JP3074367B2 - 反射型液晶表示装置の基板 - Google Patents
反射型液晶表示装置の基板Info
- Publication number
- JP3074367B2 JP3074367B2 JP7256793A JP7256793A JP3074367B2 JP 3074367 B2 JP3074367 B2 JP 3074367B2 JP 7256793 A JP7256793 A JP 7256793A JP 7256793 A JP7256793 A JP 7256793A JP 3074367 B2 JP3074367 B2 JP 3074367B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- light
- substrate
- crystal display
- display device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
を明るく表示できる、アクティブマトリクス液晶表示パ
ネルを用いた、投影型表示装置の基板に関する。
装置としては、図2に示すように透過型液晶表示パネル
1の透過光を変調して投影レンズ2でスクリーン3に投
影する透過型投影表示装置と、図3に示すように透過型
アクティブマトリクス液晶表示パネル4の透過光を変調
し、レンズ5の像を液晶層と光伝導層からなる光空間変
調器6に書き込み、光空間変調器6で偏光ビームスプリ
ッタ7を通して入射した光を変調し反射し、偏光ビーム
スプリッタ7の出力光を投影レンズ8でスクリーン9に
投影する反射型投影表示装置が知られている。
を図4に示す。透明絶縁基板10の上にはソース、ドレ
イン11、12、ゲート絶縁膜13、ゲート電極14か
らなる薄膜トランジスタが形成されており、液晶駆動透
明電極15はドレイン電極12と接続されており液晶1
6に電圧を加える。薄膜トランジスタの上には保護膜1
7、液晶配向膜18が形成されている。液晶16は薄膜
トランジスタが形成された基板10と透明電極20、配
向膜21が形成されているガラス基板19の間に挟持さ
れている。
る光空間変調器の断面構造を図5に示す。一方の基板2
2の上には透明電極23、非晶質シリコン等からなる光
導電性を有する半導体膜24、遮光膜25、誘電体ミラ
ー層26、液晶配向膜70からなり、他方の基板にはガ
ラス基板27の上に透明電極28と液晶配向膜29が形
成されている。基板22と27の間には液晶30が挟持
されている。光導電層24に入射光があると抵抗が下が
り透明電極の電圧が遮光膜25、誘電体ミラー26を介
して液晶層30に電圧が加わる。液晶層では電圧の印加
で入射光の変調状態が変化するので非晶質シリコン上の
画像を液晶層30の上に形成し光の変調ができる。
表示装置は液晶パネル1枚で表示ができ小型で高精細表
示が可能であるが、一般にアクティブ液晶表示パネルに
用いられるトランジスタなどのアクティブ素子は光に対
し感受性が高く、投影型表示装置のごとき強力な入射光
のある状態で使用される表示装置では画質の劣化が避け
られない。一方図3の反射型投影液晶表示装置は強力な
入射光の有る状態でも空間変調器は高い画質を実現でき
る。しかし、この場合画像を入力するパネルと、入力画
像を反射表示するパネルの2枚の液晶パネルが必要とな
り、パネルと光空間変調器の間の光学的結像系が必要で
あることを考慮すると装置の小型化は困難である。
うな課題を解決するため、小型化が容易でしかも明るく
高解像度の表示が出来る反射型アクティブマトリクス表
示装置の基板を得ることである。
に、この発明は不透明な絶縁膜をアクティブマトリクス
液晶パネルのトランジスタ及び画素駆動電極の上に形成
して明るく小型高精細な表示を可能にした。
おいては、入射光が遮光性絶縁膜で吸収され光の影響が
トランジスタに及ばないようにできる。反射型の表示な
のでミラーをトランジスタの上にも重ねて形成できトラ
ンジスタの存在で画素の有効な面積の損失がないので光
の利用効率が向上する。更に絶縁性遮光膜を形成すると
入射光に対する透過率を0.1%以下に出来、遮光性が
完全になり、強力な入射光のもとでも(例えば100万
ルックス)トランジスタが誤動作することを防ぐことが
できる。
明する。図1は本発明の一実施例を示す反射型投影液晶
表示装置で、反射型液晶表示装置31には偏光ビームス
プリッタ32を介して偏光光が入射し、入射光は表示装
置31に表示された画像で変調される。反射光は偏光ビ
ームスプリッタを通過後投影レンズ33を介してスクリ
ーン34に投影される。
面構造図で、単結晶珪素の基板35の上にソース36、
ドレイン37、ゲート絶縁膜38、ゲート電極39から
なる電界効果型トランジスタとトランジスタのドレイン
電極37に接続された画素電極40が形成されている。
画素電極40、トランジスタなどを覆って全面に隙間無
く遮光層41が形成されている。遮光層41を形成する
材料としては珪素とゲルマニウムの混合物等が適当であ
る。遮光層41の上には、やはり、全面に渡り絶縁膜か
らなる鏡、誘電体ミラー層42、その上に液晶配向膜4
3が形成されている。この基板と、配向膜44と電極4
5が表面に形成された対向基板46の間に液晶47を挟
持すれば、画素電極40に印加された信号は絶縁性の遮
光層41、誘電体ミラー層42を介して液晶層に電圧を
加えることが出来る。遮光層41により入射光はトラン
ジスタの半導体膜に影響を与えることがない。遮光層4
1、誘電体ミラー42いずれも絶縁性であるので画素電
極40の電圧は各絶縁層の等価的容量で分割され、液晶
層47にも電圧が加わる。誘電体ミラー42は通常屈折
率の異なる2層を繰り返し多層形成する構造をしてい
る。この際各層の誘電率はできるだけ大きな方がミラー
層による電圧損失がないので望ましい。遮光層41とし
ては珪素と酸化珪素の2層を繰り返し形成した多層膜、
珪素とゲルマニウムの合金膜などが絶縁性を有しかつ遮
光性を有することで用いられる。
図で、単結晶珪素の基板48の上にソース49、ドレイ
ン50、ゲート絶縁膜51、ゲート電極52からなる電
界効果型トランジスタとトランジスタのドレイン電極5
0に接続された画素電極53が形成されている。絶縁膜
54はトランジスタの上を覆っている。画素電極53、
トランジスタなどを覆って全面に隙間無く遮光層55が
形成されている。遮光層55の上には画素電極53と平
面的に重なりを有する反射電極56が各画素毎に分離さ
れて形成されている。反射電極56の上には配向膜57
が形成されている。この基板48と配向膜58と電極5
9が形成された対向基板60の間に液晶61を狭持すれ
ば、画素に印加された信号は容量結合で画素電極53か
ら、反射電極56を介して液晶層61に電圧を加えるこ
とが出来る。
る。半導体基板と対向する基板面に平行な方向で45度
異なるように配向させる。電圧が液晶に加わってない場
合、偏光板を通して入射した光は反射され再度偏光板を
透過して出てくる。液晶に電圧が加わると、液晶分子は
垂直に配向し、斜めから入射する偏光光に対し液晶層は
複屈折性を示すので液晶材料及び液晶層の厚さを適当な
値にすることにより、入射光が90度回転して出射する
ようにできる。この光は偏光板で吸収される。こうして
電圧のオン/オフにより光の透過吸収を制御する反射モ
ードの表示が可能となる。
状態を変化させられる高分子分散型液晶、動的散乱型液
晶(DSM)等の液晶を用いた表示も上記複屈折を用い
た場合と同様行うことができる。この場合偏光板を用い
る必要がないので光が吸収されず明るい表示が実現でき
る。反射電極は画素毎に分離されているので、隣接する
画素とのクロストークは起こらない。反射電極は入射光
を遮り、遮光効果を高める。
単結晶珪素を用いればこの上に集積回路を形成できるの
で各種の機能を実現できる。その中で代表的なものとし
ては画素を駆動するための回路で、シフトレジスタ、サ
ンプルホールド回路、増幅器など、また駆動回路の制御
回路、回路の動作を確認するための検査回路、入射光の
明るさや信号を検出する光検出器、温度の検出器などが
ある。駆動回路は遮光層、誘電体ミラー等を介して液晶
層を駆動するため高い電圧で動作できるトランジスタ例
えばLDD構造のトランジスタで形成することが望まし
い。
多層積み重ねて形成する誘電体ミラーを用いれば絶縁体
で反射層を形成できるのでミラーをのパターン形成は必
要ないが、ミラーを金属で形成する場合画素毎に特定の
電位を保持するため画素毎に金属性のミラーを分割して
形成する。
光膜をトランジスタ及び画素電極の上に形成するという
構成としたので、駆動回路を同一基板の上に形成した小
型の表示装置が実現でき、1枚のパネルでコンパクトな
反射型で高解像度なおかつ明るい表示が実現出来るとい
う効果がある。
構造を示した説明図である。
である。
である。
を示した説明図である。
を示した説明図である。
の断面構造を示した説明図である。
ルの断面構造を示した説明図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 各画素毎にスイッチングトランジスタを
形成したアクティブマトリクス型液晶表示装置の基板に
用いられるアクティブマトリクス基板において、トラン
ジスタ及び画素電極の上は全面を遮光性絶縁膜で覆われ
ていることを特徴とする反射型液晶表示装置の基板。 - 【請求項2】 遮光性絶縁膜の上は誘電体ミラーで覆わ
れていることを特徴とする請求項1に記載の反射型液晶
表示装置の基板。 - 【請求項3】 遮光性絶縁膜の上には各画素毎に分離さ
れた金属の反射電極が形成されていることを特徴とする
請求項1に記載の反射型液晶表示装置の基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7256793A JP3074367B2 (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | 反射型液晶表示装置の基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7256793A JP3074367B2 (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | 反射型液晶表示装置の基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06289422A JPH06289422A (ja) | 1994-10-18 |
JP3074367B2 true JP3074367B2 (ja) | 2000-08-07 |
Family
ID=13493082
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7256793A Expired - Lifetime JP3074367B2 (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | 反射型液晶表示装置の基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3074367B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3191085B2 (ja) * | 1996-01-29 | 2001-07-23 | 株式会社日立製作所 | 反射型液晶表示素子および液晶表示装置 |
US6618104B1 (en) | 1998-07-28 | 2003-09-09 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical device having reverse mode holographic PDLC and front light guide |
US6819393B1 (en) | 1998-07-28 | 2004-11-16 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical device and display apparatus using light diffraction and light guide |
-
1993
- 1993-03-30 JP JP7256793A patent/JP3074367B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06289422A (ja) | 1994-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6493051B2 (en) | Transflective liquid crystal display device | |
US5105289A (en) | Reflection type electrooptical device and a projection type display apparatus using the same | |
US6570634B2 (en) | Transflective color LCD device | |
KR100748766B1 (ko) | 액정 장치 및 투사형 표시 장치 | |
US5453857A (en) | Liquid crystal display with two transistors per pixel driven at opposite polarities | |
US20050275779A1 (en) | Liquid crystal display | |
JPH11101992A (ja) | 液晶表示装置 | |
JP4702003B2 (ja) | 液晶装置およびプロジェクタ | |
JP3672602B2 (ja) | 液晶ディスプレイ | |
US6919580B2 (en) | Display device with color filter covering portion of reflecting part | |
JP3788093B2 (ja) | 液晶パネル用基板、液晶パネル及びそれを用いた電子機器並びに液晶パネル用基板の製造方法 | |
JP7392507B2 (ja) | 液晶装置および電子機器 | |
US20080180615A1 (en) | Liquid crystal display device and electronic apparatus | |
US6348959B1 (en) | Reflective LCD with dark borders | |
JP2001222027A (ja) | 電気光学装置および投射型表示装置 | |
KR20020020192A (ko) | 액정표시장치 | |
KR100586337B1 (ko) | 액정 표시 장치 | |
JP2002533749A5 (ja) | ||
JP2004054129A (ja) | 液晶表示装置および電子機器 | |
JP3074367B2 (ja) | 反射型液晶表示装置の基板 | |
US11249357B2 (en) | Liquid crystal device and electronic apparatus | |
JPH07318925A (ja) | 表示素子 | |
JP2008203711A (ja) | アクティブマトリクス基板、電気光学装置及び電子機器 | |
JP2002090773A (ja) | 液晶表示装置 | |
US11526057B2 (en) | Liquid crystal device comprising a wall portion extending along a third end and a fourth end of a pixel electrode and covered with the pixel electrode |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080609 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090609 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 Year of fee payment: 10 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110609 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120609 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130609 Year of fee payment: 13 |