JP3105275B2 - Method for manufacturing plasma display panel - Google Patents

Method for manufacturing plasma display panel

Info

Publication number
JP3105275B2
JP3105275B2 JP3482191A JP3482191A JP3105275B2 JP 3105275 B2 JP3105275 B2 JP 3105275B2 JP 3482191 A JP3482191 A JP 3482191A JP 3482191 A JP3482191 A JP 3482191A JP 3105275 B2 JP3105275 B2 JP 3105275B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge
aging
gas
plasma display
display panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP3482191A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04274134A (en
Inventor
信雅 髭本
一郎 小岩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
Priority to JP3482191A priority Critical patent/JP3105275B2/en
Publication of JPH04274134A publication Critical patent/JPH04274134A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3105275B2 publication Critical patent/JP3105275B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマ放電で発生し
た励起原子が放射する可視光、あるいは紫外線等を利用
して表示を行うプラズマディスプレイパネルの製造方
法、特に表示放電に先立って放電電極を活性化し良好な
表示特性を得るためのエージング処理(フォーミング)
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a plasma display panel for displaying by utilizing visible light or ultraviolet light emitted by excited atoms generated by plasma discharge, and more particularly, to a method of forming a discharge electrode prior to display discharge. Aging treatment (forming) to activate and obtain good display characteristics
It is about.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ディスプレイパネルは、ディスプ
レイ装置に設けられ、駆動回路及び他の周辺部品等と共
に機能して、複数の画素から選択的に光を出射させて文
字、図形等の表示を行うものであり、大別して発光型と
非発光型がある。発光型ディスプレイパネルは、液晶デ
ィスプレイパネル等の非発光型ディスプレイパネルと共
に、コンピュータやテレビジョンあるいはその他のディ
スプレイ装置に対して種々の適用が図られており、代表
的なものとして、広い視野角、良好なコントラスト比な
どの高性能が得られ、小型軽量化に適しているプラズマ
ディスプレイパネル(PDP)がある。その中でも、特
にDC型プラズマディスプレイパネルは、構造が簡単で
あるために大型化が容易であるという利点を有してい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, a display panel is provided in a display device and functions together with a drive circuit and other peripheral parts to selectively emit light from a plurality of pixels to display characters, figures, and the like. These are roughly classified into a light-emitting type and a non-light-emitting type. The light-emitting display panel has been applied to computers, televisions, and other display devices in various ways, together with non-light-emitting display panels such as liquid crystal display panels. There is a plasma display panel (PDP) that has high performance such as a high contrast ratio and is suitable for reduction in size and weight. Among them, the DC plasma display panel has an advantage that it is easy to increase the size because of its simple structure.

【0003】図2は、DC型プラズマディスプレイパネ
ルの一構成例を概略的に示す外観図である。図中、パネ
ルの内部構造を分かり易くするためにその一部を切り欠
いて示してある。
FIG. 2 is an external view schematically showing a configuration example of a DC plasma display panel. In the figure, a part of the panel is cut away for easy understanding of the internal structure of the panel.

【0004】このプラズマディスプレイパネルは、プラ
ズマ放電によって表示を行うもので、微小間隔を隔てて
対向配置され内側に放電空間を形成する2つのパネル
板、例えば光透過性の前面板1と絶縁性の背面板2を備
えている。前面板1の対向面上には、ストライプ状の陽
極3(アノード)が複数並列配置され、背面板2の対向
面上には、陽極3と交差する方向にストライプ状の陰極
4(カソード)が複数並列配置されている。また、前面
板1及び背面板2間には、各陽極3に沿って放電空間を
区切る複数の隔壁5が形成されており、さらに、この放
電空間内部にはプラズマ放電のための表示放電用放電ガ
スが所定の封入ガス圧で封入されている。図2のプラズ
マディスプレイパネルを動作させる場合、他の駆動回路
等からの駆動信号を、所定の陽極3及び陰極4間に印加
すると、その電極間にキャリアの移動が起こる。このキ
ャリア移動により電極交差点上、即ち画素(単位セル)
上の放電ガスが励起し、その画素が発光する。このよう
な画素の発光を、駆動信号を調整することによって選択
的に行わせれば、所望の文字、図形等の表示を行える。
This plasma display panel performs display by plasma discharge, and is disposed opposite to each other at a small interval to form a discharge space inside, for example, a light-transmitting front plate 1 and an insulating front plate 1. A back plate 2 is provided. A plurality of striped anodes 3 (anodes) are arranged in parallel on the facing surface of front plate 1, and striped cathodes 4 (cathodes) are arranged on the facing surface of back plate 2 in a direction intersecting anode 3. A plurality are arranged in parallel. A plurality of partitions 5 are formed between the front plate 1 and the back plate 2 along the anodes 3 to divide a discharge space. Further, a discharge for display discharge for plasma discharge is formed inside the discharge space. Gas is sealed at a predetermined gas pressure. When operating the plasma display panel of FIG. 2, when a driving signal from another driving circuit or the like is applied between a predetermined anode 3 and a predetermined cathode 4, carriers move between the electrodes. Due to this carrier movement, on the electrode intersection, ie, pixel (unit cell)
The upper discharge gas is excited, and the pixel emits light. If the light emission of such pixels is selectively performed by adjusting the drive signal, desired characters, figures, and the like can be displayed.

【0005】図3は、従来のプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法の一構成例を示すフローチャートであり、
図4は、図2のプラズマディスプレイパネルを製造する
場合におけるエージング処理時の放電の様子を示す図で
ある。図中、図2と共通の要素には共通の符号が付され
ている。
FIG. 3 is a flowchart showing an example of a configuration of a conventional method of manufacturing a plasma display panel.
FIG. 4 is a diagram showing a state of discharge at the time of aging processing in the case of manufacturing the plasma display panel of FIG. In the figure, the same elements as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals.

【0006】以下、図2、図3及び図4を用いて、従来
のプラズマディスプレイパネルの製造方法の一構成例に
ついて説明する。
A configuration example of a conventional plasma display panel manufacturing method will be described below with reference to FIGS. 2, 3 and 4.

