JP3094705B2 - IC handler for controlling IC transport speed - Google Patents

IC handler for controlling IC transport speed

Info

Publication number
JP3094705B2
JP3094705B2 JP34331492A JP34331492A JP3094705B2 JP 3094705 B2 JP3094705 B2 JP 3094705B2 JP 34331492 A JP34331492 A JP 34331492A JP 34331492 A JP34331492 A JP 34331492A JP 3094705 B2 JP3094705 B2 JP 3094705B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
motor
supply
measuring
time
storage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP34331492A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06167541A (en
Inventor
一隆 原
大二郎 伊藤
Original Assignee
安藤電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 安藤電気株式会社 filed Critical 安藤電気株式会社
Priority to JP34331492A priority Critical patent/JP3094705B2/en
Publication of JPH06167541A publication Critical patent/JPH06167541A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3094705B2 publication Critical patent/JP3094705B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、測定するICを測定
部に供給し、測定部で測定し、測定結果により収容部に
分類収容するICハンドラにおいて、測定時間によりI
Cの供給、収容速度を制御するICハンドラについての
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC handler for supplying an IC to be measured to a measuring section, measuring the IC at the measuring section, and classifying and storing the IC in a housing section based on the measurement result.
This is for an IC handler that controls the supply and storage speed of C.

【0002】[0002]

【従来の技術】次に、一般的なICハンドラの構成例を
図3に示す。図3はICの温度試験を行う装置の構成で
あり、11は供給部、12Aはモータ、12Bは供給シ
ャトル、13Aはプレヒート部、13Bは測定部、13
Cは収容バッファ、14Aはモータ、14Bは収容シャ
トル、15は収容部である。図3で、供給部にセットさ
れたICは、供給シャトル12Aによりプレヒート部1
3Aに移動される。供給シャトル12Bはモータ12A
を回転することにより左右に移動する。図3では、測定
部13Bにおいて、8コを同時に測定する構成となって
いるので、プレヒート部13Aは供給シャトル12Bに
より、8ヶ所にICを分配して供給する。
2. Description of the Related Art FIG. 3 shows a configuration example of a general IC handler. FIG. 3 shows a configuration of an apparatus for performing a temperature test of an IC. 11 is a supply unit, 12A is a motor, 12B is a supply shuttle, 13A is a preheating unit, 13B is a measurement unit, and 13B.
C is an accommodation buffer, 14A is a motor, 14B is an accommodation shuttle, and 15 is an accommodation unit. In FIG. 3, the IC set in the supply unit is supplied to the preheating unit 1 by the supply shuttle 12A.
Moved to 3A. Supply shuttle 12B is motor 12A
Move left and right by rotating. In FIG. 3, since eight measuring units are simultaneously measured in the measuring unit 13B, the preheating unit 13A distributes and supplies ICs to eight locations by the supply shuttle 12B.

【0003】測定部13Bで測定の終了したICは収容
バッファ13Cに収容され、収容シャトル14Bにより
収容部15に収容される順番がくるまで待機する。収容
シャトル14Bは収容バッファ13Cに収容されている
ICを収容し、測定結果ごとに分類して収容部15に収
容する。供給シャトル14Bはモータ14Aを回転する
ことにより左右に移動する。モータ12A・14Aはサ
ーボモータやパルスモータ等を使用する。
[0003] The IC whose measurement has been completed by the measuring section 13B is stored in the storing buffer 13C, and waits until the turn to be stored in the storing section 15 by the storing shuttle 14B. The accommodation shuttle 14B accommodates the ICs accommodated in the accommodation buffer 13C, classifies them by measurement results, and accommodates them in the accommodation part 15. The supply shuttle 14B moves left and right by rotating the motor 14A. The motors 12A and 14A use a servo motor, a pulse motor, or the like.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ICの搬送速度はIC
ハンドラの処理能力を決定するものであり、搬送速度が
速いほど処理能力は高い。したがって、一般にICハン
ドラの処理能力を高くするために、常時高速度でICを
搬送している。しかし、図3で、測定部13Bの測定時
間が、測定部13Bに対するICの供給時間及び測定部
13Bからの収容時間より長い場合、ICハンドラは高
速度でICを供給及び収容した後、測定が終了するまで
搬送を停止していた。しかし、高速度でICを搬送する
と、モータを停止したときに位置ずれを生じ、結果とし
て搬送ミスを起こしやすく、また搬送に使われる部品の
劣化も大きいという問題がある。
SUMMARY OF THE INVENTION The transport speed of an IC is
The processing capacity of the handler is determined. The higher the transport speed, the higher the processing capacity. Therefore, in general, the IC is always transported at a high speed in order to increase the processing capacity of the IC handler. However, in FIG. 3, when the measurement time of the measurement unit 13B is longer than the supply time of the IC to the measurement unit 13B and the accommodation time from the measurement unit 13B, the IC handler supplies and accommodates the IC at a high speed, and then the measurement is performed. The transport was stopped until the process was completed. However, when the IC is conveyed at a high speed, there is a problem that a displacement occurs when the motor is stopped, and consequently a conveyance error easily occurs, and that components used for the conveyance are greatly deteriorated.

【0005】例えば測定に終了したICを収容バッファ
13Cに収容し、プレヒート部13Aから次のICを測
定部13Bにセットする時間を5秒とする。ここで、測
定時間が15秒とすれば、ICハンドラは5秒でICを
供給及び収容した後、10秒間は搬送を停止していた。
この発明は、測定部13Bの測定時間に応じて、処理能
力を悪化させない範囲で、ICの搬送速度を制御するこ
とにより、ICの搬送ミスを少なくし、また搬送用部品
の劣化を少なくすることを目的とする。
[0005] For example, it is assumed that the IC for which measurement has been completed is accommodated in the accommodation buffer 13C, and the time for setting the next IC from the preheating unit 13A to the measurement unit 13B is 5 seconds. Here, assuming that the measurement time is 15 seconds, the IC handler supplies and accommodates the IC in 5 seconds, and then stops transporting for 10 seconds.
The present invention controls the transport speed of the IC within a range that does not deteriorate the processing capability according to the measurement time of the measuring unit 13B, thereby reducing the transport error of the IC and reducing the deterioration of the transport components. With the goal.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明では、測定するICを供給する供給部11
とICを保持する供給シャトル12Bと供給シャトル1
2Bを移動するモータ12Aを備えるIC供給手段2
と、IC供給手段2により供給されるICを測定する測
定部13Bと測定の終了したICを待機する収容バッフ
ァ13Cを備える測定手段3と、測定の終了したICを
保持する収容シャトル14Bと収容シャトル14Bを移
動するモータ14Aと測定の終了したICを収容する収
容部15と、IC供給手段2と測定手段3とIC収容手
段4を制御するCPU1と、モータ駆動パラメータをア
ドレス毎に書き込む記憶手段5を備え、CPU1は記憶
回路5に書き込まれたモータ駆動パラメータのうち最高
速の動作をするパラメータを読み出してIC供給手段2
に入力し、IC供給手段2は測定手段3にICを供給
し、測定手段3の測定時間を計測し、IC供給・収容時
間と測定時間を比較して測定時間が供給・収容時間より
長いときに、記憶手段5に書き込まれているモータ駆動
パラメータを演算・制御手段1Cにより書き換え、IC
供給手段2のモータ12AとIC収容手段4のモータ1
4Aの駆動速度を制御する。
According to the present invention, there is provided a supply unit for supplying an IC to be measured.
Supply shuttle 12B holding supply and IC and supply shuttle 1
IC supply means 2 having motor 12A for moving 2B
A measuring unit 13B for measuring the IC supplied by the IC supply unit 2 and a storage buffer 13C for waiting for the IC for which measurement has been completed; a storage shuttle 14B for holding the IC for which measurement has been completed; A motor 14A for moving the motor 14B, an accommodating unit 15 for accommodating the IC whose measurement has been completed, a CPU 1 for controlling the IC supplying means 2, the measuring means 3, and the IC accommodating means 4, and a storage means 5 for writing motor drive parameters for each address. The CPU 1 reads out the parameter that operates at the highest speed among the motor drive parameters written in the storage circuit 5 and reads out the IC supply means 2
And the IC supply means 2 supplies the IC to the measurement means 3, measures the measurement time of the measurement means 3, compares the IC supply / accommodation time with the measurement time, and determines that the measurement time is longer than the supply / accommodation time. Then, the motor drive parameters written in the storage means 5 are rewritten by the arithmetic and control
Motor 12A of supply means 2 and motor 1 of IC housing means 4
The drive speed of 4A is controlled.

【0007】[0007]

【作用】この発明によるIC搬送速度を制御するICハ
ンドラの構成を図1に示す。図1の1はCPU、2はI
C供給手段、3は測定手段、4はIC収容手段、5は記
憶手段である。図1で、IC供給手段2は、図3の供給
部11とモータ12Aと供給シャトル12Bに相当す
る。測定手段3は、プレヒート部13Aと測定部13B
と収容バッファ13Cに相当する。IC収容手段4はモ
ータ14Aと収容シャトル14Bと収容部15に相当す
る。
FIG. 1 shows the configuration of an IC handler for controlling an IC transport speed according to the present invention. 1 is a CPU and 2 is an I
C supply means, 3 is a measuring means, 4 is an IC accommodating means, 5 is a storage means. 1, the IC supply means 2 corresponds to the supply unit 11, the motor 12A, and the supply shuttle 12B in FIG. The measuring means 3 includes a preheating section 13A and a measuring section 13B.
And the storage buffer 13C. The IC accommodation means 4 corresponds to the motor 14A, the accommodation shuttle 14B, and the accommodation part 15.

【0008】記憶手段5は例えばRAMなどを使用し、
モータの加速度、減速度、最高速度などのモータ駆動パ
ラメータが記憶手段5のアドレスにあらかじめ書き込ま
れており、CPU1の指示により特定アドレスに読み出
されてIC供給手段2とIC収容手段4のモータ12A
・14Aの動作を制御する。
The storage means 5 uses, for example, a RAM.
Motor drive parameters such as the acceleration, deceleration, and maximum speed of the motor are written in advance in the address of the storage means 5, read out to a specific address in accordance with an instruction of the CPU 1, and read out from the motor 12 A of the IC supply means 2 and the IC housing means 4.
Control the operation of 14A.

【0009】CPU1は速度調整手段1Aと時間計測手
段1Bと演算・制御手段1Cを備え、時間計測手段1B
により測定部13BのIC測定時間を計測する。計測さ
れた時間は演算・制御手段1Cに入力し、測定時間の間
にICを供給及び収容することができるICの搬送速度
を演算し、記憶手段5にあらかじめ設定されているモー
タ駆動パラメータのアドレスを選択する。演算・制御手
段1Cにより選択されたアドレスのモータ駆動パラメー
タは速度調整手段1Aに入力し、モータ駆動パラメータ
による速度でモータを駆動してICを搬送する。
The CPU 1 has a speed adjusting means 1A, a time measuring means 1B, and a calculating / controlling means 1C.
To measure the IC measurement time of the measurement unit 13B. The measured time is input to the calculation / control means 1C, the IC transport speed capable of supplying and storing the IC during the measurement time is calculated, and the address of the motor drive parameter preset in the storage means 5 is stored. Select The motor drive parameter of the address selected by the arithmetic and control means 1C is input to the speed adjusting means 1A, and the motor is driven at the speed according to the motor drive parameter to carry the IC.

【0010】[0010]

【実施例】次に、図1の動作を図2のフローチャートを
参照して説明する。図2のステップS1では、ICの測
定部13Bでの測定時間が不明であるため、モータ12
A・14Aの駆動速度が最高速度になるように、記憶手
段5の特定アドレスにモータ駆動パラメータを書き込
む。
Next, the operation of FIG. 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. In step S1 of FIG. 2, since the measurement time in the measurement unit 13B of the IC is unknown, the motor 12
A motor driving parameter is written to a specific address of the storage means 5 so that the driving speed of A · 14A becomes the maximum speed.

【0011】図2のステップS2で、CPU1の演算・
制御手段1Cは記憶手段5の特定アドレスに書き込まれ
ているモータ駆動パラメータを読み出し、そのパラメー
タでモータ12Aを駆動し、ICを測定部13Bに搬送
する。図2のステップS3で、測定部13BにICが同
時測定個数揃い、かつ測定条件が整うと、CPU1は測
定部3に測定開始を要求するとともに、CPU1の時間
計測手段1Bにより計測を開始する。ステップS4で、
ICの測定が終了するとともに、CPU1の時間計測手
段1Bによる計測を終了する。
In step S2 of FIG.
The control means 1C reads the motor drive parameters written at the specific address of the storage means 5, drives the motor 12A with the parameters, and conveys the IC to the measuring unit 13B. In step S3 of FIG. 2, when the number of ICs simultaneously measured in the measuring unit 13B is uniform and the measuring conditions are satisfied, the CPU 1 requests the measuring unit 3 to start measurement and starts measurement by the time measuring means 1B of the CPU 1. In step S4,
When the measurement of the IC is completed, the measurement by the time measuring means 1B of the CPU 1 is completed.

【0012】ステップS5では、ステップS4で計測し
たICの測定時間と、測定部13BへのIC供給時間及
び測定部13BからのIC収容時間を比較し、ICの測
定時間の方が長いときには、その差の時間を算出する。
ここで算出される時間は、モータの駆動速度が最高速度
で供給、収容した時に、モータが停止する時間である。
すなわち、算出された時間分はモータの動作を遅くして
も、処理能力を低下させることがない時間である。
In step S5, the IC measurement time measured in step S4 is compared with the IC supply time to the measurement unit 13B and the IC accommodation time from the measurement unit 13B. Calculate the difference time.
The time calculated here is a time during which the motor stops when the driving speed of the motor is supplied and stored at the maximum speed.
That is, the calculated time is a time during which the processing performance is not reduced even if the operation of the motor is delayed.

【0013】図2のステップS6は、ステップS5で算
出した差時間とモータの駆動速度が最高速度で供給、収
容した時の時間を加算した時間で、ICを供給及び収容
するモータのスピードのモータ駆動パラメータを、記憶
手段5に書き込まれたアドレスより選択する。図2のス
テップS7ではステップS6で決定したモータ駆動パラ
メータが、記憶手段5の特定アドレスに書き込まれてい
るパラメータと一致しているか確認する。一致していな
い場合は、図2のステップS8で、モータ駆動パラメー
タをステップS6で決めた値に記憶手段5の特定アドレ
スのデータを書き替える。
Step S6 in FIG. 2 is a time obtained by adding the difference time calculated in step S5 and the time when the driving speed of the motor is supplied and stored at the maximum speed. The drive parameter is selected from the address written in the storage means 5. In step S7 of FIG. 2, it is checked whether the motor drive parameters determined in step S6 match the parameters written in the specific address of the storage unit 5. If they do not match, in step S8 in FIG. 2, the data of the specific address in the storage means 5 is rewritten to the motor drive parameter to the value determined in step S6.

【0014】図2のステップS9では、測定の終了した
ICを記憶手段5の特定アドレスに書き込まれたモータ
駆動パラメータによりモータを駆動し、分類収容する。
ステップ10で、測定しようとするICがなくならない
限り、ステップS9の動作と、ステップS2の動作は並
列して行なわれる。ステップS2からステップS9の動
作を、測定するICがなくなるまで繰り返す。
In step S9 of FIG. 2, the motor whose IC has been measured is driven according to the motor drive parameters written in the specific address of the storage means 5 and is classified and accommodated.
Unless there is no IC to be measured in step 10, the operation of step S9 and the operation of step S2 are performed in parallel. The operations from step S2 to step S9 are repeated until there are no more ICs to be measured.

【0015】[0015]

【発明の効果】この発明によれば、測定手段でのIC測
定時間に応じて、処理能力を悪化させない範囲で、IC
の搬送速度を制御するので、ICの搬送ミスを少なくす
ることができ、搬送用の部品の劣化を少なくすることが
できる。
According to the present invention, according to the IC measurement time of the measuring means, the IC can be used within a range in which the processing capacity is not deteriorated.
Since the transfer speed is controlled, errors in IC transfer can be reduced, and deterioration of transfer components can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】図1の動作を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing the operation of FIG.

【図3】ICハンドラの構成を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration of an IC handler.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 CPU 2 IC供給手段 3 測定手段 4 IC収容手段 5 記憶手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 CPU 2 IC supply means 3 Measurement means 4 IC accommodation means 5 Storage means

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 測定するICを供給する供給部(11)とI
Cを保持する供給シャトル(12B) と供給シャトル(12B)
を移動するモータ(12A) を備えるIC供給手段(2) と、 IC供給手段(2) により供給されるICを測定する測定
部(13B) と測定の終了したICを待機する収容バッファ
(13C) を備える測定手段(3) と、 測定の終了したICを保持する収容シャトル(14B) と収
容シャトル(14B) を移動するモータ(14A) と測定の終了
したICを収容する収容部(15)と、 IC供給手段(2) と測定手段(3) とIC収容手段(4) を
制御するCPU(1) と、 モータ駆動パラメータをアドレス毎に書き込む記憶手段
(5) を備え、 CPU(1) は記憶回路(5) に書き込まれたモータ駆動パ
ラメータのうち最高速の動作をするパラメータを読み出
してIC供給手段(2) に入力し、IC供給手段(2) は測
定手段(3) にICを供給し、測定手段(3) の測定時間を
計測し、IC供給・収容時間と測定時間を比較して測定
時間が供給・収容時間より長いときに、記憶手段(5) に
書き込まれているモータ駆動パラメータを演算・制御手
段(1C)により書き換え、IC供給手段(2) のモータ(12
A) とIC収容手段(4) のモータ(14A) の駆動速度を制
御する事を特徴とするIC搬送速度を制御するICハン
ドラ。
1. A supply unit (11) for supplying an IC to be measured and
Supply shuttle (12B) holding supply C and supply shuttle (12B)
IC supply means (2) having a motor (12A) for moving the IC, a measuring unit (13B) for measuring the IC supplied by the IC supply means (2), and a storage buffer for waiting for the IC having been measured.
(13C), a storage shuttle (14B) for holding the measured IC, a motor (14A) for moving the storage shuttle (14B), and a storage unit for storing the measured IC ( 15), a CPU (1) for controlling the IC supply means (2), the measurement means (3), and the IC housing means (4), and a storage means for writing motor drive parameters for each address
The CPU (1) reads out the motor drive parameter written in the storage circuit (5) and operates at the highest speed and inputs the readout parameter to the IC supply means (2). ) Supplies the IC to the measuring means (3), measures the measuring time of the measuring means (3), compares the IC supplying / accommodating time with the measuring time, and stores the data when the measuring time is longer than the supplying / accommodating time. The motor drive parameters written in the means (5) are rewritten by the arithmetic and control means (1C), and the motor (12) of the IC supply means (2) is rewritten.
An IC handler for controlling an IC transport speed, characterized by controlling a driving speed of a motor (A) and a motor (14A) of an IC housing means (4).
JP34331492A 1992-11-30 1992-11-30 IC handler for controlling IC transport speed Expired - Fee Related JP3094705B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34331492A JP3094705B2 (en) 1992-11-30 1992-11-30 IC handler for controlling IC transport speed

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34331492A JP3094705B2 (en) 1992-11-30 1992-11-30 IC handler for controlling IC transport speed

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06167541A JPH06167541A (en) 1994-06-14
JP3094705B2 true JP3094705B2 (en) 2000-10-03

Family

ID=18360564

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34331492A Expired - Fee Related JP3094705B2 (en) 1992-11-30 1992-11-30 IC handler for controlling IC transport speed

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3094705B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108663913A (en) * 2014-09-04 2018-10-16 株式会社尼康 Manufacturing method

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103227128B (en) * 2013-04-28 2015-12-02 上海华力微电子有限公司 Adjustment has the method and system of the operation stage production capacity of residence time limitation

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108663913A (en) * 2014-09-04 2018-10-16 株式会社尼康 Manufacturing method
CN108663913B (en) * 2014-09-04 2019-09-24 株式会社尼康 Manufacturing method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06167541A (en) 1994-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0861487A4 (en)
JP4233908B2 (en) Substrate processing system
JP3684056B2 (en) Substrate transport control method for semiconductor manufacturing equipment
JP3094705B2 (en) IC handler for controlling IC transport speed
JP3934275B2 (en) Substrate processing apparatus, simulation apparatus for substrate processing apparatus, and computer-readable recording medium recording simulation program for substrate processing apparatus
JPH05308042A (en) Controlling device for multi-reactor type processing facility
JPH09318703A (en) Ic handler
JPH09205295A (en) Substrate carrying method and device
JP2521939B2 (en) Processing equipment
JPH10335412A (en) Substrate treating device
JP5168539B2 (en) Production line workpiece transfer condition setting device
JPH07201950A (en) Substrate processing apparatus
EP0243189A1 (en) Data storage and transfer apparatus
JP4578892B2 (en) Sorting method of transferred object
JP2004180417A (en) Simultaneous control method for two or more motors, control system for two or more motors, pulse generating circuit for control of two or more motors, and pulse generating ic for control of two or more motors
JPH07337097A (en) Speed controller for device carrying motor in ic test handler
JP2022029637A (en) Substrate processing device and transfer schedule creation method
JPH10143233A (en) Automatic working device and automatic working method
KR890001474B1 (en) Transportation control-circuit
JPS63133699A (en) Method of correcting position of component insertion in electronic component automatic inserter
JPH05259260A (en) Method and apparatus for controlling vertical furnace
JP3813792B2 (en) Line printer recording method
JPH065689A (en) Semiconductor substrate treatment system
JP2003017844A (en) Cream solder printer and board transfer program
JP2000150392A (en) Substrate processing device

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees