JP3100231B2 - Adhesion test apparatus and method - Google Patents

Adhesion test apparatus and method

Info

Publication number
JP3100231B2
JP3100231B2 JP04193360A JP19336092A JP3100231B2 JP 3100231 B2 JP3100231 B2 JP 3100231B2 JP 04193360 A JP04193360 A JP 04193360A JP 19336092 A JP19336092 A JP 19336092A JP 3100231 B2 JP3100231 B2 JP 3100231B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
sample
data
sensor
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP04193360A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0611435A (en
Inventor
寛明 武正
孝 鈴木
Original Assignee
株式会社レスカ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社レスカ filed Critical 株式会社レスカ
Priority to JP04193360A priority Critical patent/JP3100231B2/en
Publication of JPH0611435A publication Critical patent/JPH0611435A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3100231B2 publication Critical patent/JP3100231B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えばはんだペース
トの粘着性を正確に測定できる粘着性試験装置および方
法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tackiness test apparatus and method capable of accurately measuring, for example, the tackiness of a solder paste.

【0002】[0002]

【従来の技術】各種はんだペーストの粘着性を自動的に
測定できる粘着性試験装置、所謂タッキング試験器が知
られている。種々の条件に依存しているはんだペースト
の粘着性特性を知ることは、ペーストの配合比の決定、
部品マウント時の機械的条件の設定、はんだ付け時期の
設定などを適切に行う上で、重要である。タッキング試
験器は、粘着材、クリームはんだ等の試料を測定の対象
とし、測定ステージ上に一定の厚さに置かれた試料に対
して応力センサに取り付けられた測定プローブを一定速
度で下降させ、設定された所定の応力で所定の時間押し
つけ、その後一定の速度でプローブを引き上げる(引き
離す)ときの引張応力を時間経過(引上げ距離)に対し
てプロットし、通常、その最大値を粘着力データとする
構成を有している。
2. Description of the Related Art There is known an adhesion tester capable of automatically measuring the adhesion of various solder pastes, a so-called tacking tester. Knowing the adhesive properties of the solder paste, which depends on various conditions, is a matter of determining the mixing ratio of the paste,
This is important for properly setting the mechanical conditions when mounting components and setting the soldering time. The tacking tester measures the sample such as adhesive, cream solder, etc., and lowers the measurement probe attached to the stress sensor at a constant speed with respect to the sample placed at a certain thickness on the measurement stage, The probe is pressed for a predetermined time with a set predetermined stress, and then the tensile stress when the probe is pulled up (pulled away) at a constant speed is plotted with respect to the passage of time (pulling distance). Configuration.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】この発明は、かかるタ
ッキング試験器の改良を目的とし、より正確な測定を可
能とするものである。従来のタッキング試験器における
問題点の一つは、温度条件の設定の精度が不十分なこと
である。クリームハンダを測定する時に、実際には、加
熱ステージ上に載せたスライドガラスの上に約0.2mm
の厚さで印刷された状態とされている。この加熱ステー
ジが温度制御されるのみでは、プローブがクリームはん
だに接触する時に、温度条件が変動してしまい、測定精
度が劣化する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention aims to improve such a tacking tester and enables more accurate measurement. One of the problems with the conventional tacking tester is that the accuracy of setting the temperature conditions is insufficient. When measuring cream solder, actually 0.2 mm on a slide glass placed on a heating stage
It is printed in a thickness of. If only the temperature of the heating stage is controlled, the temperature condition fluctuates when the probe comes into contact with the cream solder, and the measurement accuracy deteriorates.

【0004】また、クリームはんだ等の試料の実際の温
度を測定することは、極細の熱電対を試料内に埋め込ま
ない限りできない。次善の策として、試料の近傍のスラ
イドガラス表面に熱電対を接触させておく方法がある。
しかし、この方法を実現すると、スライドガラスの交換
の度に、ガラス面と熱電対の接触の具合に注意を払う必
要があり、取扱いが面倒となる問題がある。
In addition, it is not possible to measure the actual temperature of a sample such as a cream solder unless an extremely fine thermocouple is embedded in the sample. As a next best measure, there is a method of keeping a thermocouple in contact with the surface of the slide glass near the sample.
However, when this method is realized, it is necessary to pay attention to the degree of contact between the glass surface and the thermocouple every time the slide glass is replaced, and there is a problem that handling is troublesome.

【0005】従来のタッキング試験器が有する第2の問
題は、プローブの加圧時間の間、プリロードを所定値に
保つように制御する場合のその制御精度である。このプ
リロードの保持の精度が従来のフィードバック制御で
は、±10〜20%程度で、あまり良くなかった。
A second problem of the conventional tacking tester is the control accuracy in controlling the preload to a predetermined value during the probe pressurizing time. The accuracy of the preload holding is not very good in the conventional feedback control, which is about ± 10 to 20%.

【0006】第3の問題としては、測定で得られたデー
タの処理の問題である。すなわち、試料の放置時間が長
くなるにつれて、その粘着力が低下する傾向がある。従
来では、10回程度の測定の平均値で試料の粘着力の状
態を判断している。しかしながら、放置後の粘着力の低
下の程度は、試料によってばらつきがある。このこと
は、試料の表面が乾燥し、その乾燥膜が試験に際して破
れるか否かが粘着力の大きな差となることに起因してい
る。
A third problem is a problem of processing data obtained by measurement. That is, as the standing time of the sample increases, the adhesive strength tends to decrease. Conventionally, the state of the adhesive strength of a sample is determined based on the average value of about 10 measurements. However, the degree of the decrease in the adhesive strength after being left to stand varies from sample to sample. This is due to the fact that the surface of the sample dries, and whether or not the dried film is broken during the test has a large difference in adhesive strength.

【0007】従って、この発明の一つの目的は、プロー
ブの温度および加熱ステージの温度を所定のものに制御
することによって、精度が高い測定を可能とする粘着性
試験装置を提供することにある。
It is, therefore, an object of the present invention to provide a tackiness test apparatus capable of performing highly accurate measurement by controlling the temperature of a probe and the temperature of a heating stage to predetermined ones.

【0008】この発明の他の目的は、プリロードされる
圧力を高精度に所定値に保つことができ、精度が高い測
定を可能とする粘着性試験装置を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide an adhesion test apparatus capable of maintaining a preloaded pressure at a predetermined value with high accuracy and enabling highly accurate measurement.

