JP3092223B2 - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は半導体記憶装置に関し、
特に冗長回路を有する半導体記憶装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device,
In particular, the present invention relates to a semiconductor memory device having a redundant circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の冗長回路を有する半導体記憶装置
は、図9に示すような回路構成になっている。
2. Description of the Related Art A conventional semiconductor memory device having a redundant circuit has a circuit configuration as shown in FIG.

【0003】図9において、メインセル部110と、冗
長セル部117と、行デコーダ109と、アドスバッフ
ァ107と、列デコーダ108と、センス・アンプ書込
回路112と、冗長用センス・アンプ書込回路112′
と、列選択用トランジスタ群111と、アドレス入力端
子(A0〜Am)104と、I/O端子114と、入出
力バッファ113と、ヒューズ判定回路(1)001〜
(n)00nと、ヒューズ判定回路(s)00sと、2
個の排他的OR(EOR)回路100と、NAND回路
101と、インバータ回路102と、2個のn形トラン
ジスタ103とが示されている。
In FIG. 9, a main cell section 110, a redundant cell section 117, a row decoder 109, an address buffer 107, a column decoder 108, a sense amplifier write circuit 112, and a redundant sense amplifier write circuit are provided. Circuit 112 '
, A column selection transistor group 111, an address input terminal (A0 to Am) 104, an I / O terminal 114, an input / output buffer 113, and a fuse determination circuit (1) 001 to
(N) 00n, fuse determination circuit (s) 00s, 2
1, an exclusive OR (EOR) circuit 100, a NAND circuit 101, an inverter circuit 102, and two n-type transistors 103 are shown.

【0004】メインセル部110に不良が存在する場
合、該当不良個所を冗長セル部117に置き換えて、外
見上全メモリセルが良品となる様にして使用されてい
る。冗長セル部117への置き換えは、ヒューズの切断
や紫外線から完全に遮へいされたEPROMへの書込等
により、置き換えデータを記憶している方法が一般的で
ある。
When there is a defect in the main cell portion 110, the defective portion is replaced with a redundant cell portion 117 so that all the memory cells appear to be non-defective. The replacement with the redundant cell unit 117 is generally performed by storing replacement data by cutting a fuse or writing in an EPROM completely shielded from ultraviolet rays.

【0005】ヒューズ判定回路(1)001〜ヒューズ
判定回路(n)00nにアドレスデータを記憶させ、ヒ
ューズ判定回路(s)00sに冗長回路の使用の有無を
記憶させている。このヒューズ判定回路(1)〜(n)
の出力とアドレスバッファ113の出力とが一致し、か
つヒューズ判定回路(s)00sの出力が冗長使用を示
す場合、冗長セル部117をアクセスする構成となって
いる。
Address data is stored in the fuse determination circuits (1) 001 to (n) 00n, and whether or not a redundant circuit is used is stored in the fuse determination circuit (s) 00s. The fuse determination circuits (1) to (n)
And the output of the address buffer 113 coincide with each other and the output of the fuse determination circuit (s) 00s indicates the redundant use, the redundant cell unit 117 is accessed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このような従来の冗長
回路では、ヒューズ判定回路の電源電圧マージン,ヒュ
ーズのON,OFF情報等、ヒューズ判定回路の個別の
データを収集することが困難であった。
In such a conventional redundant circuit, it is difficult to collect individual data of the fuse determination circuit, such as a power supply voltage margin of the fuse determination circuit, and ON / OFF information of the fuse. .

【0007】従って、ヒューズ切断方法の場合、そのヒ
ューズが完全に切断されているか否か、あるいはPRO
Mセルを用いた場合、そのセルのしきい値電圧の変化が
十分であるか否かのチェックが非常に煩雑である。
Therefore, in the case of the fuse cutting method, it is determined whether the fuse is completely cut or not.
When an M cell is used, it is very complicated to check whether or not the change in the threshold voltage of the cell is sufficient.

