JP3124884U - Joint mechanism and measuring instrument - Google Patents
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Abstract
【課題】精度よくステージを駆動可能なジョイント機構、および測定器を提供する。
【解決手段】測定器のステージ装置は、ステージが固定されるステージ取付部250に対して、第一支持軸260の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に設けられる支持部270と、この支持部270に設けられる第二支持軸280の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に設けられるフリクションバーが固定されるバー取付部290と、を備えた。これにより、フリクションバーにいかなる振動や力が加わったとしても、ステージにその振動や力が伝達するのを防止でき、ステージを精度よくフリクションバーの進退方向に移動させることができる。
【選択図】図3A joint mechanism capable of driving a stage with high accuracy and a measuring instrument are provided.
A stage device of a measuring instrument is provided with a support portion 270 that is movable forward and backward along the axial direction of a first support shaft 260 and rotatable about an axis with respect to a stage mounting portion 250 to which the stage is fixed. And a bar attaching portion 290 to which a friction bar provided so as to be movable back and forth along the axial direction of the second support shaft 280 provided on the support portion 270 and rotatable about the shaft is fixed. As a result, whatever vibration or force is applied to the friction bar, the vibration or force can be prevented from being transmitted to the stage, and the stage can be accurately moved in the advancing / retreating direction of the friction bar.
[Selection] Figure 3
Description
本考案は、軸部材と可動部材とを連結するジョイント機構、特に被測定物を載置する可動部材と、この可動部材を被測定物が測定される位置に移動させる軸部材と、を備えた測定器における軸部材および可動部材を連結するジョイント機構、およびこのジョイント機構を備えた測定器に関する。 The present invention includes a joint mechanism for connecting a shaft member and a movable member, in particular, a movable member for placing an object to be measured, and a shaft member for moving the movable member to a position where the object to be measured is measured. The present invention relates to a joint mechanism for connecting a shaft member and a movable member in a measuring instrument, and a measuring instrument including the joint mechanism.
従来、軸部材と、軸部材を支持する支持部材とを連結する部位において、軸部材の振動を防止するジョイント機構が知られている(例えば特許文献1および特許文献2参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, a joint mechanism that prevents vibration of a shaft member at a portion that connects the shaft member and a support member that supports the shaft member is known (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
特許文献1に記載のものは、支持軸の上端に設けられる鍔部に、ボールが設けられ、このボールを介して軸受け片に支持軸が支持されている構成が採られている。
特許文献2に記載のものは、横梁に固定されるエアパッドに当接してスライドパッドが設けられ、さらにこのスライドパッドと支持軸との間に自動調心玉軸受が設けられた構成が採られている。このエアパッドは、スライドパッドと当接する面に複数のエア孔が設けられ、外部からエアが供給されることでスライドパッドとの間にエア膜が形成される。
The thing of patent document 1 employ | adopts the structure by which a ball | bowl is provided in the collar part provided in the upper end of a support shaft, and the support shaft is supported by the bearing piece via this ball | bowl.
The one described in Patent Document 2 has a configuration in which a slide pad is provided in contact with an air pad fixed to a cross beam, and a self-aligning ball bearing is provided between the slide pad and a support shaft. Yes. The air pad is provided with a plurality of air holes on the surface that comes into contact with the slide pad, and an air film is formed between the air pad and the slide pad when air is supplied from the outside.
ところで、上記特許文献1に記載のようなボールのみを用いた従来のジョイント機構では、支持軸の回転方向に対して良好に振動を防止できるが、ラジアル方向に対しての力を逃がすことができないという問題が挙げられる。
また、特許文献2に記載のようなエアパッドを用いた構成では、エア膜により支持軸のラジアル方向の力による振動を防止できるが、支持軸の回転方向の力による振動を逃がすことができないという問題が挙げられる。
By the way, in the conventional joint mechanism using only the balls as described in Patent Document 1, it is possible to prevent the vibration in the rotation direction of the support shaft well, but it is not possible to release the force in the radial direction. Problem.
In the configuration using the air pad as described in Patent Document 2, vibration due to the radial force of the support shaft can be prevented by the air film, but vibration due to the force in the rotational direction of the support shaft cannot be released. Is mentioned.
本考案は、精度よく可動部材を駆動可能なジョイント機構、および測定器を提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the joint mechanism and measuring device which can drive a movable member accurately.
本考案のジョイント機構は、軸方向に沿って進退自在に設けられる軸部材と、この軸部材の一端側に設けられ、前記軸部材の進退により移動可能な可動部材と、を連結するジョイント機構であって、前記可動部材が取り付けられるとともに、内部に中空状の第一中空部を有し、この第一中空部に第一支持軸が設けられる可動部取付部と、前記第一支持軸に、この第一支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ第一支持軸を中心として回転自在に設けられるとともに、内部に中空状の第二中空部を有し、この第二中空部に前記第一支持軸と略交差する状態に配置される第二支持軸を備えた支持部材と、前記第二支持軸に、この第二支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ第二支持軸を中心として回転自在に設けられるとともに、前記軸部材が取り付けられる軸取付部と、を備えたことを特徴とする。 The joint mechanism of the present invention is a joint mechanism that connects a shaft member provided so as to freely advance and retract along the axial direction and a movable member provided on one end side of the shaft member and movable by the advancement and retraction of the shaft member. The movable member is attached and has a hollow first hollow portion therein, and a movable portion mounting portion in which a first support shaft is provided in the first hollow portion, and the first support shaft, The first support shaft is provided so as to be movable back and forth along the axial direction and rotatable about the first support shaft, and has a hollow second hollow portion therein. A support member having a second support shaft disposed substantially intersecting with the support shaft; and the second support shaft is movable forward and backward along the axial direction of the second support shaft and centered on the second support shaft It is provided so as to be rotatable, and the shaft member is attached. A shaft mounting portion being, characterized by comprising a.
この考案によれば、可動部材取付部に対して支持部材が回動可能かつ第一支持軸の軸方向に沿って進退自在に設けられ、この支持部材に対して軸取付部が回動可能かつ第二支持軸の軸方向に沿って進退自在に設けられている。このため、軸部材がラジアル方向に振動した場合、支持部材および可動部取付部が第一支持軸および第二支持軸の軸心方向に沿って移動するため、振動が可動部材取付部および可動部材ステージに伝播しない。また、軸部材が回転方向に振動した場合でも、支持部材および軸取付部が第一支持軸および第二支持軸に回転自在に設けられているため、軸部材の振動を逃がすことができ、可動部材取付部および可動部材に伝播しない。したがって、軸部材の振動の可動部取付部および可動部材への伝播を良好に防止でき、可動部材の振動を防止することができる。よって、軸部材が振動したとしても、可動部材を精度よく移動させることができる。
また、可動部材取付部の内部の第一中空部に設けられる第一支持軸に支持部材が配置され、この支持部材の内部の第二中空部に設けられる第二支持軸に軸取付部が配置されているので、このジョイント機構の厚み寸法の増大を防止でき、小型化を図ることができる。
According to this device, the support member can be rotated with respect to the movable member mounting portion and can be moved back and forth along the axial direction of the first support shaft, and the shaft mounting portion can be rotated with respect to the support member. It is provided so as to be able to advance and retract along the axial direction of the second support shaft. For this reason, when the shaft member vibrates in the radial direction, the support member and the movable portion mounting portion move along the axial directions of the first support shaft and the second support shaft. Do not propagate to stage. Even when the shaft member vibrates in the rotational direction, the support member and the shaft mounting portion are rotatably provided on the first support shaft and the second support shaft, so that the vibration of the shaft member can be released and moved. It does not propagate to the member mounting part and the movable member. Therefore, the propagation of the vibration of the shaft member to the movable part mounting portion and the movable member can be well prevented, and the vibration of the movable member can be prevented. Therefore, even if the shaft member vibrates, the movable member can be moved with high accuracy.
Further, the support member is arranged on the first support shaft provided in the first hollow portion inside the movable member attachment portion, and the shaft attachment portion is arranged on the second support shaft provided in the second hollow portion inside the support member. Therefore, an increase in the thickness dimension of the joint mechanism can be prevented and downsizing can be achieved.
また、本考案のジョイント機構では、前記可動部取付部は、第一中空部と外部とを連通する第一支持孔を備え、前記第一支持軸は、前記第一支持孔にボール部材を介して設けられたことが好ましい。
この考案によれば、可動部取付部の第一支持孔にボール部材を介して第一支持軸が設けられている。これにより、第一支持軸が軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在となるので、この第一支持軸に設けられる支持部材も第一支持軸に沿って進退自在かつ第一支持軸を中心として回転自在となる。したがって、簡単な構成で支持部材を第一支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に支持することができる。
In the joint mechanism of the present invention, the movable portion mounting portion includes a first support hole that communicates the first hollow portion and the outside, and the first support shaft is interposed in the first support hole via a ball member. It is preferable to be provided.
According to this device, the first support shaft is provided via the ball member in the first support hole of the movable portion mounting portion. As a result, the first support shaft can move forward and backward along the axial direction and can rotate about the shaft. Therefore, the support member provided on the first support shaft can also move forward and backward along the first support shaft and the first support. It can rotate around the axis. Therefore, it is possible to support the support member so as to be movable back and forth along the axial direction of the first support shaft and to be rotatable about the shaft with a simple configuration.
さらに、本考案のジョイント機構では、前記支持部材は、前記第二中空部と外部とを連通する第二支持孔を備え、前記第二支持軸は、前記第二支持孔にボール部材を介して設けられることが好ましい。
この考案によれば、支持部材の第二支持孔にボール部材を介して第二支持軸が設けられている。これにより、第二支持軸が軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在となるので、第二支持軸に取り付けられる軸取付部も第二支持軸に沿って進退自在かつ回転自在となる。したがって、簡単な構成で軸取付部を第二支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に支持することができる。
Furthermore, in the joint mechanism of the present invention, the support member includes a second support hole that communicates the second hollow portion with the outside, and the second support shaft is inserted into the second support hole via a ball member. It is preferable to be provided.
According to this device, the second support shaft is provided in the second support hole of the support member via the ball member. As a result, the second support shaft can move forward and backward along the axial direction and can rotate about the shaft. Therefore, the shaft mounting portion attached to the second support shaft can also move forward and backward along the second support shaft and can rotate freely. Become. Therefore, it is possible to support the shaft mounting portion with a simple configuration so as to be movable back and forth and rotatable along the axial direction of the second support shaft.
そして、本考案のジョイント機構では、前記第一支持軸および前記第二支持軸は互いに略直交する状態で配設されることが好ましい。
この考案によれば、第一支持軸と第二支持軸とが互いに略直交する状態で配設されているので、軸部材がラジアル方向に対していかなる方向に振動し変位したとしても、また、いかなる回転方向に振動したとしても、その振動を良好に逃がすことができる。したがって、可動部取付部および可動部材の振動をより確実に防止することができる。
And in the joint mechanism of this invention, it is preferable that said 1st support shaft and said 2nd support shaft are arrange | positioned in the state substantially mutually orthogonally crossed.
According to this device, since the first support shaft and the second support shaft are disposed in a state of being substantially orthogonal to each other, no matter which direction the shaft member oscillates and is displaced with respect to the radial direction, Even if it vibrates in any rotation direction, the vibration can be released well. Therefore, it is possible to more reliably prevent the vibration of the movable portion mounting portion and the movable member.
本考案の測定器は、回転駆動される駆動ローラと前記駆動ローラに当接され、この駆動ローラの回転により軸方向に進退自在な軸部材と、前記軸部材の一端部に設けられ、被測定物を載置する可動部材と、前記軸部材および前記可動部材を連結する請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のジョイント機構と、前記可動部材に載置された前記被測定物を測定する測定手段と、を具備したことを特徴とする。 The measuring device of the present invention is provided on a driving roller that is rotationally driven and a shaft member that is in contact with the driving roller and is movable forward and backward in the axial direction by the rotation of the driving roller, and at one end of the shaft member. A movable member for placing an object, the joint mechanism according to any one of claims 1 to 4 that connects the shaft member and the movable member, and the object to be measured placed on the movable member is measured. Measuring means.
この考案によれば、軸部材と可動部材とが上記のようなジョイント機構により接続されているため、軸部材の移動により可動部材を誤差なく精度よく移動させることが可能となる。したがって、測定器における可動部材の移動精度が向上し、測定精度も向上させることができる。 According to this device, since the shaft member and the movable member are connected by the joint mechanism as described above, the movable member can be moved with high accuracy without error by the movement of the shaft member. Therefore, the movement accuracy of the movable member in the measuring instrument is improved, and the measurement accuracy can be improved.
以下、本考案に係る一実施の形態の測定器を図面に基づいて説明する。図1は、本考案の一実施の形態に係る測定器の概略を模式的に示すブロック図である。図2は、本実施の形態に係るステージ装置の概略を示す斜視図である。図3は、本実施の形態のジョイント機構としてのフローティングユニットの概略を示す断面図である。 Hereinafter, a measuring instrument according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram schematically showing an outline of a measuring instrument according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing an outline of the stage apparatus according to the present embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view showing an outline of a floating unit as a joint mechanism of the present embodiment.
図1において、100は、測定器であり、この測定器100は、可動部材としてのステージ210に載置された被測定物、例えばエレクトロデバイス、精密金型、非球面レンズ金型、MEMS(Micro Electro Mechanical System)を構成する機械要素部品、センサー、アクチュエータ、電子回路などの各部品などの微細形状を精密に測定する高精度測定器である。この測定器100は、測定手段としてのカメラ装置110と、制御部120と、ステージ装置200と、などを備えている。
In FIG. 1,
カメラ装置110は、ステージ装置200のステージ210に対向して設けられている。このカメラ装置110は、ステージ210のステージ面に対向するレンズ111を備え、このレンズ111に入光された光を図示しない画像変換手段により画像データに変換し、適宜制御部120に出力する。
The
制御部120は、カメラ装置110およびステージ装置200のフリクションユニット230に電気的に接続されている。そして、制御部120は、カメラ装置110を制御して、ステージ210に載置された被測定物の画像を取得する。また、制御部120は、フリクションユニット230を制御してステージ装置200のステージ210を移動させる制御をする。
さらに、制御部120は、図示しない入出力端子に接続され、この入出力端子を介して例えばパーソナルコンピュータなどの図示しない外部機器に接続されている。そして、制御部120は、入出力端子を介して外部機器にカメラ装置110にて認識した画像データを出力したり、外部機器から入力されるカメラ装置110やステージ装置200を駆動させる旨の命令情報などを取得したりする。
The
Further, the
ステージ装置200は、図2に示すように、可動部材としてのステージ210と、軸部材としてのフリクションバー220と、フリクションユニット230と、ジョイント機構としてのフローティングユニット240と、などを備えている。
As shown in FIG. 2, the
ステージ210は、例えば板状に形成され、上面に前記したような被測定物が載置されるステージ面が形成されている。このステージ210の一側面には、フローティングユニット240を介してフリクションバー220が接続されている。そして、ステージ210は、フリクションバー220の移動により、所定方向に移動する。
また、ステージ210の下面側には、図示しない車輪を備えた移動補助部が設けられ、ステージ210の移動を補助している。なお、移動補助部に車輪が設けられず、例えばステージ210の移動方向に沿って、摺動溝が形成され、摺動溝に摺接する摺接部を備えた構成などとしてもよい。
The
In addition, a movement assist unit having wheels (not shown) is provided on the lower surface side of the
フリクションバー220は、断面略矩形状に形成された長手状の棒状部材である。このフリクションバー220の一端側には、前記したように、フローティングユニット240を介してステージ210が接続されている。一方、フリクションバー220の他端側は、フリクションユニット230に挿通されている。そして、フリクションバー220は、このフリクションユニット230から伝達される駆動力により、軸方向に沿って進退自在に設けられている。
The
フリクションユニット230は、ケース体231と、ケース体231内部に格納される駆動ローラ232と、駆動ローラ232を回転駆動させる図示しないモータとを備えている。ケース体231のステージ210と対向する面には、フリクションバー220を挿通する挿通孔が設けられている。駆動ローラ232は、長手状の筒状部材であり、ケース体231の挿通孔と略同一高さ位置に軸心を中心として回転自在に配設され、例えば上側一端部にてフリクションバー220の下端面と当接している。この時、駆動ローラ232は、回転方向とフリクションバー220の軸心方向とが略一致するように、フリクションバー220の軸心方向と略直交する状態に配置されている。
モータは、前記したように制御部120に接続され,この制御部120から入力される電気信号に応じて駆動し、駆動ローラ232を回転駆動させる。
The
As described above, the motor is connected to the
フローティングユニット240は、ステージ210とフリクションバー220の一端部とを連結する。このフローティングユニット240は、図3に示すように、可動部取付部としてのステージ取付部250と、第一支持軸260と、支持部材としての支持部270と、第二支持軸280と、軸取付部としてのバー取付部290と、を備えている。
The floating
ステージ取付部250は、例えば金属部材などによりステージ210側およびフリクションバー220側が開口する略矩形枠状に形成されている。このステージ取付部250のステージ210側の開口には、ステージ210の一側面が当接されて、例えばねじ止め、接着剤などにより固定されている。なお、ステージ取付部の枠内周部が本考案の第一中空部を構成している。
また、このステージ取付部250の枠を構成する互いに対向する二辺の略中心位置には、それぞれ枠内周部と外周部を連通する第一支持孔251が形成されている。これらの第一支持孔251には、ボール部材としての第一ベアリング252を介して、それぞれ第一支持軸260が挿通されている。すなわち、第一支持孔251には、第一ベアリング252を介して、第一支持軸260が第一支持孔251の軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に設けられている。
The
In addition, first support holes 251 communicating the inner and outer peripheries of the frame are formed at approximately the center positions of two opposite sides constituting the frame of the
第一支持軸260は、上記のようにステージ取付部250の互いに対向する二辺に設けられる2つの第一支持孔251に対応してそれぞれ設けられている。したがって、これらの第一支持軸260は、同軸上に配置される。これらの第一支持軸260のステージ取付部250の内周側の一端部は、それぞれ支持部270の互いに対向する辺に連結されている。
The
支持部270は、上記ステージ取付部250と同様に、例えば金属性部材によりステージ210側およびフリクションバー220側が開口する略矩形枠状に形成されており、ステージ取付部250の枠内周側に所定の寸法だけ離隔した位置に配設されている。この時、支持部270は、枠の各辺がステージ取付部250の枠各辺に略平行するように配設されている。また、支持部270の枠外周面とステージ取付部250の枠内周面との隙間寸法は、ステージ取付部250の枠厚み寸法よりも小さい寸法に形成されている。これにより、支持部270が第一支持軸260の軸方向に沿って進退した際に、第一支持軸260が第一支持孔251から抜け落ちることがない。なお、この支持部270の枠内周部が本考案の第二中空部を構成する。
そして、この支持部270には、ステージ取付部250の第一支持孔251に対向する位置にそれぞれ第一支持軸連結孔271が形成されている。この第一支持軸連結孔271は、第一支持軸260の一端側が挿通されて連結固定されている。
Similar to the
The
また、支持部270の第一支持軸連結孔271が形成されない互いに対向する二辺の略中心位置には、それぞれ内外を連通する第二支持孔272が形成されている。これらの第二支持孔272には、ボール部材としての第二ベアリング273を介して、第二支持軸280が挿通されている。すなわち、第二支持孔272には、第二ベアリング273を介して、第二支持軸280が第二支持孔272の軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に設けられている。
Further, a
第二支持軸280は、上記したように、第一支持軸260と略直交する状態に、支持部270の第二支持孔272に挿通され、軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に設けられている。また、この第二支持軸280は、バー取付部290を連通し、略中心位置においてこのバー取付部290を固定している。
As described above, the
バー取付部290は、断面略矩形状に形成され、支持部270の枠内周側に、枠内周面から所定寸法だけ離隔した位置に配置されている。
このバー取付部290の支持部270の第二支持孔272に対向する位置には、第二支持軸連通孔291が設けられている。この第二支持軸連通孔291は、一方の第二支持孔272に対向する側から他方の第二支持孔に対向する側までを連通する状態に形成され、この第二支持軸連通孔291に第二支持軸280が連通されて固定されている。
また、バー取付部290と支持部270との隙間寸法は、支持部270の枠厚み寸法よりも小さく形成されている。これにより、バー取付部290が第二支持軸280の軸方向に沿って進退した際に、第二支持軸280が第二支持孔272から抜け落ちることがない。
さらに、バー取付部290のフリクションバー220側の端面には、フリクションバー220が当接されて例えばねじ止め、接着剤などにより固定されている。
The
A second support shaft communication hole 291 is provided at a position facing the
Further, the gap dimension between the
Further, the
〔測定器の動作〕
次に、上記測定器100の動作におけるステージ装置200の動作について説明する。
[Operation of measuring instrument]
Next, the operation of the
測定器100を起動させて、例えば制御部120からステージ装置200にステージ210を移動させる旨の要求信号が入力されると、ステージ装置200は、この要求信号に応じてフリクションユニット230のモータを駆動させて駆動ローラ232を回転駆動させる。
これにより、駆動ローラ232に当接するフリクションバー220が、駆動ローラ232の回転方向に応じて、軸方向に沿って進退移動し、ステージ210もフリクションバー220の移動に応じて進退移動する。
When the measuring
As a result, the
この時、フリクションバー220が軸を中心とした径方向、すなわちラジアル方向に対して振動した場合、フローティングユニット240の支持部270およびバー取付部290が第一支持軸260および第二支持軸280の軸心方向に沿って移動する。
例えば、フリクションバー220が第一支持軸260の軸方向に沿って振動した場合、支持部270が第一支持軸260に沿って進退移動する。また、フリクションバー220が第二支持軸280の軸方向に沿って振動した場合、バー取付部290が第二支持軸280に沿って進退移動する。さらに、フリクションバー220が第一支持軸260の軸方向および第二支持軸280の軸方向の間のラジアル方向に振動した場合でも、支持部270およびバー取付部290がそれぞれ第一支持軸260および第二支持軸280の軸方向に沿って移動し、振動が逃がされる。これにより、フリクションバー220の振動がステージ取付部250およびステージ210に伝達されない。
At this time, when the
For example, when the
さらには、フリクションバー220のフリクションユニット230側の端部が変位するなどして、回転方向の力が加わった場合、フローティングユニット240の支持部270およびバー取付部290が第一支持軸260および第二支持軸280を中心として回転移動する。
例えば、フリクションバー220の駆動ローラ232との当接面が駆動ローラ232の軸方向にずれるなどして、フリクションバー220に回転方向の力が加わった場合、バー取付部290が第二支持軸280を中心として回転する。また、フリクションバー220が駆動ローラ232の周面から離隔するなどして、フリクションバー220に回転方向の力が加わった場合、支持部270が第一支持軸260を中心として回転する。さらに、フリクションバー220が駆動ローラ232の軸方向にずれるとともに、駆動ローラ232の周面からも離隔するなどした場合、支持部270が第一支持軸260を中心として回転するとともに、バー取付部290が第二支持軸280を中心として回転して、回転力が逃がされる。これにより、フリクションバー220の回転力が逃がされ、ステージ取付部250およびステージ210にその力が伝達されない。
Further, when a rotational force is applied due to displacement of the end of the
For example, when a rotational force is applied to the
〔実施の形態の作用効果〕
上述した第1実施形態によれば、以下のような作用効果を奏することができる。
(1)測定器100のステージ装置200では、ステージ210が固定されるステージ取付部250に対して、支持部270が第一支持軸260の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に設けられ、この支持部270に対して、フリクションバー220が固定されるバー取付部290が第二支持軸280の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に設けられている。
このため、フリクションバー220がラジアル方向に振動した場合には、支持部270およびバー取付部290がそれぞれ第一支持軸260および第二支持軸280に沿って移動し、振動がステージ210に伝達するのを防止できる。また、フリクションバー220に回転方向の力が加わった場合には、支持部270およびバー取付部290がそれぞれ第一支持軸260および第二支持軸280を中心として回転し、回転力がステージ210に伝達するのを防止できる。したがって、フリクションバー220の移動時にいかなる振動や力が加わったとしても、ステージ210にその振動や力が伝達するのを防止でき、ステージ210を精度よくフリクションバー220の進退方向に移動させることができる。したがって、ステージ210上に載置された被測定物をカメラ装置110にて精密に測定することができる。
また、ステージ取付部250および支持部270が枠状に形成され、ステージ取付部250の内周側に支持部270が設けられ、支持部270の内周側にバー取付部290が設けられている。このため、フローティングユニット240の厚み寸法の増大を抑えることができ、小型化に対応させることができる。
[Effects of Embodiment]
According to 1st Embodiment mentioned above, there can exist the following effects.
(1) In the
Therefore, when the
In addition, the
(2)第一支持軸260は、ステージ取付部250に設けられる第一支持孔251に、第一ベアリング252を介して挿通されている。このため、第一支持軸260を容易にステージ取付部250に対して進退自在かつ回転自在に取り付けることができる。したがって、支持部270をこの第一支持軸260に固定することにより、この支持部270を簡単な構成で第一支持軸260の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に支持することができる。
(2) The
(3)第二支持軸280は、支持部270に設けられる第二支持孔272に、第二ベアリング273を介して挿通されている。このため、第二支持軸280を容易に支持部270に対して進退自在かつ回転自在に取り付けることができる。したがって、バー取付部290をこの第二支持軸280に固定することにより、このバー取付部290を簡単な構成で第二支持軸280の軸方向に沿って進退自在かつ軸を中心として回転自在に支持することができる。
(3) The
(4)第一支持軸260と、第二支持軸280とは、互いに略直交する状態で配設されている。このため、フリクションバー220がラジアル方向のいかなる方向に振動して変位したとしても、また、いかなる方向に回転力が加わったとしても、これらの振動や回転力を逃がすことできる。すなわち、フリクションバー220が、第一支持軸260の軸方向および第二支持軸280の軸方向の間のいかなる方向に振動した場合でも、第一支持軸260および第二支持軸280が軸方向に進退することにより、容易にこの振動を逃がすことができる。また、フリクションバー220の駆動ローラ232との当接位置が駆動ローラ232の軸方向に変位し、かつ駆動ローラ232の周面から離れる方向に変位したとしても、支持部270およびバー取付部290が第一支持軸260および第二支持軸280を中心として回転することにより、容易にこの変位により振動を逃がすことができる。したがって、ステージ210の振動をより確実に防止することができ、より精度よくステージ210を移動させることができる。
(4) The
[実施の形態の変形]
以上、本考案について好適な実施の形態を挙げて説明したが、本考案は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、本考案の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の変更が可能である。
[Modification of Embodiment]
The present invention has been described with reference to preferred embodiments. However, the present invention is not limited to these embodiments, and various improvements and design changes can be made without departing from the scope of the present invention. Is possible.
例えば、上記実施の形態では、ステージ取付部250と支持部270との隙間寸法がステージ取付部250の厚み寸法よりも小さく形成される例を示したが、これに限られない。すなわち、ステージ取付部250と支持部270との隙間寸法は、支持部270が第一支持軸260に沿って進退した際に、第一支持軸260が第一支持孔251から抜け落ちない寸法であればよく、例えば、第一支持軸260の長さ寸法を長くするなどすれば、ステージ取付部250と支持部270との隙間寸法がステージ取付部250の厚み寸法よりも大きく形成されていてもよい。同様に、支持部270とバー取付部290との隙間寸法も、第二支持軸280が第二支持孔272から抜け落ちない寸法であればよく、例えば第二支持軸280の長寸法を長くして、支持部270とバー取付部290との隙間寸法が支持部270の厚み寸法よりも大きく形成された構成であってもよい。
For example, in the above-described embodiment, the example in which the gap dimension between the
また、上記実施の形態では、フローティングユニット240のステージ取付部250および支持部270が略矩形枠状に形成され、バー取付部290が断面略矩形状に形成された例を示したが、これに限定されない。例えば、ステージ取付部250および支持部270が、略円形枠状に形成され、バー取付部290が略円板状に形成された構成としてもよい。
In the above embodiment, the
さらに、ステージ取付部250は、フリクションバー220側の支持部270の移動範囲内のみが開口した略箱状に形成され、ステージ210側が開口されず、全面がステージ210に当接された構成としてもよい。
Further, the
さらには、第一支持軸260がステージ取付部250に軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に設けられた例を示したが、第一支持軸260がステージ取付部250に固定され、支持部270が例えばベアリングなどを介して第一支持軸260の軸方向に進退自在かつ回転自在に設けられる構成としてもよい。同様に、第二支持軸280が支持部270に固定され、バー取付部290がベアリングなどを介して第二支持軸280の軸方向に沿って進退自在かつ回転自在に設けられる構成としてもよい。
Furthermore, although the example in which the
そして、上記実施の形態では、ステージ210に被測定物を載置し、カメラ装置110にて被測定物を測定する測定器100のステージ装置200に本考案のジョイント機構であるフローティングユニット240を設ける構成を示したが、これに限定されず、例えば、本体に対してトレイが進退する搬送装置におけるトレイおよびトレイを可動させるバーのジョイント部など、軸部材により可動部材を進退させる構成であればいかなる装置に適用してもよい。
In the above-described embodiment, the object to be measured is placed on the
本考案を実施するための最良の構成などは、以上の記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれるものである。
The best configuration for carrying out the present invention has been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, although the present invention has been illustrated and described with particular reference to particular embodiments, it will be understood that the present invention is not limited to the embodiments described above without departing from the scope of the technical idea and purpose of the present invention. Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of materials, quantity, and other detailed configurations.
Therefore, the description limited to the shape, material, etc. disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded the limitation of one part or all of such is included in this invention.
本考案は、軸部材と可動部材とを連結するジョイント機構、特に被測定物を載置するステージと、このステージを被測定物が測定される位置に移動させるフリクションバーと、を連結するジョイント機構を備えた測定器に利用できる。 The present invention relates to a joint mechanism that connects a shaft member and a movable member, and in particular, a joint mechanism that connects a stage on which a measurement object is placed and a friction bar that moves the stage to a position where the measurement object is measured. It can be used for measuring instruments equipped with
100…測定器、110…測定手段としてのカメラ装置、210…可動部材としてのステージ、220…軸部材としてのフリクションバー、232…駆動ローラ、240…ジョイント機構としてのフローティングユニット、250…可動部取付部としてのステージ取付部、251…第一支持孔、252…ボール部材としての第一ベアリング、260…第一支持軸、270…支持部材としての支持部、272…第二支持孔、273…ボール部材としての第二ベアリング、280…第二支持軸、290…軸取付部としてのバー取付部。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記可動部材が取り付けられるとともに、内部に中空状の第一中空部を有し、この第一中空部に第一支持軸が設けられる可動部取付部と、
前記第一支持軸に、この第一支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ第一支持軸を中心として回転自在に設けられるとともに、内部に中空状の第二中空部を有し、この第二中空部に前記第一支持軸と略交差する状態に配置される第二支持軸を備えた支持部材と、
前記第二支持軸に、この第二支持軸の軸方向に沿って進退自在かつ第二支持軸を中心として回転自在に設けられるとともに、前記軸部材が取り付けられる軸取付部と、
を備えたことを特徴としたジョイント機構。 A joint mechanism for connecting a shaft member provided to be movable back and forth along the axial direction and a movable member provided on one end side of the shaft member and movable by the advance and retreat of the shaft member,
The movable member is attached, and has a hollow first hollow portion inside, and a movable portion attachment portion in which a first support shaft is provided in the first hollow portion,
The first support shaft is provided so as to be movable back and forth along the axial direction of the first support shaft and rotatable about the first support shaft, and has a hollow second hollow portion therein. A support member having a second support shaft disposed in a state substantially intersecting the first support shaft in two hollow portions;
A shaft mounting portion that is provided on the second support shaft so as to be movable back and forth along the axial direction of the second support shaft and rotatable about the second support shaft, and to which the shaft member is attached,
A joint mechanism characterized by comprising
前記可動部取付部は、第一中空部と外部とを連通する第一支持孔を備え、
前記第一支持軸は、前記第一支持孔にボール部材を介して設けられた
ことを特徴としたジョイント機構。 The joint mechanism according to claim 1,
The movable part mounting part includes a first support hole that communicates the first hollow part and the outside,
The first support shaft is provided in the first support hole via a ball member.
前記支持部材は、前記第二中空部と外部とを連通する第二支持孔を備え、
前記第二支持軸は、前記第二支持孔にボール部材を介して設けられた
ことを特徴としたジョイント機構。 The joint mechanism according to claim 1 or 2,
The support member includes a second support hole that communicates the second hollow portion with the outside.
The second support shaft is provided in the second support hole via a ball member.
前記第一支持軸および前記第二支持軸は互いに略直交する状態で配設された
ことを特徴としたジョイント機構。 The joint mechanism according to any one of claims 1 to 3,
The joint mechanism, wherein the first support shaft and the second support shaft are disposed in a state of being substantially orthogonal to each other.
前記駆動ローラに当接され、この駆動ローラの回転により軸方向に進退自在な軸部材と、
前記軸部材の一端部に設けられ、被測定物を載置する可動部材と、
前記軸部材および前記可動部材を連結する請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のジョイント機構と、
前記可動部材に載置された前記被測定物を測定する測定手段と、
を具備したことを特徴とした測定器。 A driving roller that is driven to rotate, and a shaft member that is in contact with the driving roller and is movable forward and backward in the axial direction by rotation of the driving roller;
A movable member which is provided at one end of the shaft member and places an object to be measured;
The joint mechanism according to any one of claims 1 to 4, which connects the shaft member and the movable member,
Measuring means for measuring the object to be measured placed on the movable member;
A measuring instrument characterized by comprising.
Priority Applications (1)
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JP2006004848U JP3124884U (en) | 2006-06-20 | 2006-06-20 | Joint mechanism and measuring instrument |
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JP2010066058A (en) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Mitsutoyo Corp | Synchronous movement device and image measuring apparatus |
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- 2006-06-20 JP JP2006004848U patent/JP3124884U/en not_active Expired - Fee Related
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