【0007】例えば、図3に示した従来のプラズマディ
スプレイパネルの製造方法によれば、図2のプラズマデ
ィスプレイパネルが、図3中の各ステップ101〜10
4に対応した以下のような各工程(I)〜(III)を経て
製造される。
For example, according to the conventional method for manufacturing a plasma display panel shown in FIG. 3, the plasma display panel shown in FIG.
It is manufactured through the following steps (I) to (III) corresponding to No. 4.

【0008】(I) ステップ101の工程 先ず、透明ガラス等の前面板1上に、例えば透明導電材
料等を用いて陽極3を形成し、一方で、背面板2上に、
例えばNiなどを用いて陰極4を形成する。また、前面
板1または背面板2のいずれかに隔壁5を形成する。
(I) Step 101 First, an anode 3 is formed on a front plate 1 such as a transparent glass using a transparent conductive material or the like.
For example, the cathode 4 is formed using Ni or the like. The partition 5 is formed on either the front plate 1 or the back plate 2.

【0009】(II) ステップ102,103の工程 次に、前面板1及び背面板2を、それぞれの電極同志が
交差して対向するように配置すると共に、例えば鉛ガラ
ス等のシールド材料を用いて両面板を封着して放電空間
を形成し、その放電空間内部の気体を排気する(ステッ
プ102)。その放電空間に、例えば希ガスなどで構成
されるプラズマ放電のための表示放電用放電ガスを所定
の封入ガス圧で封入する(ステップ103)。
(II) Steps 102 and 103 Next, the front plate 1 and the back plate 2 are arranged so that the respective electrodes cross each other and face each other, and a shield material such as lead glass is used. The double-sided plate is sealed to form a discharge space, and the gas inside the discharge space is exhausted (step 102). In the discharge space, a discharge gas for display discharge for plasma discharge composed of, for example, a rare gas is filled at a predetermined filling gas pressure (step 103).

【0010】(III) ステップ104の工程 これまで経たステップ101〜103の工程によって、
所望するプラズマディスプレイパネルの構造は得られる
が、このままでは放電電極の活性化が十分になされてい
ないため、エージング処理を施す必要がある。
(III) Step 104 Step By the steps 101 to 103 which have been performed so far,
Although the desired structure of the plasma display panel can be obtained, it is necessary to perform an aging process because the discharge electrodes are not sufficiently activated in this state.

【0011】この場合のエージング処理とは、例えば文
献 テレビジョン学会技術報告、12[49](198
8)p.43〜48「印刷法LaBa陰極を用いたDC
プラズマディスプレイ」にも記載されるように、表示放
電に先立って、放電電極の表面を表示放電とは異なる放
電により活性化させて表面上等の不純物の除去(フォー
ミング)を行うものである。
The aging process in this case is described, for example, in the technical report of the Institute of Television Engineers of Japan, 12 [49] (198).
8) p. 43-48 "DC using LaBa cathode printed
As described in "Plasma display", prior to the display discharge, the surface of the discharge electrode is activated by a discharge different from the display discharge to remove (forming) impurities on the surface and the like.

【0012】即ち、図2のプラズマディスプレイパネル
をみると分かるように、陰極4はキャリアを発生する放
電電極であるが、この陰極4の表面が放電空間に露出し
ている。このため、陰極4の形成材料の特性と、パネル
の表示品質や寿命との相関性が高く、陰極4の表面状態
の制御が重要となる。例えば前記(II)の工程終了後の
陰極4の表面状態の一例を図5に示す。なお、図5は、
従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法でのエー
ジング処理前の陰極4表面の断面図である。
That is, as can be seen from the plasma display panel of FIG. 2, the cathode 4 is a discharge electrode for generating carriers, and the surface of the cathode 4 is exposed to a discharge space. Therefore, there is a high correlation between the characteristics of the material for forming the cathode 4 and the display quality and life of the panel, and it is important to control the surface state of the cathode 4. For example, FIG. 5 shows an example of the surface state of the cathode 4 after the completion of the step (II). In addition, FIG.
It is sectional drawing of the cathode 4 before the aging process in the manufacturing method of the conventional plasma display panel.

【0013】図5から分かるように、この陰極4表面に
は、例えば陰極材料をつなぐためのバインダ6(例えば
鉛ガラスなど)が付着していたり、封着時に使用したシ
ールド材の成分による酸化や陰極材料に含まれるバイン
ダ6の溶融によりできた酸化物7が付着していたりす
る。そのため、例えば上記文献にも記載されるように、
プラズマディスプレイパネルを実用に供する前に、エー
ジング処理によりフォーミングを行って、陰極4表面に
あるバインダ6や酸化物7を放電により除去し、陰極4
表面全体を均一に活性化する必要がある。もし、このよ
うな陰極4表面の不純物が除去されないまま残存する
と、表示放電時に、活性化された部分の陰極4表面のみ
に集中的に放電が起こって電流が多く流れ、そのために
パネルの寿命を縮めてしまったり、輝点の発生をもたら
して表示品質を劣化させたりしてしまう。
As can be seen from FIG. 5, for example, a binder 6 (for example, lead glass) for connecting the cathode material adheres to the surface of the cathode 4 or oxidation or oxidization due to the components of the shielding material used at the time of sealing. Oxide 7 formed by melting binder 6 contained in the cathode material may adhere. Therefore, for example, as described in the above document,
Before putting the plasma display panel into practical use, forming is performed by aging treatment to remove the binder 6 and the oxide 7 on the surface of the cathode 4 by discharging.
It is necessary to uniformly activate the entire surface. If such impurities on the surface of the cathode 4 remain without being removed, intensive discharge will occur only in the activated portion of the surface of the cathode 4 during display discharge, and a large amount of current will flow. The display quality is degraded due to shrinkage or the occurrence of bright spots.

【0014】このような不都合を防ぐためにエージング
処理を行うが、それには、例えば図4に模式的に示すよ
うに印加電圧(V)及び抵抗(R)などを適宜設けて陽
極3及び陰極4間に所定の電圧、電流のエージング用信
号を一定時間印加する。すると、陽極3及び陰極4間に
放電が(通常は図4中の点を付した領域に)起こり、陰
極4表面が活性化される。
In order to prevent such inconvenience, an aging process is carried out. For example, as shown schematically in FIG. 4, an applied voltage (V) and a resistor (R) are provided as appropriate and the anode 3 and the cathode 4 are provided. A predetermined voltage and current aging signal is applied for a certain period of time. Then, a discharge occurs between the anode 3 and the cathode 4 (usually in a region indicated by a dot in FIG. 4), and the surface of the cathode 4 is activated.

