JP3136002B2 - 超音波流量計 - Google Patents
超音波流量計Info
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Description
には、内径が不明なもしくは公称値が分からない流管に
一対の超音波素子を装着した反射形の超音波流量計に関
する。
発射したとき、流体流速に重畳して伝播する超音波の伝
播速度の変化から流速を測定する超音波流速計を利用し
た伝播時間差方式、および、測定流体中に含まれ、測定
流体の流速と略等して速度で流れる気泡粒子に周波数一
定の超音波を所定角度で発射した場合、発射した超音波
が、粒子速度に応じたドップラーシフトを受けることを
利用した超音波ドップラー方式のものがあり、これらの
方式の超音波流量計が主流をなしている。伝播時間差方
式の超音波流量計では、測定流体中に粒子が含まれない
ことが必要であるが、ドップラー方式のものでは粒子が
なければ流量測定ができないので、粒子が含まれていな
い測定流体の流量測定では伝播時間差方式の超音波流量
計が使用される。
ように所定の流速で流れている測定流体中に超音波を正
逆方向に発射したときの伝播時間差から流量を求めるも
のであるから超音波の測定流体中の超音波伝播速度及び
超音波伝播距離が知られていなければならない。超音波
の伝播速度、すなわち音速は測定流体の種類や温度によ
って変化するので、音速をパラメータとした超音波流量
計では、音速の変化は流量測定上大きい変動要因とな
る。このため、通常、測定上音速が介在しないような伝
播時間差の逆数差、即ち伝播周波数差を求める方式が適
用される。他方、超音波の伝播距離は、流管径が明らか
でないと求めることはできず伝播距離の誤差は流量誤差
をもたらす。流管通常配管では、流管の正確な寸法は明
らかではなく、特に既設配管に超音波送受器のみを設置
して流量計を構成する場合、正確な寸法測定は極めて困
難である。更には、長期間使用された流管内部は腐触さ
れて、その分内径が変化していることがある。このこと
は超音波伝播時間差方式の超音波流量計に対して適用さ
れるもので、反射形の超音波流量計の場合も同様であ
る。
従来、管の内径を使用して音速を求める方法は知られて
いるが、測定により、流管内での超音波の音速を求める
ことにより、流管内径が不明の場合でも、流管内径を正
確に求めて、超音波伝播距離の不正確さによる流量誤差
のない反射形の超音波流量計を提供することを目的とす
るものである。
理を説明するための図で、21は流管、22,23はト
ランスデューサの取付筒、24はトランスデューサA、
25はトランスデューサB、26は超音波反射面であ
る。尚、この反射面は特別に取りつけるものでなくても
よく、説明のために付加してある。
の軸方向壁面に所定距離を隔て、取付筒22,23が配
設され、この取付筒22内には超音波を送受波するトラ
ンスデューサA、取付筒23内にはトランスデューサB
が配設されている。トランスデューサA,B内には圧電
素子が装着されており、このトランスデューサA,B何
れの一方から流管21の軸に対して角度φの発射角で超
音波が発射され超音波反射面26で反射され、他のトラ
ンスデューサB,Aの何れかで受波される。いま、測定
流体が矢印方向に流速Vで流れているとすると、流速V
は、下記(1)式で求められる。
らかなように、流管の内径Dが不明の場合は流速Vを求
めることはできない。
超音波素子が装着され、流管管壁の軸方向に既知の間隔
を隔てて配設された一対のトランスデューサを有し、該
超音波素子の何れか一方から対向する管壁に所定発射角
度で流れの正逆方向に発射した超音波の反射波が他方の
超音波素子に受信されるまでの時間差に基いて流量を求
める反射形の超音波流量計において、前記既知の間隔を
伝播する超音波の伝播時間から前記流体内の音速を求め
る音速測定手段と、測定された音速から、一方の超音波
素子から対向する管壁に所定発射角度で発射され、その
反射波が他方の超音波素子に受信されるまでの超音波の
伝播距離を算出する超音波伝播距離算出手段と、該算出
された超音波伝播距離と、前記既知の間隔とから前記超
音波発射角度を算出する超音波発射角度算出手段と、該
算出された超音波発射角度及び前記超音波伝播距離より
流管内径を算出する前記流管内径算出手段とを有し、測
定された音速と超音波伝播距離と超音波発射角及び流管
内径とに基いて流量を求めること、更には、(2)前記
(1)において、前記超音波素子を装着したトランスデ
ューサを、流量測定するために超音波発射角度で配設さ
れた流量測定超音波素子と、音速測定するために流管軸
に直角に配設された音速測定超音波素子と、該音速測定
超音波素子と流量測定超音波素子とを一体に収納するト
ランスデューサ筐体とで構成したこと、更には、(3)
前記(1)において、前記超音波素子を装着したトラン
スデューサを、超音波素子部と、保持部と、前記超音波
素子を流量測定のための超音波発射角度及び音速測定の
ための流管軸に直角な角度とに回転切換可能に支持する
支持部とで構成したこと、更には、(4)前記(1)に
おいて、前記既知の間隔を伝播する超音波の伝播時間と
して、前記一対の超音波素子から各々発射される該超音
波素子間を流れの正方向及び逆方向に直接伝播する超音
波の副極波の伝播時間の平均値を用いたことを特徴とす
るものである。以下、本発明の実施例に基いて説明す
る。
明するための図で、図中、1は流管、2,3はトランス
デューサの取付筒、4はトランスデューサA、5は超音
波素子、6は支持ロッド、7はトランスデューサB、8
は超音波送受波面、9は支持ロッドである。
に平行した管壁1a面には、予め正確に測定された中心
距離Mを隔てて取付筒2と3とが配設されており、取付
筒2内にはトランスデューサAが超音波素子5を超音波
反射面1bに向けた姿勢で支持ロッド6を介して取り付
けられている。同様に、取付筒3内にもトランスデュー
サBが超音波送受波面を超音波反射面10に向けた姿勢
で、支持ロッド9を介して取り付けられている。また、
トランスデューサA,Bは各々矢印の軸方向にYだけ移
動できるように取り付けられており超音波の送受波する
超音波素子5,8の中央の位置点P1,P2が超音波発射
の代表位置に定められている。また、点P1,P2は、流
量計測時は流管1の内壁面1aと同一線上にあり、図示
は音速計測時の位置を示す。
で流れているとする。図示のトランスデューサA,Bを
流管軸に向けて引き下げた位置で、超音波をトランスデ
ューサAからトランスデューサBに流れの順方向に向け
て送波する。この間の時間をt1とする。次にトランス
デューサBからAに流れの逆方向に向けて超音波を発射
したときの時間をt2とする。このときの平均伝播時間
は(t1+t2)/2であるから 音速C=2M/(t1+t2) (3) である。流速V=0のときは何れか一方向の超音波伝播
時間tをとれば音速計測手段(図示せず)により音速C
が求められる。
音波伝播時間tABおよびトランスデューサBからトラン
スデューサAまでの伝播時間tBAは
代入すると超音波パス長さLが得られる。この演算は、
超音波伝播距離算出手段(図示せず)により求められ
る。
A,B間の距離Mが知られているから超音波発射角度算
出手段(図示せず)により超音波発射角φは、下記
(7)式より求められる。
さLおよび超音波発射角φが求められたので、前記
(1)式に代入することにより流体流速Vが求められ
る。尚、流速Vは流管1内で所定の流速分布をもってお
り、流速分布は流管1内を流れる流体のレイノルズ数R
eにより定められるので、流速Vはレイノルズ数Reに
よる補正を行う必要がある。レイノルズ数補正係数をK
とすると、流量Qは
は D=Lsinφ/2 (9) の演算を行って求められる。
構造の一例を説明するための図で、図中、10は音速測
定用圧電素子であり、図1と等しい作用をする部分に
は、図1と同一の参照番号を付している。トランスデュ
ーサ4は、流管1の軸に対して垂直なO−O軸に対して
角度φで超音波S1を発射する圧電素子からなる超音波
素子5と、音速測定用超音波S2を発射するO−O軸に
平行な音速測定超音波素子10とをトランスデューサ外
筐4a内に収納したものである。なお、トランスデュー
サ7も、超音波素子8をトランスデューサ4の超音波素
子5と対称的に配設された同一形状のトランスデューサ
である。
スデューサの他の構造の例を説明するための図で、図
(a)は流速測定時、図(b)は音速測定時の状態を示
す図で、図中、11はトランスデューサの保持部、12
は超音波素子部、13は支持部、14は超音波素子、1
5はトランスデューサである。
部11と超音波素子部12と、超音波素子12を支持部
11に対して所定角度で回転可能に支持する支持部13
とより構成され、超音波素子部12内には、超音波S3
を発射する圧電素子等の超音波素子14が発射面12a
と平行して固着されている。
が固着された(a)図の状態で使用されるが、流量測定
前(b)図の状態に支持部13まわりに超音波素子部1
2を回転して超音波素子12を流管1軸に直角な方向で
固定して前述の手段により音速を測定する。なお、流量
測定用の超音波素子駆動周波数と、音速測定用の超音波
素子駆動周波数とを素子寸法を選択することにより異な
る値にして測定精度向上を計ることができる。また、こ
の方式は反射形の超音波流量計にのみ適用するのではな
く、他の伝播時間差法の超音波流量計にも適用できる。
更に他の実施例を説明するための図で、図中、Ps1は
超音波の主極波、Ps2は第2副極波、Ps3は第3副極
波であり、図1と同じ作用する部分には図1と同一の参
照番号を付している。
圧の高い主極波Ps1が素子面から直角方向に発射され
るが、この主極波Ps1の他に発射角を異にする第2副
極波Ps2および第3副極波Ps3が同時に発射される。
第2副極波Ps2や第3副極波Ps3は圧電素子の種類、
形状により異なるが、例えば、直径が10mmのPZT
(ジルコン酸チタン酸鉛)では主極波Ps1に対し第2
副極波Ps2は±25°、第3副極波Ps3は±45°の
角度をもって発射される。従って、超音波素子4及び7
