JP3156215B2 - マグネトロンの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子レンジ等のマイク
ロ波応用機器に用いられるマグネトロンにかかり、特に
信頼性と長寿命化を図ったマグネトロン陰極構造体の製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】マグネトロンは高周波出力を効率的に発
生することから、レーダ装置、医療機器、電子レンジ等
の調理器など種々の分野で利用されている。

【０００３】このマグネトロンは陰極で発生した電子を
共振空洞で磁界と作用させることにより高周波の電磁波
を発生させるものであるが、従来のマグネトロンにおけ
る陰極は次のような構造を備えている。

【０００４】すなわち、図１４はこの種のマグネトロン
陰極の構造を説明する断面図であって、この陰極構造
は、アルミナセラミックス製の絶縁体１２５と、その大
気側の表面に気密に固着された二個の金具１２６に固着
支持されたモリブデンなどの高融点金属からなる陰極リ
ード１２３（センターリード），１２４（サイドリー
ド）と、この陰極リード１２３，１２４に固着されたモ
リブデン製の上側，下側エンドシールド１２１，１２
２、およびこれらの上下側エンドシールド１２１，１２
２により支持される陰極フィラメント１０１から構成さ
れている。また、４１はシール金具であり、陽極との接
続をとるための金属成形体である。

【０００５】なお、この種のマグネトロンの陰極を開示
したものとしては、特公昭５２−４４１９６号公報を挙
げることができる。

【０００６】陰極フィラメント１０１は、トリア（Ｔｒ
Ｏ₂ ）入りタングステン線をコイル状に成形してなり、
その表面には炭化層（Ｗ₂ ＣもしくはＷＣとの混在）が
形成されている。

【０００７】１００はＴｉ，Ｚｒなどのゲッタ材料から
なる微粉末のゲッタで、予めニトロセルロースのような
有機バインダと溶媒と共に、ＴｉもしくはＺｒからなる
微粉末とを混練したペースト体にした後、前記上側エン
ドシールド１２１の上部に塗布し乾燥したのち加熱する
ことにより、Ｔｉ，Ｚｒ，ＴｉＨ₂ もしくはＺｒＨ₂な
どのゲッタ材料からなる微粉末と前記上側エンドシール
ド１２１とを焼結して形成される。

【０００８】図１５は従来のマグネトロン陰極構造体の
製造方法を説明する陰極の要部断面図である。

【０００９】マグネトロン陰極構造体を構成するゲッタ
１００は、先ず上側エンドシールド１２１に前記ペース
ト体を塗布し、その上部から温風３０を吹き付けてペー
スト体の溶媒を蒸発させ、乾燥させる。その後、水素雰
囲気もしくは真空中でゲッタ材料の融点より低い範囲の
高温度に加熱して焼結する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、上側エンドシールド１２１上に塗布したペースト体
を乾燥するために強力な温風を上部から送ると、ペース
ト体が飛散してしまうため、この飛散が生じない程度の
適度の風圧にする必要がある。

【００１１】また、温風を吹き付けることにより、ペー
スト体に直接温風が当たることにより、ペースト体はそ
の上部表面が乾燥すると保護膜が生成し、これがペース
ト体内部からの溶媒の蒸発を妨げる。そのため、ペース
ト体の内部まで乾燥するためにはかなりの時間がかか
り、その後の焼結工程にすぐ取り掛かることができない
という問題があり、生産性を阻害する原因となってい
た。

【００１２】また、上記従来の製造方法では、ペースト
体を表面から乾燥するために、内部が乾燥し難く、乾燥
時のペーストの収縮により内部に巣ができてしまう。こ
の巣はその後の焼成工程での加熱時に、ゲッタ材がエン
ドシールドから浮き上がり、剥離するものが生じる。

【００１３】本発明の目的は、上記従来技術の問題点を
解消し、生産性を改善し、安価で信頼性の高いかつ長寿
命のゲッタを備えたマグネトロン陰極構造体の製造方法
を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、上側エンドシールドの表面にゲッタ材料
を含むペースト体を乾燥するに際し、上側エンドシール
ドに近接して配置された金属導体に高周波電流を流し、
上側エンドシールドを誘導加熱によって加熱することに
よりペースト体を内部と表面を同時に乾燥するようにし
たことを特徴とする。

