JP3150163U - Turbo molecular pump cable layout - Google Patents

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Abstract

【課題】コネクタ直近の主ケーブル端に板金加工等で作製する一定形のシールド筐体を不要とし、ケーブル組立品の製造コストを低減し、コネクタ締結・開放作業を簡素化し、かつシールド効果を改善できる可撓性のケーブル配設構造を提供する。【解決手段】主ケーブル9Nの端部でシールド18を半開し信号伝達用芯線14を取り出し制御コネクタ8に接続する。電力供給用芯線15はシールド18とともに折返し、シールド18は分岐ケーブル11Nのシールド19Nとして利用する。電力供給用芯線15は分岐ケーブル11Nを介して電力コネクタ5に接続する。各芯線の露出部分および露出部分から制御コネクタ8に至る部分はシールド32およびジャケット31で被覆し、可撓性と密接性を確保する。【選択図】図1[PROBLEMS] To eliminate the need for a fixed shield housing made by sheet metal processing, etc., at the main cable end closest to the connector, reduce the manufacturing cost of the cable assembly, simplify the connector fastening / opening operation, and improve the shielding effect A flexible cable arrangement structure is provided. A shield 18 is half-opened at an end of a main cable 9N, and a signal transmission core wire 14 is taken out and connected to a control connector 8. The power supply core wire 15 is folded back together with the shield 18, and the shield 18 is used as the shield 19N of the branch cable 11N. The power supply core wire 15 is connected to the power connector 5 via the branch cable 11N. The exposed part of each core wire and the part from the exposed part to the control connector 8 are covered with a shield 32 and a jacket 31 to ensure flexibility and closeness. [Selection] Figure 1

Description

本考案は半導体製造装置、半導体検査装置、電子顕微鏡その他、真空を利用して製造・検査・研究を行なうための真空装置において真空を発生させるターボ分子ポンプに係わり、特に電力供給用ケーブル配設構造に関するものである。   The present invention relates to a turbo molecular pump for generating a vacuum in a semiconductor manufacturing apparatus, a semiconductor inspection apparatus, an electron microscope, and other vacuum apparatuses for manufacturing, inspection and research using vacuum, and in particular, a power supply cable arrangement structure It is about.

ターボ分子ポンプは一般に、真空機能を有するターボ機構を内蔵したポンプユニットと、電力供給のための電源ユニットとで構成される(特許文献1参照)。ポンプユニットと電源ユニットは2組のケーブル、すなわち電力供給用ケーブル(以下電力ケーブルと称す)と信号制御用ケーブル(以下制御ケーブルと称す)が接続される。前者は電源ユニットからポンプユニットにターボ翼の浮遊および回転のための電力を供給し、後者はターボ翼の浮遊および回転の状況をセンサで常時検出しその信号を制御信号として電源ユニットに伝送する。前記ターボ翼の浮遊および回転のための動力はこの制御信号によって運転開始から終了まで常時制御される。   The turbo molecular pump is generally composed of a pump unit incorporating a turbo mechanism having a vacuum function and a power supply unit for supplying power (see Patent Document 1). Two sets of cables, that is, a power supply cable (hereinafter referred to as a power cable) and a signal control cable (hereinafter referred to as a control cable) are connected to the pump unit and the power supply unit. The former supplies power for floating and rotating the turbo blade from the power supply unit to the pump unit, and the latter constantly detects the floating and rotating state of the turbo blade with a sensor and transmits the signal to the power unit as a control signal. The power for floating and rotating the turbo blade is always controlled by this control signal from the start to the end of operation.

各ケーブルは外方からの電磁界の影響を防止するため、芯線の周囲を導電材料で囲繞したシールド線が使用される。電力ケーブル用の電力コネクタおよび制御ケーブル用の制御コネクタはそれぞれ必要な電流も耐圧も全く異なるので、それぞれ別の規格のものが選ばれる。   In order to prevent the influence of the electromagnetic field from the outside in each cable, a shield wire in which the periphery of the core wire is surrounded by a conductive material is used. Since the power connector for the power cable and the control connector for the control cable have completely different currents and withstand voltages, those of different standards are selected.

図4はポンプユニット1と電源ユニット2の基本的な接続構造を示す。電力ケーブル3はポンプユニット1側の電力コネクタ4および電源ユニット2側の電力コネクタ5を介して電源ユニット2からポンプユニット1に電力を供給する。また制御ケーブル6はポンプユニット1側の制御コネクタ7および電源ユニット2側の制御コネクタ8を介して、時々刻々のターボ翼の浮遊および回転状況を示す電気信号を電源ユニット2に伝送する。電力ケーブル3および制御ケーブル6には前記のとおり、外方から、または外方への電磁界の干渉を防止するため、シールドが施されている。   FIG. 4 shows a basic connection structure between the pump unit 1 and the power supply unit 2. The power cable 3 supplies power from the power supply unit 2 to the pump unit 1 via the power connector 4 on the pump unit 1 side and the power connector 5 on the power supply unit 2 side. Further, the control cable 6 transmits an electrical signal indicating the floating and rotating state of the turbo blade to the power supply unit 2 through the control connector 7 on the pump unit 1 side and the control connector 8 on the power supply unit 2 side. As described above, the power cable 3 and the control cable 6 are shielded to prevent electromagnetic field interference from the outside or the outside.

図5は図4とは別構成の接続で、ポンプユニット1と電源ユニット2の中間部分で図4の電力ケーブル3と制御ケーブル6が主ケーブル9として一本化されている。主ケーブル9の両端部(以下、主ケーブル端と称す)ではケーブル内の芯線は電力供給用と信号伝達(制御)用に分岐され、信号伝達用芯線は制御コネクタ7あるいは8に、また電力供給用芯線は分岐ケーブル10あるいは11を介して電力コネクタ4あるいは5に接続される。主ケーブル端の詳細は別途図6で説明する。   5 is a connection having a configuration different from that of FIG. 4, and the power cable 3 and the control cable 6 of FIG. 4 are integrated as a main cable 9 at an intermediate portion between the pump unit 1 and the power supply unit 2. At both ends of the main cable 9 (hereinafter referred to as the main cable end), the core wire in the cable is branched for power supply and signal transmission (control), and the signal transmission core wire is supplied to the control connector 7 or 8 and power is supplied. The core wire is connected to the power connector 4 or 5 via the branch cable 10 or 11. Details of the main cable end will be described later with reference to FIG.

主ケーブル端では主ケーブル9の露出した芯線を含む主ケーブル端全体を外力や腐食から安定に保護しまたシールドするために、主ケーブル9および、分岐ケーブル10あるいは11を囲繞する箱状のシールド筐体12あるいは13が使用される。シールド筐体12あるいは13は通常板金加工品などの金属成型品が使用される。図4の電力ケーブル3と制御ケーブル6に替えて図5のように一本化された主ケーブル9を使用した場合も、ポンプユニット1側も電源ユニット2側も各コネクタは図4の場合と同一で、各ユニットとのケーブルの互換性が保たれる。   At the main cable end, in order to stably protect and shield the main cable end including the exposed core wire of the main cable 9 from external force and corrosion, a box-shaped shield case surrounding the main cable 9 and the branch cable 10 or 11 is used. The body 12 or 13 is used. The shield casing 12 or 13 is usually a metal molded product such as a processed sheet metal product. When the main cable 9 integrated as shown in FIG. 5 is used instead of the power cable 3 and the control cable 6 shown in FIG. 4, the connectors on both the pump unit 1 side and the power supply unit 2 side are the same as those shown in FIG. It is the same and cable compatibility with each unit is maintained.

