JP3112192B2 - Ｘ線アナライザー - Google Patents
Ｘ線アナライザーInfo
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- JP3112192B2 JP3112192B2 JP03332753A JP33275391A JP3112192B2 JP 3112192 B2 JP3112192 B2 JP 3112192B2 JP 03332753 A JP03332753 A JP 03332753A JP 33275391 A JP33275391 A JP 33275391A JP 3112192 B2 JP3112192 B2 JP 3112192B2
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- Japan
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- ray
- measurement
- time
- arithmetic
- incident
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸ線アナライザーに関す
る。更に詳しくは、本発明は、Ｘ線発生装置で発生した
Ｘ線を検出して、該Ｘ線に関する特性たとえばスペクト
ル、半価層、管電圧等を解析するための装置に関する。
る。更に詳しくは、本発明は、Ｘ線発生装置で発生した
Ｘ線を検出して、該Ｘ線に関する特性たとえばスペクト
ル、半価層、管電圧等を解析するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線アナライザーの１つとして、Ｘ線フ
ィルター（Ｘ線吸収板）とＸ線検知素子との組合せから
なるＸ線検出部にＸ線を照射することにより該Ｘ線フィ
ルターに対するＸ線の透過率を測定し、該Ｘ線透過率に
基づき照射Ｘ線の半価層や管電圧等を測定する装置が実
用化されている。
ィルター（Ｘ線吸収板）とＸ線検知素子との組合せから
なるＸ線検出部にＸ線を照射することにより該Ｘ線フィ
ルターに対するＸ線の透過率を測定し、該Ｘ線透過率に
基づき照射Ｘ線の半価層や管電圧等を測定する装置が実
用化されている。
【０００３】この様なタイプのＸ線アナライザーは、Ｘ
線検出部に入射するＸ線を継続的に電気信号に変換して
取込み、所定の演算処理を施して得られた所望の特性値
を表示させる様になっているが、従来のＸ線アナライザ
ーはＸ線検出部へのＸ線入射による検出信号の立上がり
によって測定を開始し、Ｘ線入射の停止に伴う検出信号
の立下がりによって測定を終了させるのが一般的な動作
方式であった。そして、測定の開始から終了までの間に
取込まれたデータはその間の平均値が利用されていた。
線検出部に入射するＸ線を継続的に電気信号に変換して
取込み、所定の演算処理を施して得られた所望の特性値
を表示させる様になっているが、従来のＸ線アナライザ
ーはＸ線検出部へのＸ線入射による検出信号の立上がり
によって測定を開始し、Ｘ線入射の停止に伴う検出信号
の立下がりによって測定を終了させるのが一般的な動作
方式であった。そして、測定の開始から終了までの間に
取込まれたデータはその間の平均値が利用されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかして、以上の様な
方式では、Ｘ線の入射している時間即ち測定時間が短い
場合には入射Ｘ線の全データを取込んでも処理し得る
が、例えば透視中のＸ線や歯科用Ｘ線装置、シネ方式Ｘ
線装置、ＣＴ装置等からのＸ線を測定する場合の様に、
測定時間が長時間におよぶ場合には、大記憶容量を要す
るという問題があった。また、データの取込みはＸ線入
射開始による検出信号の立上がりとともに開始する様に
なっているので、例えばＸ線入射の停止直前におけるＸ
線の特性等、連続照射されているＸ線の特定領域におけ
る特性のみを測定したい場合への対応ができないという
問題があった。
方式では、Ｘ線の入射している時間即ち測定時間が短い
場合には入射Ｘ線の全データを取込んでも処理し得る
が、例えば透視中のＸ線や歯科用Ｘ線装置、シネ方式Ｘ
線装置、ＣＴ装置等からのＸ線を測定する場合の様に、
測定時間が長時間におよぶ場合には、大記憶容量を要す
るという問題があった。また、データの取込みはＸ線入
射開始による検出信号の立上がりとともに開始する様に
なっているので、例えばＸ線入射の停止直前におけるＸ
線の特性等、連続照射されているＸ線の特定領域におけ
る特性のみを測定したい場合への対応ができないという
問題があった。
【０００５】そこで、本発明は、装置の記憶容量を増大
させることなしに、長時間にわたって入射するＸ線の所
望の領域における特性を容易に求めることが可能なＸ線
アナライザーを提供することを目的とする。
させることなしに、長時間にわたって入射するＸ線の所
望の領域における特性を容易に求めることが可能なＸ線
アナライザーを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記目
的を達成するものとして、Ｘ線入射側にそれぞれ厚さの
異なるＸ線フィルターを配置した複数のＸ線検出器を含
んでなるＸ線検出部と、該Ｘ線検出部の複数のＸ線検出
器からの出力に基づき演算処理して入射Ｘ線に関する特
性を測定する演算手段とを備えているＸ線アナライザー
において、前記Ｘ線検出部へのＸ線入射が開始した時か
ら前記演算手段における測定開始までの時間と該演算手
段における測定予定時間とを設定する手段を有すること
を特徴とする、Ｘ線アナライザー、が提供される。
的を達成するものとして、Ｘ線入射側にそれぞれ厚さの
異なるＸ線フィルターを配置した複数のＸ線検出器を含
んでなるＸ線検出部と、該Ｘ線検出部の複数のＸ線検出
器からの出力に基づき演算処理して入射Ｘ線に関する特
性を測定する演算手段とを備えているＸ線アナライザー
において、前記Ｘ線検出部へのＸ線入射が開始した時か
ら前記演算手段における測定開始までの時間と該演算手
段における測定予定時間とを設定する手段を有すること
を特徴とする、Ｘ線アナライザー、が提供される。
【０００７】本発明においては、前記Ｘ線検出部へのＸ
線入射が開始した時から前記演算手段における測定開始
までの時間と該演算手段における測定予定時間とを設定
する手段が、２つのタイマーを用いてなるものである、
態様がある。
線入射が開始した時から前記演算手段における測定開始
までの時間と該演算手段における測定予定時間とを設定
する手段が、２つのタイマーを用いてなるものである、
態様がある。
【０００８】また、本発明においては、前記演算手段に
おける測定開始時から前記測定予定時間を経過した時に
前記演算手段における測定を終了する、態様がある。そ
して、ここで、前記演算手段における測定開始時から前
記測定予定時間を経過する前に前記Ｘ線検出部へのＸ線
入射が停止した時には、直ちに前記演算手段における測
定を終了することができる。
おける測定開始時から前記測定予定時間を経過した時に
前記演算手段における測定を終了する、態様がある。そ
して、ここで、前記演算手段における測定開始時から前
記測定予定時間を経過する前に前記Ｘ線検出部へのＸ線
入射が停止した時には、直ちに前記演算手段における測
定を終了することができる。
【０００９】更に、本発明においては、前記演算手段に
おける演算処理により測定された入射Ｘ線に関する特性
を表示する手段を有する、態様がある。
おける演算処理により測定された入射Ｘ線に関する特性
を表示する手段を有する、態様がある。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の具体的実
施例を説明する。
施例を説明する。
【００１１】図１は本発明によるＸ線アナライザーの一
実施例の構成を示すブロック図であり、図２はそのＸ線
検出部を示す断面図である。
実施例の構成を示すブロック図であり、図２はそのＸ線
検出部を示す断面図である。
【００１２】図２に示す様に、Ｘ線検出部１０１は、隔
壁により区画された複数の小室を有する外囲器８の各小
室内に、基準Ｘ線検出器１ｓ及び複数のＸ線検出器１
ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄが配設されて構成されたものであ
る。基準Ｘ線検出器１ｓは、入射Ｘ線Ｌをその入射量に
比例する量の蛍光に変換するシンチレーターたる蛍光板
９ｓと、この蛍光板に密着してＸ線入射面と反対の面に
設けられ前記蛍光を検出する光検出器１１ｓとからな
る。Ｘ線検出器１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、それぞれ入
射Ｘ線Ｌをその入射量に比例する量の蛍光に変換するシ
ンチレーターたる蛍光板９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄと、こ
れら蛍光板のＸ線入射面の前にそれぞれ設けられた同種
材料からなり厚みの異なるＸ線フィルター１０ａ，１０
ｂ，１０ｃ，１０ｄと、前記蛍光板のＸ線入射面と反対
の面に密着させてそれぞれ設けられ前記蛍光を検出する
光検出器１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄとからなる。
ここで、Ｘ線フィルター１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０
ｄの厚さをそれぞれｔa ，ｔb，ｔc ，ｔd とすると、
本実施例においてはｔa ＜ｔb ＜ｔc ＜ｔd である。
壁により区画された複数の小室を有する外囲器８の各小
室内に、基準Ｘ線検出器１ｓ及び複数のＸ線検出器１
ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄが配設されて構成されたものであ
る。基準Ｘ線検出器１ｓは、入射Ｘ線Ｌをその入射量に
比例する量の蛍光に変換するシンチレーターたる蛍光板
９ｓと、この蛍光板に密着してＸ線入射面と反対の面に
設けられ前記蛍光を検出する光検出器１１ｓとからな
る。Ｘ線検出器１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、それぞれ入
射Ｘ線Ｌをその入射量に比例する量の蛍光に変換するシ
ンチレーターたる蛍光板９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄと、こ
れら蛍光板のＸ線入射面の前にそれぞれ設けられた同種
材料からなり厚みの異なるＸ線フィルター１０ａ，１０
ｂ，１０ｃ，１０ｄと、前記蛍光板のＸ線入射面と反対
の面に密着させてそれぞれ設けられ前記蛍光を検出する
光検出器１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄとからなる。
ここで、Ｘ線フィルター１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０
ｄの厚さをそれぞれｔa ，ｔb，ｔc ，ｔd とすると、
本実施例においてはｔa ＜ｔb ＜ｔc ＜ｔd である。
【００１３】本実施例において、前記Ｘ線検出器は基準
Ｘ線検出器１ｓを含めて５個設けたが、本発明において
は、Ｘ線検出器は最低２個あればよい。特に、Ｘ線スペ
クトル測定で精度を向上させるためには、Ｘ線検出部１
０１に配設されるＸ線検出器の数は多いほどよい。
Ｘ線検出器１ｓを含めて５個設けたが、本発明において
は、Ｘ線検出器は最低２個あればよい。特に、Ｘ線スペ
クトル測定で精度を向上させるためには、Ｘ線検出部１
０１に配設されるＸ線検出器の数は多いほどよい。
【００１４】外囲器８は各Ｘ線検出器１ｓ，１ａ〜１ｄ
の保護と外光の侵入及び他の蛍光板からの蛍光の漏洩の
防止のために設けられたものであり、Ｘ線吸収が少な
く、所望の硬度を有し、外光及び蛍光を透過させない材
質が選択され、例えば着色アクリル板やベークライト板
等のプラスチックが用いられる。
の保護と外光の侵入及び他の蛍光板からの蛍光の漏洩の
防止のために設けられたものであり、Ｘ線吸収が少な
く、所望の硬度を有し、外光及び蛍光を透過させない材
質が選択され、例えば着色アクリル板やベークライト板
等のプラスチックが用いられる。
【００１５】Ｘ線フィルター１０ａ〜１０ｄとしては、
Ｘ線吸収能が大きく、数ｍｍ以下の厚さのものであって
も厚さ変化に対してＸ線透過率変化の大きい材質が好ま
しく、例えばＣｕ，Ａｌ，Ｓｎ，Ｐｂ等の金属板が好適
に用いられる。
Ｘ線吸収能が大きく、数ｍｍ以下の厚さのものであって
も厚さ変化に対してＸ線透過率変化の大きい材質が好ま
しく、例えばＣｕ，Ａｌ，Ｓｎ，Ｐｂ等の金属板が好適
に用いられる。
【００１６】蛍光板９ｓ，９ａ〜９ｄとしては、ＣａＷ
Ｏ4 ，Ｂｉ4 Ｇｅ3 Ｏ12，ＺｎＳ：Ａｇ，ＺｎＳ：Ｃ
ｕ，ＢａＦＣｌ：Ｅｕ，ＬａＯＢｒ：Ｔｍ，（Ｚｎ，Ｃ
ｄ）Ｓ：Ａｇ，Ｙ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔｂ，Ｇｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔ
ｂ，Ｇｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｐｒ等の、Ｘ線照射により高効率に
発光するＸ線用蛍光体を含んでなる蛍光膜を紙やプラス
チック等の支持体上に形成したものや、支持体を有さず
蛍光膜そのものからなる自己支持型蛍光板が使用され
る。
Ｏ4 ，Ｂｉ4 Ｇｅ3 Ｏ12，ＺｎＳ：Ａｇ，ＺｎＳ：Ｃ
ｕ，ＢａＦＣｌ：Ｅｕ，ＬａＯＢｒ：Ｔｍ，（Ｚｎ，Ｃ
ｄ）Ｓ：Ａｇ，Ｙ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔｂ，Ｇｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔ
ｂ，Ｇｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｐｒ等の、Ｘ線照射により高効率に
発光するＸ線用蛍光体を含んでなる蛍光膜を紙やプラス
チック等の支持体上に形成したものや、支持体を有さず
蛍光膜そのものからなる自己支持型蛍光板が使用され
る。
【００１７】光検出器１１ｓ，１１ａ〜１１ｄとして
は、蛍光板９ｓ，９ａ〜９ｄが発する蛍光を電気的信号
に変換するフォトダイオードや光電子増倍管等の光電変
換素子が使用される。
は、蛍光板９ｓ，９ａ〜９ｄが発する蛍光を電気的信号
に変換するフォトダイオードや光電子増倍管等の光電変
換素子が使用される。
【００１８】尚、本発明においては、Ｘ線検出部１０１
を構成する各Ｘ線検出器１ｓ，１ａ〜１ｄのＸ線を検知
する部分（Ｘ線フィルター１０ａ〜１０ｄ以外の部分）
には、図２に示した様な構成に代えて、電離箱や半導体
検出器等の放射線検出器を配してもよい。
を構成する各Ｘ線検出器１ｓ，１ａ〜１ｄのＸ線を検知
する部分（Ｘ線フィルター１０ａ〜１０ｄ以外の部分）
には、図２に示した様な構成に代えて、電離箱や半導体
検出器等の放射線検出器を配してもよい。
【００１９】また、本発明においては、Ｘ線フィルター
の透過率曲線の勾配から入射Ｘ線の管電圧を測定する管
電圧計として使用する場合等には、Ｘ線検出部１０１を
構成するＸ線検出器のうち基準Ｘ線検出器１ｓは設けな
くともよい。
の透過率曲線の勾配から入射Ｘ線の管電圧を測定する管
電圧計として使用する場合等には、Ｘ線検出部１０１を
構成するＸ線検出器のうち基準Ｘ線検出器１ｓは設けな
くともよい。
【００２０】次に、図１に示す装置の動作を説明する。
【００２１】Ｘ線検出部１０１に入射したＸ線は、電気
信号に変換され、増幅部１０２に入力されて増幅され
る。該増幅部１０２の出力信号は、コンパレーター１０
３に入力されるとともに、ＡＤＣ（アナログ−デジタル
コンバーター）１０４によってデジタル化され、またＶ
ＦＣ（電圧−周波数変換器）１０５及びカウンター１０
６によってデジタル化される。これらのデジタル化はＣ
ＰＵ１０７からの指令により行われ、Ｘ線管電圧やＸ線
エネルギー分布やＸ線波形を測定する場合にはＡＤＣ１
０４が作動せしめられ、またＸ線の半価層や線量を測定
する場合にはカウンター１０６が作動せしめられる。そ
れぞれの出力はＣＰＵ１０７に入力され、メモリー１０
８に保存される。また、コンパレーター１０３からＣＰ
Ｕ１０７へは、Ｘ線検出部１０１からの出力の有無を示
すＸ線入射信号が入力される。
信号に変換され、増幅部１０２に入力されて増幅され
る。該増幅部１０２の出力信号は、コンパレーター１０
３に入力されるとともに、ＡＤＣ（アナログ−デジタル
コンバーター）１０４によってデジタル化され、またＶ
ＦＣ（電圧−周波数変換器）１０５及びカウンター１０
６によってデジタル化される。これらのデジタル化はＣ
ＰＵ１０７からの指令により行われ、Ｘ線管電圧やＸ線
エネルギー分布やＸ線波形を測定する場合にはＡＤＣ１
０４が作動せしめられ、またＸ線の半価層や線量を測定
する場合にはカウンター１０６が作動せしめられる。そ
れぞれの出力はＣＰＵ１０７に入力され、メモリー１０
８に保存される。また、コンパレーター１０３からＣＰ
Ｕ１０７へは、Ｘ線検出部１０１からの出力の有無を示
すＸ線入射信号が入力される。
【００２２】設定時間入力器１０９からＣＰＵ１０７へ
は、Ｘ線検出部１０１へのＸ線入射が開始した時から測
定開始までの時間Ｔ1 と測定予定時間（Ｔ2 −Ｔ1 ）と
が入力される。これに基づき、ＣＰＵ１０７から第１タ
イマー１１０及び第２タイマー１１１へと、時間Ｔ1 及
び時間Ｔ2 の信号が入力される（タイマーセット）。
は、Ｘ線検出部１０１へのＸ線入射が開始した時から測
定開始までの時間Ｔ1 と測定予定時間（Ｔ2 −Ｔ1 ）と
が入力される。これに基づき、ＣＰＵ１０７から第１タ
イマー１１０及び第２タイマー１１１へと、時間Ｔ1 及
び時間Ｔ2 の信号が入力される（タイマーセット）。
【００２３】そして、ＣＰＵ１０７での演算処理により
得られたＸ線特性測定の結果が表示器１１２に入力さ
れ、表示がなされる。
得られたＸ線特性測定の結果が表示器１１２に入力さ
れ、表示がなされる。
【００２４】図３は、前記ＣＰＵ１０７の動作を示すフ
ローチャートであり、図４及び図５は信号のタイムチャ
ートである：先ず、設定時間入力器１０９からの入力に
基づき第１タイマー１１０及び第２タイマー１１１のセ
ットを行う（ＳＴ１）；次に、コンパレーター１０３か
らの入力に基づきＸ線入射が開始されたか否かを判定
し、判定ＮＯの場合にはこの動作を継続する（ＳＴ
２）；次に、Ｘ線入射開始があった時、第１タイマー１
１０及び第２タイマー１１１をスタートさせる（ＳＴ
３）；次に、第１タイマー１１０から時間Ｔ1 経過の信
号入力があるか否かを判定し、判定ＮＯの場合にはこの
動作を継続する（ＳＴ４）；次に、時間Ｔ1 経過後に、
ＡＤＣ１０４及び／またはカウンター１０６の作動開始
を指令し、測定を開始する（ＳＴ５）；次に、コンパレ
ーター１０３からの入力に基づきＸ線入射が停止された
か否かを判定する（ＳＴ６）；次に、ＳＴ６で判定ＮＯ
の場合には、第２タイマー１１１から時間Ｔ2 経過の信
号入力があるか否かを判定し、判定ＮＯの場合にはこの
動作を継続する（ＳＴ７）；次に、ＳＴ７で判定ＹＥＳ
の場合及びＳＴ６で判定ＹＥＳの場合には、ＡＤＣ１０
４及び／またはカウンター１０６の作動停止を指令し、
測定を終了する（ＳＴ８）。
ローチャートであり、図４及び図５は信号のタイムチャ
ートである：先ず、設定時間入力器１０９からの入力に
基づき第１タイマー１１０及び第２タイマー１１１のセ
ットを行う（ＳＴ１）；次に、コンパレーター１０３か
らの入力に基づきＸ線入射が開始されたか否かを判定
し、判定ＮＯの場合にはこの動作を継続する（ＳＴ
２）；次に、Ｘ線入射開始があった時、第１タイマー１
１０及び第２タイマー１１１をスタートさせる（ＳＴ
３）；次に、第１タイマー１１０から時間Ｔ1 経過の信
号入力があるか否かを判定し、判定ＮＯの場合にはこの
動作を継続する（ＳＴ４）；次に、時間Ｔ1 経過後に、
ＡＤＣ１０４及び／またはカウンター１０６の作動開始
を指令し、測定を開始する（ＳＴ５）；次に、コンパレ
ーター１０３からの入力に基づきＸ線入射が停止された
か否かを判定する（ＳＴ６）；次に、ＳＴ６で判定ＮＯ
の場合には、第２タイマー１１１から時間Ｔ2 経過の信
号入力があるか否かを判定し、判定ＮＯの場合にはこの
動作を継続する（ＳＴ７）；次に、ＳＴ７で判定ＹＥＳ
の場合及びＳＴ６で判定ＹＥＳの場合には、ＡＤＣ１０
４及び／またはカウンター１０６の作動停止を指令し、
測定を終了する（ＳＴ８）。
【００２５】本実施例では、時間Ｔ2 経過またはＸ線入
射停止のうちのいずれかが実現した時点で測定を終了す
る。即ち、図４に示されている様にＸ線入射停止前に時
間Ｔ2 が経過した場合には時間Ｔ2 経過時に測定を終了
するし、図５に示されている様に時間Ｔ2 経過前にＸ線
入射が停止した場合には予定した測定時間の測定を行わ
ずにＸ線入射停止時に測定を終了する。
射停止のうちのいずれかが実現した時点で測定を終了す
る。即ち、図４に示されている様にＸ線入射停止前に時
間Ｔ2 が経過した場合には時間Ｔ2 経過時に測定を終了
するし、図５に示されている様に時間Ｔ2 経過前にＸ線
入射が停止した場合には予定した測定時間の測定を行わ
ずにＸ線入射停止時に測定を終了する。
【００２６】尚、上記実施例ではＸ線入射開始の時点で
第２タイマー１１１をスタートさせる場合が示されてい
るが、第２タイマー１１１のスタートは時間Ｔ1 の経過
時点としてもよい。但し、この場合には時間Ｔ2 が測定
予定時間となる。
第２タイマー１１１をスタートさせる場合が示されてい
るが、第２タイマー１１１のスタートは時間Ｔ1 の経過
時点としてもよい。但し、この場合には時間Ｔ2 が測定
予定時間となる。
【００２７】
【発明の効果】以上の様に、本発明のＸ線アナライザー
によれば、測定開始時と測定予定時間とを自由に設定で
きるので、入射Ｘ線の所望時間領域における特性を測定
でき、特に長時間にわたって入射するＸ線であっても装
置の記憶容量を増大させることなしに所望領域における
特性を容易に求めることが可能である。
によれば、測定開始時と測定予定時間とを自由に設定で
きるので、入射Ｘ線の所望時間領域における特性を測定
でき、特に長時間にわたって入射するＸ線であっても装
置の記憶容量を増大させることなしに所望領域における
特性を容易に求めることが可能である。
【図１】本発明によるＸ線アナライザーの一実施例の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図２】図１のＸ線アナライザーのＸ線検出部を示す断
面図である。
面図である。
【図３】図１のＸ線アナライザーのＣＰＵの動作を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図４】図１のＸ線アナライザーにおける信号のタイム
チャートである。
チャートである。
【図５】図１のＸ線アナライザーにおける信号のタイム
チャートである。
チャートである。
１ｓ，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ Ｘ線検出器 ９ｓ，９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ 蛍光板 １０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ Ｘ線フィルター １１ｓ，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ 光検出器 １０１ Ｘ線検出部
Claims (5)
- 【請求項１】 Ｘ線入射側にそれぞれ厚さの異なるＸ線
フィルターを配置した複数のＸ線検出器を含んでなるＸ
線検出部と、該Ｘ線検出部の複数のＸ線検出器からの出
力に基づき演算処理して入射Ｘ線に関する特性を測定す
る演算手段とを備えているＸ線アナライザーにおいて、 前記Ｘ線検出部へのＸ線入射が開始した時から前記演算
手段における測定開始までの時間と該演算手段における
測定予定時間とを設定する手段を有することを特徴とす
る、Ｘ線アナライザー。 - 【請求項２】 前記Ｘ線検出部へのＸ線入射が開始した
時から前記演算手段における測定開始までの時間と該演
算手段における測定予定時間とを設定する手段が、２つ
のタイマーを用いてなるものである、請求項１に記載の
Ｘ線アナライザー。 - 【請求項３】 前記演算手段における測定開始時から前
記測定予定時間を経過した時に前記演算手段における測
定を終了する、請求項１に記載のＸ線アナライザー。 - 【請求項４】 前記演算手段における測定開始時から前
記測定予定時間を経過する前に前記Ｘ線検出部へのＸ線
入射が停止した時には、直ちに前記演算手段における測
定を終了する、請求項３に記載のＸ線アナライザー。 - 【請求項５】 前記演算手段における演算処理により測
定された入射Ｘ線に関する特性を表示する手段を有す
る、請求項１に記載のＸ線アナライザー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03332753A JP3112192B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | Ｘ線アナライザー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03332753A JP3112192B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | Ｘ線アナライザー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05144591A JPH05144591A (ja) | 1993-06-11 |
| JP3112192B2 true JP3112192B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=18258469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03332753A Expired - Fee Related JP3112192B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | Ｘ線アナライザー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3112192B2 (ja) |
-
1991
- 1991-11-22 JP JP03332753A patent/JP3112192B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05144591A (ja) | 1993-06-11 |
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