【0015】以上のようにして、良好な表示品質を得て
長寿命化を図るための必要条件であるエージング処理を
行い、放電電極表面を均一に活性化すれば、所望のプラ
ズマディスプレイパネルの製造が終了する。この従来の
製造方法により製造されたプラズマディスプレイパネル
では、エージング処理を施したために、放電電極が活性
化され、良好な表示品質及び長寿命が得られる。
As described above, by performing aging treatment, which is a necessary condition for obtaining good display quality and extending the life, and uniformly activating the discharge electrode surface, a desired plasma display panel can be manufactured. Ends. In the plasma display panel manufactured by the conventional manufacturing method, since the aging treatment is performed, the discharge electrodes are activated, and good display quality and long life are obtained.

【0016】[0016]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成のプラズマディスプレイパネルの製造方法では、次の
ような課題があった。
However, the method for manufacturing a plasma display panel having the above-described structure has the following problems.

【0017】例えば従来の製造方法では、エージング処
理時に、図4中に点を付した領域のように画素部分の電
極表面(開口部)全域に放電を広げて、その陰極4表面
全体で均一に放電を起こさせ表面活性化の均一性を向上
させるためには、放電ガスの封入ガス圧を低くして、電
極間の抵抗を高くする必要がある。
For example, in the conventional manufacturing method, at the time of the aging treatment, the discharge is spread over the entire electrode surface (opening) of the pixel portion as shown by the dotted region in FIG. In order to cause a discharge and improve the uniformity of the surface activation, it is necessary to lower the gas pressure of the discharge gas and increase the resistance between the electrodes.

【0018】即ち、プラズマ放電のメカニズムを考える
と分かるように、エージング処理時の放電によって陽極
3及び陰極4間に電荷をもった粒子(キャリア)の移動
が起こり電流が流れるが、この電荷をもった粒子は、放
電ガスが電離してできるイオンと電子なので、封入ガス
圧を低くすると放電ガスの原子数が少なくなり、イオン
と電子の数も少なくなって、電極間の抵抗が高くなる。
これにより、エージング用信号の電流を、開口部の一部
分のみでの放電では流すことができなくなり、放電が開
口部全体にわたって起こる。
That is, as can be understood from the mechanism of plasma discharge, the discharge during the aging process causes the movement of charged particles (carriers) between the anode 3 and the cathode 4 to cause a current to flow. The particles are ions and electrons formed by ionization of the discharge gas. Therefore, when the pressure of the sealing gas is reduced, the number of atoms in the discharge gas decreases, the number of ions and electrons decreases, and the resistance between the electrodes increases.
This makes it impossible to flow the current of the aging signal by discharging only a part of the opening, and the discharging occurs over the entire opening.

【0019】しかし、放電ガスの封入ガス圧を低くし
て、電極間の抵抗を高くした場合、エージングによる活
性化の均一性は向上するが、表示放電時における電極間
の電荷移動に関するキャリア密度が低下するので、駆動
電圧に対する放電電流は小さくなって輝度が低下してし
まい、実用に際して低輝度しか得られない。
However, when the resistance between the electrodes is increased by lowering the gas pressure of the discharge gas to increase the uniformity of activation due to aging, the carrier density related to the charge transfer between the electrodes during display discharge is reduced. As a result, the discharge current with respect to the driving voltage is reduced, and the luminance is reduced. Thus, only a low luminance is obtained in practical use.

【0020】一方、表示放電時のキャリアを確保し輝度
を向上させるためには、封入ガス圧を高めることが必須
であるが、そうすると、電極間の電荷移動に関するキャ
リア密度は高くなり、電極間の抵抗が低下して、エージ
ング用信号の電流は、開口部の特定部位(例えば図4中
の斜線部分)の放電のみで電極間を十分に流れるように
なり、陰極4表面におけるバインダ6や酸化物7が付着
している部分での放電が発生しなくても電流は導通する
ので、エージング処理を施しても、例えば図6に示すよ
うに、陰極4表面にバインダ6や酸化物7が残ってしま
う。ここで、図6は、図5のエージング処理前に対応し
た従来の製造方法でのエージング処理後の陰極表面の断
面図であり、エージング処理時の封入ガス圧を例えば2
00Torrとした時のフォーミング効果を示すもので
ある。従って、図6からも分かるように、従来の製造方
法による通常のエージング処理では、陰極表面全体が放
電に関与するようにはならず、エージング処理後におい
ても、陰極4表面は、その上に例えば酸化物7が残存し
ており、また場合によってはバインダ6が残存するなど
して、均一ではなく、局部的にしか活性化されていな
い。
On the other hand, in order to secure the carriers at the time of display discharge and to improve the luminance, it is necessary to increase the pressure of the filling gas. As the resistance decreases, the current of the aging signal sufficiently flows between the electrodes only by discharging at a specific portion of the opening (for example, a hatched portion in FIG. 4), and the binder 6 and the oxide on the surface of the cathode 4 Since the current is conducted even if no discharge occurs in the portion where the metal 7 is attached, even if the aging treatment is performed, the binder 6 and the oxide 7 remain on the surface of the cathode 4 as shown in FIG. I will. Here, FIG. 6 is a cross-sectional view of the cathode surface after the aging treatment by the conventional manufacturing method corresponding to before the aging treatment in FIG.
This shows the forming effect when 00 Torr is set. Therefore, as can be seen from FIG. 6, in the normal aging treatment by the conventional manufacturing method, the entire cathode surface does not become involved in the discharge, and even after the aging treatment, the surface of the cathode 4 has, for example, The oxide 7 remains, and in some cases, the binder 6 remains, so that the oxide 7 is not uniform and is only locally activated.