【００１５】すなわち、本発明は、高融点金属を主成分
として電子放射用活性剤を内部に含んだ陰極材料を所定
形状に成形してなる陰極フィラメントと、前記陰極フィ
ラメントと電気的に接続した高融点金属からなる上側エ
ンドシールドと、前記上側エンドシールドと接続してこ
れを保持する高融点金属からなるセンターリードとを少
なくとも有するマグネトロン陰極構造体の製造方法にお
いて、前記上側エンドシールドの少なくとも一部に、粉
末状ゲッター材料を有機溶媒およびバインダに混練した
ペースト体を塗布，焼成する工程と、その後前記上側エ
ンドシールドを誘導加熱により加熱して前記上側エンド
シールド自体の温度を上げることにより、前記ペースト
体中の有機溶剤を消散せしめる加熱工程を含むことを特
徴とする。

【００１６】

【作用】上側エンドシールドに近接して配置された金属
導体に高周波電流を流して上側エンドシールド自体を誘
導加熱するため、ペースト体は内部も表面も同時に、か
つ迅速に乾燥せしめられる。

【００１７】従来の製造方法では、ペースト体を表面か
ら乾燥するために、内部が乾燥し難く、乾燥時のペース
トの収縮により内部に巣ができてしまう。この巣はその
後の焼成工程での加熱時に、ゲッタ材が上側エンドシー
ルドから浮き上がり、ゲッタとして形成されたものが剥
離して信頼性が低下し寿命が短縮するが、本発明による
製造方法によればゲッタ材は上側エンドシールドに十分
に密着して焼結される。このため、製造されたゲッタの
ゲッタ効果が大きく、電子放射が安定し、長期間にわた
って良好なマイクロ波発振特性を有するマグネトロンを
得ることができる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て詳細に説明する。

【００１９】図１は本発明によるマグネトロン陰極構造
体の製造方法を説明するためのマグネトロン陰極の要部
断面図であって、１００’はゲッタとなるペースト体、
１０１は陰極フィラメント、１２１は上側エンドシール
ド、１２３は陰極リード（センターリード）である。そ
して、２０は誘導加熱用金属体である。

【００２０】同図において、陰極構造を構成する上側エ
ンドシールド１２１の上部にＺｒ，Ｔｉ，ＺｒＨ₂ ，Ｔ
ｉＨ₂ などのゲッタ材料からなる微粉体と有機バインダ
としてニトロセルローズと適当な粘度を与えるための有
機溶媒とを合わせて混練したペースト体１００’を既知
の方法で塗布する。

【００２１】その後、上側エンドシールド１２１の上部
に、間隔を空けて電気良導体からなる誘導加熱用金属体
２０を配置し、この誘導加熱用金属体２０に高周波電流
を流して上側エンドシールド１２１に誘導電流を発生さ
せ、当該上側エンドシールド１２１自体を加熱させる。

【００２２】上側エンドシールド１２１の上部に塗布し
たペースト体１００’は上側エンドシールド１２１の発
熱によって加熱され、ペースト体１００’の内部および
表面共に比較的短時間で乾燥される。乾燥後、焼成工程
で焼成してゲッタ１００（図１５）が形成される。

【００２３】ペースト体１００’は、その内部も表面も
略々同時に、かつ迅速に乾燥されるので、乾燥時の当該
ペースト体の収縮による巣が発生することがなく、その
後の焼成工程で上側エンドシールド１２１にゲッタ材が
十分に密着する。

【００２４】本実施例で製造したゲッタを備えた陰極構
造体を用いたマグネトロンは、ゲッタ効果が大きく、電
子放射が安定し、良好なマイクロ波の発振が可能とな
る。そして、長時間の使用にも安定した動作が補償され
る。

【００２５】図２は本発明による製造した陰極構造体を
用いたマグネトロンの構造例を説明する断面であって、
２は下部マグネット、３は下部ヨーク、４は下部シール
部品、４１は下部シール部品４の鍔状シール材、６はフ
ィルタケース、８は入力側セラミック、１０１は陰極フ
ィラメント、１０２は陽極ベイン、１０３は陽極シリン
ダー、１０４は上部マグネット、１０５は磁極片、１０
７はアンテナリード、１０８はアンテナ、１０９は排気
管、１１０はアンテナカバー、１１１は円筒状絶縁体、
１１２は排気管サポート、１２１は本発明の製造方法で
形成したゲッタを備えた上側エンドシールド、１２２は
下側エンドシールド、１２３，１２４は陰極リード、１
２６は陰極端子、１２７はスペーサ、１２８はスリー
ブ、１３１はチョークコイル、１３２は貫通コンデン
サ、１３４は蓋体、１４１は上部シール部品、１４３は
金属ガスケット、１４４は上部ヨーク、１４５は冷却フ
ィンである。

