JP3124284B2 - Vibration wave drive - Google Patents

Vibration wave drive

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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、振動波駆動装置に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a vibration wave driving device.

[従来の技術] 従来の振動波駆動装置としての振動波モータとして
は、円環形状の金属性振動弾性体に進行性の曲げ振動を
起こし、摩擦力により移動体を駆動させるタイプのもの
がカメラのオートフォーカス(AF)機構等に採用されて
いる。
[Prior art] As a conventional vibration wave motor as a vibration wave driving device, a camera that generates a progressive bending vibration in an annular metal vibration elastic body and drives a moving body by a frictional force is known as a camera. It is used in the autofocus (AF) mechanism of the camera.

しかし、このタイプの振動波モータは、振動弾性体を
リング形状としているため、摩擦力を得るための加圧機
構を含めたユニットとしてはコスト高の傾向にあり、中
空性(リング状)を要求されることのない用途としては
コスト上不利な点があった。
However, since this type of vibration wave motor has a ring-shaped vibration elastic body, it tends to be expensive as a unit including a pressurizing mechanism for obtaining frictional force, and requires hollowness (ring shape). There is a disadvantage in terms of cost as an application that is not performed.

そこで、ペンシル型等の棒状で、加圧系の構成が簡単
なタイプの振動波モータとして、第7図及び第8図に示
すようなモータが提案されている。
Therefore, a motor as shown in FIGS. 7 and 8 has been proposed as a vibration-wave motor of a rod-like shape such as a pencil type having a simple configuration of a pressurizing system.

Aはペンシル型の振動子で、ペンシル形状の前振動弾
性体1と、円柱状の後振動弾性体2との間にドーナツ状
の圧電素子板3,4を設けると共に、これら圧電素子板3,4
に交番信号としての交流電圧を印加するための電極板
(不図示)を例えば圧電素子板3,4の間に介挿し、ボル
ト6により前振動弾性体1と後振動弾性体2との間に圧
電素子板3,4及び電極板を挟持固定する。
A is a pencil-type vibrator, in which donut-shaped piezoelectric element plates 3 and 4 are provided between a pencil-shaped front vibration elastic body 1 and a cylindrical rear vibration elastic body 2, and these piezoelectric element plates 3 and 4 are provided. Four
For example, an electrode plate (not shown) for applying an alternating voltage as an alternating signal is inserted between, for example, the piezoelectric element plates 3 and 4, and a bolt 6 is provided between the front vibration elastic body 1 and the rear vibration elastic body 2. The piezoelectric element plates 3, 4 and the electrode plate are sandwiched and fixed.

圧電素子板3,4は、軸を通る断面に対称に極性を違え
て分極処理されており、圧電素子3と4はθ方向に角度
を90゜ずらして配置されている。
The piezoelectric element plates 3 and 4 are polarized with different polarities symmetrically in a cross section passing through the axis, and the piezoelectric elements 3 and 4 are arranged at an angle of 90 ° in the θ direction.

そして、各々の圧電素子に振動子の曲げ固有振動数に
近い周波数の交流電圧V1,V2を印加すると、圧電素子は
厚み方向に伸縮し、振動子は曲げ振動を行なう。このと
き、交流電圧V1と交流電圧V2は、例えば振幅及び周波数
が共に同じで、時間的位相が90度のづれを有している
と、振動子Aはその軸心を中心として縄飛びの縄のよう
な円運動(以下縄飛び振動と称す)を行なうことにな
る。また、交流電圧V1,V2の位相を逆転することにより
円運動の正逆回転が可能となる。
When AC voltages V 1 and V 2 having frequencies close to the bending natural frequency of the vibrator are applied to the respective piezoelectric elements, the piezoelectric elements expand and contract in the thickness direction, and the vibrator performs bending vibration. In this case, the AC voltages V 1 and an AC voltage V 2, for example the same amplitude and frequency are both the temporal phase has a Child of 90 degrees, the vibrator A is the rope skipping around its axis A circular motion like a rope (hereinafter referred to as a rope skipping vibration) is performed. In addition, by reversing the phases of the AC voltages V 1 and V 2 , forward and reverse rotation of the circular motion becomes possible.

一方、Rは振動子Aの軸心lと同軸に嵌合するロータ
で、その嵌合一端部が振動子の摺動部Bにバネ5のバネ
力により押圧され、振動子Aに励起される振動により摩
擦駆動されて回転する。バネ5はボルト6の先端部と、
フランジ付きのスラストベアリング7に嵌合するバネポ
スト8との間に弾装されている。
On the other hand, R is a rotor that is fitted coaxially with the axis l of the vibrator A, and one end of the fitted is pressed against the sliding portion B of the vibrator by the spring force of the spring 5 to be excited by the vibrator A. Rotation is driven by friction due to vibration. The spring 5 has a tip of a bolt 6 and
It is elastically mounted between a flanged thrust bearing 7 and a spring post 8 fitted thereto.

[発明が解決しようとする課題] ところで、このような振動波モータにおいて、圧電素
子板3と圧電素子板4による屈曲固有振動数が等しいこ
とが要求されるが、振動体1,2、圧電素子板3,4、ボルト
6の加工誤差や、電極板の加工組立誤差、また電極板に
突出形成された結線用の端子部、該端子部に固着される
配線のためのハンダ等に起因して上述した2つの屈曲固
有振動数に差が生じる場合があり、特に圧電素子板3,4
の偏心、電極板の端子部の影響が大きかった。
[Problems to be Solved by the Invention] In such a vibration wave motor, it is required that the piezoelectric element plate 3 and the piezoelectric element plate 4 have the same natural bending frequency. Due to processing errors of the plates 3, 4 and the bolts 6, processing errors of the electrode plates, connection terminal portions protrudingly formed on the electrode plates, solder for wiring fixed to the terminal portions, and the like. There may be a difference between the two bending natural frequencies described above, and particularly, the piezoelectric element plates 3 and 4
The influence of the eccentricity and the terminal part of the electrode plate was great.

駆動モードの固有振動数が離れると、固有振動数近傍
の周波数で複数の屈曲モードを生じさせ、円又は楕円運
動を得る際に、必要な振幅と位相の振動を励起するのが
困難となる。
When the natural frequencies of the drive modes are separated, a plurality of bending modes are generated at frequencies near the natural frequency, and it becomes difficult to excite vibrations of necessary amplitude and phase when obtaining circular or elliptical motion.

このため、必要な回転数やトルクが得られない、又は
変動する、損失が大きい、効率が悪い等の問題が生じて
いた。
For this reason, the required number of rotations and torque cannot be obtained or fluctuate, a large loss occurs, and the efficiency is low.

本発明は、このような従来の問題を解決し、振動子に
形成される複数の屈曲モードの振動の固有振動数を調節
することができる振動波駆動装置を提供することを目的
とする。
It is an object of the present invention to solve such a conventional problem and to provide a vibration wave driving device capable of adjusting a natural frequency of a plurality of bending mode vibrations formed in a vibrator.

[課題を解決するための手段] 本発明の目的を実現する構成は、外径円状の棒状弾性
体に配置された電気−機械エネルギー変換素子に交番信
号を印加することによって、前記弾性体に同形ではある
が方向の異なる複数の屈曲モードの振動を時間的位相差
を持たせて与えることにより前記弾性体に軸心を中心と
して円または楕円運動を行わせる振動子を有し、前記弾
性体の円又は楕円運動によって、接触する接触体と前記
振動子とが相対移動する振動波駆動装置において、前記
外径円状の弾性体の外径上に前記複数の屈曲モードの振
動での固有振動数を調節するために前記弾性体の軸心に
対する非軸対称部分を設けたことを特徴とするものであ
る。
[Means for Solving the Problems] A configuration for realizing the object of the present invention is to apply an alternating signal to an electro-mechanical energy conversion element arranged on a rod-shaped elastic body having an outer diameter to apply a signal to the elastic body. A vibrator for causing the elastic body to perform a circular or elliptical motion about an axis by giving vibrations of a plurality of bending modes having the same shape but different directions with a temporal phase difference, and In the vibration wave driving device in which the contacting body and the vibrator move relative to each other due to the circular or elliptical motion, the natural vibration of the plurality of bending modes on the outer diameter of the outer circular elastic body In order to adjust the number, a non-axisymmetric portion with respect to the axis of the elastic body is provided.

[作用] 上記した構成の振動波駆動装置は、弾性体に設けた非
対称部分により、例えば質量調整を行って、固有振動数
の調節が行え、例えば複数の屈曲モードの振動の固有振
動数差を微小にすることが可能となる。
[Operation] In the vibration wave driving device having the above-described configuration, the natural frequency can be adjusted by, for example, mass adjustment by the asymmetric portion provided in the elastic body. It is possible to reduce the size.