【0009】この発明のさらに他の目的は、放置による
粘着力の低下の度合いによって、試料の良否が的確に判
定できる粘着性試験方法を提供することにある。
It is still another object of the present invention to provide an adhesion test method which can judge the quality of a sample accurately based on the degree of decrease in adhesive force due to standing.

【0010】この発明のよりさらに他の目的は、粘着力
試験装置を使用して、試料の粘性を測定できる試験方法
を提供することにある。
A still further object of the present invention is to provide a test method capable of measuring the viscosity of a sample using an adhesion tester.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】この発明は、試料に対し
てプローブ先端を押しつけ、次に、試料を引き上げる時
のプローブに加わる応力から試料の粘着力を測定するよ
うにした粘着性試験装置であって、プローブを昇降させ
るための機構部およびドライブ回路と、予め設定された
条件でプローブが昇降するように、機構部およびドライ
ブ回路に対して制御信号を供給する制御回路と、プロー
ブに加わる応力を検出するために、プローブと結合され
たセンサと、センサからの検出信号を処理して粘着力デ
ータを得るためのデータ処理装置と、試料を置くための
試料台と、試料台と関連して設けられ、試料の温度を制
御するための第1の温度制御装置と、プローブと関連し
て設けられ、プローブの温度を制御するための第2の温
度制御装置とからなる粘着性試験装置である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to an adhesion test apparatus which presses the tip of a probe against a sample, and then measures the adhesion of the sample from the stress applied to the probe when the sample is pulled up. A mechanism and a drive circuit for raising and lowering the probe, a control circuit for supplying a control signal to the mechanism and the drive circuit so that the probe moves up and down under preset conditions, and a stress applied to the probe. A sensor coupled to the probe, a data processing device for processing the detection signal from the sensor to obtain the adhesive force data, a sample stage for placing the sample, and a sample stage. A first temperature control device provided for controlling the temperature of the sample, and a second temperature control device provided in connection with the probe for controlling the temperature of the probe. That tacky test device.

【0012】請求項2記載のものは、試料台を加熱する
ための加熱装置と、試料台上で、ガラス板の近傍に設け
られ、ガラス板と略同一の物理的性質を有する小片と、
小片の温度を検出する温度検出素子と、温度検出素子か
らの検出信号が供給され、加熱装置に対するドライブ信
号を生成する温度制御装置とを有するものである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a heating device for heating a sample stage, a small piece provided on the sample stage near the glass plate and having substantially the same physical properties as the glass plate.
It has a temperature detecting element for detecting the temperature of the small piece, and a temperature control device that receives a detection signal from the temperature detecting element and generates a drive signal for the heating device.

【0013】請求項3記載のものは、測定期間中、一定
の加圧を行うように、制御すると共に、予め設定された
条件でプローブが昇降するように、機構部およびドライ
ブ回路に対して制御信号を供給するための制御装置と、
センサに対して、所定の圧力を加えるための機械的加圧
機構とを有している。
According to a third aspect of the present invention, the control unit controls the mechanical unit and the drive circuit so that a constant pressurization is performed during the measurement period and the probe moves up and down under predetermined conditions. A control device for supplying a signal;
A mechanical pressurizing mechanism for applying a predetermined pressure to the sensor.

【0014】請求項4記載のものは、試料に対してプロ
ーブを昇降させるための機構部およびドライブ回路と、
予め設定された条件でプローブが昇降するように、機構
部およびドライブ回路に対して制御信号を供給するため
の制御装置と、プローブに加わる応力を検出するため
に、プローブと結合されたセンサと、センサからの検出
信号を処理して粘着力データを得るためのデータ処理装
置と、試料を置くための試料台とからなる粘着性試験装
置を使用した測定方法において、異なる放置時間のそれ
ぞれにおいて、複数回の測定を繰り返し、放置時間のそ
れぞれにおいて、複数個の粘着力のデータを得るステッ
プと、放置時間のそれぞれにおける粘着力のデータの平
均値を計算するステップと、平均値からしきい値を決定
するステップと、放置時間のそれぞれにおいて、しきい
値を基準として、複数個の粘着力のデータのうちで、し
きい値を超えるものの割合を求めるステップとからなる
ことを特徴とする測定方法である。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a mechanism for raising and lowering a probe with respect to a sample and a drive circuit;
A control device for supplying a control signal to the mechanism and the drive circuit so that the probe moves up and down under preset conditions, and a sensor coupled to the probe to detect stress applied to the probe, In a measurement method using an adhesion tester including a data processing device for processing a detection signal from a sensor to obtain adhesive force data and a sample stage for placing a sample, a plurality of samples are obtained at each of different standing times. Steps of obtaining a plurality of pieces of adhesive force data at each of the standing times, calculating an average value of the adhesive force data at each of the leaving times, and determining a threshold value from the average value. At each of the step of leaving and the standing time, a plurality of pieces of adhesive force data that exceed the threshold value with respect to the threshold value. A measuring method characterized by comprising a step of obtaining a percentage.

【0015】請求項5記載のものは、試料に対してプロ
ーブを昇降させるための機構部およびドライブ回路と、
予め設定された条件でプローブが昇降するように、機構
部およびドライブ回路に対して制御信号を供給するため
の制御回路と、プローブに加わる応力を検出するため
に、プローブと結合されたセンサと、センサからの検出
信号を処理して粘着力データを得るためのデータ処理装
置と、試料を置くための試料台とからなる粘着性試験装
置を使用した測定方法において、プローブを試料に接触
させた状態から一定の速度でプローブを押し込み、試料
内で一端停止し、次に、元の位置まで戻すように、プロ
ーブを上昇させ、プローブの行きのカーブと帰りのカー
ブとで囲まれた部分の面積をデータ処理装置により求
め、面積から試料の粘性のデータを得ることを特徴とす
る測定方法である。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a mechanism for raising and lowering a probe with respect to a sample and a drive circuit;
A control circuit for supplying a control signal to the mechanism and the drive circuit, and a sensor coupled with the probe to detect a stress applied to the probe, such that the probe moves up and down under preset conditions, The probe is in contact with the sample in a measurement method using an adhesion tester consisting of a data processing device for processing the detection signal from the sensor to obtain adhesive force data and a sample stage for placing the sample. Push the probe at a constant speed from the end, stop once in the sample, then raise the probe so that it returns to the original position, and increase the area of the area enclosed by the going curve and the returning curve of the probe. This is a measuring method characterized by obtaining data of the viscosity of a sample from an area obtained by a data processing device.