【００２６】同図において、陰極フィラメント１０１の
回りには複数の陽極ベイン１０２が放射状に形成されて
いる。この複数の陽極ベイン１０２は陽極シリンダー１
０３にロー付け等で固着され、あるいは陽極シルンダー
１０３と共に押出し成型等により一体成形されている。

【００２７】陽極シリンダー１０３の上部には円筒状の
上部マグネット１０４が、下部には円筒状の下部マグネ
ット２が設置されており、この上部マグネット１０４と
下部マグネット２からの磁束は磁極片１０５を通って陰
極１０１と陽極ベイン１０２との間に形成される作用空
間に対して上下方向（管軸方向）に必要な直流磁界を発
生させる。なお、下部ヨーク３，上部ヨーク１４４はマ
グネットからの磁束を通すものである。

【００２８】このような構造において、陰極フィラメン
ト１０１から放出された電子は、直流磁界の影響を受け
て円運動しながら各陽極ベイン１０２に高周波の電位を
形成して高周波（マイクロ波）を発振する。発振された
マイクロ波はアンテナリード１０７を通してアンテナ１
０８から出力される。

【００２９】図３は図２に示したマグネトロンの陽極部
分のみの詳細を説明する平面図であって、陽極ベイン１
０２，１０２’は陽極シリンダー１０３の内壁から中心
Ｏ方向に設けられており、中心Ｏを通る軸線からみて放
射状に配置されている。

【００３０】この陽極ベイン１０２，１０２’は、径の
異なる２つの環状体からなる第１のストラップリング１
６１と第２のストラップリング１６２によって、１つ置
きに結ばれている。

【００３１】図４は図３におけるストラップリングを説
明する斜視図であって、第１のストラップリング１６１
は径の小さなストラプリング、第２のストラップリング
１６２は径の大きなストラップリングである。

【００３２】図５は図２に示したマグネトロンの陽極ベ
イン部分の要部説明図であり、陽極ベイン１０２には上
記径の小さな第１のストラップリング１６１が接触し、
径の大きな第２のストラップリング１６２は接触せず、
また隣接する陽極ベイン１０２には上記径の大きな第２
のストラップリング１６２が接触し、径の小さな第１の
ストラップリング１６１は接触せずに配置され、第１の
ストラップリング１６１と第２のストラップリング１６
２は１つ置きの陽極ベイン１０２に対して交互に接合さ
れている。

【００３３】また、陽極ベイン１０２の１つには、図２
に示したように、高周波を導出するためのアンテナリー
ド１０７がロー付けで植立されている。

【００３４】陽極ベイン１０２に植立されたアンテナリ
ード１０７は、陽極シリンダー１０３の一方の開口側に
内封された磁極片１０５を挿通し、金属封止体であるシ
ール部品１４１の端部には気密封着する円筒状絶縁体１
１１があり、円筒状絶縁体１１１の一方の端部には排気
管１０９の外周とロー付けされたカップ状の排気管サポ
ート１１２がロー付けされている。

【００３５】排気管１０９は、マグネトロンの管内を真
空排気した後、アンテナリード１０７と共に封止切り、
アンテナカバー１１０を排気サポート１１２に圧入固定
して、その先端を保護する。ここで、排気管１０９とア
ンテナリード１０７を封止切ることによって形成された
凹部１０９ａは、不要の電波輻射を阻止するためのチョ
ーク部となっている。

【００３６】電子を発生させる陰極フィラメント１０１
は、一般には酸化トリウム（ＴｈＯ₂ ）を微量含むタン
グステンが用いられる。電子放射特性を向上させるため
に、陰極の表面には炭化層（Ｗ₂ Ｃ）が形成されてい
る。

【００３７】そして、陰極１０１は、上側エンドシール
ド１２１および下側エンドシールド１２２に高融点ロー
材、例えばルテニウム・モリブデン合金等によって係合
し、支持されている。