[実 施 例] 実施例1 第1図は本発明による振動波駆動装置を適用した振動
波モータの実施例1を示す斜視図である。
Embodiment 1 Embodiment 1 FIG. 1 is a perspective view showing Embodiment 1 of a vibration wave motor to which a vibration wave driving device according to the present invention is applied.

本実施例は、従来例と同様のペンシル型振動子Aの後
振動弾性体2にねじ孔を設け、これにねじ13を例えば径
方向に沿って螺進可能に設けている。
In this embodiment, a screw hole is provided in the rear vibrating elastic body 2 of the pencil-type vibrator A as in the conventional example, and a screw 13 is provided in this hole so that it can be screwed along, for example, a radial direction.

本実施例において、ねじ13の取付位置は、例えば圧電
素子板3の素子部を2分する中央部と平行に設けられ、
圧電素子板4のうちの1枚の素子部を2分する中央部と
は90゜のずれを有している。
In the present embodiment, the mounting position of the screw 13 is provided, for example, in parallel with a central portion that bisects the element portion of the piezoelectric element plate 3,
The center of the piezoelectric element plate 4 is shifted by 90 ° from the central part that divides one element part into two.

すなわち、ねじ13が振動子Aに付加されることによ
り、振動子の軸対称性はくずれ、2つの90゜の位相の異
なる固有振動数は縮退をとかれて分離する。
That is, when the screw 13 is added to the vibrator A, the axial symmetry of the vibrator is lost, and the two natural frequencies having different phases of 90 ° are degenerated and separated.

したがって、このねじを出し入れしたり、止めねじの
長さを変えたりすると、固有振動数差(△f)が変化
し、固有振動数差(△f)を調整することができ、電極
10の端子部11の加工誤差、リード線12の半田付け等によ
る固有振動の影響を調整することができる。
Therefore, when the screw is taken in or out or the length of the set screw is changed, the natural frequency difference (Δf) changes, and the natural frequency difference (Δf) can be adjusted.
It is possible to adjust the processing error of the terminal portion 11 of 10, the influence of natural vibration due to the soldering of the lead wire 12, and the like.

なお、本実施例において、ねじ13は中心方向に螺進可
能としているが、その必要はなく、またネジも複数箇所
設けてもよい。
In the present embodiment, the screw 13 can be screwed in the center direction. However, this is not necessary, and a plurality of screws may be provided.

実施例2 第2図は実施例2を示している。Second Embodiment FIG. 2 shows a second embodiment.

本実施例は、後振動弾性体2の底部側周壁に、スリッ
ト2aを設けたもので、このスリット2aの位置を調整する
ことにより、固有振動数差(△f)を調整する。後振動
弾性体2はねじ6をわずかにゆるめることにより回転す
ることができる。
In this embodiment, a slit 2a is provided on the bottom peripheral wall of the post-vibration elastic body 2, and the natural frequency difference (Δf) is adjusted by adjusting the position of the slit 2a. The post-vibration elastic body 2 can be rotated by slightly loosening the screw 6.

実施例3 第3図は実施例3を示している。Third Embodiment FIG. 3 shows a third embodiment.

上記した実施例2においては、後振動弾性体2にスリ
ットを設け、後振動弾性体2を回転させてスリットの位
置調整を行うことにより、固有振動数差を調整している
が、本実施例では後振動弾性体2の周部にスリットに代
えて切欠部14を設けている。
In the above-described second embodiment, the natural vibration frequency difference is adjusted by providing a slit in the post-vibration elastic body 2 and rotating the post-vibration elastic body 2 to adjust the position of the slit. In this embodiment, a notch 14 is provided in the peripheral portion of the rear vibration elastic body 2 instead of the slit.

実施例4 第4図は実施例4を示す。Fourth Embodiment FIG. 4 shows a fourth embodiment.

第1図に示す実施例1では、後弾性体2にネジ13を螺
進可能に設けているが、本実施例ではねじ13に代えて軸
15を突出させ、この軸15を必要量折って取り去ることに
より固有振動数差の調整を行うようにしている。
In the first embodiment shown in FIG. 1, a screw 13 is provided on the rear elastic body 2 so as to be screwable, but in this embodiment, a shaft 13 is used instead of the screw 13.
The natural frequency difference is adjusted by projecting the shaft 15 and breaking the shaft 15 by a necessary amount.

実施例5 第5図は実施例5を示す。Fifth Embodiment FIG. 5 shows a fifth embodiment.

本実施例は、調整用突起17を有する調整リング16を圧
電素子板3,4と同軸的に弾性体1,2間に固定し、突起17を
折り曲げることにより、固有振動数差を調整する。
In this embodiment, an adjustment ring 16 having an adjustment projection 17 is fixed between the elastic bodies 1 and 2 coaxially with the piezoelectric element plates 3 and 4, and the natural frequency difference is adjusted by bending the projection 17.

実施例6 第6図は実施例6を示す。Sixth Embodiment FIG. 6 shows a sixth embodiment.

本実施例は、質量調整のための調整板18を後振動弾性
体2の後端に設け、6角穴6aを有するボルト6′によ
り、調整板18と共に該弾性体2、圧電素子板、電極板等
を挟持固定するようにしている。
In this embodiment, an adjusting plate 18 for adjusting the mass is provided at the rear end of the post-vibration elastic body 2, and the elastic body 2, the piezoelectric element plate, and the electrodes are provided together with the adjusting plate 18 by bolts 6 ′ having hexagonal holes 6 a. A plate or the like is pinched and fixed.

本実施例は、振動子Aの軸心に対して径方向長さを不
等とした調整板18の位置を変えることにより、固有振動
数差を調整するもので、ボルト6′をゆるめて調整板18
を回転させる際、調整板18のみ回転でき、圧電素子板と
後振動弾性体との挟持面が移動することを防げる。
In the present embodiment, the natural frequency difference is adjusted by changing the position of the adjusting plate 18 having an unequal length in the radial direction with respect to the axis of the oscillator A, and the adjustment is performed by loosening the bolt 6 '. Plank 18
When rotating, only the adjustment plate 18 can be rotated, and the holding surface between the piezoelectric element plate and the post-vibration elastic body can be prevented from moving.

実施例7 第9図は実施例7を示す。Seventh Embodiment FIG. 9 shows a seventh embodiment.

上記した実施例は、後振動弾性体の位置を変えたり、
質量を付加したりして固有振動数差を調整しているが、
圧電素子板3,4の位置を変えることによっても同様に固
有振動数差の調整が可能である。
In the above embodiment, the position of the post-vibration elastic body is changed,
While adjusting the natural frequency difference by adding mass,
By changing the positions of the piezoelectric element plates 3 and 4, it is possible to adjust the natural frequency difference similarly.

本実施例は、後振動弾性体2を圧電素子板3,4を介装
して前振動体1に固定するボルト6′の頭部を後振動弾
性体2と同径に形成し、ねじをゆるめたり、締め付けた
りする操作を容易としたものである。
In this embodiment, the head of a bolt 6 ′ for fixing the rear vibration elastic body 2 to the front vibration body 1 with the piezoelectric element plates 3 and 4 interposed therebetween is formed to have the same diameter as the rear vibration elastic body 2, and a screw is formed. This facilitates the operation of loosening and tightening.

なお、第10図に示すように、ボルト6′に切欠き14を
設けてもよい。
As shown in FIG. 10, a notch 14 may be provided in the bolt 6 '.

第11図は、本発明によるモータを使用して光学レンズ
の鏡筒を駆動する場合の構成例である。
FIG. 11 shows an example of a configuration in which a lens barrel of an optical lens is driven using a motor according to the present invention.

22は移動体8と同軸的に接合された歯車で、回転出力
を歯車23に伝達し、歯車23と噛み合う歯車をもった鏡筒
24を回転させる。
Reference numeral 22 denotes a gear coaxially connected to the moving body 8. The lens barrel transmits a rotational output to the gear 23 and has a gear that meshes with the gear 23.
Rotate 24.

移動体8および鏡筒24の回転位置、回転速度を検出す
るために、光学式エンコーダスリット板25が歯車23と同
軸に配置され、フォトカプラ26で位置.速度を検出す
る。
An optical encoder slit plate 25 is arranged coaxially with the gear 23 to detect the rotational position and rotational speed of the moving body 8 and the lens barrel 24. Detect speed.

27は径方向に螺進可能なねじであり、第1の実施例と
同様な効果が得られる。
Numeral 27 is a screw which can be screwed in the radial direction, and the same effects as in the first embodiment can be obtained.

[発明の効果] 以上説明してきたように、本発明によれば、圧電素子
板等の電気−機械エネルギー変換素子により励起される
振動系の固有振動数を調節することができ、これら固有
振動を一致あるいは略等しくすることが可能となり、回
転数、トルクの上昇、安定化が図れ、効率を向上させる
ことができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the natural frequency of the vibration system excited by the electro-mechanical energy conversion element such as the piezoelectric element plate can be adjusted, and these natural vibrations can be adjusted. It is possible to make them equal or substantially equal, and increase and stabilize the number of revolutions and torque, and improve the efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明による振動波駆動装置を適用した振動波
モータの実施例1を示す斜視図、第2図(a)、(b)
は実施例2を示す縦断面図及び底部斜視図、第3図
(a)、(b)は実施例3を示す斜視図及び縦断面図、
第4図は実施例4を示す斜視図、第5図は実施例5を示
す斜視図、第6図(a)、(b)は実施例6を示す斜視
図及び縦断面図、第7図は従来の振動波モータを示す斜
視図、第8図は第7図の縦断面図、第9図は実施例7の
縦断面図、第10図(a)、(b)は実施例7の変形例を
示す縦断面図及び斜視図である。 第11図は振動波モータを用いた装置の断面図を示してい
る。 A……振動子、1……前振動弾性体 2……後振動弾性体、10……電極 11……端子部、12……リード線 13……ねじ、14……切欠部 15……軸、16……調整リング 17……突起、18……調整板
FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of a vibration wave motor to which a vibration wave driving device according to the present invention is applied, and FIGS. 2 (a) and 2 (b).
3 is a longitudinal sectional view and a bottom perspective view showing a second embodiment, and FIGS. 3 (a) and 3 (b) are perspective views and a longitudinal sectional view showing a third embodiment,
4 is a perspective view showing a fourth embodiment, FIG. 5 is a perspective view showing a fifth embodiment, FIGS. 6 (a) and 6 (b) are a perspective view and a longitudinal sectional view showing a sixth embodiment, and FIG. Is a perspective view showing a conventional vibration wave motor, FIG. 8 is a longitudinal sectional view of FIG. 7, FIG. 9 is a longitudinal sectional view of the seventh embodiment, and FIGS. It is a longitudinal section and a perspective view showing a modification. FIG. 11 is a sectional view of an apparatus using a vibration wave motor. A: Vibrator, 1: Front vibration elastic body 2: Rear vibration elastic body, 10: Electrode 11: Terminal section, 12: Lead wire 13: Screw, 14: Notch section 15: Shaft , 16 ... Adjustment ring 17 ... Protrusion, 18 ... Adjustment plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 向島 仁 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−96881(JP,A) 特開 昭63−240380(JP,A) 特開 平2−36776(JP,A) 特開 昭62−238101(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Jin Mukaijima 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (56) References JP-A-59-96881 (JP, A) JP-A-63 -240380 (JP, A) JP-A-2-36776 (JP, A) JP-A-62-238101 (JP, A)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】外径円状の棒状弾性体に配置された電気−
機械エネルギー変換素子に交番信号を印加することによ
って、前記弾性体に同形ではあるが方向の異なる複数の
屈曲モードの振動を時間的位相差を持たせて与えること
により前記弾性体に軸心を中心として円または楕円運動
を行わせる振動子を有し、前記弾性体の円又は楕円運動
によって、接触する接触体と前記振動子とが相対移動す
る振動波駆動装置において、 前記外径円状の弾性体の外径上に前記複数の屈曲モード
の振動での固有振動数を調節するために前記弾性体の軸
心に対する非軸対称部分を設けたことを特徴とする振動
波駆動装置。
1. An electric device disposed on a rod-shaped elastic body having a circular outer diameter.
By applying an alternating signal to the mechanical energy conversion element, vibrations of a plurality of bending modes having the same shape but different directions are given to the elastic body with a time phase difference so that the elastic body is centered on the axis. A vibrator that performs a circular or elliptical motion as a vibration wave driving device in which the contacting body and the vibrator relatively move by the circular or elliptical motion of the elastic body; A vibration wave driving device, wherein a non-axisymmetric portion with respect to an axis of the elastic body is provided on an outer diameter of a body to adjust a natural frequency of the plurality of bending modes.
【請求項2】前記弾性体の円または楕円運動によって前
記接触体が回転駆動され、前記接触体の回転を駆動源と
して被駆動機構は駆動されることを特徴とする請求項1
記載の振動波駆動装置。
2. The apparatus according to claim 1, wherein the contact body is driven to rotate by the circular or elliptical movement of the elastic body, and the driven mechanism is driven by using the rotation of the contact body as a drive source.
The vibration wave driving device as described in the above.
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