JP3134576B2 - Interferometer device - Google Patents
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- JP3134576B2 JP3134576B2 JP05019420A JP1942093A JP3134576B2 JP 3134576 B2 JP3134576 B2 JP 3134576B2 JP 05019420 A JP05019420 A JP 05019420A JP 1942093 A JP1942093 A JP 1942093A JP 3134576 B2 JP3134576 B2 JP 3134576B2
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、球面レンズ等の表面状
態をレーザ干渉計を用いて検査するための干渉計装置に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an interferometer for inspecting the surface condition of a spherical lens or the like using a laser interferometer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レンズの仕上げ精度の検査を行うために
レーザ干渉計を用いるように構成したものは従来から知
られている。即ち、レーザ光源からのレーザ光の光路に
レンズの基準となる基準レンズを配設すると共に、この
光路における基準レンズの前方位置に被検レンズを配設
し、基準レンズの基準面からの反射光と被検レンズの被
検面からの反射光との間で生じる干渉縞の本数を測定す
ることによって、このレンズの表面状態を検査するよう
にしたものである。このように、レーザ干渉計を用いる
と、被検レンズを非接触で検査できることから、基準レ
ンズにも、また被検レンズにも損傷を来すことなく精密
に検査できるので極めて都合が良い。2. Description of the Related Art It is conventionally known to use a laser interferometer to inspect the finishing accuracy of a lens. That is, a reference lens serving as a reference for a lens is provided in an optical path of a laser beam from a laser light source, and a test lens is provided at a position in front of the reference lens in the optical path, and light reflected from a reference surface of the reference lens is provided. The surface condition of the lens is inspected by measuring the number of interference fringes generated between the light and the reflected light from the surface to be inspected of the lens to be inspected. As described above, the use of the laser interferometer allows the inspection lens to be inspected in a non-contact manner, so that the inspection can be precisely performed without damaging the reference lens and the inspection lens, which is extremely convenient.
【０００３】この種のレーザ干渉計として、本出願人
は、図１及び図２に示した構成としたものを開発した。
図中、１は干渉計本体を示し、この干渉計本体１は本体
ケーシング２に装着されている。この本体ケーシング２
は、内部に空気擾乱が生じるのを防止するために密閉さ
れた空間となっており、干渉計本体１はその天板部２ａ
に昇降手段３により上下方向に変位可能に装着されてい
る。また、天板部２ａには開口４が形成されており、干
渉計本体１からのレーザ光は、この開口４を介して外部
に導出できるようになっている。表面状態の検査・測定
が行われる被検レンズ５は、この開口４の上面側に配設
したレンズマウント６に、その被検面５ａが干渉計本体
１側を向くようにセットされる構成となっている。ここ
で、被検レンズ５をレンズマウント６にセットした時
に、両者の光軸合わせを容易に行えるようにするため
に、被検レンズ５の被検面５ａ側をレンズマウント６に
当接させる。ただし、被検面５ａにおける有効口径全体
の検査を行うために、その当接部は被検レンズ５の有効
口径の外側の位置とする。As a laser interferometer of this type, the present applicant has developed a laser interferometer having the configuration shown in FIGS.
In the figure, reference numeral 1 denotes an interferometer main body, and the interferometer main body 1 is mounted on a main body casing 2. This body casing 2
Is a closed space in order to prevent air disturbance inside, and the main body 1 of the interferometer 1
Is mounted so as to be vertically displaceable by a lifting means 3. An opening 4 is formed in the top plate 2a, so that the laser beam from the interferometer main body 1 can be led out through the opening 4. The lens 5 to be inspected and measured for its surface condition is set on a lens mount 6 disposed on the upper surface side of the opening 4 so that the surface 5a to be inspected faces the interferometer main body 1 side. Has become. Here, when the test lens 5 is set on the lens mount 6, the test surface 5 a side of the test lens 5 is brought into contact with the lens mount 6 so that the optical axes of the two can be easily adjusted. However, in order to inspect the entire effective aperture on the surface 5a to be inspected, the contact portion is located outside the effective aperture of the lens 5 to be inspected.
【０００４】干渉計本体１としては、例えばフィゾー型
の干渉計等が好適に用いられる。この干渉計は、図２に
示した構成となっている。即ち、同図において、１０は
Ｈｅ−Ｎｅレーザ等からなるレーザ発振器であって、こ
のレーザ発振器１０から出力されたレーザ光はビーム発
散用の発散レンズ１１によって、一度集光させた後に発
散するようになっている。発散レンズ１１の集光位置に
はピンホール１２が配設されており、これによって集光
した光以外は光路からカットされる。ピンホール１２を
通過した光はビームスプリッタ１３の反射面１３ａに反
射せしめられる。ビームスプリッタ１３での反射光は１
／４波長板１４を介してコリメータレンズ１５によって
平行光となって基準レンズ１６に入射される。基準レン
ズ１６の入射面１６ａは反射防止コーティングが施され
ており、またこの入射面１６ａと反対側の面は基準面１
６ｂで、この基準面１６ｂからの反射光は、被検レンズ
５の被検面５ａから反射する物体光である測定波面に対
して、参照光として基準波面を形成する。As the interferometer body 1, for example, a Fizeau interferometer or the like is suitably used. This interferometer has the configuration shown in FIG. That is, in FIG. 1, reference numeral 10 denotes a laser oscillator composed of a He-Ne laser or the like, and the laser light output from the laser oscillator 10 is once condensed by a diverging lens 11 for beam divergence and then diverges. It has become. A pinhole 12 is provided at the converging position of the diverging lens 11, so that light other than the condensed light is cut off from the optical path. The light passing through the pinhole 12 is reflected by the reflection surface 13a of the beam splitter 13. The reflected light from the beam splitter 13 is 1
The light is collimated by the collimator lens 15 via the 波長 wavelength plate 14 and is incident on the reference lens 16. The entrance surface 16a of the reference lens 16 is coated with an anti-reflection coating, and the surface opposite to the entrance surface 16a is a reference surface 1
At 6b, the light reflected from the reference surface 16b forms a reference wavefront as reference light with respect to the measurement wavefront that is the object light reflected from the surface 5a of the lens 5 to be measured.
【０００５】レンズマウント６に被検レンズ５が装着さ
れると、レーザ発振器１０からレーザ導光用光学系を構
成する発散レンズ１１，ピンホール１２，ビームスプリ
ッタ１３，１／４波長板１４及びコリメータレンズ１５
を経て基準レンズ１６にレーザ光が入射され、一部はこ
の基準レンズ１６の基準面１６ｂで反射し、他は被検レ
ンズ５に入射されて、この被検レンズ５の被検面５ａで
も一部が反射する。基準レンズ１６の基準面１６ｂ及び
被検レンズ５の被検面５ａからの反射光はコリメータレ
ンズ１５により収束せしめられながら、１／４波長板１
４を経てビームスプリッタ１３に戻され、ビームスプリ
ッタ１３の反射面１３ａを透過する。このビームスプリ
ッタ１３の透過光の光路には絞り１７及び結像レンズ１
８が設けられており、この結像レンズ１８の結像位置
に、基準面１６ｂからの参照光と被検面５ａからの物体
光との間の干渉作用によって、干渉縞が結像される。こ
の結像位置にＣＣＤ等からなる撮像手段１９が設けられ
ており、この撮像手段１９で干渉縞画像が撮影される。When the lens 5 to be measured is mounted on the lens mount 6, a divergent lens 11, a pinhole 12, a beam splitter 13, a quarter-wave plate 14, and a collimator constituting an optical system for guiding a laser beam from a laser oscillator 10. Lens 15
The laser beam is incident on the reference lens 16 via the optical path, a part of the laser light is reflected on the reference surface 16b of the reference lens 16, and the other is incident on the lens 5 to be inspected. The part is reflected. The reflected light from the reference surface 16b of the reference lens 16 and the test surface 5a of the test lens 5 is converged by the collimator lens 15 while the １ ／ wavelength plate 1
4, the light is returned to the beam splitter 13 and passes through the reflection surface 13a of the beam splitter 13. The optical path of the transmitted light of the beam splitter 13 is provided on the stop 17 and the imaging lens 1.
An interference fringe is formed at the imaging position of the imaging lens 18 by the interference between the reference light from the reference surface 16b and the object light from the test surface 5a. An imaging means 19 composed of a CCD or the like is provided at this image forming position, and an interference fringe image is taken by the imaging means 19.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ここで、干渉計本体１
に装着される基準レンズ１６の基準面１６ｂは、所定の
曲率半径を有するものであり、この基準面１６ｂを凹球
面とした時に、被検レンズ５の被検面５ａが凹球面の場
合には、両球面の曲率半径の和に相当する距離だけ離し
た位置に配置し、また被検面５ａが凸球面である場合に
は、両球面の曲率半径の差に相当する距離だけ離した位
置に配置することによって、被検レンズにおける被検面
の仕上げ精度等の検査が行われる。Here, the main body 1 of the interferometer is used.
The reference surface 16b of the reference lens 16 attached to the lens has a predetermined radius of curvature. When the reference surface 16b has a concave spherical surface, when the surface 5a of the lens 5 to be inspected has a concave spherical surface, At a position corresponding to the sum of the radii of curvature of the two spherical surfaces, and when the test surface 5a is a convex spherical surface, at a position separated by a distance corresponding to the difference between the radii of curvature of the two spherical surfaces. By arranging, the inspection of the surface to be inspected of the lens to be inspected, such as finishing accuracy, is performed.
【０００７】ところで、図３に示したように、所定の有
効口径Ｅを有し、曲率半径がＲの基準面ＳＦを持った基
準レンズＳＬを用いた時に、口径Ｄのレンズマウント６
に曲率半径ｒの被検レンズＣＬをセットすると、その被
検面ＣＦ全体に光が当り、被検面ＣＦ全体の干渉縞画像
が得られ、しかもモニタ装置における画像領域全体に干
渉縞画像が表示される。だだし、この基準レンズＳＬで
検査できるのは、曲率半径がｒの被検面ＣＦを持った被
検レンズＣＬだけに限定される訳ではない。As shown in FIG. 3, when a reference lens SL having a predetermined effective aperture E and a reference surface SF having a curvature radius R is used, a lens mount 6 having an aperture D is used.
When a lens CL having a radius of curvature r is set, light strikes the entire surface to be measured CF, and an interference fringe image of the entire surface to be measured CF is obtained. Is done. However, what can be inspected by the reference lens SL is not limited to the test lens CL having the test surface CF having the curvature radius r.
【０００８】通常、レンズは、その全領域が有効領域と
なるのではなく、外周部側における所定幅に相当する部
位は有効領域として利用しない範囲がある。レンズマウ
ント６は被検レンズＣＬの有効口径の外側の位置に当接
させるようにしている。従って、被検レンズＣＬの有効
口径ｄとした場合には、この有効口径ｄの外側の部位に
ついては、必ずしも干渉縞画像を取得しなくとも良い。
被検レンズＣＬ1 で示したように、その被検面ＣＦ1 の
曲率半径がｒより小さいｒ1 である場合には、基準レン
ズＳＬを、それと被検レンズＣＬ1 との間が両曲率半径
の和（Ｒ＋ｒ1）に相当する位置まで近付けることによ
って、この被検レンズＣＬ1 の被検面ＣＦ1 について干
渉縞画像を取得できる。ただし、この被検面ＣＦ1 の曲
率半径ｒ1 より小さいものになると、有効口径ｄ以下の
範囲でしか干渉縞画像が得られなくなってしまう。Normally, the entire area of the lens does not become an effective area, and a portion corresponding to a predetermined width on the outer peripheral side has a range that is not used as an effective area. The lens mount 6 is brought into contact with a position outside the effective aperture of the lens CL to be measured. Therefore, when the effective aperture d of the lens CL to be inspected is set, it is not always necessary to obtain an interference fringe image for a portion outside the effective aperture d.
As shown in the test lens CL 1, in which case the radius of curvature of the test surface CF 1 is smaller than r r 1 is the reference lens SL, therewith between the two radii of curvature of the subject lens CL 1 By approaching to a position corresponding to the sum (R + r 1 ), an interference fringe image can be obtained for the test surface CF 1 of the test lens CL 1 . However, if the radius of curvature r 1 of the test surface CF 1 is smaller than the radius of curvature r 1 , an interference fringe image can be obtained only within the effective diameter d or less.
【０００９】一方、被検レンズＣＬ2 で示したように、
曲率半径がｒより大きいｒ2 である場合にも同じ基準レ
ンズＳＬで検査することは可能である。このように曲率
半径が大きい場合には、必ず被検レンズＣＬ2 の被検面
全体の干渉縞画像が得られる。ただし、曲率半径が大き
くなればなる程、モニタ装置に干渉縞画像を表示した時
に、このモニタ装置の表示領域に対して実際に表示され
る干渉縞画像が小さくなってしまう。勿論、干渉縞の結
像系にズーム機構や倍率変換機構等を設ければ、ある程
度は干渉縞画像を大きくできるが、それにはおのずと限
界がある。このために、被検レンズＣＬ2 の被検面ＣＦ
2 のように曲率半径がｒ2 以上になると、干渉縞の観察
を正確に行えなくなるので好ましくはない。On the other hand, as shown by the lens CL 2 to be inspected,
Even when the radius of curvature is r 2 larger than r, the inspection can be performed with the same reference lens SL. If this radius of curvature is large as, the interference fringe image of the entire test surface of the lens CL 2 is obtained without fail. However, the larger the radius of curvature, the smaller the interference fringe image actually displayed in the display area of the monitor device when displaying the interference fringe image on the monitor device. Of course, if a zoom mechanism, a magnification conversion mechanism, and the like are provided in the interference fringe imaging system, the interference fringe image can be enlarged to some extent, but there is naturally a limit. For this reason, the test surface CF of the test lens CL 2
If the radius of curvature is equal to or greater than r 2 as in 2 , it is not preferable because observation of interference fringes cannot be performed accurately.
【００１０】以上のことから、曲率半径Ｒの基準面ＳＦ
を持った基準レンズＳＬによっては、有効口径が一定の
被検レンズとしては、曲率半径がｒ1 からｒ2 までの被
検面ＣＦ1 からＣＦ2 までのものが検査可能であり、こ
の範囲以外の被検レンズを検査する場合には、基準レン
ズを交換しなければならない。[0010] From the above, the reference surface SF of the radius of curvature R
Some reference lens SL having, as the effective aperture constant of the lens, the radius of curvature are possible inspection those from r 1 from the test surface CF 1 to r 2 to CF 2, except this range When inspecting the lens to be inspected, the reference lens must be replaced.
【００１１】また、図４に示したように、被検レンズが
凸レンズＶＬの場合には、この被検レンズＶＬの被検面
ＶＦの曲率半径ｒ′が曲率半径Ｒの基準面ＳＦを有する
基準レンズＳＬでレンズマウント６の口径全体にわたっ
て干渉縞が得られる場合に、この被検レンズの有効口径
をｄ′とすると、曲率半径ｒ′より小さい曲率半径ｒ
1 ′の被検面ＶＦ1 を持った被検レンズＶＬ1 までは検
査可能であるが、それ以下の曲率半径のものは全面の検
査ができない。また、被検レンズＶＬ2 の被検面ＶＦ2
の曲率半径ｒ2 ′より大きな曲率半径のものは、モニタ
装置に表示される干渉縞画像の大きさの点で問題となる
から、実際においては、前述した凹レンズの場合と同
様、単一の基準レンズで良好に検査できる被検レンズの
曲率半径は、ｒ1 ′からｒ2 ′までの間である。As shown in FIG. 4, when the test lens is a convex lens VL, the radius of curvature r 'of the test surface VF of the test lens VL has a reference surface SF having a radius of curvature R. When interference fringes are obtained over the entire diameter of the lens mount 6 with the lens SL, the radius of curvature r is smaller than the radius of curvature r ', where d' is the effective aperture of the test lens.
1 'of the up test lens VL 1 having a test surface VF 1 can be inspected, but can not entirely inspection less the radius of curvature of the things. Further, the test surface of the lens VL 2 VF 2
Since the radius of curvature larger than the radius of curvature r 2 ′ is problematic in terms of the size of the interference fringe image displayed on the monitor device, in practice, a single reference The radius of curvature of the test lens that can be inspected well by the lens is between r 1 ′ and r 2 ′.
