JP3067794U - Bus interface device for semiconductor test equipment - Google Patents

Bus interface device for semiconductor test equipment

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JP3067794U JP1999007174U JP717499U JP3067794U JP 3067794 U JP3067794 U JP 3067794U JP 1999007174 U JP1999007174 U JP 1999007174U JP 717499 U JP717499 U JP 717499U JP 3067794 U JP3067794 U JP 3067794U
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Abstract

(57)【要約】 【課題】複数個のLSIとの間で複雑な選択条件で書込
み/読出し動作を行う半導体試験装置のバスインターフ
ェース方式を提供する。 【解決手段】制御バスI/F部と複数n個のLSIとは
シリアルバス形態でインターフェースし、LSIとの書
込み/読出し動作の都度、1ビットのシリアルバスへバ
スインターフェース動作選択情報とCS情報とを所定順
序で乗せてLSI側へ送出し、複数n個のLSI内には
対応するLSI内シリアルバス制御部を備え、前記LS
I内シリアルバス制御部は所定複数ビットのIDコード
をLSIの入力端子で受け、シリアルバスからシリアル
に受信するnビットのCS情報とIDコードとからLS
Iがチップイネーブルとすべきかを検出し、アサートの
ときにLSIはシリアルバスからシリアルに受信するバ
スインターフェース動作選択情報に基づいて所定の書込
み/読出し動作を行うバスインターフェース方式。
(57) Abstract: A bus interface system of a semiconductor test apparatus that performs a write / read operation under a complicated selection condition with a plurality of LSIs is provided. A control bus I / F unit and a plurality of n LSIs are interfaced in a serial bus form, and each time a write / read operation with the LSI is performed, a bus interface operation selection information and CS information are transferred to a 1-bit serial bus. Are sent in a predetermined order to the LSI side, and a plurality of n LSIs are provided with a corresponding serial bus control unit in the LSI.
The I serial bus control unit receives a predetermined plurality of bits of an ID code at an input terminal of the LSI, and obtains LS from the n-bit CS information serially received from the serial bus and the ID code.
A bus interface system in which I detects whether to enable the chip, and when asserted, the LSI performs a predetermined write / read operation based on bus interface operation selection information serially received from the serial bus.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【考案の属する技術分野】[Technical field to which the invention belongs]

この考案は、半導体試験装置のバスインターフェース方式に関する。特に、バ スインターフェースの動作を行うときに多数の選択情報をLSIへ供給し、この 選択情報に基づいて制御CPUと複数個のLSIとの間での書込み/読出し動作 を行うインターフェース方式において、接続される信号本数を大幅に低減可能と する半導体試験装置のバスインターフェース方式に関する。 This invention relates to a bus interface system of a semiconductor test device. In particular, when performing bus interface operations, a large amount of selection information is supplied to an LSI, and a write / read operation between the control CPU and a plurality of LSIs is performed based on the selection information. The present invention relates to a bus interface system of a semiconductor test apparatus capable of greatly reducing the number of signals to be transmitted.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

従来技術について、図4、図5を参照して以下に説明する。 先ず、図5の半導体試験装置の概念構成について簡素に説明する。主な構成要 素としては、パターン発生器PG、波形整形器FC、ドライバDR、コンパレー タCP、論理比較器DC、タイミング発生器TG、タイミング発生制御部TGC 等を備える。公知のように、各ユニットは数百〜数千チャンネルものテスタチャ ンネルを備え、各チャンネルは同一の機能回路で構成されている。この為、チャ ンネル数に対応して同一の専用LSIが、各ユニットのボード上に所定個数実装 されて使用される。1つの専用LSIには回路規模にもよるが、通常、数チャン ネルから数十チャンネルの同一回路を備えている。 The prior art will be described below with reference to FIGS. First, the conceptual configuration of the semiconductor test apparatus shown in FIG. 5 will be briefly described. The main components include a pattern generator PG, a waveform shaper FC, a driver DR, a comparator CP, a logical comparator DC, a timing generator TG, a timing generation controller TGC, and the like. As is well known, each unit has hundreds to thousands of tester channels, and each channel is configured with the same functional circuit. For this reason, a predetermined number of the same dedicated LSI corresponding to the number of channels are mounted on the board of each unit and used. One dedicated LSI usually has several to several tens of channels of the same circuit, depending on the circuit scale.