図6は図5の構成のシールド筐体13の構造の縦断面で前記主ケーブル端では主ケーブル9の最外部を被覆しているジャケット16の端部が切開され、シールド18が露出される。さらにシールド18の露出部分を切断し信号伝達用芯線14および電力供給用芯線15が取り出され、信号伝達用芯線14は制御コネクタ8に接続される。図はシールド筐体13を例示しているが、図5に示すシールド筐体12の構造もシールド筐体13と類似でポンプユニット1側の詳細説明は省略する。   FIG. 6 is a longitudinal section of the structure of the shield housing 13 having the structure shown in FIG. 5, and the end of the jacket 16 covering the outermost portion of the main cable 9 is cut off at the main cable end, and the shield 18 is exposed. Further, the exposed portion of the shield 18 is cut, the signal transmission core wire 14 and the power supply core wire 15 are taken out, and the signal transmission core wire 14 is connected to the control connector 8. Although the figure illustrates the shield housing 13, the structure of the shield housing 12 shown in FIG. 5 is similar to the shield housing 13, and detailed description on the pump unit 1 side is omitted.

電力供給用芯線15はシールド筐体13内の接続点Jで分岐ケーブル11側の電力供給用芯線21と接続され、電力供給用芯線21は分岐ケーブル11を介して電力コネクタ5に接続される。分岐ケーブル11はシールド19およびジャケット17で被覆されている。接続点Jでは芯線は適切な絶縁材料(図示しない)で外部が被覆されている。   The power supply core wire 15 is connected to a power supply core wire 21 on the branch cable 11 side at a connection point J in the shield housing 13, and the power supply core wire 21 is connected to the power connector 5 via the branch cable 11. The branch cable 11 is covered with a shield 19 and a jacket 17. At the connection point J, the core wire is covered with an appropriate insulating material (not shown).

図7は、電力供給用と信号伝達用でそれぞれ異なるピンの定格、絶縁距離を満足する仕様の複合コネクタ22を使用することによって、図4、5に示したポンプユニット1側の電力コネクタ4、制御コネクタ7を1個にまとめた例である。なお電源ユニット2には上位互換性が求められ、電源ユニット2側のコネクタは通常、図7に示すように図4、5と同様の複数のコネクタが使用されるが、上位互換性を求められない場合は電源ユニット2側のコネクタも1個にまとめることが可能になる。なお図7において図5と同じ符号で示す部品は図5と同一で説明は省略する。   FIG. 7 shows the power connector 4 on the pump unit 1 side shown in FIGS. 4 and 5, by using the composite connector 22 having specifications satisfying different pin ratings and insulation distances for power supply and signal transmission. In this example, the control connectors 7 are combined into one. The power supply unit 2 is required to have upward compatibility, and the connector on the power supply unit 2 side usually uses a plurality of connectors similar to those shown in FIGS. 4 and 5 as shown in FIG. 7, but is required to have upward compatibility. If not, it is possible to combine the connectors on the power supply unit 2 side into one. In FIG. 7, parts denoted by the same reference numerals as those in FIG. 5 are the same as those in FIG.

特開2006−057547号公報JP 2006-057547 A

従来のターボ分子ポンプ用ケーブルの構造は以上のとおりであるが、図4に示す構造では電力ケーブル3および制御ケーブル6の複数のケーブルを使用するため製造コストが増大し、またケーブルの敷設および保守作業も複雑になる。また図5および図6の構造では、ケーブルが主ケーブル9として一本化されるので製造コストの軽減および、ケーブルの敷設ならびに保守の簡易化は達成されるが、板金加工品などの金属成型品を使用したシールド筐体12あるいは13を必要とするため製造コストが増加し、また箱状の各シールド筐体の存在のため各コネクタの締結または開放時に作業効率が低下する。さらに分岐部位のシールド効果も限定されている。   The structure of the conventional turbo molecular pump cable is as described above. However, the structure shown in FIG. 4 uses a plurality of cables of the power cable 3 and the control cable 6, which increases the manufacturing cost, and also lays and maintains the cable. Work becomes complicated. 5 and 6, since the cable is unified as the main cable 9, the manufacturing cost can be reduced and the laying and maintenance of the cable can be simplified. Therefore, the manufacturing cost is increased because the shield casing 12 or 13 is used, and the work efficiency is lowered when each connector is fastened or released due to the presence of each box-shaped shield casing. Furthermore, the shielding effect of the branching part is also limited.

