JP3135753B2 - Recording / reproducing method and apparatus using probe - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は先端にティップを有する
プローブとこれに対向する記録媒体との物理的相互作用
により情報の書込みまたは、読み出しを行うプローブを
用いた記録再生方法および記録再生装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording / reproducing method and a recording / reproducing apparatus using a probe for writing or reading information by a physical interaction between a probe having a tip at a tip and a recording medium facing the probe. .
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、導体の表面原子の電子構造を直接
観察できる走査型トンネル顕微鏡(以後、STMと略
す)が開発され[G.Binnig et al.Ph
ys.Rev.Lett,49,57(1982)]、
単結晶、非晶質を問わず実空間像の高い分解能の測定が
できるようになった。2. Description of the Related Art In recent years, a scanning tunneling microscope (hereinafter abbreviated as STM) capable of directly observing the electronic structure of surface atoms of a conductor has been developed [G. Binnig et al. Ph
ys. Rev .. Lett, 49, 57 (1982)],
High resolution measurement of real space images can be performed irrespective of single crystal or amorphous.
【0003】STMは金属の探針(ティップ)と導電性
物質間に電圧を加えて1nm程度の距離まで近づけると
トンネル電流が流れることを利用している。この電流は
両者の距離変化に非常に敏感である。トンネル電流を一
定に保つように探針を走査することにより実空間の全電
子雲に関する種々の情報をも読み取ることができる。こ
のとき面内方向の分解能は0.1nm程度である。[0003] The STM utilizes the fact that a tunnel current flows when a voltage is applied between a metal tip and a conductive substance to approach a distance of about 1 nm. This current is very sensitive to changes in the distance between them. By scanning the probe so as to keep the tunnel current constant, it is possible to read various kinds of information on all electron clouds in the real space. At this time, the resolution in the in-plane direction is about 0.1 nm.
【0004】したがって、STMの原理を応用すれば十
分に原子オーダー(サブ・ナノメートル)での高密度記
録再生を行うことが可能である。例えば、特開昭61−
80536号公報に開示されている記録再生装置では、
電子ビーム等によって媒体表面に吸着した原子粒子を取
り除いて書き込みを行い、STMによりデータを再生し
ている。Therefore, if the principle of STM is applied, high-density recording / reproducing on the order of atoms (sub-nanometers) can be sufficiently performed. For example, JP-A-61-
In the recording / reproducing apparatus disclosed in Japanese Patent No. 80536,
Writing is performed by removing atomic particles adsorbed on the medium surface by an electron beam or the like, and data is reproduced by STM.
【0005】また記録層として電圧電流のスイッチング
特性に対してメモリ効果を持つ材料、例えばπ電子系有
機化合物やカルコゲン化合物類の薄膜層を用いて、記録
・再生をSTMで行う方法が提案されている(特開昭6
3−161552号公報、特開昭63−161553号
公報)。この方法によれば、記録のビットサイズを10
nmとして、1012bit/cm2 もの大容量記録再
生が可能である。さらに、小型化を目的とし、探針の付
いたプローブを複数本、半導体基板上に形成しこれと対
向する記録媒体を変位させ記録する装置が提案されてい
る(特開昭62−281138号公報、特開平1−19
6751号公報)。例えば、1cm2 角のシリコンチッ
プ上に2500本のプローブを50×50のマトリック
ス配置したマルチプローブヘッドと上述したメモリ効果
を持つ材料を組み合わせることにより、探針1本当たり
400Mbit、総記録容量1Tbitのディジタルデ
ータの記録再生が行える。Further, a method has been proposed in which recording and reproduction are performed by STM using a material having a memory effect on the switching characteristics of voltage and current, for example, a thin film layer of a π-electron organic compound or chalcogen compound as a recording layer. (Japanese
JP-A-3-161552, JP-A-63-161553). According to this method, the recording bit size is set to 10
As nm, recording and reproduction with a large capacity of 1012 bit / cm 2 is possible. Further, for the purpose of miniaturization, there has been proposed an apparatus in which a plurality of probes each having a probe are formed on a semiconductor substrate, and a recording medium opposed thereto is displaced and recorded (Japanese Patent Laid-Open No. 62-281138). JP-A-1-19
No. 6751). For example, by combining a multi-probe head in which 2500 probes are arranged in a 50 × 50 matrix on a 1 cm 2 silicon chip and the above-described material having a memory effect, 400 Mbits per probe and a total recording capacity of 1 Tbit are obtained. Digital data can be recorded and reproduced.
【0006】このような記録再生装置では、信号は記録
媒体の表面に一般的にビットとして記録され、再生時に
はこれをトンネル電流(STMの場合)のレベル変化と
して検出することが行われている。例えばバイナリ信号
を記録する場合、記録媒体上にビットを配列し、ビット
の有無で記録を行う一方、プローブ先端のティップと記
録媒体間のトンネル電流変化で情報を読み出しを行って
いた(特開昭63−96756号公報)。また記録媒体
として記録データに応じて分子サイズの電荷、磁気ドメ
インを選択する媒体を用いて、情報書き込みの大きさに
応じたトンネル電流のアナログ信号記録を行うことが提
案されていた(特開平2−210633号公報)。In such a recording / reproducing apparatus, a signal is generally recorded as a bit on the surface of a recording medium, and this is detected as a level change of a tunnel current (in the case of STM) at the time of reproduction. For example, in the case of recording a binary signal, bits are arranged on a recording medium and recording is performed based on the presence or absence of the bits, while information is read out by a change in a tunnel current between a tip at the tip of the probe and the recording medium (Japanese Patent Laid-Open Publication No. 63-96756). Further, it has been proposed to perform analog signal recording of a tunnel current according to the magnitude of information writing by using a medium for selecting a charge of a molecular size and a magnetic domain according to recording data as a recording medium (Japanese Patent Application Laid-Open No. HEI 2 (1990) -209686). -210633 publication).
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにビットの有無や信号レベル差でデータの記録を行
い、ビットからの信号の有無ないしは信号強度差を検出
してデータの再生を行う場合、以下のような問題があっ
た。However, when data is recorded in such a manner based on the presence or absence of a bit or a signal level difference and the presence or absence of a signal from a bit or the signal strength difference is detected, the data is reproduced as follows. There was such a problem.
【0008】(1)前述のようにSTMもしくはAFM
(原子間力顕微鏡)は高さ方向にオングストローム程度
の高い分解能を有している。従ってこれを用いてnmオ
ーダーでの記録再生装置を構成する場合、高さ方向の高
い分解能は、記録媒体上の小さな欠陥等や微小な高さ方
向のうねりといったいわばノイズ成分に対しても検出信
号の大きな変化を引き起こした。このため記録再生に用
いられる記録媒体には原子レベルの平坦性と均一性が要
求されていたが、広い面積にわたりこの要求を満たす記
録媒体の作成は難しかった。そこで多少の記録媒体の平
担性荒れに対しても十分なS/N比で記録再生を行える
記録再生方法が要求されていたが、このような提案はほ
とんど無かった。(1) As described above, STM or AFM
(Atomic force microscope) has a high resolution of about angstrom in the height direction. Therefore, when using this to construct a recording / reproducing apparatus on the order of nm, a high resolution in the height direction is a detection signal for a so-called noise component such as a small defect on the recording medium or a minute undulation in the height direction. Caused a great change. For this reason, a recording medium used for recording / reproducing has been required to have flatness and uniformity at the atomic level, but it has been difficult to produce a recording medium that satisfies this requirement over a wide area. Therefore, a recording / reproducing method capable of performing recording / reproducing with a sufficient S / N ratio even if the flatness of the recording medium is slightly roughened has been demanded, but there has been almost no such proposal.
【0009】(2)また書き込み情報の大きさに応じて
記録情報ビットの変調量を変え、アナログ信号記録を行
おうとする場合、記録情報による記録ビット形状をオン
グストローム程度の精度で再現よく形成する必要があっ
た。しかし実際に記録ビット形状をオングストロームオ
ーダーで精度よくアナログ的に変化させてアナログ記録
を行うことはかなり難しかった。(2) When an attempt is made to record an analog signal by changing the modulation amount of recording information bits in accordance with the size of the write information, it is necessary to form the recording bit shape based on the recording information with good accuracy on the order of angstroms. was there. However, it has been extremely difficult to actually perform analog recording by changing the recording bit shape accurately and analogously on the order of angstroms.
【0010】(3)通常STMの原理を用いた記録再生
方式ではティップと媒体間のトンネル電流信号を一定に
するようにサーボをかけている。このため例えば、バイ
ナリ記録を行う場合、元信号をそのまま記録するのでは
なく、記録信号が直流信号成分を持たないように変調を
行う必要があった。このため、複雑な構成の変調回路と
これを再生する復調回路が必要であった。(3) Normally, in a recording / reproducing method using the principle of the STM, servo is applied so that a tunnel current signal between a tip and a medium is kept constant. For this reason, for example, when performing binary recording, it is necessary to perform modulation so that the recording signal does not have a DC signal component, instead of recording the original signal as it is. Therefore, a modulation circuit having a complicated configuration and a demodulation circuit for reproducing the modulation circuit are required.
【0011】本発明の目的は、ノイズ成分に対しても十
分なS/N比での記録再生が可能で、複雑な構成の変調
回路、復調回路を構成せずに、プローブと記録媒体間の
水平、垂直位置制御信号を容易に取り出すことができる
プローブを用いた記録再生方法および装置を提供するこ
とにある。An object of the present invention is to enable recording / reproducing with a sufficient S / N ratio even for a noise component, and eliminate the need for constructing a modulation circuit and a demodulation circuit having a complicated structure, thereby enabling a probe and a recording medium to be connected. An object of the present invention is to provide a recording / reproducing method and apparatus using a probe capable of easily extracting horizontal and vertical position control signals.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明のプローブを用い
た記録再生方法は、先端にティップを有するプローブと
これに対向する記録媒体との物理的相互作用により情報
をビットとして書込み、読み出しを行うプローブを用い
た記録再生方法において、記録時に、記録媒体の水平方
向の基準位置に対する位置情報としてビットの記録を行
い再生時に記録したビットの位置ずれ量を検出してデー
タ再生を行うことを特徴とする。According to a recording / reproducing method using a probe according to the present invention, information is written and read as bits by physical interaction between a probe having a tip at a tip and a recording medium facing the probe. In a recording / reproducing method using a probe, during recording, bits are recorded as position information with respect to a reference position in a horizontal direction of a recording medium, and data reproduction is performed by detecting a positional shift amount of the bits recorded during reproduction. I do.
【0013】前記水平方向の基準位置に対する位置情報
として、プローブの主走査方向の位置ずれ情報を記録再
生することができる。As position information with respect to the reference position in the horizontal direction, positional deviation information of the probe in the main scanning direction can be recorded and reproduced.
【0014】前記水平方向の基準位置に対する位置情報
として、プローブの主走査方向と直交した方向の位置ず
れ情報を記録再生することを特徴とする。As the position information with respect to the reference position in the horizontal direction, position shift information in a direction orthogonal to the main scanning direction of the probe is recorded and reproduced.
【0015】また、前記記録再生の情報として、バイナ
リデータを記録再生し、バイナリデータの値に応じて記
録するビット記録位置を2値的にずらして記録再生する
ことができる。Further, as the recording / reproducing information, binary data can be recorded / reproduced, and the recording / reproducing can be performed by shifting a bit recording position for recording according to the value of the binary data in a binary manner.
【0016】あるいは、前記記録再生の情報として、ア
ナログデータを記録再生し、アナログデータの値に応じ
て記録するビット記録位置をアナログ的にずらして記録
再生することもできる。Alternatively, analog data may be recorded / reproduced as the recording / reproducing information, and recording / reproducing may be performed by shifting a bit recording position for recording according to the value of the analog data in an analog manner.
【0017】また、本発明のプローブを用いた記録再生
方法は、先端にティップを有するプローブとこれに対向
する記録媒体との物理的相互作用により情報をビットと
して書込み、読み出しを行うプローブを用いた記録再生
方法において、記録時に、再生時に基準となる基準ビッ
トと記録データに対応するデータビットを同時に記録
し、かつデータビットを記録データに応じて基準ビット
に対する記録媒体水平方向の位置ずれ量として記録媒体
上に記録を行い、再生時にデータビットの基準データビ
ットに対する水平方向の位置ずれ量を検出してデータ再
生を行うことを特徴とする。Further, the recording / reproducing method using the probe of the present invention uses a probe for writing and reading information as bits by physical interaction between a probe having a tip at the tip and a recording medium facing the probe. In the recording / reproducing method, at the time of recording, a reference bit which is a reference at the time of reproduction and a data bit corresponding to recording data are simultaneously recorded, and the data bit is recorded as a positional deviation amount of the recording medium relative to the reference bit in accordance with the recording data. Recording is performed on a medium, and data reproduction is performed by detecting a horizontal displacement amount of a data bit with respect to a reference data bit during reproduction.
【0018】本発明のプローブを用いた記録再生装置
は、先端にティップを有するプローブとこれに対向する
記録媒体との物理的相互作用により情報をビットとして
書込み、読み出しを行うプローブを用いた記録再生装置
において、ビット記録を行うための変調信号発生器、お
よび記録データに応じてビットの記録位置を記録媒体の
水平面方向にずらすための位置制御信号発生器、再生時
に記録したビットの水平方向の位置ずれ量を検出してデ
ータの再生を行うための位相比較器を少なくとも有する
ことを特徴とする。A recording / reproducing apparatus using a probe according to the present invention is a recording / reproducing apparatus using a probe for writing and reading information as bits by physical interaction between a probe having a tip at a tip and a recording medium facing the probe. In the apparatus, a modulation signal generator for performing bit recording, a position control signal generator for shifting a bit recording position in a horizontal plane direction of a recording medium according to recording data, a horizontal position of a bit recorded during reproduction It is characterized by having at least a phase comparator for detecting a shift amount and reproducing data.
【0019】また、本発明のプローブを用いた記録再生
装置は、先端にティップを有するプローブとこれに対向
する記録媒体との物理的相互作用により情報をビットと
して書込み、読み出しを行うプローブを用いた記録再生
装置において、ビット記録を行うための変調信号発生
器、および記録データに応じてビットの記録位置を記録
媒体の水平面方向にずらして記録するためのタイミング
発生を行うための位相変調器、再生時にデータビットの
基準データビットからの水平方向の位置ずれ量を検出し
て再生を行うための位相比較器を少なくとも有すること
を特徴とする。The recording / reproducing apparatus using the probe of the present invention uses a probe for writing and reading information as bits by physical interaction between a probe having a tip at the tip and a recording medium facing the probe. In a recording / reproducing apparatus, a modulation signal generator for performing bit recording, a phase modulator for performing timing generation for recording by shifting a recording position of a bit in a horizontal plane direction of a recording medium according to recording data, and a reproducing apparatus. It is characterized by having at least a phase comparator for detecting the amount of horizontal displacement of the data bit from the reference data bit and performing reproduction.
【0020】[0020]
【作用】すなわち本発明は、先端にティップを有するプ
ローブとこれと対向した記録媒体を用いて記録媒体上に
連続したビットを形成する記録再生方式において、ビッ
トを記録情報に応じて基準位置に対する記録媒体の水平
(XY)面内方向の位置情報として記録し、再生時には
ビットの基準位置からの位置ずれ量を検出して情報を再
生するものである。According to the present invention, in a recording / reproducing system for forming continuous bits on a recording medium using a probe having a tip at a tip and a recording medium facing the tip, the bits are recorded at a reference position in accordance with recording information. The information is recorded as position information in the horizontal (XY) plane direction of the medium, and at the time of reproduction, information is reproduced by detecting the amount of positional deviation of a bit from a reference position.
【0021】本発明は、プローブとこれに対向する記録
媒体との物理的相互作用により情報の書込み/読み出し
を行う際の記録再生において、情報の記録をビットの有
無ないしは、ビットの大きさ/高さの差により記録再生
するのでなく、連続するビットの水平方向の位置ずれの
有無ないしは「ずれ量」として記録し、再生時はこれを
検出する。一般にSTM等は面内方向にサブnm程度の
分解能を有しているので、ビットサイズが10nm程度
の微小ビットを並ベた記録再生方式において、本発明の
ようにビットの位置ずれを記録して再生する方式は高い
S/N比の信号検出が可能で、記録媒体の凹凸等の影響
を受けにくい。また記録するデータの内容によらず、ビ
ットがほぼ連続的に記録されているため、再生の際のプ
ローブの高さ/水平方向の制御が行いやすい等の利点を
有し、STMやAFMの原理を用いた記録再生装置に好
都合な記録再生フォーマットである。According to the present invention, in recording / reproducing when information is written / read by physical interaction between a probe and a recording medium facing the probe, information is recorded with or without a bit or with a bit size / height. Instead of recording / reproducing the difference due to the difference between the bits, the bits are recorded as the presence or absence of a horizontal displacement of consecutive bits or "displacement amount", and this is detected at the time of reproduction. Generally, an STM or the like has a resolution of about sub-nm in the in-plane direction. Therefore, in a recording / reproducing method in which minute bits having a bit size of about 10 nm are arranged side by side, a bit position shift is recorded as in the present invention. The reproducing method is capable of detecting a signal with a high S / N ratio, and is less susceptible to irregularities of the recording medium. Also, since bits are recorded almost continuously irrespective of the content of the data to be recorded, there are advantages such as easy control of the probe height / horizontal direction during reproduction, and the principle of STM and AFM. This is a recording / reproducing format convenient for a recording / reproducing apparatus that uses.
【0022】[0022]
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【0023】[実施例1]図1は本発明の実施例1の導
電性プローブおよび記録再生フォーマットを有する記録
再生装置の構成を示す図である。[Embodiment 1] FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a recording / reproducing apparatus having a conductive probe and a recording / reproducing format according to Embodiment 1 of the present invention.
【0024】図1において、1は導電性のプローブ、2
はプローブ1を駆動する微動駆動機構である円筒型圧電
素子、3は記録媒体である。円筒型圧電素子2は、図示
せぬリニアモーターなどの粗動駆動機構により記録媒体
3上をアクセスする。10はXY駆動信号15を出力す
るXY微動駆動回路である。In FIG. 1, 1 is a conductive probe, 2
Is a cylindrical piezoelectric element which is a fine movement driving mechanism for driving the probe 1, and 3 is a recording medium. The cylindrical piezoelectric element 2 accesses the recording medium 3 by a coarse driving mechanism such as a linear motor (not shown). Reference numeral 10 denotes an XY fine movement drive circuit that outputs an XY drive signal 15.
【0025】通常、プローブ1と記録媒体3の間には、
バイアス回路4によりバイアス電圧16が印加され、ト
ンネル電流または電界放射電流が流れる程度まで近づい
ている。このトンネル電流または電界放射電流は、電流
電圧変換回路5によって電圧変換された後、Zサーボ回
路6に入る。Zサーボ回路6はトンネル電流または電界
放射電流が一定になるように距離制御信号7を出力し、
距離制御信号7は円筒型圧電素子2をZ方向に駆動する
電極19に印加される。プローブ1には、白金を機械的
に切断し、尖鋭化したものを用いた。Usually, between the probe 1 and the recording medium 3,
The bias voltage 16 is applied by the bias circuit 4, and the voltage approaches a level at which a tunnel current or a field emission current flows. The tunnel current or the field emission current enters the Z servo circuit 6 after being voltage-converted by the current-voltage conversion circuit 5. The Z servo circuit 6 outputs a distance control signal 7 so that the tunnel current or the field emission current becomes constant,
The distance control signal 7 is applied to an electrode 19 that drives the cylindrical piezoelectric element 2 in the Z direction. The probe 1 was made by mechanically cutting and sharpening platinum.
【0026】記録媒体3としては、電圧電流のスイッチ
ング特性に対し、メモリ効果をもつ材料を用いた。例え
ば、基板電極としてガラスや雲母などの平坦な基板上の
金のエピタキシャル成長面を用いる。そして記録媒体3
としてスクアリウム−ビス−6−オクチルアズレン(以
下SOAZと略す)を用い、ラングミュア・ブロジェッ
ト法により、単分子膜2層の累積膜をこの基板電極上に
形成し記録媒体3とした。As the recording medium 3, a material having a memory effect on the switching characteristics of voltage and current was used. For example, a gold epitaxial growth surface on a flat substrate such as glass or mica is used as a substrate electrode. And recording medium 3
A squarium-bis-6-octylazulene (hereinafter abbreviated as SOAZ) was used as the recording medium 3 by forming a two-layer monomolecular film on the substrate electrode by the Langmuir-Blodgett method.
【0027】ビットの記録は次のように行う。通常プロ
ーブ1と記録媒体3の間には、バイアス回路4によりバ
イアス電圧16が印加され、トンネル電流が流れる程度
まで近づいている。この状態で記録媒体3の所望の位置
までプローブ1を移動し、バイアス回路4からのバイア
ス電圧を変調し、電気メモリ効果を生じるしきい値電圧
をこえる電圧をプローブ1と記録媒体3の間に印加し記
録を行う。実際には、プローブ1と記録媒体3の間にバ
イアス回路4によりバイアス電圧0.1V程度印加し、
一定のトンネル電流(1pA)が流れる程度まで近づけ
ておく。この状態で記録媒体3の所望の位置までプロー
ブ1を移動後、制御回路8はバイアス変調信号11によ
ってバイアス回路4を変調し、6Vのパルス電圧をプロ
ーブ1と記録媒体3の間に印加した。すると10〜10
0pAの電流が流れる大きさ10nmφのビットが形成
され、パルス電圧の印加後は、その状態を保持した。そ
こでこの低抵抗状態にあるビットを“1”もしくは
“0”に対応させ、高抵抗状態の記録領域と区別してビ
ット記録を行った。記録の際、制御回路8は走査信号9
を発生しXY微動駆動回路10を介して円筒型圧電素子
2を駆動する。これによりプローブ1は記録媒体3上を
2次元的にXYラスタ走査しながら、主走査(X)方向
に沿って“0”,“1”に対応したビット記録を行っ
た。その後、プローブ1を記録媒体3上で走査し、各ビ
ットの基準ビット位置からのずれ量を検出して“0”な
いし“1”の情報として再生した。The bit recording is performed as follows. Normally, a bias voltage 16 is applied between the probe 1 and the recording medium 3 by the bias circuit 4, and the voltage is approaching a level at which a tunnel current flows. In this state, the probe 1 is moved to a desired position on the recording medium 3, the bias voltage from the bias circuit 4 is modulated, and a voltage exceeding a threshold voltage causing an electric memory effect is applied between the probe 1 and the recording medium 3. Apply and record. Actually, a bias voltage of about 0.1 V is applied between the probe 1 and the recording medium 3 by the bias circuit 4,
It is kept close to the extent that a constant tunnel current (1 pA) flows. After moving the probe 1 to a desired position on the recording medium 3 in this state, the control circuit 8 modulates the bias circuit 4 with the bias modulation signal 11 and applies a pulse voltage of 6 V between the probe 1 and the recording medium 3. Then 10-10
A bit having a size of 10 nm in which a current of 0 pA flows was formed, and the state was maintained after application of the pulse voltage. Therefore, the bit in the low resistance state is made to correspond to "1" or "0", and the bit recording is performed separately from the recording area in the high resistance state. At the time of recording, the control circuit 8 controls the scanning signal 9
To drive the cylindrical piezoelectric element 2 via the XY fine movement drive circuit 10. Thus, the probe 1 performs bit recording corresponding to “0” and “1” along the main scanning (X) direction while performing two-dimensional XY raster scanning on the recording medium 3. Thereafter, the probe 1 was scanned on the recording medium 3 to detect the shift amount of each bit from the reference bit position, and reproduced as information of "0" to "1".
【0028】具体的な記録再生法および記録再生のフォ
ーマットに関して図1、図2を用いて説明する。図2は
実施例1の記録再生方法を説明するためのタイミングチ
ャートである。記録の際、記録媒体3にはデータ入力1
7に対応した信号であるデータビット201とともに、
記録再生時に必要となるクロックビット200を記録す
る。記録媒体3の記録領域をクロック信号が記録された
前置領域と記録データが書かれたデータ領域に分ける。
前置領域には記録データを再生する際のクロックビット
200が記録され、再生の際、クロック信号を取り出
す。データ領域には記録データがバイナリデータとして
記録されるが、このときの“0”,“1”の情報に対応
したビットを図2のように配列する。すなわち情報
“0”に対応したビットはクロックビット200の配列
と同じ位置に記録する。一方情報“1”に対応したビッ
トはクロックビット200があるべき位置から主走査
(X)方向にずらして記録を行う(図2参照)。A specific recording / reproducing method and recording / reproducing format will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a timing chart for explaining the recording / reproducing method of the first embodiment. At the time of recording, data input 1
7 along with the data bit 201 which is a signal corresponding to
The clock bits 200 required for recording and reproduction are recorded. The recording area of the recording medium 3 is divided into a head area where a clock signal is recorded and a data area where recording data is written.
A clock bit 200 for reproducing recorded data is recorded in the preceding area, and a clock signal is extracted at the time of reproduction. In the data area, recording data is recorded as binary data, and bits corresponding to the information “0” and “1” at this time are arranged as shown in FIG. That is, the bit corresponding to the information “0” is recorded at the same position as the arrangement of the clock bits 200. On the other hand, the bit corresponding to the information "1" is printed while being shifted in the main scanning (X) direction from the position where the clock bit 200 should be (see FIG. 2).
【0029】記録時のビット位置ずらし記録について説
明する。クロックビット200および情報“0”ビット
は、制御回路8からのタイミングに従って、ビット記録
位置にプローブがさしかかるとバイアス変調信号を発生
し、電圧を記録媒体に印加して行った。ビット径が約1
0nmだったので、約20nmの等間隔でクロックビッ
トおよび情報“0”ビットを形成した。一方、記録信号
“1”を記録する場合、制御回路8はバイアス変調信号
11と同時に円筒型圧電素子2をX方向に変調するX変
調信号12を発生する。これにより、プローブ先端位置
は主走査(X)方向にずらされる。この状態でバイアス
回路4が記録電圧を発生するとビットはクロックビット
200が有るべき位置から主走査方向に、ずらされて記
録される。円筒型圧電素子2として本実施例で用いたの
は外径φ7mm、内径φ5mm、高さ15mmのPZT
製円筒型圧電素子である。この圧電素子は駆動電極が分
割され、3次元方向に駆動できる。このPZT製円筒型
圧電素子の変位特性を静電容量型変位計で測定したとこ
ろ、XY方向の変位感度が10nm/Vであった。この
とき制御回路8はXY変調信号12として1Vの変調信
号を発生し、記録信号“1”を記録する際にはプローブ
位置を主走査方向に10nmだけ位置をずらしてビット
を形成した。A description will be given of the bit position shift recording at the time of recording. The clock bit 200 and the information “0” bit were generated by generating a bias modulation signal and applying a voltage to the recording medium when the probe approached the bit recording position in accordance with the timing from the control circuit 8. Bit diameter is about 1
Since it was 0 nm, clock bits and information "0" bits were formed at equal intervals of about 20 nm. On the other hand, when recording the recording signal “1”, the control circuit 8 generates an X modulation signal 12 for modulating the cylindrical piezoelectric element 2 in the X direction simultaneously with the bias modulation signal 11. Thereby, the probe tip position is shifted in the main scanning (X) direction. In this state, when the bias circuit 4 generates a recording voltage, the bits are recorded while being shifted from the position where the clock bit 200 should be in the main scanning direction. The cylindrical piezoelectric element 2 used in this embodiment is a PZT having an outer diameter of 7 mm, an inner diameter of 5 mm, and a height of 15 mm.
This is a cylindrical piezoelectric element. This piezoelectric element is divided into drive electrodes and can be driven in three-dimensional directions. When the displacement characteristics of the cylindrical piezoelectric element made of PZT were measured with a capacitance displacement meter, the displacement sensitivity in the XY directions was 10 nm / V. At this time, the control circuit 8 generated a modulation signal of 1 V as the XY modulation signal 12, and formed a bit by shifting the probe position by 10 nm in the main scanning direction when recording the recording signal "1".
【0030】なお、ビットの位置ずらし量は、以下のよ
うにして決定した。記録媒体3上にチェックビットとし
て等間隔にビットを並べて記録する。ビットは、プロー
ブ先端の形によって多少、位置がずれて記録される。記
録後このビット列上を走査し、ビット記録位置の水平方
向のバラツキをチェックし、この記録時のビット位置バ
ラツキ量よりも多い量だけずらすようにした。本実施例
では、記録ビットの位置ばらつきが1nm程度以下だっ
たので、記録信号“1”を記録する際にはプローブ位置
を主走査方向に10nmだけ位置をずらすようにした。The bit position shift amount was determined as follows. Bits are arranged and recorded at equal intervals on the recording medium 3 as check bits. Bits are recorded with a slight displacement depending on the shape of the probe tip. After recording, the bit string is scanned to check the horizontal variation in the bit recording position, and the bit position is shifted by an amount larger than the bit position variation during recording. In the present embodiment, since the positional variation of the recording bit was about 1 nm or less, the probe position was shifted by 10 nm in the main scanning direction when recording the recording signal "1".
【0031】このようにして記録したビットを再生する
際は、前置記録領域のクロックビット出力を元に安定化
した再生用基準クロック202を基準を用いて電流信号
13と位相比較を行った。すなわちクロック出力と電流
信号の位相が同相(位相差が‘0’)のとき、記録信号
は“0”である。一方クロック出力と信号の位相がずれ
ている場合、記録した信号は“1”である。このように
してクロック出力と電流信号の位相比較により再生を行
い、データ出力18を得た。When reproducing the bit recorded in this way, the phase of the current signal 13 was compared with the phase of the current signal 13 using the reproduction reference clock 202 stabilized based on the clock bit output of the preceding recording area. That is, when the phases of the clock output and the current signal are the same (the phase difference is “0”), the recording signal is “0”. On the other hand, if the clock output and the signal are out of phase, the recorded signal is “1”. In this way, reproduction was performed by comparing the phase of the clock output with the current signal, and a data output 18 was obtained.
【0032】図3は図1で用いた信号の再生回路を示す
図である。この再生回路は制御回路8の中の一部であ
る。図3中で電流信号13を位相同期ループ(PLL3
06)に入れ、信号の再生を行った。すなわち位相比較
器302、ループフィルタ303、増幅器304、VC
O(電圧制御発振器)305でPLL306を形成す
る。再生の際、電流信号はその位相情報が重要となる。
このため電流信号出力13は増幅器300で増幅された
後、リミッタ301で振幅制限し、一定振幅の信号とし
た。このリミッタ301の出力をPLL306に入れ
る。PLL306はリミッタ301の出力とVCO30
5の出力との位相比較を行う。PLL306は2入力の
周波数が一致した状態で両者の位相差が最小となるよう
にVCO305からの制御電圧を変化させる。このと
き、追従のためのVCO制御電圧307が再生信号とな
る。すなわち追従のための制御電圧は、ビットが“0”
と“1”の違いにより、位相ずれ90゜を生じる電圧量
変化として検出される。そこで、これを2値化して再生
データ18(図2参照)とした。FIG. 3 is a diagram showing a signal reproducing circuit used in FIG. This reproduction circuit is a part of the control circuit 8. In FIG. 3, the current signal 13 is connected to a phase locked loop (PLL3
06), and the signal was reproduced. That is, phase comparator 302, loop filter 303, amplifier 304, VC
A PLL 306 is formed by an O (voltage controlled oscillator) 305. At the time of reproduction, the phase information of the current signal is important.
For this reason, after the current signal output 13 is amplified by the amplifier 300, the amplitude is limited by the limiter 301 to obtain a signal having a constant amplitude. The output of the limiter 301 is input to the PLL 306. The PLL 306 is connected to the output of the limiter 301 and the VCO 30
5 is compared with the output. The PLL 306 changes the control voltage from the VCO 305 such that the phase difference between the two becomes minimum when the frequencies of the two inputs match. At this time, the VCO control voltage 307 for following becomes a reproduction signal. That is, the control voltage for following the bit is “0”.
Is detected as a change in the amount of voltage that causes a phase shift of 90 ° due to the difference between “1” and “1”. Therefore, this is binarized to obtain reproduction data 18 (see FIG. 2).
【0033】また制御回路8は再生の際、プローブを副
走査方向(Y方向)にゆっくりと変調しながら、このと
き記録ビットから検出される電流を同期検波することに
よりY方向の位置制御を行っている。この位置制御信号
がトラッキング信号14である。本実施例において記録
ビットは主走査方向にのみ位置変調されて記録され、ビ
ットがほぼ連続的に出現する。このため記録データの内
容によらず、トラッキング信号14が連続的に取り出
せ、容易にプローブ1の位置制御ができた。During reproduction, the control circuit 8 performs position control in the Y direction by synchronously detecting the current detected from the recording bits while slowly modulating the probe in the sub-scanning direction (Y direction). ing. This position control signal is the tracking signal 14. In this embodiment, the recording bits are recorded with their position modulated only in the main scanning direction, and the bits appear almost continuously. Therefore, the tracking signal 14 could be continuously taken out regardless of the content of the recording data, and the position of the probe 1 could be easily controlled.
【0034】なお前置記録領域のクロックビット出力が
安定して得られない場合は、例えば、プローブ先端が変
形し、ビット記録位置のバラツキが増してクロックビッ
トがうねって記録されたためと考えられる。この場合
は、記録再生時のS/Nが低下してしまうためプローブ
の先端をクリーニングし、ビット記録位置再現性が得ら
れるようにしてから記録再生を行う。If the output of the clock bit in the preceding recording area cannot be obtained stably, it is considered that the tip of the probe is deformed, the variation in the bit recording position is increased, and the clock bit is undulated and recorded. In this case, since the S / N at the time of recording / reproducing decreases, the tip of the probe is cleaned to perform recording / reproducing after obtaining the bit recording position reproducibility.
【0035】なお、本発明に従った記録法としては、本
実施例に示したようにプローブ1が記録媒体3上を2次
元的にXYラスタ走査するものに限定されることなく、
例えば円周状にまたスパイラル状にプローブを動かし、
円周のトラック方向にビット位置をずらしながら記録、
再生を行ってもよい。The recording method according to the present invention is not limited to the method in which the probe 1 performs two-dimensional XY raster scanning on the recording medium 3 as shown in this embodiment.
For example, move the probe circumferentially and spirally,
Recording while shifting the bit position in the circumferential track direction,
Reproduction may be performed.
【0036】また本実施例ではSTMを応用した記録再
生装置を挙げたが、本発明の概念はこれに限定されるこ
となく、他にAFMなど記録媒体表面上にプローブを用
いて凹凸または電子状態の変化をnmのオーダーで記録
する記録再生装置にも応用することが可能である。In this embodiment, a recording / reproducing apparatus to which STM is applied has been described. However, the concept of the present invention is not limited to this. Can be applied to a recording / reproducing apparatus that records a change in the order of nm.
【0037】[実施例2]図4は本発明の実施例2の導
電性プローブおよび記録再生フォーマットを有する記録
再生装置の構成を示す図である。全体の構成は図1の実
施例1とよく似ている。図4において、401は導電性
のプローブ、402はプローブ401を駆動する微動駆
動機構である円筒型圧電素子、403は記録媒体であ
る。円筒型圧電素子402は、図示せぬリニアモーター
などの粗動駆動機構により記録媒体403上をアクセス
する。408は走査信号409、トラッキング信号41
4を出力する制御回路、421はXY駆動信号415を
出力するXY微動駆動回路である。[Embodiment 2] FIG. 4 is a diagram showing the configuration of a recording / reproducing apparatus having a conductive probe and a recording / reproducing format according to Embodiment 2 of the present invention. The overall configuration is very similar to the first embodiment in FIG. 4, reference numeral 401 denotes a conductive probe, 402 denotes a cylindrical piezoelectric element which is a fine movement driving mechanism for driving the probe 401, and 403 denotes a recording medium. The cylindrical piezoelectric element 402 accesses the recording medium 403 by a coarse driving mechanism such as a linear motor (not shown). 408 is a scanning signal 409 and a tracking signal 41
The control circuit 421 outputs an XY drive signal 415.
【0038】通常、プローブ401と記録媒体403の
間には、バイアス回路404によりバイアス電圧416
が印加され、トンネル電流または電界放射電流が流れる
程度まで近づいている。このトンネル電流または電界放
射電流は、電流電圧変換回路405によって電圧変換さ
れた後、Zサーボ回路406に入る。Zサーボ回路40
6はトンネル電流または電界放射電流が一定になるよう
に距離制御信号407を出力し、距離制御信号407は
円筒型圧電素子402をZ方向に駆動する電極419に
印加される。プローブ401には、白金を機械的に切断
し、尖鋭化したものを用いた。Normally, a bias voltage 416 is applied between the probe 401 and the recording medium 403 by the bias circuit 404.
Is applied, and it approaches to the extent that a tunnel current or a field emission current flows. The tunnel current or the field emission current is converted into a voltage by the current-voltage conversion circuit 405 and then enters the Z servo circuit 406. Z servo circuit 40
6 outputs a distance control signal 407 so that the tunnel current or the field emission current becomes constant, and the distance control signal 407 is applied to an electrode 419 that drives the cylindrical piezoelectric element 402 in the Z direction. For the probe 401, platinum that was mechanically cut and sharpened was used.
【0039】記録媒体403として実施例1と同様に電
圧電流のスイッチング特性に対し、メモリ効果をもつ材
料を用いた。As the recording medium 403, a material having a memory effect with respect to the switching characteristics of the voltage and current is used as in the first embodiment.
【0040】実施例1ではバイナリビット記録を行う
際、XY微動駆動回路10のXY駆動信号でプローブ位
置を主走査(X)方向にずらしながら、記録を行った
が、本実施例では、バイアス回路404からの記録電圧
印加タイミング制御を行って、ビット並びを主走査方向
にずらしながら記録を実現した。このときの具体的な記
録方法について図5(A),(B)により説明する。図
5(A)は図4の制御回路408中にあって、バイナリ
情報で位相変調を行う位相変調回路503を示す図、図
5(B)は実施例2の記録再生方法を説明するためのタ
イミングチャートである。2つの位相のずれた搬送波
(図4における搬送波420)を用意し、バイナリデー
タの“0”と“1”をそれぞれの搬送波の位相情報に変
換する。図5(A),(B)で2つの搬送波501,5
02として、 y=A・sinωt ・・・・搬送波501 y=A・sin(ωt−π/2) ・・・・搬送波502 と90゜位相のずれた搬送波501,502を用意し
た。搬送波501,502の周波数は記録媒体上にビッ
ト記録可能な最大空間周波数とプローブ先端の走査速度
で決まる。例えばビットの大きさが10nmでピッチ2
0nmで記録を行い、プローブ速度200μm/sec
で走査を行うとき、搬送波501,502の周波数は1
0kHzとする。そしてバイナリ記録データであるデー
タ入力417の“0”,“1”で搬送波501,502
をそれぞれ選択するように選択回路503で切り替え
た。この選択回路503の出力である位相変調信号50
4を元にバイアス回路404のタイミング制御を行う。
すなわち位相変調信号504を例えば2値化回路505
に入れ、記録電圧を発生するタイミング信号であるバイ
アス変調信号411を作る。そしてバイアス変調信号4
11によりバイアス電圧416を変調して記録を行っ
た。In the first embodiment, when performing the binary bit recording, the recording is performed while the probe position is shifted in the main scanning (X) direction by the XY driving signal of the XY fine movement driving circuit 10. In the present embodiment, the bias circuit is used. Recording voltage application timing control from 404 was performed, and printing was realized while shifting the bit arrangement in the main scanning direction. A specific recording method at this time will be described with reference to FIGS. FIG. 5A is a diagram showing a phase modulation circuit 503 in the control circuit 408 of FIG. 4 for performing phase modulation with binary information. FIG. 5B is a diagram for explaining a recording / reproducing method according to the second embodiment. It is a timing chart. A carrier wave having two phases shifted (carrier wave 420 in FIG. 4) is prepared, and "0" and "1" of binary data are converted into phase information of each carrier wave. 5A and 5B, two carriers 501 and 5
As 02, y = A · sin ωt... Carrier 501 y = A · sin (ωt−π / 2)... The frequencies of the carriers 501 and 502 are determined by the maximum spatial frequency at which bits can be recorded on the recording medium and the scanning speed of the probe tip. For example, when the bit size is 10 nm and the pitch is 2
Recording at 0 nm, probe speed 200 μm / sec
When scanning is performed by using the carrier waves 501 and 502, the frequency is 1
0 kHz. Then, the carrier waves 501 and 502 are input by “0” and “1” of the data input 417 which is binary recording data.
Are switched by the selection circuit 503 so as to select each of them. The phase modulation signal 50 output from the selection circuit 503
4 to control the timing of the bias circuit 404.
That is, the phase modulation signal 504 is converted into, for example, a binarization circuit 505.
To generate a bias modulation signal 411 which is a timing signal for generating a recording voltage. And the bias modulation signal 4
The recording was performed by modulating the bias voltage 416 by 11.
【0041】再生回路は図3のものと同様の構成であ
る。すなわち位相比較器、ループフィルタ、増幅器、V
CO(電圧制御発振器)でPLLを形成する。再生信号
はその位相情報が重要となる。このため電流信号413
出力は増幅された後、リミッタで振幅制限し、一定振幅
とした。このリミッタ出力をPLLに入れる。PLLは
出力との位相比較を行い、両者の周波数が一致した状態
で両者の位相差が最小となるようにVCOの出力を変化
させる。このとき、位相追従のための制御電圧が復調信
号となる。すなわち追従のためのVCO制御電圧はビッ
トが“0”と“1”の違いにより、位相ずれ90゜を生
じさせる電圧量変化として現れる。そこで、この制御電
圧信号を2値化することでバイナリデータの再生を行
い、データ出力418を得た。The reproducing circuit has the same configuration as that of FIG. That is, phase comparator, loop filter, amplifier, V
A PLL is formed by a CO (voltage controlled oscillator). The phase information of the reproduced signal is important. Therefore, the current signal 413
After the output was amplified, the amplitude was limited by a limiter to obtain a constant amplitude. This limiter output is put into the PLL. The PLL compares the phase with the output, and changes the output of the VCO so that the phase difference between the two becomes minimum when the frequencies match. At this time, the control voltage for phase tracking becomes a demodulated signal. In other words, the VCO control voltage for following appears as a voltage change that causes a phase shift of 90 ° due to the difference between the bits “0” and “1”. Therefore, binary data was reproduced by binarizing the control voltage signal, and a data output 418 was obtained.
【0042】なお本実施例ではバイナリデータを2つの
位相の異なった搬送波で変調してこれをビット記録した
が、2つの異なった周波数でバイナリデータを変調しビ
ット記録するようにしてもよい。In this embodiment, the binary data is modulated by two carrier waves having different phases and recorded as bits. However, the binary data may be modulated at two different frequencies and recorded as bits.
【0043】[実施例3]図6は本発明の実施例3の導
電性プローブおよび記録再生フォーマットを有する記録
再生装置の構成を示す図である。全体の構成は図1の実
施例1とよく似ている。図6において、601は導電性
のプローブ、602はプローブ601を駆動する微動駆
動機構である円筒型圧電素子、603は記録媒体であ
る。円筒型圧電素子602は、図示せぬリニアモーター
などの粗動駆動機構により記録媒体603上をアクセス
する。621はXY駆動信号615を出力するXY微動
駆動回路である。[Embodiment 3] FIG. 6 is a diagram showing the structure of a recording / reproducing apparatus having a conductive probe and a recording / reproducing format according to Embodiment 3 of the present invention. The overall configuration is very similar to the first embodiment in FIG. In FIG. 6, 601 is a conductive probe, 602 is a cylindrical piezoelectric element which is a fine movement driving mechanism for driving the probe 601, and 603 is a recording medium. The cylindrical piezoelectric element 602 accesses the recording medium 603 by a coarse driving mechanism such as a linear motor (not shown). Reference numeral 621 denotes an XY fine movement driving circuit that outputs an XY driving signal 615.
【0044】通常、プローブ601と記録媒体603の
間には、バイアス回路604によりバイアス電圧616
が印加され、トンネル電流または電界放射電流が流れる
程度まで近づいている。このトンネル電流または電界放
射電流は、電流電圧変換回路605によって電圧変換さ
れた後、Zサーボ回路606に入る。Zサーボ回路60
6はトンネル電流または電界放射電流が一定になるよう
に距離制御信号607を出力し、距離制御信号607は
円筒型圧電素子602をZ方向に駆動する電極619に
印加される。プローブ601には、白金を機械的に切断
し、尖鋭化したものを用いた。なお、バイアス電圧61
6はバイアス変調信号611により変調される。Normally, a bias voltage 616 is provided between the probe 601 and the recording medium 603 by the bias circuit 604.
Is applied, and it approaches to the extent that a tunnel current or a field emission current flows. The tunnel current or the field emission current enters the Z servo circuit 606 after being voltage-converted by the current-voltage conversion circuit 605. Z servo circuit 60
Reference numeral 6 outputs a distance control signal 607 so that the tunnel current or the field emission current becomes constant. The distance control signal 607 is applied to an electrode 619 for driving the cylindrical piezoelectric element 602 in the Z direction. The probe 601 was made by mechanically cutting platinum and sharpening it. Note that the bias voltage 61
6 is modulated by the bias modulation signal 611.
【0045】記録媒体603として実施例1と同様に電
圧電流のスイッチング特性に対し、メモリ効果をもつ材
料を用いた。As the recording medium 603, a material having a memory effect with respect to the switching characteristics of the voltage and the current was used as in the first embodiment.
【0046】実施例1では記録を行う際、XY微動駆動
回路10のXY駆動信号でプローブ位置を主走査(X)
方向にずらしながら、記録を行ったが、本実施例では主
走査と直行する方向(Y方向)にプローブ位置をずらし
てデータ入力617のアナログ記録を行い、このずれ量
をアナログ量として検出してデータ出力618としてア
ナログ再生する。In the first embodiment, when printing is performed, the probe position is scanned in the main scanning direction (X) by the XY driving signal of the XY fine movement driving circuit 10.
The recording was performed while shifting in the direction. In this embodiment, the probe position is shifted in the direction (Y direction) orthogonal to the main scanning, and the analog recording of the data input 617 is performed. Analog reproduction is performed as the data output 618.
