JP3101968B2 - Dielectric porcelain composition - Google Patents

Dielectric porcelain composition

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JP3101968B2
JP3101968B2 JP07103706A JP10370695A JP3101968B2 JP 3101968 B2 JP3101968 B2 JP 3101968B2 JP 07103706 A JP07103706 A JP 07103706A JP 10370695 A JP10370695 A JP 10370695A JP 3101968 B2 JP3101968 B2 JP 3101968B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波,ミリ波等
の高周波領域において、高いQ値を有する誘電体磁器組
成物に関するものであり、例えば、マイクロ波,ミリ波
等の周波数領域において使用される種々の共振器用材料
やMIC用誘電体基板材料、誘電体導波路用材料や積層
型セラミックコンデンサ等に用いることができる誘電体
磁器組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric ceramic composition having a high Q value in a high frequency range such as microwaves and millimeter waves, and is used in a frequency range such as microwaves and millimeter waves. The present invention relates to a dielectric ceramic composition that can be used for various resonator materials, MIC dielectric substrate materials, dielectric waveguide materials, and multilayer ceramic capacitors.

【0002】[0002]

【従来技術】従来、誘電体磁器は、マイクロ波やミリ波
等の高周波領域において、誘電体共振器、MIC用誘電
体基板や導波路等に広く利用されている。
2. Description of the Related Art Hitherto, dielectric ceramics have been widely used in dielectric resonators, MIC dielectric substrates, waveguides, and the like in high-frequency regions such as microwaves and millimeter waves.

【0003】従来より、この種の誘電体磁器としては、
例えばBaO−TiO2 材料、ZrO−SnO2 −Ti
2 材料等が知られており、10GHzにおいて誘電率
が35〜40、Q値が1000〜10000程度、共振
周波数の温度係数τfが±10ppm/℃以下の特性を
有している。
[0003] Conventionally, as this kind of dielectric porcelain,
For example BaO-TiO 2 material, ZrO-SnO 2 -Ti
O 2 materials and the like are known, and have characteristics of a dielectric constant of 35 to 40, a Q value of about 1,000 to 10,000 at 10 GHz, and a temperature coefficient τf of a resonance frequency of ± 10 ppm / ° C. or less.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする問題点】最近では通信分野
等、より高周波数帯を利用する試みがなされており、誘
電体材料に対してはより高いQ値が要求されている。ま
た、使用周波数が高くなるに従って共振器、基板等の寸
法が小型になるため、アプリケ−ションに際して扱い易
い誘電率が要求されている。
Recently, attempts have been made to use higher frequency bands in the communication field and the like, and higher Q values are required for dielectric materials. Further, as the operating frequency increases, the dimensions of the resonator, the substrate, and the like become smaller, so that a dielectric constant that is easy to handle in applications is required.

【0005】しかしながら、上記した従来の材料では、
Q値が低く、また誘電率が高すぎるため、10GHz以
上の高周波数帯での使用に際して実用的レベルにないの
が現状である。
However, in the above-mentioned conventional materials,
Since the Q value is low and the dielectric constant is too high, it is currently not at a practical level when used in a high frequency band of 10 GHz or more.

【0006】また、磁器密度を向上するために高温で焼
成しなければならず、また高温で焼成しても充分な磁器
密度を得ることが困難であり、強度が弱く、高Q値を得
にくいという問題点があった。
Further, it is necessary to fire at a high temperature in order to improve the density of the porcelain, and it is difficult to obtain a sufficient porcelain density even if firing at a high temperature. There was a problem.

【0007】本発明者等はこのような要求に応えること
ができる材料を研究したところ、低誘電率で高Q値を有
するBa,Mg,WO3 からなる誘電体磁器組成物を開
発し、先に特願平4−293165号に特許出願した。
The present inventors have studied materials capable of meeting such a requirement, and have developed a dielectric ceramic composition comprising Ba, Mg, and WO 3 having a low dielectric constant and a high Q value. A patent application was filed in Japanese Patent Application No. 4-293165.

【0008】しかしながら、近年においては、さらに低
誘電率で高Q値が要求されるとともに、高強度化が要求
されていた。
However, in recent years, a higher dielectric constant and a higher Q value have been required, and a higher strength has been required.

【0009】[0009]

【問題点を解決するための手段】本発明者等はこのよう
な要求に応えることができる材料を研究したところ、B
aO,MgO,WO3 からなる組成物に対して、B,
P,Si,アルカリ金属元素を少なくとも1種以上を所
定量含有させることにより、BaO,MgO,WO3
らなる誘電体磁器組成物よりも磁器密度(かさ比重)お
よびQ値を向上することができることを見出し、本発明
に至った。
[Means for Solving the Problems] The present inventors have studied materials capable of meeting such a demand and found that B
For a composition comprising aO, MgO, and WO 3 , B,
By including at least one of P, Si and an alkali metal element in a predetermined amount, it is possible to improve the porcelain density (bulk specific gravity) and the Q value as compared with the dielectric porcelain composition comprising BaO, MgO and WO 3. And found the present invention.

【0010】即ち、本発明の誘電体磁器組成物は、金属
元素として少なくともBa,Mg,Wを含有し、これら
の成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、0.40≦x≦0.
60、0.13≦y≦0.40、0.20≦z≦0.3
0、x+y+z=1を満足する主成分、あるいは、この
組成物100モル部に対して、周期律表第3a族元素か
ら選ばれる少なくとも1種を0.1〜30モル部の割合
で含有してなる主成分、あるいは、前記組成物100モ
ル部に対して、Sn,Mn,Ca及び周期律表第4a族
元素から選ばれる少なくとも1種を0.1〜20モル部
の割合で含有してなる主成分100重量部に対して、
ほう酸化合物をB2 3 換算で0.01重量部以上0.
20重量部以下、りん化合物をP量で0.005重量
部以上1重量部以下、SiO2 換算で0.01重量部
以上1重量部以下、アルカリ金属含有化合物を炭酸塩
換算で0.01重量部以上1重量部未満、上記〜か
ら選ばれる少なくとも一種を添加含有するものである。
[0010] That is, the dielectric ceramic composition of the present invention, when containing at least Ba, Mg, W as the metal element, representing a composition formula by molar ratio of these components with xBaO · yMgO · zWO 3, wherein x, y, z are 0.40 ≦ x ≦ 0.
60, 0.13 ≦ y ≦ 0.40, 0.20 ≦ z ≦ 0.3
0, x + y + z = 1, or at least one element selected from Group 3a elements of the periodic table in an amount of 0.1 to 30 mol parts per 100 mol parts of the composition. At least one selected from Sn, Mn, Ca and Group 4a element of the periodic table in an amount of 0.1 to 20 parts by mole based on 100 parts by mole of the main component or the composition. For 100 parts by weight of the main component,
The boric acid compound is used in an amount of 0.01 part by weight or more in terms of B 2 O 3 .
20 parts by weight or less, phosphorus compound in an amount of 0.005 to 1 part by weight in terms of P, 0.01 to 1 part by weight in terms of SiO 2 , and 0.01% in weight of an alkali metal-containing compound in terms of carbonate. To less than 1 part by weight, and at least one selected from the above.

【0011】本発明の誘電体磁器組成物は、モル比によ
る組成式をxBaO・yMgO・zWO3 と表わした
時、前記x、y、zが、0.40≦x≦0.60、0.
13≦y≦0.40、0.20≦z≦0.30、x+y
+z=1を満足するものを主成分とするものであるが、
BaOのモル比xを0.40≦x≦0.60としたの
は、xがこの範囲をはずれるとQ値が低下するからであ
る。また、MgOのモル比yを0.13≦y≦0.40
としたのは、yがこの範囲をはずれるとQ値が低下する
からである。さらに、WO3 のモル比zを0.20≦z
≦0.30としたのは、zがこの範囲をはずれるとQ値
が低下するからである。
[0011] The dielectric ceramic composition of the present invention, when representing a composition formula by molar ratio xBaO · yMgO · zWO 3, wherein x, y, z is, 0.40 ≦ x ≦ 0.60,0.
13 ≦ y ≦ 0.40, 0.20 ≦ z ≦ 0.30, x + y
The main component is that satisfying + z = 1.
The reason why the molar ratio x of BaO is set to 0.40 ≦ x ≦ 0.60 is that if x is out of this range, the Q value decreases. Further, the molar ratio y of MgO is set to 0.13 ≦ y ≦ 0.40
The reason is that if y deviates from this range, the Q value decreases. Further, the molar ratio z of WO 3 is set to 0.20 ≦ z
≦ 0.30 because the Q value decreases when z is out of this range.

【0012】さらに、本発明の誘電体磁器組成物では、
上記組成物に100モル部に対して、周期律表第3a族
元素のうち少なくとも1種を0.1〜30モル部、また
は、Sn,Mn,Caおよび周期律表第4a族元素のう
ち少なくとも1種を0.1〜20モル部添加含有するも
のを主成分としても良い。主成分にSn,Mn,Caお
よび周期律表第3a,4a族元素のうち少なくとも1種
を所定量含有させることにより、共振周波数の温度係数
τfをプラス側に移行することができる。これらの添加
物の量を上記の範囲に限定したのは、周期律表第3a族
元素のうち少なくとも1種の元素が30モル部より多い
か、またはSn,Mn,Caおよび周期律表第4a族元
素のうち少なくとも1種の元素が20モル部より多いと
Q値の低下が著しくなり、周期律表第3a族元素やS
n、Mn、Caおよび周期律表第4a族元素が0.1モ
ル部より少ない場合には、これらの元素の添加効果がほ
とんどないからである。
Further, in the dielectric porcelain composition of the present invention,
0.1 to 30 parts by mole of at least one element of Group 3a of the Periodic Table or at least one of Sn, Mn, Ca and Group 4a of the Periodic Table with respect to 100 parts by mole of the composition. The main component may contain 0.1 to 20 mol parts of one kind. By including at least one of Sn, Mn, Ca and a group 3a, 4a element of the periodic table in the main component in a predetermined amount, the temperature coefficient τf of the resonance frequency can be shifted to the plus side. The reason why the amount of these additives is limited to the above range is that at least one element of Group 3a elements of the periodic table is more than 30 mol parts, or that Sn, Mn, Ca and 4a of the periodic table are included. If the amount of at least one of the group III elements is more than 20 mole parts, the Q value will decrease significantly, and the group 3a element of the periodic table and S
When n, Mn, Ca and the Group 4a element of the periodic table are less than 0.1 mol part, the effect of adding these elements is hardly obtained.

【0013】本発明の誘電体磁器組成物は、前記主成分
100重量部に対して、ほう酸化合物をB2 3 換算
で0.01重量部以上0.20重量部以下、りん化合
物をP量で0.005重量部以上1重量部以下、Si
2 換算で0.01重量部以上1重量部以下、アルカ
リ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上1
重量部未満、上記〜から選ばれる少なくとも一種を
添加含有するものである。
In the dielectric ceramic composition of the present invention, the boric acid compound is contained in an amount of 0.01 to 0.20 parts by weight in terms of B 2 O 3 , and the phosphorus compound is added in an amount of P based on 100 parts by weight of the main component. Not less than 0.005 parts by weight and not more than 1 part by weight, Si
0.01 to 1 part by weight in terms of O 2 , and 0.01 to 1 part by weight of an alkali metal-containing compound in terms of carbonate.
Less than parts by weight, containing at least one selected from the above.

【0014】主成分100重量部に対してほう酸化合物
の含有量をB2 3 換算で0.01重量部以上0.20
重量部以下としたのは、0.01重量部未満の場合は焼
成温度の低下や磁器密度(かさ比重)とQ値の向上に効
果がなく、0.20重量部を越える場合はQ値が低下す
るからである。ほう酸化合物の含有量は、より高い磁器
密度かつ高いQ値を得るという点からB2 3 換算で
0.025重量部以上0.2重量部以下であることが望
ましい。
The content of the boric acid compound is 0.01 to 0.20 parts by weight in terms of B 2 O 3 based on 100 parts by weight of the main component.
If the amount is less than 0.01 part by weight, there is no effect on lowering the firing temperature or improving the porcelain density (bulk specific gravity) and the Q value when the amount is less than 0.01 part by weight. It is because it falls. The content of the boric acid compound is desirably 0.025 parts by weight or more and 0.2 parts by weight or less in terms of B 2 O 3 from the viewpoint that a higher porcelain density and a higher Q value are obtained.

【0015】また、主成分100重量部に対してりん化
合物の含有量をP量で0.005重量部以上1重量部以
下としたのは、0.005重量部未満の場合は焼成温度
の低下や磁器密度(かさ比重)とQ値の向上に効果がな
く、1重量部を越える場合はQ値が低下するからであ
る。りん化合物の含有量は、より高い磁器密度かつ高い
Q値を得るという点からP量で0.025重量部以上1
重量部以下であることが望ましい。
The reason why the content of the phosphorus compound is set in the range of 0.005 to 1 part by weight of P based on 100 parts by weight of the main component is that if the amount is less than 0.005 part by weight, the firing temperature is lowered. This is because there is no effect on the improvement of the porcelain density (bulk specific gravity) and the Q value, and when the content exceeds 1 part by weight, the Q value decreases. From the viewpoint of obtaining a higher porcelain density and a higher Q value, the phosphorus compound content is 0.025 parts by weight or more in terms of P amount.
It is desirable that the amount be not more than part by weight.

【0016】さらに、主成分100重量部に対してSi
2 を0.01重量部以上1重量部以下としたのは、
0.01重量部未満の場合は焼成温度の低下や磁器密度
(かさ比重)とQ値の向上に効果がなく、1重量部を越
える場合はQ値が低下するからである。SiO2 はより
高い磁器密度かつ高いQ値を得るという点から0.1重
量部以上1重量部以下であることが望ましい。
Further, Si is added to 100 parts by weight of the main component.
The reason that O 2 is set to 0.01 to 1 part by weight is as follows.
If the amount is less than 0.01 part by weight, there is no effect on lowering the firing temperature or the porcelain density (bulk specific gravity) and the Q value. If the amount exceeds 1 part by weight, the Q value decreases. SiO 2 is desirably at least 0.1 part by weight and at most 1 part by weight from the viewpoint of obtaining a higher porcelain density and a higher Q value.

【0017】また、主成分100重量部に対してアルカ
リ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上1
重量部未満としたのは、1重量部未満の場合は焼成温度
の低下や磁器密度(かさ比重)とQ値の向上に効果がな
く、1重量部以上の場合はQ値が低下するからである。
アルカリ金属含有化合物は、より高い磁器密度かつ高い
Q値を得るという点から炭酸塩換算で0.1重量部以上
0.9重量部未満であることが望ましい。
Further, an alkali metal-containing compound is used in an amount of 0.01 to 1 part by weight in terms of carbonate based on 100 parts by weight of the main component.
The reason why the amount is less than 1 part by weight is that if the amount is less than 1 part by weight, there is no effect on lowering the sintering temperature or the porcelain density (bulk specific gravity) and the Q value. is there.
The amount of the alkali metal-containing compound is desirably not less than 0.1 part by weight and less than 0.9 part by weight in terms of carbonate, from the viewpoint of obtaining a higher porcelain density and a higher Q value.

【0018】ここで、ほう酸化合物としてはB2 3
コレマナイト,CaB2 4 ,ZnB2 4 等がある。
また、リン化合物としてはH3 PO4 ,P2 5 ,P等
がある。またアルカリ金属としてはLi,Na,K,R
b,Csがある。
Here, B 2 O 3 ,
Colemanite, there is CaB 2 O 4, ZnB 2 O 4 or the like.
Examples of the phosphorus compound include H 3 PO 4 , P 2 O 5 , and P. Li, Na, K, R
b and Cs.

【0019】本発明に基づき磁器を作製する方法として
は、例えば、Ba,Mg,Wの酸化物あるいは焼成によ
り酸化物を生成する水酸化物,炭酸塩,硝酸塩等の金属
塩を原料として用い、これらを前述した範囲になるよう
に秤量した後、充分に混合する。その後、混合物を90
0〜1300℃で仮焼処理する。得られた仮焼物に、例
えば、B2 3 のようなほう酸化合物、P2 5 のよう
なリン化合物、SiO2 、Li2 CO3 のようなアルカ
リ金属含有化合物の各化合物を所定量となるように秤量
し添加して、混合粉砕する。そしてこれをプレス成形や
ドクタ−ブレ−ド法等の成形方法により所定の形状に成
形する。次に成形体を大気中等の酸化性雰囲気中で13
00〜1600℃で焼成することにより誘電体磁器を得
ることができる。
As a method for producing a porcelain based on the present invention, for example, an oxide of Ba, Mg, W or a metal salt such as a hydroxide, a carbonate, a nitrate or the like which forms an oxide upon firing is used as a raw material. After these are weighed so as to be in the above-mentioned range, they are sufficiently mixed. Thereafter, the mixture is
Calcination is performed at 0 to 1300 ° C. To the obtained calcined product, for example, a boric acid compound such as B 2 O 3 , a phosphorus compound such as P 2 O 5 , and an alkali metal-containing compound such as SiO 2 and Li 2 CO 3 in a predetermined amount. The mixture is weighed, added and mixed and pulverized. Then, it is formed into a predetermined shape by a forming method such as press forming or doctor blade method. Next, the molded body is placed in an oxidizing atmosphere such as air.
By firing at 00 to 1600 ° C., a dielectric porcelain can be obtained.

【0020】[0020]

【作用】本発明の誘電体磁器組成物では、BaO,Mg
O,WO3 からなる組成物よりも高い磁器強度およびQ
値を有し、かつ、Q値が4000以上であり、しかも共
振周波数の温度係数τfを一定領域で自由に制御するこ
とができるとともに、高い磁器密度(かさ比重)により
高強度を実現することができる。
In the dielectric ceramic composition of the present invention, BaO, Mg
Higher porcelain strength and Q than compositions comprising O, WO 3
And the Q value is 4000 or more, and the temperature coefficient τf of the resonance frequency can be freely controlled in a certain region, and high strength can be realized by high porcelain density (bulk specific gravity). it can.

【0021】即ち、BaO,MgO,WO3 からなる組
成物にSn,Mn,Caおよび周期律表第3a,4a族
元素のうち少なくとも1種を所定量含有させることによ
り、共振周波数の温度係数τfをプラス側に移行するこ
とができる。また、主成分に対してほう酸化合物,りん
化合物,SiO2 およびアルカリ金属含有化合物を所定
量含有させることにより、焼結を促進し、高い磁器強度
およびQ値を得ることができる。
That is, by adding a predetermined amount of at least one of Sn, Mn, Ca and Group 3a, 4a elements of the periodic table to a composition comprising BaO, MgO, and WO 3 , the temperature coefficient τf of the resonance frequency is increased. Can be shifted to the plus side. Further, by containing a predetermined amount of a boric acid compound, a phosphorus compound, SiO 2 and an alkali metal-containing compound with respect to the main component, sintering is promoted, and high porcelain strength and Q value can be obtained.

【0022】[0022]

【実施例】【Example】

実施例1 原料として純度99%以上のBaCO3 ,MgCO3
WO3 の粉末を用いて、組成が表1に示す割合となるよ
うに秤量し、純水を媒体とし、ボ−ルミルにて20時間
湿式混合した。次にこの混合物を乾燥(脱水)し、12
00℃で2時間仮焼した。この仮焼物にB2 3 ,H3
PO4 ,SiO2 ,アルカリ金属含有化合物を表2〜表
4 に示した割合となるように秤量し、イソプロピルアル
コ−ルを媒体とし、ボ−ルミルにて20時間湿式混合し
た後、バインダ−としてパラフィンワックスを1〜10
重量%加えてから乾燥し、メッシュを通して整粒した。
次に該整粒物を約1ton/cm2 の圧力で直径10m
m、厚み5mmの円柱状に成形した。さらにこの成形体
を大気中で1400〜1600℃で2時間焼成して誘電
体磁器を得た。
Example 1 As raw materials, BaCO 3 , MgCO 3 ,
WO 3 powder was weighed to a composition shown in Table 1 and wet-mixed in a ball mill for 20 hours using pure water as a medium. The mixture is then dried (dehydrated) and
Calcination was performed at 00 ° C. for 2 hours. B 2 O 3 in the calcined product, H 3
Tables 2 to 4 show PO 4 , SiO 2 and alkali metal-containing compounds.
4 was weighed so as to have the ratio shown in FIG. 4, and wet-mixed in a ball mill for 20 hours using isopropyl alcohol as a medium, and then paraffin wax was used as a binder.
After adding the weight%, it was dried and sized through a mesh.
Next, the sized product is 10 m in diameter at a pressure of about 1 ton / cm 2.
m and 5 mm in thickness. Further, the molded body was fired in the atmosphere at 1400 to 1600 ° C. for 2 hours to obtain a dielectric ceramic.

【0023】かくして得られた磁器はJIS規格C21
41−1978(電気絶縁用セラミック材料評試験方
法)に基づいてかさ比重を求めた。また、磁器の両面を
平面研磨し、誘電特性評価用の試料(直径8mm,厚み
6mmの円柱状)を作製した。誘電特性の評価は、前記
試料を用いて誘電体円柱共振器法にて周波数10GHz
における比誘電率とQ値を測定した。また、−40〜8
5℃の温度範囲における共振周波数を測定し、25℃で
の共振周波数を基準にして共振周波数の温度係数τfを
算出した。
The porcelain thus obtained is JIS standard C21
The bulk specific gravity was determined based on 41-1978 (Ceramic material evaluation test method for electrical insulation). In addition, both surfaces of the porcelain were flat-polished to prepare a sample for evaluation of dielectric properties (a cylindrical shape having a diameter of 8 mm and a thickness of 6 mm). Evaluation of the dielectric properties was performed using the above-described sample by a dielectric cylinder resonator method at a frequency of 10 GHz.
Was measured for relative permittivity and Q value. Also, -40 to 8
The resonance frequency in the temperature range of 5 ° C. was measured, and the temperature coefficient τf of the resonance frequency was calculated based on the resonance frequency at 25 ° C.

【0024】表1に主成分の組成を示し、表2〜4に、
主成分に対して添加されるB,P,Si,アルカリ金属
をそれぞれ所定の化合物に換算した含有量と、そのかさ
比重,比誘電率,Q値,共振周波数の温度係数τfを示
した。
Table 1 shows the composition of the main components.
The content of B, P, Si, and alkali metal added to the main component in the form of a predetermined compound, the bulk specific gravity, the relative dielectric constant, the Q value, and the temperature coefficient τf of the resonance frequency are shown.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】[0026]

【表2】 [Table 2]

【0027】[0027]

【表3】 [Table 3]

【0028】[0028]

【表4】 [Table 4]

【0029】これらの表2および表4より、主成分10
0重量部に対して、ほう酸化合物をB2 3 換算で0.
01重量部以上0.20重量部以下、りん化合物をP量
で0.005重量部以上1重量部以下、SiO2 換算で
0.01重量部以上1重量部以下、アルカリ金属含有化
合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上1重量部未満添
加した場合や、これらの添加化合物の組み合わせて添加
することにより、BaO,MgO,WO3 からなる組成
物よりも、かさ比重およびQ値が向上し、比誘電率が1
8〜22、Q値が4800以上、共振周波数の温度係数
τfが±30ppm/℃以内の優れた特性を有すること
が判る。
From these Tables 2 and 4, the main component 10
0 for 0 parts by weight, boric acid compound terms of B 2 O 3.
01 to 0.20 part by weight, phosphorus compound in an amount of 0.005 to 1 part by weight in terms of P, 0.01 to 1 part by weight in terms of SiO 2 , and alkali metal-containing compound in carbonate By adding 0.01 parts by weight or more and less than 1 part by weight, or by adding these compounds in combination, the bulk specific gravity and the Q value are improved as compared with the composition composed of BaO, MgO, and WO 3. , Relative permittivity is 1
8 to 22, the Q value is 4800 or more, and the temperature coefficient τf of the resonance frequency has excellent characteristics within ± 30 ppm / ° C.

【0030】実施例2 原料として純度99%以上のBaCO3 ,MgCO3
WO3 およびYO3/2,LaO3/2 ,CeO2 ,NdO
3/2 ,PrO11/6,SmO3/2 の粉末を主成分原料とし
て用いて表5〜表8に示す割合に秤量し、純水を媒体と
し、ボ−ルミルにて20時間湿式混合した。表5〜表8
中における主成分No,は表1のNo,である。次にこの混
合物を乾燥(脱水)し、1200℃で2時間仮焼した。
この仮焼物にB2 3 ,H3 PO4 ,SiO2 ,アルカ
リ金属含有化合物を表5〜表8に示した割合となるよう
に秤量し、イソプロピルアルコ−ルを媒体とし、ボ−ル
ミルにて20時間湿式混合した後、バインダ−としてパ
ラフィンワックスを1〜10重量%加えてから乾燥し、
メッシュを通して整粒した。次に該整粒物を約1ton
/cm2 の圧力で直径10mm、厚み5mmの円柱状に
成形した。さらにこの成形体を大気中で1400〜16
00℃で2時間焼成して誘電体磁器を得た。
Example 2 As a raw material, BaCO 3 , MgCO 3 ,
WO 3 and YO 3/2 , LaO 3/2 , CeO 2 , NdO
Powders of 3/2 , PrO 11/6 and SmO 3/2 were weighed to the proportions shown in Tables 5 to 8 as main component raw materials, and wet-mixed in a ball mill for 20 hours using pure water as a medium. . Table 5 to Table 8
The main component No, in, is No, in Table 1. Next, the mixture was dried (dehydrated) and calcined at 1200 ° C. for 2 hours.
The calcined product in the B 2 O 3, H 3 PO 4, SiO 2, alkali metal-containing compound were weighed so that the proportions shown in Tables 5 to 8, isopropyl alcohol - Le as a medium, ball - the mill After wet mixing for 20 hours, paraffin wax is added as a binder in an amount of 1 to 10% by weight and then dried.
It was sized through a mesh. Next, the sized product is added for about 1 ton.
/ Cm 2 at a pressure of 10 mm in diameter and 5 mm in thickness. Further, the molded body is placed in the atmosphere at 1400 to 16
It was fired at 00 ° C. for 2 hours to obtain a dielectric porcelain.

【0031】かくして得られた磁器について、かさ比
重,比誘電率,Q値,共振周波数の温度係数τfを実施
例1と同様にして求めた。表5〜表8にその結果を示し
た。
With respect to the porcelain thus obtained, the bulk specific gravity, the relative dielectric constant, the Q value, and the temperature coefficient τf of the resonance frequency were determined in the same manner as in the first embodiment. Tables 5 to 8 show the results.

【0032】[0032]

【表5】 [Table 5]

【0033】[0033]

【表6】 [Table 6]

【0034】[0034]

【表7】 [Table 7]

【0035】[0035]

【表8】 [Table 8]

【0036】これらの表5〜8によれば、BaO,Mg
O,WO3 からなる組成物100モル部に対して周期律
表第3a族元素を0.1〜30モル部添加することによ
り、共振周波数の温度係数τfを最適な値に調整するこ
とができることが判る。また、主成分100重量部に対
してB,P,Si,アルカリ金属元素を少なくとも1種
以上を所定量添加することにより、BaO,MgO,W
3 からなる組成物よりも、かさ比重およびQ値が向上
し、比誘電率が18〜22、Q値が4300以上の優れ
た特性を有することが判る。
According to these Tables 5 to 8, BaO, Mg
By adding 0.1 to 30 mol parts of Group 3a element of the periodic table to 100 mol parts of the composition composed of O and WO 3 , the temperature coefficient τf of the resonance frequency can be adjusted to an optimum value. I understand. By adding at least one of B, P, Si and an alkali metal element in a predetermined amount to 100 parts by weight of the main component, BaO, MgO, W
It can be seen that the bulk specific gravity and the Q value are improved, the relative dielectric constant is 18 to 22, and the Q value is 4300 or more, which is superior to the composition composed of O 3 .

【0037】実施例3 原料として純度99%以上のBaCO3 ,MgCO3
WO3 およびHfO2,ZrO2 ,MnCO3 ,SnO
2 ,TiO2 ,CaCO3 の粉末を主成分原料として用
いて表9〜表11に示す割合に秤量し、純水を媒体と
し、ボ−ルミルにて20時間湿式混合した。表9〜表1
1において主成分のNo,は表1におけるNo,である。次
にこの混合物を乾燥(脱水)し、1200℃で2時間仮
焼した。この仮焼物にB2 3 ,H3 PO4 ,Si
2 ,アルカリ金属含有化合物を表9〜表11に示した
割合となるように秤量し、イソプロピルアルコ−ルを媒
体とし、ボ−ルミルにて20時間湿式混合した後、バイ
ンダ−としてパラフィンワックスを1〜10重量%加え
てから乾燥し、メッシュを通して整粒した。次に該整粒
物を約1ton/cm2 の圧力で直径10mm、厚み5
mmの円柱状に成形した。さらにこの成形体を大気中で
1400〜1600℃で2時間焼成して誘電体磁器を得
た。得られた磁器について、かさ比重,比誘電率,Q
値,共振周波数の温度係数τfを実施例1と同様にして
求めた。表9〜表11にその結果を示した。
Example 3 As a raw material, BaCO 3 , MgCO 3 ,
WO 3 and HfO 2 , ZrO 2 , MnCO 3 , SnO
2 , TiO 2 , and CaCO 3 powders were weighed at the ratios shown in Tables 9 to 11 as main component raw materials, and wet-mixed in a ball mill for 20 hours using pure water as a medium. Table 9 to Table 1
In No. 1, No. of the main component is No. in Table 1. Next, the mixture was dried (dehydrated) and calcined at 1200 ° C. for 2 hours. B 2 O 3 , H 3 PO 4 , Si
O 2 and alkali metal-containing compounds were weighed so as to have the proportions shown in Tables 9 to 11 and wet-mixed in a ball mill for 20 hours using isopropyl alcohol as a medium, and then paraffin wax was used as a binder. After adding 1 to 10% by weight, the mixture was dried and sized through a mesh. Next, the sized product was dried at a pressure of about 1 ton / cm 2 with a diameter of 10 mm and a thickness of 5 mm.
mm. Further, the molded body was fired in the atmosphere at 1400 to 1600 ° C. for 2 hours to obtain a dielectric ceramic. About the obtained porcelain, bulk specific gravity, relative permittivity, Q
The value and the temperature coefficient τf of the resonance frequency were determined in the same manner as in Example 1. Tables 9 to 11 show the results.

【0038】[0038]

【表9】 [Table 9]

【0039】[0039]

【表10】 [Table 10]

【0040】[0040]

【表11】 [Table 11]

【0041】これらの表9〜11によれば、BaO,M
gO,WO3 からなる組成物100モル部に対してS
n,Mn,Caおよび周期律表第4a族元素を0.1〜
20モル部添加することにより、共振周波数の温度係数
τfを最適な値に調整することができることが判る。ま
た、主成分100重量部に対してB,P,Si,アルカ
リ金属元素を少なくとも1種以上を所定量添加すること
により、BaO,MgO,WO3 からなる組成物より
も、かさ比重およびQ値が向上し、比誘電率が18〜2
2、Q値が4600以上、共振周波数の温度係数τfが
±30ppm/℃以内の優れた特性を有することが判
る。
According to these Tables 9 to 11, BaO, M
S per 100 mole parts of the composition consisting of gO and WO 3
n, Mn, Ca and Group 4a elements of the periodic table
It can be seen that by adding 20 mol parts, the temperature coefficient τf of the resonance frequency can be adjusted to an optimum value. Further, by adding at least one of B, P, Si and an alkali metal element in a predetermined amount to 100 parts by weight of the main component, the bulk specific gravity and the Q value are higher than those of a composition composed of BaO, MgO and WO 3. And the relative dielectric constant is 18 to 2
2. It can be seen that it has excellent characteristics in which the Q value is 4600 or more and the temperature coefficient τf of the resonance frequency is within ± 30 ppm / ° C.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、B
aO,MgO,WO3 からなる主成分、あるいは、これ
にSn,Mn,Caおよび周期律表第3a,4a族元素
を含んだ主成分に対して、B,P,Si,アルカリ金属
元素を所定量含有することにより、BaO,MgO,W
3 からなる組成物よりかさ比重が向上し、高強度とす
ることができるとともに、10GHzでのQ値を高くす
ることができ(4000以上)、共振周波数の温度係数
τfを制御することができる。また、主成分にSn,M
n,Caおよび周期律表第3a,4a族元素を含有する
ことにより、焼結性を向上するとともに、共振周波数の
温度係数τfをプラス側に移行させ、誘電特性を制御す
ることができる。
As described in detail above, according to the present invention, B
B, P, Si, and alkali metal elements are added to the main component consisting of aO, MgO, and WO 3 or the main component containing Sn, Mn, Ca, and elements of Groups 3a and 4a in the periodic table. BaO, MgO, W
The bulk specific gravity is higher than that of the composition comprising O 3 , the strength can be increased, the Q value at 10 GHz can be increased (4000 or more), and the temperature coefficient τf of the resonance frequency can be controlled. . In addition, Sn, M
By containing n and Ca and elements of Groups 3a and 4a of the periodic table, the sinterability can be improved, and the temperature coefficient τf of the resonance frequency can be shifted to the plus side to control the dielectric properties.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−309925(JP,A) 特開 平6−236708(JP,A) 特開 平5−205524(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 35/00 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-6-309925 (JP, A) JP-A-6-236708 (JP, A) JP-A-5-205524 (JP, A) (58) Field (Int. Cl. 7 , DB name) C04B 35/00

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】金属元素として少なくともBa,Mg,W
を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、ほう酸化合物
をB2 3 換算で0.01重量部以上0.2重量部以下
添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
(1) at least Ba, Mg, W as a metal element;
When the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0. 40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 Based on 100 parts by weight of the main component satisfying x + y + z = 1.00, a boric acid compound is added in an amount of 0.01 to 0.2 parts by weight in terms of B 2 O 3. A dielectric porcelain composition, comprising:
【請求項2】金属元素として少なくともBa,Mg,W
を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、リン化合物を
P量で0.005重量部以上1重量部以下添加含有する
ことを特徴とする誘電体磁器組成物。
2. At least Ba, Mg, W as a metal element
When the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0. 40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 The phosphorus compound is added and contained in an amount of 0.005 to 1 part by weight based on 100 parts by weight of the main component satisfying x + y + z = 1.00. Dielectric porcelain composition.
【請求項3】金属元素として少なくともBa,Mg,W
を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、SiO2
0.01重量部以上1重量部以下添加含有することを特
徴とする誘電体磁器組成物。
3. At least Ba, Mg, W as a metal element
When the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0. 40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 With respect to 100 parts by weight of the main component satisfying the following condition, 0.01 to 1 part by weight of SiO 2 is added and contained. Porcelain composition.
【請求項4】金属元素として少なくともBa,Mg,W
を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、アルカリ金属
含有化合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上1重量部
未満添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
4. At least Ba, Mg, W as a metal element
When the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0. 40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 The alkali metal-containing compound is added to and contained in an amount of 0.01 to less than 1 part by weight in terms of carbonate with respect to 100 parts by weight of the main component satisfying x + y + z = 1.00. A dielectric porcelain composition characterized by the following.
【請求項5】金属元素として少なくともBa,Mg,W
を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、周期律表第3
a族元素から選ばれる少なくとも1種を0.1〜30モ
ル部の割合で含有してなる主成分100重量部に対し
て、ほう酸化合物をB2 3 換算で0.01重量部以上
0.2重量部以下添加含有することを特徴とする誘電体
磁器組成物。
5. At least Ba, Mg, W as a metal element
When the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0. 40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 With respect to 100 mol parts of the composition satisfying the following condition, the periodic table 3
The boric acid compound is used in an amount of 0.01 to 0.3 parts by weight in terms of B 2 O 3 with respect to 100 parts by weight of the main component containing 0.1 to 30 parts by mole of at least one element selected from group a elements. A dielectric porcelain composition, characterized in that it contains 2 parts by weight or less.
【請求項6】金属元素として少なくともBa,Mg,W
を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、周期律表第3
a族元素から選ばれる少なくとも1種を0.1〜30モ
ル部の割合で含有してなる主成分100重量部に対し
て、リン化合物をP量で0.005重量部以上1重量部
以下添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
6. At least Ba, Mg, W as a metal element
When the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0. 40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 With respect to 100 mol parts of the composition satisfying the following condition, the periodic table 3
A phosphorus compound is added in an amount of 0.005 to 1 part by weight based on 100 parts by weight of a main component containing 0.1 to 30 parts by mole of at least one element selected from group a elements. A dielectric porcelain composition characterized by comprising:
【請求項7】金属元素として少なくともBa,Mg,W
を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、周期律表第3
a族元素から選ばれる少なくとも1種を0.1〜30モ
ル部の割合で含有してなる主成分100重量部に対し
て、SiO2 を0.01重量部以上1重量部以下添加含
有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
7. At least Ba, Mg, W as a metal element
When the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0. 40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 With respect to 100 mol parts of the composition satisfying the following condition, the periodic table 3
SiO 2 is added in an amount of 0.01 to 1 part by weight based on 100 parts by weight of a main component containing 0.1 to 30 parts by weight of at least one element selected from Group a elements. A dielectric porcelain composition characterized by the following.
【請求項8】金属元素として少なくともBa,Mg,W
を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、周期律表第3
a族元素から選ばれる少なくとも1種を0.1〜30モ
ル部の割合で含有してなる主成分100重量部に対し
て、アルカリ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.01重
量部以上1重量部未満添加含有することを特徴とする誘
電体磁器組成物。
8. At least Ba, Mg, W as a metal element
When the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0. 40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 With respect to 100 mol parts of the composition satisfying the following condition, the periodic table 3
0.01 parts by weight or more and 1 part by weight of an alkali metal-containing compound in terms of carbonate relative to 100 parts by weight of a main component containing at least one element selected from group a elements in a ratio of 0.1 to 30 parts by mole. A dielectric porcelain composition characterized by containing less than 10 parts by weight.
【請求項9】金属元素として少なくともBa,Mg,W
を含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、Sn,Mn,
Ca及び周期律表第4a族元素から選ばれる少なくとも
1種を0.1〜20モル部の割合で含有してなる主成分
に対して、ほう酸化合物をB2 3 換算で0.01重量
部以上0.2重量部以下添加含有することを特徴とする
誘電体磁器組成物。
9. At least Ba, Mg, W as a metal element
When the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0. 40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 Sn, Mn,
A boric acid compound is contained in an amount of 0.01 part by weight in terms of B 2 O 3 with respect to a main component containing 0.1 to 20 mol parts of at least one element selected from Ca and elements of Group 4a of the periodic table. A dielectric porcelain composition characterized in that it is added in an amount of not less than 0.2 parts by weight.
【請求項10】金属元素として少なくともBa,Mg,
Wを含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、Sn,Mn,
Ca及び周期律表第4a族元素から選ばれる少なくとも
1種を0.1〜20モル部の割合で含有してなる主成分
に対して、リン化合物をP量で0.005重量部以上1
重量部以下添加含有することを特徴とする誘電体磁器組
成物。
10. At least Ba, Mg,
When W is contained and the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are: 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0 .40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 Sn, Mn,
0.005 parts by weight or more of a phosphorus compound in a P amount with respect to a main component containing 0.1 to 20 mol parts of at least one element selected from Ca and an element of Group 4a of the periodic table.
A dielectric porcelain composition, characterized in that it contains not more than parts by weight.
【請求項11】金属元素として少なくともBa,Mg,
Wを含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、Sn,Mn,
Ca及び周期律表第4a族元素から選ばれる少なくとも
1種を0.1〜20モル部の割合で含有してなる主成分
に対して、SiO2 を0.01重量部以上1重量部以下
添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
11. At least Ba, Mg,
When W is contained and the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are: 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0 .40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 Sn, Mn,
0.01 to 1 part by weight of SiO 2 is added to the main component containing 0.1 to 20 parts by mole of at least one element selected from Ca and Group 4a element of the periodic table. A dielectric porcelain composition characterized by comprising:
【請求項12】金属元素として少なくともBa,Mg,
Wを含有し、これらの成分のモル比による組成式を xBaO・yMgO・zWO3 と表わした時、前記x、y、zが、 0.40≦x≦0.60 0.13≦y≦0.40 0.20≦z≦0.30 x+y+z=1.00 を満足する組成物100モル部に対して、Sn,Mn,
Ca及び周期律表第4a族元素から選ばれる少なくとも
1種を0.1〜20モル部の割合で含有してなる主成分
に対して、アルカリ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.
01重量部以上1重量部未満添加含有することを特徴と
する誘電体磁器組成物。
12. At least Ba, Mg,
When W is contained and the composition formula based on the molar ratio of these components is expressed as xBaO · yMgO · zWO 3 , x, y, and z are: 0.40 ≦ x ≦ 0.60 0.13 ≦ y ≦ 0 .40 0.20 ≦ z ≦ 0.30 x + y + z = 1.00 Sn, Mn,
With respect to the main component containing 0.1 to 20 mol parts of at least one element selected from the group consisting of Ca and Group 4a element of the periodic table, the alkali metal-containing compound is added in an amount of 0.1 to 20 mol parts in terms of carbonate.
A dielectric porcelain composition characterized by being added in an amount of not less than 01 parts by weight and less than 1 part by weight.
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