JP3157974B2 - 急冷熱衝撃臨界温度差の推定方法 - Google Patents
急冷熱衝撃臨界温度差の推定方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスなどの脆
性材料の急冷熱衝撃による臨界温度差を推定する方法に
関する。
性材料の急冷熱衝撃による臨界温度差を推定する方法に
関する。
【０００２】
【従来技術】セラミックス等の構造材料は、各種の用途
に供する場合にその強度に応じて寸法設計することが重
要となる。そのためには、その材料の機械的な特性を正
確、且つ迅速に把握することが要求される。
に供する場合にその強度に応じて寸法設計することが重
要となる。そのためには、その材料の機械的な特性を正
確、且つ迅速に把握することが要求される。
【０００３】このような材料設計に対して必要とされる
特性の１つに急冷による熱衝撃に対する耐久性がある。
この耐久性はどの程度の温度差の急冷にまで材料が耐え
うるかを判断するものであり、通常は熱衝撃臨界温度差
という。
特性の１つに急冷による熱衝撃に対する耐久性がある。
この耐久性はどの程度の温度差の急冷にまで材料が耐え
うるかを判断するものであり、通常は熱衝撃臨界温度差
という。
【０００４】この熱衝撃臨界温度差の測定方法として
は、ＪＩＳＣ２１４１、ＪＩＳＲ１６１５等が知られて
いる。このＪＩＳＣ２１４１の方法は、複数の試験片を
準備しこれに次第に大きさ温度差で熱衝撃を加え、試験
片に亀裂が生じ始めた温度差とすべての試験片に亀裂が
生じた時の温度差との中央値、あるいは半数以上に亀裂
が生じた時も温度差を臨界温度とするものである。一
方、ＪＩＳＲ１６１５の方法は、複数の試験片にそれぞ
れ異なる温度差で熱衝撃を加え、亀裂発生確率と温度差
のワイブルプロットから求めるものである。
は、ＪＩＳＣ２１４１、ＪＩＳＲ１６１５等が知られて
いる。このＪＩＳＣ２１４１の方法は、複数の試験片を
準備しこれに次第に大きさ温度差で熱衝撃を加え、試験
片に亀裂が生じ始めた温度差とすべての試験片に亀裂が
生じた時の温度差との中央値、あるいは半数以上に亀裂
が生じた時も温度差を臨界温度とするものである。一
方、ＪＩＳＲ１６１５の方法は、複数の試験片にそれぞ
れ異なる温度差で熱衝撃を加え、亀裂発生確率と温度差
のワイブルプロットから求めるものである。
【０００５】
【発明が解決しょうとする問題点】しかしながら、後者
の方法で必要な試験片の数は効率よく試験した場合でも
３０本程度必要である。前者は同じ試験片を繰り返し使
用するので、試験片の本数は後者の１／３程度となる
が、試験片を繰り返し用いるために疲労し易い材質には
適さない。また、試験回数も、前者、後者とも試験装置
の性能により３〜３０回必要となり、非常に煩雑であり
時間を要する。
の方法で必要な試験片の数は効率よく試験した場合でも
３０本程度必要である。前者は同じ試験片を繰り返し使
用するので、試験片の本数は後者の１／３程度となる
が、試験片を繰り返し用いるために疲労し易い材質には
適さない。また、試験回数も、前者、後者とも試験装置
の性能により３〜３０回必要となり、非常に煩雑であり
時間を要する。
【０００６】また、前者の方法では試験片強度のばらつ
きが大きいため多くの試験片を必要とし、後者の方法で
は温度差を変えて試験を繰り返し行う必要があった。
きが大きいため多くの試験片を必要とし、後者の方法で
は温度差を変えて試験を繰り返し行う必要があった。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】本発明者らは、臨界温
度差ΔＴc と、予き裂が熱衝撃により進展し始める予き
裂半長ａ（以下、臨界亀裂長さａという）との間にΔＴ
∝ａ-1/2の関係があることに着目し、試験により臨界亀
裂長さａを求めてΔＴ∝ａ-1/2の線分を求め、さらに４
点曲げ強度と破壊靱性値、有効体積およびワイブル係数
等から等価亀裂長を求め、求めたΔＴ∝ａ-1/2の線分と
等価亀裂長から臨界温度差ΔＴを高い精度で推定できる
ことを見出し、本発明に至った。
度差ΔＴc と、予き裂が熱衝撃により進展し始める予き
裂半長ａ（以下、臨界亀裂長さａという）との間にΔＴ
∝ａ-1/2の関係があることに着目し、試験により臨界亀
裂長さａを求めてΔＴ∝ａ-1/2の線分を求め、さらに４
点曲げ強度と破壊靱性値、有効体積およびワイブル係数
等から等価亀裂長を求め、求めたΔＴ∝ａ-1/2の線分と
等価亀裂長から臨界温度差ΔＴを高い精度で推定できる
ことを見出し、本発明に至った。
【０００８】即ち、本発明は、長さの異なる予き裂を形
成した１つあるいは複数の試験片を所定の温度Ｔ１に加
熱した後、前記温度Ｔ１よりも低い温度Ｔ２に投じて急
冷し、該急冷処理によりき裂が進展した予き裂のうち、
処理前の予き裂長さが最も短い予き裂長さをａ、前記急
冷処理における温度差をΔＴとした時、ΔＴ∝ａ-1/2で
表される線分を求めるとともに、４点曲げ強度と破壊靱
性値、有効体積およびワイブル係数から等価亀裂長を推
定し、該等価亀裂長と前記線分から熱衝撃により材料が
破壊に至る臨界温度差を推定することを特徴とするもの
である。
成した１つあるいは複数の試験片を所定の温度Ｔ１に加
熱した後、前記温度Ｔ１よりも低い温度Ｔ２に投じて急
冷し、該急冷処理によりき裂が進展した予き裂のうち、
処理前の予き裂長さが最も短い予き裂長さをａ、前記急
冷処理における温度差をΔＴとした時、ΔＴ∝ａ-1/2で
表される線分を求めるとともに、４点曲げ強度と破壊靱
性値、有効体積およびワイブル係数から等価亀裂長を推
定し、該等価亀裂長と前記線分から熱衝撃により材料が
破壊に至る臨界温度差を推定することを特徴とするもの
である。
【０００９】以下、本発明をより具体的に詳述する。本
発明の方法によれば、まず、以下の急冷熱衝撃試験によ
り臨界亀裂長さａを推定する。まず、測定対象となる材
質からなる円柱状の試験片を複数本準備する。そして、
各試験片に対して長さの異なる予き裂を導入する。予き
裂は、例えば、図１の試験片の概略図に示すように、円
柱状の試験片１の周囲にヌープ硬度測定用の圧子を用い
て複数箇所に予き裂２を導入する。また、予き裂は異な
る荷重を変えてその長さの異なる複数の予き裂を導入す
る。長さの異なる予き裂の導入に際しては、試験片毎に
長さの異なる予き裂を導入するか、あるいは１本の試験
片において異なる長さの予き裂を導入することもでき
る。
発明の方法によれば、まず、以下の急冷熱衝撃試験によ
り臨界亀裂長さａを推定する。まず、測定対象となる材
質からなる円柱状の試験片を複数本準備する。そして、
各試験片に対して長さの異なる予き裂を導入する。予き
裂は、例えば、図１の試験片の概略図に示すように、円
柱状の試験片１の周囲にヌープ硬度測定用の圧子を用い
て複数箇所に予き裂２を導入する。また、予き裂は異な
る荷重を変えてその長さの異なる複数の予き裂を導入す
る。長さの異なる予き裂の導入に際しては、試験片毎に
長さの異なる予き裂を導入するか、あるいは１本の試験
片において異なる長さの予き裂を導入することもでき
る。
【００１０】そして、上記のようにして予き裂２が導入
された試験片１を所定温度Ｔ１まで加熱した後、これを
温度Ｔ１よりも低い温度Ｔ２まで急冷する。この急冷処
理する方法としては、ヒータ等により加熱した試験片
を、Ｔ２に設定された水やハンダなどの液中に投下すれ
ばよい。なお、投下の際に空気の巻き込みがないよう
に、試験片１の先端には円錐状のキャップ３を接着する
ことが望ましい。
された試験片１を所定温度Ｔ１まで加熱した後、これを
温度Ｔ１よりも低い温度Ｔ２まで急冷する。この急冷処
理する方法としては、ヒータ等により加熱した試験片
を、Ｔ２に設定された水やハンダなどの液中に投下すれ
ばよい。なお、投下の際に空気の巻き込みがないよう
に、試験片１の先端には円錐状のキャップ３を接着する
ことが望ましい。
【００１１】その後、上記急冷処理により試験片に導入
した予き裂を観察し、亀裂が進展した予き裂を把握す
る。通常、予き裂の長さが小さいほど、亀裂の進展がな
いことから、長さの異なる予き裂において亀裂の進展が
観察された予き裂のうち、予き裂の長さの最も短い予き
裂長の１／２を臨界亀裂半長ａ1 とする。
した予き裂を観察し、亀裂が進展した予き裂を把握す
る。通常、予き裂の長さが小さいほど、亀裂の進展がな
いことから、長さの異なる予き裂において亀裂の進展が
観察された予き裂のうち、予き裂の長さの最も短い予き
裂長の１／２を臨界亀裂半長ａ1 とする。
【００１２】一方、臨界亀裂半長ａと、温度差ΔＴと
は、ΔＴ∝ａ-1/2の関係にあることが一般的に破壊力学
において知られている。そこで、次に上記急冷熱衝撃試
験における温度差ΔＴ1 （＝Ｔ２−Ｔ１）と、上記試験
により求めた臨界亀裂半長ａ1の実測値から、図２に示
すように、横軸に臨界亀裂半長（ｌｎａ）、縦軸に温度
差（ｌｎΔＴ）として（ａ1 ，ΔＴ1 ）をプロットし、
傾き−１／２の線分を引くことにより、ΔＴ∝ａ-1/2の
線分を求めることができる。
は、ΔＴ∝ａ-1/2の関係にあることが一般的に破壊力学
において知られている。そこで、次に上記急冷熱衝撃試
験における温度差ΔＴ1 （＝Ｔ２−Ｔ１）と、上記試験
により求めた臨界亀裂半長ａ1の実測値から、図２に示
すように、横軸に臨界亀裂半長（ｌｎａ）、縦軸に温度
差（ｌｎΔＴ）として（ａ1 ，ΔＴ1 ）をプロットし、
傾き−１／２の線分を引くことにより、ΔＴ∝ａ-1/2の
線分を求めることができる。
【００１３】次に、測定対象となる材質の等価亀裂半長
を以下の方法に従い求める。まず、熱衝撃での有効体積
ＶE を求める。有効体積ＶE は、下記数１
を以下の方法に従い求める。まず、熱衝撃での有効体積
ＶE を求める。有効体積ＶE は、下記数１
【００１４】
【数１】
【００１５】により求められる。なお、数１中、ｍはワ
イブル係数、Ｖｏは試験片の実体積、Ｂｉはビオ係数で
次の数２
イブル係数、Ｖｏは試験片の実体積、Ｂｉはビオ係数で
次の数２
【００１６】
【数２】
【００１７】により求められる。なお、数２中、Ｌは試
験片の代表長さ、λは試験片の熱伝導率、ｈは冷却媒体
の熱伝達率である。
験片の代表長さ、λは試験片の熱伝導率、ｈは冷却媒体
の熱伝達率である。
【００１８】これに基づき、等価亀裂長さａ2 は、測定
対象となる材質のＪＩＳ４点曲げ試験より求めた。強度
σ4B、ワイブル係数ｍおよび４点曲げ試験の有効体積Ｖ
4Bより熱衝撃における試験片の平均強度σtsを次の数３
対象となる材質のＪＩＳ４点曲げ試験より求めた。強度
σ4B、ワイブル係数ｍおよび４点曲げ試験の有効体積Ｖ
4Bより熱衝撃における試験片の平均強度σtsを次の数３
【００１９】
【数３】
【００２０】から求める。なお、数３中、Ｖ4Bは、４点
曲げ試験における下部の支点間距離をＬ、試験片の幅を
ｗ、厚みをｔ、上部より応力を付与する時の応力付与点
間の距離をｌとした時、数４
曲げ試験における下部の支点間距離をＬ、試験片の幅を
ｗ、厚みをｔ、上部より応力を付与する時の応力付与点
間の距離をｌとした時、数４
【００２１】
【数４】
【００２２】から求められる。
【００２３】次に、予き裂のない試験片の自然欠陥を半
楕円亀裂と過程した場合の等価亀裂長ａ2 は、下記数５
楕円亀裂と過程した場合の等価亀裂長ａ2 は、下記数５
【００２４】
【数５】
【００２５】となる。ここで、ＫIcは、ＳＥＰＢ法また
はＣＳＦ法等で求めた破壊靱性値であり、Ｙは亀裂の形
状係数で半円の場合はＹ＝０．６３π1/2 となる。
はＣＳＦ法等で求めた破壊靱性値であり、Ｙは亀裂の形
状係数で半円の場合はＹ＝０．６３π1/2 となる。
【００２６】そして、上記のようにして求めた等価亀裂
長ａ2 を先に熱衝撃試験により求めたΔＴ∝ａ-1/2の線
分から図２に示すようにしてその測定対象材質の熱衝撃
臨界温度差ΔＴ2 を推定することができるのである。
長ａ2 を先に熱衝撃試験により求めたΔＴ∝ａ-1/2の線
分から図２に示すようにしてその測定対象材質の熱衝撃
臨界温度差ΔＴ2 を推定することができるのである。
【００２７】なお、かかる方法では、ΔＴ∝ａ-1/2が不
変であることを前提にして１つの実測値（ａ1 ，Δ
Ｔ1 ）からΔＴ∝ａ-1/2の線分を求めたが、熱衝撃試験
の実測では、物性値の温度依存性等により差が生じるこ
とがあるため、前記熱衝撃試験をいくつかの温度差で試
験を行い、複数の実測値（ａn ，ΔＴn ）から線分を求
めることにより、さらに精度を高めることもできる。
変であることを前提にして１つの実測値（ａ1 ，Δ
Ｔ1 ）からΔＴ∝ａ-1/2の線分を求めたが、熱衝撃試験
の実測では、物性値の温度依存性等により差が生じるこ
とがあるため、前記熱衝撃試験をいくつかの温度差で試
験を行い、複数の実測値（ａn ，ΔＴn ）から線分を求
めることにより、さらに精度を高めることもできる。
【００２８】
【作用】従来よりＪＩＳ規格などでは、強度のばらつき
が臨界温度差のばらつきに直接関与するなどの理由にか
ら試験本数を多くする必要があったが、本発明によれ
ば、試験片に形成された小さな予き裂における挙動を観
察するために、熱衝撃試験に供する試験片本数が少な
く、また、温度差を変えて試験を繰り返し行う必然性が
ないことから、試験が簡略化できる。
が臨界温度差のばらつきに直接関与するなどの理由にか
ら試験本数を多くする必要があったが、本発明によれ
ば、試験片に形成された小さな予き裂における挙動を観
察するために、熱衝撃試験に供する試験片本数が少な
く、また、温度差を変えて試験を繰り返し行う必然性が
ないことから、試験が簡略化できる。
【００２９】
【実施例】測定対象試験片として窒化珪素質焼結体を用
いて試験を行った。試験では、図１に示すように半径８
ｍｍ、長さ７０ｍｍの円柱状試験片を３本準備した。そ
の３本の試験片にヌープ硬度測定用圧子により荷重５ｋ
ｇｆ、２０ｋｇｆ、５０ｋｇｆで、予き裂を導入した。
予き裂は、１本の試験中に同一荷重で８箇所に導入し
た。導入後の予き裂長さを測定したところ、５ｋｇｆ荷
重予き裂試験片が２４０±５μｍ、２０ｋｇｆ荷重予き
裂試験片が５６６±１０μｍ、５０ｋｇｆ荷重予き裂試
験片が１０１０±４０μｍの長さの予き裂長さを有して
いた。
いて試験を行った。試験では、図１に示すように半径８
ｍｍ、長さ７０ｍｍの円柱状試験片を３本準備した。そ
の３本の試験片にヌープ硬度測定用圧子により荷重５ｋ
ｇｆ、２０ｋｇｆ、５０ｋｇｆで、予き裂を導入した。
予き裂は、１本の試験中に同一荷重で８箇所に導入し
た。導入後の予き裂長さを測定したところ、５ｋｇｆ荷
重予き裂試験片が２４０±５μｍ、２０ｋｇｆ荷重予き
裂試験片が５６６±１０μｍ、５０ｋｇｆ荷重予き裂試
験片が１０１０±４０μｍの長さの予き裂長さを有して
いた。
【００３０】次に、上記３本の試験片に図１に示すよう
なキャップを接着して大気中で７１０℃に加熱した後、
２００℃の溶融ハンダ中に投下して急冷した。急冷処理
後の試験片を室温まで放冷した後、試験後の亀裂長さを
測定した。その結果、５ｋｇｆ荷重予き裂試験片では、
予き裂長に変化がなかったが、２０ｋｇｆ荷重予き裂試
験片では５８２±２０μｍまで亀裂が進展しており、５
０ｋｇｆ荷重予き裂試験片では亀裂が試験片全体にまで
わたっており、測定限界を越えていた。この結果から、
温度差５１０℃では約５６６μｍが臨界亀裂長さとなる
ことがわかった。この結果より、（ａ1 ，ΔＴ1 ）＝
（２８４，５１０）を図２に示すようにプロットし、こ
の点を通るようにΔＴ∝ａ-1/2の線分を求めた。
なキャップを接着して大気中で７１０℃に加熱した後、
２００℃の溶融ハンダ中に投下して急冷した。急冷処理
後の試験片を室温まで放冷した後、試験後の亀裂長さを
測定した。その結果、５ｋｇｆ荷重予き裂試験片では、
予き裂長に変化がなかったが、２０ｋｇｆ荷重予き裂試
験片では５８２±２０μｍまで亀裂が進展しており、５
０ｋｇｆ荷重予き裂試験片では亀裂が試験片全体にまで
わたっており、測定限界を越えていた。この結果から、
温度差５１０℃では約５６６μｍが臨界亀裂長さとなる
ことがわかった。この結果より、（ａ1 ，ΔＴ1 ）＝
（２８４，５１０）を図２に示すようにプロットし、こ
の点を通るようにΔＴ∝ａ-1/2の線分を求めた。
【００３１】一方、測定対象の窒化珪素質焼結体のＪＩ
ＳＲ１６０１に基づく４点曲げ強度が８０２．０ＭＰ
ａ、ＳＣＦ試験による破壊靱性（Ｋ1c）が７．０ＭＰａ
・ｍ1/ 2 、４点曲げ強度試験によるワイブル係数が２
２．０であったことから、次のようにして等価亀裂長ａ
2 を求めた。
ＳＲ１６０１に基づく４点曲げ強度が８０２．０ＭＰ
ａ、ＳＣＦ試験による破壊靱性（Ｋ1c）が７．０ＭＰａ
・ｍ1/ 2 、４点曲げ強度試験によるワイブル係数が２
２．０であったことから、次のようにして等価亀裂長ａ
2 を求めた。
【００３２】冷却媒体に溶融ハンダを用いた場合、熱伝
達率ｈ＝５０００Ｗ／ｋｍ2 である。代表長さは円柱の
半径Ｌ＝４×１０-3ｍ、共試材の熱伝導率λ＝１８．２
Ｗ／ｍ・ｋより数２からＢｉ＝１１．０、実体積Ｖｏ＝
π（４×１０-3）×５０ｍｍから、有効体積ＶE を数１
に基づき算出し、７３．９６ｍｍ3 を得た。
達率ｈ＝５０００Ｗ／ｋｍ2 である。代表長さは円柱の
半径Ｌ＝４×１０-3ｍ、共試材の熱伝導率λ＝１８．２
Ｗ／ｍ・ｋより数２からＢｉ＝１１．０、実体積Ｖｏ＝
π（４×１０-3）×５０ｍｍから、有効体積ＶE を数１
に基づき算出し、７３．９６ｍｍ3 を得た。
【００３３】一方、４点曲げの有効体積Ｖ4Bは、４点曲
げにおける試験片の形状がｌ＝１０ｍｍ、Ｌ＝３０ｍ
ｍ、ｗ＝４ｍｍ、ｔ＝３ｍｍであることから前記数４か
ら算出し２．８３６ｍｍ3 であり、前記数３に基づき熱
衝撃試験片の平均強度σts６９７ＭＰａを得た。よっ
て、等価亀裂長さａ2 は前記数５に基づき計算した結
果、８１μｍであった。
げにおける試験片の形状がｌ＝１０ｍｍ、Ｌ＝３０ｍ
ｍ、ｗ＝４ｍｍ、ｔ＝３ｍｍであることから前記数４か
ら算出し２．８３６ｍｍ3 であり、前記数３に基づき熱
衝撃試験片の平均強度σts６９７ＭＰａを得た。よっ
て、等価亀裂長さａ2 は前記数５に基づき計算した結
果、８１μｍであった。
【００３４】上記の算出により得られた等価亀裂半長ａ
2 ＝８１μｍを図２のようにプロットした結果、臨界温
度差ΔＴ2 ＝９００℃を得た。上記の推定方法の精度に
ついて、同一の窒化珪素質焼結体を用いて、ＪＩＳＣ２
１４１に基づき臨界温度差を求めたところ、８９０℃で
あり、高い精度を有していることが判明した。
2 ＝８１μｍを図２のようにプロットした結果、臨界温
度差ΔＴ2 ＝９００℃を得た。上記の推定方法の精度に
ついて、同一の窒化珪素質焼結体を用いて、ＪＩＳＣ２
１４１に基づき臨界温度差を求めたところ、８９０℃で
あり、高い精度を有していることが判明した。
【００３５】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の推定方法
によれば、試験片に形成された小さな予き裂における挙
動を観察するために、熱衝撃試験に供する試験片本数が
少なく、また、温度差を変えて試験を繰り返し行う必然
性がないことから、試験が簡略化でき、短時間の実験で
臨界温度差を高い精度で予測できる。
によれば、試験片に形成された小さな予き裂における挙
動を観察するために、熱衝撃試験に供する試験片本数が
少なく、また、温度差を変えて試験を繰り返し行う必然
性がないことから、試験が簡略化でき、短時間の実験で
臨界温度差を高い精度で予測できる。
【図１】本発明において用いられる試験片の概略図であ
る。
る。
【図２】臨界亀裂半長（ｌｎａ）と温度差（ｌｎΔＴ）
との関係を示した図である。
との関係を示した図である。
１ 試験片 ２ 予き裂
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 3/00 - 3/62 ＥＰＡＴ（ＱＵＥＳＴＥＬ) ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】長さの異なる予き裂を形成した１つあるい
は複数の試験片を所定の温度Ｔ１に加熱した後、前記温
度Ｔ１よりも低い温度Ｔ２に投じて急冷し、該急冷処理
によりき裂が進展した予き裂のうち、処理前の予き裂長
さが最も短い予き裂長さの半長をａ、前記急冷処理にお
ける温度差をΔＴとした時、ΔＴ∝ａ-1 /2で表される線
分を求めるとともに、４点曲げ強度と破壊靱性値、有効
体積およびワイブル係数から等価亀裂長を推定し、該等
価亀裂長と前記線分から熱衝撃により材料が破壊に至る
臨界温度差を推定することを特徴とする急冷熱衝撃臨界
温度差の推定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33078693A JP3157974B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 急冷熱衝撃臨界温度差の推定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33078693A JP3157974B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 急冷熱衝撃臨界温度差の推定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190914A JPH07190914A (ja) | 1995-07-28 |
| JP3157974B2 true JP3157974B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=18236536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33078693A Expired - Fee Related JP3157974B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 急冷熱衝撃臨界温度差の推定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3157974B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6610366B2 (en) | 2000-10-03 | 2003-08-26 | Cree, Inc. | Method of N2O annealing an oxide layer on a silicon carbide layer |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008051037A1 (de) * | 2008-10-09 | 2010-04-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur mechanischen Charakterisierung von Produktionsmaschinen für sprödbrechende Materialien |
| CN106033042A (zh) * | 2015-03-16 | 2016-10-19 | 深圳振华富电子有限公司 | 一种NiZn铁氧体材料耐热冲击性能评价方法 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33078693A patent/JP3157974B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6610366B2 (en) | 2000-10-03 | 2003-08-26 | Cree, Inc. | Method of N2O annealing an oxide layer on a silicon carbide layer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07190914A (ja) | 1995-07-28 |
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