JP3129596B2 - Method for removing plating resist from printed wiring board - Google Patents

Method for removing plating resist from printed wiring board

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JP3129596B2
JP3129596B2 JP06046148A JP4614894A JP3129596B2 JP 3129596 B2 JP3129596 B2 JP 3129596B2 JP 06046148 A JP06046148 A JP 06046148A JP 4614894 A JP4614894 A JP 4614894A JP 3129596 B2 JP3129596 B2 JP 3129596B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板のめっ
きレジストの除去方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for removing a plating resist from a printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来において、プリント配線板の配線パ
ターンは、例えば以下のようなプロセスによって形成さ
れている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a wiring pattern of a printed wiring board is formed by, for example, the following process.

【0003】まず、銅張積層板にスルーホール形成用孔
を透設した後、無電解銅めっきを行う(パネルめっ
き)。次に、感光性ドライフィルムの圧着及び露光・現
像を行うことによって、めっきレジストを形成する。次
に、めっきレジスト非形成部分に対する電解銅めっきを
行う(パターンめっき)。次に、電解銅めっき上にはん
だめっきを行うことによって、金属エッチングレジスト
を形成する。次に、例えばトリクレン等のような有機系
溶剤を用いて、めっきレジストを剥離する。次に、不要
な銅をエッチングによって除去した後、さらに金属エッ
チングレジストをエッチングする。この後、オーバーコ
ーティングや端子めっき等を行うことによって、所望の
配線板が得られる結果となる。
[0003] First, after a hole for forming a through hole is formed in a copper clad laminate, electroless copper plating is performed (panel plating). Next, the photosensitive dry film is pressed and exposed and developed to form a plating resist. Next, electrolytic copper plating is performed on a portion where the plating resist is not formed (pattern plating). Next, a metal etching resist is formed by performing solder plating on the electrolytic copper plating. Next, the plating resist is peeled off using an organic solvent such as trichlene. Next, after unnecessary copper is removed by etching, the metal etching resist is further etched. Thereafter, by performing overcoating or terminal plating, a desired wiring board is obtained.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年におい
ては、ノーフロン化対策の一環として、上記のような有
機系溶剤の使用に対する規制が厳しくなってきている。
このため、有機系溶剤に可溶な従来のドライフィルムか
ら、アルカリ性水溶液に可溶なドライフィルムへの転換
が望まれている。
Incidentally, in recent years, as part of measures to reduce the use of fluorocarbons, regulations on the use of the above-mentioned organic solvents have become stricter.
For this reason, conversion from a conventional dry film soluble in an organic solvent to a dry film soluble in an alkaline aqueous solution is desired.

【0005】しかしながら、アルカリ性水溶液に可溶な
ドライフィルムを使用した場合、次のような問題が生じ
る。即ち、ドライフィルムの除去を行うためにアルカリ
性水溶液を処理すると、金属エッチングレジスト中の錫
が溶解してしまうため、続く銅のエッチング工程のとき
に配線パターンが断線しやすくなる。ゆえに、従来にお
いては、インヒビターをアルカリ性水溶液に添加すると
いう対策が採られている。
However, when a dry film soluble in an alkaline aqueous solution is used, the following problems occur. That is, when the alkaline aqueous solution is treated to remove the dry film, the tin in the metal etching resist is dissolved, so that the wiring pattern is easily broken in the subsequent copper etching step. Therefore, conventionally, measures have been taken to add an inhibitor to an alkaline aqueous solution.

【0006】ところが、上記のようなインヒビターを添
加したとしても、錫の溶解を完全に抑制することはでき
ないという問題がある。また、インヒビターを添加した
場合、剥離コストが高くなったり、廃水処理が面倒にな
るなどの問題も生じる。
However, there is a problem that the dissolution of tin cannot be completely suppressed even if such an inhibitor is added. In addition, when an inhibitor is added, problems such as an increase in stripping cost and troublesome wastewater treatment also occur.