【００３８】上側エンドシールド１２１および下側エン
ドシールド１２２は、各々陰極リード１２３および１２
４によって支持されている。これらのエンドシールド１
２１，１２２および陰極リード１２３，１２４は、耐熱
性，加工性の観点から、一般にはモリブデン（Ｍｏ）が
用いられている。

【００３９】また、上側エンドシールドの上面にはゲッ
タが被着されて、陰極フィラメント１０１の加熱時にゲ
ッタ材が蒸発し、発振空間の真空度を維持して、安定し
た動作特性を長期間にわたって保持する。

【００４０】２本の陰極リード１２３，１２４は、入力
側セラミック８によって支持されており、これら陰極リ
ード１２３，１２４は、陰極端子１２６と共に入力側セ
ラミック８に真空気密を保つようロー付けされている。

【００４１】マグネトロンに振動や衝撃が加わると、陰
極リード１２３，１２４が振動し、しかもその振動の仕
方が陰極リード１２３，１２４で異なるために、陰極１
０１に機械的なストレスを生じさせて陰極１０１の断線
を引き起こすことがある。これを防止するために、スペ
ーサ１２７が用いられる。このスペーサ１２７の作用に
より、陰極リード１２３，１２４が振動しても、その振
動による陰極リード１２３，１２４の動きは略々同一と
なるため、陰極１０１に加わるストレスを小さくするこ
とができる。なお、スリーブ１２８はスペーサ１２７を
所定の位置に支持するためのものである。

【００４２】陰極端子１２６はチョークコイル１３１と
接続し、チョークコイル１３１は入力部のフィルタケー
ス６を取り付ける貫通コンデンサ１３２と接続され、貫
通コンデンサ１３２は電源と接続する。陰極端子１２６
とチョークコイル１３１とは、一般には溶接によって接
続される。また、チョークコイル１３１と貫通コンデン
サ１３２も一般には溶接によって接続される。

【００４３】ここで、チョークコイル１３１と貫通コン
デンサ１３２とは、マグネトロンの内部から電源側を見
た場合のローパスフィルタを形成する。これは、陰極１
０１と陽極シリンダー１０３との間の作用空間に発生し
たマイクロ波が陰極１０１および陰極リード１２３，１
２４を通して外部に放射されるのを防止するためであ
る。

【００４４】図６は図２に示したマグネトロンの入力部
を下面より見たフィルタケース部分の平面図であって、
陰極端子１２６にチョークコイル１３１が接続し、チョ
ークコイル１３１に入力部のフィルタケース６を取り付
けた貫通コンデンサ１３２と接続され、貫通コンデンサ
１３２は図示しない電源と接続される。

【００４５】図７は貫通コンデンサの構造を説明する要
部破断図であって、１５１は絶縁カバー、１５２は誘電
体で、１５３，１５６は電極である。

【００４６】同図において、誘電体１５２は電極１５
３，１５６と共にコンデンサを形成する。電極１５６
は、貫通コンデンサ１３２をフィルタケース６に取り付
ける役割りを持つ。電極１５３は同図左下部では分離し
ているように示されているが、他の断面では一体となっ
て端子１５４と接続している。

【００４７】なお、１５５はシリコンチューブで、端子
１５４を覆って、樹脂１５７と誘電体１５２との密着性
を損なわないようにする緩衝材（ダンパー）となる。ま
た、１５１ａは樹脂１５７内に生じるストレスを分断す
る機能を有する。そして、端子１５４はチョークコイル
１３１と接続される。

【００４８】前記図２に示したように、各々の陰極リー
ド１２３，１２４はチョークコイル１３１の一端と直列
に接続され、チョークコイル１３１の他端はコンデンサ
１３２を介してアースと対向する。

【００４９】入力部のフィルタケース６は蓋体１３４に
よって密閉され、高周波（マイクロ波）が外部に放射さ
れるのを防止する。

【００５０】入力側セラミック８は、鍔状のシール部４
１をもつ下部シール部品４を介して陽極シリンダー１０
３と真空気密を保って係合し、出力側セラミック１１１
は上部シール部品１４１を介して陽極シリンダー１０３
と真空気密を保って係合している。

【００５１】また、上部ヨーク１４４は金属ガスケット
１４３を介して上部シール部品１４１と電気的に接続さ
れている。このシール部品１４１は陽極シリンダー１０
３と同電位になっている。したがって、上部ヨーク１４
４は陽極シリンダー１０３と同電位になっている。

【００５２】図８はマグネトロンの上面図であって、上
部ヨーク１４４と下部ヨーク３（図２）とは、一般にか
しめによって接続されている。

【００５３】図９はマグネトロンの外観を示すヨーク側
から見た側面図であって、アンテナ１０８は円筒状絶縁
体１１１を介して上部シール部品１４１で上部ヨーク１
４４を通して前記図９で説明したアンテナリードに接続
している。下部ヨーク３の下方にはフィルタケース６が
前記各実施例で説明した構造で接合固定されている。な
お、１３２は貫通コンデンサである。

【００５４】図１０はマグネトロンの外観を説明する冷
却フィン側からみた正面図である。マグネトロンの陽極
は前記図２で説明した陰極フィラメント１０１からの熱
輻射や電子が陰極ベイン１０２に衝突することによる発
熱で高温になる。陽極が高温になると、磁石の磁気特性
を変化させたり、マグネトロンの周辺機器に悪影響を及
ぼす等の弊害を生ずる。冷却フィン１４５は、この発熱
を消散させるためのものである。

【００５５】図１１は冷却フィン形状の説明図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の矢印Ａ方向から見た
側面図、（ｃ）は（ａ）の矢印Ｂ方向から見た側面図で
ある。

【００５６】同図において、円筒部１４５ａは図６にお
ける陽極シリンダー１０３と嵌合する。図１０では図１
１に示した冷却フィンが５個用いられている。

【００５７】一般には、マグネトロンの動作時は、電子
レンジ等の応用機器に設置された冷却ファンによって、
この冷却フィンに冷却風が送風される。

【００５８】図１２はマグネトロンの駆動回路例を説明
する回路図で、同図においては２３１がマグネトロンで
ある。

【００５９】スイッチング電源装置２０９に直流電力を
供給する直流電源２０１は、商用交流電源２０３と全波
整流器２０５から構成されている。

【００６０】全波整流器２０５の直流出力端子には、リ
アクタとキャパシタで構成されたフィルタ２０７が接続
されているが、このフィルタ２０７は整流電流を平滑す
るためでなく、発振電流に含まれる高周波雑音が交流電
源側を通して洩れるのを防ぎ、これによって妨害波の伝
播をさけるようにしている。

【００６１】スイッチング電源装置２０９はトランジス
タ２１１を備え、同期パルス発生器２３５で生成される
同期パルスにより制御されるオン信号発生回路２３７の
オン信号で駆動される駆動回路２４１によりオン−オフ
動作される。

【００６２】スイッチング電源装置２０９は、トランジ
スタ２１１に逆並列に接続されたダンパダイオード２１
５および並列に接続された共振用キャパシタ２１３を備
えている。

【００６３】このスイッチング電源装置２０９は、一次
巻線２１９と二次巻線２２１，２２３と２２４，２２５
を持つ昇圧トランス２１７に接続し、一次巻線２１９は
スイッチング電源装置２０９を介してフィルタ２０７に
接続し、キャパシタ２１３と一次巻線２１９により直列
共振回路が構成される。

【００６４】二次巻線２２１は、キャパシタ２２７と高
圧ダイオード２２９よりなる倍電圧整流器を通してマグ
ネトロン２３１に接続される。電流検出器２３３はマグ
ネトロンに流れる負荷電流を検出し、平均回路２４９で
平均値として出力設定器２５１の設定値との差分を増幅
器２５７を介して同期パルス発生器２３５からの同期パ
ルスと加算されてオン信号発生器２３７に制御信号とし
て与えられる。

【００６５】二次巻線２２５は、マグネトロン２３１の
フィラメントを加熱するために設けられ、さらに他の二
次巻線２２３は出力フィードバック用の電圧を作るため
のものであり、波形成形回路２４３で波形成形された後
に遅延回路２４５で所定の時間遅延を受け、オン信号発
生回路２３７の制御信号として与えられる。

【００６６】また二次巻線２２４は補助電源２４７に与
えられ、整流されて制御回路等の電源として用いられ
る。

【００６７】ここで、フィラメントと陽極には、通常数
ＫＶの高圧が印加されている。

【００６８】なお、図中、２３２は導波管、２３４は電
子レンジの調理室であり、マグネトロン２３１で発振さ
れたマイクロ波は導波管２３２を通して調理室２３４に
供給されるようになっている。

【００６９】図１３は本発明による上記実施例のマグネ
トロンを電子レンジに適用した具体例を説明する概念図
であって、３０１は電子レンジ調理室で、ドア３０２か
ら被加熱物３０３がセットされる。３０４はマグネトロ
ン、３０５はアンテナ、３０６はマグネトロン電源、３
０７は冷却ファン、３０８は冷却風、３０９は導波管、
３１０はスターラーである。

【００７０】同図において、マグネトロン３０４で発生
されたマイクロ波はアンテナ３０５から導波管３０９を
通して被加熱物３０３がセットされた調理室３０１に供
給される。スターラー３１０は調理室３０１内で回転し
て被加熱物３０３が均一に加熱されるようマイクロ波を
拡散するためのものである。

【００７１】冷却ファン３０７はマグネトロン３０４に
冷却風３０８を送風してマグネトロン２３１を冷却する
ためのものである。

【００７２】上記した本発明の実施例によれば前記従来
技術の諸問題を解消した信頼性の高いマグネトロンを得
ることができる。

【００７３】なお、本発明は上記各実施例で説明した構
造に限るものではなく、本発明の技術思想から逸脱こと
なく、様々な変形が可能であることは言うまでもない。

【００７４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ゲッタ材が上側エンドシールドに十分に密着して形成で
きるので、それが剥離することがなく、ゲッタ効果が大
きく、電子放射が安定し、良好なマイクロ波の発振を長
期間にわたって維持することができる。

【００７５】このように、本発明によれば、前記従来技
術の欠点を解消し、優れた機能のマグネトロンを提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるマグネトロン陰極構造体の製造方
法を説明するためのマグネトロン陰極の要部断面図であ
る。

【図２】本発明による製造した陰極構造体を用いたマグ
ネトロンの構造例を説明する断面である。

【図３】マグネトロンの陽極部分のみの詳細を説明する
平面図である。

【図４】マグネトロンのストラップリングを説明する斜
視図である。

【図５】マグネトロンの陽極ベイン部分の要部説明図で
ある。

【図６】マグネトロンの入力部を下面より見たフィルタ
ケース部分の平面図である。

【図７】マグネトロンの貫通コンデンサの構造を説明す
る要部破断図である。

【図８】マグネトロンの上面図である。

【図９】マグネトロンの外観を示すヨーク側から見た側
面図である。

【図１０】マグネトロンの冷却フィンの説明図である。

【図１１】マグネトロンの冷却フィン形状の説明図であ
る。

【図１２】マグネトロンの駆動回路例を説明する回路図
である。

【図１３】マグネトロンを電子レンジに適用した具体例
を説明する概念図である。

【図１４】従来のマグネトロン陰極の構造例を説明する
断面図である。

【図１５】従来のマグネトロン陰極の製造方法を説明す
る陰極の要部断面図である。

【符号の説明】

１００’ ゲッタとなるペースト体 １０１ 陰極フィラメント １２１ 上側エンドシールド １２３ 陰極リード（センターリード） ２０ 誘導加熱用金属体。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 23/04 H01J 23/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】高融点金属を主成分として電子放射用活性
   剤を内部に含んだ陰極材料を所定形状に成形してなる陰
   極フィラメントと、前記陰極フィラメントと電気的に接
   続した高融点金属からなる上側エンドシールドと、前記
   上側エンドシールドとを接続してこれを保持する高融点
   金属からなるセンターリードとを有するマグネトロンの
   製造方法において、上記 上側エンドシールドの少なくとも一部に、ゲッタ材
   料を含むペースト体を塗布する工程と、その後前記上側
   エンドシールドを誘導加熱により加熱して前記ペースト
   体を乾燥せしめる加熱工程と、排気工程とを含むことを
   特徴とするマグネトロンの製造方法。
2. 【請求項２】請求項１において、粉末ゲッタ材料を有機
   溶媒およびバインダに混練したペースト材料を用いるこ
   とを特徴とするマグネトロンの製造方法。
3. 【請求項３】請求項２において、前記加熱工程は前記上
   エンドシールドを誘導加熱により加熱して前記ペースト
   体中の有機溶剤を消散せしめることを特徴とするマグネ
   トロンの製造方法。