【0016】[0016]

【作用】試料台のみならず、プローブ自体の温度を制御
するので、温度条件が変動することを防止できる。試料
台上の試料の温度を正確に制御することができる。従っ
て、測定精度を向上できる。プリロードされる圧力を電
気的構成と機械的構成との両者で制御するので、制御精
度を高くすることができる。放置した時の試料の粘着力
の変化のデータの処理から的確に試料の良否を判定でき
る。粘着力のみならず、同じ装置で粘性をも測定するこ
とができる。
The temperature of not only the sample stage but also the probe itself is controlled, so that fluctuations in temperature conditions can be prevented. The temperature of the sample on the sample stage can be accurately controlled. Therefore, measurement accuracy can be improved. Since the preloaded pressure is controlled by both the electrical configuration and the mechanical configuration, control accuracy can be increased. The quality of the sample can be accurately determined from the data processing of the change in the adhesive strength of the sample when left unattended. The viscosity can be measured with the same device as well as the adhesive force.

【0017】[0017]

【実施例】以下、この発明の一実施例について図面を参
照して説明する。まず、この発明の理解の容易のため
に、装置の外観について図1を参照して説明する。図1
で1は、キーパネルであって、キーパネル1には、キー
ボード2、スタートスイッチ3、昇降スイッチ4、LE
D(あるいはLCD)ディスプレイ5等が設けられてい
る。また、装置内部には、制御およびデータ処理用のマ
イクロコンピュータ、電気回路が設けられている。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, the appearance of the apparatus will be described with reference to FIG. 1 for easy understanding of the present invention. FIG.
Reference numeral 1 denotes a key panel. The key panel 1 includes a keyboard 2, a start switch 3, a lifting switch 4, and an LE switch.
A D (or LCD) display 5 and the like are provided. Further, a microcomputer for control and data processing and an electric circuit are provided inside the apparatus.

【0018】11が機構部であり、昇降自在のセンサア
ーム12が突出される。アーム12の先端部に応力セン
サ13が取り付けられる。センサ13の作動部に対して
軸状のプローブ14が取り付けられる。センサ13は、
プローブ14の先端に加わる応力を検出する。センサ1
3およびプローブ14の軸線が一致されている。プロー
ブ14は、ねじによって、センサ13から簡単に取り外
すことができ、その先端の面が試料台16の面と再現性
良く平行となるようにされている。これらと平行に設け
られた支持軸の先端に板状部材が固定され、その中心位
置に試料押さえリング15が取り付けられる。
Reference numeral 11 denotes a mechanism, and a sensor arm 12 which can be moved up and down is projected. A stress sensor 13 is attached to the tip of the arm 12. A shaft-shaped probe 14 is attached to an operating portion of the sensor 13. The sensor 13 is
The stress applied to the tip of the probe 14 is detected. Sensor 1
The axes of 3 and probe 14 are aligned. The probe 14 can be easily removed from the sensor 13 by a screw, and the surface of the tip is parallel to the surface of the sample table 16 with good reproducibility. A plate-like member is fixed to the tip of a support shaft provided in parallel with these, and a sample holding ring 15 is attached to the center of the plate-like member.

【0019】試料は、プローブ14の下方で、試料台1
6上に置かれる。試料台16は、X方向およびY方向に
移動可能なステージである。押さえリング15は、プロ
ーブ14の先端が試料を押しつけた後に、センサアーム
12が上昇する時に、試料が浮き上がるのを防止する。
試料の粘着力が比較的小さい場合、例えば試料がクリー
ムはんだ、ペースト等の場合は、押さえリング15が不
要である点を考慮して、押さえリング15は、取外し可
能である。
The sample is placed on the sample stage 1 below the probe 14.
6 is put on. The sample stage 16 is a stage that can move in the X and Y directions. The holding ring 15 prevents the sample from floating when the sensor arm 12 moves up after the tip of the probe 14 presses the sample.
When the adhesive force of the sample is relatively small, for example, when the sample is cream solder, paste, or the like, the holding ring 15 is removable in consideration of the fact that the holding ring 15 is unnecessary.

【0020】図2は、機構部11をより詳細に示す。押
さえリング15は、支持軸17a、17bで支持され
る。この支持軸17a、17b(押さえリング15)
は、ハウジング18a、18b内のスプリングによっ
て、常に下方、すなわち、試料を押しつける方向に偏倚
されている。押さえリング15は、試料を押しつけた
時、試料の温度を極力変化させないように、熱伝導率の
低い樹脂からなる。
FIG. 2 shows the mechanism section 11 in more detail. The press ring 15 is supported by support shafts 17a and 17b. These support shafts 17a, 17b (holding ring 15)
Is always biased downward, that is, in the direction of pressing the sample, by springs in the housings 18a and 18b. The holding ring 15 is made of a resin having a low thermal conductivity so that the temperature of the sample is not changed as much as possible when the sample is pressed.

【0021】図2において、21がセンサアームを昇降
させるためのステッピングモータである。その回転が伝
達されるボールねじ22とセンサアーム12とがねじ部
材23を介して結合される。モータ21が回転すると、
ボールねじ22およびねじ部材23によりセンサアーム
12が昇降する。固定の支持板24aおよび24bが垂
直方向に所定の間隔で設けられ、この間にガイド軸25
aおよび25bが平行に設けられる。ガイド軸25a、
25bを上下にスライドする軸受26a、26bがセン
サアーム12と一体に昇降するようになされる。この軸
受26a、26bとガイド軸25a、25bの間に設け
られたリニアブッシュ27によって、センサアーム12
が水平にその姿勢が保持される。
In FIG. 2, reference numeral 21 denotes a stepping motor for moving the sensor arm up and down. The ball screw 22 to which the rotation is transmitted and the sensor arm 12 are connected via a screw member 23. When the motor 21 rotates,
The sensor arm 12 is moved up and down by the ball screw 22 and the screw member 23. Fixed support plates 24a and 24b are provided at predetermined intervals in the vertical direction, and a guide shaft 25
a and 25b are provided in parallel. Guide shaft 25a,
Bearings 26a and 26b that slide up and down 25b move up and down integrally with the sensor arm 12. A linear bush 27 provided between the bearings 26a, 26b and the guide shafts 25a, 25b allows the sensor arm 12
Is held horizontally.

【0022】上述の図1および図2に示すタッキング試
験器の動作の概略について、図3を参照して説明する。
図3は、布製の両面粘着テープの場合のデータを示して
いる。最初に、キーパネル1上のディスプレイ5の表示
を見ながら、キーボード2を操作し、種々の測定条件を
入力する。
The operation of the tacking tester shown in FIGS. 1 and 2 will be schematically described with reference to FIG.
FIG. 3 shows data in the case of a double-sided adhesive tape made of cloth. First, the user operates the keyboard 2 while looking at the display on the display 5 on the key panel 1 to input various measurement conditions.

【0023】そして、試料台16上に試料6をセットす
る。試料6は、クリームはんだ、粘着フィルム等であ
る。試料6がクリームはんだ、ペースト等の場合は、押
さえリング15が不要であるため、これが取り外され
る。試料6は、スライドガラス、金属板等の板上に厚さ
0.2mm〜0.3mm程度に印刷したものを試料台16上
に置いて測定する。若し、試料6が粘着フィルム等の場
合は、押さえリング15を取付け、その下に試料6がそ
の測定面を上にして置かれる。押さえリング15は、ハ
ウジング18a、18b内のスプリングにより偏倚され
ているので、測定が終了するまで、試料6を試料台16
上に強く押しつける。さらに、押さえリング15の下面
にはりつける方法を使用しても良い。
Then, the sample 6 is set on the sample table 16. Sample 6 is a cream solder, an adhesive film, or the like. When the sample 6 is a cream solder, a paste, or the like, the holding ring 15 is unnecessary, so that the holding ring 15 is removed. The sample 6 is printed on a plate such as a slide glass or a metal plate and has a thickness of about 0.2 mm to 0.3 mm, and is placed on the sample table 16 for measurement. If the sample 6 is an adhesive film or the like, a holding ring 15 is attached, and the sample 6 is placed under the holding ring 15 with its measurement surface up. Since the holding ring 15 is biased by the springs in the housings 18a and 18b, the sample 6 is held on the sample stage 16 until the measurement is completed.
Press strongly on top. Further, a method of attaching to the lower surface of the holding ring 15 may be used.

【0024】試料6が薄い粘着フィルム等の場合は、測
定に先立つプリロード(予加圧)の段階で、試料6が均
一な圧力で押しつけられるように、試料台16上に金属
板、ガラス板の代わりにシリコンゴム等の弾力性の板あ
るいはシートを置いて、測定がなされる。
When the sample 6 is a thin adhesive film or the like, a metal plate or a glass plate is placed on the sample stage 16 so that the sample 6 is pressed at a uniform pressure in a preloading (pre-pressing) stage prior to the measurement. Instead, an elastic plate or sheet of silicon rubber or the like is placed for measurement.

【0025】次に、昇降スイッチ4を用いてプローブ1
4の先端が試料6の数mm位の上方の位置まで来るよう
に、センサアーム12を下降させる。LEDディスプレ
イ5の表示が「READY TO START」の状態の時に、昇降ス
イッチ4を操作すると、ステッピングモータ21が回転
し、この回転によって、ボールねじ22とねじ部材23
を介してセンサアーム12が昇降する。
Next, the probe 1 is
The sensor arm 12 is lowered so that the tip of 4 comes to a position several mm above the sample 6. When the raising / lowering switch 4 is operated while the display on the LED display 5 is in the “READY TO START” state, the stepping motor 21 rotates, and the rotation causes the ball screw 22 and the screw member 23 to rotate.
The sensor arm 12 is moved up and down via.

【0026】試料6の数mm上でプローブ14を停止させ
たら、スタートスイッチ3が押される。初期設定された
条件に従い、マイクロコンピュータから制御された動作
で、図3に示すように、プローブ14の昇降を自動的に
制御する。図3に示すように、最初にプローブ14が試
料6に押しつけられ、所定時間その状態を継続し、次
に、プローブ14を引き上げて行き、このプロセスでの
センサ13の出力の変化、主として引き上げる時の粘着
力の変化がセンサ13によって測定される。プローブ1
4が押しつける時の力もセンサ13からの応力信号をマ
イクロコンピュータが受け、設定された値で押しつける
ように制御される。1回の測定が終了すると、プローブ
14が初期の位置に戻る。
When the probe 14 is stopped several mm above the sample 6, the start switch 3 is pressed. As shown in FIG. 3, the elevation of the probe 14 is automatically controlled by an operation controlled by the microcomputer according to the initially set conditions. As shown in FIG. 3, first, the probe 14 is pressed against the sample 6 and continues for a predetermined time, and then the probe 14 is pulled up, and the change in the output of the sensor 13 in this process, mainly when the probe 14 is pulled up Is measured by the sensor 13. Probe 1
The microcomputer 4 receives the stress signal from the sensor 13 and controls the pressing force so that the pressing force is set at a set value. When one measurement is completed, the probe 14 returns to the initial position.

【0027】こうして測定された応力信号は、ディジタ
ル信号に変換され、マイクロコンピュータによって処理
される。測定終了後に、ディスプレイ5には、測定され
た粘着力の最大値が表示される。これと同時に、プロー
ブ14が試料6にもぐり込んだ距離(押し込み量)もデ
ータとして表示される。この距離は、センサ13に10
〔gf〕を超える応力が働いた所からのプローブ14の移
動量をコンピュータでカウントすることによって求めら
れる。さらに、図3に示すようなプローブ14の引上げ
開始からの粘着力の時間(=距離)変化がプロッタによ
ってプロットされる。
The stress signal measured in this way is converted into a digital signal and processed by a microcomputer. After the measurement, the maximum value of the measured adhesive force is displayed on the display 5. At the same time, the distance (indentation) of the probe 14 into the sample 6 is also displayed as data. This distance is 10
It is obtained by counting the amount of movement of the probe 14 from a place where a stress exceeding [gf] is applied by a computer. Further, the time (= distance) change of the adhesive force from the start of the pulling up of the probe 14 as shown in FIG. 3 is plotted by the plotter.

【0028】以上が1回の測定のプロセスであり、この
種の測定は、通常、かなりのデータのばらつきが避けら
れないため、一つの試料について、同一条件での測定を
数回から数十回繰り返して行い、得られたデータに統計
的処理を行って、粘着力あるいは押し込み量のデータと
して採用される。
The above is the process of one measurement. In this type of measurement, since a considerable variation in data is generally unavoidable, measurement under the same conditions is performed several times to several tens of times for one sample. Repeatedly, statistical processing is performed on the obtained data, and the data is adopted as data on the adhesive strength or the amount of indentation.