【0003】 また、専用LSIの内部には試験プログラムから多様な試験条件で動作を制御 できるように多くの可変設定要素、例えば試験条件等を格納する多数のレジスタ やレジスタ群、メモリ等を備えている。この要素としては、ユニットによって異 なるが、例えば被試験デバイス(DUT)へ印加する波形の前縁/後縁エッジの タイミング、波形モード、タイミングを調整する可変遅延要素、チャンネルの割 付け条件、動作モード、DUTへ印加するハイ/ローの電圧レベル条件、測定デ ータの読出し、等々である。[0005] Furthermore, the dedicated LSI includes many variable setting elements, for example, a large number of registers, register groups, and memories for storing test conditions and the like so that the operation can be controlled under various test conditions from a test program. I have. This element varies depending on the unit, but for example, the timing of the leading edge / trailing edge of the waveform applied to the device under test (DUT), the waveform mode, the variable delay element for adjusting the timing, the channel assignment condition, and the operation Modes, high / low voltage level conditions applied to the DUT, reading measurement data, etc.

【0004】 ところで、DUTの試験形態の中には、試験実行途中でDUTに印加する電圧 や波形等の試験条件を随時変更しながら行なう試験形態がある。この試験条件の 変更はテスタバスTBUSを介して行われ、この変更期間はデバイス試験が一時 停止状態となる。ここで、テスタバスTBUSは数メートルものケーブルでユニ ット間を直列接続されているバス接続形態である為、1回のアクセス時間は数μ 秒かかる。この結果、数千〜数十万回もの多数回のアクセスが行なわれるとデバ イス試験のスループットが低下してくる。この為、同一データを複数指定チャン ネルへ設定するような場合、1回のテスタバス命令でLSI内の単一若しくは複 数チャンネルに対して、あるいは複数LSIに対して一括して書込みできるよう な機能を備えている。この為に、図4に示すように、各LSIはバスインターフ ェース動作選択情報130sを受ける多数の入力端子を備え、この入力端子の選 択条件に基づき複雑な書込み/読出し動作が行われる。Meanwhile, among the test modes of the DUT, there is a test mode in which test conditions such as a voltage and a waveform applied to the DUT are changed as needed during the execution of the test. The change of the test condition is performed via the tester bus TBUS, and during this change period, the device test is suspended. Here, since the tester bus TBUS is a bus connection configuration in which the units are connected in series with a cable of several meters, one access time takes several μ seconds. As a result, when a large number of accesses of several thousand to several hundred thousand times are performed, the throughput of the device test is reduced. For this reason, when the same data is set to a plurality of designated channels, a function that allows a single tester bus instruction to write data to a single or a plurality of channels in the LSI or to a plurality of LSIs at once. It has. For this purpose, as shown in FIG. 4, each LSI has a large number of input terminals for receiving bus interface operation selection information 130s, and complicated write / read operations are performed based on the selection conditions of the input terminals.