【0047】記録時のビット位置ずらし記録について説
明する。図7は実施例3のビットのレイアウトを示すタ
イミングチャートである。ビットは連続的に並んだクロ
ックビット701とクロックビット702からの副走査
(Y)方向の位置ずれ量がアナログ記録情報である情報
ビットから成り立つ。A description will be given of the bit position shift recording at the time of recording. FIG. 7 is a timing chart showing a bit layout according to the third embodiment. The bits consist of information bits that are analog recording information and have a positional shift amount in the sub-scanning (Y) direction from the clock bits 701 and 702 that are continuously arranged.
【0048】制御回路608は主走査(X)方向にプロ
ーブを動かしながら等間隔にクロックビット701を記
録すべくバイアス回路604を変調する。さらにクロッ
クビットの記録後、記録すべきアナログ信号量に従いY
方向プローブ位置をずらしてビット記録を行う。The control circuit 608 modulates the bias circuit 604 to record clock bits 701 at regular intervals while moving the probe in the main scanning (X) direction. Further, after recording the clock bit, Y
Bit recording is performed by shifting the direction probe position.
【0049】実際にはビット径が約10nmだったの
で、約20nmの等間隔でクロックビット701を形成
した。一方、情報ビットを記録する場合、制御回路はX
Y微動駆動装置を変調するY変調信号612を発生し、
プローブ先端位置は副走査(Y方向)にずらされてビッ
ト記録が行われた。Since the bit diameter was actually about 10 nm, the clock bits 701 were formed at regular intervals of about 20 nm. On the other hand, when recording information bits, the control circuit
Generating a Y modulation signal 612 for modulating the Y fine movement driving device;
The bit recording was performed with the probe tip position shifted in the sub-scanning (Y direction).
【0050】本実施例で用いたのも実施例1と同様のP
ZT製円筒型圧電素子である。この圧電素子はXY方向
の変位感度が10nm/Vであったので、変調回路は記
録信号のアナログ振幅量により最大2Vの電圧を発生
し、副走査(Y)方向に最大20nmの位置ずれを発生
させた。このようにしてクロックビット位置から副走査
方向に位置をずらしたビットを形成しながら主走査を行
い記録を行った。The same P used in the present embodiment as in the first embodiment is used.
This is a ZT cylindrical piezoelectric element. Since this piezoelectric element had a displacement sensitivity of 10 nm / V in the X and Y directions, the modulation circuit generates a voltage of 2 V at maximum according to the analog amplitude of the recording signal and generates a displacement of 20 nm at maximum in the sub-scanning (Y) direction. I let it. In this manner, the main scanning was performed while forming a bit shifted in the sub-scanning direction from the clock bit position, and printing was performed.
【0051】次に記録したビットの再生について説明す
る。制御回路は再生の際、プローブを副走査(Y)方向
に約30nm幅で振動(ウオブリング)させながら主走
査(X)を行うように走査信号609を生成し、情報の
再生を行った。Next, reproduction of recorded bits will be described. At the time of reproduction, the control circuit generated a scanning signal 609 so as to perform main scanning (X) while oscillating (wobbling) the probe with a width of about 30 nm in the sub-scanning (Y) direction, and reproduced information.
【0052】このときクロックビットからの信号を元に
再生用クロックを生成する。再生クロックとウオブリン
グ信号の位相比較を行うことによりY方向の位置制御
(トラッキング)信号614を発生し水平位置制御を行
った。トラッキングがかかった状態では、プローブ60
1はクロックビット列に沿って主走査(X方向)を行
う。この状態で再生クロック信号で電流信号613の位
相検波を行うと、検波器から記録ビットのクロックビッ
トからの位置ずれ量に応じた信号が位相差信号として得
られる。これをアナログのデータ出力618として再生
を行った。At this time, a reproduction clock is generated based on the signal from the clock bit. By comparing the phase of the reproduced clock with the phase of the wobbling signal, a position control (tracking) signal 614 in the Y direction was generated to perform horizontal position control. When tracking is applied, the probe 60
1 performs main scanning (X direction) along a clock bit string. When phase detection of the current signal 613 is performed with the reproduced clock signal in this state, a signal corresponding to the amount of displacement of the recording bit from the clock bit is obtained from the detector as a phase difference signal. This was reproduced as an analog data output 618.
【0053】なおビット位置ずらし記録のビットレイア
ウトは図7のような形態に限るわけでなく、図8に示す
ように主走査(X)方向にプローブを走査しながら、副
走査(Y)方向に2つのビットを対にして記録してもよ
い。このときビット対のビット間隔をアナログ的に変化
させながら記録を行う。例えばビット径が10nmのと
き、主走査方向に20nmピッチでビット記録を行う。
このときアナログデータの値によりビット間隔を最大2
0nmずらしながら記録を行った。再生時、副走査方向
に40nmの幅でウオブリングしながら主走査を行いビ
ットからの信号を検出した。主走査方向に20nmピッ
チでビットが形成されているので、ピッチとプローブの
走査スピードから決まるクロックを用いて、検出信号を
復調しデータの再生を行った。Note that the bit layout of the bit position shift recording is not limited to the form shown in FIG. 7, and the probe is scanned in the main scanning (X) direction and in the sub scanning (Y) direction as shown in FIG. Two bits may be recorded in pairs. At this time, recording is performed while changing the bit interval of the bit pair in an analog manner. For example, when the bit diameter is 10 nm, bit recording is performed at a pitch of 20 nm in the main scanning direction.
At this time, the maximum bit interval is 2 depending on the value of the analog data.
Recording was performed while shifting by 0 nm. During reproduction, main scanning was performed while wobbling with a width of 40 nm in the sub-scanning direction, and a signal from a bit was detected. Since bits are formed at a pitch of 20 nm in the main scanning direction, the detection signal is demodulated and data is reproduced using a clock determined by the pitch and the scanning speed of the probe.
【0054】[0054]
【発明の効果】本発明によると、先端にティップを有す
るプローブとこれに対向する記録媒体との物理的相互作
用により情報をビットとして書込みまたは、読み出しを
行う記録再生方法およびこれを用いた記録再生装置にお
いて、記録したビットの位置ずれ量を検出してデータ再
生を行うことにより、以下に記載するような効果を奏す
る。 (1)記録媒体上の小さな欠陥等や微小な高さ方向のう
ねりといったいわばノイズ成分に対しても十分なS/N
比での記録再生が可能となる。 (2)複雑な構成の変調回路、復調回路を構成せずに、
プローブと記録媒体間の水平、垂直位置制御信号を容易
に取り出すことができ、安定した記録信号の再生が可能
となる。According to the present invention, a recording / reproducing method for writing or reading information as bits by physical interaction between a probe having a tip at a tip and a recording medium facing the probe, and recording / reproducing using the same. The following effects can be obtained by detecting data position deviation of recorded bits and reproducing data in the device. (1) S / N sufficient for noise components such as small defects on the recording medium and minute undulations in the height direction
Recording / reproduction at a ratio becomes possible. (2) Without configuring a modulation circuit and a demodulation circuit having a complicated configuration,
Horizontal and vertical position control signals between the probe and the recording medium can be easily taken out, and stable reproduction of the recording signals can be achieved.
【図1】本発明の実施例1の導電性プローブおよび記録
再生フォーマットを有する記録再生装置の構成を示す
図。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a recording / reproducing apparatus having a conductive probe and a recording / reproducing format according to a first embodiment of the present invention.
【図2】実施例1の記録再生方法を説明するためのタイ
ミングチャート。FIG. 2 is a timing chart for explaining a recording and reproducing method according to the first embodiment.
【図3】図1で用いた信号の再生回路を示す図。FIG. 3 is a diagram showing a signal reproducing circuit used in FIG. 1;
【図4】本発明の実施例2の導電性プローブおよび記録
再生フォーマットを有する記録再生装置の構成を示す
図。FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a recording / reproducing apparatus having a conductive probe and a recording / reproducing format according to a second embodiment of the present invention.