すなわち図6のシールド筐体13を例に挙げると、シールド筐体13は主ケーブル端周辺を隙間なく囲繞し、シールド18、シールド19および制御コネクタ8全体を永年にわたり外力や腐食から安定に保護しまたシールドする高精度の構造設計、製作および組立作業を必要とし、製造コストが増大する。また各シールド筐体が各コネクタ直近の周囲にあるため各コネクタの締結または開放時に作業者の手指に触れ、作業が阻害され作業効率を低下させる。さらに高精度の構造設計を行なっても一定形の各シールド筐体と可撓性のある各ケーブルとは密接性に限界があり、シールド効果が限定される。   That is, taking the shield case 13 of FIG. 6 as an example, the shield case 13 surrounds the end of the main cable without gaps, and stably protects the shield 18, the shield 19, and the entire control connector 8 from external forces and corrosion for many years. In addition, high-accuracy structural design, manufacturing, and assembly work are required for shielding, which increases manufacturing costs. Further, since each shield housing is in the immediate vicinity of each connector, the operator's fingers are touched when each connector is fastened or released, and the work is hindered and the work efficiency is lowered. Furthermore, even if a highly accurate structural design is performed, there is a limit to the closeness between each fixed shield case and each flexible cable, and the shielding effect is limited.

また図7の構造では、電力供給用と信号伝達用で異なるコネクタ各ピンの電圧・電流定格、絶縁距離を満足し、一体化したポンプユニット1側の複合コネクタ22が必要であり、このようなコネクタは市場汎用品では入手できないため専用の特注コネクタの開発を必要とし、製造コストが増大する。本考案はこれらの問題点を解決するものである。   Further, in the structure of FIG. 7, the voltage / current rating and insulation distance of each connector pin which is different for power supply and signal transmission are satisfied, and an integrated composite connector 22 on the pump unit 1 side is required. Since the connector cannot be obtained as a general-purpose product on the market, it requires the development of a dedicated custom connector, which increases the manufacturing cost. The present invention solves these problems.

本考案が提供するターボ分子ポンプ用ケーブルは上記課題を解決するために、ターボ分子ポンプユニットと電源ユニット間に配設されかつそれぞれがシールドで被覆された電力供給用芯線と信号伝達用芯線が挿通される主ケーブル端と前記電力供給用芯線を前記主ケーブルから分岐する分岐ケーブル端を電源ユニットまたはポンプユニットに取り付けられたシールド筐体の開口部に挿設させるとともに、前記主ケーブル内の電力供給用芯線のみを前記シールド筐体部位から前記分岐ケーブルに挿通させ、信号伝達用芯線は制御コネクタに接続し電力供給用芯線は電力コネクタに接続させた構造とする。   In order to solve the above problems, a turbo molecular pump cable provided by the present invention is inserted between a turbo molecular pump unit and a power supply unit, and a power supply core wire and a signal transmission core wire each covered with a shield are inserted. A branch cable end for branching the main cable end and the power supply core wire from the main cable is inserted into an opening of a shield housing attached to a power supply unit or a pump unit, and power supply in the main cable is provided Only the core wire is inserted into the branch cable from the shield housing part, the signal transmission core wire is connected to the control connector, and the power supply core wire is connected to the power connector.

また電力供給用芯線と信号伝達用芯線を外覆するシールド被覆を備えた前記主ケーブル端において、シールド被覆の一部を半開し信号伝達用芯線を引き出すとともに、電力供給用芯線を内蔵したシールド被覆部位を折返し、前記分岐ケーブルの分岐シールドとして使用する。   Further, at the main cable end provided with a shield coating for covering the power supply core wire and the signal transmission core wire, a part of the shield coating is partially opened to draw out the signal transmission core wire, and a shield coating with a built-in power supply core wire. The part is folded and used as a branch shield of the branch cable.

また前記分岐シールドと、前記電力供給用芯線と信号伝達用芯線を外覆するシールド被覆を接触させ、かつ前記電力供給用芯線を前記主ケーブルから分岐する分岐ケーブル端から前記制御コネクタ間までを外覆する接続シールドを設ける。また前記接続シールドは可撓性を備えた材料とする。   Further, the branch shield is brought into contact with a shield covering that covers the power supply core wire and the signal transmission core wire, and the power supply core wire is disconnected from the end of the branch cable that branches from the main cable to between the control connectors. Provide an overlying connection shield. The connection shield is made of a flexible material.

また前記シールド被覆部位を編組線使用のシールド線で構成し、前記主ケーブル端あるいは制御コネクタと信号伝達用芯線の接続部分の外方からの保護および絶縁に熱収縮チューブを用いる。   Further, the shield covering portion is formed of a shielded wire using a braided wire, and a heat shrinkable tube is used for protection and insulation from the outside of the main cable end or the connecting portion between the control connector and the signal transmission core wire.

本考案によれば、従来主ケーブルの分岐部を、外力や腐食から安定に保護しまたシールドするために、板金加工などで作製されコネクタ直近に配設されていた一定形のシールド筐体が不要になり、ケーブル組立品の製造コストが低減され、可撓性の構造によりケーブルの取り扱いおよびコネクタの締結・開放作業も簡易化される。また主ケーブル端周辺が相互に密接した可撓性シールドのみで被覆されシールドの不連続が避けられる。また外部からの電磁ノイズ耐性の向上、外部への電磁界放射の低下などが実現され、シールド効果が改善される。   According to the present invention, in order to stably protect and shield the branch portion of the main cable from external force and corrosion, it is not necessary to have a fixed shield case that is made by sheet metal processing etc. Thus, the manufacturing cost of the cable assembly is reduced, and the handling of the cable and the fastening / opening operation of the connector are simplified by the flexible structure. Further, the periphery of the main cable is covered only with a flexible shield that is in close contact with each other, so that discontinuity of the shield is avoided. Further, the resistance to electromagnetic noise from the outside is improved, the electromagnetic field radiation is reduced to the outside, and the shielding effect is improved.

本考案の実施例の構成図である。It is a block diagram of the Example of this invention. 本考案のポンプユニットと電源ユニットの接続を示す図である。It is a figure which shows the connection of the pump unit of this invention, and a power supply unit. 本考案の他の実施例を示す図である。It is a figure which shows the other Example of this invention. 従来のポンプユニットと電源ユニットの接続を示す図である。It is a figure which shows the connection of the conventional pump unit and a power supply unit. 従来のポンプユニットと電源ユニットの接続を示す図である。It is a figure which shows the connection of the conventional pump unit and a power supply unit. 従来の電源ユニット側のコネクタの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the connector of the conventional power supply unit side. 従来のポンプユニットと電源ユニットの接続を示す図である。It is a figure which shows the connection of the conventional pump unit and a power supply unit.

以下図示例にしたがって説明する。図1は本考案の一実施例で、制御コネクタ8近傍にある主ケーブル端周辺の断面図である。主ケーブル9Nは主ケーブル端でジャケット16(図6参照)が切開され、シールド18が露出される。さらにシールド18の一部は半開され信号伝達用芯線14が引き出され、制御コネクタ8に接続される。シールド18、シールド19Nに密接したシールド32の右方端部は制御コネクタ8に接続される。主ケーブル端周辺はジャケット31で被覆される。   This will be described with reference to the illustrated example. FIG. 1 is a sectional view of the vicinity of a main cable end in the vicinity of a control connector 8 according to an embodiment of the present invention. In the main cable 9N, the jacket 16 (see FIG. 6) is cut open at the end of the main cable, and the shield 18 is exposed. Further, a part of the shield 18 is half-opened, and the signal transmission core wire 14 is pulled out and connected to the control connector 8. The right end of the shield 32 that is in close contact with the shield 18 and the shield 19N is connected to the control connector 8. The periphery of the main cable end is covered with a jacket 31.

シールド18は電力供給用芯線15を内蔵した状態で折返され、分岐ケーブル11N側のシールド19Nを形成する。シールド19Nはさらにジャケット17Nで被覆され、分岐ケーブル11Nを形成する。電力供給用芯線15は分岐ケーブル11Nを介して電力コネクタ5に接続される。またシールド19Nの端部は電力コネクタ5の外周に接続される。なお、各ケーブルの端部および各コネクタと各ジャケットの端部を外力や腐食から安定に保護するため、たとえば保護部分の最外周をさらに熱収縮チューブで被覆し、組立の最終段階で収縮が必要な箇所を熱処理すればよい。   The shield 18 is folded back with the power supply core wire 15 incorporated therein, and forms a shield 19N on the branch cable 11N side. The shield 19N is further covered with a jacket 17N to form a branch cable 11N. The power supply core wire 15 is connected to the power connector 5 via the branch cable 11N. The end of the shield 19N is connected to the outer periphery of the power connector 5. In addition, in order to stably protect the end of each cable and the end of each connector and each jacket from external force and corrosion, for example, the outermost periphery of the protection part is further covered with a heat shrink tube, and shrinkage is necessary at the final stage of assembly What is necessary is just to heat-process an important part.

図2は図1の構造の主ケーブル端部位を備えたポンプユニット1と電源ユニット2の接続の構成を示している。電力コネクタ4、制御コネクタ7および分岐ケーブル10N部分の構造および作動は図1の電力コネクタ5、制御コネクタ8および分岐ケーブル11N部分に類似である。   FIG. 2 shows a connection configuration of the pump unit 1 and the power supply unit 2 having the main cable end portion of the structure of FIG. The structure and operation of the power connector 4, the control connector 7 and the branch cable 10N are similar to those of the power connector 5, the control connector 8 and the branch cable 11N in FIG.

図3はY型ジャケット33を使用した実施例を示している。すなわちY型ジャケット33で主ケーブル端周辺を被覆し、その一端を主ケーブル9N側に、別の一端を制御コネクタ8側に、別の一端を電力コネクタ5側に使用する。   FIG. 3 shows an embodiment using a Y-shaped jacket 33. That is, the periphery of the main cable end is covered with the Y-shaped jacket 33, one end thereof is used on the main cable 9N side, the other end is used on the control connector 8 side, and the other end is used on the power connector 5 side.

本考案は上記の実施例に限定されるものではなく、さらに種々の変形実施例を挙げることができる。たとえば図1の実施例では主ケーブル9Nが主ケーブル端を介して制御コネクタ8に接続され、一部の電力供給用芯線15が分岐ケーブル11Nを介して副コネクタである電力コネクタ5に副次的に接続された例であるが、主ケーブル9Nを電力コネクタ5に、分岐ケーブル11Nを制御コネクタ8に接続可能である。親コネクタと副コネクタは目的に応じて自由に変更できる。また必要に応じて分岐ケーブル11Nの端部にさらに本考案の主ケーブル端相当部位を設けてさらにケーブルを分岐でき、本考案のコネクタ数は2個に限定されない。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be given. For example, in the embodiment of FIG. 1, the main cable 9N is connected to the control connector 8 via the main cable end, and a part of the power supply core wire 15 is connected to the power connector 5 which is a sub connector via the branch cable 11N. In this example, the main cable 9N can be connected to the power connector 5 and the branch cable 11N can be connected to the control connector 8. The parent connector and the sub connector can be freely changed according to the purpose. Further, if necessary, the cable can be further branched by providing a portion corresponding to the main cable end of the present invention at the end of the branch cable 11N, and the number of connectors of the present invention is not limited to two.

また図1においてシールド18の半開部分を制御コネクタ8に近設し、シールド18を分岐ケーブル11N側に折返さず、信号伝達用芯線14を内蔵したままで制御コネクタ8を直接外覆し固着する構造も考えられる。この場合は上記半開部分で電力供給用芯線15を引き出し、別途準備した分岐ケーブル11N側の電力供給用芯線、すなわち図6の電力供給用芯線21と類似の芯線に接続し、電力コネクタ5に導く。この構造ではシールド32はシールド18で大旨代替が可能で、シールド32を省略できる。   Further, in FIG. 1, the half-opened portion of the shield 18 is placed close to the control connector 8, and the shield 18 is not folded back to the branch cable 11N side, and the control connector 8 is directly covered and fixed with the signal transmission core wire 14 incorporated. Is also possible. In this case, the power supply core wire 15 is pulled out in the half-opened portion, connected to a separately prepared power supply core wire on the side of the branch cable 11N, that is, a core wire similar to the power supply core wire 21 in FIG. . In this structure, the shield 32 can be largely replaced by the shield 18, and the shield 32 can be omitted.

また主ケーブル端周辺の外力や腐食からの保護には前記のとおり熱収縮チューブを用いることができるが、ジャケット31、ジャケット17NあるいはY型ジャケット33自体に熱収縮チューブを使用しても良い。この場合各ジャケット自体で主ケーブル端周辺の保護が行われるため構造が簡易化されコストダウン効果が増加する。さらに主ケーブル端周辺の保護として他の方法、たとえば弾力性材料、接着剤などを採用でき、本考案は端部の保護の手法および使用材料には限定されない。   Further, as described above, a heat-shrinkable tube can be used for protection from external force and corrosion around the end of the main cable, but a heat-shrinkable tube may be used for the jacket 31, the jacket 17N or the Y-shaped jacket 33 itself. In this case, each jacket itself protects the periphery of the main cable end, so that the structure is simplified and the cost reduction effect is increased. Further, other methods such as a resilient material and an adhesive can be adopted as protection around the end of the main cable, and the present invention is not limited to the end protection method and the material used.

図1は主ケーブル端周辺を模式的に示しているが、シールド32の内方に空間を残す必要はないので、前記のとおりジャケット31に熱収縮チューブを使用し、ジャケット31全体を熱処理して収縮させ、不要な空間を可能な限り除去し取り扱いに便ならしめてもよい。可撓性のシールド材料として編組線以外にも銅箔テープなどをシールド相互の接続部などの適切な箇所に使用することも考えられ、シールド材料は編組線には限定されない。本考案はこれらをすべて包含する。   Although FIG. 1 schematically shows the periphery of the main cable end, it is not necessary to leave a space inside the shield 32. Therefore, as described above, a heat-shrinkable tube is used for the jacket 31, and the entire jacket 31 is heat-treated. It may be shrunk to remove unnecessary space as much as possible to make it easier to handle. In addition to the braided wire as a flexible shield material, it is also conceivable to use a copper foil tape or the like at an appropriate location such as a shield mutual connection portion, and the shield material is not limited to the braided wire. The present invention encompasses all of these.

本考案は半導体製造装置、半導体検査装置、電子顕微鏡その他、真空を利用して製造・検査・研究を行なうための真空装置において真空を発生させるターボ分子ポンプ用のケーブル配設構造に適用することができる。また1本のケーブルの両端または一端で芯線を複数のコネクタに分岐することが必要な用途に適用できる。   The present invention can be applied to a cable arrangement structure for a turbo molecular pump that generates a vacuum in a semiconductor manufacturing apparatus, a semiconductor inspection apparatus, an electron microscope, and other vacuum apparatuses for manufacturing, inspection, and research using vacuum. it can. In addition, the present invention can be applied to an application where it is necessary to branch the core wire into a plurality of connectors at both ends or one end of one cable.

1 ポンプユニット
2 電源ユニット
3 電力ケーブル
4 電力コネクタ
5 電力コネクタ
6 制御ケーブル
7 制御コネクタ
8 制御コネクタ
9 主ケーブル
9N 主ケーブル
10 分岐ケーブル
10N 分岐ケーブル
11 分岐ケーブル
11N 分岐ケーブル
12 シールド筐体
13 シールド筐体
14 信号伝達用芯線
15 電力供給用芯線
16 ジャケット
17 ジャケット
17N ジャケット
18 シールド
19 シールド
19N シールド
21 電力供給用芯線
22 複合コネクタ
31 ジャケット
32 シールド
33 Y型ジャケット
J 接続点
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pump unit 2 Power supply unit 3 Power cable 4 Power connector 5 Power connector 6 Control cable 7 Control connector 8 Control connector 9 Main cable 9N Main cable 10 Branch cable 10N Branch cable 11 Branch cable 11N Branch cable 12N Shield case 13 Shield case 14 Signal Transmission Core 15 Power Supply Core 16 Jacket 17 Jacket 17N Jacket 18 Shield 19 Shield 19N Shield 21 Power Supply Core 22 Composite Connector 31 Jacket 32 Shield 33 Y Type Jacket J Connection Point