【0005】 次に、図4の、LSIと制御バスI/F部との間で多数本のパラレル制御信号 によりバスインターフェースする従来の要部構成図について説明する。 図4の要部構成は、制御CPUと、テスタバスTBUSと、制御バスI/F部 100と、パラレルバスと、LSI301〜30nとで成る。尚、ここでは、制 御バスI/F部100をユニットに1つ備える例であるが、ボード毎に備える場 合もある。ここで、テスタバスTBUSとインターフェースするLSIの個数と してはユニットや専用LSIの集積規模によっても変わるが、例えばn=10個 の場合と仮定して以下説明する。また各LSIは全て同一LSIと仮定する。 制御CPUはテストプロセッサTPやPG等のテスタバスTBUSを直接制御 可能な装置である。 テスタバスTBUSは、半導体試験装置で使用される専用のバスインターフェ ースであり、例えば、32ビットのアドレスとデータとを時分割して伝送する時 分割バスと、書込み/読出し制御信号と、その他のハンドシェイク信号とで成る 。Next, a description will be given of a conventional main part configuration diagram of FIG. 4 in which a bus interface is performed between the LSI and the control bus I / F section by using a number of parallel control signals. 4 includes a control CPU, a tester bus TBUS, a control bus I / F unit 100, a parallel bus, and LSIs 301 to 30n. Here, although the example in which one control bus I / F unit 100 is provided in the unit, the control bus I / F unit 100 may be provided for each board. Here, the number of LSIs that interface with the tester bus TBUS varies depending on the units and the scale of integration of the dedicated LSIs, but the following description will be made on the assumption that n = 10, for example. It is assumed that all the LSIs are the same LSI. The control CPU is a device that can directly control the tester bus TBUS such as the test processors TP and PG. The tester bus TBUS is a dedicated bus interface used in a semiconductor test apparatus, and includes, for example, a time division bus for transmitting a 32-bit address and data in a time-division manner, a write / read control signal, and others. And a handshake signal.

【0006】 制御バスI/F部100は上記制御CPUと複数個のLSIとを仲介するバス インターフェースであり、TBUSI/F部110と、選択レジスタ130と、 内部バスI/F部120とを備える。 上記TBUSI/F部110は制御CPUと内部バスI/F部120との中継 用であり、また、選択レジスタ130へ制御CPUからの設定データを書込み/ 読出し制御する。The control bus I / F unit 100 is a bus interface that mediates between the control CPU and a plurality of LSIs, and includes a TBUS I / F unit 110, a selection register 130, and an internal bus I / F unit 120. . The TBUS I / F section 110 is for relaying between the control CPU and the internal bus I / F section 120, and controls writing / reading of setting data from the control CPU to the selection register 130.

【0007】 上記選択レジスタ130は、LSIの内部動作条件を選択する所定ビット幅の 複数個のモードレジスタと、各LSIに対して書込み/読出し動作をイネーブル にする10ビット幅のイネーブルレジスタ132とがある。一方のモードレジス タは各LSIに共通に供給されるべき選択信号(バスインターフェース動作選択 情報130s)であり、例えばTG・FCユニットに使用されるLSIではエッ ジ同時書込みレジスタSil、エッジ選択レジスタEDGEsel、チャンネル 選択レジスタCHsel、チャイルド選択レジスタCHILDsel、バンク選 択レジスタBANKsel、LSI内部レジスタ選択用レジスタREGsel等 がある。前記バスインターフェース動作選択情報130sの信号本数Sはユニッ トによって異なる場合があるが、例えばS=20本と仮定する。 他方のイネーブルレジスタ132は10ビット幅のチップセレクト情報(CS 情報)CHIPselであり、この出力信号であるCS信号132sは10個の 各LSIに1本づつ個別に接続するチップイネーブル信号線である。これにより 、複数LSIが同時にイネーブル指定して書込み動作が可能となる。尚、もしも LSIが64個実装とした場合は64本ものチップイネーブル信号線が必要とな る。The selection register 130 includes a plurality of mode registers having a predetermined bit width for selecting an internal operation condition of the LSI, and a 10-bit width enable register 132 for enabling a write / read operation for each LSI. is there. One mode register is a selection signal (bus interface operation selection information 130s) to be commonly supplied to each LSI. For example, in an LSI used for a TG / FC unit, a simultaneous edge write register Sil and an edge selection register EDGEsel are used. , A channel selection register CHsel, a child selection register CHILDsel, a bank selection register BANKsel, an LSI internal register selection register REGsel, and the like. The number S of signals in the bus interface operation selection information 130s may vary depending on the unit, but it is assumed that S = 20, for example. The other enable register 132 is a chip select information (CS information) CHIPsel having a 10-bit width. The CS signal 132s, which is an output signal, is a chip enable signal line individually connected to each of the ten LSIs. As a result, a plurality of LSIs can simultaneously perform the write operation by specifying the enable. If 64 LSIs are mounted, 64 chip enable signal lines are required.

【0008】 上記内部バスI/F部120がインターフェースするデータバス線120sは 、各LSIに並列接続されていて、例えば16ビットのデータバスDATAと書 込み制御信号WRと、読出し制御信号RDと、その他で成る。尚、アドレス信号 に相当する線路は無く、代わりに上記バスインターフェース動作選択情報130 sとCS信号132sとが供給されている。The data bus line 120 s interfaced by the internal bus I / F section 120 is connected in parallel to each LSI, and includes, for example, a 16-bit data bus DATA, a write control signal WR, a read control signal RD, Other. There is no line corresponding to the address signal, and instead, the bus interface operation selection information 130s and the CS signal 132s are supplied.

【0009】 一方、各LSIにはLSI内バス制御部330を備えている。このLSI内バ ス制御部330の入出力信号線は、上述した20本のバスインターフェース動作 選択情報130sと、CS信号132sの中の1本と、18本以上のデータバス 線120sとであり、これらの合計本数は39本以上にもなっている。LSIは この多数本の信号線を用いて上記複雑な選択条件でバスインターフェースを行い 、内部に備える多数のレジスタ群やメモリとの書込み/読出し制御をする。 しかしながら、バスインターフェースする為の信号本数が多いことは、端子数 の多いLSIパッケージを使用する為、パッケージがより大きくなる。また、ボ ードにおいて、各LSIに接続する配線パターンの為の広い領域が必要となり、 これらからボード上の実装密度が低下する難点がある。On the other hand, each LSI includes an internal bus control unit 330. The input / output signal lines of the bus control unit 330 in the LSI are the above-described 20 bus interface operation selection information 130s, one of the CS signals 132s, and 18 or more data bus lines 120s. The total number of these is more than 39. The LSI performs a bus interface under the above-described complicated selection conditions using the large number of signal lines, and controls writing / reading with a large number of registers and memories provided therein. However, when the number of signals for bus interface is large, an LSI package having a large number of terminals is used, so that the package becomes larger. In addition, the board requires a wide area for wiring patterns to be connected to each LSI, which causes a problem that the mounting density on the board is reduced.

【0010】 一方、制御バスI/F部100においては、合計で49本以上もの端子数が必 要であり、更に、LSIの個数はシステム構成によりテスタチャンネル数が変わ り、これに対応してCS信号132sも増減してくる。また、ユニットによって はバスインターフェース動作選択情報130sの本数が異なる。On the other hand, the control bus I / F section 100 requires a total of 49 or more terminals, and the number of LSIs varies depending on the system configuration, and the number of tester channels varies. The CS signal 132s also increases and decreases. The number of bus interface operation selection information 130s differs depending on the unit.

【0011】[0011]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the invention]

上述説明したように従来技術のバスインターフェース方式においては、多数本 の信号線を用いて複雑な選択条件でバスインターフェースする必要があるLSI において、バスインターフェースに係る信号線の本数が多くなる難点がある。こ れに伴い、パッケージがより大きくなり、ボード上の実装面積が大きくなり、ま た多数本の配線パターンを引き回す領域も必要であり、LSIの実装個数に制限 を受け、またコスト面でも好ましくない。これらの観点から、従来技術において は実用上の難点がある。 そこで、本考案が解決しようとする課題は、多数の選択情報をLSIへ供給し 、この選択情報に基づいて制御CPUと複数個のLSIとの間で複雑な選択条件 で書込み/読出し動作を行うバスインターフェース方式において、LSIとの間 を接続する信号本数を低減可能とする半導体試験装置のバスインターフェース方 式を提供することである。 As described above, the conventional bus interface method has a disadvantage that the number of signal lines related to the bus interface increases in an LSI that needs to use a large number of signal lines to perform a bus interface under complicated selection conditions. . As a result, the package becomes larger, the mounting area on the board becomes larger, and a region for arranging a large number of wiring patterns is also required. This limits the number of LSIs to be mounted and is undesirable in terms of cost. . From these viewpoints, the prior art has practical difficulties. Therefore, a problem to be solved by the present invention is to supply a large number of selection information to an LSI, and to perform a write / read operation between the control CPU and a plurality of LSIs under complicated selection conditions based on the selection information. It is an object of the present invention to provide a bus interface system of a semiconductor test device which can reduce the number of signals connected to an LSI in the bus interface system.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