【００１２】さらに、被検レンズは目的や用途等に応じ
て様々な有効口径のものが用いられることから、単一の
干渉計装置を用いて種々の有効口径の被検レンズの検査
を行うことができるようになっている。ここで、被検レ
ンズは、その被検面における有効口径の外側の位置をレ
ンズマウント１６に支承させることから、被検レンズの
有効口径が異なる場合には、レンズマウントを交換して
装着する。今、図５において、曲率半径Ｒの基準面ＳＦ
を持った基準レンズＳＬを用い、被検レンズＣＬの曲率
半径がｒであり、これを開口径Ｂのレンズマウント６に
セットした時には、開口部全体に光が及ぶものとする。
この被検レンズＣＬと同じ曲率半径であっても、外径が
大きい被検レンズＣＬL になると、レンズマウント６は
この被検レンズの有効口径ｄの外側に当接させるため
に、大きな開口径Ｂ1 のレンズマウントと交換する。こ
の大口径の被検レンズＣＬL の有効口径がｄL であると
すると、この有効口径ｄL の全体に光が及ぶようになっ
ていなければ、検査できないことになる。より外径の小
さい被検レンズＣＬS の検査を行う際には、レンズマウ
ントとしては、より小さい開口径Ｂ2 のものに交換する
が、この場合にあっては、被検レンズの全体に光が当る
ものの、モニタ装置に表示される干渉縞画像が小さくな
り、良好に観察できないことになる。従って、レンズマ
ウントの開口径がＢ1 より大きい場合及びＢ2 より小さ
い場合には、基準レンズを交換しなければならない。Further, since lenses having various effective apertures are used depending on purposes and applications, it is necessary to inspect a lens having various effective apertures using a single interferometer. Is available. Here, since the lens to be measured has the lens mount 16 support a position outside the effective aperture on the surface to be inspected, if the effective aperture of the lens to be inspected is different, the lens mount is replaced and mounted. Now, in FIG. 5, a reference surface SF having a radius of curvature R is set.
When the reference lens SL having the following formula is used, the radius of curvature of the lens CL to be measured is r, and when the lens CL is set on the lens mount 6 having the opening B, the light reaches the entire opening.
Even with the same radius of curvature as the test lens CL, it becomes the large outer diameter the subject lens CL L, the lens mount 6 in order to abut against the outside of the effective diameter d of the test lens, a large opening diameter to replace the lens mount of B 1. Assuming that the effective aperture of the large-diameter test lens CL L is d L , the inspection cannot be performed unless light reaches the entire effective aperture d L. When performing more testing small subject lens CL S of the outer diameter, the lens mount, although replaced with a smaller opening diameter B 2, In the this case, the light in the entire of the lens However, the interference fringe image displayed on the monitor device becomes small, and good observation cannot be performed. Therefore, in the case when the aperture diameter of the lens mount is greater than B 1 and B 2 smaller shall replace the reference lens.
【００１３】以上のように、ある曲率半径と有効口径と
を持った被検レンズを測定しようとする場合に、干渉計
本体に装着されている基準レンズの曲率半径及び有効口
径によっては、この被検レンズの検査が可能である場合
もあり、検査できない場合もある。このために、曲率半
径及び有効口径が異なるレンズの測定を行う際には、現
に干渉計本体１に装着されている基準レンズ１６のＦナ
ンバーと基準面１６ａの曲率半径を確認して、この基準
レンズで被検レンズの検査ができるか否かを判断する必
要がある。しかも、その基準レンズで検査できるもので
ある場合、または検査可能な基準レンズを装着した場合
において、この基準レンズと被検レンズとの間の相対位
置関係が干渉縞の測定を行うことができる位置関係とな
るように調整する作業を行わなければならない。これら
の作業は検査しようとする被検レンズの種類を変える毎
に必要となり、作業性が極めて悪く、多大の時間を必要
とするものであって、被検レンズの種類の変更頻度の高
い場合には、効率的な検査を行えないという問題点があ
る。As described above, when trying to measure a test lens having a certain radius of curvature and an effective aperture, depending on the radius of curvature and the effective aperture of the reference lens mounted on the main body of the interferometer, this object may be measured. In some cases, the inspection of the inspection lens can be performed, and in other cases, the inspection cannot be performed. For this reason, when measuring a lens having a different radius of curvature and an effective aperture, the F number of the reference lens 16 currently mounted on the interferometer body 1 and the radius of curvature of the reference surface 16a are checked. It is necessary to determine whether or not the lens can be used to inspect the test lens. In addition, when the reference lens can be inspected, or when an inspectable reference lens is attached, the relative positional relationship between the reference lens and the lens to be inspected is a position at which interference fringe measurement can be performed. Work must be done to make adjustments. These operations are required every time the type of the lens to be inspected is changed, and the workability is extremely poor and requires a lot of time. When the type of the lens to be inspected is frequently changed, However, there is a problem that an efficient inspection cannot be performed.
【００１４】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、検査すべき被検レンズの種類を変えた時におけ
る検査準備作業を迅速かつ効率的に行うことができるよ
うにすることを目的とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to enable quick and efficient inspection preparation work when the type of a lens to be inspected is changed. It is the purpose.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、干渉計本体に装着されている所定の
基準レンズの位置に対応して検査可能な被検レンズの曲
率半径を表示する曲率半径表示部材と、検査される被検
レンズの被検面の光軸中心線上の位置が一定となるよう
にレンズマウントの高さ位置を調整可能とする基準レベ
ル調整手段とを備える構成としたことをその特徴とする
ものである。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a method of measuring the radius of curvature of a test lens which can be inspected in accordance with the position of a predetermined reference lens mounted on an interferometer body. A configuration including a radius of curvature display member to be displayed, and a reference level adjustment unit that can adjust the height position of the lens mount so that the position of the surface to be inspected of the lens to be inspected on the optical axis center line is constant. The feature is that it is.
【００１６】[0016]
【作用】干渉計装置により検査・測定される被検レンズ
としては、様々な曲率半径及び有効口径を持ったものが
ある。ある種の被検レンズを検査するのに適した基準レ
ンズは他の種類の被検レンズを検査する場合にもそのま
まこの基準レンズを用いることができるとは限らない。
そこで、被検レンズの種類を変える場合には、まず現在
干渉計本体に装着されている基準レンズで検査が可能で
あるか否かの判定を行わなければならない。然るに、曲
率半径表示部材により当該の基準レンズによって検査で
きる被検レンズの曲率半径が表示されているから、この
表示を目視することにより、検査可能か否かの判定を行
うことができる。従って、当該の基準レンズでは不適当
である場合には、適正な基準レンズと交換すれば良い。The lens to be inspected and measured by the interferometer has various radii of curvature and effective apertures. A reference lens suitable for inspecting a certain kind of lens to be inspected cannot always be used as it is when inspecting another kind of lens to be inspected.
Therefore, when changing the type of the lens to be inspected, it must first be determined whether or not the inspection can be performed with the reference lens currently mounted on the main body of the interferometer. However, since the radius of curvature of the test lens that can be inspected by the reference lens is displayed by the radius of curvature display member, it is possible to determine whether or not the inspection is possible by visually checking the display. Therefore, if the reference lens is inappropriate, the reference lens may be replaced with an appropriate reference lens.
【００１７】適正な基準レンズが装着されると、干渉縞
が観察できる位置となるように基準レンズと被検レンズ
との相対位置関係の調整を行う。曲率半径表示部材には
被検レンズの曲率半径が表示されているから、基準レン
ズを装着した干渉計本体を昇降手段により昇降させて、
この曲率半径表示部材に検査しようとする被検レンズの
曲率半径が表示される位置に変位させる。ただし、光軸
中心上における被検レンズの被検面の位置は被検レンズ
の曲率半径等に応じて変化する。そこで、この被検面
を、その曲率半径等とは無関係に、常に一定の高さ位置
となるように調整するために、基準レベル調整手段が設
けられている。従って、これを操作して被検レンズの被
検面が所定の基準位置となるように調整する。これによ
って、基準レンズと被検レンズとの相対位置関係が実質
的に干渉縞の観察が可能となる位置となるように調整で
きる。When a proper reference lens is mounted, the relative positional relationship between the reference lens and the lens to be inspected is adjusted so that the interference fringes can be observed. Since the radius of curvature of the lens to be measured is displayed on the radius of curvature display member, the interferometer body equipped with the reference lens is raised and lowered by the lifting means,
The curvature radius display member is displaced to a position where the curvature radius of the lens to be inspected is displayed. However, the position of the test surface of the test lens on the optical axis center changes according to the radius of curvature of the test lens. Therefore, a reference level adjusting means is provided to adjust the surface to be inspected so as to be always at a constant height position irrespective of the radius of curvature or the like. Therefore, by operating this, the surface to be inspected of the lens to be inspected is adjusted to be at a predetermined reference position. Thereby, it is possible to adjust the relative positional relationship between the reference lens and the test lens so that the interference fringe can be substantially observed.
【００１８】ここで、この位置調整はレーザ光の波長の
単位というように、極めて微細に行う必要があり、前述
の動作で基準レンズと被検レンズとの間を厳格に位置決
めできるように構成すれば、直ちに被検レンズの検査が
可能となるが、必ずしも微細位置決めではなく、粗位置
決めを行うだけでも、位置決め作業を極めて容易に、し
かも迅速に行うことができ、その作業性が著しく改善さ
れ、迅速な位置決めが可能となる。Here, this position adjustment needs to be performed extremely finely, for example, in the unit of the wavelength of the laser beam, and it is configured so that the above-described operation enables the strict positioning between the reference lens and the test lens. In this case, the inspection of the lens to be inspected can be performed immediately, but the positioning operation can be performed extremely easily and quickly even by performing the coarse positioning, not necessarily the fine positioning, and the workability is remarkably improved. Quick positioning is possible.
【００１９】[0019]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図６に干渉計装置の要部構成を示す。同図
において、図１と同一または均等な部材については、同
一の符号を付して、その説明は省略する。図中におい
て、２０はメジャー、２１は巻き取り部材である。メジ
ャー２０には、図７に示したように、被検レンズ５の被
検面５ａの曲率半径を表示する目盛りが付されている。
この目盛りは、後述する被検レンズ５における被検面５
ａの基準高さ位置から干渉計本体１における基準レンズ
１６の基準面１６ｂがその曲率半径に相当する距離だけ
離れた位置の表示を原点０として、被検レンズが凸レン
ズである場合の曲率半径を＋側となるようにして、また
凹レンズである場合を−側となるようにして目盛りが付
されている。また、基準レンズ１６の基準面１６ｂの曲
率半径及び有効口径に応じて、被検レンズの検査可能範
囲が異なるものとなることから、メジャー２０には目盛
りと共に、当該の基準レンズで被検レンズ５の検査可能
な範囲が例えば着色部２０ａ，２０ｂ、その他適宜の手
法により表示されている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 6 shows a main configuration of the interferometer apparatus. In the figure, the same or equivalent members as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. In the figure, reference numeral 20 denotes a measure, and reference numeral 21 denotes a winding member. As shown in FIG. 7, the measure 20 is provided with a scale for displaying the radius of curvature of the surface 5a of the lens 5 to be measured.
This graduation is measured on a test surface 5 of a test lens 5 described later.
The origin 0 is defined as the position at which the reference surface 16b of the reference lens 16 in the interferometer body 1 is separated from the reference height position by a distance corresponding to the radius of curvature, and the radius of curvature when the test lens is a convex lens. The scale is set so that it is on the + side, and on the negative side when it is a concave lens. Further, the testable range of the lens to be inspected varies depending on the radius of curvature and the effective aperture of the reference surface 16b of the reference lens 16; Are displayed by, for example, the colored portions 20a and 20b and other appropriate methods.
【００２０】メジャー２０は巻き取り部材２１に巻着さ
れて、図示しないばねによって、この巻き取り部材２１
内に引き込む方向の力を常時作用させるようにした、所
謂巻き尺と同様の構造となっている。巻き取り部材２１
は本体ケーシング２における天板部２ａの下面に着脱可
能に装着されており、メジャー２０はこの天板部２ａの
下面に沿うように水平に延在されて、天板部２ａに取り
付けた方向転換用のガイドローラ２２により垂直方向に
方向転換して、その先端部が干渉計本体１に連結されて
いる。そして、天板部２ａにはメジャー２０が水平方向
に延在されている部位に表示窓２３が設けられており、
この表示窓２３には透明ガラス２４が嵌め込まれてい
る。透明ガラス２４には、図８に示したように、指示線
２５が描かれており、この指示線２５とメジャー２０と
の相対位置関係は、基準レンズ１６の基準高さ位置から
基準面１６ｂの曲率半径に相当する距離だけ離した位置
に配置されている際には、メジャー２０の原点０が指示
線２５と一致するようになり、この位置から基準レンズ
１６が下降する方向には−側の目盛りが、また上昇する
方向においては＋側の目盛りが指示線２５上に位置する
ように設定され、メジャー２０における指示線２５が指
している位置の目盛りに相当する曲率半径を有する被検
レンズ５の検査を行うことができることになる。The measure 20 is wound around a take-up member 21, and this measure is carried out by a spring (not shown).
It has a structure similar to a so-called tape measure, in which a force in the direction of pulling in is always applied. Winding member 21
Is detachably attached to the lower surface of the top plate 2a of the main body casing 2, and the measure 20 is horizontally extended along the lower surface of the top plate 2a, and the direction change attached to the top plate 2a. The direction is changed in the vertical direction by a guide roller 22, and the tip is connected to the interferometer body 1. A display window 23 is provided on the top plate 2a at a position where the measure 20 extends in the horizontal direction.
A transparent glass 24 is fitted in the display window 23. As shown in FIG. 8, an indication line 25 is drawn on the transparent glass 24, and the relative positional relationship between the indication line 25 and the measure 20 is determined based on the reference height position of the reference lens 16 and the reference surface 16b. When the reference lens 16 is disposed at a position separated by a distance corresponding to the radius of curvature, the origin 0 of the measure 20 coincides with the indication line 25, and the reference lens 16 moves downward from this position in the negative direction. The scale 5 is set so that the scale on the + side in the ascending direction is positioned on the indicating line 25, and the test lens 5 having a radius of curvature corresponding to the scale at the position indicated by the indicating line 25 on the measure 20. Inspection can be performed.
【００２１】ここで、メジャー２０の目盛りに基づいて
基準レンズ１６が装着されている干渉計本体１の高さ位
置を調整するが、被検レンズ５における被検面５ａの光
軸中心線上のある高さ位置を基準高さ位置として設定
し、この基準高さ位置に基づいて目盛りが付されてい
る。ただし、被検レンズ５は球面レンズであることか
ら、その曲率半径等が変わると、レンズマウント６にセ
ットした時にその被検面の光軸中心線上の高さ位置も変
化する。そこで、レンズマウント６にその高さ位置を、
被検レンズ５の被検面５ａが基準高さ位置となるように
調整するために基準レベル調整手段３０が設けられてい
る。Here, the height position of the interferometer main body 1 on which the reference lens 16 is mounted is adjusted on the basis of the scale of the measure 20, and is located on the optical axis center line of the surface 5a of the lens 5 to be measured. The height position is set as a reference height position, and a scale is provided based on the reference height position. However, since the test lens 5 is a spherical lens, if its curvature radius or the like changes, the height of the test surface on the optical axis center line also changes when the lens is set on the lens mount 6. Therefore, the height position on the lens mount 6
A reference level adjusting means 30 is provided to adjust the surface 5a of the lens 5 to be measured to the reference height position.
【００２２】この基準レベル調整手段３０としては、天
板部２ａの開口４にマウント支持部材３１の高さ位置を
調整するための昇降手段３２を備え、このマウント支持
部材３１にレンズマウント６が着脱可能に装着されてい
る。昇降手段３２は、ガイド３３と、このガイド３３に
沿ってマウント支持部材３１を昇降させる送りねじ３４
とを備え、マウント支持部材３１には、ガイド３３と係
合し、かつ送りねじ３４が螺挿される昇降ブロック３５
が連設されている。従って、この送りねじ３４を手動操
作で回転させると、レンズマウント６を装着したマウン
ト支持部材３１を昇降動作させることができる。ガイド
３３には目盛り３６が設けられており、また昇降ブロッ
ク３５にはこの目盛り３６に沿って上下する指針３７が
設けられている。ここで、目盛り３６はレンズマウント
６の基準高さ位置を基準位置となる目盛り０の位置とし
て、上方は＋側の目盛りとなり、また下方は−側の目盛
りとなっている。The reference level adjusting means 30 includes elevating means 32 for adjusting the height position of the mount support member 31 at the opening 4 of the top plate 2a, and the lens mount 6 is attached to and detached from the mount support member 31. Mounted as possible. The elevating means 32 includes a guide 33 and a feed screw 34 for elevating and lowering the mount support member 31 along the guide 33.
And a lifting block 35 which is engaged with the guide 33 and into which the feed screw 34 is screwed.
Are connected. Therefore, when the feed screw 34 is manually rotated, the mount support member 31 on which the lens mount 6 is mounted can be moved up and down. The guide 33 is provided with a scale 36, and the elevating block 35 is provided with a pointer 37 which moves up and down along the scale 36. Here, the scale 36 is a + scale on the upper side and a − scale on the lower side, with the reference height position of the lens mount 6 as the reference position of the scale 0 as a reference position.
【００２３】ところで、実際に検査を行うに当っては、
被検レンズ５と基準レンズ１６との間の間隔は、光の波
長以下の間隔で微調整できるようにする必要があり、前
述した基準レベル調整手段３０や、干渉計本体１を昇降
動作させる昇降手段３によりこのような微小位置決めを
行うようにすると、動作速度等の点で好ましくはない。
そこで、これら基準レベル調整手段３０及び昇降手段３
はあくまでも被検レンズ５と基準レンズ１６との間の粗
位置決め機構として用い、微小調整手段としては、レン
ズマウント６をマウント支持部材３１に微小間隔だけ上
下方向（Ｚ方向）に位置微調整が可能な構成とするのが
望ましい。また、レンズマウント６の中心を干渉計本体
１の光軸中心と一致させる必要があり、このためにレン
ズマウント６を水平方向（ＸＹ方向）にも位置微調整で
きるようにする必要もある。このために、レンズマウン
ト６は図９に示した構成となっている。By the way, in actually performing the inspection,
The distance between the test lens 5 and the reference lens 16 needs to be finely adjusted at a distance equal to or smaller than the wavelength of light. It is not preferable to perform such minute positioning by the means 3 in terms of operation speed and the like.
Therefore, the reference level adjusting means 30 and the elevating means 3
Only used as a coarse positioning mechanism between the test lens 5 and the reference lens 16, and as the fine adjustment means, the position of the lens mount 6 can be finely adjusted in the vertical direction (Z direction) by a small interval on the mount support member 31. It is desirable to have a simple configuration. In addition, the center of the lens mount 6 needs to coincide with the center of the optical axis of the interferometer body 1, and for this purpose, the lens mount 6 needs to be finely adjustable in the horizontal direction (XY directions). Therefore, the lens mount 6 has the configuration shown in FIG.
【００２４】同図から明らかなように、レンズマウント
６はマウント支持部材３１にＸＹ方向の位置微調整を行
うためのＸＹステージ４１を設け、さらにこのＸＹステ
ージ４１上にＺ方向微調整手段４２を設置し、このＺ方
向微調整手段４２上に被検レンズ５がセットされるレン
ズセット部４３が着脱可能に設けられている。As is apparent from FIG. 1, the lens mount 6 is provided with an XY stage 41 for finely adjusting the position in the XY directions on the mount support member 31, and a Z-direction fine adjustment means 42 is provided on the XY stage 41. The lens setting unit 43 in which the lens 5 to be measured is set is provided on the Z direction fine adjustment means 42 so as to be detachable.
【００２５】ＸＹステージ４１は周知の構造のものであ
って、それぞれガイドレールによりＸ方向及びＹ方向に
移動可能となった２段のテーブルを備え、これら各テー
ブルをマイクロメータヘッド４４ｘ，４４ｙによってガ
イドレールに沿って位置微調整が行えるようになってい
る。また、Ｚ方向微調整手段４２は高さ調整リング４５
を有し、この高さ調整リング４５はボルト等の手段によ
ってＸＹステージ４１に固着して設けられている。高さ
調整リング４５の外面にはねじが設けられており、この
高さ調整リング４５のねじの部分に保持部材４６が螺合
されている。そして、保持部材４６にはレバー４７が連
結されており、このレバー４７を回動させることによっ
て、保持部材４６の高さ位置を調整できるようになって
いる。レンズセット部４３は、この保持部材４６に螺挿
されており、このレンズセット部４３に被検レンズ５
が、その被検面５ａの外周縁近傍部位が当接するように
セットされる構成となっている。そして、保持部材４６
を回動させることによって、レンズセット部４３の高さ
を調整する際に、このレンズセット部４３がそれに連動
して回動しないように保持するために、保持部材４６は
回動部４６ｒ及び固定部４６ｔと、この回動部４６ｒ，
固定部４６ｔ間にクランプされて、レンズセット部４３
が直接螺合される保持体４６ｓとから構成され、保持体
４６ｓは高さ調整リング４５に装着した回り止めピン４
６ｐにより回り止めされている。The XY stage 41 has a well-known structure, and includes two tables which can be moved in the X and Y directions by guide rails, respectively. These tables are guided by micrometer heads 44x and 44y. The position can be fine-tuned along the rail. The Z direction fine adjustment means 42 is provided with a height adjustment ring 45.
The height adjustment ring 45 is fixed to the XY stage 41 by means such as a bolt. A screw is provided on the outer surface of the height adjustment ring 45, and a holding member 46 is screwed to the screw portion of the height adjustment ring 45. A lever 47 is connected to the holding member 46, and the height position of the holding member 46 can be adjusted by rotating the lever 47. The lens setting section 43 is screwed into the holding member 46, and the lens
However, it is configured such that a portion near the outer peripheral edge of the test surface 5a is set in contact. Then, the holding member 46
When the height of the lens set portion 43 is adjusted by rotating the lens set portion 43, the holding member 46 is fixed to the rotating portion 46r and fixed so as to hold the lens set portion 43 so as not to rotate in conjunction therewith. Part 46t, this rotating part 46r,
The lens set 43 is clamped between the fixing portions 46t.
Is directly screwed into the holding member 46s, and the holding member 46s is provided with the detent pin 4 attached to the height adjustment ring 45.
It is stopped by 6p.
【００２６】既に説明したように、被検レンズ５の曲率
半径等によっては、基準面１６ｂの曲率半径及び有効口
径が異なる基準レンズ１６に交換しなければならない。
そして、この基準レンズを交換した時には、その基準面
の曲率半径が異なるので、当然、メジャー２０の原点０
の位置が変化するし、また検査可能範囲も異なってくる
ので、曲率半径表示部材におけるメジャー２０を交換し
なければならない。このメジャー２０の交換を可能なら
しめるために、図１０に示したように、天板部２ａの下
面にはメジャー２０が巻き取られる巻き取り部材２１を
装着するために、一対のブラケット５０，５１が垂設さ
れている。そして、ブラケット５０には固定クランプ部
５２を、またブラケット５１には可動クランプ部５３を
それぞれ設け、可動クランプ部５３にはばね５４により
固定クランプ部５２に近接する方向に付勢するようにな
し、この固定，可動のクランプ部５２，５３間に巻き取
り部材２１が挾持されるようになっている。そして、ば
ね５４の付勢力に抗する方向に可動クランプ部５３を押
し込むことにより、巻き取り部材２１の取り出しが可能
となる。また、メジャー２０の先端は、例えばフック等
によって干渉計本体１に着脱可能に連結されている。As described above, the reference lens 16 must be replaced with a reference lens 16 having a different radius of curvature and a different effective aperture depending on the radius of curvature of the lens 5 to be measured.
When the reference lens is replaced, the radius of curvature of the reference surface is different.
Is changed, and the inspectable range is also different. Therefore, the measure 20 in the radius of curvature display member must be replaced. In order to make the exchange of the measure 20 possible, as shown in FIG. 10, a pair of brackets 50 and 51 are mounted on the lower surface of the top plate 2a to mount a winding member 21 on which the measure 20 is wound. Is hanging. A fixed clamp portion 52 is provided on the bracket 50, and a movable clamp portion 53 is provided on the bracket 51. The movable clamp portion 53 is biased by a spring 54 in a direction approaching the fixed clamp portion 52. The take-up member 21 is held between the fixed and movable clamp portions 52 and 53. Then, by pushing the movable clamp portion 53 in a direction against the urging force of the spring 54, the take-up member 21 can be taken out. The tip of the measure 20 is detachably connected to the interferometer main body 1 by, for example, a hook or the like.
【００２７】本実施例は以上のように構成されるもので
あって、その干渉計本体１に所定の曲率半径及び有効口
径の基準面１６ｂを持った基準レンズ１６が装着されて
いる状態で、ある曲率半径の被検面を持った被検レンズ
５の検査を行う際には、まず当該の基準レンズ１６でそ
の被検レンズ５の検査を行うことができるか否かの判定
を行い、次いで基準レンズ１６と被検レンズ５との間の
間隔を調整しなければならない。これらの作業のうち、
当該の基準レンズ１６で被検レンズ５の検査を行えるか
否かの判定は、メジャー２０にこの基準レンズ１６で検
査可能な被検レンズ５の被検面５ａの曲率半径が表示さ
れているから、この表示に基づいて容易に判定すること
ができる。従って、現在干渉計本体１に装着されている
基準レンズ１６で検査できない場合には、適正な基準レ
ンズと交換する。また、この基準レンズは異なる曲率半
径の基準面を持っていることから、メジャー２０の原点
０の位置が変化するし、検査可能な範囲も異なってくる
ので、曲率半径表示部材を交換する。The present embodiment is configured as described above. In the state where the reference lens 16 having the reference surface 16b having a predetermined radius of curvature and an effective aperture is mounted on the interferometer body 1, When inspecting the test lens 5 having a test surface with a certain radius of curvature, it is first determined whether or not the test lens 5 can be inspected with the reference lens 16 and then. The distance between the reference lens 16 and the test lens 5 must be adjusted. Of these tasks,
It is determined whether or not the inspection of the test lens 5 can be performed by the reference lens 16 because the radius of curvature of the test surface 5a of the test lens 5 that can be inspected by the reference lens 16 is displayed on the measure 20. , Can be easily determined based on this display. Therefore, when the inspection cannot be performed with the reference lens 16 currently mounted on the interferometer main body 1, it is replaced with an appropriate reference lens. Further, since this reference lens has reference surfaces having different radii of curvature, the position of the origin 0 of the measure 20 changes, and the inspectable range also changes. Therefore, the radius of curvature display member is replaced.
【００２８】干渉計本体１に被検レンズの検査が可能な
基準レンズが装着されると、次に基準レンズとレンズマ
ウント６にセットされる被検レンズとの間隔の調整を行
う。この作業は、干渉計本体１を昇降動作させて、メジ
ャー２０を巻き取り部材２１から繰り出したり、巻き取
ったりさせることによって、その目盛りを検査が行われ
る被検レンズの被検面の曲率半径が表示されている位置
に指示線２５を合わせる。例えば、被検レンズが凹レン
ズである場合には、基準レンズは基準高さ位置から被検
レンズの曲率半径と基準レンズの曲率半径との合計の距
離だけ離れた位置に配置される。When a reference lens capable of inspecting a lens to be inspected is mounted on the interferometer main body 1, the distance between the reference lens and the lens to be inspected set on the lens mount 6 is adjusted next. This operation is performed by raising and lowering the interferometer main body 1 so as to unwind and wind the measure 20 from the winding member 21 so that the radius of curvature of the surface to be inspected of the lens to be inspected is checked. The indication line 25 is adjusted to the displayed position. For example, when the test lens is a concave lens, the reference lens is disposed at a position apart from the reference height position by a total distance of the radius of curvature of the test lens and the radius of curvature of the reference lens.
【００２９】ところで、図１１に示したように、レンズ
セット部４３の高さ位置をＰとした時に、光軸中心線上
における被検レンズの被検面の高さ位置ＳはこのＰの位
置からｈだけ離れている。基準高さ位置がこの位置Ｐで
あるとすると、干渉計本体１を動作させると、基準レン
ズ１６の曲率半径Ｒと被検レンズ５の曲率半径ｒとの和
（Ｒ＋ｒ）にこの高さｈを加えた距離の位置となる。そ
こで、基準レンズ１６と被検レンズ５との間の間隔をＲ
＋ｒとなるように調整するために、レンズセット部４３
を下降させるようにする。ここで、レンズセット部４３
の被検レンズ支持口径（被検レンズの有効口径）をｄと
し、被検レンズの被検面の曲率半径をｒとした時に、By the way, as shown in FIG. 11, when the height position of the lens setting portion 43 is P, the height position S of the test surface of the test lens on the optical axis center line is from this P position. h away. Assuming that the reference height position is this position P, when the interferometer main body 1 is operated, this height h is added to the sum (R + r) of the radius of curvature R of the reference lens 16 and the radius of curvature r of the lens 5 to be measured. This is the position of the added distance. Therefore, the distance between the reference lens 16 and the test lens 5 is set to R
+ R, the lens setting unit 43
So as to descend. Here, the lens setting unit 43
Let d be the diameter of the lens support to be tested (the effective aperture of the lens to be tested) and r be the radius of curvature of the surface to be tested of the lens to be tested.
【００３０】[0030]
【数１】 (Equation 1)
【００３１】となる。## EQU1 ##
【００３２】レンズセット部４３の外径寸法ｄと被検レ
ンズの被検面の曲率半径ｒから上記の式に基づいて補正
値ｈを求めて、それに相当する距離だけレンズマウント
６を変位させる。この操作は、レンズマウント６の高さ
位置の調整は送りねじ３４を手動で回転させることによ
り行うが、この調整を行うことによって、指針３７が目
盛り３６に沿って動くことから、この目盛り３６を目視
しながら行えば、極めて容易に高さ位置を調整できる。The correction value h is obtained from the outer diameter dimension d of the lens setting section 43 and the radius of curvature r of the surface of the lens to be measured based on the above equation, and the lens mount 6 is displaced by a distance corresponding to the correction value h. In this operation, the height position of the lens mount 6 is adjusted by manually rotating the feed screw 34. By performing this adjustment, the pointer 37 moves along the scale 36. The height position can be adjusted very easily by visual inspection.
【００３３】前述した式は、図１２に示したように、被
検レンズ５が凸球面レンズについても同様である。ただ
し、この場合におけるレンズマウント６の高さ位置の調
整は送りねじ３４によりレンズマウント６を上昇させる
方向に変位させる。The above equation is the same when the lens 5 to be tested is a convex spherical lens, as shown in FIG. However, in this case, adjustment of the height position of the lens mount 6 is performed by displacing the lens mount 6 in a direction in which the lens mount 6 is raised by the feed screw 34.
【００３４】ここで、補正値ｈを計算により求めるよう
にするのは、かなりの煩わしさがある。然るに、レンズ
マウント６の口径が一定であるとすれば、補正値ｈは被
検レンズの被検面の曲率半径に応じて変化する。そこ
で、レンズマウント６の高さ位置を示す目盛りをこの被
検レンズの曲率半径に合わせた目盛りを設けておけば、
補正値ｈを計算することなく、指針を目盛りに合わせる
だけで、前述の調整が可能になる。そして、レンズマウ
ント６の口径を変えた時に、これと共に目盛りを交換す
れば良い。Here, obtaining the correction value h by calculation involves considerable inconvenience. However, assuming that the diameter of the lens mount 6 is constant, the correction value h changes according to the radius of curvature of the surface of the lens to be measured. Therefore, if a scale indicating the height position of the lens mount 6 is provided according to the radius of curvature of the lens to be inspected,
The above-described adjustment can be performed only by adjusting the pointer to the scale without calculating the correction value h. Then, when the aperture of the lens mount 6 is changed, the scale may be exchanged with this.
【００３５】次に、本発明の第２の実施例を図１３及び
図１４に示す。本実施例においては、メジャーを有効口
径の異なる被検レンズについても共用できるように構成
している。Next, a second embodiment of the present invention is shown in FIGS. In the present embodiment, the measure is configured so that it can be used in common for test lenses having different effective apertures.
【００３６】図５に示されているように、同じ曲率半径
の被検面を持った被検レンズであっても、その有効口径
が異なると、レンズマウント６におけるレンズセット部
を交換しなければならないが、この被検レンズの有効口
径によっては、ある基準レンズで検査できる被検レンズ
の被検面の曲率半径の範囲が異なってくる。従って、メ
ジャーにおける検査可能範囲の表示をレンズセット部の
開口径に応じて変化させるようにしている。As shown in FIG. 5, even if the test lens having the test surface having the same radius of curvature has a different effective aperture, the lens set portion of the lens mount 6 must be replaced. However, depending on the effective aperture of the test lens, the range of the radius of curvature of the test surface of the test lens that can be inspected by a certain reference lens differs. Therefore, the display of the testable range on the measure is changed according to the opening diameter of the lens set portion.
【００３７】而して、図１３に示したように、メジャー
６０に所定の幅を持たせて、その幅方向をレンズセット
部の開口径の寸法を表すようにする。そして、図１４に
示したように、表示窓６１に設けられている透明ガラス
６２には指示線６３が描かれており、またそのメジャー
６０の幅方向にレンズセット部の開口径に応じた寸法の
目盛りを表示する。一般に、ある基準レンズを用いた場
合において、レンズセット部の開口径（被検レンズ支持
口径）が大きい程、検査可能な被検レンズの曲率半径の
幅が狭くなる。そこで、メジャー６０には、このレンズ
セット部の開口径に応じて検査可能な被検レンズの曲率
半径の範囲を色分け部６０ａ，６０ｂとして表示してお
く。また、表示窓６１には現にレンズマウント６に装着
されているレンズセット部の開口径を示す寸法線表示線
６４を設け、この寸法線表示線６４をレンズセット部の
開口径に応じてメジャー６０の幅方向に移動させること
ができるようになっている。As shown in FIG. 13, the measure 60 is provided with a predetermined width, and the width direction represents the size of the aperture diameter of the lens set portion. As shown in FIG. 14, an indication line 63 is drawn on the transparent glass 62 provided in the display window 61, and a dimension corresponding to the opening diameter of the lens set portion in the width direction of the measure 60. Display the scale of. In general, when a certain reference lens is used, the width of the radius of curvature of the test lens that can be inspected becomes narrower as the opening diameter of the lens set portion (test lens support aperture) is larger. Therefore, the range of the radius of curvature of the test lens that can be inspected in accordance with the aperture diameter of the lens set section is displayed on the measure 60 as color-coding sections 60a and 60b. Further, the display window 61 is provided with a dimension line 64 indicating the aperture diameter of the lens set portion currently mounted on the lens mount 6, and the dimension line 64 is measured according to the aperture diameter of the lens set portion. It can be moved in the width direction.
【００３８】このように構成することによって、基準レ
ンズが同じである限り、被検レンズの曲率半径はもとよ
り、有効口径が変わったとしても、メジャーを変える必
要がなくなり、メジャーの交換頻度が少なくなると共
に、干渉計本体１に装着可能な基準レンズの種類の数だ
けのメジャーを用意すれば良いので、部品点数を少なく
できる。With such a configuration, as long as the reference lens is the same, it is not necessary to change the measure even if the effective diameter changes, as well as the radius of curvature of the test lens, and the frequency of replacement of the measure is reduced. At the same time, it is sufficient to prepare as many measures as the number of types of reference lenses that can be mounted on the interferometer main body 1, so that the number of components can be reduced.
【００３９】さらに、図１５に本発明の第３の実施例を
示す。この実施例においては、メジャーを固定し、指示
線を可動とする構成としている。而して、干渉計本体１
にワイヤ７０の一端を連結し、このワイヤ７０を適宜の
位置に配置したローラ７１によりガイドして、その他端
に重錘７２を連結して、常時ワイヤ７０に張力を与える
ようにしている。ワイヤ７０の途中位置には角型のスラ
イド駒７３が固着して設けられており、このスライド駒
７３に指示線７４が取り付けられている。FIG. 15 shows a third embodiment of the present invention. In this embodiment, the measure is fixed and the indication line is movable. Thus, the interferometer body 1
One end of a wire 70 is connected to the wire 70, the wire 70 is guided by a roller 71 arranged at an appropriate position, and a weight 72 is connected to the other end, so that tension is always applied to the wire 70. A rectangular slide piece 73 is fixedly provided at an intermediate position of the wire 70, and an instruction line 74 is attached to the slide piece 73.
【００４０】一方、天板部２ａには、透明ガラス７５を
嵌め込んだ表示窓７６が形成されており、この表示窓７
６には、その長手方向にスライド孔７７が穿設されてい
る。スライド孔７７にはスライド駒７３が係合してお
り、従ってスライド駒７３はこのスライド孔７７に沿っ
てガイドされるようになっている。また、天板部２ａの
側面部にはスリット７８が穿設されており、このスリッ
ト７８の延長線上における表示窓７６の開設位置には台
座部７９が形設されており、このスリット７８から台座
部７９内に目盛り板８０が挿入できるようになってい
る。On the other hand, a display window 76 in which a transparent glass 75 is fitted is formed in the top plate 2a.
6 is provided with a slide hole 77 in its longitudinal direction. The slide piece 73 is engaged with the slide hole 77, so that the slide piece 73 is guided along the slide hole 77. A slit 78 is formed in the side surface of the top plate 2a, and a pedestal 79 is formed at an opening position of the display window 76 on an extension of the slit 78. The scale plate 80 can be inserted into the portion 79.
【００４１】目盛り板８０は、原点０を中心として長手
方向の左右に＋側（凸側）及び−側（凹側）の目盛りが
設けられ、またその幅方向にはレンズマウント６に装着
されるレンズセット部４３の開口径の寸法が示されると
共に、検査可能範囲が色分け等の手段により表示されて
いる。さらに、透明ガラス７５上には、レンズセット部
の開口径の寸法を示す寸法線表示部材８１が設けられて
おり、この寸法線表示部材８１は目盛り板８０の幅方向
に変位可能となっている。The scale plate 80 is provided with scales on the + side (convex side) and-side (concave side) on the left and right sides in the longitudinal direction with respect to the origin 0, and is mounted on the lens mount 6 in the width direction. The size of the opening diameter of the lens set unit 43 is shown, and the testable range is displayed by means such as color coding. Further, on the transparent glass 75, a dimension line display member 81 indicating the size of the opening diameter of the lens set portion is provided, and the dimension line display member 81 can be displaced in the width direction of the scale plate 80. .
【００４２】以上のように構成すれば、基準レンズを交
換した時に、目盛り板８０を交換してスリット７８内に
挿入することによって、当該の基準レンズにより検査可
能な曲率半径と有効径とを有する被検レンズの判定及び
その被検レンズと基準レンズとの相対位置関係の調整を
行うことができるようになる。With the above configuration, when the reference lens is replaced, the scale plate 80 is replaced and inserted into the slit 78, thereby having a radius of curvature and an effective diameter that can be inspected by the reference lens. It is possible to determine the lens to be inspected and adjust the relative positional relationship between the lens to be inspected and the reference lens.
【００４３】[0043]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、干渉計
本体に装着されている所定の基準レンズの位置に対応し
て検査可能な被検レンズの曲率半径を表示する曲率半径
表示部材と、検査される被検レンズの被検面の光軸中心
線上の位置が一定となるようにレンズマウントの高さ位
置を調整可能とする基準レベル調整手段とを備える構成
としたので、ある被検レンズの検査を行う場合におい
て、干渉計本体に装着されている基準レンズで検査を行
えるか否かを容易に判定することができ、またこの被検
レンズと基準レンズとの間の相対間隔の調整等の作業を
極めて簡単かつ迅速に行うことができる等の効果を奏す
る。As described above, the present invention provides a curvature radius display member for displaying the radius of curvature of a test lens that can be inspected in accordance with the position of a predetermined reference lens mounted on the interferometer body. And a reference level adjusting means for adjusting the height position of the lens mount so that the position of the surface to be inspected of the lens to be inspected on the optical axis center line is constant. When inspecting a lens, it is possible to easily determine whether or not the inspection can be performed with a reference lens mounted on the main body of the interferometer, and to adjust a relative distance between the test lens and the reference lens. And the like can be performed extremely easily and quickly.
【図１】干渉計装置を用いた被検レンズの検査装置の全
体構成を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an overall configuration of a test lens inspection device using an interferometer device.
【図２】干渉計装置における光学システムの構成図であ
る。FIG. 2 is a configuration diagram of an optical system in the interferometer apparatus.
【図３】基準レンズによりそれぞれ異なる曲率半径の凹
レンズからなる被検レンズの検査可能範囲を示す説明図
である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a testable range of a test lens formed of a concave lens having a different radius of curvature depending on a reference lens.
【図４】基準レンズによりそれぞれ異なる曲率半径の凸
レンズからなる被検レンズの検査可能範囲を示す説明図
である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a testable range of a test lens formed of a convex lens having a different radius of curvature depending on a reference lens.
【図５】基準レンズによりそれぞれ異なる有効口径の凹
レンズからなる被検レンズの検査可能範囲を示す説明図
である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a testable range of a test lens composed of concave lenses having different effective apertures depending on a reference lens.
【図６】本発明の第１の実施例を示す干渉計装置の要部
構成を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a main configuration of an interferometer apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図７】メジャーの構成説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a configuration of a measure.
【図８】表示窓の構成説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram of a configuration of a display window.
【図９】レンズマウントの構成説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of a configuration of a lens mount.
【図１０】メジャーの巻き取り部材を天板部に着脱する
機構の構成説明図である。FIG. 10 is a configuration explanatory view of a mechanism for attaching and detaching a take-up member of the measure to and from the top plate.
【図１１】被検レンズとして凹レンズを検査する際にお
ける被検レンズの被検面の高さ位置の調整についての説
明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram of adjustment of a height position of a test surface of a test lens when a concave lens is inspected as a test lens.
【図１２】被検レンズとして凸レンズを検査する際にお
ける被検レンズの被検面の高さ位置の調整についての説
明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram of adjustment of a height position of a test surface of a test lens when a convex lens is inspected as a test lens.
【図１３】本発明の第２の実施例を示すメジャーの構成
説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram of a configuration of a measure showing a second embodiment of the present invention.
【図１４】表示窓の構成説明図である。FIG. 14 is an explanatory diagram of a configuration of a display window.
【図１５】本発明の第３の実施例を示す構成説明図であ
る。FIG. 15 is a configuration explanatory view showing a third embodiment of the present invention.
１ 干渉計本体 ２ 本体ケーシング ５ 被検レンズ ５ａ 被検面 ６ レンズマウント １０ レーザ発振器 １６，ＳＬ 基準レンズ １６ｂ，ＳＦ 基準面 ２０，６０ メジャー ２１ 巻き取り部材 ２３，６１，７６ 表示窓 ２５，６３，７４ 指示 ３０ 基準レベル調整手段 ３１ マウント支持部材 ３３ ガイド ３４ 送りねじ ３６ 目盛り ３７ 指針 ６４，８１ 寸法線表示部 ８０ 目盛り板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Interferometer main body 2 Body casing 5 Test lens 5a Test surface 6 Lens mount 10 Laser oscillator 16, SL reference lens 16b, SF reference surface 20, 60 Major 21 Winding member 23, 61, 76 Display window 25, 63, 74 Instruction 30 Reference level adjusting means 31 Mount support member 33 Guide 34 Feed screw 36 Scale 37 Pointer 64, 81 Dimension line display section 80 Scale plate
Claims (7)
で一部を反射させ、この基準レンズを透過する光をレン
ズマウントにセットした被検レンズにも反射させて、両
反射光の間で干渉縞を発生させることにより被検レンズ
の表面状態の検査を行うものであって、前記干渉計本体
を昇降手段に装着して、光軸方向に位置調整可能とした
干渉計装置において、前記干渉計本体に装着されている
所定の基準レンズの位置に対応して検査可能な被検レン
ズの曲率半径を表示する曲率半径表示部材と、検査され
る被検レンズの被検面の光軸中心線上の位置が一定とな
るようにレンズマウントの高さ位置を調整可能とする基
準レベル調整手段とを備える構成としたことを特徴とす
る干渉計装置。1. A part of the light is reflected by a reference surface of a reference lens provided on an interferometer main body, and light transmitted through the reference lens is also reflected by a test lens set on a lens mount, so that the light is reflected between the two reflected lights. Inspection of the surface condition of the lens to be inspected by generating interference fringes in the interferometer device, wherein the interferometer body is mounted on lifting means and is capable of position adjustment in the optical axis direction. A curvature radius display member for displaying a radius of curvature of a test lens that can be inspected corresponding to a position of a predetermined reference lens mounted on the interferometer body, and an optical axis center of a surface to be inspected of the lens to be inspected An interferometer apparatus comprising: a reference level adjusting unit configured to adjust a height position of a lens mount so that a position on a line is constant.
ントの高さ方向に変位させる手段と、このレンズマウン
トの高さ方向の位置を示す表示部とから構成したことを
特徴とする請求項１記載の干渉計装置。2. The apparatus according to claim 1, wherein said reference level adjusting means comprises means for displacing the lens mount in a height direction, and a display unit for indicating a position of the lens mount in the height direction. Interferometer device.
した上下の目盛りを有し、前記レンズマウントには、こ
の目盛りに沿って上下する指針を設ける構成としたこと
を特徴とする請求項２記載の干渉計装置。3. The display unit according to claim 2, wherein the display unit has upper and lower scales centered on a predetermined reference position, and the lens mount is provided with hands which move up and down along the scales. Item 3. The interferometer device according to Item 2.
じた高さ位置を表示する目盛りを形成し、前記レンズマ
ウントには、この目盛りに沿って上下する指針を設ける
構成としたことを特徴とする請求項２記載の干渉計装
置。4. A scale for forming a scale indicating a height position corresponding to a radius of curvature of a lens to be inspected, and a pointer which moves up and down along the scale is provided on the lens mount. The interferometer device according to claim 2, wherein
し、この幅方向にレンズマウントの口径に応じて、被検
レンズの測定可能範囲を表示する構成としたことを特徴
とする請求項１記載の干渉計装置。5. The apparatus according to claim 1, wherein the radius of curvature display member has a predetermined width, and displays a measurable range of the lens to be measured in the width direction according to a diameter of the lens mount. Item 10. The interferometer device according to Item 1.
昇降動作に連動して移動するものであり、この曲率半径
表示部材の表示用窓に当該の曲率半径の位置を指し示す
指針を固定的に設ける構成としたことを特徴とする請求
項５記載の干渉計装置。6. The curvature radius display member is moved in conjunction with the elevating operation of the main body of the interferometer, and a pointer indicating the position of the curvature radius is fixed on a display window of the curvature radius display member. The interferometer device according to claim 5, wherein the interferometer device is configured to be provided at a first position.
着されるケーシングに設けた表示用窓に臨む状態に装着
され、干渉計本体の昇降動作に連動して移動する指針を
この曲率半径表示部材に沿って移動可能となし、この指
針により被検レンズの測定位置を指し示す構成としたこ
とを特徴とする請求項５記載の干渉計装置。7. The curvature radius display member is mounted so as to face a display window provided in a casing on which the interferometer main body is mounted, and displays a pointer which moves in conjunction with the elevating operation of the interferometer main body. 6. The interferometer device according to claim 5, wherein the interferometer device is configured to be movable along the member, and to indicate a measurement position of the lens to be measured by the pointer.
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| JP05019420A JP3134576B2 (en) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | Interferometer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05019420A JP3134576B2 (en) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | Interferometer device |
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- 1993-01-13 JP JP05019420A patent/JP3134576B2/en not_active Expired - Fee Related
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