JP3147329B2 - 超音波振動子 - Google Patents
超音波振動子Info
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- JP3147329B2 JP3147329B2 JP32089395A JP32089395A JP3147329B2 JP 3147329 B2 JP3147329 B2 JP 3147329B2 JP 32089395 A JP32089395 A JP 32089395A JP 32089395 A JP32089395 A JP 32089395A JP 3147329 B2 JP3147329 B2 JP 3147329B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高温度下での試料
の物性評価などを可能にする超音波振動子の構造に関す
るものである。
の物性評価などを可能にする超音波振動子の構造に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】超音波の応用例としては、大きなパワー
を必要とする動力的応用から、逆に大きなパワーを必要
としない計測的応用まで、今日利用されている応用分野
は多岐にわたっている。例えば、前者においては液中へ
のキャビテーションの発生や洗浄あるいは加熱などがそ
の代表的な例として挙げられ、後者においては溶液の粘
度測定や密度測定、固体中の疎密分布や空洞欠陥の評価
などがその好例として挙げられる。このような超音波振
動子の代表的なものとしては、チタン酸ジルコン酸鉛
（ＰＺＴ）などの圧電素子に対し、その厚さ方向の両面
を金属板で挟み込みボルト締めした、いわゆるボルト締
めランジュバン型振動子が挙げられる。
を必要とする動力的応用から、逆に大きなパワーを必要
としない計測的応用まで、今日利用されている応用分野
は多岐にわたっている。例えば、前者においては液中へ
のキャビテーションの発生や洗浄あるいは加熱などがそ
の代表的な例として挙げられ、後者においては溶液の粘
度測定や密度測定、固体中の疎密分布や空洞欠陥の評価
などがその好例として挙げられる。このような超音波振
動子の代表的なものとしては、チタン酸ジルコン酸鉛
（ＰＺＴ）などの圧電素子に対し、その厚さ方向の両面
を金属板で挟み込みボルト締めした、いわゆるボルト締
めランジュバン型振動子が挙げられる。
【０００３】これら超音波を用いた計測方法は、測定に
要する時間が短く経時変化していく試料の特性をリアル
タイムで評価する方法として優れているが、使用するＢ
ＬＴ振動子の耐熱性あるいは温度変化に基づく共振周波
数の変化などの問題から、実用的に保証できる使用温度
域はさほど高い領域までは到達していなかった。
要する時間が短く経時変化していく試料の特性をリアル
タイムで評価する方法として優れているが、使用するＢ
ＬＴ振動子の耐熱性あるいは温度変化に基づく共振周波
数の変化などの問題から、実用的に保証できる使用温度
域はさほど高い領域までは到達していなかった。
【０００４】図５は、ボルト締めランジュバン型振動子
を用いた従来の粘度計振動子であり、液状試料に接触さ
せたねじり振動ホーンの負荷の変化によって試料の粘度
を測定するものである。通常ホーンの先端のねじり変位
は０．５〜１．０μｍ程度である。図中、１は振動素
子、２は電極板、３は裏打板、４は前面板、５は連結ボ
ルト、６はホーン、７はフランジ、１０は筐体、１１は
筐体フランジをあらわす。図５（ａ）に示す振動子は、
図５（ｂ）に示されているようにフランジ７を筐体１０
に固定し、次いで筐体フランジ１１を試料箱に固定され
る。従って、振動子はホーン６の先端からフランジ７の
根元まで試料液に接触することになる。
を用いた従来の粘度計振動子であり、液状試料に接触さ
せたねじり振動ホーンの負荷の変化によって試料の粘度
を測定するものである。通常ホーンの先端のねじり変位
は０．５〜１．０μｍ程度である。図中、１は振動素
子、２は電極板、３は裏打板、４は前面板、５は連結ボ
ルト、６はホーン、７はフランジ、１０は筐体、１１は
筐体フランジをあらわす。図５（ａ）に示す振動子は、
図５（ｂ）に示されているようにフランジ７を筐体１０
に固定し、次いで筐体フランジ１１を試料箱に固定され
る。従って、振動子はホーン６の先端からフランジ７の
根元まで試料液に接触することになる。
【０００５】ここで試料の温度が高いと、ホーン６ない
し筐体の壁面１０からの熱伝導によって振動素子１の温
度も上昇し、共振周波数のズレや、動アドミッタンスの
変動を生ずる。例えば、試料液の温度が１００℃程度の
ものであれば、これら共振周波数や動アドミッタンスの
変動は比較的小さく、制御回路内で充分補正が可能であ
るが、より高温下でこれらの変動幅が大きくなると、も
はや制御回路内のみでの共振点やインピーダンスのマッ
チングは不可能なレベルとなる。
し筐体の壁面１０からの熱伝導によって振動素子１の温
度も上昇し、共振周波数のズレや、動アドミッタンスの
変動を生ずる。例えば、試料液の温度が１００℃程度の
ものであれば、これら共振周波数や動アドミッタンスの
変動は比較的小さく、制御回路内で充分補正が可能であ
るが、より高温下でこれらの変動幅が大きくなると、も
はや制御回路内のみでの共振点やインピーダンスのマッ
チングは不可能なレベルとなる。
【０００６】このような事実は、先に述べた動力的応用
や計測的応用といった応用分野の別では、とりわけ後者
の分野により重要な問題となる。この理由は、仮に高温
下でインピーダンスや共振周波数のマッチングが制御回
路内で可能であったとしても、温度による振動子の寸法
変化や共振周波数の変化は得られる測定値に直接影響す
るからである。
や計測的応用といった応用分野の別では、とりわけ後者
の分野により重要な問題となる。この理由は、仮に高温
下でインピーダンスや共振周波数のマッチングが制御回
路内で可能であったとしても、温度による振動子の寸法
変化や共振周波数の変化は得られる測定値に直接影響す
るからである。
【０００７】素子の等価回路は、例えば図６のようにあ
らわすことができる。図６において、Ｅは駆動電圧、Ｉ
は電流、Ｃはマッチングの容量、Ｌはマッチングのイン
ダクタンスを示す。Ｃ0 はダンピング容量、Ｌ1 ，Ｃ
1 ，Ｒ1 は振動子の直列等価要素であり、試料に接触す
ることによる負荷分が、αＲL ，βＸL ／ωとして表さ
れている。
らわすことができる。図６において、Ｅは駆動電圧、Ｉ
は電流、Ｃはマッチングの容量、Ｌはマッチングのイン
ダクタンスを示す。Ｃ0 はダンピング容量、Ｌ1 ，Ｃ
1 ，Ｒ1 は振動子の直列等価要素であり、試料に接触す
ることによる負荷分が、αＲL ，βＸL ／ωとして表さ
れている。
【０００８】ニュートン性流体の場合、試料粘度ηは、
試料に接触させる前後での試料に流れる電流を用いて、 η ＝ Ｋ（Ｉb −Ｉa ）2 ／ ρ （ここで、η：粘度、Ｋ：定数、ρ：比重、Ｉa ：試料
に接触前の電流、Ｉb ：試料に接触後の電流、を示
す。） となるが、周囲からの熱伝導で振動子が熱膨張するため
に、ブランクとなるＣ0，Ｌ1 ，Ｃ1 ，Ｒ1 などはその
つど変動する。即ち、Ｉa は各温度ごとに異なる値をと
ることになる。実際、液温度が仮に１００℃であれば、
素子の熱膨張により共振周波数は数１０〜数１００Ｈｚ
程度変動するし、動アドミッタンスもほぼ数１０ｍｍｈ
ｏ（ミリムオー）程度変動してしまう。このような大き
な変動幅は、電気回路での補正だけでは吸収できないレ
ベルである。
試料に接触させる前後での試料に流れる電流を用いて、 η ＝ Ｋ（Ｉb −Ｉa ）2 ／ ρ （ここで、η：粘度、Ｋ：定数、ρ：比重、Ｉa ：試料
に接触前の電流、Ｉb ：試料に接触後の電流、を示
す。） となるが、周囲からの熱伝導で振動子が熱膨張するため
に、ブランクとなるＣ0，Ｌ1 ，Ｃ1 ，Ｒ1 などはその
つど変動する。即ち、Ｉa は各温度ごとに異なる値をと
ることになる。実際、液温度が仮に１００℃であれば、
素子の熱膨張により共振周波数は数１０〜数１００Ｈｚ
程度変動するし、動アドミッタンスもほぼ数１０ｍｍｈ
ｏ（ミリムオー）程度変動してしまう。このような大き
な変動幅は、電気回路での補正だけでは吸収できないレ
ベルである。
【０００９】即ち、計測的用途でいえば、予め各温度で
の無負荷状態の入力電流や等価電気要素を知っておかな
ければ正確な測定値は得られないことになり、このた
め、ホーンの設計によって、振動子の共振の鋭さＱを低
下させ、これらの変動を抑制するような工夫もなされて
はいるが、反面これは測定感度の低下を招くなどの不具
合もあり、実用的な測定方法といえるものではない。動
力的応用例においても、このような高温下では多くの場
合インピーダンス変動は制御回路での制御可能範囲を越
えてしまう。どちらの応用例にしても、２００℃程度の
高温下での使用は不可能なものであり、改善が望まれて
いた。
の無負荷状態の入力電流や等価電気要素を知っておかな
ければ正確な測定値は得られないことになり、このた
め、ホーンの設計によって、振動子の共振の鋭さＱを低
下させ、これらの変動を抑制するような工夫もなされて
はいるが、反面これは測定感度の低下を招くなどの不具
合もあり、実用的な測定方法といえるものではない。動
力的応用例においても、このような高温下では多くの場
合インピーダンス変動は制御回路での制御可能範囲を越
えてしまう。どちらの応用例にしても、２００℃程度の
高温下での使用は不可能なものであり、改善が望まれて
いた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
の振動子の欠点に鑑みて種々検討した結果なされたもの
であり、その目的とするところは、高い温度において液
体の物性の測定や液中へのキャビテーションの発生など
を行うことができる超音波振動子を提供しようとするも
のである。
の振動子の欠点に鑑みて種々検討した結果なされたもの
であり、その目的とするところは、高い温度において液
体の物性の測定や液中へのキャビテーションの発生など
を行うことができる超音波振動子を提供しようとするも
のである。
【００１１】
【問題を解決するための手段】本発明は、ボルト締めラ
ンジュバン型振動子を振動子とした超音波振動子におい
て、恒温液又は恒温ガスを供給して振動子を冷却するこ
とを特徴とする超音波振動子に関するものであり、振動
素子の温度を一定に保つことにより、振動素子の特性の
安定化をはかったものである。即ち、本発明は、ボルト
締めランジュバン型振動子の裏打板、振動素子および前
面板の内部に、振動素子の温度を一定に保つために、恒
温液又は恒温ガスを循環させる超音波振動子であって、
ボルト締めランジュバン型振動子の裏打板と前面板とを
連結する連結ボルト内もしくは該連結ボルトにて連結さ
れた前面板部まで貫通させた冷却液用の穴を設け、該穴
内に冷却液注入パイプを挿入設置し、冷却液を流すこと
を特徴とする超音波振動子を要旨とするものである。
ンジュバン型振動子を振動子とした超音波振動子におい
て、恒温液又は恒温ガスを供給して振動子を冷却するこ
とを特徴とする超音波振動子に関するものであり、振動
素子の温度を一定に保つことにより、振動素子の特性の
安定化をはかったものである。即ち、本発明は、ボルト
締めランジュバン型振動子の裏打板、振動素子および前
面板の内部に、振動素子の温度を一定に保つために、恒
温液又は恒温ガスを循環させる超音波振動子であって、
ボルト締めランジュバン型振動子の裏打板と前面板とを
連結する連結ボルト内もしくは該連結ボルトにて連結さ
れた前面板部まで貫通させた冷却液用の穴を設け、該穴
内に冷却液注入パイプを挿入設置し、冷却液を流すこと
を特徴とする超音波振動子を要旨とするものである。
【００１２】前述のように、計測的用途においては特に
温度の影響が大きく現れるため、計測的用途の具体例と
して図１，図２，図３及び図４に基づいて本発明の内容
を詳細に説明する。
温度の影響が大きく現れるため、計測的用途の具体例と
して図１，図２，図３及び図４に基づいて本発明の内容
を詳細に説明する。
【００１３】図１（ａ），（ｂ）は、本発明の振動子の
構造の一例を模式的にあらわしたものであり、（ａ）は
振動子の断面図、（ｂ）は振動子の周囲に筐体を設けた
振動子全体の構造、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ断面図を表
している。図１に示す具体例において、振動子の最大の
特徴は、連結ボルト５内を貫通する冷却液用の穴８の中
に冷却液注入パイプ９を挿入し、ここに一定の温度に制
御された液体を一定流量循環させることによって、振動
素子１の温度の変動を防ぐことにある。即ち前面板４、
連結ボルト５、及び裏打板３が強制的に冷却されること
により、ホーン６ないし筐体の壁面１０からの熱伝導に
は無関係に、振動素子１は安定した一定の寸法及び電気
的定数を保持し続けることが可能となる。
構造の一例を模式的にあらわしたものであり、（ａ）は
振動子の断面図、（ｂ）は振動子の周囲に筐体を設けた
振動子全体の構造、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ断面図を表
している。図１に示す具体例において、振動子の最大の
特徴は、連結ボルト５内を貫通する冷却液用の穴８の中
に冷却液注入パイプ９を挿入し、ここに一定の温度に制
御された液体を一定流量循環させることによって、振動
素子１の温度の変動を防ぐことにある。即ち前面板４、
連結ボルト５、及び裏打板３が強制的に冷却されること
により、ホーン６ないし筐体の壁面１０からの熱伝導に
は無関係に、振動素子１は安定した一定の寸法及び電気
的定数を保持し続けることが可能となる。
【００１４】図２は、本発明に用いる冷却液注入パイプ
９の構造の例である。冷却液注入パイプ９は冷却液用の
穴８の内径より小さい外径を有している。恒温液は、こ
のパイプの冷却液入口１２から冷却液注入パイプ９に注
入され、冷却液注入パイプ９の外壁と冷却液用の穴８の
内壁の間を通って、冷却液出口１３から取り出されるこ
とによって振動子内を循環するものである。冷却液とし
ては、水、不凍液含有水、オイル等任意の冷媒が使用で
きるが、水が最も簡便で好ましい。このようにして振動
素子１は、裏打板３、前面板４及び連結ボルト５の内部
側面を介して冷却され、試料温度に無関係に一定温度に
保持されることになる。
９の構造の例である。冷却液注入パイプ９は冷却液用の
穴８の内径より小さい外径を有している。恒温液は、こ
のパイプの冷却液入口１２から冷却液注入パイプ９に注
入され、冷却液注入パイプ９の外壁と冷却液用の穴８の
内壁の間を通って、冷却液出口１３から取り出されるこ
とによって振動子内を循環するものである。冷却液とし
ては、水、不凍液含有水、オイル等任意の冷媒が使用で
きるが、水が最も簡便で好ましい。このようにして振動
素子１は、裏打板３、前面板４及び連結ボルト５の内部
側面を介して冷却され、試料温度に無関係に一定温度に
保持されることになる。
【００１５】
【００１６】恒温液又は恒温ガスの流量は、測定する液
温度とホーンを接触させている時間にもよるが、一般的
には恒温水で１〜２リットル／分、恒温エアで１５〜３
０リットル／分程度が好ましい結果を与える。また、図
１に示した方法において、冷却液に代りに恒温ガスを用
いてもよい。
温度とホーンを接触させている時間にもよるが、一般的
には恒温水で１〜２リットル／分、恒温エアで１５〜３
０リットル／分程度が好ましい結果を与える。また、図
１に示した方法において、冷却液に代りに恒温ガスを用
いてもよい。
【００１７】図１及び図３に示すいずれの具体例の場合
も、電極板２間の電圧差に基づく振動素子１の側面の沿
面放電を防ぐ目的で、図４に示すように、振動素子１の
内部側面１７、外部側面１８、あるいは、これらと電極
２の内外側面１９を、耐水性及び電気絶縁性の優れた樹
脂材料で予めコートしておくと、本発明の効果を発揮し
つつ、沿面放電の危険も回避できるので好ましい。前記
樹脂材料は、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコ
ーン系樹脂、沸素系樹脂などが本目的に適しているが、
作業性や長時間使用での信頼性の観点から、特にシリコ
ーン系樹脂が望ましい材料である。コート厚さは数１０
〜数１００μｍ程度で十分な効果を発揮する。
も、電極板２間の電圧差に基づく振動素子１の側面の沿
面放電を防ぐ目的で、図４に示すように、振動素子１の
内部側面１７、外部側面１８、あるいは、これらと電極
２の内外側面１９を、耐水性及び電気絶縁性の優れた樹
脂材料で予めコートしておくと、本発明の効果を発揮し
つつ、沿面放電の危険も回避できるので好ましい。前記
樹脂材料は、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコ
ーン系樹脂、沸素系樹脂などが本目的に適しているが、
作業性や長時間使用での信頼性の観点から、特にシリコ
ーン系樹脂が望ましい材料である。コート厚さは数１０
〜数１００μｍ程度で十分な効果を発揮する。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の実施例と比較例を挙げる。
【００１９】《実施例１》図５に示したねじれ振動子の
連結ボルト（２５ｍｍφ）に対し、軸方向の中央に冷却
液用の穴を貫通するように設けた（１８ｍｍφ）。な
お、振動素子の寸法は、内径３０ｍｍφ，外径６５ｍｍ
φである。この穴の中に、図２に示す冷却液注入パイプ
（外径１４ｍｍφ、内径１０ｍｍφ）を埋め込んで、こ
のパイプ中に２５℃に制御した水を、３リットル／分の
流量で流した。ホーンを、粘度計校正用ＪＳ６０Ｈの標
準液に接触させ、液体の温度を変えながら振動素子１の
温度、共振周波数、動アドミッタンスを測定した。この
結果を表１に示す。
連結ボルト（２５ｍｍφ）に対し、軸方向の中央に冷却
液用の穴を貫通するように設けた（１８ｍｍφ）。な
お、振動素子の寸法は、内径３０ｍｍφ，外径６５ｍｍ
φである。この穴の中に、図２に示す冷却液注入パイプ
（外径１４ｍｍφ、内径１０ｍｍφ）を埋め込んで、こ
のパイプ中に２５℃に制御した水を、３リットル／分の
流量で流した。ホーンを、粘度計校正用ＪＳ６０Ｈの標
準液に接触させ、液体の温度を変えながら振動素子１の
温度、共振周波数、動アドミッタンスを測定した。この
結果を表１に示す。
【００２０】
【００２１】
【００２２】《実施例３》 振動素子の内部側面、外部側面および電極板の内外側面
に、それぞれ厚さ６０μｍでシリコーン樹脂をコートし
たこと以外は、実施例１と同じ振動子を使用し、実施例
１と同様の評価を行った。この結果を表１に示す。
に、それぞれ厚さ６０μｍでシリコーン樹脂をコートし
たこと以外は、実施例１と同じ振動子を使用し、実施例
１と同様の評価を行った。この結果を表１に示す。
【００２３】《比較例１》冷却液注入パイプおよび冷却
液用の穴がない従来の振動子を使用した以外は実施例１
と同じ振動子を使用し、実施例１と同様の評価を行っ
た。この結果を表１に示す。
液用の穴がない従来の振動子を使用した以外は実施例１
と同じ振動子を使用し、実施例１と同様の評価を行っ
た。この結果を表１に示す。
【００２４】
【表１】
【００２５】
【発明の効果】本発明に従うと、従来は１００℃程度ま
でしか測定できなかった液体の粘度、密度などの物性評
価が２００℃程度の液温でも可能となり、高温時の物性
をリアルタイムで簡便に測定することができる。よっ
て、本発明は物性の基礎評価のみならず、工程管理など
への適用も可能となる。また、本発明による超音波振動
子は、計測的用途のみならず、動力的用途においても同
様な効果を発揮することはいうまでもなく、例えば、高
温中におけるキャビテーションの発生や洗浄あるいは加
熱などがこれまで適用が不可能とされていた高温領域に
おいても可能となり、いずれの用途においてもその工業
的メリットは大きい。
でしか測定できなかった液体の粘度、密度などの物性評
価が２００℃程度の液温でも可能となり、高温時の物性
をリアルタイムで簡便に測定することができる。よっ
て、本発明は物性の基礎評価のみならず、工程管理など
への適用も可能となる。また、本発明による超音波振動
子は、計測的用途のみならず、動力的用途においても同
様な効果を発揮することはいうまでもなく、例えば、高
温中におけるキャビテーションの発生や洗浄あるいは加
熱などがこれまで適用が不可能とされていた高温領域に
おいても可能となり、いずれの用途においてもその工業
的メリットは大きい。
【図１】 本発明の振動子の一例であり、（ａ）は断面
図。（ｂ）は筐体をつけた前記振動子の筐体内断面図、
（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ断面図。
図。（ｂ）は筐体をつけた前記振動子の筐体内断面図、
（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ断面図。
【図２】 本発明に用いる冷却液注入パイプの一例の透
視斜視図。
視斜視図。
【図３】 樹脂コートされた振動素子の一例の斜視図。
【図４】 従来の振動子の一例であり、（ａ）は断面
図。（ｂ）は筐体をつけた前記振動子の筐体内断面図、
（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ断面図。
図。（ｂ）は筐体をつけた前記振動子の筐体内断面図、
（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ断面図。
【図５】 振動子の電気的等価回路。
１ 振動素子 ２ 電極板 ３ 裏打板 ４ 前面板 ５ 連結ボルト ６ ホーン ７ フランジ ８ 冷却液用の穴 ９ 冷却液注入パイプ １０ 筐体 １１ 筐体フランジ １２ 冷却液入口 １３ 冷却液出口 １４ ガス入口 １５ ガス出口 １７ コート樹脂
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−152687（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−46867（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−156983（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−299480（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−76883（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−183180（ＪＰ，Ｕ) 実開 平６−26398（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−44796（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭50−119323（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭30−10092（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B06B 1/06
Claims (2)
- 【請求項１】 ボルト締めランジュバン型振動子の裏打
板、振動素子および前面板の内部に、振動素子の温度を
一定に保つために、恒温液又は恒温ガスを循環させる超
音波振動子であって、ボルト締めランジュバン型振動子
の裏打板と前面板とを連結する連結ボルト内もしくは該
連結ボルトにて連結された前面板部まで貫通させた冷却
液用の穴を設け、該穴内に冷却液注入パイプを挿入設置
し、冷却液を流すことを特徴とする超音波振動子。 - 【請求項２】 振動素子、又は振動素子と電極板は、そ
の側面が耐水性および電気絶縁性に優れた樹脂材料でコ
ートされている請求項１記載の超音波振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32089395A JP3147329B2 (ja) | 1995-12-08 | 1995-12-08 | 超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32089395A JP3147329B2 (ja) | 1995-12-08 | 1995-12-08 | 超音波振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155290A JPH09155290A (ja) | 1997-06-17 |
| JP3147329B2 true JP3147329B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=18126449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32089395A Expired - Fee Related JP3147329B2 (ja) | 1995-12-08 | 1995-12-08 | 超音波振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3147329B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3812219B2 (ja) * | 1999-05-27 | 2006-08-23 | 株式会社日立製作所 | 化学分析装置 |
| DE10151992B8 (de) * | 2001-10-22 | 2004-12-16 | Kunststoff-Zentrum in Leipzig gemeinnützige Gesellschaft mbH | Kühlelement zum Einsatz in schwingenden Systemen |
| CN100506323C (zh) | 2005-01-10 | 2009-07-01 | 重庆海扶(Hifu)技术有限公司 | 一体化超声治疗换能器装置 |
| US8128646B2 (en) * | 2008-06-03 | 2012-03-06 | Olympus Medical Systems, Corp. | Ultrasonic vibration apparatus |
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1995
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