Claims (5)

ターボ分子ポンプユニットと電源ユニット間に配設されかつそれぞれがシールドで被覆された電力供給用芯線と信号伝達用芯線が挿通される主ケーブル端と前記電力供給用芯線を前記主ケーブルから分岐する分岐ケーブル端を電源ユニットまたはポンプユニットに取り付けられたシールド筐体の開口部に挿設させるとともに、前記主ケーブル内の電力供給用芯線のみを前記シールド筐体部位から前記分岐ケーブルに挿通させ、信号伝達用芯線は制御コネクタに接続し電力供給用芯線は電力コネクタに接続させた構造を特徴とするターボ分子ポンプ用ケーブル配設構造。   A power supply core wire disposed between the turbomolecular pump unit and the power supply unit and covered with a shield, a main cable end through which the signal transmission core wire is inserted, and a branch branching the power supply core wire from the main cable The cable end is inserted into the opening of the shield housing attached to the power supply unit or the pump unit, and only the power supply core wire in the main cable is inserted into the branch cable from the shield housing portion to transmit the signal. A turbo molecular pump cable arrangement structure characterized in that the core wire is connected to the control connector and the power supply core wire is connected to the power connector. 電力供給用芯線と信号伝達用芯線を外覆するシールド被覆を備えた前記主ケーブル端において、シールド被覆の一部を半開し信号伝達用芯線を引き出すとともに、電力供給用芯線を内蔵したシールド被覆を折返し、前記分岐ケーブルの分岐シールドとして使用したことを特徴とする請求項1記載のターボ分子ポンプ用ケーブル配設構造。   At the end of the main cable provided with a shield coating for covering the power supply core wire and the signal transmission core wire, a part of the shield coating is partially opened to draw out the signal transmission core wire, and a shield coating with a built-in power supply core wire is provided. The turbo molecular pump cable arrangement structure according to claim 1, wherein the turbo molecular pump cable arrangement structure is used as a branch shield of the branch cable. 前記分岐シールドと、前記電力供給用芯線と信号伝達用芯線を外覆するシールド被覆を接触させ、かつ前記電力供給用芯線を前記主ケーブルから分岐する分岐ケーブル端から前記制御コネクタ間までを外覆する接続シールドを設けたことを特徴とする請求項1または請求項2記載のターボ分子ポンプ用ケーブル配設構造。   The branch shield is brought into contact with the shield covering that covers the power supply core wire and the signal transmission core wire, and the power supply core wire is covered from the end of the branch cable that branches from the main cable to between the control connectors. The turbo molecular pump cable arrangement structure according to claim 1 or 2, further comprising a connection shield for the turbo molecular pump. 前記接続シールドは可撓性を備えた材料であることを特徴とする請求項3記載のターボ分子ポンプ用ケーブル配設構造。   4. The turbo molecular pump cable arrangement structure according to claim 3, wherein the connection shield is made of a flexible material. 前記シールド被覆を編組線使用のシールド線で構成し、前記主ケーブル端あるいは制御コネクタと信号伝達用芯線の接続部分の外方からの保護および絶縁に熱収縮チューブを用いたことを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3または請求項4記載のターボ分子ポンプ用ケーブル配設構造。   The shield coating is constituted by a shielded wire using a braided wire, and a heat-shrinkable tube is used for protection and insulation from the outside of the main cable end or a connection portion between the control connector and the signal transmission core wire. The cable arrangement structure for a turbo molecular pump according to claim 1, claim 2, claim 3, or claim 4.
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