を各々第3副極波Ps3が反対向きとなるように超音波
素子4と7とを流管1の軸に対してφAの角度で配設す
る。言い換えれば、超音波素子4から発射した第3副極
波Ps3が超音波素子7に直接受信され、超音波素子7
から発射した第3副極波Ps3が超音波素子4に直接受
信し、各々の第3副極波Ps3の流れ方向の伝播時間t
AB′及び流れに反対方向の伝播時間tBA′の平均時間t
0を求め、この平均時間t0で超音波素子4と7との間の
距離Mを除算すると、測定流体の音速が算出される。
ための図で、横軸に時間t、縦軸に電圧Eをとってあ
る。
数の駆動電圧を発振器(図示せず)から印加すると主極
波Ps1は、超音波反射板1bから反射され伝播距離L
は距離Mに比し大きく減衰率は大きくなるが主極波Ps
1のパワーが大きいので主極波Ps1の受信振幅Ps1は
第3副極波に比し大きくなる。従って、超音波素子4又
は7を駆動してから第1主極波の伝播時間tAB又はtBA
を測定後、この伝播時間tAB又はtBAを基準時間、例え
ばT0を設定し、この基準時間T0以下の時間tAB′又は
tBA′内に小振幅の第3副極波が受信されれば、この時
間tAB′又はtBA′が第3副極波の伝播時間として採用
される超音波伝播時間である。この方法によると、図
2,図3に示した特別の超音波素子又は構造をとること
なしに簡易に音速を測定することができる。
ば、流管1の内径Dが不明もしくは公称値しか分からな
い場合でも、トランスデューサA,B間の距離Mが正し
く計測され配設されていれば、測定流体の音速Cが求め
られ、この音速Cと実際の測定における超音波の正逆方
向の伝播時間から超音波パス長さLが求められ、次に距
離Mと超音波パス長さLとから超音波発射角φが求めら
れ、この超音波発射角φと超音波パス長さLとから不明
だった流管内径Dが順次求められ、これらの構成に基い
て、流管の内径が不明もしくは公称値しか分からない場
合でも正確な流量が求められる。
の図である。
を説明するための図である。
例を説明するための図である。
施例を説明するための図である。
ある。
るための図である。
ランスデューサA、5…超音波素子、6…支持ロッド、
7…トランスデューサB、8…超音波送受波面、9…支
持ロッド、10…音速測定用圧電素子、12…超音波素
子部、13…支持部、14…超音波素子、15…トラン
スデューサ。
Claims (4)
- 【請求項1】 超音波素子が装着され、流管管壁の軸方
向に既知の間隔を隔てて配設された一対のトランスデュ
ーサを有し、該超音波素子の何れか一方から対向する管
壁に所定発射角度で流れの正逆方向に発射した超音波の
反射波が他方の超音波素子に受信されるまでの時間差に
基いて流量を求める反射形の超音波流量計において、前
記既知の間隔を伝播する超音波の伝播時間から前記流体
内の音速を求める音速測定手段と、測定された音速か
ら、一方の超音波素子から対向する管壁に所定発射角度
で発射され、その反射波が他方の超音波素子に受信され
るまでの超音波の伝播距離を算出する超音波伝播距離算
出手段と、該算出された超音波伝播距離と、前記既知の
間隔とから前記超音波発射角度を算出する超音波発射角
度算出手段と、該算出された超音波発射角度及び前記超
音波伝播距離より流管内径を算出する前記流管内径算出
手段とを有し、測定された音速と超音波伝播距離と超音
波発射角及び流管内径とに基いて流量を求めることを特
徴とする超音波流量計。 - 【請求項2】 前記超音波素子を装着したトランスデュ
ーサを、流量測定するために超音波発射角度で配設され
た流量測定超音波素子と、音速測定するために流管軸に
直角に配設された音速測定超音波素子と、該音速測定超
音波素子と流量測定超音波素子とを一体に収納するトラ
ンスデューサ筐体とで構成したことを特徴とする請求項
1記載の超音波流量計。 - 【請求項3】 前記超音波素子を装着したトランスデュ
ーサを、超音波素子部と、保持部と、前記超音波素子を
流量測定のための超音波発射角度及び音速測定のための
流管軸に直角な角度とに回転切換可能に支持する支持部
とで構成したことを特徴とした請求項1記載の超音波流
量計。 - 【請求項4】 前記既知の間隔を伝播する超音波の伝播
時間として、前記一対の超音波素子から各々発射される
該超音波素子間を流れの正方向及び逆方向に直接伝播す
る超音波の副極波の伝播時間の平均値を用いたことを特
徴とする請求項1記載の超音波流量計。
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Applications Claiming Priority (1)
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- 1992-09-08 JP JP04265401A patent/JP3136002B2/ja not_active Expired - Fee Related
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