JP3080866B2

JP3080866B2 - 濾過装置

Info

Publication number: JP3080866B2
Application number: JP07200577A
Authority: JP
Inventors: 忠義永岡
Original assignee: 忠義永岡
Priority date: 1995-07-13
Filing date: 1995-07-13
Publication date: 2000-08-28
Anticipated expiration: 2015-07-13
Also published as: JPH0924216A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、濾過装置に関し、
特に被処理液中に水没した状態での精密濾過に適した濾
過装置に関する。被処理液としては一般用水、飲料水、
河川水、プール水等がある。

【０００２】

【従来の技術】従来の濾過装置の一つとして複数のフィ
ルター管を使用する方式のものが知られている。この濾
過装置においては容器内に複数のフィルター管を並行に
配置し、容器の一端部に設けられた被処理液入口から被
処理液をポンプ等によって導入し、これら複数のフィル
ター管を通して被処理液を濾過し、処理済みの液をフィ
ルター管内から容器の他端部に設けられた処理済液取出
口から取出すものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この従来の濾過装置に
使用するフィルター管は、精密濾過のためフィルター要
素に多孔質の材料や濾布等の濾過孔を密に成形したもの
が使用されているが、濾液中の微粉状の浮遊物質のため
装置の運転開始後フィルター要素が短時間で目詰りを生
じ濾過性能が低下する。このため装置の運転を停止して
フィルター面の逆洗を行い、フィルター要素中の目詰り
を取除いた後再度運転を行わねばならない。この運転停
止と逆洗は運転中ひんぱんに行わねばならないので作業
能率の低下を免れない。そして逆洗を繰返してもフィル
ター要素内奥部に目詰りが次第に進行し、遂には装置か
ら全フィルター要素を取出し新しいフィルター要素と交
換しなければならない。

【０００４】本発明は、上記従来の濾過装置の問題点に
かんがみなされたものであって、目詰り除去のため装置
の運転停止および逆洗を行うことなく連続運転を行いな
がらフィルター要素の目詰りを防止することができる濾
過能率の高い精密濾過装置を提供しようとするものであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の濾過装置は、スクリーンの軸方向に延長しかつスク
リーンの周方向に所定間隔で配列された複数のサポート
ロッドおよびこれらのサポートロッドの外側に固着され
た筒状のフィルター部材とからなるスクリーン手段と、
該スクリーン手段と同軸に該スクリーン手段の中心に配
置されたシャフトおよび一端が該シャフトに固定され他
端が該サポートロッドの一部に当接しうる少くとも１枚
の板ばねからなる加振器と、該スクリーン手段と該加振
器の少くとも一方を回転駆動する駆動手段とを備えるこ
とを特徴とする。

【０００６】本発明によれば、スクリーン手段と加振器
の少くとも一方を回転駆動することにより、板ばねの一
端部が周方向に配置された複数のサポートロッドの各々
に順次接触、離間し、板ばねがサポートロッドに当接す
る時の衝撃により各サポートロッドおよびこれに固定さ
れたフィルター部材に微かな振動が発生する。被処理液
のフィルター部材への流入に伴いフィルター部材の表面
に付着しようとする微粉状の固体はこの振動によりフィ
ルター部材表面から振り落され、常にフィルター部材表
面から僅かに離れた位置に浮遊することになり、この結
果フィルター部材の目詰りを防止することができる。

【０００７】また従来の濾過装置の逆洗装置のように大
がかりな装置を必要とせずまたスクレーパーも必要とし
ないので装置全体をコンパクトに設計することができ
る。

【０００８】本発明の一側面においては、スクリーンの
軸方向に延長しかつスクリーンの周方向に所定間隔で配
列された複数のサポートロッドおよびこれらのサポート
ロッドの内側に固着された筒状のフィルター部材とから
なるスクリーン手段と、該スクリーン手段と同軸に該ス
クリーン手段の外側に配設され軸方向に延長する枠体お
よび一端が該枠体に固定され他端が該サポートロッドの
一部に当接しうる少くとも１枚の板ばねからなる加振器
と、該スクリーン手段と該加振器の少くとも一方を回転
駆動する駆動手段とを備える。

【０００９】フィルター部材としては、ウェッジワイ
ヤ、多孔板、金網、濾布等のいずれをも用いることがで
きるが、特にフィルター部材を所定幅のスリットを形成
するようにして該サポートロッドに巻回されたウェッジ
ワイヤを用いる場合は、元来ウェッジワイヤ形式の筒状
スクリーンはＶ型開口を持ち目詰りを生じにくい構造に
なっているので、これに常時加振器により微振動を加え
ることにより、一層目詰りを生じることが少くなり連続
高処理が可能となる。

【００１０】さらにウェッジワイヤのスリット幅を１〜
１５０μｍとすることにより、プレコート等の補助的濾
過手段を必要とすることなく連続運転により超精密濾過
が可能となる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下添付図面を参照して本発明の
実施の形態について説明する。図１〜図４は本発明にか
かる濾過装置の１実施の形態を示す。図１は同濾過装置
の主要部を示す斜視図、図２は濾過装置の全体を容器の
一部を破断して示す斜視図、図３は図１における加振器
の動作を説明するための平面図、図４は図１の装置の一
部を拡大して示す斜視図である。

【００１２】濾過装置１は、図２に示すように、断面円
形の容器２内の上方に水平方向に配設されたシール板８
を備えている。

【００１３】このシール板８には複数本のスクリーン手
段３がシール板８を貫通するようにして上下方向に固定
されている。容器２の下部には被処理液の流入口２ａ
が、上部には被処理液の流出口２ｂが形成されている。
濾過装置にはポンプ９が連結されている。

【００１４】本実施の形態において、スクリーン手段３
は、図４から明らかなように、スクリーン手段３の軸方
向に延長しかつ周方向に所定間隔で全体として円筒状に
配置され、半径方向外側端部に突起部４ａを有する複数
のサポートロッド４と、該サポートロッド４の外側に該
サポートロッド４とほぼ直交する方向にらせん状に巻回
されたウェッジワイヤ５を有し、該ウェッジワイヤ５は
一側５ａを外側に向け、他の２側５ｂ，５ｃは隣接する
ウェッジワイヤ部分との間に内側に向け拡開するスリッ
ト６を形成するように配置され、その内側の頂点５ｄを
該サポートロッド４との交点７において該サポートロッ
ド４の該突起部４ａに溶接されている。スクリーン手段
３の下端はシール板１０（図２）により閉じられてい
る。ウェッジワイヤ５は筒状フィルター部材を構成す
る。

【００１５】スクリーン手段３の内側には、スクリーン
手段３と同軸にスクリーン手段３の中心に配置されたシ
ャフト１２とシャフト１２に固着された複数の板ばね１
４からなる加振器１６が設けられている。シャフト１２
の上端部はスクリーン手段３の上端部から突出してシャ
フト駆動装置１８に連結されている。シャフト駆動装置
１８は図示しないモータにより駆動力を付与されて各シ
ャフト１２を所定の回転速度で回転駆動する。

【００１６】加振器１６の板ばね１４はシャフト１２の
スクリーン手段３内に存在する部分のほぼ全長にわたり
径方向に１対ずつかつシャフトの軸方向に隣り合う板ば
ね１４の対とは直交するようにしてシャフト１２に固定
されている。各板ばね１４は、板ばね１４の前端部１４
ａがサポートロッド４の側部の半径方向内側の部分に当
接するように板ばねの径方向の長さＬが設定されてい
る。

【００１７】次にこの濾過装置Ｌの動作を説明する。濾
過装置１の運転中は、ポンプ９が働き被処理液流入口２
ａから流入した被処理液は各スクリーン手段３内に流入
して各スクリーン手段３内を上方に進み、スクリーン手
段３の上端部から被処理液流出口２ｂを介して排出され
回収される。

【００１８】この間加振器１６のシャフト１２は加振器
駆動装置１８により回転駆動される。

【００１９】今シャフト１２が反時計方向に回転したと
すると、板ばね１４はサポートロッド４に当接していな
い図１の状態（図３中点線で示す位置）から図４および
図３の実線で示すように、板ばね１４の先端部１４ａが
サポートロッド４の１側面の半径方向内側の部分に当接
し、サポートロッド４に押されて湾曲することによりサ
ポートロッド４との係合から離脱する。こうしてシャフ
ト１２が回転している間各板ばね１４は周方向に配置さ
れた各サポートロッド４に対し次々と接触、離脱を繰り
返す。そして板ばね１４がサポートロッド４に当接する
時の衝撃により各サポートロッド４およびこれに固定さ
れたフィルター部材であるウェッジワイヤ５に微かな振
動が発生する。

【００２０】被処理液のウェッジワイヤ５のスリット６
への流入に伴い、従来の濾過装置においては、被処理液
中に浮遊する微粉状の固体Ｓは、図５Ａに示すようにウ
ェッジワイヤＷの表面に付着するが、本発明の濾過装置
においては、図５Ｂに示すように、加振器１６によりサ
ポートロッド４を介してウェッジワイヤ５に付与された
微振動により、ウェッジワイヤ５の表面に付着しようと
する微粉状の固体Ｓはウェッジワイヤ５の表面から振り
落され、常にウェッジワイヤ５の表面から僅かに離れた
位置に浮遊することになる。この結果ウェッジワイヤ５
のスリット６の微粉状固体による目詰りを防止すること
ができる。

【００２１】上記の実施の形態においては加振器１６の
シャフト１２を回転駆動しているが、これとは逆にシャ
フト１２を固定し、スクリーン手段３を駆動手段に連結
してスクリーン手段３を回転駆動するようにしてもよ
い。また加振器１６とスクリーン手段３の双方を逆方向
に回転駆動してもよい。

【００２２】図６、図７は本発明の他の実施の形態を示
すもので、図６はその主要部を示す斜視図、図７は加振
枠体の動作を説明するための平面図である。

【００２３】この実施の形態は図１の実施の形態とは逆
に被処理液をスクリーン手段３の内側から外側に向けて
流出させ、微粉状の固体をウェッジワイヤ５の内側表面
附近に集めるタイプの濾過装置に使用する場合に好適で
ある。

【００２４】本実施の形態において、スクリーン手段３
０は、図６から明らかなように、スクリーン手段３０の
軸方向に延長しかつ周方向に所定間隔で全体として円筒
状に配置され、半径方向内側端部に突起部３１ａを有す
る複数のサポートロッド３１と、該サポートロッド３１
の内側に該サポートロッド３１とほぼ直交する方向にら
せん状に巻回されたウェッジワイヤ３２を有し、該ウェ
ッジワイヤ３２は一側３２ａを内側に向け、他の２側３
２ｂ，３２ｃは隣接するウェッジワイヤ部分との間に内
側に向け拡開するスリット３３を形成するように配置さ
れ、その内側の頂点３２ｄを該サポートロッド３１との
交点３４において該サポートロッド３１の該突起部３１
ａに溶接されている。ウェッジワイヤ３２は筒状フィル
ター部材を構成する。

【００２５】スクリーン手段３０の外側には、スクリー
ン手段３０の軸方向に延長する格子状の円筒形枠体３５
および一端が枠体３５の軸方向バー３５ａに固定され他
端がサポートロッド３１に当接しうる複数の板ばね３６
からなる加振器３７が設けられている。

【００２６】枠体３５の一端部は駆動装置（図示せず）
に連結されており枠体３５はこの駆動装置によって回転
駆動される。

【００２７】加振器３７の板ばね３６はその内部にスク
リーン手段３０が存在する部分の枠体３５の全長にわた
り径方向に１対ずつかつ軸方向に隣り合う板ばね３６の
対とは直交するようにして枠体３５の軸方向バー３５ａ
に固定されている。各板ばね３６は先端部３６ａがサポ
ートロッド３１の側部の半径方向外側の部分に当接する
ように板ばねの径方向の長さが設定されている。

【００２８】濾過装置の運転中被処理液はスクリーン手
段３０の内側から外側に流れる。枠体３５が図中時計方
向に回転すると、各板ばね３６がサポートロッド３１に
対し次々と接触、離脱を繰返しサポートロッド３１を介
してウェッジワイヤ３２に微振動を与える。これによっ
てスクリーン手段３０の内側においてウェッジワイヤ３
２の表面に付着しようとする微粉状の固体はウェッジワ
イヤ３２の表面から振り落され、ウェッジワイヤ３２の
表面から僅かに離れた位置に浮遊する。

【００２９】図６の実施の形態においては加振器３７の
枠体３５を回転駆動するが、これとは逆に枠体３５を固
定しスクリーン手段３０を回転駆動してもよく、または
枠体３５とスクリーン手段３０の双方を逆方向に回転駆
動してもよい。

【００３０】従来スクリーン面をウェッジワイヤにより
形成した濾過装置においては、製造技術上の理由により
隣接するウェッジワイヤ間のスリットの幅を１５０μｍ
以下に形成することは不可能であり、１５０μｍ以上の
径を有する固形物しか分離することができなかった。こ
のため１５０μｍ以下の径を有する微細な固形物を分離
する必要がある場合は、米国特許第４，４０７，７２０
号の第１欄第１８行〜２４行および第２欄第６４行〜６
６行に記載されているように、濾布等のフィルター材を
ウェッジワイヤの外周に張付けなければならない。この
場合は、濾布のみを使用する濾過装置と同様に目詰りが
容易に生じるという欠点が生じる。

【００３１】このため、ウェッジワイヤをスクリーン面
に使用する濾過装置により１５０μｍ以下の固体を濾過
する場合は、目詰り除去のための複雑で大がかりな装置
を取付けるか、または凝集剤、固化剤などの高価な添加
物を被処理液に添加することにより固形物を凝集させそ
の径を大きくして分離しなければならなかった。

【００３２】本発明の一側面においては、ウェッジワイ
ヤのスリットの幅を１〜１５０μｍの超微細スリットと
したことにより、１〜１５０μｍの超微細な固形物を、
濾布その他の濾材を使用することなく、また高価な添加
剤を添加することなく容易に分離することができる。

【００３３】ウェッジワイヤのスリット幅を１〜１５０
μｍの超微略スリットとするにはウェッジワイヤを使用
するスクリーン手段３を以下に述べる製造装置を使用し
て製造する。

【００３４】図８〜図１０はスクリーン手段３の製造装
置を示す。

【００３５】スクリーン製造装置５０は前部ベッド５２
と後部ベッド５４上に設けられた支持枠５６，５８に取
付けられた軸受６０，６２に回転自在に支承されたボー
ルねじ６４を備えている。ボールねじ６４は中央の段部
６４ａの前方の大径部６４ｂにねじが切られており、後
方の小径部６４ｃにはねじが切られていない。ボールね
じ６４の直下の前部ベッド５２上にはレール６６が敷設
されている。円筒状のねじカバー６８はボールねじに螺
合するようにしてボールねじ６４の外側に同軸に配置さ
れている。ねじカバー６８の前端部にはレール６６上を
走行可能に載置された車輪７０が脚部７２を介して固定
されており、ボールねじ６４の回転によりボールねじ６
４上を摺動する。

【００３６】環状の前部サポートロッド把持具７４はね
じカバー６８の進行方向前端部附近に回転自在かつねじ
カバー６８の軸方向に移動不可能に支持されている。一
方ねじカバー６８の進行方向後端部には中央開口部７６
ｂを有するディスク状の後部サポートロッド把持具７６
が回転自在かつねじカバー６８の軸方向に移動可能にボ
ールねじの小径部６４ｃに嵌合支持されている。前部サ
ポートロッド把持具７４には同把持具７４を回転駆動す
る駆動ユニット７８が連結されている。駆動ユニットは
所望のウェッジワイヤスリット幅を実現するために必要
な回転速度で前部サポートロッド把持具７４を回転させ
ることができる。後部サポートロッド把持具７６は前部
サポートロッド把持具７４の回転に従動して回転され
る。後部サポートロッド把持具７５は溶接機支持台６７
に開設された開口部６７ａ中より僅かに小さい径を有し
開口部６７中を進行方向に摺動することができる。ただ
しボールねじ６４の大径部６４ｂの径は後部サポートロ
ッド把持具７６の中央開口部７６ｂの径よりも大きいの
で後方サポートロッド把持具７６の進行方向の移動はボ
ールねじ６４の段部６４ａに把持具７６の前端面７６ａ
が当接することにより阻止される。把持具７６は前部サ
ポートロッド把持具７４の回転に従動して回転される。
溶接機支持台６７の後方にはウェッジワイヤが巻回され
たウェッジワイヤ供給ドラム８０が配設されている。ま
たスクリーン２の溶接箇所の真上には所定の間隔を置い
て、サポートロッド上に巻回されたウェッジワイヤをサ
ポートロッド上に押圧するディスク状の押圧ロール８２
がスクリーン２と平行に配置されている。押圧ロールは
スクリーンドラム２の回転につれて従動回転する。ウェ
ッジワイヤがサポートロッドに巻回される直前の位置に
は、ウェッジワイヤホルダー８４が設けられている。こ
のウェッジワイヤホルダー８４は、図１６Ａ，１６Ｂに
示すように、ウェッジワイヤを通すための１対のホルダ
ー部分８４ａ，８４ａからなり、ウェッジワイヤを通し
てからこのホルダー部分８４ａ，８４ａをボルトナット
８５，８６で固定するようになっている。ホルダー８４
はウェッジワイヤ８８の断面より僅かに大きいウェッジ
ワイヤ８８と相似形の断面のウェッジワイヤ挿通孔８４
ｂを有するとともに、鳥のくちばし状の先端８４ｃを有
している。ホルダー８４はロッド９０にボルト９２で固
定されており、このロッド９０はピン９４によって上下
方向に揺動自在かつ水平方向に移動不能に枠体９６に枢
着されている。ホルダー８４のくちばし状の先端部８４
ｃを製造されるスクリーン３と押圧ロール８２との間の
間隙９８に奥深く挿入することにより、ウェッジワイヤ
８８の正確な位置決めが可能である。ウェッジワイヤが
サポートロッドに巻回される直後の位置には公知の構成
のレーザー溶接機１００が配設されている。

【００３７】スクリーンの製造は次の手順により行われ
る。（ａ）上記製造装置を準備する。

【００３８】（ｂ）前部サポートロッド把持具７４と後
部サポートロッド把持具７６との間に半径外側の端部に
突起を有する複数のサポートロッド１０２を周方向に全
体として円筒状に配置し、両把持具７４，７６によりサ
ポートロッド１０２の両端部を把持する。

【００３９】（ｃ）ボールねじ６４を回転駆動すること
により円筒状のサポートロッド１０２を進行方向（図１
５中央矢印Ｅの方向）に送るとともにウェッジワイヤ供
給ドラム８０からウェッジワイヤ８８を繰出してウェッ
ジワイヤホルダー８４を通して円筒状のサポートロッド
１０２に巻回することにより送り機構のボールねじの軸
芯と、製造されるスクリーンドラムの軸芯とを同軸線上
にしてボールねじの送り精度とスクリーンドラムの送り
精度を極限にまで近似させる工程。

【００４０】（ｄ）レーザー溶接機１００によりウェッ
ジワイヤ８８の内側の頂点を各サポートロッドとの交点
においてサポートロッドの突起部に溶接する。

【００４１】（ｅ）ウェッジワイヤ８８の巻回、溶接を
完了したら両サポートロッド把持具７４，７６を開放し
て完成したスクリーンを取出す。

【００４２】本発明のさらに他の実施の形態において
は、図２に示すように、シール板８上に電動式または空
気加圧式の公知の振動発生器２１０を取付け、シール板
８を介してシール手段３に対し補助的に振動を伝達する
ことによりウェッジワイヤ５のスリット６の目詰り防止
を促進している。

【００４３】スクリーン手段のフィルター部材は、上記
のようにウェッジワイヤに限らず、図１１に示すような
所定径の多数の円孔または長孔２０２が形成された筒状
多孔板２０４で形成してもよい。またフィルター部材は
図１２に示すような筒状金網２０６で形成してもよい。

【００４４】また上記各実施の形態においてスクリーン
手段および枠体はいずれも円筒形で形成されているが、
これに限らず多角形の筒状のものでもよい。また加振器
の板は孔の形状も上記各実施の形態のものに限られるも
のではない。

【００４５】また上記各実施の形態においては、板ばね
は径方向に１対設けられ、軸方向に隣り合う各対の板ば
ねは相互に直交する方向に設けられているが、これに限
らず各対を同一方向に配置する等種々の改変が可能であ
る。また板ばね枚数は１枚以上必要に応じ任意の枚数と
することができる。

【００４６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ス
クリーン手段と加振器の少くとも一方を回転駆動するこ
とにより、板ばねの一端部が周方向に配置された複数の
サポートロッドの各々に順次接触、離間し、板ばねがサ
ポートロッドに当接する時の衝撃により各サポートロッ
ドおよびこれに固定されたフィルター部材に微かな振動
が発生する。被処理液のフィルター部材への流入に伴い
フィルター部材の表面に付着しようとする微粉状の固体
はこの振動によりフィルター部材表面から振り落され、
常にフィルター部材表面から僅かに離れた位置に浮遊す
ることになり、この結果フィルター部材の目詰りを防止
することができる。

【００４７】また従来の濾過装置の逆洗装置のように大
がかりな装置を必要とせずまたスクレーパーも必要とし
ないので装置全体をコンパクトに設けることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる濾過装置の１実施の形態の主要
部を示す斜視図である。

【図２】同実施の形態を容器の一部を破断して示す斜視
図である。

【図３】図１における加振器の動作を説明するための平
面図である。

【図４】図１のスクリーン手段と加振器の一部を拡大し
て示す斜視図である。

【図５】被処理液中の固形物のスクリーン表面への付着
状況を示す図である。

【図６】本発明の他の実施の形態を示す部分斜視図であ
る。

【図７】同実施の形態における加振器の動作を説明する
ための平面図である。

【図８】スクリーン手段製造装置を示す図である。

【図９】同スクリーン手段製造装置のウエッジワイヤホ
ルダーを示す図である。

【図１０】同製造装置のレーザー溶接機を示す図であ
る。

【図１１】穴明き板によるフィルター筒を示す斜視図で
ある。

【図１２】金網によるフィルター筒を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

３，３０スクリーン手段４，３１サポートロッド１２シャフト１４，３６板ばね１６，３７加振器３５枠体

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】スクリーンの軸方向に延長しかつスクリ
ーンの周方向に所定間隔で配列された複数のサポートロ
ッドおよびこれらのサポートロッドの外側に固着された
筒状のフィルター部材とからなるスクリーン手段と、該
スクリーン手段と同軸に該スクリーン手段の中心に配置
されたシャフトおよび一端が該シャフトに固定され他端
が該サポートロッドの一部に当接しうる少くとも１枚の
板ばねからなる加振器と、該スクリーン手段と該加振器
の少くとも一方を回転駆動する駆動手段とを備えること
を特徴とする濾過装置。
【請求項２】該フィルター部材は、所定幅のスリット
を形成するようにして該サポートロッドに巻回されたウ
ェッジワイヤであることを特徴とする請求項１記載の濾
過装置。
【請求項３】該ウェッジワイヤのスリット幅は１〜１
５０μｍであることを特徴とする請求項２記載の濾過装
置。
【請求項４】該フィルター部材は他数の円孔または長
孔が形成された多孔板であることを特徴とする請求項１
記載の濾過装置。
【請求項５】該フィルター部材は金網であることを特
徴とする請求項１記載の濾過装置。
【請求項６】該フィルター部材は濾布であることを特
徴とする請求項１記載の濾過装置。
【請求項７】該スクリーン手段に振動を与える振動発
生器をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の濾
過装置。
【請求項８】スクリーンの軸方向に延長しかつスクリ
ーンの周方向に所定間隔で配列された複数のサポートロ
ッドおよびこれらのサポートロッドの内側に固着された
筒状のフィルター部材とからなるスクリーン手段と、該
スクリーン手段と同軸に該スクリーン手段の外側に配設
され軸方向に延長する枠体および一端が該枠体に固定さ
れ他端が該サポートロッドの一部に当接しうる少くとも
１枚の板ばねからなる加振器と、該スクリーン手段と該
加振器の少くとも一方を回転駆動する駆動手段とを備え
ることを特徴とする濾過装置。
【請求項９】該フィルター部材は、所定幅のスリット
を形成するようにして該サポートロッドに巻回されたウ
ェッジワイヤであることを特徴とする請求項８記載の濾
過装置。
【請求項１０】該ウェッジワイヤのスリット幅は１〜
１５０μｍであることを特徴とする請求項９記載の濾過
装置。
【請求項１１】該フィルター部材は他数の円孔または
長孔が形成された多孔板であることを特徴とする請求項
８記載の濾過装置。
【請求項１２】該フィルター部材は金網であることを
特徴とする請求項８記載の濾過装置。
【請求項１３】該フィルター部材は濾布であることを
特徴とする請求項８記載の濾過装置。
【請求項１４】該スクリーン手段に振動を与える振動
発生器をさらに備えることを特徴とする請求項８記載の
濾過装置。