【0008】本発明の目的は、前記欠点を解決し、冗長
回路のチェックが簡単・確実に行えるようにした半導体
記憶装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device which solves the above-mentioned drawbacks and enables a simple and reliable check of a redundant circuit.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の構成は、冗長回
路を備えた半導体記憶装置において、行方向又は列方向
に対して設けた1組又は複数組の冗長メモリセル部と、
前記冗長メモリセル部に対応した複数組の前記冗長メモ
リセル部の切換のための情報を蓄えるヒューズ素子群
と、前記複数のヒューズ素子群のうち所望のヒューズ素
ヒューズデータを選択し出力するヒューズデータ
選択トランジスタ群と、ある外部端子から入力信号によ
りテストモードを設定するテストモード設定回路と、
数のアドレス入力端子に接続した複数のアドレス信号線
と電源端間に直列に接続した、抵抗とゲートに前記ヒュ
ーズデータ選択トランジスタ群の出力に接続したトラン
ジスタからなる複数のヒューズデータ出力回路を有し、
前記テストモード時には前記複数のヒューズデータ出力
回路に接続した前記複数のアドレス入力端子のリークの
有無が前記ヒューズデータに対応していることを特徴と
する。
According to the structure of the present invention, in a semiconductor memory device provided with a redundant circuit, one or more sets of redundant memory cell sections provided in a row direction or a column direction are provided.
A fuse element group for storing information for switching the redundant memory cell unit a plurality of sets of corresponding to the redundant memory cell section, selects and outputs the fuse data of a desired fuse element group among the plurality of fuse element groups a fuse data selection transistors, and a test mode setting circuit for setting the test mode by an input signal from a certain external terminal, double
Address signal lines connected to the number of address input terminals
Connected in series between the power supply terminal and the resistor.
Transformer connected to the output of the
A plurality of fuse data output circuits comprising
In the test mode, the plurality of fuse data outputs
Leakage of the plurality of address input terminals connected to the circuit;
The presence or absence corresponds to the fuse data .

【0010】[0010]

【実施例】図1は本発明の第1の実施例の半導体記憶装
置の3分割図面のうち第1分割目分を示すブロック図、
図2は第2分割目分を示すブロック図、図3は第3分割
目分を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a first division of a three-part drawing of a semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing a second division, and FIG. 3 is a block diagram showing a third division.

【0011】図1,図2,図3において、アルファベッ
トの配線A乃至Pは、それぞれ同符号同士が接続されて
いる。
In FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 3, the same reference numerals are connected to the alphabetic wirings A to P, respectively.

【0012】本実施例は、冗長セル部アクセス回路
(1)〜(m)と、セレクタ118と、ヒューズデータ
選択用トランジスタ群130と、NOR回路115と、
I/Oバッファ113と、センスアンプ書込回路112
と、テストモード設定回路105と、アドレスバッファ
107と、I/O端子114と、I/Oバッファ113
と、センス・アンプ書込回路112と、列選択用トラン
ジスタ群111と、メインセル部110と、ヒューズデ
ータ出力回路131と、列デコーダ108と、行デコー
ダ109と、冗長セル部116と、ヒューズデータ出力
回路200とを備えている。
In this embodiment, the redundant cell section access circuits (1) to (m), the selector 118, the fuse data selecting transistor group 130, the NOR circuit 115,
I / O buffer 113 and sense amplifier writing circuit 112
, Test mode setting circuit 105, address buffer 107, I / O terminal 114, I / O buffer 113
, Sense amplifier writing circuit 112, column selecting transistor group 111, main cell unit 110, fuse data output circuit 131, column decoder 108, row decoder 109, redundant cell unit 116, fuse data And an output circuit 200.

【0013】本実施例では、行アドレスn本分の冗長セ
ル部をm組持つ場合を例としている。
In this embodiment, an example is shown in which m sets of redundant cell portions for n row addresses are provided.

【0014】通常動作時には、テストモード設定回路1
05は非能動状態となり、その出力信号TES(否定
値)はHレベルとなる。このとき、n形トランジスタM
1 〜Mn ,MS は導通状態となり、さらにセレクタ11
8(図8参照)の出力信号はすべてLレベルとなるた
め、ヒューズデータ選択用トランジスタ群130はすべ
て非導通状態となる。
During normal operation, test mode setting circuit 1
05 becomes inactive, and its output signal TES (negative value) becomes H level. At this time, the n-type transistor M
1 to M n and M S become conductive, and the selector 11
8 (see FIG. 8) are all at L level, so that all the fuse data selecting transistor groups 130 are in a non-conductive state.

【0015】したがって、ヒューズデータ信号線F1
n ,Fs はすべてLレベルに設定される。この時、ヒ
ューズデータ出力回路200(図7)中のn形トランジ
スタ103は非導通状態となる。以上のことから、通常
動作時にはヒューズデータ出力に関する回路群は、すべ
て非能動状態となり、通常の動作となる。
Therefore, fuse data signal lines F 1 to F 1
F n, F s are all set to L level. At this time, n-type transistor 103 in fuse data output circuit 200 (FIG. 7) is turned off. From the above, in the normal operation, all the circuits related to the fuse data output are inactive, and the normal operation is performed.

【0016】これに対して、あるアドレス端子に特定の
信号を与えてテストモードを設定すると、テストモード
設定回路105の出力信号TES(否定値)はLレベル
となる。すると、セレクタ回路118は能動状態とな
り、アドレス端子Ai〜Ayに入力されたアドレス信号
に対応した出力信号Ys2のみがHレベルとなり、ヒュー
ズデータ選別用トランジスタ群130のうち1組が選択
され、1組のヒューズ判定回路のデータがヒューズデー
タ信号線F1 〜Fs ,Fn に出力される。ところで、こ
の時、図中n形トランジスタM1 〜Mn ,MS は非導通
状態にあるので、ヒューズ判定回路のデータはヒューズ
データ信号線F1 〜Fs ,Fn を通してヒューズデータ
出力回路200に伝達される。さらに、前述のヒューズ
データ出力回路200はアドレス入力端子104に接続
されている。
On the other hand, when a specific mode is applied to a certain address terminal to set the test mode, the output signal TES (negative value) of the test mode setting circuit 105 goes low. Then, the selector circuit 118 becomes active, only the output signal Y s2 corresponding to the address signal input to the address terminals Ai to Ay becomes H level, one set of the fuse data selection transistor group 130 is selected, and data sets of the fuse determination circuit is output fuse data signal lines F 1 to F s, the F n. By the way, at this time, since the n-type transistors M 1 to M n and M S in the drawing are in a non-conductive state, the data of the fuse judgment circuit is supplied to the fuse data output circuit 200 through the fuse data signal lines F 1 to F s and F n. Is transmitted to Further, the above-described fuse data output circuit 200 is connected to the address input terminal 104.

【0017】次に図7を用いて図3のヒューズデータ出
力回路200について説明する。ヒューズデータ出力回
路は、アドレス入力信号線と基準電位に直列に挿入され
た抵抗120及びn形トランジスタ103により構成さ
れ、このn形トランジスタ103のゲート端子にヒュー
ズデータ信号線Fi が接続されている。いま、ヒューズ
判定回路(図1)のデータが“H”レベルとすると、ヒ
ューズデータ信号線もHレベルとなり、n形トランジス
タ103は導通状態となる。したがって、この時アドレ
ス入力端子104にHレベルを印加すれば、アドレス入
力端子104から基準電位に電流が流れる。
Next, the fuse data output circuit 200 of FIG. 3 will be described with reference to FIG. The fuse data output circuit includes an address input signal line, a resistor 120 and an n-type transistor 103 inserted in series with a reference potential, and a fuse data signal line Fi is connected to a gate terminal of the n-type transistor 103. . Now, when the data of the fuse determination circuit (FIG. 1) is at "H" level, the fuse data signal line is also at H level, and the n-type transistor 103 is turned on. Therefore, if an H level is applied to the address input terminal 104 at this time, a current flows from the address input terminal 104 to the reference potential.

【0018】次に、ヒューズ判定回路のデータが“L”
レベルの時には前述したヒューズデータ信号線はLレベ
ルとなり、前述n形トランジスタ103は非導通状態と
なり、アドレス入力端子104にHレベルを印加して
も、電流が流れるパスは回路的には発生しない。
Next, the data of the fuse judgment circuit is set to "L".
At the time of the level, the above-mentioned fuse data signal line becomes the L level, the above-mentioned n-type transistor 103 becomes non-conductive, and even if the H level is applied to the address input terminal 104, a path through which a current flows does not occur in a circuit.

【0019】したがって、アドレス入力端子104にH
レベルを印加し、そのアドレス端子の入力端子リークを
測定することにより、ヒューズ判定回路のデータを、リ
ーク電流の有無によって検知することができる。
Therefore, the address input terminal 104
By applying a level and measuring the input terminal leak at the address terminal, data of the fuse determination circuit can be detected by the presence or absence of a leak current.

【0020】図8において、図2のセレクタ118は、
アドレス入力Ak を入力とするテストモード設定回路1
35と、(Ai ,…,Ai+n-1 )を入力とするアドレス
バッファ136と、NANDゲート101と、インバー
タ102とを備え、セレクタ出力信号Ys1,…,Ysm
出力する回路である。
In FIG. 8, the selector 118 shown in FIG.
Test mode setting circuit 1 receiving address input Ak
35, an address buffer 136 to which (A i ,..., A i + n−1 ) is input, a NAND gate 101, and an inverter 102, and outputs selector output signals Y s1 ,. It is.

【0021】図4,図5,図6は、本発明の第2の実施
例の半導体記憶装置の3分割図面のうちそれぞれ第1分
割目分,第2分割目分,第3分割目分を示すブロック図
である。
FIGS. 4, 5, and 6 show the first, second, and third divisions of the semiconductor memory device according to the second embodiment of the present invention. FIG.

【0022】図4,図5,図6内の配線1乃至22のう
ち同一算用数字のものを結線して、全体の回路となる。
4, 5, and 6, wirings 1 to 22 having the same arithmetic numerals are connected to form an entire circuit.

【0023】本発明の第2の実施例のブロック図は、行
アドレスn本分の冗長セル部をm組持つ場合である。
The block diagram of the second embodiment of the present invention is a case in which m sets of redundant cell portions for n row addresses are provided.

【0024】ヒューズデータ選択用トランジスタ群13
0及びヒューズデータ出力回路200の構成は、前記第
1の実施例と基本的に同等である。異なる点は、ヒュー
ズデータ選択用トランジスタ群130のセレクト方法で
ある。本実施例では、行デコーダの出力によりヒューズ
データ選択用トランジスタ群130をセレクトするもの
であり、テストモード信号TES(否定値)がLレベル
になった時、CMOS伝達ゲート106が能動状態とな
り、行デコーダの出力がヒューズデータ選択用トランジ
スタ群130に接続される。
Fuse data selection transistor group 13
The configuration of the 0 and fuse data output circuit 200 is basically the same as that of the first embodiment. The difference is in the method of selecting the fuse data selection transistor group 130. In the present embodiment, the fuse data selection transistor group 130 is selected by the output of the row decoder. When the test mode signal TES (negative value) becomes L level, the CMOS transmission gate 106 becomes active and the row is turned off. The output of the decoder is connected to the fuse data selection transistor group 130.

【0025】従って、アドス入力端子104にアドレス
信号を入力することにより、任意のヒューズデータ選別
用トランジスタ群の1組を選択することができる。
Therefore, by inputting an address signal to the address input terminal 104, one set of an arbitrary fuse data selection transistor group can be selected.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、個々の
冗長用ヒューズ判定回路のデータを外部端子に出力する
テストモードを設定することにより、ヒューズ判定回路
のそれぞれの特性を評価・選別することができるととも
に、どのアドレス入力の時にどの冗長セル部が使用され
ているかを容易に検知することができるという効果を有
する。
As described above, according to the present invention, by setting a test mode in which the data of each redundant fuse decision circuit is output to an external terminal, each characteristic of the fuse decision circuit is evaluated and selected. In addition to this, there is an effect that it is possible to easily detect which address is input and which redundant cell portion is used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例の半導体記憶装置の3分
割図面のうち第1分割目の部分を示すブロック図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram showing a first division in a three-part drawing of a semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention;

【図2】図1の第2分割目の部分を示すブロック図であ
る。
FIG. 2 is a block diagram showing a second division of FIG. 1;

【図3】図1の第3分割目の部分を示すブロック図であ
る。
FIG. 3 is a block diagram showing a third division of FIG. 1;

【図4】本発明の第2の実施例の半導体記憶装置の3分
割図面のうち第1分割目の部分を示すブロック図であ
る。
FIG. 4 is a block diagram showing a first division in a three-part drawing of a semiconductor memory device according to a second embodiment of the present invention;

【図5】図4の第2分割目の部分を示すブロック図であ
る。
FIG. 5 is a block diagram showing a second division of FIG. 4;

【図6】図4の第3分割目の部分を示すブロック図であ
る。
FIG. 6 is a block diagram showing a third division of FIG. 4;

【図7】図1のヒューズデータ出力回路を示すブロック
図である。
FIG. 7 is a block diagram showing a fuse data output circuit of FIG. 1;

【図8】図1のセレクタを示すブロック図である。FIG. 8 is a block diagram illustrating the selector of FIG. 1;

【図9】従来の半導体記憶装置を示すブロック図であ
る。
FIG. 9 is a block diagram showing a conventional semiconductor memory device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

001,00n,00s ヒューズ判定回路 100 EOR回路 101 NAND回路 102 インバータ回路 103 n形トランジスタ 104 アドレス入力端子 105 テストモード設定回路 106 CMOSトランスレイトゲート 107 アドレスバッファ 108 列デコーダ 109 行デコーダ 110 メインセル部 111 列選択用トランジスタ 112 センスアンプ・書込回路 113 I/Oバッファ 114 I/O端子 115 NOR回路 116 冗長セル部(行) 117 冗長セル部(列) 118 セレクタ回路 200 ヒューズセルマージン回路 119 入力保護 120 抵抗 M1 ,Mn ,Ms n形トランジスタ F1 〜Fn ,Fs ヒューズデータ信号線 TES(否定値) テストモード設定信号001, 00n, 00s Fuse judgment circuit 100 EOR circuit 101 NAND circuit 102 Inverter circuit 103 N-type transistor 104 Address input terminal 105 Test mode setting circuit 106 CMOS translate gate 107 Address buffer 108 Column decoder 109 Row decoder 110 Main cell section 111 Column Selection transistor 112 Sense amplifier / write circuit 113 I / O buffer 114 I / O terminal 115 NOR circuit 116 Redundant cell section (row) 117 Redundant cell section (column) 118 Selector circuit 200 Fuse cell margin circuit 119 Input protection 120 Resistance M 1 , M n , M s n-type transistors F 1 to F n , F s fuse data signal line TES (negative value) Test mode setting signal

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 冗長回路を備えた半導体記憶装置におい
て、行方向又は列方向に対して設けた1組又は複数組の
冗長メモリセル部と、前記冗長メモリセル部に対応した
複数組の前記冗長メモリセル部の切換のための情報を蓄
えるヒューズ素子群と、前記複数のヒューズ素子群のう
ち所望のヒューズ素子ヒューズデータを選択し出力
するヒューズデータ選択トランジスタ群と、ある外部端
子から入力信号によりテストモードを設定するテストモ
ード設定回路と、複数のアドレス入力端子に接続した複
数のアドレス信号線と電源端間に直列に接続した、抵抗
とゲートに前記ヒューズデータ選択トランジスタ群の出
力に接続したトランジスタからなる複数のヒューズデー
タ出力回路を有し、前記テストモード時には前記複数の
ヒューズデータ出力回路に接続した前記複数のアドレス
入力端子のリークの有無が前記ヒューズデータに対応し
ていることを特徴とする半導体記憶装置。
In a semiconductor memory device provided with a redundant circuit, one or more sets of redundant memory cell units provided in a row direction or a column direction and a plurality of sets of the redundant memory cells corresponding to the redundant memory cell units. a fuse element group for storing information for switching the memory cell portion, the plurality of fuse element group select fuse data of a desired fuse element group output
A fuse data selection transistor group, a test mode setting circuit for setting a test mode by an input signal from an external terminal, and a plurality of address data input terminals.
Resistors connected in series between the number of address signal lines and the power supply end
The gate of the fuse data selection transistor group
Multiple fuse data consisting of transistors connected to the force
A data output circuit, and in the test mode, the plurality of
The plurality of addresses connected to a fuse data output circuit
The presence or absence of a leak at the input terminal corresponds to the fuse data.
The semiconductor memory device characterized in that is.
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