JP3125732B2 - Piezoelectric oscillator - Google Patents

Piezoelectric oscillator

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JP3125732B2
JP3125732B2 JP09319052A JP31905297A JP3125732B2 JP 3125732 B2 JP3125732 B2 JP 3125732B2 JP 09319052 A JP09319052 A JP 09319052A JP 31905297 A JP31905297 A JP 31905297A JP 3125732 B2 JP3125732 B2 JP 3125732B2
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    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
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    • H01L2224/16135Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
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    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動子と、こ
の圧電振動子を含んで発振回路を形成するICチップと
を密閉容器内に収容して成る圧電振動子発振器に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric vibrator oscillator in which a piezoelectric vibrator and an IC chip including the piezoelectric vibrator and forming an oscillation circuit are housed in a closed container.

【0002】[0002]

【従来の技術】水晶振動子などの圧電振動子を用いた圧
電振動子発振器は、携帯電話などの通信装置や、パーソ
ナルコンピュータといった各種の電子機器で広く使用さ
れている。そして、電子機器の小型化に伴い、他の種々
の電子部品と同様、圧電振動子発振器に関しても、プリ
ント配線板における部品実装密度を高めるべく小型化の
工夫が従来より種々、なされている。例えば、実装面積
を縮小するために発振回路本体を収容したICパッケー
ジの上に水晶振動子のパッケージを載置したり、あるい
は1つのパッケージ内に水晶振動子と発振回路本体とを
収容するといった構造が提案されている(例えば特開昭
63−305604、特開平03−019406)。
2. Description of the Related Art Piezoelectric oscillators using piezoelectric oscillators such as quartz oscillators are widely used in various electronic devices such as communication devices such as mobile phones and personal computers. With the downsizing of electronic devices, as with other various electronic components, various measures have been taken to reduce the size of piezoelectric vibrator oscillators in order to increase the component mounting density on printed wiring boards. For example, in order to reduce the mounting area, a crystal resonator package is mounted on an IC package containing an oscillation circuit main body, or a crystal resonator and an oscillation circuit main body are housed in one package. (For example, JP-A-63-305604 and JP-A-03-019406).

【0003】そして、1つのパッケージ内に水晶振動子
と発振回路本体とを収容する場合には、パッケージ内で
それらを横に並べて配置するよりも、上下に重ねて配置
した方が小型化の点で一層有利である。図5はこのよう
な従来の圧電振動子発振器の構造を示す断面側面図であ
る。図5に示した圧電振動子発振器102は、密閉容器
104内に水晶振動子106と、この水晶振動子106
を含んで発振回路を形成するICチップ108とを収容
して構成されている。密閉容器104は、基体110と
金属の蓋板112とから成り、基体110は、セラミッ
クの基板114と、その上に積載されたセラミックの枠
体116と、さらにその上に積載された金属のシームリ
ング117とにより形成されている。そして、基板11
4上の枠体116の内側にICチップ108が水平に載
置され、その上に間隔をおいて板状の水晶振動子106
が配置されている。この状態でシームリング117の上
に蓋板112が被せられ、水晶振動子106およびIC
チップ108が内側に封入されている。
When a crystal resonator and an oscillation circuit main body are housed in one package, it is more compact to arrange them vertically than to arrange them side by side in a package. Is more advantageous. FIG. 5 is a sectional side view showing the structure of such a conventional piezoelectric vibrator oscillator. The piezoelectric vibrator oscillator 102 shown in FIG. 5 includes a quartz oscillator 106 in a closed vessel 104 and a quartz oscillator 106
And an IC chip 108 that forms an oscillation circuit. The closed container 104 includes a base 110 and a metal cover plate 112. The base 110 is formed of a ceramic substrate 114, a ceramic frame 116 mounted thereon, and a metal seam mounted thereon. It is formed by a ring 117. And the substrate 11
The IC chip 108 is placed horizontally inside the frame body 116 on the upper side 4, and the plate-shaped quartz oscillator 106 is spaced apart therefrom.
Is arranged. In this state, the lid plate 112 is put on the seam ring 117, and the quartz oscillator 106 and the IC
The chip 108 is sealed inside.

【0004】水晶振動子106の下面には、励起電極に
接続された入出力電極118が形成されており、一方、
この入出力電極118に対向して枠体116の内縁上に
は、枠体116を貫通するスルーホール120を介して
基板114上の入出力端子122に接続された入出力端
子124が配設されている。そして、入出力電極118
と入出力端子124とは導電性接着剤126によって電
気的に接続され、また、この導電性接着剤126によ
り、水晶素板は図5の状態に支持固定されている。IC
チップ108の上面には、その辺部に入出力端子12
8、130が配置され、それらはボンディングワイヤ1
32を介して基板114上の入出力端子122、134
に接続されている。なお、このように水晶振動子とIC
チップとを上下に配置し、水晶振動子を導電性接着剤を
用いて電気的に接続し、また支持する構造は、特開平0
7−297666にも示されている。
An input / output electrode 118 connected to an excitation electrode is formed on the lower surface of the crystal unit 106.
An input / output terminal 124 connected to an input / output terminal 122 on a substrate 114 is disposed on an inner edge of the frame 116 facing the input / output electrode 118 via a through hole 120 penetrating the frame 116. ing. Then, the input / output electrode 118
The input and output terminals 124 are electrically connected to each other by a conductive adhesive 126, and the crystal plate is supported and fixed in the state shown in FIG. 5 by the conductive adhesive 126. IC
On the upper surface of the chip 108, the input / output terminals 12
8, 130 are arranged and they are bonding wire 1
32, the input / output terminals 122 and 134 on the substrate 114
It is connected to the. In addition, as described above, the crystal oscillator and the IC
A structure in which a chip is arranged vertically and a crystal unit is electrically connected and supported using a conductive adhesive is disclosed in
7-297666.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の圧電振動子発振器102では、水晶振動子106と
ICチップ108とを電気的に接続し、そして水晶振動
子106を支持するために、入出力端子122、124
やスルーホール120を設けなければならず、密閉容器
104の構造が複雑で、かつ大型になり、さらにその結
果、製造コストが上昇するという問題がある。また、導
電性接着剤126から揮発性のガスが発生して水晶振動
子106の表面に付着し、発振器の信頼性が低下すると
いう問題がある。本発明はこのような問題を解決するた
めになされたもので、その目的は、密閉容器の構造が簡
素で、かつ小型であり、さらにその結果、製造コストが
低く、そして、信頼性の高い圧電振動子発振器を提供す
ることにある。
However, in such a conventional piezoelectric resonator oscillator 102, in order to electrically connect the crystal resonator 106 and the IC chip 108 and to support the crystal resonator 106, I / O terminals 122, 124
And the through hole 120 must be provided, and the structure of the sealed container 104 is complicated and large, and as a result, there is a problem that the manufacturing cost is increased. In addition, there is a problem in that volatile gas is generated from the conductive adhesive 126 and adheres to the surface of the crystal unit 106, thereby lowering the reliability of the oscillator. The present invention has been made in order to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a closed container having a simple and compact structure, and as a result, a low manufacturing cost and a highly reliable piezoelectric device. An object of the present invention is to provide a resonator oscillator.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、板状の圧電振動子と、前記圧電振動子を含ん
で発振回路を形成するICチップとを密閉容器内に収容
して成る圧電振動子発振器において、前記ICチップは
上面に第1および第2の入出力端子を有して、前記密閉
容器の底部に配置され、前記圧電振動子は、励起電極に
それぞれ接続された第1および第2の入出力電極を下面
に有し、前記第1および第2の入出力電極を前記ICチ
ップの第1および第2の入出力端子にそれぞれ対向させ
て、前記ICチップの上方に前記ICチップとの間に間
隔をおいて配置され、前記ICチップの第1および第2
の入出力端子と前記圧電振動子の前記第1および第2の
入出力電極との間にそれぞれ導電性の物質が介在され、
前記圧電振動子は前記導電性の物質により前記ICチッ
プの上方に支持固定されると共に、前記圧電振動子の前
記第1および第2の入出力電極は前記導電性の物質によ
り前記ICチップの入出力端子に電気的に接続され、前
記ICチップは上面に他の回路素子から電気的に独立し
た第1および第2の補助端子をさらに有し、前記圧電振
動子は、下面に前記励起電極から電気的に独立し前記I
Cチップの前記第1および第2の補助端子にそれぞれ対
向する第1および第2の補助電極をさらに有し、前記I
Cチップの前記第1および第2の補助端子と前記圧電振
動子の前記第1および第2の補助電極との間にそれぞれ
導電性の物質が介在され、前記圧電振動子は同導電性の
物質により前記ICチップの上方に支持固定されている
ことを特徴とする。
According to the present invention, a plate-shaped piezoelectric vibrator and an IC chip including the piezoelectric vibrator and forming an oscillation circuit are housed in a closed container. In the piezoelectric vibrator oscillator, the IC chip has first and second input / output terminals on an upper surface, and is disposed on the bottom of the closed container, and the piezoelectric vibrator is connected to an excitation electrode. A first and a second input / output electrode are provided on a lower surface, and the first and second input / output electrodes are respectively opposed to first and second input / output terminals of the IC chip. The first and second IC chips are arranged at a distance from the IC chip.
A conductive substance is interposed between the input / output terminal of the piezoelectric vibrator and the first and second input / output electrodes of the piezoelectric vibrator,
The piezoelectric vibrator is supported and fixed above the IC chip by the conductive material, and the first and second input / output electrodes of the piezoelectric vibrator are connected to the IC chip by the conductive material. The IC chip is further electrically connected to an output terminal, and the IC chip further has first and second auxiliary terminals electrically independent from other circuit elements on an upper surface, and the piezoelectric vibrator is electrically connected to the excitation electrode on a lower surface. Electrically independent
The semiconductor device further includes first and second auxiliary electrodes facing the first and second auxiliary terminals of the C chip, respectively.
A conductive material is interposed between the first and second auxiliary terminals of the C chip and the first and second auxiliary electrodes of the piezoelectric vibrator, respectively, and the piezoelectric vibrator is made of the same conductive material. And is supported and fixed above the IC chip.

【0007】本発明の圧電振動子発振器では、圧電振動
子は導電性の物質によりICチップの上方に支持固定さ
れると共に、圧電振動子の第1および第2の入出力電極
は導電性の物質によりICチップの第1および第2の入
出力端子に電気的に接続されているので、従来のように
圧電振動子とICチップとを電気的に接続し、そして圧
電振動子を支持するための入出力端子やスルーホールを
密閉容器自体を構成する部材の箇所に設ける必要がな
く、さらに、導電性接着剤を用いないのでガスが発生し
ない。
In the piezoelectric vibrator oscillator of the present invention, the piezoelectric vibrator is supported and fixed above the IC chip by a conductive material, and the first and second input / output electrodes of the piezoelectric vibrator are formed of a conductive material. Is electrically connected to the first and second input / output terminals of the IC chip, so that the piezoelectric vibrator and the IC chip are electrically connected and the piezoelectric vibrator is supported as in the related art. There is no need to provide input / output terminals and through holes at the locations of the members that make up the sealed container itself, and further, since no conductive adhesive is used, no gas is generated.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を実施例
にもとづき図面を参照して説明する。図1は本発明によ
る圧電振動子発振器の一例を示す断面側面図、図2は図
1の圧電振動子発振器の要部を示す平面図、図3は図1
のAA’断面図、図4は本実施例の圧電振動子発振器の
等価回路図である。本実施例の圧電振動子発振器2は、
密閉容器4内に、圧電振動子として水晶素板6と、この
水晶素板6を含んで発振回路を形成するICチップ8と
を収容して構成されている。密閉容器4は、基体10と
金属の蓋板12とから成り、基体10は、セラミックの
基板14と、その上に積載されたセラミックの枠体16
と、さらにその上に積載された金属のシームリング17
とにより形成されている。そして、枠体16の内側の基
板14上にICチップ8が水平に載置され、ICチップ
8の中央部の上方に間隔をおいて板状の水晶素板6が配
置されている。この状態でシームリング17の上に蓋板
12が被せられ、水晶素板6およびICチップ8が内側
に封入されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, embodiments of the present invention will be described based on embodiments with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional side view showing an example of the piezoelectric vibrator according to the present invention, FIG. 2 is a plan view showing a main part of the piezoelectric vibrator shown in FIG. 1, and FIG.
4 is an equivalent circuit diagram of the piezoelectric vibrator oscillator of the present embodiment. The piezoelectric vibrator oscillator 2 of the present embodiment includes:
The sealed container 4 contains a quartz crystal plate 6 as a piezoelectric vibrator and an IC chip 8 including the quartz crystal plate 6 to form an oscillation circuit. The closed container 4 includes a base 10 and a metal cover plate 12. The base 10 is formed of a ceramic substrate 14 and a ceramic frame 16 mounted thereon.
And a metal seam ring 17 loaded thereon.
Are formed. The IC chip 8 is horizontally mounted on the substrate 14 inside the frame 16, and the plate-shaped quartz crystal plate 6 is arranged above the central portion of the IC chip 8 with a space therebetween. In this state, the cover plate 12 is put on the seam ring 17, and the quartz crystal plate 6 and the IC chip 8 are sealed inside.

【0009】水晶素板6は本実施例では矩形に形成さ
れ、上面および下面にそれぞれ励起電極18、20が形
成されており、そして、下面には第1および第2の入出
力電極22、24および第1および第2の補助電極2
6、28が形成されている。第1および第2の入出力電
極22、24は水晶素板6の隣接する2つの角部近傍に
配置され、上面の励起電極18はリード部30を介して
第1の入出力電極22に、一方、下面の励起電極20は
第2の入出力電極24にそれぞれ接続されている。ま
た、第1および第2の補助電極26、28は他の角部近
傍に配置されている。第1および第2の補助電極26、
28は水晶素板6を支持するために設けられており、励
起電極18、20からは電気的に独立している。これら
水晶素板6および各種電極により水晶振動子42が形成
されている。
The quartz plate 6 is formed in a rectangular shape in this embodiment, excitation electrodes 18 and 20 are formed on the upper and lower surfaces, respectively, and first and second input / output electrodes 22 and 24 are formed on the lower surface. And first and second auxiliary electrodes 2
6, 28 are formed. The first and second input / output electrodes 22 and 24 are disposed in the vicinity of two adjacent corners of the quartz crystal plate 6, and the excitation electrode 18 on the upper surface is connected to the first input / output electrode 22 via the lead 30. On the other hand, the lower excitation electrodes 20 are connected to the second input / output electrodes 24, respectively. Further, the first and second auxiliary electrodes 26 and 28 are arranged near other corners. First and second auxiliary electrodes 26,
Reference numeral 28 is provided for supporting the quartz crystal plate 6 and is electrically independent from the excitation electrodes 18 and 20. A quartz oscillator 42 is formed by the quartz plate 6 and various electrodes.

【0010】一方、ICチップ8は上面に第1および第
2の入出力端子23、25および第1および第2の補助
端子27、29を有し、第1および第2の入出力端子2
3、25はそれぞれ水晶素板6の第1および第2の入出
力電極22、24に、第1および第2の補助端子27、
29は水晶素板6の第1および第2の補助電極26、2
8に対向している。また、ICチップ8上面の対向する
辺部には、ICチップ8上の回路素子に電気的に接続さ
れた入出力端子32がそれぞれ2つずつ配設されてい
る。
On the other hand, the IC chip 8 has first and second input / output terminals 23 and 25 and first and second auxiliary terminals 27 and 29 on the upper surface.
Reference numerals 3 and 25 denote first and second auxiliary terminals 27 and 24, respectively, on the first and second input / output electrodes 22 and 24 of the crystal plate 6.
Reference numeral 29 denotes the first and second auxiliary electrodes 26, 2 of the quartz crystal plate 6.
8. Further, two input / output terminals 32 electrically connected to circuit elements on the IC chip 8 are provided on opposite sides of the upper surface of the IC chip 8.

【0011】そして、水晶素板6の第1および第2の入
出力電極22、24ならびに第1および第2の補助電極
26、28と、ICチップ8の第1および第2の入出力
端子23、25ならびに第1および第2の補助端子2
7、29との間には導電性の物質がそれぞれ介在され、
本実施の形態では導電性の物質として金属バンプ34を
用いている。各電極と金属バンプ、および各端子と金属
バンプとはそれぞれ溶着されている。水晶素板6はこれ
らの金属バンプ34によってICチップ8上に支持固定
されると共に、水晶素板6の第1および第2の入出力電
極22、24とICチップ8の第1および第2の入出力
端子23、25とがそれぞれ電気的に接続されている。
The first and second input / output electrodes 22 and 24 and the first and second auxiliary electrodes 26 and 28 of the quartz crystal plate 6 and the first and second input / output terminals 23 of the IC chip 8 , 25 and first and second auxiliary terminals 2
Conductive substances are respectively interposed between 7, 7 and 29,
In this embodiment, the metal bump 34 is used as a conductive substance. Each electrode and metal bump, and each terminal and metal bump are welded, respectively. The quartz crystal plate 6 is supported and fixed on the IC chip 8 by these metal bumps 34, and the first and second input / output electrodes 22 and 24 of the quartz crystal plate 6 and the first and second The input / output terminals 23 and 25 are electrically connected to each other.

【0012】密閉容器4を構成する枠体16の内縁部の
上面には4箇所に入出力端子36が配設され(図1では
2箇所の入出力端子36のみが示されている)、これら
は枠体16および基板14を貫通するスルーホール19
を介して基板14の下面に形成された外部入出力端子3
8にそれぞれ電気的に接続されている。そして、入出力
端子36はそれぞれICチップ8上に配設された入出力
端子32にボンディングワイヤ40により電気的に接続
されている。
On the upper surface of the inner edge of the frame 16 constituting the closed container 4, four input / output terminals 36 are provided (only two input / output terminals 36 are shown in FIG. 1). Is a through hole 19 penetrating the frame 16 and the substrate 14.
External input / output terminal 3 formed on the lower surface of substrate 14
8 are electrically connected to each other. The input / output terminals 36 are electrically connected to the input / output terminals 32 provided on the IC chip 8 by bonding wires 40, respectively.

【0013】水晶素板6およびICチップ8により構成
される発振回路は等価的に図4に示したようなものとな
っている。なお、図4において点線で囲まれた部分がI
Cチップ8上の回路素子により形成された回路である。
この回路は、水晶素板6およびその上に形成された上記
電極などから成る水晶振動子42、インバータ44、バ
ッファアンプ46、抵抗48、50、コンデンサ52、
54を含んで構成されている。水晶振動子42の両端、
すなわち上記励起電極18、20はそれぞれコンデンサ
52、54を介してグランドに接続され、また、水晶振
動子42の両端には抵抗48、50の直列回路が並列に
接続されている。抵抗48、50の共通接続点にはイン
バータ44の出力端子とバッファアンプ46の入力端子
とが接続され、抵抗48の他端はインバータ44の入力
端子に接続されている。そして、インバータ44および
バッファアンプ46の制御端子56、ならびにバッファ
アンプ46の出力端子はそれぞれ異なる上記外部入出力
端子38に接続されている。
An oscillation circuit composed of the crystal plate 6 and the IC chip 8 is equivalent to that shown in FIG. In FIG. 4, the portion surrounded by the dotted line is I
This is a circuit formed by circuit elements on the C chip 8.
This circuit includes a quartz crystal unit 42 including a quartz crystal plate 6 and the above-mentioned electrodes formed thereon, an inverter 44, a buffer amplifier 46, resistors 48 and 50, a capacitor 52,
54. Both ends of the quartz oscillator 42,
That is, the excitation electrodes 18 and 20 are connected to the ground via capacitors 52 and 54, respectively, and a series circuit of resistors 48 and 50 is connected in parallel to both ends of the crystal unit 42. An output terminal of the inverter 44 and an input terminal of the buffer amplifier 46 are connected to a common connection point of the resistors 48 and 50, and the other end of the resistor 48 is connected to an input terminal of the inverter 44. The control terminal 56 of the inverter 44 and the buffer amplifier 46 and the output terminal of the buffer amplifier 46 are connected to different external input / output terminals 38, respectively.

【0014】このような構成において、外部入出力端子
38を通じてインバータ44およびバッファアンプ46
の制御端子56に所定のバイアス電圧が印加されるとイ
ンバータ44およびバッファアンプ46は動作状態とな
り、インバータ44が動作状態となることで水晶振動子
42自体が持っているリアクタンス分と水晶振動子42
から外側を見たICチップ8側のリアクタンス分が打ち
消し合う周波数成分が増幅され回路は発振する。そし
て、発振信号はバッファアンプ46により増幅され外部
入出力端子38の1つより出力される。
In such a configuration, the inverter 44 and the buffer amplifier 46 are connected through the external input / output terminal 38.
When a predetermined bias voltage is applied to the control terminal 56, the inverter 44 and the buffer amplifier 46 are in the operating state, and the inverter 44 is in the operating state, so that the reactance component of the crystal unit 42 itself and the crystal unit 42
The frequency component in which the reactance on the IC chip 8 side looking out from the side cancels out is amplified, and the circuit oscillates. The oscillation signal is amplified by the buffer amplifier 46 and output from one of the external input / output terminals 38.

【0015】上述のように、本実施例の圧電振動子発振
器2では、水晶素板6は金属バンプ34によりICチッ
プ8の上方に支持固定されると共に、水晶素板6の第1
および第2の入出力電極22、24は金属バンプ34に
よりICチップ8の第1および第2の入出力端子23、
25に電気的に接続されている。したがって、従来のよ
うに、水晶素板6とICチップ8とを電気的に接続し、
そして水晶素板6を支持するための入出力端子やスルー
ホールを、密閉容器自体を構成する部材の箇所に設ける
必要がなく、その結果、密閉容器の構造の簡素化、小型
化を図り、さらにその結果、製造コストの低減を実現す
ることができる。また、導電性接着剤を用いる必要がな
いので、密閉容器4内でガスは発生せず、したがって、
信頼性を高めることができる。
As described above, in the piezoelectric vibrator 2 of the present embodiment, the crystal plate 6 is supported and fixed above the IC chip 8 by the metal bumps 34, and the first
And the second input / output electrodes 22 and 24 are connected to the first and second input / output terminals 23 of the IC chip 8 by metal bumps 34.
25 is electrically connected. Therefore, the crystal plate 6 and the IC chip 8 are electrically connected as in the related art,
Further, it is not necessary to provide input / output terminals and through holes for supporting the quartz crystal plate 6 at the positions of the members constituting the closed container itself. As a result, the structure of the closed container can be simplified and downsized. As a result, a reduction in manufacturing cost can be realized. Further, since there is no need to use a conductive adhesive, no gas is generated in the closed container 4, and therefore,
Reliability can be improved.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上説明したように本発明の圧電振動子
発振器では、圧電振動子は導電性の物質によりICチッ
プの上方に支持固定されると共に、圧電振動子の第1お
よび第2の入出力電極は導電性の物質によりICチップ
の第1および第2の入出力端子に電気的に接続されてい
る。
As described above, in the piezoelectric vibrator oscillator of the present invention, the piezoelectric vibrator is supported and fixed above the IC chip by a conductive substance, and the first and second input terminals of the piezoelectric vibrator are fixed. The output electrode is electrically connected to the first and second input / output terminals of the IC chip by a conductive material.

【0017】したがって、従来のように、圧電振動子と
ICチップとを電気的に接続し、そして圧電振動子を支
持するための入出力端子やスルーホールを、密閉容器自
体を構成する部材の箇所に設ける必要がなく、その結
果、密閉容器の構造の簡素化、小型化を図り、さらにそ
の結果、製造コストの低減を実現することができる。
Therefore, as in the prior art, the piezoelectric vibrator and the IC chip are electrically connected, and the input / output terminals and through holes for supporting the piezoelectric vibrator are provided at the locations of the members constituting the sealed container itself. As a result, the structure of the closed container can be simplified and downsized, and as a result, the manufacturing cost can be reduced.

【0018】また、導電性接着剤を用いる必要がないの
で、密閉容器内でガスが発生せず、したがって、圧電振
動子発振器の信頼性を高めることができる。
Further, since there is no need to use a conductive adhesive, no gas is generated in the closed container, and therefore, the reliability of the piezoelectric vibrator oscillator can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による圧電振動子発振器の一例を示す断
面側面図である。
FIG. 1 is a sectional side view showing an example of a piezoelectric vibrator oscillator according to the present invention.

【図2】図1の圧電振動子発振器の要部を示す平面図で
ある。
FIG. 2 is a plan view showing a main part of the piezoelectric vibrator oscillator of FIG.

【図3】図1のAA’断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA ′ of FIG. 1;

【図4】本実施例の圧電振動子発振器の等価回路図であ
る。
FIG. 4 is an equivalent circuit diagram of the piezoelectric vibrator oscillator of the present embodiment.

【図5】従来の圧電振動子発振器の構造を示す断面側面
図である。
FIG. 5 is a sectional side view showing a structure of a conventional piezoelectric vibrator oscillator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2……圧電振動子発振器、4……密閉容器、6……水晶
素板、8……ICチップ、10……基体、12……蓋
板、14……基板、16……枠体、18、20……励起
電極、22……第1の入出力電極、23……第1の入出
力端子、24……第2の入出力電極、25……第2の入
出力端子、26……第1の補助電極、27……第1の補
助端子、28……第2の補助電極、29……第2の補助
端子、34……金属バンプ、40……ボンディングワイ
ヤ、42……水晶振動子、44……インバータ、46…
…バッファアンプ、48、50……抵抗、52、54…
…コンデンサ。
2 ... Piezoelectric oscillator, 4 ... Closed container, 6 ... Crystal plate, 8 ... IC chip, 10 ... Base, 12 ... Cover plate, 14 ... Substrate, 16 ... Frame, 18 , 20 ... excitation electrode, 22 ... first input / output electrode, 23 ... first input / output terminal, 24 ... second input / output electrode, 25 ... second input / output terminal, 26 ... First auxiliary electrode, 27 first auxiliary terminal, 28 second auxiliary electrode, 29 second auxiliary terminal, 34 metal bump, 40 bonding wire, 42 crystal vibration Child, 44 ... inverter, 46 ...
... buffer amplifiers, 48, 50 ... resistors, 52, 54 ...
... capacitors.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03B 5/30 - 5/42 H03H 9/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H03B 5/30-5/42 H03H 9/00

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 板状の圧電振動子と、前記圧電振動子を
含んで発振回路を形成するICチップとを密閉容器内に
収容して成る圧電振動子発振器において、 前記ICチップは上面に第1および第2の入出力端子を
有して、前記密閉容器の底部に配置され、 前記圧電振動子は、励起電極にそれぞれ接続された第1
および第2の入出力電極を下面に有し、前記第1および
第2の入出力電極を前記ICチップの第1および第2の
入出力端子にそれぞれ対向させて、前記ICチップの上
方に前記ICチップとの間に間隔をおいて配置され、 前記ICチップの第1および第2の入出力端子と前記圧
電振動子の前記第1および第2の入出力電極との間にそ
れぞれ導電性の物質が介在され、 前記圧電振動子は前記導電性の物質により前記ICチッ
プの上方に支持固定されると共に、前記圧電振動子の前
記第1および第2の入出力電極は前記導電性の物質によ
り前記ICチップの入出力端子に電気的に接続され 前記ICチップは上面に他の回路素子から電気的に独立
した第1および第2の補助端子をさらに有し、 前記圧電振動子は、下面に前記励起電極から電気的に独
立し前記ICチップの前記第1および第2の補助端子に
それぞれ対向する第1および第2の補助電極をさらに有
し、 前記ICチップの前記第1および第2の補助端子と前記
圧電振動子の前記第1および第2の補助電極との間にそ
れぞれ導電性の物質が介在され、 前記圧電振動子は同導電性の物質により前記ICチップ
の上方に支持固定されている ことを特徴とする圧電振動
子発振器。
1. A piezoelectric vibrator oscillator comprising a plate-shaped piezoelectric vibrator and an IC chip including the piezoelectric vibrator and forming an oscillation circuit in a closed container, wherein the IC chip is provided on an upper surface thereof. A piezoelectric vibrator having a first input / output terminal and a second input / output terminal, the piezoelectric vibrator being disposed at a bottom of the closed container;
And a second input / output electrode on the lower surface. The first and second input / output electrodes are respectively opposed to the first and second input / output terminals of the IC chip. And a conductive material disposed between the first and second input / output terminals of the IC chip and the first and second input / output electrodes of the piezoelectric vibrator. A substance is interposed, the piezoelectric vibrator is supported and fixed above the IC chip by the conductive substance, and the first and second input / output electrodes of the piezoelectric vibrator are formed by the conductive substance. The IC chip is electrically connected to an input / output terminal of the IC chip , and the IC chip is electrically independent from other circuit elements on an upper surface.
First and second auxiliary terminals, wherein the piezoelectric vibrator is electrically isolated from the excitation electrode on the lower surface.
To the first and second auxiliary terminals of the IC chip
A first auxiliary electrode and a second auxiliary electrode;
And the first and second auxiliary terminals of the IC chip and the
The piezoelectric vibrator is located between the first and second auxiliary electrodes.
A conductive material is interposed therebetween, and the piezoelectric vibrator is made of the same conductive material as the IC chip.
Characterized by being supported and fixed above the piezoelectric vibrator.
【請求項2】 前記圧電振動子は平面視矩形に形成さ
れ、前記第1および第2の入出力電極は前記圧電振動子
の隣接する2つの角部近傍にそれぞれ配置され、前記第
1および第2の補助電極は他の角部近傍にそれぞれ配置
されていることを特徴とする請求項1記載の圧電振動子
発振器。
2. The piezoelectric vibrator is formed in a rectangular shape in a plan view, and the first and second input / output electrodes are arranged near two adjacent corners of the piezoelectric vibrator, respectively. 2. The piezoelectric vibrator oscillator according to claim 1, wherein the second auxiliary electrodes are arranged near other corners.
【請求項3】 前記密閉容器は、前記圧電振動子および
前記ICチップを収容する凹部が形成された基体と、前
記凹部を密閉する蓋板を含んで構成されていることを特
徴とする請求項1記載の圧電振動子発振器。
3. The airtight container according to claim 1, wherein the airtight container includes a base having a recess for accommodating the piezoelectric vibrator and the IC chip, and a lid plate for sealing the recess. 2. The piezoelectric oscillator according to claim 1.
【請求項4】 前記基体はセラミックの基板と、前記基
板上に積載されたセラミックの枠体と、前記枠体上に積
載された金属製のシームリングとにより構成され、前記
ICチップは前記枠体の内側に配置されていることを特
徴とする請求項3記載の圧電振動子発振器。
4. The base comprises a ceramic substrate, a ceramic frame mounted on the substrate, and a metal seam ring mounted on the frame, wherein the IC chip is mounted on the frame. The piezoelectric vibrator oscillator according to claim 3, wherein the piezoelectric vibrator is arranged inside a body.
【請求項5】 前記圧電振動子は水晶振動子であること
を特徴とする請求項1記載の圧電振動子発振器。
5. The oscillator according to claim 1, wherein the piezoelectric oscillator is a quartz oscillator.
【請求項6】 前記導電性の物質は金属バンプであるこ
とを特徴とする請求項1記載の圧電振動子発振器。
6. The oscillator according to claim 1, wherein the conductive material is a metal bump.
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