【図5】(A)は図4の制御回路408中にあって、バ
イナリ情報で位相変調を行う位相変調回路503を示す
図、(B)は実施例2の記録再生方法を説明するための
タイミングチャート。5A is a diagram showing a phase modulation circuit 503 in the control circuit 408 of FIG. 4 for performing phase modulation with binary information, and FIG. 5B is a diagram for explaining a recording / reproducing method according to the second embodiment. Timing chart.
【図6】本発明の実施例3の導電性プローブおよび記録
再生フォーマットを有する記録再生装置の構成を示す
図。FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a recording / reproducing apparatus having a conductive probe and a recording / reproducing format according to a third embodiment of the present invention.
【図7】実施例3のビットのレイアウトを示すタイミン
グチャート。FIG. 7 is a timing chart showing a bit layout according to a third embodiment.
【図8】実施例3のビットのレイアウトの他の例を示す
タイミングチャート。FIG. 8 is a timing chart showing another example of a bit layout according to the third embodiment.
1 プローブ 2 円筒型圧電素子 3 記録媒体 6 Zサーボ回路 11 バイアス変調信号 12 X変調信号 13 電流信号 14 トラッキング信号 17 データ入力 18 データ出力 300 増幅器 301 リミッタ 305 VCO 306 PLL 401 プローブ 402 円筒型圧電素子 403 記録媒体 406 Zサーボ回路 409 走査信号 411 バイアス変調信号 413 電流信号 414 トラッキング信号 417 データ入力 418 データ出力 420 搬送波 501,502 搬送波 503 選択回路 504 位相変調信号 505 2値化回路 601 プローブ 602 円筒型圧電素子 603 記録媒体 606 Zサーボ回路 609 走査信号 611 バイアス変調信号 612 Y変調信号 613 電流信号 614 トラッキング信号 617 データ入力 618 データ出力 Reference Signs List 1 probe 2 cylindrical piezoelectric element 3 recording medium 6 Z servo circuit 11 bias modulation signal 12 X modulation signal 13 current signal 14 tracking signal 17 data input 18 data output 300 amplifier 301 limiter 305 VCO 306 PLL 401 probe 402 probe cylindrical piezoelectric element 403 Recording medium 406 Z servo circuit 409 Scanning signal 411 Bias modulation signal 413 Current signal 414 Tracking signal 417 Data input 418 Data output 420 Carrier 501, 502 Carrier 503 Selection circuit 504 Phase modulation signal 505 Binarization circuit 601 Probe 602 Cylindrical piezoelectric element 603 Recording medium 606 Z servo circuit 609 Scanning signal 611 Bias modulation signal 612 Y modulation signal 613 Current signal 614 Tracking signal 617 Data input 18 Data output
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 9/14 Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 9/14
Claims (8)
に対向する記録媒体との物理的相互作用により情報をビ
ットとして書込み、読み出しを行うプローブを用いた記
録再生方法において、 記録時に、記録媒体の水平方向の基準位置に対する位置
情報としてビットの記録を行い再生時に記録したビット
の位置ずれ量を検出してデータ再生を行うことを特徴と
するプローブを用いた記録再生方法。1. A recording / reproducing method using a probe for writing and reading information as bits by physical interaction between a probe having a tip at a tip and a recording medium facing the probe. A recording / reproducing method using a probe, characterized in that bits are recorded as position information with respect to a reference position in a direction, and data reproduction is performed by detecting a positional deviation amount of bits recorded during reproduction.
報として、プローブの主走査方向の位置ずれ情報を記録
再生することを特徴とする請求項1記載のプローブを用
いた記録再生方法。2. The recording / reproducing method using a probe according to claim 1, wherein information on positional deviation of the probe in the main scanning direction is recorded / reproduced as position information with respect to the reference position in the horizontal direction.
報として、プローブの主走査方向と直交した方向の位置
ずれ情報を記録再生することを特徴とする請求項1記載
のプローブを用いた記録再生方法。3. The recording / reproducing method using a probe according to claim 1, wherein positional deviation information in a direction orthogonal to a main scanning direction of the probe is recorded / reproduced as the positional information with respect to the reference position in the horizontal direction. .
ータを記録再生し、バイナリデータの値に応じて記録す
るビット記録位置を2値的にずらして記録再生すること
を特徴とする請求項1記載のプローブを用いた記録再生
方法。4. The recording / reproducing method according to claim 1, wherein binary data is recorded / reproduced as the recording / reproducing information, and a bit recording position for recording is binary-shifted in accordance with a value of the binary data. Recording / reproducing method using a probe.
ータを記録再生し、アナログデータの値に応じて記録す
るビット記録位置をアナログ的にずらして記録再生する
ことを特徴とする請求項1記載のプローブを用いた記録
再生方法。5. The recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein analog data is recorded / reproduced as the recording / reproducing information, and recording / reproducing is performed by shifting a bit recording position for recording according to the value of the analog data in an analog manner. A recording and reproducing method using a probe.
に対向する記録媒体との物理的相互作用により情報をビ
ットとして書込み、読み出しを行うプローブを用いた記
録再生方法において、 記録時に、再生時に基準となる基準ビットと記録データ
に対応するデータビットを同時に記録し、かつデータビ
ットを記録データに応じて基準ビットに対する記録媒体
水平方向の位置ずれ量として記録媒体上に記録を行い、 再生時にデータビットの基準データビットに対する水平
方向の位置ずれ量を検出してデータ再生を行うことを特
徴とするプローブを用いた記録再生方法。6. A recording / reproducing method using a probe for writing and reading information as bits by physical interaction between a probe having a tip at a tip and a recording medium facing the probe, comprising: The reference bit and the data bit corresponding to the recording data are recorded at the same time, and the data bit is recorded on the recording medium as a positional shift amount of the recording medium with respect to the reference bit in accordance with the recording data. A recording / reproducing method using a probe, wherein data reproduction is performed by detecting a horizontal displacement amount with respect to a reference data bit.
に対向する記録媒体との物理的相互作用により情報をビ
ットとして書込み、読み出しを行うプローブを用いた記
録再生装置において、 ビット記録を行うための変調信号発生器、および記録デ
ータに応じてビットの記録位置を記録媒体の水平面方向
にずらすための位置制御信号発生器、再生時に記録した
ビットの水平方向の位置ずれ量を検出してデータの再生
を行うための位相比較器を少なくとも有することを特徴
とするプローブを用いた記録再生装置。7. A modulation for performing bit recording in a recording / reproducing apparatus using a probe for writing and reading information as bits by physical interaction between a probe having a tip at a tip and a recording medium facing the probe. A signal generator, and a position control signal generator for shifting the recording position of the bit in the horizontal direction of the recording medium in accordance with the recording data, and detecting the horizontal displacement of the bit recorded during reproduction to reproduce the data. A recording / reproducing apparatus using a probe, comprising at least a phase comparator for performing the operation.
に対向する記録媒体との物理的相互作用により情報をビ
ットとして書込み、読み出しを行うプローブを用いた記
録再生装置において、 ビット記録を行うための変調信号発生器、および記録デ
ータに応じてビットの記録位置を記録媒体の水平面方向
にずらして記録するためのタイミング発生を行うための
位相変調器、再生時にデータビットの基準データビット
からの水平方向の位置ずれ量を検出して再生を行うため
の位相比較器を少なくとも有することを特徴とするプロ
ーブを用いた記録再生装置。8. A modulation method for performing bit recording in a recording / reproducing apparatus using a probe for writing and reading information as bits by physical interaction between a probe having a tip at a tip and a recording medium facing the probe. A signal generator, and a phase modulator for generating a timing for recording by shifting the recording position of the bit in the horizontal plane direction of the recording medium according to the recording data, and a horizontal direction from the reference data bit of the data bit at the time of reproduction. A recording / reproducing apparatus using a probe, comprising at least a phase comparator for detecting and reproducing a position shift amount.
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Legal Events
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---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |