JP3139213B2 - Replacement gold plating solution - Google Patents

Replacement gold plating solution

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JP3139213B2
JP3139213B2 JP05123997A JP12399793A JP3139213B2 JP 3139213 B2 JP3139213 B2 JP 3139213B2 JP 05123997 A JP05123997 A JP 05123997A JP 12399793 A JP12399793 A JP 12399793A JP 3139213 B2 JP3139213 B2 JP 3139213B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、置換金めっき液に関す
る。
The present invention relates to a displacement gold plating solution.

【0002】[0002]

【従来の技術】金めっきは、従来、装飾用や電子部品の
電気的接続部の接触抵抗を小さくするために多く用いら
れている。このような金めっきに用いるめっき液は、下
地が連続して導電性を有する材料の場合、電解めっきを
用いるが、電子部品、特に配線板や半導体装置のような
場合には、孤立した導体部分にめっきしなければならな
いことが多く、無電解めっきが用いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, gold plating is widely used for decorative purposes or for reducing the contact resistance of electrical connection portions of electronic components. As a plating solution used for such gold plating, electrolytic plating is used when the base material is a material having continuous conductivity, but in the case of electronic components, particularly wiring boards and semiconductor devices, isolated conductive portions are used. In many cases, electroless plating is used.

【0003】このような無電解金めっきを行うために、
下地金属と置換して金を析出させる置換金めっき液とし
ては、従来、シアン化物が用いられている。このような
例として、日本プレーティング協会編、昭和59年9月
槇書店発行の「実用めっき(I)」には、シアン化金カ
リウム、塩化ニッケル、塩化コバルト、エチレンジアミ
ン四酢酸2ナトリウム、トリエタノールアミン、塩化ア
ンモニウム−アンモニア緩衝剤を含む置換金めっき液
を、pH6または9、液温95℃で使用することが開示
され、日本プレーティング協会編、昭和59年9月槇書
店発行の「実用めっき(III)」には、シアン化金ナト
リウム、シアン化ナトリウム、ソーダ灰を含む金めっき
液が開示されている。
In order to perform such electroless gold plating,
Conventionally, cyanide has been used as a replacement gold plating solution that precipitates gold by replacing the underlying metal. For example, “Practical Plating (I)” published by Maki Shoten in September 1984, edited by the Japan Plating Association includes gold potassium cyanide, nickel chloride, cobalt chloride, disodium ethylenediaminetetraacetate, triethanol It was disclosed that a substituted gold plating solution containing an amine and an ammonium chloride-ammonia buffer was used at a pH of 6 or 9 and a liquid temperature of 95 ° C., and was published by Maki Shoten in September 1984, edited by the Japan Plating Association. (III) "discloses a gold plating solution containing sodium gold cyanide, sodium cyanide, and soda ash.

【0004】また、置換金めっき液として、シアンを用
いないものとしては、特開平4−314870号公報
に、非シアン金源、亜硫酸塩、及びポリアミンとアミノ
カルボン酸を含む金属錯化剤を含むものが開示されてお
り、このポリアミンは、析出した金めっきの外観を向上
するために用いられている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-314870 discloses a non-cyan gold-substituted solution containing a non-cyanide gold source, a sulfite, and a metal complexing agent containing a polyamine and an aminocarboxylic acid. The polyamine is used to improve the appearance of the deposited gold plating.

【0005】さらにまた、還元剤を含み、その還元作用
によって被めっき体に金を析出させる還元金めっき液も
知られている。このようなものとして、還元剤にチオ尿
素を用いるものが特開昭62−270779号公報、特
開昭63−79976号公報、特開平2−107780
号公報及び特開平4−32575号公報に開示され、還
元剤にヒドラジン及びその化合物を用いるものが特開平
3−215677号公報や特開平4−314871号公
報に開示され、還元剤に水素化ホウ素化合物、次亜リン
酸、ホルマリン等を用いるものが特開昭63−7997
6号公報、特開平2−107780号公報、あるいは特
開平1−125891号公報に開示されている。これら
のうち、特開昭62−270779号公報、特開昭63
−79976号公報、特開平2−107780号公報、
特開平3−215677号公報、及び特開平4−314
871号公報には、金の錯化剤としてチオ硫酸を使用す
ることが開示されている。
Further, a reduced gold plating solution which contains a reducing agent and deposits gold on a body to be plated by its reducing action is also known. As such materials, those using thiourea as a reducing agent are disclosed in JP-A-62-270779, JP-A-63-79976, and JP-A-2-107780.
And JP-A-4-32575, and those using hydrazine and its compound as a reducing agent are disclosed in JP-A-3-215677 and JP-A-4-314871, and borohydride is used as a reducing agent. Compounds using compounds, hypophosphorous acid, formalin, etc. are disclosed in JP-A-63-7997.
No. 6, JP-A-2-107780, and JP-A-1-125891. Of these, JP-A-62-270779 and JP-A-63-270779
-79976, JP-A-2-107780,
JP-A-3-215677 and JP-A-4-314
No. 871 discloses the use of thiosulfuric acid as a complexing agent for gold.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、置換金めっ
きにおいてシアン化合物を用いるものは、シアン化合物
が青酸カリの名称でも知られているとおり、微量でも毒
性の高いものであって、作業や保存に注意を払わねばな
らず、作業環境としても好ましいものではない。
In the case where a cyanide compound is used in displacement gold plating, the cyanide is highly toxic even in a very small amount, as is known by the name of potassium cyanide. Must be paid, which is not preferable as a working environment.

【0007】また、従来の置換金めっきを行うものであ
ってシアンを使用しないものは、めっき液中の金以外の
金属、例えば銅や鉄等をブロックする力が弱く、液の安
定性が低く、また、析出しためっきと下地金属であるニ
ッケルとの密着力が低い。
[0007] In addition, the conventional plating method which uses substitutional gold plating and does not use cyan has a weak ability to block metals other than gold in the plating solution, for example, copper and iron, and has low stability of the solution. Also, the adhesion between the deposited plating and nickel as the base metal is low.

【0008】さらにまた、従来の還元金めっきは、還元
剤との反応を、被めっき体の存在下においてのみ行わせ
ようとするために、液の安定剤を用いたり、液の組成比
を調節しなければならない。
Further, in the conventional reduced gold plating, a liquid stabilizer is used or the composition ratio of the liquid is adjusted so that the reaction with the reducing agent is performed only in the presence of the object to be plated. Must.

【0009】本発明は、シアン化合物を用いず毒性が低
く、かつ従来のシアン系置換金めっきと同等の皮膜特性
を有する非シアン置換金めっき液を提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a non-cyanide-substituted gold plating solution having low toxicity without using a cyanide compound and having the same film properties as conventional cyan-based substitutional gold plating.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明の置換金めっき液
は、非シアン金源、亜硫酸塩、及び有機リン系金属錯化
剤を含み、不純物として、アンモニウムイオン濃度が
0.02モル/l以下、塩素イオン濃度が0.3モル/
l以下、硫酸イオン濃度が0.3モル/l以下、臭素イ
オン濃度が0.03モル/l以下、またはヨウ素イオン
濃度が0.006モル/l以下であることを特徴とす
る。
The displacement gold plating solution of the present invention contains a non-cyanide gold source, a sulfite, and an organophosphorus metal complexing agent, and has an ammonium ion concentration of 0.02 mol / l as an impurity. Hereinafter, the chlorine ion concentration is 0.3 mol /
1 or less, a sulfate ion concentration of 0.3 mol / l or less, a bromine ion concentration of 0.03 mol / l or less, or an iodine ion concentration of 0.006 mol / l or less.

【0011】本発明に用いる非シアン金源としては、亜
硫酸金ナトリウム、亜硫酸金カリウム、亜硫酸金アンモ
ニウム、塩化金酸、塩化金酸ナトリウム、塩化金酸カリ
ウム、ヨウ化金酸ナトリウム、臭化金酸カリウム等のシ
アン化合物を使用しない金化合物を1種類以上使用する
ことができる。この非シアン金源の濃度は、0.5g/
l以上含むことが好ましく、1〜10g/lの範囲がさ
らに好ましい。濃度が0.5g/lより低いと、置換反
応速度が低下し、10g/lを越えると、経済的でない
他、アンモニウムイオン、塩素イオン、臭素イオン、ヨ
ウ素イオン等不純物が増加し、後に述べるように、めっ
き液としての特性を低下させる。
The non-cyanide gold source used in the present invention includes gold sodium sulfite, potassium gold sulfite, gold ammonium sulfite, chloroauric acid, sodium chloroaurate, potassium chloroaurate, sodium iodoaurate, and bromideaurate. One or more gold compounds that do not use a cyanide compound such as potassium can be used. The concentration of this non-cyanide gold source is 0.5 g /
and preferably 1 to 10 g / l. When the concentration is lower than 0.5 g / l, the substitution reaction rate is decreased. When the concentration is higher than 10 g / l, it is not economical, and impurities such as ammonium ion, chlorine ion, bromine ion and iodine ion increase, as described later. In addition, the characteristics as a plating solution are deteriorated.

【0012】なかでも、上記不純物を含まない亜硫酸金
ナトリウムや亜硫酸金カリウムを用いることが好まし
く、他の金化合物を用いるときには、不純物として、ア
ンモニウムイオン濃度が0.02モル/l以下、塩素イ
オン濃度が0.3モル/l以下、臭素イオン濃度が0.
03モル/l以下、またはヨウ素イオン濃度が0.00
6モル/l以下となるようにめっき液を調整しなければ
ならない。アンモニウムイオン濃度が0.02モル/
l、塩素イオン濃度が0.3モル/l、硫酸イオン濃度
が0.3モル/l、臭素イオン濃度が0.03モル/
l、またはヨウ素イオン濃度が0.006モル/lを越
えると、めっき液が不安定になったり、自己分解を起こ
すことがあり、下地ニッケルとの密着力の低下やめっき
皮膜の外観が悪化することもある。これらの不純物イオ
ンは、めっき液の他の成分によるものもあり、非シアン
金源に使用する組成と合わせて、ここに示した範囲を越
えないように調整することが好ましい。以下に他の組成
について述べるが、他の組成についてもこの不純物イオ
ンを含まないようにすることが好ましい。
Above all, it is preferable to use sodium gold sulfite or potassium gold sulfite which do not contain the above impurities. When other gold compounds are used, the ammonium ion concentration is 0.02 mol / l or less and the chlorine ion concentration Is 0.3 mol / l or less, and the bromine ion concentration is 0.1 mol / l.
03 mol / l or less, or an iodine ion concentration of 0.00
The plating solution must be adjusted so as to be 6 mol / l or less. Ammonium ion concentration of 0.02 mol /
1, the chloride ion concentration is 0.3 mol / l, the sulfate ion concentration is 0.3 mol / l, and the bromine ion concentration is 0.03 mol / l.
If the l or iodine ion concentration exceeds 0.006 mol / l, the plating solution may become unstable or self-decompose, and the adhesion to the base nickel may be reduced and the appearance of the plating film may be deteriorated. Sometimes. These impurity ions may be due to other components of the plating solution, and are preferably adjusted so as not to exceed the range shown here, in combination with the composition used for the non-cyanide gold source. Other compositions will be described below, but it is preferable that the other compositions do not include the impurity ions.

【0013】有機リン系金属錯化剤としては、アミノト
リ(メチレンホスホン酸)とその塩類、1−ヒドロキシ
エチリデン−1,1−ジホスホン酸とその塩類、エチレ
ンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸)とその塩類、
ジエチレントリアミンペンタ(ホスホン酸)とその塩類
から選択されたものを用いることができる。この有機リ
ン系金属錯化剤の濃度は、0.5g/l〜100g/l
の範囲であることが好ましい。0.5g/l未満では、
めっきの光沢がなくなり、下地金属のニッケルやコバル
トとの密着力が低下することもある。100g/lを越
えると、金光沢を失い茶褐色となり好ましくない。
[0013] Examples of the organic phosphorus-based metal complexing agent, amino tri (methylene phosphonic acid) salts and its, in and its 1-hydroxyethylidene-1,1-diphosphonic acid salts, ethylene diamine tetra (methylene phosphonic acid) and Its salts,
It can be used which is selected from diethylenetriamine penta (phosphonate) salts and its. The concentration of the organophosphorus metal complexing agent is 0.5 g / l to 100 g / l.
Is preferably within the range. At less than 0.5 g / l,
The luster of the plating is lost, and the adhesion to the underlying metal, nickel or cobalt, may be reduced. If it exceeds 100 g / l, it loses gold luster and becomes brownish, which is not preferable.

【0014】亜硫酸塩の濃度は、7g/l〜150g/
lの範囲であることが好ましい。7g/l未満である
と、めっき液の安定性が失われ、150g/lを越える
と、置換反応が著しく抑制され、しかも経済的でなく好
ましくない。
The concentration of the sulfite is 7 g / l to 150 g / l
It is preferably in the range of l. If it is less than 7 g / l, the stability of the plating solution is lost, and if it exceeds 150 g / l, the substitution reaction is remarkably suppressed, and it is not economical and not preferable.

【0015】本発明の置換金めっき液は、pHが、5〜
12の範囲であることが好ましく、さらには6〜11の
範囲が好ましい。5未満であると、亜硫酸が酸である水
素イオンと反応して有毒な亜硫酸ガスを発生し、12を
越えると、金は析出するが、めっきレジストを使用した
ときに、レジストがめっき液に溶解しレジストとして使
用できなくなり好ましくない。pHを調整するために各
種酸やアルカリを用いることができるが、上記不純物を
増加しないことが好ましい。例えば、アンモニウム塩を
用いるよりナトリウム塩やカリウム塩を使用することが
好ましい。
The displacement gold plating solution of the present invention has a pH of 5 to 5.
It is preferably in the range of 12, more preferably in the range of 6 to 11. If it is less than 5, sulfurous acid reacts with hydrogen ions, which are acids, to generate toxic sulfurous acid gas. If it exceeds 12, gold precipitates, but when the plating resist is used, the resist dissolves in the plating solution. It is not preferable because it cannot be used as a resist. Various acids and alkalis can be used to adjust the pH, but it is preferable not to increase the impurities. For example, it is preferable to use a sodium salt or a potassium salt rather than using an ammonium salt.

【0016】本発明の置換金めっき液の使用温度は、3
0〜95℃が好ましく、めっきを行う下地金属は、ニッ
ケルやコバルトが好ましい。
The working temperature of the displacement gold plating solution of the present invention is 3
The temperature is preferably 0 to 95 ° C., and nickel or cobalt is preferably used as a base metal for plating.

【0017】[0017]

【作用】本発明は、発明者らが鋭意検討の結果、主成分
として、非シアン金源、亜硫酸塩、有機リン系金属錯化
剤を用いたときに、アンモニウムイオン濃度が0.02
モル/l以下、塩素イオン濃度が0.3モル/l以下、
硫酸イオン濃度が0.3モル/l以下、臭素イオン濃度
が0.03モル/l以下、またはヨウ素イオン濃度が
0.006モル/l以下であれば、毒性を低くした上
で、従来のシアン化合物を用いた金めっき液と同等のめ
っき特性を得ることができるという知見を得てなされた
ものである。
According to the present invention, as a result of extensive studies by the inventors, when a non-cyanide gold source, a sulfite, and an organophosphorus metal complexing agent are used as the main components, the ammonium ion concentration is 0.02
Mol / l or less, chloride ion concentration 0.3 mol / l or less,
If the sulfate ion concentration is 0.3 mol / l or less, the bromide ion concentration is 0.03 mol / l or less, or the iodine ion concentration is 0.006 mol / l or less, the conventional cyanide It has been made based on the finding that plating characteristics equivalent to those of a gold plating solution using a compound can be obtained.

【0018】[0018]

【実施例】ガラス布−エポキシ樹脂銅張り積層板である
MCL−E−67(日立化成工業株式会社製、商品名)
の回路とならない不要な銅箔の箇所をエッチング除去
し、水洗して、配線パターンを形成し、過硫酸アンモニ
ウム200g/lの水溶液に90秒間浸漬して配線パタ
ーン表面を粗化し、水洗し、10%の硫酸に60秒浸漬
し、水洗し、無電解ニッケルめっき用触媒であるメルプ
レートアクチベータ350(メルテックス社製、商品
名)に5分間浸漬して配線パターン表面に触媒を付与
し、水洗し、無電解ニッケルめっきであるブルーシュー
マー(日本カニゼン株式会社製、商品名)に85℃で3
0分間浸漬し、配線パターン表面にニッケルめっきを行
い、水洗した後、表1の組成と条件により置換めっきし
た。また、表に記載していない条件は、液温85℃、浸
漬時間30分間、pHを7.0となるように、水酸化ナ
トリウムあるいは塩酸を用いて調整した。めっき面積は
5dm2/lを1サイクルとして、30dm2/lまで連
続的にめっきして評価した。その結果を表1に示す。
[Example] Glass cloth-epoxy resin copper clad laminate MCL-E-67 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
Unnecessary portions of the copper foil that do not form a circuit are removed by etching, washed with water to form a wiring pattern, immersed in an aqueous solution of 200 g / l ammonium persulfate for 90 seconds to roughen the surface of the wiring pattern, washed with water, and washed with 10% Immersed in sulfuric acid for 60 seconds, washed with water, immersed in Melplate Activator 350 (manufactured by Meltex Corporation, trade name), which is a catalyst for electroless nickel plating, for 5 minutes to apply the catalyst to the wiring pattern surface, and washed with water, 3 at 85 ° C on Blue Schumer (product name, manufactured by Nippon Kanigen Co., Ltd.)
After immersion for 0 minutes, the surface of the wiring pattern was plated with nickel, washed with water, and then subjected to displacement plating according to the composition and conditions shown in Table 1. Conditions not described in the table were adjusted using sodium hydroxide or hydrochloric acid so that the solution temperature was 85 ° C., the immersion time was 30 minutes, and the pH was 7.0. Plating area as one cycle 5 dm 2 / l, was evaluated by continuously plating to 30dm 2 / l. Table 1 shows the results.

【0019】[0019]

【表1】 [Table 1]

【0020】この表からも分かるように、本発明の非シ
アン金源、亜硫酸塩、及び有機リン系金属錯化剤を用い
たものは、めっきの外観、密着力及びめっき液の安定性
が共に優れている。これに対して、比較例1では、有機
リン系金属錯化剤を用いていないためにめっきの外観が
悪い。この理由は、ESCAによって詳細に分析した結
果、金めっき皮膜に、金の置換反応によって発生する銅
やニッケルが取り込まれており、そのために緻密な金の
皮膜が形成されていないからである。また、比較例の2
〜6は、本発明と同じ構成ではあるが、さらに、不純物
であるアンモニウムイオン、塩素イオン、硫酸イオン、
臭素イオン、またはヨウ素イオンが特定の値以上に含ま
れたものであり、めっき外観を改善する金属錯化剤の効
果を抑制し、外観が悪化する。さらにまた、比較例7
は、シアンを用いない金めっき液の従来例に使用されて
いる金錯化剤としてのチオ硫酸を、本発明の有機リン系
金属錯化剤に代えて用いたものであるが、下地ニッケル
との密着力が低く、プリント配線板等に使用する場合に
充分な特性でないことが分かる。
As can be seen from this table, those using the non-cyanide gold source, the sulfite, and the organophosphorus metal complexing agent of the present invention have improved plating appearance, adhesion and plating solution stability. Are better. On the other hand, in Comparative Example 1, the appearance of plating was poor because no organophosphorus metal complexing agent was used. The reason for this is that, as a result of detailed analysis by ESCA, copper and nickel generated by the substitution reaction of gold are taken into the gold plating film, and therefore, a dense gold film is not formed. Moreover, 2 of the comparative example
To 6 have the same structure as the present invention, but further include ammonium ions, chloride ions, sulfate ions, which are impurities.
It contains bromine ions or iodine ions at a specific value or more, and suppresses the effect of the metal complexing agent for improving the plating appearance, thereby deteriorating the appearance. Comparative Example 7
Is thiosulfuric acid as a gold complexing agent used in a conventional example of a gold plating solution not using cyan, instead of the organophosphorus metal complexing agent of the present invention. It can be seen that the adhesion is not sufficient when used for a printed wiring board or the like.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によっ
て、毒性が低く、かつ、シアンを用いた従来の置換金め
っきと同じようにめっき液の安定性、めっき外観、及び
下地金属との密着力等めっき皮膜特性に優れた非シアン
金めっき液を提供することができる。
As described above, according to the present invention, the toxicity is low, and the stability of plating solution, plating appearance, and adhesion to the underlying metal are low as in the case of conventional displacement gold plating using cyan. A non-cyanide gold plating solution having excellent plating film properties such as force can be provided.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−294484(JP,A) 特開 平6−228761(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C23C 18/00 - 18/54 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-3-294484 (JP, A) JP-A-6-228761 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C23C 18/00-18/54

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】非シアン金源、亜硫酸塩、及び有機リン系
金属錯化剤を含み、不純物として、アンモニウムイオン
濃度が0.02モル/l以下、塩素イオン濃度が0.3
モル/l以下、硫酸イオン濃度が0.3モル/l以下、
臭素イオン濃度が0.03モル/l以下、またはヨウ素
イオン濃度が0.006モル/l以下であることを特徴
とする置換金めっき液。
An impurity comprising a non-cyanide gold source, a sulfite, and an organophosphorus metal complexing agent, wherein the impurities have an ammonium ion concentration of 0.02 mol / l or less and a chloride ion concentration of 0.3 mol / l or less.
Mol / l or less, sulfate ion concentration is 0.3 mol / l or less,
A substituted gold plating solution having a bromine ion concentration of 0.03 mol / l or less or an iodine ion concentration of 0.006 mol / l or less.
【請求項2】有機リン系金属錯化剤が、アミノトリ(メ
チレンホスホン酸)とその塩類、1−ヒドロキシエチリ
デン−1,1−ジホスホン酸とその塩類、エチレンジア
ミンテトラ(メチレンホスホン酸)とその塩類、ジエチ
レントリアミンペンタ(ホスホン酸)とその塩類から選
択されたものであることを特徴とする請求項1に記載の
置換金めっき液。
Is wherein organophosphorus metal complexing agent, amino tri (methylene phosphonic acid) salts and its 1-hydroxy-1,1-salts of diphosphonic acids and their, ethylenediaminetetra (methylenephosphonic acid) and its salts, displacement gold plating solution according to claim 1, characterized in that one selected from the salts of diethylene triamine penta (phosphonate) and its.
【請求項3】亜硫酸塩の濃度が、7g/l〜150g/
lの範囲であることを特徴とする請求項1または2に記
載の置換金めっき液。
3. A sulfite having a concentration of 7 g / l to 150 g / l.
The displacement gold plating solution according to claim 1 or 2, wherein the value is in the range of l.
【請求項4】有機リン系金属錯化剤の濃度が、0.5g
/l〜100g/lの範囲であることを特徴とする請求
項1〜3のうちいずれかに記載の置換金めっき液。
4. The concentration of the organophosphorus metal complexing agent is 0.5 g.
The displacement gold plating solution according to any one of claims 1 to 3, wherein the concentration is in the range of / l to 100g / l.
【請求項5】pHが、5〜12の範囲であることを特徴
とする請求項1〜4のうちいずれかに記載の置換金めっ
き液。
5. The replacement gold plating solution according to claim 1, wherein the pH is in the range of 5 to 12.
JP05123997A 1993-05-26 1993-05-26 Replacement gold plating solution Expired - Lifetime JP3139213B2 (en)

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