【0007】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、インヒビターを使用することなく
金属エッチングレジストの溶解を抑制し、もって配線パ
ターンの断線を防止することができるプリント配線板の
めっきレジストの除去方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a printed wiring capable of suppressing dissolution of a metal etching resist without using an inhibitor, thereby preventing disconnection of a wiring pattern. An object of the present invention is to provide a method of removing a plating resist on a plate.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1に記載の発明では、少なくとも錫を含む
金属エッチングレジストをめっきによって形成するとき
のめっきレジストをアルカリ性水溶液を用いて除去する
プリント配線板のめっきレジストの除去方法において、
前記アルカリ水溶液の処理温度は30℃〜60℃であ
り、アノードをプリント配線板の両面側に、かつ同プリ
ント配線板からほぼ等しい距離を隔てるようにして配置
すると共に、前記金属エッチングレジストに微弱なカソ
ード電流を流しながら前記めっきレジストを除去するこ
とを特徴としたプリント配線板のめっきレジストの除去
方法をその要旨としている。請求項2に記載の発明で
は、請求項1に記載の発明において、配線板電位を−
1.60V〜−1.20V〔SCE=Saturatedcalomelelec
trode,飽和カロメル参照電極(以下同じ)〕にするこ
とをその要旨としている。請求項3に記載の発明では、
請求項1または2に記載の発明において、前記金属エッ
チングレジストは、はんだめっき膜であることをその要
旨としている。
In order to solve the above-mentioned problems, according to the first aspect of the present invention, when forming a metal etching resist containing at least tin by plating, the plating resist is removed using an alkaline aqueous solution. In the method of removing the plating resist of the printed wiring board,
The treatment temperature of the alkaline aqueous solution is 30 ° C to 60 ° C.
Anodes on both sides of the printed circuit board
Placed at approximately the same distance from the printed circuit board
In addition, a gist of the present invention is a method for removing a plating resist on a printed wiring board, wherein the plating resist is removed while a weak cathode current is applied to the metal etching resist. According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the wiring board potential is set to-
1.60V --1.20V [SCE = Saturatedcalomelelec
trode, saturated calomel reference electrode (the same applies hereinafter)]. In the invention according to claim 3,
In the invention according to claim 1 or 2, the gist is that the metal etching resist is a solder plating film.

【0009】[0009]

【作用】請求項1,3に記載の発明によると、レジスト
を除去した際の配線板電位が錫あるいは鉛の活性溶解電
位域から卑な電位方向へシフトする。このため、アルカ
リ性水溶液による錫あるいは鉛の活性溶解を引き起こす
ことなく、めっきレジストのみを除去することができ
る。請求項2,3に記載の発明によると、配線板電位が
前記範囲であるため、水素発生や消費電力を抑え、かつ
確実な錫あるいは鉛の溶解抑制を達成することができ
る。
According to the first and third aspects of the present invention, the wiring board potential when the resist is removed shifts from the active dissolution potential region of tin or lead to a lower potential direction. Therefore, only the plating resist can be removed without causing active dissolution of tin or lead by the alkaline aqueous solution. According to the second and third aspects of the present invention, since the wiring board potential is within the above range, it is possible to suppress the generation of hydrogen and power consumption, and to reliably suppress the dissolution of tin or lead.

【0010】[0010]

【実施例】【Example】

〔実施例1〕以下、本発明をプリント配線板の製造時に
おけるめっきレジストの除去方法に具体化した実施例1
を図1〜図6に基づき詳細に説明する。
[Embodiment 1] Hereinafter, Embodiment 1 in which the present invention is embodied in a method of removing a plating resist at the time of manufacturing a printed wiring board.
Will be described in detail with reference to FIGS.

【0011】図1に示されるように、まず6層からなる
導体層を有するプリント配線板(以下、6層配線板とい
う)1に、スルーホール形成用孔2を透設する。次に、
この6層配線板1に無電解銅めっきの析出するときのコ
アとなるPd触媒核を付与した後、その触媒核を活性さ
せる。
As shown in FIG. 1, through holes 2 are formed in a printed wiring board (hereinafter, referred to as a six-layer wiring board) 1 having six conductor layers. next,
After providing a Pd catalyst nucleus serving as a core when electroless copper plating is deposited on the six-layer wiring board 1, the catalyst nucleus is activated.