【0021】以上のような課題は、通常のプラズマディ
スプレイパネルの製造プロセスにおけるエージング処理
時に一般的に生じるものであるが、特に、1つの画素
(単位セル)の面積(ドット面積)の広いプラズマディ
スプレイパネルほど影響が顕著であり、エージング処理
時の放電をドット内全体に広げるために表示輝度がより
低下してしまう。
The above-mentioned problems generally occur during the aging process in a normal plasma display panel manufacturing process. In particular, a plasma display having a large area (dot area) of one pixel (unit cell) is required. The effect is more remarkable in the panel, and the display luminance is further reduced because the discharge at the time of the aging process is spread over the entire dot.

【0022】このような課題の解決を図るために、例え
ばエージング用信号の信号レベルを高くして(例えば放
電電流を増加させて)対処することが考えられるが、こ
の場合通常の駆動時の信号レベルに比べてかなり高いレ
ベル設定を行う必要があることが予想される。すると、
例えば陰極4へのイオン等によるスパッタリングが増加
し、表示放電前に陰極4の劣化を来してしまう。また、
このようなパネル構造への悪影響を排除するために信号
レベルの設定条件の緩和などを行うと、局部的な活性化
は避けられなくなる。従って、エージング用信号の信号
レベルの設定によっても十分な解決方法の提供はなされ
ない。
In order to solve such a problem, it is conceivable to take measures, for example, by increasing the signal level of the aging signal (for example, increasing the discharge current). It is expected that a level setting that is considerably higher than the level needs to be performed. Then
For example, sputtering by ions or the like on the cathode 4 increases, and the cathode 4 is deteriorated before display discharge. Also,
If the conditions for setting the signal level are relaxed in order to eliminate such an adverse effect on the panel structure, local activation cannot be avoided. Therefore, a sufficient solution cannot be provided even by setting the signal level of the aging signal.

【0023】本発明は、前記従来技術が持っていた課題
として、放電電極の均一な活性化と表示輝度の高輝度化
とが両立しない点について解決したプラズマディスプレ
イパネルの製造方法を提供するものである。
The present invention provides a method of manufacturing a plasma display panel which solves the problems of the prior art that the uniform activation of discharge electrodes and the increase in display luminance are not compatible. is there.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】記課題を解決するため
に、本発明のうちの第1の発明は、プラズマディスプレ
イパネルの製造方法において、第1のパネル板表面に第
1の放電電極を形成し、かつ第2のパネル板表面に第2
の放電電極を形成し、前記第1及び第2の放電電極が対
向するように前記第1及び第2のパネル板を配置し、前
記第1及び第2のパネル板間を封着して前記第1及び第
2の放電電極間に放電空間を形成する工程と、エージン
グ用放電ガスを、エージング処理に適した第1の封入ガ
ス圧で、前記放電空間に封入する工程と、表示放電時に
印加する電圧と異なる電圧を所定時間、前記第1及び第
2の放電電極間に印加してエージング処理を行う工程
と、前記エージング処理後、前記放電空間内に封入され
た前記エージング用放電ガスを排気する工程と、前記エ
ージング用放電ガスと同一種類の表示放電用放電ガス
を、前記第1の封入ガス圧と異なりかつ表示放電に適し
た第2の封入ガス圧で、前記放電空間に封入した後、前
記放電空間を封止する工程と、を有している。 第2の発
明は、第1の発明のプラズマディスプレイパネルの製造
方法において、前記エージング処理では、前記表示放電
時に印加する電圧よりも高い電圧を前記第1及び第2の
放電電極間に印加し、前記第1の封入ガス圧は、前記第
2の封入ガス圧よりも低く設定している。
To solve the previous SL problems SUMMARY OF THE INVENTION The first aspect of the present invention, plasma display
In the method for manufacturing a panel, a first panel
And forming a second discharge electrode on the surface of the second panel plate.
And the first and second discharge electrodes are paired.
The first and second panel boards are arranged so as to face each other, and
The first and second panel boards are sealed to seal the first and second panels.
Forming a discharge space between the two discharge electrodes;
The first discharge gas for aging,
Pressure in the discharge space, and at the time of display discharge.
Applying a voltage different from the voltage to be applied to the first and
Step of applying aging treatment by applying between two discharge electrodes
And after the aging treatment, sealed in the discharge space.
Exhausting the aging discharge gas,
Discharge gas for display discharge of the same type as discharge gas for charging
Is different from the first gas pressure and suitable for display discharge.
At the second filling gas pressure, after filling in the discharge space,
Sealing the discharge space. Second departure
Akira manufactures the plasma display panel of the first invention
In the method, the aging process includes the display discharge.
Voltage higher than the voltage applied during the first and second
Applied between the discharge electrodes, and the first sealed gas pressure is
2 is set lower than the filling gas pressure.

【0025】[0025]

【作用】第1及び第2の発明によれば、以上のようにプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法を構成したので、
例えばエージング処理時に封入するエージング用放電ガ
スの第1の封入ガス圧をエージング処理に適した値に低
く設定することにより、エージング処理時の放電が放電
電極の開口部全域に広がり、放電電極表面が均一に活性
化される。エージング用放電ガスを排気した後、表示放
電用放電ガスを、表示放電に適した値に高く設定した
2の封入ガス圧で封入することにより、表示放電時のキ
ャリアが確保され、高い表示輝度が得られる。従って、
前記課題を解決できるのである。
According to the first and second aspects of the present invention, the method of manufacturing a plasma display panel is configured as described above.
For example, by setting the first sealing gas pressure of the aging discharge gas to be sealed during the aging process to a value suitable for the aging process, the discharge during the aging process spreads over the entire opening of the discharge electrode, and the surface of the discharge electrode is reduced. It is activated uniformly. After discharging the aging discharge gas , the display discharge gas is set to a value suitable for display discharge .
By encapsulating at a sealing gas pressure of 2, carriers during display discharge are secured, and high display luminance is obtained. Therefore,
The above problem can be solved.