【0029】図4は、この一実施例のシステムの概略的
構成を示す。センサ13からの応力信号が増幅器31を
介してマイクロコンピュータ32に供給される。マイク
ロコンピュータ32内には、A/D変換器が設けられ、
応力信号をディジタル信号に変換する。上述のように、
マイクロコンピュータ32と関連して、キーパネル1、
LEDディスプレイ5、プリンタ・プロッタ33が設け
られている。
FIG. 4 shows a schematic configuration of the system of this embodiment. The stress signal from the sensor 13 is supplied to the microcomputer 32 via the amplifier 31. An A / D converter is provided in the microcomputer 32,
Convert stress signals to digital signals. As mentioned above,
In connection with the microcomputer 32, the key panel 1,
An LED display 5 and a printer / plotter 33 are provided.

【0030】マイクロコンピュータ32がモータドライ
バ34に対してモータ制御信号を供給し、モータドライ
バ34からのドライブ信号がステッピングモータ21に
供給される。ステッピングモータ21によって、上下機
構20(ボールねじ22、ねじ部材23等)が作動さ
れ、センサアーム12が昇降する。さらに、マイクロコ
ンピュータ32は、測定条件の設定、測定データの処理
を行う。
The microcomputer 32 supplies a motor control signal to the motor driver 34, and a drive signal from the motor driver 34 is supplied to the stepping motor 21. The vertical mechanism 20 (the ball screw 22, the screw member 23, etc.) is operated by the stepping motor 21, and the sensor arm 12 moves up and down. Further, the microcomputer 32 performs setting of measurement conditions and processing of measurement data.

【0031】試料6は、試料台16の上のスライドガラ
ス35上に例えば0.2mmの厚さで印刷されている。こ
のスライドガラス35は、試料台16に設けられたプレ
ートヒータ36によって加熱される。スライドガラス3
5が置かれる位置の近傍、例えば約4mmの位置に、温度
検出ユニット37が設けられる。この検出ユニット37
は、スライドガラス35と全く同質で、同一の厚みのガ
ラスの小片と、この上に固定された検出用熱電対とから
なる。
The sample 6 is printed on the slide glass 35 on the sample stage 16 with a thickness of, for example, 0.2 mm. The slide glass 35 is heated by a plate heater 36 provided on the sample stage 16. Slide glass 3
A temperature detection unit 37 is provided near the position where the device 5 is placed, for example, at a position of about 4 mm. This detection unit 37
Is composed of a glass piece of the same quality as the slide glass 35 and having the same thickness, and a detection thermocouple fixed thereon.

【0032】温度コントローラ38に対して、検出ユニ
ット37からの検出信号が供給され、温度コントローラ
38からヒータ36に対するドライブ信号が供給され
る。フィードバック制御によって、設定温度に対して約
±2度C以内の精度で、試料6の温度を制御することが
できる。これは、実際の測定に充分な温度精度であり、
かつ試料6、すなわち、スライドガラス35を交換する
度に、熱電対とスライドガラスの接触状態に配慮する必
要がなく、温度についての再現性も向上する。
A detection signal from the detection unit 37 is supplied to the temperature controller 38, and a drive signal for the heater 36 is supplied from the temperature controller 38. By the feedback control, the temperature of the sample 6 can be controlled with an accuracy within about ± 2 degrees C with respect to the set temperature. This is sufficient temperature accuracy for actual measurement,
In addition, every time the sample 6, that is, the slide glass 35 is replaced, it is not necessary to consider the contact state between the thermocouple and the slide glass, and the reproducibility of the temperature is improved.

【0033】また、プローブ14の温度制御もなされ
る。センサ13と熱遮断用のセラミック部材39を介し
てプローブ14が固着される。プローブ14には、プロ
ーブヒータ40および温度検出器41が取り付けられ、
温度コントローラ42によるフィードバック制御で、プ
ローブ14の温度が所定のものに制御される。試料6の
温度のみならず、プローブ14の温度をも制御すること
で、試料6に対してプローブ14が接触しても、試料6
の温度が変化することを防止でき、測定時の温度条件を
厳しく制御できる。
The temperature of the probe 14 is also controlled. The probe 14 is fixed via the sensor 13 and the ceramic member 39 for heat insulation. A probe heater 40 and a temperature detector 41 are attached to the probe 14,
By the feedback control by the temperature controller 42, the temperature of the probe 14 is controlled to a predetermined temperature. By controlling not only the temperature of the sample 6 but also the temperature of the probe 14, even if the probe 14 contacts the sample 6,
Can be prevented from changing, and the temperature conditions at the time of measurement can be strictly controlled.

【0034】図5Aは、はんだペーストを試料として、
この一実施例によって、実際に得られた粘着力データの
一例である。放置時間が0、1時間、2時間、5時間、
22時間のそれぞれにおいて、12回の測定がなされ、
粘着力のデータが得られている。図5Aには、各放置時
間における粘着力の平均値も示されている。
FIG. 5A shows a solder paste as a sample.
It is an example of the adhesive force data actually obtained by the embodiment. Leaving time 0, 1 hour, 2 hours, 5 hours,
In each of the 22 hours, 12 measurements were taken,
Adhesion data is obtained. FIG. 5A also shows the average value of the adhesive force at each leaving time.

【0035】この図5Aに示す粘着力の低下は、一例で
あって、試料によっては、変化の度合いが異なってい
る。試料の表面が乾燥し、この乾燥膜が試験に際して破
れるか否かが粘着力の差となって現れる。この点を考慮
して、単に平均値から試料の良否を判定するのではな
く、しきい値を設定し、このしきい値に基づいてデータ
を処理する。
The decrease in the adhesive strength shown in FIG. 5A is an example, and the degree of change differs depending on the sample. The surface of the sample dries, and whether or not the dried film is broken during the test appears as a difference in adhesive strength. In consideration of this point, a threshold value is set, and data is processed based on the threshold value, rather than simply determining the quality of the sample from the average value.

【0036】この例では、放置時間0の時のデータの平
均値(111.42)に対して、0.7を乗じることで
得られる77.994をしきい値とする。そして、この
しきい値を上回る確率によって、試料の良否を判断す
る。図5Bは、測定値からしきい値を減じた値を示して
いる。この値が正になるものは、しきい値を上回るもの
である。その生起確率が示されている。この確率のデー
タから試料の良否の判定がなされる。なお、しきい値を
設定するのに、平均値に対して乗じる係数(0.7)
は、一例であって適切なものに選ばれる。また、上回る
確率に限らず、下回る確率を求めるようにしても良い。
In this example, the threshold value is 77.994, which is obtained by multiplying the average value (111.42) of the data when the leaving time is 0 (111.42) by 0.7. Then, the quality of the sample is determined based on the probability of exceeding the threshold. FIG. 5B shows a value obtained by subtracting the threshold value from the measured value. If this value is positive, it is above the threshold. The probability of occurrence is shown. The quality of the sample is determined from the data of the probability. Note that a coefficient (0.7) by which the average value is multiplied to set the threshold value
Is an example and is selected as appropriate. Further, not only the probability of exceeding but also the probability of falling may be obtained.

【0037】さらに、測定データから粘着力のみなら
ず、粘性のデータを求めることができる。プローブ14
を試料6の表面に接触した状態から一定の速度でプロー
ブ14を押し込み、次に元の位置まで戻す。この間のプ
ローブ14が受ける応力をマイクロコンピュータ32に
よってグラフ化し、行き(下降)のカーブと帰り(上
昇)のカーブとで囲まれた部分の面積を算出する。この
量が試料の粘性項に比例する。この量に既知の粘度を持
つ試料の測定から得られた定数を乗じて粘度のデータと
する。
Further, not only adhesive force but also viscosity data can be obtained from the measured data. Probe 14
Is pushed into the probe 14 at a constant speed from the state in which the probe 14 is in contact with the surface of the sample 6, and then returned to the original position. The stress applied to the probe 14 during this time is graphed by the microcomputer 32, and the area of the portion surrounded by the going (down) curve and the returning (up) curve is calculated. This amount is proportional to the viscosity term of the sample. This amount is multiplied by a constant obtained from measurement of a sample having a known viscosity to obtain viscosity data.

【0038】測定に先立って、均一な圧力で試料を押し
つけるプリロードがなされる。このプリロードは、マイ
クロコンピュータ32がセンサ13からの応力信号を見
ながらセンサアーム12の位置を制御することで可能で
ある。しかしながら、かかるフィードバック制御のみで
は、プリロードされる圧力を高精度に制御できない。そ
こで、この一実施例では、フィードバック制御のみなら
ず、機械的なプリロードを併用して制御の精度を高めて
いる。
Prior to the measurement, a preload for pressing the sample with a uniform pressure is performed. This preload can be performed by the microcomputer 32 controlling the position of the sensor arm 12 while watching the stress signal from the sensor 13. However, only such feedback control cannot control the preloaded pressure with high accuracy. Therefore, in this embodiment, not only the feedback control but also the mechanical preload is used in combination to improve the control accuracy.

【0039】図6は、機械的プリロードの構成を示す。
センサ13の上部に、ばね51を設け、ばね51のばね
力をその上部のリニアブッシング52およびストッパ5
3で受ける構成とされる。そして、調整ねじ54の回転
によって、制御しようとする応力よりもやや小さい力だ
け、ばね51を圧縮しておくように調整される。この図
6の機構と上述のフィードバック制御とが併用される。
その結果、プリロードの制御精度を高めることができ
る。
FIG. 6 shows the structure of the mechanical preload.
A spring 51 is provided above the sensor 13, and the spring force of the spring 51 is applied to the linear bushing 52 and the stopper 5 above the spring 51.
3 to be received. The rotation of the adjusting screw 54 is adjusted so that the spring 51 is compressed by a force slightly smaller than the stress to be controlled. The mechanism of FIG. 6 and the above-described feedback control are used together.
As a result, the preload control accuracy can be improved.

【0040】[0040]

【発明の効果】この発明によれば、試料台上の試料の温
度制御を高精度に行うことができ、試料を交換した場合
でも、温度条件が変動することを防止できる。また、プ
ローブ自体も温度制御しているので、プローブが試料に
接触することによって、温度条件が変動することを防止
できる。このように、温度条件を厳しく管理することに
よって、高精度の測定データが得られる。
According to the present invention, the temperature of the sample on the sample stage can be controlled with high accuracy, and the temperature condition can be prevented from fluctuating even when the sample is replaced. Further, since the probe itself also controls the temperature, it is possible to prevent the temperature condition from fluctuating due to the probe coming into contact with the sample. As described above, by strictly controlling the temperature conditions, highly accurate measurement data can be obtained.

【0041】また、この発明は、プリロードを電気的な
フィードバック制御のみによらず、センサに対して機械
的な構成によっても行うので、プリロードされる圧力の
制御の精度を高めることができる。
According to the present invention, since the preload is performed not only by the electric feedback control but also by a mechanical configuration for the sensor, the accuracy of the control of the preloaded pressure can be improved.

【0042】さらに、この発明は、放置時間による粘着
力の低下のデータを処理する時に、しきい値を導入する
ので、単なる平均値を使用して試料の良否を判定するの
と比較して、試料に応じた的確な判定を行うことができ
る。
Further, the present invention introduces a threshold value when processing the data of the decrease in the adhesive strength due to the standing time, so that the quality of the sample is determined by using a simple average value. An accurate determination can be made according to the sample.

【0043】この発明は、粘着力試験装置を応用して粘
性をも測定することができる。
According to the present invention, the viscosity can be measured by applying an adhesion tester.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例の外観を示す斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の一実施例の機構部の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a mechanism according to an embodiment of the present invention.

【図3】この発明の測定動作の説明に用いる略線図であ
る。
FIG. 3 is a schematic diagram used for describing a measurement operation of the present invention.

【図4】この発明の一実施例のシステム構成を示すブロ
ック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a system configuration according to an embodiment of the present invention.

【図5】測定データの一例の略線図である。FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an example of measurement data.

【図6】プリロードを行うための機構を示す断面図であ
る。
FIG. 6 is a sectional view showing a mechanism for performing preloading.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 キーパネル 5 LEDディスプレイ 11 機構部 12 センサアーム 13 応力センサ 14 プローブ 16 試料台 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Key panel 5 LED display 11 Mechanical part 12 Sensor arm 13 Stress sensor 14 Probe 16 Sample stand

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−27841(JP,A) 特開 平4−72546(JP,A) 特開 平5−72153(JP,A) 特開 平4−123864(JP,A) 特開 昭58−63835(JP,A) 特開 昭60−39531(JP,A) 特開 平3−255935(JP,A) 実開 平4−29855(JP,U) Hyblid Circuits,N o17,pp27−29,1986,P.A.Ai nsworth,“Measurmen t of Tacckness of Solder Paste" (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 19/04 G01N 3/00 - 3/62 H05K 3/34 H01L 21/60 H01L 21/66 B23K 1/00 JICSTファイル(JOIS)Continuation of the front page (56) References JP-A-4-27841 (JP, A) JP-A-4-72546 (JP, A) JP-A-5-72153 (JP, A) JP-A-4-123864 (JP) JP-A-58-63835 (JP, A) JP-A-60-39531 (JP, A) JP-A-3-255935 (JP, A) JP-A-4-29855 (JP, U) Hybrid Circuits, No. 17, pp. 27-29, 1986, p. A. Ainsworth, "Measurement of Tackness of Solder Paste" (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 19/04 G01N 3/00-3/62 H05K 3/34 H01L 21/60 H01L 21 / 66 B23K 1/00 JICST file (JOIS)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 試料に対してプローブ先端を押しつけ、
次に、上記試料を引き上げる時の上記プローブに加わる
応力から上記試料の粘着力を測定するようにした粘着性
試験装置であって、 上記プローブを昇降させるための機構部およびドライブ
手段と、 予め設定された条件で上記プローブが昇降するように、
上記機構部およびドライブ手段に対して制御信号を供給
する制御手段と、 上記プローブに加わる応力を検出するために、上記プロ
ーブと結合されたセンサと、 上記センサからの検出信号を処理して粘着力データを得
るためのデータ処理手段と、 上記試料を置くための試料台と、 上記試料台と関連して設けられ、上記試料の温度を制御
するための第1の温度制御手段と、 上記プローブと関連して設けられ、上記プローブの温度
を制御するための第2の温度制御手段とからなる粘着性
試験装置。
1. A probe tip is pressed against a sample,
Next, there is provided an adhesiveness test apparatus for measuring the adhesive force of the sample from the stress applied to the probe when the sample is pulled up, wherein a mechanism for raising and lowering the probe and a drive unit are set in advance. So that the probe moves up and down under the conditions
A control unit for supplying a control signal to the mechanism unit and the drive unit; a sensor coupled to the probe for detecting a stress applied to the probe; and a cohesive force by processing a detection signal from the sensor. A data processing unit for obtaining data, a sample stage for placing the sample, a first temperature control unit provided in association with the sample stage and controlling a temperature of the sample, An adhesiveness test apparatus provided in association therewith, and second temperature control means for controlling the temperature of the probe.
【請求項2】 試料に対してプローブ先端を押しつけ、
次に、上記試料を引き上げる時の上記プローブに加わる
応力から上記試料の粘着力を測定するようにした粘着性
試験装置であって、 上記プローブを昇降させるための機構部およびドライブ
手段と、 予め設定された条件で上記プローブが昇降するように、
上記機構部およびドライブ手段に対して制御信号を供給
する制御手段と、 上記プローブに加わる応力を検出するために、上記プロ
ーブと結合されたセンサと、 上記センサからの検出信号を処理して粘着力データを得
るためのデータ処理手段と、 その上に上記試料が被着されたガラス板を置くための試
料台と、 上記試料台を加熱するための加熱手段と、 上記試料台上で、上記ガラス板の近傍に設けられ、上記
ガラス板と略同一の物理的性質を有する小片と、 上記小片の温度を検出する温度検出素子と、 上記温度検出素子からの検出信号が供給され、上記加熱
手段に対するドライブ信号を生成する温度制御手段とか
らなる粘着性試験装置。
2. The probe tip is pressed against a sample,
Next, there is provided an adhesiveness test apparatus for measuring the adhesive force of the sample from the stress applied to the probe when the sample is pulled up, wherein a mechanism for raising and lowering the probe and a drive unit are set in advance. So that the probe moves up and down under the conditions
A control unit for supplying a control signal to the mechanism unit and the drive unit; a sensor coupled to the probe for detecting a stress applied to the probe; and a cohesive force by processing a detection signal from the sensor. Data processing means for obtaining data; a sample stage for placing a glass plate on which the sample is adhered; heating means for heating the sample stage; and the glass on the sample stage. A small piece provided near the plate and having substantially the same physical properties as the glass plate; a temperature detection element for detecting the temperature of the small piece; and a detection signal from the temperature detection element supplied to the heating means. An adhesiveness test apparatus comprising a temperature control means for generating a drive signal.
【請求項3】 試料に対してプローブ先端を押しつけ、
次に、上記試料を引き上げる時の上記プローブに加わる
応力から上記試料の粘着力を測定するようにした粘着性
試験装置であって、 上記プローブを昇降させるための機構部およびドライブ
手段と、 測定期間中、一定の加圧を行うように、制御すると共
に、予め設定された条件で上記プローブが昇降するよう
に、上記機構部およびドライブ手段に対して制御信号を
供給するための制御手段と、 上記プローブに加わる応力を検出するために、上記プロ
ーブと結合されたセンサと、 上記センサに対して、所定の圧力を加えるための機械的
加圧手段と、 上記センサからの検出信号を処理して粘着力データを得
るためのデータ処理手段と、 上記試料を置くための試料台とからなる粘着性試験装
置。
3. The probe tip is pressed against a sample,
Next, there is provided an adhesion test apparatus for measuring the adhesive force of the sample from the stress applied to the probe when the sample is pulled up, and a mechanism and a drive unit for raising and lowering the probe, and a measurement period. A control means for supplying a control signal to the mechanism unit and the drive means, so as to perform a constant pressurization while controlling, and so as to raise and lower the probe under a preset condition; A sensor coupled to the probe for detecting a stress applied to the probe; a mechanical pressurizing unit for applying a predetermined pressure to the sensor; a detection signal from the sensor; An adhesion test apparatus comprising: a data processing unit for obtaining force data; and a sample table on which the sample is placed.
【請求項4】 試料に対してプローブを昇降させるため
の機構部およびドライブ手段と、予め設定された条件で
上記プローブが昇降するように、上記機構部およびドラ
イブ手段に対して制御信号を供給するための制御手段
と、上記プローブに加わる応力を検出するために、上記
プローブと結合されたセンサと、上記センサからの検出
信号を処理して粘着力データを得るためのデータ処理手
段と、上記試料を置くための試料台とからなる粘着性試
験装置を使用した測定方法であって、 異なる放置時間のそれぞれにおいて、複数回の測定を繰
り返し、上記放置時間のそれぞれにおいて、複数個の粘
着力のデータを得るステップと、 上記放置時間のそれぞれにおける上記粘着力のデータの
平均値を計算するステップと、 上記平均値からしきい値を決定するステップと、 上記放置時間のそれぞれにおいて、上記しきい値を基準
として、上記複数個の粘着力のデータのうちで、上記し
きい値を超えるものの割合を求めるステップとからなる
ことを特徴とする測定方法。
4. A mechanism for driving a probe up and down with respect to a sample and a drive unit, and a control signal is supplied to the mechanism and the drive unit so that the probe moves up and down under preset conditions. Control means for detecting a stress applied to the probe, a sensor coupled to the probe, a data processing means for processing a detection signal from the sensor to obtain adhesive force data, and the sample A measuring method using an adhesion test device consisting of a sample table for placing a sample, wherein a plurality of measurements are repeated at each of the different leaving times, and a plurality of data of the adhesive strength are obtained at each of the above leaving times. Obtaining an average value of the data of the adhesive force in each of the leaving times, and determining a threshold value from the average value. And determining a ratio of a value exceeding the threshold value among the plurality of pieces of adhesive force data, based on the threshold value, in each of the leaving times. Measurement method to be performed.
【請求項5】 試料に対してプローブを昇降させるため
の機構部およびドライブ手段と、予め設定された条件で
上記プローブが昇降するように、上記機構部およびドラ
イブ手段に対して制御信号を供給するための制御手段
と、上記プローブに加わる応力を検出するために、上記
プローブと結合されたセンサと、上記センサからの検出
信号を処理して粘着力データを得るためのデータ処理手
段と、上記試料を置くための試料台とからなる粘着性試
験装置を使用した測定方法であって、 上記プローブを上記試料に接触させた状態から一定の速
度で上記プローブを押し込み、上記試料内で一端停止
し、次に、元の位置まで戻すように、上記プローブを上
昇させ、 上記プローブの行きのカーブと帰りのカーブとで囲まれ
た部分の面積を上記データ処理手段により求め、 上記面積から上記試料の粘性のデータを得ることを特徴
とする測定方法。
5. A mechanism for driving a probe up and down with respect to a sample, and a drive unit, and a control signal is supplied to the mechanism and the drive unit so that the probe moves up and down under predetermined conditions. Control means for detecting a stress applied to the probe, a sensor coupled to the probe, a data processing means for processing a detection signal from the sensor to obtain adhesive force data, and the sample A measuring method using an adhesion test device comprising a sample stage for placing the probe, the probe is pushed in at a constant speed from a state in which the probe is in contact with the sample, and temporarily stopped in the sample, Next, the probe is raised so as to return to the original position, and the area of a portion surrounded by the curve going to the probe and the curve returning to the probe is subjected to the data processing. Determined by the step, the measurement method, characterized in that from the area obtain data viscosity of the sample.
JP04193360A 1992-06-26 1992-06-26 Adhesion test apparatus and method Expired - Fee Related JP3100231B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04193360A JP3100231B2 (en) 1992-06-26 1992-06-26 Adhesion test apparatus and method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04193360A JP3100231B2 (en) 1992-06-26 1992-06-26 Adhesion test apparatus and method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0611435A JPH0611435A (en) 1994-01-21
JP3100231B2 true JP3100231B2 (en) 2000-10-16

Family

ID=16306620

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP04193360A Expired - Fee Related JP3100231B2 (en) 1992-06-26 1992-06-26 Adhesion test apparatus and method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3100231B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102162428B1 (en) * 2020-03-30 2020-10-06 (주)리뉴시스템 Adhesive and flexible test inspection device for non-curing adhesive flexible waterproof material

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0178331A4 (en) * 1984-03-26 1987-01-20 Kyowa Hakko Kogyo Kk Alkynol compounds and alcohol separating agents.
JP2784159B2 (en) * 1995-07-31 1998-08-06 ジャパン・フィールド株式会社 Method and apparatus for cleaning object to be cleaned
EP2386845B1 (en) * 2010-05-14 2024-03-13 Nordson Corporation Apparatus and method for testing of bonds of a semiconductor assembly
EP2386846A1 (en) * 2010-05-14 2011-11-16 Nordson Corporation System and method for testing of bonds of a semiconductor assembly
JP5546651B1 (en) * 2013-01-28 2014-07-09 株式会社エリオニクス Surface force measuring method and surface force measuring apparatus
CN110455712B (en) * 2019-09-02 2024-03-22 南京林业大学 Sample preparation device and test method for measuring adhesion force between special curved surface and soil interface by inverted sample preparation

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Hyblid Circuits,No17,pp27−29,1986,P.A.Ainsworth,"Measurment of Tacckness of Solder Paste"

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102162428B1 (en) * 2020-03-30 2020-10-06 (주)리뉴시스템 Adhesive and flexible test inspection device for non-curing adhesive flexible waterproof material

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0611435A (en) 1994-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003254894A (en) Apparatus for measuring bond strength and shearing strength of coating film
JP3100231B2 (en) Adhesion test apparatus and method
WO2006013773A1 (en) Contact load measuring apparatus and inspecting apparatus
JP4566107B2 (en) Adhesive force / thickness measuring apparatus and measuring method thereof
JPH0663880B2 (en) Measuring device of pressing force of cloth presser of sewing machine
US4899102A (en) Electrode system for a parallel plate dielectric analyzer
JPH0712710A (en) Adhesiveness testing device
CN212363110U (en) Step instrument for detecting film thickness
CN111896391B (en) Method for measuring elastic modulus of solder in reflow soldering process based on difference method
JP2768773B2 (en) Hardness measuring device
JP3973004B2 (en) Initial test force setting method for indentation type hardness tester
JPS59130433A (en) Wire bonding device
CN113049938A (en) Bending performance testing device and method for semi-flexible or flexible circuit board
JPH0347582B2 (en)
KR100287140B1 (en) Pressing apparatus for IC bonding
JP2709689B2 (en) Load testing machine
JP2759103B2 (en) Load test equipment
JP3908578B2 (en) Surface hardness measuring device and measuring method thereof
JP3014087B2 (en) Indentation hardness tester
JP2783283B2 (en) Image characteristic evaluation device
JPH09257648A (en) Apparatus for measuring spring-characteristic
JPH0720563Y2 (en) Bending test device
JPH11230878A (en) Method and device for testing resistance of substrate to bending of surface-mount component
CN118329406A (en) High-precision test equipment and test method
JPH01445A (en) Film adhesion test device

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees