JP3161047B2 - Inspection equipment for printed wiring boards - Google Patents

Inspection equipment for printed wiring boards

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JP3161047B2
JP3161047B2 JP17148492A JP17148492A JP3161047B2 JP 3161047 B2 JP3161047 B2 JP 3161047B2 JP 17148492 A JP17148492 A JP 17148492A JP 17148492 A JP17148492 A JP 17148492A JP 3161047 B2 JP3161047 B2 JP 3161047B2
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潔 木村
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【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板の性能
を検査するためのプリント配線板の検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting the performance of a printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に集積回路などを搭載するプリント
配線板については、集積回路などを搭載する以前に、当
該プリント配線板の配線パターンが所期の性能を有する
ことを確認するためにその電気的特性を検査することが
必要である。従来、このプリント配線板の検査を実行す
る方法としては、基本的に、被検査プリント配線板の被
検査電極の配置パターンに応じて配置された検査電極を
有し、この検査電極がワイア配線によりテスターの検査
回路に電気的に接続される個別対応型の検査電極装置を
用いる方法、並びにユニバーサル型と称される縦横に並
ぶ標準格子点位置に検査電極が形成されてなる検査電極
装置を、被検査プリント配線板の被検査電極とこの検査
電極装置の検査電極とを接続するコネクタと組合せて用
いる方法などが知られている。
2. Description of the Related Art Generally, a printed wiring board on which an integrated circuit or the like is mounted is electrically connected to the printed circuit board before mounting the integrated circuit or the like in order to confirm that a wiring pattern of the printed wiring board has an expected performance. It is necessary to check the characteristics. Conventionally, as a method of performing an inspection of this printed wiring board, basically, an inspection electrode arranged according to the arrangement pattern of the electrodes to be inspected of the inspected printed wiring board is provided, and the inspection electrode is formed by wire wiring. A method using an individually corresponding test electrode device electrically connected to a test circuit of a tester, and a test electrode device in which test electrodes are formed at standard lattice points arranged in rows and columns, called a universal type, are applied to the tester. There is known a method of using an electrode to be inspected on an inspection printed wiring board in combination with a connector for connecting the inspection electrode of the inspection electrode device.

【0003】現在、プリント配線板の分野においては、
素子の集積度およびパターンの高密度化が一層推進され
る傾向にあり、これに伴って検査電極装置においても検
査電極の高密度化が必要とされている。しかしながら、
個別対応型の検査電極装置においては、被検査プリント
配線板の被検査電極に対応するパターンの検査電極が必
要であるため、検査回路をユニバーサル型に比較して効
率的に利用することができる利点がある反面、結局、ス
プリングプローブなどを用いて被検査電極と同様に高密
度化された検査電極を形成しなければならず、従って当
該検査電極装置の製作が困難であり、コストが非常に高
いものとなる問題点がある。
At present, in the field of printed wiring boards,
There is a tendency that the degree of integration of elements and the density of patterns are further promoted, and accordingly, the density of inspection electrodes is also required in inspection electrode devices. However,
Inspection electrode devices of the individually compatible type require test electrodes in a pattern corresponding to the electrodes to be inspected on the printed wiring board to be inspected, so that the inspection circuit can be used more efficiently than the universal type. On the other hand, after all, it is necessary to form a high-density test electrode in the same manner as the test target electrode using a spring probe or the like. Therefore, it is difficult to manufacture the test electrode device, and the cost is extremely high. There are problems that can be problematic.

【0004】また、ユニバーサル型検査電極装置におい
ては、テスターの検査回路と対をなす検査電極の隣接す
るもの相互間における距離が一定とされており、高密度
化された被検査電極を有する被検査プリント配線板の検
査のためには、一部の被検査電極については検査電極装
置における最も接近した位置の検査電極に対して電気的
な接続を達成すればよい。しかしながら、他の一部の被
検査電極については、検査電極装置における相当に離隔
した位置の検査電極に電気的に接続させることが必要と
なる場合が多い。これは、被検査電極の密度が検査電極
の密度より相当に高いからである。そして、その結果、
コネクタにおける配線密度を高くする必要があるが、そ
の高密度化にも限度がある。また、実際上、有効に使用
に供することができない検査電極が多く残り、効率的に
も装置としても無駄が多いという問題点がある。
In a universal type test electrode device, the distance between adjacent test electrodes paired with a test circuit of a tester is fixed, and a test target having a high-density test electrode is tested. In order to inspect the printed wiring board, some of the electrodes to be inspected may be electrically connected to the inspection electrode at the closest position in the inspection electrode device. However, it is often necessary to electrically connect some of the other electrodes to be inspected to the inspection electrodes at a considerably separated position in the inspection electrode device. This is because the density of the electrode to be inspected is considerably higher than the density of the inspection electrode. And as a result,
Although it is necessary to increase the wiring density in the connector, there is a limit to the increase in the wiring density. In addition, there is a problem that many test electrodes that cannot be used effectively remain in practice, and that there is much waste in efficiency and as a device.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
プリント配線板の検査装置においては、望まれている被
検査電極の高密度化に十分に対応することが困難であ
り、その結果、検査電極装置の構成が複雑となり、電気
的な接続を達成するためのコネクタにおける配線パター
ンの高密度化を十分に達成することが困難で信頼性の高
い検査を行うことができない。
As described above, it is difficult for the conventional printed wiring board inspection apparatus to sufficiently cope with the desired high density of the electrodes to be inspected. The configuration of the inspection electrode device becomes complicated, and it is difficult to sufficiently achieve a high density of wiring patterns in a connector for achieving electrical connection, so that highly reliable inspection cannot be performed.

【0006】本発明の目的は、基本的に個別対応型の検
査装置でありながら、テスターの検査回路に対する電気
的な接続を高い効率で容易に達成することができ、十分
に高い信頼性をもって高密度化されたプリント配線板の
検査を行うことのできるプリント配線板の検査装置を提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to enable an electrical connection to a test circuit of a tester to be achieved with high efficiency and ease, and to provide a high reliability with sufficiently high reliability. An object of the present invention is to provide a printed wiring board inspection apparatus capable of inspecting a densified printed wiring board.