【0026】[0026]

【実施例】図1は、本発明の実施例のプラズマディスプ
レイパネルの製造方法を示すフローチャートである。ま
た、図7(a),(b)は、実施例の製造方法での一製
造工程図であり、同図(a)は実施例の製造対象であり
図2と同様の構造を有するプラズマディスプレイパネル
の部分的な平面図であり、同図(b)は同図(a)のプ
ラズマディスプレイパネルの部分的な断面図である。
FIG. 1 is a flowchart showing a method for manufacturing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention. FIGS. 7A and 7B are views showing one manufacturing process in the manufacturing method of the embodiment, and FIG. 7A is a manufacturing target of the embodiment and has the same structure as that of FIG. FIG. 2 is a partial plan view of the panel, and FIG. 2B is a partial cross-sectional view of the plasma display panel of FIG.

【0027】本実施例のプラズマディスプレイパネルの
製造方法によれば、図2と同様の構造のプラズマディス
プレイパネルが、例えば図1中の各ステップ201〜2
08に対応した以下のような各工程(i)〜(vi)を経
て製造される。
According to the plasma display panel manufacturing method of this embodiment, a plasma display panel having the same structure as that of FIG.
08, and is manufactured through the following steps (i) to (vi) corresponding to 08.

【0028】(i) ステップ201の工程 先ず、透明ガラス等からなる前面板21上に、例えば透
明導電材料であるITO膜(Indium Tin O
xide膜)等を真空蒸着法などにより被着させ、スト
ライプ状の陽極22を複数並列に形成する。これと共
に、絶縁性の背面板23上に、例えばNi等からなる陰
極材料をペースト状にしてスクリーン印刷し、ストライ
プ状の陰極24を複数並列に形成する。また、例えば背
面板23上に、スクリーン印刷法による重ね印刷等によ
り、陰極24と交差する方向に延びる隔壁25を複数並
列に形成する。ここで、例えば、セル面積(陰極幅×陽
極幅)は、0.94mm×0.32mmであり、陽極2
2及び陰極24間の距離は、0.16mmである。
(I) Process of Step 201 First, for example, an ITO film (Indium Tin O 2) which is a transparent conductive material is formed on a front plate 21 made of a transparent glass or the like.
An anode film 22 is formed by vacuum evaporation or the like, and a plurality of striped anodes 22 are formed in parallel. Simultaneously, a cathode material made of, for example, Ni or the like is paste-printed and screen-printed on the insulating back plate 23 to form a plurality of striped cathodes 24 in parallel. Further, a plurality of partition walls 25 extending in a direction intersecting with the cathodes 24 are formed in parallel on the back plate 23 by, for example, overprinting by a screen printing method. Here, for example, the cell area (cathode width × anode width) is 0.94 mm × 0.32 mm.
The distance between 2 and cathode 24 is 0.16 mm.

【0029】(ii) ステップ202,203の工程 次に、前面板21または背面板23のいずれか一方、あ
るいは両方の電極形成面側の外縁付近に、例えば鉛ガラ
ス等をペースト状にしたシールド材26を塗布する(ス
テップ202)。その後、電極同志が交差して対向する
ような配置状態で前面板21と背面板23を重ね合わせ
る(ステップ203)。
(Ii) Steps 202 and 203 Next, a shield material made of, for example, lead glass or the like is formed in the vicinity of one of the front plate 21 and the back plate 23, or the outer edge of both electrode formation surfaces. 26 is applied (step 202). Thereafter, the front plate 21 and the back plate 23 are overlapped in an arrangement in which the electrodes intersect and face each other (step 203).

【0030】(iii) ステップ204の工程 前面板21と背面板23を重ね合わせた後、例えばその
内部(放電空間となるところ)を真空に引きながら高温
の加熱処理を施し、溶融したシールド材26により前面
板21及び背面板23を封着する。この時点までのプロ
セスにおいて、図7(b)中に示すように、例えば背面
板23の一部に排気孔27を設けておく。
(Iii) Step of Step 204 After the front plate 21 and the back plate 23 are overlaid, a high-temperature heat treatment is performed while, for example, evacuation of the inside thereof (a place serving as a discharge space), and the molten shielding material 26 is melted. To seal the front plate 21 and the back plate 23. In the process up to this point, for example, an exhaust hole 27 is provided in a part of the back plate 23 as shown in FIG.

【0031】(iv) ステップ205の工程 前面板21と背面板23を封着した後、常温に戻し、硬
化したシールド材26により密封され真空状態となった
面板間の放電空間へ、例えば排気孔27を介して、エー
ジング用の放電ガスとして例えばHe−Xe(5%)を
エージングに適した第1の封入ガス圧、例えば200T
orrで封入する。
(Iv) Step 205 Step After the front plate 21 and the back plate 23 are sealed, the temperature is returned to room temperature, and the discharge space between the face plates sealed by the hardened shield material 26 and brought into a vacuum state is, for example, exhaust holes. 27, for example, He-Xe (5%) as a discharge gas for aging, a first sealed gas pressure suitable for aging, for example, 200 T
Enclose with orr.

【0032】(v) ステップ206の工程 エージング用放電ガスを放電空間に封入した後、陽極2
2及び陰極24間に、エージング用信号として、例えば
一定電圧260Vを2時間印加し、エージング処理を行
う。この時の印加電圧260Vは、表示放電時の駆動電
圧(例えば230V)に対して高く、かつ封入気体の封
入ガス圧がいので、エージング処理により、陰極24
表面では開口部全域にわたって放電が起こり、その放電
によるイオンガスや熱などにより陰極24表面のバイン
ダ6や酸化物7等の不純物が除去(フォーミング)され
る。
(V) Step 206 Step After the aging discharge gas is sealed in the discharge space, the anode 2
For example, a constant voltage of 260 V is applied as an aging signal between the cathode 2 and the cathode 24 for 2 hours to perform an aging process. Applied voltage 260V at this time, higher than the driving voltage during the display discharge (e.g. 230V), and the charged gas pressure of the gas sealed is low Ino, the aging process, the cathode 24
Discharge occurs on the entire surface of the opening, and impurities such as the binder 6 and the oxide 7 on the surface of the cathode 24 are removed (formed) by ion gas, heat, and the like due to the discharge.