【0012】次に、6層配線板1を無電解銅めっき浴に
所定時間浸漬する。そして、図2に示されるように、6
層配線板1の両面の銅箔3及びスルーホール形成用孔2
の内壁面に無電解銅めっき膜4を形成する(パネルめっ
き)。次に、6層配線板1の両面に感光性ドライフィル
ム(日立化成株式会社製,商品名:Photec)を圧着した
後、露光・現像を行う。この工程によって、図3に示さ
れるように、6層配線板1にめっきレジスト5を形成す
る。
Next, the six-layer wiring board 1 is immersed in an electroless copper plating bath for a predetermined time. Then, as shown in FIG.
Copper foil 3 on both sides of layer wiring board 1 and through hole forming hole 2
An electroless copper plating film 4 is formed on the inner wall surface of the substrate (panel plating). Next, after a photosensitive dry film (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: Photec) is pressed on both surfaces of the six-layer wiring board 1, exposure and development are performed. Through this step, a plating resist 5 is formed on the six-layer wiring board 1 as shown in FIG.

【0013】次に、以下のような手順によってパターン
めっきを行う。まず、6層配線板1を電解硫酸銅めっき
浴に浸漬することによって、めっきレジスト5の非形成
部分に厚さ20μmの電解銅めっき膜6を形成する。次
に、水洗を行った後、6層配線板1を電解ほうふっ酸は
んだ浴に浸漬する。そして、図4に示されるように、電
解銅めっき膜6上に金属エッチングレジストとしての厚
さ3μmの電解はんだめっき膜7を形成する。
Next, pattern plating is performed according to the following procedure. First, by dipping the six-layer wiring board 1 in an electrolytic copper sulfate plating bath, an electrolytic copper plating film 6 having a thickness of 20 μm is formed on a portion where the plating resist 5 is not formed. Next, after washing with water, the six-layer wiring board 1 is immersed in an electrolytic boric acid solder bath. Then, as shown in FIG. 4, an electrolytic solder plating film 7 having a thickness of 3 μm as a metal etching resist is formed on the electrolytic copper plating film 6.

【0014】次に、以下のような方法によってめっきレ
ジスト5の除去を行う。図6に示されるように、剥離槽
8にはめっきレジスト5を剥離するためのアルカリ性水
溶液9が満たされている。アルカリ性水溶液9として
は、例えば10g/l 〜40g/lのNaOH水溶液が用い
られる。この濃度が10g/l よりも低いと、めっきレジ
スト5を充分に除去することができなくなる。また、こ
の濃度が40g/l よりも高いと、コスト的に高くなる。
なお、NaOH水溶液中にインヒビターは添加されてい
ない。
Next, the plating resist 5 is removed by the following method. As shown in FIG. 6, the stripping tank 8 is filled with an alkaline aqueous solution 9 for stripping the plating resist 5. As the alkaline aqueous solution 9, for example, a 10 g / l to 40 g / l NaOH aqueous solution is used. If this concentration is lower than 10 g / l, the plating resist 5 cannot be sufficiently removed. On the other hand, if this concentration is higher than 40 g / l, the cost becomes high.
No inhibitor was added to the NaOH aqueous solution.

【0015】6層配線板1は、固定用治具10によって
保持された状態で剥離槽8内のほぼ中央部に浸漬され
る。この状態のとき、固定用治具10側と6層配線板1
側の導体部分とが電気的に接続されるようになってい
る。また、前記浸漬槽8には、アノードとしての一対の
ステンレス板(本実施例ではSUS304ステンレス
板)11が浸漬される。これらのステンレス板11は、
6層配線板1の両面からほぼ等しい距離を隔てるように
して配置される。そして、6層配線板1には微弱なカソ
ード電流が流される。
The six-layer wiring board 1 is immersed substantially in the center of the peeling tank 8 while being held by the fixing jig 10. In this state, the fixing jig 10 side and the six-layer wiring board 1
The conductor portion on the side is electrically connected. In the immersion tank 8, a pair of stainless steel plates (SUS304 stainless steel plate in this embodiment) 11 as an anode is immersed. These stainless steel plates 11
The six-layer wiring board 1 is arranged so as to be almost equally spaced from both surfaces. Then, a weak cathode current flows through the six-layer wiring board 1.

【0016】この場合、カソード電流密度は0.005
A/dm2 〜0.5A/dm2 、さらには0.01A/
dm2 〜0.3A/dm2 、特には0.02A/dm2
〜0.1A/dm2 であることが好ましい。カソード電
流密度が0.005A/dm 2 よりも小さいと、配線板
電位を卑な電位方向へ充分にシフトさせることができ
ず、溶解抑制効果が小さくなるおそれがある。一方、カ
ソード電流密度が0.5A/dm2 よりも大きいと、配
線板電位が卑な電位方向へシフトしすぎてしまう。その
結果、水素ガスの発生量が多くなり、作業環境が悪化す
るおそれがある。また、消費する電気量が多くなり不経
済になる。
In this case, the cathode current density is 0.005
A / dmTwo~ 0.5A / dmTwo, And 0.01 A /
dmTwo~ 0.3A / dmTwo, Especially 0.02 A / dmTwo
~ 0.1 A / dmTwoIt is preferred that Cathode electricity
Flow density is 0.005 A / dm TwoSmaller than the wiring board
The potential can be sufficiently shifted to the lower potential direction
And the dissolution inhibiting effect may be reduced. On the other hand,
Sword current density is 0.5 A / dmTwoLarger than
The wire plate potential is shifted too much in the negative potential direction. That
As a result, the amount of generated hydrogen gas increases, and the working environment deteriorates.
May be affected. In addition, the amount of electricity consumed increases,
Will be done.

【0017】さらに、配線板電位は−1.60V〜−
1.20V、さらには−1.50V〜−1.30V、特
には−1.45V〜−1.35Vであることが好まし
い。配線板電位が−1.20Vよりも高いと、溶解抑制
効果が著しく低下する。一方、配線板電位が−1.60
Vよりも低いと、水素ガスの発生量が多くなり、作業環
境が悪化するおそれがある。また、消費する電気量が多
くなり不経済になる。
Further, the wiring board potential is −1.60V-−
It is preferably 1.20 V, more preferably -1.50 V to -1.30 V, and particularly preferably -1.45 V to -1.35 V. If the wiring board potential is higher than −1.20 V, the dissolution suppressing effect is significantly reduced. On the other hand, the wiring board potential is -1.60.
If it is lower than V, the amount of generated hydrogen gas increases, and the working environment may be deteriorated. In addition, the amount of electricity consumed increases, which is uneconomical.

【0018】アルカリ水溶液の処理温度は30℃〜60
℃、処理時間は1分〜10分であることが好ましい。処
理温度が30℃未満であると、短時間ではめっきレジス
ト5を完全に剥離することができなくなるおそれがあ
る。処理温度が60℃を越えると、エネルギーの無駄が
多くなる。また、処理時間が1分未満であると、低い液
温ではめっきレジスト5を完全に剥離することができな
くなるおそれがある。処理時間が10分を越えると、工
程の時間短縮化に不利になる。
The treatment temperature of the aqueous alkali solution is 30 ° C. to 60 ° C.
C. and the treatment time are preferably 1 minute to 10 minutes. If the processing temperature is lower than 30 ° C., the plating resist 5 may not be completely stripped in a short time. When the processing temperature exceeds 60 ° C., energy waste increases. If the processing time is less than 1 minute, the plating resist 5 may not be able to be completely removed at a low solution temperature. If the processing time exceeds 10 minutes, it is disadvantageous to shorten the time of the process.

【0019】以上のことを鑑みて、この実施例では50
℃に調節された30g/l のNaOH水溶液中に、6層配
線板1を2分間浸漬した。そして、その際に6層配線板
1に0.05A/dm2 のカソード電流密度で電流を流
した。すると、図5に示されるように、めっきレジスト
5がNaOH水溶液9に溶解することになり、結果とし
てめっきレジスト5のみが除去された状態となる。
In view of the above, in this embodiment, 50
The six-layer wiring board 1 was immersed for 2 minutes in a 30 g / l NaOH aqueous solution adjusted to ° C. At this time, a current was applied to the six-layer wiring board 1 at a cathode current density of 0.05 A / dm 2 . Then, as shown in FIG. 5, the plating resist 5 is dissolved in the NaOH aqueous solution 9, and as a result, only the plating resist 5 is removed.

【0020】次に、銅を溶解し得るエッチャントを用い
て不要な銅箔3及び無電解銅めっき膜4をエッチング
し、さらにはんだを溶解し得るエッチャントを用いて金
属エッチングレジストである電解はんだめっき膜7をエ
ッチングする。この後、従来公知の方法に従って、オー
バーコーティングや端子めっき等を行う。以上の一連の
工程を経ると、両面に所望の配線パターンが形成された
6層配線板1が得られる。
Next, unnecessary copper foil 3 and electroless copper plating film 4 are etched using an etchant capable of dissolving copper, and an electrolytic solder plating film which is a metal etching resist is further etched using an etchant capable of dissolving solder. 7 is etched. Thereafter, overcoating, terminal plating, and the like are performed according to a conventionally known method. Through the above series of steps, a six-layer wiring board 1 having desired wiring patterns formed on both surfaces is obtained.

【0021】さて、本実施例のめっきレジスト5の除去
方法の作用効果について説明する。この方法では、電解
はんだめっき膜7に微弱なカソード電流を流しながらめ
っきレジスト5を剥離することを特徴としている。この
場合、電解はんだめっき膜7の電位の値がその活性溶解
電位域(−1.15V〜−0.6Vの範囲)から卑な電
位域へ、即ちより低い電位域へとシフトする。そのた
め、NaOH水溶液9に6層配線板1を浸漬したときで
も、はんだの活性溶解を引き起こすことなく、めっきレ
ジスト5のみを溶解させることができる。ゆえに、金属
エッチングレジストである電解はんだめっき膜7の溶解
に起因する配線パターンの断線が確実に防止される。
The operation and effect of the method for removing the plating resist 5 of this embodiment will now be described. This method is characterized in that the plating resist 5 is peeled off while applying a weak cathode current to the electrolytic solder plating film 7. In this case, the value of the potential of the electrolytic solder plating film 7 shifts from its active dissolution potential range (range of -1.15 V to -0.6 V) to a lower potential range, that is, to a lower potential range. Therefore, even when the six-layer wiring board 1 is immersed in the NaOH aqueous solution 9, only the plating resist 5 can be dissolved without causing active dissolution of the solder. Therefore, disconnection of the wiring pattern due to dissolution of the electrolytic solder plating film 7 which is a metal etching resist is reliably prevented.

【0022】また、この方法においては、NaOH水溶
液9中に特にインヒビターを添加する必要がない。それ
ゆえ、従来に比べて剥離コストが安くなり、廃水処理も
容易になる。さらに、この実施例では配線板電位を−
1.60V〜−1.20Vの範囲内に設定しているた
め、水素発生や消費電力を抑え、かつ確実な錫あるいは
鉛の溶解抑制を達成することができる。従って、従来と
は異なり、剥離作業に伴って作業環境が悪化することも
なく、コスト高になるということもない。
In this method, it is not necessary to add an inhibitor to the aqueous NaOH solution 9. Therefore, the stripping cost is lower than before, and the wastewater treatment becomes easier. Further, in this embodiment, the wiring board potential is set to-
Since the voltage is set within the range of 1.60 V to −1.20 V, it is possible to suppress the generation of hydrogen and power consumption, and to reliably suppress the dissolution of tin or lead. Therefore, unlike the related art, the working environment does not deteriorate with the stripping work, and the cost does not increase.

【0023】また、この方法であると、電解はんだめっ
き膜7が溶解しなくなることから、電解はんだめっき膜
7を従来の半分以下の厚さにすることが可能になる。そ
れゆえ、電解はんだめっき膜7の形成コストの低減、形
成時間の短縮化にもつながる。なお、めっきレジスト5
の剥離後に検査を行ったところ、電解はんだめっき膜7
に変色や膜厚変化等は認められなかった。そして、銅箔
3、無電解銅めっき膜4、電解はんだめっき膜7のエッ
チング後に検査を行ったところ、配線パターンの断線等
の不良も全く生じていなかった。 〔実施例2〕次に、実施例2のプリント配線板のめっき
レジストの除去方法を説明する。ここでは実施例1の方
法と相違する点を中心に述べる。
Further, according to this method, since the electrolytic solder plating film 7 does not dissolve, the thickness of the electrolytic solder plating film 7 can be reduced to less than half of the conventional thickness. Therefore, the formation cost of the electrolytic solder plating film 7 is reduced, and the formation time is also reduced. In addition, plating resist 5
When the inspection was performed after the peeling of the electrolytic solder plating film 7
No discoloration or change in film thickness was observed. When the inspection was performed after the etching of the copper foil 3, the electroless copper plating film 4, and the electrolytic solder plating film 7, no defect such as disconnection of the wiring pattern occurred. Embodiment 2 Next, a method of removing a plating resist from a printed wiring board according to Embodiment 2 will be described. Here, differences from the method of the first embodiment will be mainly described.

【0024】この実施例では4層からなる導体層を有す
るプリント配線板(以下、4層配線板という)が使用さ
れる。そして、前記実施例に準じてスルーホール形成用
孔の透設、Pd触媒核の付与及びその活性化、無電解銅
めっき膜の形成(パネルめっき)、めっきレジストの形
成を行う。
In this embodiment, a printed wiring board having four conductor layers (hereinafter referred to as a four-layer wiring board) is used. Then, according to the above-described embodiment, the formation of the through-holes, the provision and activation of Pd catalyst nuclei, the formation of an electroless copper plating film (panel plating), and the formation of a plating resist are performed according to the above-described embodiment.

【0025】次に、以下のような手順によってパターン
めっきを行う。まず4層配線板を電解硫酸銅めっき浴に
浸漬することによって、めっきレジストの非形成部分に
厚さ30μmの電解銅めっき膜を形成する。次に、水洗
を行った後、4層配線板を電解錫めっき浴に浸漬するこ
とによって、金属エッチングレジストとしての厚さ5μ
mの電解錫めっき膜を形成する。
Next, pattern plating is performed according to the following procedure. First, by dipping the four-layer wiring board in an electrolytic copper sulfate plating bath, an electrolytic copper plating film having a thickness of 30 μm is formed on a portion where no plating resist is formed. Next, after rinsing with water, the four-layer wiring board is immersed in an electrolytic tin plating bath to obtain a metal etching resist having a thickness of 5 μm.
m of electrolytic tin plating film is formed.

【0026】実施例2では、ロールコンベア剥膜機を用
いアルカリ性水溶液(30g/l のNaOH水溶液)をス
プレーすることによって、めっきレジストの剥離を行
う。この実施例では処理温度を50℃、スプレー圧を
1.4kg/mm2、スプレー時間を1.5分に設定し、かつ
カソード電流を0.10A/dm2 に設定している。勿
論、実施例1と同じくNaOH水溶液中にインヒビター
は添加されていない。すると、めっきレジストがNaO
H水溶液によって剥離されることになり、結果としてめ
っきレジストのみが除去された状態となる。
In the second embodiment, the plating resist is peeled off by spraying an alkaline aqueous solution (30 g / l NaOH aqueous solution) using a roll conveyor peeling machine. In this embodiment, the processing temperature is set to 50 ° C., the spray pressure is set to 1.4 kg / mm 2 , the spray time is set to 1.5 minutes, and the cathode current is set to 0.10 A / dm 2 . Needless to say, no inhibitor was added to the aqueous NaOH solution as in Example 1. Then, the plating resist is NaO
The plating resist is removed by the H aqueous solution, and as a result, only the plating resist is removed.

【0027】この後、実施例1の手順に準じて、銅箔、
無電解銅めっき膜及び電解錫めっき膜をエッチングし、
さらにオーバーコーティングや端子めっき等を行う。以
上の一連の工程を経ると、両面に所望の配線パターンが
形成された4層配線板が得られる。
Thereafter, a copper foil,
Etching the electroless copper plating film and electrolytic tin plating film,
Further, overcoating and terminal plating are performed. Through the above series of steps, a four-layer wiring board having a desired wiring pattern formed on both surfaces is obtained.

【0028】上記のような実施例2のめっきレジストの
除去方法であっても、実施例1のときと同様の作用効果
を得ることができる。そして、めっきレジストの剥離後
に検査を行ったところ、電解錫めっき膜に変色や膜厚変
化等は認められなかった。そして、銅箔、電解銅めっき
膜及び電解錫めっき膜のエッチング後に検査を行ったと
ころ、配線パターンの断線等の不良も全く生じていなか
った。
Even with the above-described method of removing the plating resist of the second embodiment, the same operation and effect as those of the first embodiment can be obtained. When the inspection was performed after the plating resist was stripped, no discoloration, no change in film thickness, and the like were observed in the electrolytic tin plating film. When the inspection was performed after etching the copper foil, the electrolytic copper plating film, and the electrolytic tin plating film, no defect such as disconnection of the wiring pattern occurred.

【0029】なお、本発明は上記実施例1,2のみに限
定されることはなく、次のように変更することが可能で
ある。例えば、 (a) アルカリ性水溶液9によって剥離されるめっき
レジスト5は、感光性ドライフィルムに限定されない。
例えば、感光性または熱硬化性を有する液状のレジスト
であってもよい。
The present invention is not limited to the first and second embodiments, but can be modified as follows. For example, (a) the plating resist 5 stripped by the alkaline aqueous solution 9 is not limited to a photosensitive dry film.
For example, it may be a photosensitive or thermosetting liquid resist.

【0030】(b) アノードとしてステンレス板11
を使用した実施例1,2に代え、例えばチタン板やカー
ボン板等を使用してもよい。即ち、アルカリ性水溶液に
対して不溶な良導体であればどのようなものでもよい。
ただし、実施例1,2のようなステンレス板11を用い
ることは、コスト性や加工性等の点から好ましい。
(B) Stainless steel plate 11 as anode
For example, a titanium plate or a carbon plate or the like may be used instead of the first and second embodiments in which is used. That is, any good conductor that is insoluble in the alkaline aqueous solution may be used.
However, it is preferable to use the stainless steel plate 11 as in the first and second embodiments in terms of cost, workability, and the like.

【0031】(c) 金属エッチングレジストは電解め
っき浴によって形成されたものに限られず、無電解めっ
き浴によって形成されたものでもよい。 (d) アルカリ性水溶液は実施例1,2において使用
したNaOH水溶液のほか、例えばKOH,Na2 CO
3 ,NH4 OH等の水溶液や有機アルカリ水溶液等でも
よい。
(C) The metal etching resist is not limited to one formed by an electrolytic plating bath, but may be one formed by an electroless plating bath. (D) The alkaline aqueous solution is not limited to the NaOH aqueous solution used in Examples 1 and 2, for example, KOH, Na 2 CO 3
3 , an aqueous solution of NH 4 OH or the like, or an organic alkali aqueous solution or the like may be used.

【0032】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施例及び別例によって把握
される技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 (1) 請求項1〜3のいずれかにおいて、アノードの
材料はステンレス板であること。このようにすると低コ
スト化に好都合である。
Here, in addition to the technical ideas described in the claims, the technical ideas grasped by the above-described embodiments and other examples are listed below together with their effects. (1) In any one of claims 1 to 3, the material of the anode is a stainless steel plate. This is convenient for cost reduction.

【0033】[0033]

【0034】()請求項1〜3、技術的思想1のいず
れかにおいて、アルカリ性水溶液は10g/l〜40g/lの
NaOH水溶液であり、処理温度は30℃〜60℃、処
理時間は1分〜10分であること。このようにすると、
確実にかつ低コストにめっきレジストを剥離することが
できる。
[0034] (2) according to claim 1 to 3, in Izu <br/> Re of the technical idea 1, the alkaline aqueous solution is an aqueous solution of NaOH 10 g / 40 g / l, the treatment temperature is 30 ° C. to 60 ° C, the processing time shall be 1 minute to 10 minutes. This way,
The plating resist can be peeled off reliably and at low cost.

【0035】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。 「錫を含む金属エッチングレジスト: 電解めっきま
たは無電解めっきによって形成される各種金属めっき膜
であって、例えば錫めっき膜、はんだ(錫−鉛合金)め
っき膜、錫−ニッケル合金めっき膜、錫−コバルト合金
めっき膜、銅−錫−亜鉛合金めっき膜、錫−ニッケル−
銅合金めっき膜、錫−亜鉛合金めっき膜等をいう。」
The technical terms used in this specification are defined as follows. "Metal etching resist containing tin: Various metal plating films formed by electrolytic plating or electroless plating, such as tin plating film, solder (tin-lead alloy) plating film, tin-nickel alloy plating film, tin- Cobalt alloy plating film, copper-tin-zinc alloy plating film, tin-nickel-
It refers to a copper alloy plating film, a tin-zinc alloy plating film, or the like. "

【0036】[0036]

【発明の効果】以上詳述したように、請求項1,3に記
載のプリント配線板のめっきレジストの除去方法によれ
ば、金属エッチングレジスト中の錫あるいははんだの溶
解が抑制されるため、配線パターンの断線を防止するこ
とができる。請求項2,3に記載の発明によれば、確実
な錫あるいははんだの溶解抑制が達成されかつ水素発生
や消費電力を抑えられるため、コスト性や作業環境を向
上させることができる。
As described above in detail, according to the method for removing the plating resist of the printed wiring board according to the first and third aspects, the dissolution of tin or solder in the metal etching resist is suppressed, so that the wiring Disconnection of the pattern can be prevented. According to the second and third aspects of the present invention, tin or solder dissolution is reliably suppressed and hydrogen generation and power consumption can be suppressed, so that cost performance and work environment can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例1において、スルーホール形成用孔を透
設した状態を示す部分概略断面図である。
FIG. 1 is a partial schematic cross-sectional view showing a state in which a through-hole forming hole is provided in Example 1;

【図2】同じく、パネルめっきによって無電解銅めっき
膜を形成した状態を示す部分概略断面図である。
FIG. 2 is a partial schematic cross-sectional view showing a state where an electroless copper plating film is formed by panel plating.

【図3】同じく、めっきレジストを形成した状態を示す
部分概略断面図である。
FIG. 3 is a partial schematic cross-sectional view showing a state where a plating resist is formed.

【図4】同じく、パターンめっきによって電解銅めっき
膜及び電解はんだめっき膜を形成した状態を示す部分概
略断面図である。
FIG. 4 is a partial schematic sectional view showing a state in which an electrolytic copper plating film and an electrolytic solder plating film are formed by pattern plating.

【図5】同じく、めっきレジストを剥離した状態を示す
部分概略断面図である。
FIG. 5 is a partial schematic cross-sectional view showing a state where a plating resist is peeled off.

【図6】めっきレジストを剥離するときに6層配線板を
浸漬するための剥離槽を示す概略図である。
FIG. 6 is a schematic diagram showing a peeling tank for immersing a six-layer wiring board when peeling a plating resist.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…プリント配線板としての6層配線板、5…めっきレ
ジスト、7…金属エッチングレジストとしての電解はん
だめっき膜。
Reference numeral 1 denotes a six-layer wiring board as a printed wiring board, 5 denotes a plating resist, and 7 denotes an electrolytic solder plating film as a metal etching resist.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】少なくとも錫を含む金属エッチングレジス
トをめっきによって形成するときのめっきレジストをア
ルカリ性水溶液を用いて除去するプリント配線板のめっ
きレジストの除去方法において、前記アルカリ水溶液の処理温度は30℃〜60℃であ
り、アノードをプリント配線板の両面側に、かつ同プリ
ント配線板からほぼ等しい距離を隔てるようにして配置
すると共に、 前記金属エッチングレジストに微弱なカソ
ード電流を流しながら前記めっきレジストを除去するプ
リント配線板のめっきレジストの除去方法。
1. A method for removing a plating resist from a printed wiring board, wherein the plating resist is removed using an alkaline aqueous solution when a metal etching resist containing at least tin is formed by plating. At 60 ° C
Anodes on both sides of the printed circuit board
Placed at approximately the same distance from the printed circuit board
And removing the plating resist from the printed wiring board by applying a weak cathode current to the metal etching resist.
【請求項2】配線板電位を−1.60V〜−1.20V
(SCE,飽和カロメル参照電極)にする請求項1に記
載のプリント配線板のめっきレジストの除去方法。
2. A wiring board potential of −1.60V to −1.20V.
2. The method for removing a plating resist from a printed wiring board according to claim 1, wherein the plating resist is (SCE, saturated calomel reference electrode).
【請求項3】前記金属エッチングレジストは、はんだめ
っき膜である請求項1または2に記載のプリント配線板
のめっきレジストの除去方法。
3. The method according to claim 1, wherein the metal etching resist is a solder plating film.
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