【0007】本発明の他の目的は、プリント配線板がそ
の両面に被検査電極を有する場合にも、テスターの検査
回路に対する電気的な接続を高い効率で容易に達成する
ことができ、十分に高い信頼性をもって高密度化された
プリント配線板の検査を行うことのできるプリント配線
板の検査装置を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a high-efficiency electrical connection of a tester to a test circuit even when a printed wiring board has electrodes to be tested on both surfaces thereof. It is an object of the present invention to provide a printed wiring board inspection apparatus capable of inspecting a high-density printed wiring board with high reliability.

【0008】本発明の更に他の目的は、被検査プリント
配線板の被検査電極に対する電気的接続システムの異な
る検査機構を容易に代替して利用することができるプリ
ント配線板の検査装置を提供することにある。
Still another object of the present invention is to provide an inspection apparatus for a printed wiring board which can easily replace and use a different inspection mechanism of an electrical connection system for an electrode to be inspected on a printed wiring board to be inspected. It is in.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明のプリント配線
検査装置は、検査すべき被検査プリント配線板上に配
置されるオフグリッドアダプターと、このオフグリッド
アダプター上に配置される検査ヘッドとを有し、前記オ
フグリッドアダプターは、表面に、被検査プリント配線
板の被検査電極に対応するパターンの表面電極を有する
と共に、裏面に、当該表面電極と電気的に接続された格
子点位置に配列された裏面電極を有するピッチ変換ボー
ドと、このピッチ変換ボードの表面と被検査プリント配
線板との間に配置される第1の異方導電性シートとより
なり、前記検査ヘッドは、第2の異方導電性シートと、
この第2の異方導電性シートを介して前記ピッチ変換ボ
ードの裏面電極に電気的に接続される格子状配列の検査
電極を有する検査電極板装置とを有してなるプリント配
線板の検査装置において、 前記検査電極板装置は、複数
の機能領域を有し、この機能領域の各々には互いに同一
の配置で検査電極が配置されていると共に、一の機能領
域と他の機能領域における対応する位置に配置された検
査電極が互いに電気的に接続されて共通化電極が形成
れていることを特徴とする。
The printed wiring board of the present invention
The inspection device, and the off-grid adapter disposed objective printed wiring board to be inspected, and a test head arranged on the off-grid adapter, the off-grid adapter on the surface, the inspection A pitch conversion board having a surface electrode of a pattern corresponding to the electrode to be inspected of the printed wiring board and having, on the back surface, a back electrode arranged at a grid point position electrically connected to the front electrode; A first anisotropic conductive sheet disposed between the surface of the board and the printed wiring board to be inspected, wherein the inspection head comprises a second anisotropic conductive sheet;
Printed wiring via the second anisotropic conductive sheet comprising and a test electrode plate device having inspection electrodes of the lattice array which is electrically connected to the backside electrode of the pitch conversion board
In the wire plate inspection device, the inspection electrode plate device includes a plurality of inspection electrode plate devices.
Functional areas, each of which is identical to each other
The test electrodes are arranged in
Common electrode is formed inspection electrodes arranged in a corresponding position in the band and other functional areas are electrically connected to each other
It is characterized by having been done.

【0010】また、本発明のプリント配線板の検査装置
は、被検査プリント配線板の両面にそれぞれ上記のオフ
グリッドアダプターおよび検査ヘッドが設けられてお
り、被検査プリント配線板の一面側の一方の検査ヘッド
に係る一方の検査電極板装置における共通化電極が、被
検査プリント配線板の他面側の他方の検査ヘッドに係る
他方の検査電極板装置における共通化電極と電気的に接
続されており、互いに電気的に接続されている2つの共
通化電極に係る検査電極は、一方の検査電極板装置と他
方の検査電極板装置における互いに上下に重ならない区
画領域に位置されているものであることを特徴とする。
In the printed wiring board inspection apparatus according to the present invention, the off-grid adapter and the inspection head are provided on both sides of the printed wiring board to be inspected, respectively. The common electrode in one test electrode plate device related to the test head is electrically connected to the common electrode in the other test electrode plate device related to the other test head on the other surface side of the printed wiring board to be tested. The test electrodes related to the two common electrodes that are electrically connected to each other are located in one of the test electrode plate devices and the other test electrode plate device, which are located in non-overlapping regions. It is characterized by.

【0011】更に、本発明のプリント配線板の検査装置
は、オフグリッドアダプターおよび検査ヘッドを被検査
プリント配線板に対して押圧する押圧板を含む押圧機構
を有してなり、前記検査ヘッドは押圧機構に着脱自在に
設けられていることを特徴とする。
Further, the printed wiring board inspection apparatus of the present invention has a pressing mechanism including a pressing plate for pressing the off-grid adapter and the inspection head against the printed wiring board to be inspected. It is characterized in that it is provided detachably on the mechanism.

【0012】[0012]

【作用】以上のような構成によれば、被検査プリント配
線板の或る被検査電極と導通する検査電極が検査電極板
装置の複数の機能領域のいずれにも存在し、従って当該
被検査電極とテスターの検査回路との電気的な接続を大
きな自由度で行うことができると共に、テスターの検査
回路に接続すべき端子数が大幅に減少し、しかも各機能
領域における検査電極を共通化電極とすることにより全
体の検査電極の利用効率が高くなる。
According to the above construction, the inspection electrode which is electrically connected to a certain electrode to be inspected on the inspection target printed wiring board is present in any of the plurality of functional areas of the inspection electrode plate device. Electrical connection with the test circuit of the tester can be made with great flexibility, the number of terminals to be connected to the test circuit of the tester is greatly reduced, and the test electrode in each functional area is shared with the common electrode. By doing so, the utilization efficiency of the entire inspection electrode is increased.

【0013】また、被検査プリント配線板の両面に設け
られた検査電極板装置の各々における上下に重ならない
区画領域の共通化電極に係る検査電極同士を電気的に接
続することにより、一の検査電極とテスターの検査回路
との電気的な接続に更に大きな自由度が得られると共
に、検査回路への接続数を減少させることができる。
[0013] In addition, in each of the inspection electrode plate devices provided on both surfaces of the printed wiring board to be inspected, the inspection electrodes related to the common electrode in the divided area that does not overlap vertically are electrically connected to each other to perform one inspection. A greater degree of freedom can be obtained in the electrical connection between the electrodes and the test circuit of the tester, and the number of connections to the test circuit can be reduced.

【0014】更に、検査ヘッドに係る検査電極板装置を
押圧するための押圧機構に前記検査ヘッドを着脱自在に
設けておくことにより、検査ヘッドおよびオフグリッド
アダプターを取外すことが可能となるので、被検査プリ
ント配線板の被検査電極に対する電気的接続システムの
異なる検査機構を容易に代替して利用することが可能と
なる。
Further, the inspection head and the off-grid adapter can be removed by providing the inspection head detachably in a pressing mechanism for pressing the inspection electrode plate device related to the inspection head. It is possible to easily substitute and use a different inspection mechanism of the electrical connection system for the electrode to be inspected of the inspection printed wiring board.

【0015】[0015]

【実施例】図1は、本発明に係るプリント配線板の検査
装置の一例における要部の構成を示す説明用断面図であ
る。図1において、1は検査すべき被検査プリント配線
板であって、その両面に被検査電極2が形成されてい
る。そして、この被検査プリント配線板1の上面側およ
び下面側に、それぞれ、オフグリッドアダプター10を
介して検査ヘッド20が配置されている。
FIG. 1 is an explanatory sectional view showing the structure of a main part of an example of a printed wiring board inspection apparatus according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a printed wiring board to be inspected, and electrodes 2 to be inspected are formed on both surfaces thereof. An inspection head 20 is arranged on the upper surface side and the lower surface side of the printed wiring board 1 via the off-grid adapter 10, respectively.

【0016】オフグリッドアダプター10は、ピッチ変
換ボード13と、このピッチ変換ボード13と被検査プ
リント配線板1との間に配設される第1の異方導電性シ
ート14とによって構成されており、ピッチ変換ボード
13の被検査プリント配線板1側の表面には、被検査プ
リント配線板1の被検査電極2に相対するパターンの表
面電極11が形成されており、ピッチ変換ボード13の
反対の裏面には、当該表面電極11と電気的に接続され
た裏面電極12が格子点位置に配列された状態で形成さ
れている。
The off-grid adapter 10 includes a pitch conversion board 13 and a first anisotropic conductive sheet 14 disposed between the pitch conversion board 13 and the printed wiring board 1 to be inspected. On the surface of the pitch conversion board 13 on the side of the inspected printed wiring board 1, a surface electrode 11 having a pattern corresponding to the electrode 2 to be inspected of the inspected printed wiring board 1 is formed. On the back surface, a back electrode 12 electrically connected to the front electrode 11 is formed in a state of being arranged at lattice point positions.

【0017】検査ヘッド20は、検査電極板装置22
と、この検査電極板装置22と前記ピッチ変換ボード1
3との間に配設される第2の異方導電性シート23とに
よって構成されており、検査電極板装置22の表面に
は、ピッチ変換ボード13の裏面電極12に適合する格
子状配列、すなわち格子点位置のすべてに配列された状
態で形成された検査電極21が形成されている。この検
査電極板装置22においては、後述するように、テスタ
ーの検査回路30の電極数に対応するよう検査点数を減
少させるために、各検査電極21を共通化電極とするた
めの配線回路28が多層構成で形成されると共に、この
配線回路28の一部により、検査電極板装置22の一端
部に外部引出し端子部29が形成され、この外部引出し
端子部29の各端子は、着脱自在に接続されたコネクタ
25により、テスターの検査回路30に接続されてい
る。
The inspection head 20 includes an inspection electrode plate device 22
And the inspection electrode plate device 22 and the pitch conversion board 1
3 and a second anisotropic conductive sheet 23 disposed between the first electrode 3 and the second electrode 3. That is, the inspection electrodes 21 formed in a state of being arranged at all of the lattice point positions are formed. In the test electrode plate device 22, as will be described later, in order to reduce the number of test points so as to correspond to the number of electrodes of the test circuit 30 of the tester, a wiring circuit 28 for using each test electrode 21 as a common electrode is provided. An external lead terminal 29 is formed at one end of the inspection electrode plate device 22 by a part of the wiring circuit 28, and each terminal of the external lead terminal 29 is detachably connected. The connector 25 is connected to the test circuit 30 of the tester.

【0018】31は上面側の検査ヘッド20に係る検査
電極板装置22を下方に押圧するための押圧板であり、
図示しない押圧機構に着脱自在に設けられている。ま
た、この押圧板31は、その押圧方向(図において下
方)における基準レベル、すなわち押圧操作が開始され
ていない基準のレベルが調整可能に設けられている。そ
して、下面側の検査電極板装置22の下面には弾性緩衝
材よりなる受け板32が配置されている。
Reference numeral 31 denotes a pressing plate for pressing the test electrode plate device 22 of the test head 20 on the upper surface side downward.
It is provided detachably on a pressing mechanism (not shown). The pressing plate 31 is provided so as to be able to adjust a reference level in the pressing direction (downward in the figure), that is, a reference level at which the pressing operation has not been started. A receiving plate 32 made of an elastic cushioning material is arranged on the lower surface of the inspection electrode plate device 22 on the lower surface side.

【0019】検査ヘッド20における検査電極板装置2
2について具体的に説明すると、図2は、検査電極板装
置22として用いられる検査電極エレメント26を示
す。この検査電極エレメント26は、矩形の板状絶縁性
基体の一面に、いわゆるユニバーサル配列に従い、縦横
に並ぶ標準格子点位置に検査電極pが形成されて構成さ
れている。この検査電極エレメント26は、その一面の
領域が鎖線で示すように縦方向および横方向において各
々2分割されて互いに等しい矩形の合計4つの機能領域
A,B,CおよびD(図2で左上、右上、左下および右
下の順)が形成されており、また機能領域A〜Dの各々
においては、互いに同一の配置で縦横に並ぶ検査電極p
を有する。
Inspection electrode plate device 2 in inspection head 20
FIG. 2 shows a test electrode element 26 used as the test electrode plate device 22. The inspection electrode element 26 is configured such that an inspection electrode p is formed on one surface of a rectangular plate-shaped insulative base in accordance with a so-called universal arrangement at standard lattice points arranged vertically and horizontally. The inspection electrode element 26 has a total of four functional areas A, B, C, and D (an upper left in FIG. 2, (In the order of upper right, lower left, and lower right), and in each of the functional regions A to D, the inspection electrodes p arranged in the same arrangement vertically and horizontally in the same arrangement.
Having.

【0020】今、機能領域A〜Dの各々において、縦m
行、横n列で並ぶ検査電極pの特定の位置にあるものを
特定するために、第m行第n列の位置にある検査電極p
の番地表示を(m,n)とし、さらに機能領域までを特
定する場合には、当該番地表示の先頭に機能領域を示す
記号A〜Dを付して表わすこととする。例えば、機能領
域Aにおける第1行第1列にある検査電極はA(1,
1)で表わされる。
Now, in each of the functional areas A to D, the length m
In order to specify the inspection electrode p located at a specific position in the rows and n columns, the inspection electrode p at the position of the mth row and the nth column is specified.
Is designated as (m, n), and when the function area is further specified, symbols A to D indicating the function area are added to the head of the address display. For example, the test electrode in the first row and first column in the functional area A is A (1,
It is represented by 1).

【0021】検査電極エレメント26の機能領域A〜D
の各々における対応位置にある検査電極pは、接続部材
によって互いに電気的に接続されている。すなわち、同
一の番地表示(m,n)を有する検査電極pは各機能領
域A〜Dの各々にあって合計4つ存在するが、これら同
一の番地表示を有する4つの検査電極pを互いに電気的
に接続させるのである。この互いに電気的に接続された
検査電極をこの明細書において「共通化電極」といい、
P(m,n)で表わすこととする。従って、或る共通化
電極P(m,n)は、電気的に接続されている4つの分
岐された端子としての検査電極A(m,n)、B(m,
n),C(m,n)およびD(m,n)よりなるものと
なる。
Functional areas A to D of test electrode element 26
Are electrically connected to each other by a connection member. That is, there are a total of four test electrodes p having the same address indication (m, n) in each of the functional areas A to D, but the four test electrodes p having the same address indication are electrically connected to each other. The connection is made. The test electrodes electrically connected to each other are referred to as “common electrodes” in this specification,
It is represented by P (m, n). Therefore, one common electrode P (m, n) is connected to the test electrodes A (m, n) and B (m, n) as four branched terminals that are electrically connected.
n), C (m, n) and D (m, n).

【0022】以上の同一の番地表示(m,n)を有する
検査電極の電気的な接続は、適宜の接続部材によって達
成されればよく、その具体的な構成乃至手段は限定され
るものではない。図1の実施例における検査電極板装置
22においては、上記のような検査電極エレメント26
の絶縁性基体に配線回路28が多層に形成されることに
より、接続部材が構成されているが、適宜のリードワイ
アにより接続部材を構成することも可能である。そし
て、検査電極エレメント26の検査電極pが、この検査
電極板装置22の検査電極21を形成する。
The electrical connection of the test electrodes having the same address indication (m, n) may be achieved by appropriate connection members, and the specific configuration and means are not limited. . In the test electrode plate device 22 in the embodiment of FIG. 1, the test electrode element 26 as described above is used.
The connection member is formed by forming the wiring circuits 28 in multiple layers on the insulating base described above, but the connection member may be formed by an appropriate lead wire. Then, the inspection electrode p of the inspection electrode element 26 forms the inspection electrode 21 of the inspection electrode plate device 22.

【0023】図示の例における第1の異方導電性シート
14および第2の異方導電性シート23は、いずれもシ
ートの厚み方向に導電性を有している。そして、第2の
異方導電性シート23は、検査ヘッド20の検査電極2
1に対応した位置に配列された多数の導電路形成部24
が少なくとも一面において厚み方向に突起状に形成され
ており、電気的な接触安定性を向上させる機能を有して
いる。
Both the first anisotropic conductive sheet 14 and the second anisotropic conductive sheet 23 in the illustrated example have conductivity in the thickness direction of the sheet. Then, the second anisotropic conductive sheet 23 is provided on the inspection electrode 2 of the inspection head 20.
Numerous conductive path forming portions 24 arranged at positions corresponding to 1
Are formed in at least one surface in a protruding shape in the thickness direction, and have a function of improving electrical contact stability.

【0024】以上のような構成のプリント配線板の検査
装置においては、押圧機構の押圧板31と受け板32と
の間に、オフグリッドアダプター10および検査ヘッド
20を介して被検査プリント配線板1を押圧することに
より、被検査プリント配線板1の被検査電極2の各々が
検査ヘッド20の検査電極21の対応する位置にあるも
と電気的に接続され、これにより、テスターの検査回
路30に電気的に接続された状態となって所期の検査が
行われる。この押圧状態においては、下面側の受け板3
2が弾性緩衝材よりなるため、押圧板31により検査ヘ
ッド20およびオフグリッドアダプター10に作用され
る押圧力は全体に均一な圧力分布のものとなる。
In the inspection apparatus for a printed wiring board having the above configuration, the printed wiring board 1 to be inspected is interposed between the pressing plate 31 of the pressing mechanism and the receiving plate 32 via the off-grid adapter 10 and the inspection head 20. Is pressed, each of the electrodes 2 to be inspected of the inspected printed wiring board 1 is located at a position corresponding to the inspection electrode 21 of the inspection head 20.
It is electrically connected to the, thereby, the desired inspection in a state of being electrically connected to the test circuit 30 of the tester is performed. In this pressed state, the lower receiving plate 3
Since 2 is made of an elastic cushioning material, the pressing force applied to the inspection head 20 and the off-grid adapter 10 by the pressing plate 31 has a uniform pressure distribution as a whole.

【0025】而して、検査ヘッド20の検査電極板装置
22においては、その複数の機能領域において同一の配
置状態で検査電極21が形成されていると共に、各機能
領域における対応する位置にある検査電極21が配線回
路28によって互いに電気的に接続されて共通化電極と
されているため、或る被検査電極2と導通する検査電極
21が各機能領域のいずれにも存在し、従って当該被検
査電極2とテスターの検査回路30との電気的な接続を
大きな自由度で行うことができると共に、テスターの検
査回路30に接続すべき端子数は、共通化電極の数でよ
いから、検査電極21の総数に比して大幅に減少する。
その結果、被検査プリント配線板1上の被検査電極2が
特定の個所に非常に高密度化された状態に形成されたも
のであっても、当該個所とは離隔した機能領域の共通化
電極を利用して、すなわち、いわば当該共通化電極によ
って分散された位置の検査電極を利用することにより、
所要の電気的な接続を容易に達成することができると共
に、高い信頼性の検査を実行することができる。
In the inspection electrode plate device 22 of the inspection head 20, the inspection electrodes 21 are formed in the same arrangement state in the plurality of functional areas, and the inspection electrodes 21 at the corresponding positions in the respective functional areas are formed. Since the electrodes 21 are electrically connected to each other by the wiring circuit 28 to form a common electrode, the test electrodes 21 that are electrically connected to a certain test target electrode 2 are present in each of the functional regions. The electrical connection between the electrode 2 and the test circuit 30 of the tester can be made with a large degree of freedom, and the number of terminals to be connected to the test circuit 30 of the tester may be the number of common electrodes. Significantly reduced compared to the total number of
As a result, even if the electrode 2 to be inspected on the inspected printed wiring board 1 is formed in a highly densified state at a specific location, the common electrode of the functional region separated from the location In other words, by using the test electrodes at positions dispersed by the common electrode,
The required electrical connections can be easily achieved and a highly reliable test can be performed.

【0026】また、検査電極板装置22において、検査
電極エレメント26の各機能領域における検査電極pを
共通化電極とすることにより、検査電極エレメント26
の全体の検査電極pの利用効率が高くなるため、無駄な
検査電極が大幅に減少し、極めて高い効率で検査を実施
することができる。
In the inspection electrode plate device 22, the inspection electrode p in each functional area of the inspection electrode element 26 is used as a common electrode.
Since the use efficiency of the entire inspection electrode p is increased, unnecessary inspection electrodes are significantly reduced, and the inspection can be performed with extremely high efficiency.

【0027】図3は、本発明の他の実施例を示す。この
図においては、被検査プリント配線板1の上面側に配置
される一方の検査電極板装置50、被検査プリント配線
板1の下面側に配置される他方の検査電極板装置60お
よびその関連部分のみが示されている。この例において
は、一方の検査電極板装置50は、一方向(図における
X方向)に並ぶ2つの機能領域50A,50Bが形成さ
れており、各機能領域50A,50Bにおいては同一の
配置状態で検査電極pが形成されており、各機能領域5
0A,50Bにおいて同一の位置にある検査電極p同
士、例えば機能領域50Aの検査電極50A(1,1)
と機能領域50Bの検査電極50B(1,1)とが接続
部材51によって電気的に接続されている。この図3に
おいて、接続部材51はワイアより成るもののように示
してあるが、実際には既述のように多層配線回路による
ことが好ましい。
FIG. 3 shows another embodiment of the present invention. In this figure, one test electrode plate device 50 arranged on the upper surface side of the printed wiring board 1 to be inspected, the other test electrode plate device 60 arranged on the lower surface side of the printed wiring board 1 to be inspected, and related parts thereof Only shown. In this example, one test electrode plate device 50 is formed with two functional regions 50A and 50B arranged in one direction (the X direction in the drawing), and the functional regions 50A and 50B have the same arrangement state. An inspection electrode p is formed, and each functional region 5
Inspection electrodes p at the same position in 0A and 50B, for example, inspection electrode 50A (1, 1) in functional area 50A
The test electrode 50B (1, 1) in the functional region 50B is electrically connected by the connection member 51. In FIG. 3, the connection member 51 is shown as being made of wire, but it is actually preferable to use a multilayer wiring circuit as described above.

【0028】また、他方の検査電極板装置60において
も、一方の検査電極板装置50におけると全く同様に、
X方向に並ぶ2つの機能領域60A,60Bが形成され
ており、各機能領域60A,60Bにおいて同一の位置
にある検査電極p同士が接続部材61によって電気的に
接続されている。
Also, in the other inspection electrode plate device 60, the same as in the one inspection electrode plate device 50,
Two functional regions 60A and 60B arranged in the X direction are formed. In each functional region 60A and 60B, the inspection electrodes p at the same position are electrically connected by the connection member 61.

【0029】そして、一方の検査電極板装置50の共通
化電極は、各々、他方の検査電極板装置60における共
通化電極と、第2の接続部材70により、更に互いに電
気的に接続される。このように第2の接続部材70によ
って互いに電気的に接続される2つの共通化電極に係る
検査電極は、一方の検査電極板装置50と他方の検査電
極板装置60における互いに上下に重ならない区画領域
に位置されているものである。
The common electrode of one test electrode plate device 50 is further electrically connected to the common electrode of the other test electrode plate device 60 by the second connecting member 70. The test electrodes related to the two common electrodes electrically connected to each other by the second connection member 70 in this manner are sections of the one test electrode plate device 50 and the other test electrode plate device 60 that do not vertically overlap each other. It is located in the area.

【0030】例えば、図3において、一方の検査電極板
装置50を、区画線Dによって示すように、前記のX方
向に対して直角のY方向に並ぶ2つの互いに同様の区画
領域50a,50bに区画すると共に、他方の検査電極
板装置60をも同様にしてY方向に並ぶ2つの互いに同
様の区画領域60a,60bに区画する。ここで、図の
例においては、説明のために、各区画領域には、いずれ
も11個の検査電極pが存在する状態とされている。
For example, in FIG. 3, one of the inspection electrode plate devices 50 is, as indicated by the division line D, placed in two similar division regions 50a and 50b arranged in the Y direction perpendicular to the X direction. In addition to the division, the other inspection electrode plate device 60 is similarly divided into two similar division regions 60a and 60b arranged in the Y direction. Here, in the example of the figure, for the sake of explanation, each of the divided regions is in a state where 11 inspection electrodes p are present.

【0031】そして、一方の検査電極板装置50の区画
領域50aと上下に重ならない他方の検査電極板装置6
0の区画領域60bとにおいて、並びに区画領域50b
と区画領域60aとにおいて、対応する順序の共通化電
極に係る検査電極p同士を電気的に接続する。図におい
ては、機能領域50Bに属し区画領域50aに属する検
査電極50B(1,1)と、機能領域60Bに属し区画
領域60bに属する検査電極60B(1,12)とが接続
部材70Aによって電気的に接続され、また、機能領域
50Aに属し区画領域50bに属する検査電極50A
(1,12)と、機能領域60Aに属し区画領域60aに
属する検査電極60A(1,1)とが接続部材70Bに
よって電気的に接続されている。そして、他の検査電極
pについても同様にして第2の接続部材70によって電
気的な接続がなされる。
The other test electrode plate device 6 which does not vertically overlap the defined area 50a of one test electrode plate device 50
0 and the divided area 50b
The test electrodes p related to the common electrodes in the corresponding order are electrically connected to each other in the partition region 60a. In the drawing, the test electrode 50B (1, 1) belonging to the functional area 50B and belonging to the partitioned area 50a and the test electrode 60B (1, 12 ) belonging to the functional area 60B and belonging to the partitioned area 60b are electrically connected by the connecting member 70A. And a test electrode 50A belonging to the functional area 50A and belonging to the partitioned area 50b.
(1, 12 ) and the test electrodes 60A (1, 1) belonging to the functional area 60A and belonging to the partitioned area 60a are electrically connected by the connecting member 70B. Then, the other test electrodes p are similarly electrically connected by the second connection member 70.

【0032】この実施例においては、各検査電極板装置
50および60の各々における機能領域が2つであって
各機能領域間における対応する検査電極同士が電気的に
接続されており、更に一方の検査電極板装置50と他方
の検査電極板装置60との間において、上下に重ならな
い区画領域における共通化電極に係る検査電極同士が電
気的に接続されているため、この点においても既述の共
通化電極の場合と同様の原理により、一の検査電極pと
テスターの検査回路30との電気的な接続に大きな自由
度が得られると共に、当該検査回路30への接続数を減
少させることができる。
In this embodiment, each of the test electrode plate devices 50 and 60 has two functional areas, and the corresponding test electrodes between the functional areas are electrically connected to each other. Since the test electrodes related to the common electrode in the divided regions that do not overlap vertically are electrically connected between the test electrode plate device 50 and the other test electrode plate device 60, the above-described point is also applied to this point. According to the same principle as in the case of the common electrode, a large degree of freedom can be obtained in the electrical connection between one test electrode p and the test circuit 30 of the tester, and the number of connections to the test circuit 30 can be reduced. it can.

【0033】そして、この例においては、各検査電極板
装置50および60の各々における機能領域が2つであ
るために、各機能領域間における対応する検査電極同士
の電気的な接続のための接続部材51,61の配置が容
易であり、多層配線回路として容易に実現することがで
きる。
In this example, since each of the test electrode plate devices 50 and 60 has two functional areas, the connection for electrical connection between the corresponding test electrodes between the functional areas is performed. The arrangement of the members 51 and 61 is easy, and it can be easily realized as a multilayer wiring circuit.

【0034】以上において、実際の第2の接続部材70
による電気的な接続は、例えばテスターの検査回路30
に至る電気通路の配線において実施することもできる。
すなわち、一方の検査電極板装置50からテスターの検
査回路30に至る配線と、他方の検査電極板装置60か
らテスターの検査回路30に至る配線とが、適宜の位置
で接続されればよい。更に、この電気的な接続は、テス
ターの検査回路30において実現することもできる。こ
のように、配線上で第2の接続部材による電気的な接続
を達成する場合には、実際には当該第2の接続部材を各
検査電極板装置間に設ける必要がないので、上下の検査
ヘッド20間の空間における構成を複雑化することが回
避される。
In the above, the actual second connecting member 70
Is electrically connected to the test circuit 30 of the tester, for example.
It can also be implemented in the wiring of the electrical path leading to.
That is, the wiring from one test electrode plate device 50 to the test circuit 30 of the tester and the wiring from the other test electrode plate device 60 to the test circuit 30 of the tester may be connected at appropriate positions. Further, this electrical connection can be realized in the test circuit 30 of the tester. As described above, when the electrical connection by the second connection member is achieved on the wiring, it is not necessary to actually provide the second connection member between the inspection electrode plate devices. The configuration in the space between the heads 20 is not complicated.

【0035】また、既述のように、検査装置を構成する
上面側の検査ヘッド20に係る検査電極板装置22を下
方に押圧するための押圧板を押圧機構に着脱自在に設け
ておくことにより、検査ヘッド20およびオフグリッド
アダプター10を取外すことが可能となるので、被検査
プリント配線板の被検査電極に対する電気的接続システ
ムの異なる検査機構を容易に代替して利用することがで
き、そのような検査機構の利点を有効に活用することが
できる。
As described above, a pressing plate for pressing the inspection electrode plate device 22 of the inspection head 20 on the upper surface side constituting the inspection device downward is provided detachably on the pressing mechanism. In addition, since the inspection head 20 and the off-grid adapter 10 can be removed, different inspection mechanisms of the electrical connection system for the electrodes to be inspected on the inspected printed wiring board can be easily replaced and used. The advantage of a simple inspection mechanism can be effectively utilized.

【0036】例えば、図4に示すように、端子保持板4
2においてスプリングプローブ41が被検査プリント配
線板1の被検査電極2の配置パターンに対応して配置さ
れ、ワイア配線43によってスプリングプローブ41が
テスターの検査回路30に電気的に接続されて使用され
る個別対応型検査機構80が広く使用されているが、こ
のような個別対応型検査機構80を、検査ヘッド20お
よびオフグリッドアダプター10の代わりに交換して用
いることが容易にであり、これにより、既存の設備の無
用化乃至荒廃が回避される。
For example, as shown in FIG.
In 2, the spring probe 41 is arranged corresponding to the arrangement pattern of the electrode 2 to be inspected on the inspected printed wiring board 1, and the spring probe 41 is electrically connected to the inspection circuit 30 of the tester by the wire wiring 43 and used. Although the individualized inspection mechanism 80 is widely used, it is easy to replace and use such an individualized inspection mechanism 80 instead of the inspection head 20 and the off-grid adapter 10, Useless or degraded existing equipment is avoided.

【0037】このように、電気的接続システムの異なる
他の検査機構を代替して利用する場合においては、押圧
板31を、その押圧方向(図において下方)における基
準レベルが調整可能に設けておくことにより、当該他の
検査機構の全体の厚みが異なる場合にも十分に確実に押
圧機構を使用することができる。更に、コネクタ25を
も着脱自在としておくことにより、テスターの検査回路
への接続機構をも共通に使用することが可能となる。
As described above, when another inspection mechanism having a different electrical connection system is used instead, the pressing plate 31 is provided so that the reference level in the pressing direction (downward in the figure) can be adjusted. Thus, the pressing mechanism can be used sufficiently and reliably even when the other inspection mechanisms have different overall thicknesses. Further, by making the connector 25 detachable, it is possible to commonly use a mechanism for connecting the tester to the inspection circuit.

【0038】[0038]

【発明の効果】請求項1の発明のプリント配線板の検査
装置は、オフグリッドアダプターにおけるピッチ変換ボ
ードが、表面に、被検査プリント配線板の被検査電極に
対応するパターンの表面電極を有するものであることに
より、基本的に個別対応型の検査装置であり、しかも、
検査ヘッドにおける複数の機能領域の各々における対応
する検査電極が互いに電気的に接続されて共通化電極が
形成されていることにより、検査電極板装置において
は、被検査プリント配線板の或る被検査電極に接続され
る検査電極がいずれの機能領域にも存在しており、その
結果、被検査プリント配線板の被検査電極とテスターの
検査回路との電気的な接続を高い効率で、かつ大きな自
由度で容易に達成することができ、十分に高い信頼性を
もって高密度化されたプリント配線板の検査を行うこと
ができる
The inspection of the printed wiring board according to the first aspect of the present invention.
The device uses a pitch conversion button on the off-grid adapter.
To the electrodes to be inspected on the printed wiring board to be inspected.
Having a corresponding pattern of surface electrodes
It is basically a personalized inspection system , and
Correspondence in each of multiple functional areas in the inspection head
Test electrodes are electrically connected to each other,
By being formed, in the inspection electrode plate device
Is connected to an electrode to be inspected of the printed circuit board to be inspected.
Test electrodes exist in each functional area,
As a result, the electrical connection between the electrode to be inspected of the printed circuit board to be inspected and the inspection circuit of the tester can be easily achieved with high efficiency and with a large degree of freedom, and the density is increased with sufficiently high reliability. Inspection of printed wiring boards
Can be .

【0039】しかも、検査ヘッドは、ユニバーサル配置
で検査電極が配列されている検査電極板装置を利用する
にも拘わらず、当該検査電極が共通化電極を形成してい
ることにより、ユニバーサル配置の検査電極のうちの有
効に使用されないものの数が減少して有効に使用される
ものの数が増加するため、被検査プリント配線板の被検
査領域における被検査電極の密度が同一である場合に
は、共通化電極が形成されない場合に比して、より大き
い面積の被検査領域を検査対象として当該被検査領域に
おける被検査電極について検査することができ、かつ、
異方導電性シートを使用するオフグリッドアダプターに
より高い信頼性をもってプリント配線板の検査を行うこ
とができる。
In addition, although the inspection head uses the inspection electrode plate device in which the inspection electrodes are arranged in the universal arrangement, the inspection electrodes form a common electrode, so that the inspection in the universal arrangement is performed. Yes of the electrodes
The number of things that are not used effectively decreases and they are used effectively
Because the number of things increases, the inspection of the printed circuit board
The density of the electrodes to be inspected in the inspection area is the same
As compared with the case where the common electrode is not formed, it is possible to inspect the inspected electrode in the inspected region with the inspected region having a larger area as an inspection target , and
An off-grid adapter using an anisotropic conductive sheet can inspect a printed wiring board with high reliability.

【0040】請求項2の発明によれば、プリント配線板
がその両面に被検査電極を有する場合にも、被検査プリ
ント配線板の両面に設けられた検査電極板装置の各々に
おける上下に重ならない区画領域の共通化電極に係る検
査電極同士を電気的に接続することにより、被検査電極
とテスターの検査回路との電気的な接続に更に大きな自
由度が得られると共に、当該検査回路に対する接続端子
数を減少させることができる。
According to the second aspect of the present invention, even when the printed wiring board has the electrodes to be inspected on both sides thereof, the inspection electrode plate devices provided on both sides of the inspected printed wiring board do not overlap vertically. By electrically connecting the test electrodes related to the common electrode of the divided area, a greater degree of freedom is obtained in the electrical connection between the test electrode and the test circuit of the tester, and a connection terminal for the test circuit is provided. The number can be reduced.

【0041】請求項3の発明によれば、検査ヘッドに係
る検査電極板装置を押圧するための押圧機構に検査ヘッ
ドを着脱自在に設けておくことにより、検査ヘッドおよ
びオフグリッドアダプターを取外すことが可能となるの
で、被検査プリント配線板の被検査電極に対する電気的
接続システムの異なる検査機構を容易に代替して利用す
ることができる。
According to the third aspect of the present invention, the inspection head and the off-grid adapter can be removed by providing the inspection head in a pressing mechanism for pressing the inspection electrode plate device related to the inspection head in a detachable manner. Since it becomes possible, it is possible to easily substitute and use a different inspection mechanism of the electrical connection system for the electrode to be inspected of the inspected printed wiring board.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプリント配線板の検査装置の一実施例
における要部の構成を示す説明用断面図である。
FIG. 1 is an explanatory sectional view showing a configuration of a main part in an embodiment of a printed wiring board inspection apparatus according to the present invention.

【図2】図1における検査電極板装置として用いられる
検査電極エレメントの説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a test electrode element used as the test electrode plate device in FIG.

【図3】本発明の他の実施例における2つの検査電極板
装置における構成を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration of two inspection electrode plate devices according to another embodiment of the present invention.

【図4】個別対応型検査機構の一例の構成を示す説明図
である。
FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating a configuration of an example of an individualized inspection mechanism.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被検査プリント配線板 2 被検査電極 10 オフグリッドアダプター 11 表面電極 12 裏面電極 13 ピッチ変
換ボード 14 第1の異方導電性シート 20 検査ヘッ
ド 21 検査電極 22 検査電極
板装置 23 第2の異方導電性シート 24 導電路形
成部 25 コネクタ 26 検査電極
エレメント 28 配線回路 29 外部引出
し端子部 30 検査回路 31 押圧板 32 弾性緩衝材 41 スプリン
グプローブ 42 端子保持板 43 ワイア配
線 50 一方の検査電極板装置 50A,50B
機能領域 50a,50b 区画領域 60A,60B
機能領域 60a,60b 区画領域 51 接続部材 60 他方の検査電極板装置 61 接続部材 70,70A,70B 第2の接続部材 80 個別対応型検査機構 p 検査電極 A,B,C,D 機能領域
REFERENCE SIGNS LIST 1 printed wiring board to be inspected 2 electrode to be inspected 10 off-grid adapter 11 front electrode 12 back electrode 13 pitch conversion board 14 first anisotropic conductive sheet 20 inspection head 21 inspection electrode 22 inspection electrode plate device 23 second anisotropic Conductive sheet 24 Conductive path forming part 25 Connector 26 Test electrode element 28 Wiring circuit 29 External lead-out terminal part 30 Test circuit 31 Press plate 32 Elastic buffer material 41 Spring probe 42 Terminal holding plate 43 Wire wiring 50 One test electrode plate device 50A , 50B
Functional area 50a, 50b Partition area 60A, 60B
Function area 60a, 60b Partition area 51 Connection member 60 The other inspection electrode plate device 61 Connection member 70, 70A, 70B Second connection member 80 Individually compatible inspection mechanism p Inspection electrode A, B, C, D Functional area

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/28 - 31/3193 G01R 31/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01R 31/28-31/3193 G01R 31/02

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 検査すべき被検査プリント配線板上に配
置されるオフグリッドアダプターと、このオフグリッド
アダプター上に配置される検査ヘッドとを有し、 前記オフグリッドアダプターは、表面に、被検査プリン
ト配線板の被検査電極に対応するパターンの表面電極を
有すると共に、裏面に、当該表面電極と電気的に接続さ
れた格子点位置に配列された裏面電極を有するピッチ変
換ボードと、このピッチ変換ボードの表面と被検査プリ
ント配線板との間に配置される第1の異方導電性シート
とよりなり、 前記検査ヘッドは、第2の異方導電性シートと、この第
2の異方導電性シートを介して前記ピッチ変換ボードの
裏面電極に電気的に接続される格子状配列の検査電極を
有する検査電極板装置とを有してなるプリント配線板の
検査装置において、 前記検査電極板装置は、複数の機能領域を有し、この機
能領域の各々には互いに同一の配置で検査電極が配置さ
れていると共に、一の機能領域と他の機能領域における
対応する位置に配置された検査電極が互いに電気的に接
続されて共通化電極が形成されていることを特徴とする
プリント配線板の検査装置。
1. An off-grid adapter arranged on a printed wiring board to be inspected and an inspection head arranged on the off-grid adapter , wherein the off-grid adapter has a surface to be inspected. A pitch conversion board having a surface electrode of a pattern corresponding to the electrode to be inspected of the printed wiring board and having, on the back surface, a back electrode arranged at a grid point position electrically connected to the front electrode; A first anisotropically conductive sheet disposed between the surface of the board and the printed wiring board to be inspected, wherein the inspection head comprises a second anisotropically conductive sheet and the second anisotropically conductive sheet. A test electrode plate device having a grid-like arrangement of test electrodes electrically connected to a back electrode of the pitch conversion board via a conductive sheet.
In the inspection device, the inspection electrode plate device has a plurality of functional areas.
Inspection electrodes are arranged in the same
Together is, inspection of the printed wiring board, wherein a common electrode corresponding disposed positions the inspection electrodes is electrically connected to each other are formed in one functional area and other functional areas apparatus.
【請求項2】 被検査プリント配線板の両面にそれぞれ
請求項1に記載のオフグリッドアダプターおよび検査ヘ
ッドが設けられており、被検査プリント配線板の一面側
の一方の検査ヘッドに係る一方の検査電極板装置におけ
る共通化電極が、被検査プリント配線板の他面側の他方
の検査ヘッドに係る他方の検査電極板装置における共通
化電極と電気的に接続されており、互いに電気的に接続
されている2つの共通化電極に係る検査電極は、一方の
検査電極板装置と他方の検査電極板装置における互いに
上下に重ならない区画領域に位置されているものである
ことを特徴とするプリント配線板の検査装置。
2. An off-grid adapter and an inspection head according to claim 1 are provided on both surfaces of a printed wiring board to be inspected, respectively, and one inspection is performed on one inspection head on one surface side of the printed wiring board to be inspected. The common electrode in the electrode plate device is electrically connected to the common electrode in the other inspection electrode plate device related to the other inspection head on the other surface side of the printed wiring board to be inspected, and is electrically connected to each other. Wherein the test electrodes related to the two common electrodes are located in partitioned areas of the one test electrode plate device and the other test electrode plate device that do not vertically overlap each other. Inspection equipment.
【請求項3】 オフグリッドアダプターおよび検査ヘッ
ドを被検査プリント配線板に対して押圧する押圧板を含
む押圧機構を有してなり、前記検査ヘッドは押圧機構に
着脱自在に設けられていることを特徴とする請求項1に
記載のプリント配線板の検査装置。
3. A pressing mechanism including a pressing plate for pressing the off-grid adapter and the inspection head against a printed wiring board to be inspected, wherein the inspection head is detachably provided on the pressing mechanism. The inspection apparatus for a printed wiring board according to claim 1, wherein:
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