【0033】(vi) ステップ207,208の工程 エージング処理終了後、例えば排気孔27を介して放電
空間内部からエージング用として封入した放電ガスを排
気する(ステップ207)。その後、排気孔27から放
電内部空間へ、表示放電用の放電ガスとして、例えばH
e−Xe(5%)を表示放電に適した第2の封入ガス
圧、例えば400Torrで封入し直す(ステップ20
8)。
(Vi) Steps 207 and 208 After the aging process, the discharge gas sealed for aging is exhausted from the inside of the discharge space through the exhaust hole 27 (step 207). Thereafter, as a discharge gas for display discharge, for example, H
Refill e-Xe (5%) at a second filling gas pressure suitable for display discharge, for example, 400 Torr (step 20).
8).

【0034】この後、排気孔27の封止処理等を施せ
ば、本実施例の所望するプラズマディスプレイパネルの
製造が終了する。
After this, if the sealing process of the exhaust hole 27 is performed, the manufacture of the plasma display panel desired in this embodiment is completed.

【0035】図8(a),(b)は、本実施例の製造方
法でのエージング処理前後の陰極表面の様子を示す図で
あり、同図(a)はエージング処理前の陰極表面の断面
図、同図(b)はエージング処理後の陰極表面の断面図
である。図中、図5と共通の要素には共通の符号が付さ
れている。
FIGS. 8A and 8B are views showing the state of the cathode surface before and after the aging process in the manufacturing method of this embodiment, and FIG. 8A is a cross section of the cathode surface before the aging process. FIG. 2B is a cross-sectional view of the cathode surface after the aging treatment. In the figure, the same elements as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals.

【0036】図8(a),(b)からも分かるように、
本実施例の製造方法によれば、エージング用の封入ガス
をエージング処理に応じた適正な第1の封入ガス圧(例
えば200Torr)で封入してエージング処理を施し
た後、表示放電用の放電ガスを表示放電に応じた適正な
第2の封入ガス圧(例えば400Torr)で封入し直
した。このため、エージング処理時の封入ガス圧は低
く、エージング処理時の放電が開口部全域に広がり、エ
ージング処理が効果的に行われて、陰極24表面を均一
に活性化できる。即ち、エージング処理前には、図8
(a)に示すように陰極24表面に付着していたバイン
ダ6や酸化物7が、その表面から除去される。しかも、
表示放電時の封入ガス圧を表示輝度に応じた値に設定で
きるので、製造後のプラズマディスプレイパネルの表示
放電において良好な表示輝度が得られる。
As can be seen from FIGS. 8A and 8B,
According to the manufacturing method of the present embodiment, after the aging sealing gas is sealed at an appropriate first sealing gas pressure (for example, 200 Torr) corresponding to the aging process, the aging process is performed, and then the discharge gas for display discharge is applied. The display appropriate for the discharge
Refilling was performed at a second filling gas pressure (for example, 400 Torr). For this reason, the gas pressure at the time of the aging process is low, the discharge at the time of the aging process spreads over the entire opening, the aging process is performed effectively, and the surface of the cathode 24 can be uniformly activated. That is, before the aging process, FIG.
As shown in (a), the binder 6 and the oxide 7 adhering to the surface of the cathode 24 are removed from the surface. Moreover,
Since the sealed gas pressure at the time of display discharge can be set to a value corresponding to the display luminance, good display luminance can be obtained in the display discharge of the plasma display panel after manufacture.

【0037】特に、本実施例の製造方法により製造した
プラズマディスプレイパネルでは、表示放電時の放電ガ
スとしてHe−Xe(5%)を用いた場合、従来の20
0Torrで封入した場合に比べて、本実施例の400
Torrで封入するようにしたことにより、表示放電時
の表示輝度は、従来の場合が20[cd/m2 ]である
のに対し、本実施例では35[cd/m2 ]に改善され
た。
In particular, in the plasma display panel manufactured by the manufacturing method of this embodiment, when He-Xe (5%) is used as a discharge gas at the time of display discharge, the conventional 20
Compared to the case of sealing at 0 Torr,
The display brightness at the time of display discharge is improved to 35 [cd / m 2 ] in the present embodiment, while the display brightness at the time of display discharge is 20 [cd / m 2 ] in the prior art. .

【0038】実施例の製造方法によれば、エージング
用及び表示放電用の放電ガスとして、同一種類のものを
用いているので、1種類の放電ガスだけを準備すればよ
く、手間が省け、制御性が向上する。また、エージング
処理時の放電ガスをいったん排気した後に、表示放電用
の放電ガスを封入し直すようにしたので、エージング処
理により発生するバインダ6や酸化物7などの不純物
を、放電空間内から除去でき、より一層の表示品質の向
上に寄与できる。
According to the manufacturing method of this embodiment, aging
The same type of discharge gas for
Only one kind of discharge gas is needed
In addition, labor is saved and controllability is improved. In addition, since the discharge gas for the display discharge is refilled after the discharge gas during the aging process is once exhausted, impurities such as the binder 6 and the oxide 7 generated by the aging process are removed from the discharge space. It can contribute to further improvement of display quality.

【0039】なお、上記実施例は、種々の変形あるいは
適用が可能である。その変形あるいは適用例としては、
例えば次のようなものがある。
The above embodiment is not limited to various modifications or
Applicable . As a modification or application example,
For example, there is the following.

【0040】(a) 上記実施例で示したプラズマディ
スプレイパネルの製造方法、及び製造対象とするプラズ
マディスプレイパネルの構造は、種々の変形が可能であ
る。記実施例では、エージング用及び表示放電用
の放電ガスとして、同一種類のものを用いているが、異
なる放電ガスを用いることも可能である。例えば、エー
ジング用封入気体としてHe−Xe(5%)に代えて、
NeAr(数%)等を用いるようにしてもよい。この場
合、使用する放電ガスに応じて封入ガス圧も適宜設定す
る。例えば、エージング処理時の放電ガスとして、Ne
Ar(数%)を用いた場合、封入ガス圧は160Tor
r程度とする。
(A) The method of manufacturing the plasma display panel described in the above embodiment and the structure of the plasma display panel to be manufactured can be variously modified. In the above SL embodiment, as a discharge gas for aging and for display discharge, it is used those same type, it is also possible to use a different discharge gases. For example, instead of He-Xe (5%) as the aging sealing gas,
NeAr (several%) or the like may be used. In this case, the pressure of the sealed gas is appropriately set according to the discharge gas used. For example, Ne is used as a discharge gas during the aging process.
When Ar (several%) is used, the filling gas pressure is 160 Torr.
r.

【0041】 上記実施例では、エージング用放電ガ
スを封入してエージング処理を行った後、いったんエー
ジング用放電ガスを排気してから、表示放電用放電ガス
を封入し直すようにしたが、例えばエージング処理に適
した封入ガス圧で封入した放電ガスでエージング処理を
行った後、その放電ガスに対して表示放電用の封入ガス
圧になるような条件下で、同一、同種または異種の放電
ガスを付加して表示放電用放電ガスを成することも可
能である。この場合、放電ガスの封入処理等を簡略化で
き、製造プロセスにおける工程数の削減や製造時間の短
縮等の効果が得られる。
In the above embodiment, after the aging treatment is performed by filling the aging discharge gas, the aging discharge gas is once exhausted, and then the display discharge discharge gas is refilled. After performing aging treatment with a discharge gas filled at a gas pressure suitable for the treatment, the same, same or different discharge gas is applied to the discharge gas under such conditions that the gas pressure for display discharge is reached. also acceptable that that form a display discharge a discharge gas added to
Noh . In this case, the process of enclosing the discharge gas can be simplified, and effects such as a reduction in the number of steps in the manufacturing process and a reduction in the manufacturing time can be obtained.

【0042】 上記実施例では、エージング処理時の
封入ガス圧を200Torrとし、表示放電時の封入ガ
ス圧を400Torrとしたが、それぞれエージング処
理及び表示放電に応じて例えば使用する放電ガス等に基
づき適宜設定が可能である。例えば上記実施例での封入
ガス圧の設定は、陰極−陽極間の距離が一定という条件
下で、放電開始電圧が高くならない程度の範囲で放電の
偏りが生じず開口部全域にわたって放電が生じ電極表面
が均一に活性化される圧力をみつけ、それをエージング
時の封入ガス圧(例えば低い方のガス圧200Tor
r)とし、また、表示放電用としてはガス圧を高めてい
き、放電開始電圧が高くならない範囲でなるべく高い封
入ガス圧(例えば高い方のガス圧400Torr)をみ
つけ、それを表示放電時の封入ガス圧としたが、このよ
うな場合を含む種々設定の仕方が可能である。
In the above embodiment, the filling gas pressure during the aging process was set to 200 Torr, and the filling gas pressure during the display discharge was set to 400 Torr. Can be set. For example, the setting of the filling gas pressure in the above embodiment is such that under the condition that the distance between the cathode and the anode is constant, the discharge is not biased in the range where the discharge starting voltage does not become high, and the discharge occurs over the entire opening and the electrode is generated. The pressure at which the surface is uniformly activated is found, and this is determined by the gas pressure during aging (for example, the lower gas pressure of 200 Torr).
r), and for the display discharge, the gas pressure is increased. As far as the discharge starting voltage is not increased, a sealing gas pressure as high as possible (for example, a higher gas pressure of 400 Torr) is found, and the sealing gas pressure during the display discharge is determined. Although the gas pressure is used, various setting methods including such a case are possible.

【0043】 上記実施例のプラズマディスプレイパ
ネルは、隔壁25を背面板23側から形成するようにし
たが、例えば前面板21側から形成するようにしてもよ
いし、また隔壁25の区切り方等を適宜変更することが
可能であるし、さらには、例えばカラー表示等を考慮し
て蛍光体層を設ける構造にするなど、種々の設定、変
形、変更が可能である。
In the plasma display panel of the above embodiment, the partition wall 25 is formed from the back plate 23 side. However, the partition wall 25 may be formed from the front plate 21 side, for example. Various settings, modifications, and changes are possible, such as a structure in which a phosphor layer is provided in consideration of color display or the like, as appropriate.

【0044】(b) 上記実施例では、DC型プラズマ
ディスプレイパネルの場合を例にとって説明したが、
記実施例は、他の構造のものに対しても幅広く適用が可
能であり、さらにパネルの構造等によってはエージング
処理の対象とする放電電極の位置及び種類等も適宜変更
が可能である。
[0044] (b) In the above embodiment has been described taking the case of a DC type plasma display panel, upper
The above-described embodiment can be widely applied to other structures, and the position and type of the discharge electrode to be subjected to the aging process can be appropriately changed depending on the structure of the panel.

【0045】[0045]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、第1及び第
2の発明によれば、同一種類のエージング用放電ガス
示放電用放電ガスとを、それぞれエージング処理及び
表示放電に適した第1及び第2の封入ガス圧で封入する
ようにしたので、例えばエージング処理時には低い
1の封入ガス圧下での放電により放電電極表面の不純
物を効果的に取り除くことができ、放電電極表面を均一
に活性化できて、放電の集中による寿命の短縮や輝点の
発生等による表示品質の劣化を防止できる。一方、表示
放電時には高い第2の封入ガス圧下での表示放電が行わ
れ、良好な表示輝度が得られる。しかも、エージング用
及び表示放電用の放電ガスとして、同一種類のものを用
いているので、1種類の放電ガスだけを準備すればよ
く、手間が省け、制御性が向上する。
As described in detail above , the first and second embodiments are described .
According to the second aspect of the invention, the same type of aging discharge gas and
And Table示放electrostatic discharge gas. Thus enclosed by the first and second charged gas pressure suitable for each aging process and display discharge, for example, low during the aging process the
The discharge in the first fill gas pressure, discharge impurities electrode surface can be effectively removed, and can uniformly activate the discharge electrode surface, display by generation of life shortening or bright spots due to concentration of the discharge Quality degradation can be prevented. On the other hand , at the time of the display discharge, the display discharge is performed under the high second filling gas pressure, and a good display luminance is obtained. And for aging
And the same type of discharge gas for display discharge
So only one kind of discharge gas needs to be prepared
In addition, labor is saved and controllability is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例のプラズマディスプレイパネル
の製造方法を示すフローチャートである。
FIG. 1 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention.

【図2】DC型プラズマディスプレイパネルの一構成例
を概略的に示す外観図である。
FIG. 2 is an external view schematically showing a configuration example of a DC plasma display panel.

【図3】従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法
の一構成例を示すフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing one configuration example of a conventional method for manufacturing a plasma display panel.

【図4】図2でのプラズマディスプレイパネルを製造す
る場合におけるエージング処理時の放電の様子を示す図
である。
FIG. 4 is a diagram showing a state of a discharge during an aging process in a case where the plasma display panel in FIG. 2 is manufactured.

【図5】従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法
でのエージング処理前の陰極表面の断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of a cathode surface before an aging process in a conventional plasma display panel manufacturing method.

【図6】図5のエージング処理前に対応した従来の製造
方法でのエージング処理後の陰極表面の断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view of a cathode surface after aging processing by a conventional manufacturing method corresponding to before the aging processing in FIG. 5;

【図7】実施例の製造方法での一製造工程図である。FIG. 7 is a manufacturing process diagram in the manufacturing method of the example.

【図8】実施例の製造方法でのエージング処理前後の陰
極表面の様子を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a state of a cathode surface before and after an aging process in the manufacturing method of the example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 前面板 22 陽極 23 背面板 24 陰極 25 隔壁 26 シールド材 27 排気孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 Front plate 22 Anode 23 Back plate 24 Cathode 25 Partition wall 26 Shielding material 27 Exhaust hole

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 第1のパネル板表面に第1の放電電極を
形成し、かつ第2のパネル板表面に第2の放電電極を形
成し、前記第1及び第2の放電電極が対向するように前
記第1及び第2のパネル板を配置し、前記第1及び第2
のパネル板間を封着して前記第1及び第2の放電電極間
に放電空間を形成する工程と、 エージング用放電ガスを、エージング処理に適した第1
の封入ガス圧で、前記放電空間に封入する工程と、 表示放電時に印加する電圧と異なる電圧を所定時間、前
記第1及び第2の放電電極間に印加してエージング処理
を行う工程と、 前記エージング処理後、前記放電空間内に封入された前
記エージング用放電ガスを排気する工程と、 前記エージング用放電ガスと同一種類の表示放電用放電
ガスを、前記第1の封入ガス圧と異なりかつ表示放電に
適した第2の封入ガス圧で、前記放電空間に封入した
後、前記放電空間を封止する工程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の製造方法。
1. A first discharge electrode is provided on a surface of a first panel plate.
And forming a second discharge electrode on the surface of the second panel plate.
So that the first and second discharge electrodes face each other.
The first and second panel boards are arranged, and the first and second panel boards are arranged.
To seal between the first and second discharge electrodes.
Forming a discharge space in the first step, and discharging the aging discharge gas into a first discharge gas suitable for aging treatment.
Enclosing in the discharge space at an encapsulation gas pressure, and applying a voltage different from the voltage applied at the time of display discharge for a predetermined time.
Aging treatment by applying a voltage between the first and second discharge electrodes
And after the aging treatment and before being sealed in the discharge space.
Exhausting the aging discharge gas, and a display discharge of the same type as the aging discharge gas.
The gas is different from the first sealed gas pressure and is subjected to a display discharge.
Sealed in the discharge space at a suitable second fill gas pressure
After plasma display panel, characterized in that and a step for sealing the discharge space
Manufacturing method.
【請求項2】 前記エージング処理では、前記表示放電
時に印加する電圧よりも高い電圧を前記第1及び第2の
放電電極間に印加し、前記第1の封入ガス圧は、前記第
2の封入ガス圧よりも低く設定したことを特徴とする請
求項1記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
2. The method according to claim 2, wherein the aging process includes a step of:
Voltage higher than the voltage applied during the first and second
Applied between the discharge electrodes, and the first sealed gas pressure is
2. The filling pressure is set lower than the filling gas pressure of 2.
The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1.
JP3482191A 1991-02-28 1991-02-28 Method for manufacturing plasma display panel Expired - Fee Related JP3105275B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3482191A JP3105275B2 (en) 1991-02-28 1991-02-28 Method for manufacturing plasma display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3482191A JP3105275B2 (en) 1991-02-28 1991-02-28 Method for manufacturing plasma display panel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04274134A JPH04274134A (en) 1992-09-30
JP3105275B2 true JP3105275B2 (en) 2000-10-30

Family

ID=12424864

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3482191A Expired - Fee Related JP3105275B2 (en) 1991-02-28 1991-02-28 Method for manufacturing plasma display panel

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3105275B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2832510B2 (en) * 1994-05-10 1998-12-09 双葉電子工業株式会社 Display device manufacturing method
WO2002031854A1 (en) * 2000-10-12 2002-04-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Plasma display panel, and method and device for life test of the plasma display panel
KR100404850B1 (en) * 2001-02-26 2003-11-10 엘지전자 주식회사 Fabrication Method Of Plasma Display Panel

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04274134A (en) 1992-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2149289A1 (en) Discharge display apparatus
JP3698856B2 (en) Plasma display panel
JP2006120622A (en) Luminescent screen structure and image forming apparatus
TWI291191B (en) Image display device
JPH11306994A (en) Plasma display panel and its manufacture
US6707250B2 (en) Gas discharge display device, plasma addressed liquid crystal display device, and method for producing the same
JP3105275B2 (en) Method for manufacturing plasma display panel
JPH0935642A (en) Color plasma display and its manufacture
JP2967617B2 (en) Method for manufacturing plasma display panel
JP4281155B2 (en) Display panel and display device
JP2981443B2 (en) Gas discharge display panel
KR100189613B1 (en) Plasma display panel
JP3481988B2 (en) Gas discharge display panel
JP3152628B2 (en) Method of forming transparent thick film dielectric on conductive film
JP2006024490A (en) Plasma display panel and its manufacturing method
JP2762035B2 (en) Manufacturing method of cold cathode for display discharge tube
JP2681438B2 (en) Gas discharge display panel and method of manufacturing the same
JP2001118520A (en) Gas discharge panel
KR910009632B1 (en) Plasma display panel having trigger electrode
KR100260365B1 (en) A manufacturing method of a dc-type pdp
JP2720288B2 (en) Gas discharge display tube
JP2000215814A (en) Discharge type display panel and device
JPH03101035A (en) Plasma display panel
JPH09139178A (en) Gas discharge type display panel
KR19990063225A (en) Indicator

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20000822

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070901

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080901

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees