31) A pressure control valve characterized by comprising:
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002243059A (en) * 2001-02-19 2002-08-28 Smc Corp Fluid pressure adjusting device
JP4640894B2 (en) * 2001-03-07 2011-03-02 シーケーディ株式会社 Electro-pneumatic regulator
JP2014146244A (en) * 2013-01-30 2014-08-14 Ckd Corp Electropneumatic regulator
CN114413098A (en) * 2022-02-10 2022-04-29 西安航空学院 Inner cylinder type water hammer-proof buffering exhaust valve

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002243059A (en) * 2001-02-19 2002-08-28 Smc Corp Fluid pressure adjusting device
JP4640894B2 (en) * 2001-03-07 2011-03-02 シーケーディ株式会社 Electro-pneumatic regulator
JP2014146244A (en) * 2013-01-30 2014-08-14 Ckd Corp Electropneumatic regulator
CN114413098A (en) * 2022-02-10 2022-04-29 西安航空学院 Inner cylinder type water hammer-proof buffering exhaust valve
CN114413098B (en) * 2022-02-10 2023-09-05 西安航空学院 Inner cylinder type waterproof hammer buffer exhaust valve

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