第1に、上記課題を解決するために、ユニット単位あるいはボード単位の入出 力部位に制御バスI/F部100を備え、前記制御バスI/F部100はボード 内に備える所定複数n個のLSI301〜30nと制御CPUとの間を所定にイ ンターフェースし、内部には複数の内部レジスタREGを備え、 前記内部レジスタREGは制御CPUにより予め設定されて、少なくとも複数 n個のLSI301〜30nとの書込み/読出し動作時に使用される選択情報で あり、バスインターフェース動作選択情報130sとチップセレクト情報(CS 情報)CHIPselとから成り、前記nビットのCS情報CHIPselは単 一若しくは所定複数の指定LSIを対象として同時に書込み/読出し動作をイネ ーブル(アサート)する信号であり、前記バスインターフェース動作選択情報1 30sは各LSIに共通に供給される選択信号であり、 上記構成を備える半導体試験装置のバスインターフェース方式において、 上記制御バスI/F部100と複数n個のLSI301〜30nとは1ビット のシリアルバス形態でインターフェースし、 LSIとの書込み/読出し動作の都度、1ビットのシリアルバス150bus 上へ上記選択情報(バスインターフェース動作選択情報130sとCS情報CH IPsel)を所定順序で乗せて各LSIへ送出し、 複数n個のLSI301〜30n側には対応するLSI内シリアルバス制御部 310cを備え、 前記LSI内シリアルバス制御部310cは所定複数ビットのIDコード32 0をLSIの入力端子で受け、上記シリアルバス150busからシリアルに受 信するnビットの上記CS情報CHIPselと前記IDコード320とから、 当該LSIがチップイネーブル(アサート)とすべきかを検出し、アサートを検 出したときに当該LSIは上記シリアルバス150busからシリアルに受信す る上記バスインターフェース動作選択情報130sに基づいて所定の書込み/読 出し動作を行い、 以上を具備していることを特徴とする半導体試験装置のバスインターフェース 方式である。 上記考案によれば、多数の選択情報をLSIへ供給し、この選択情報に基づい て制御CPUと複数個のLSIとの間で複雑な選択条件で書込み/読出し動作を 行うバスインターフェース方式において、LSIとの間を接続する信号本数を大 幅に低減可能とする半導体試験装置のバスインターフェース方式が実現できる。 First, in order to solve the above-mentioned problem, a control bus I / F unit 100 is provided at an input / output unit of a unit or a board, and the control bus I / F unit 100 includes a predetermined number n of a plurality of control buses provided in a board. A predetermined interface is provided between the LSIs 301 to 30n and the control CPU, and a plurality of internal registers REG are provided therein. The internal registers REG are preset by the control CPU, and are connected to at least a plurality of n LSIs 301 to 30n. This is the selection information used at the time of the write / read operation, and is composed of bus interface operation selection information 130s and chip select information (CS information) CHIPsel. The n-bit CS information CHIPsel is a single or a plurality of specified LSIs. This signal enables (asserts) the write / read operation at the same time as the target. The bus interface operation selection information 130s is a selection signal commonly supplied to each LSI. In the bus interface system of the semiconductor test apparatus having the above-described configuration, the control bus I / F unit 100 and the plurality of n LSIs 301 To 30n are interfaced in a 1-bit serial bus form, and the above-mentioned selection information (bus interface operation selection information 130s and CS information CH IPsel) is predetermined on a 1-bit serial bus 150bus every time a write / read operation with the LSI is performed. A plurality of n LSIs 301 to 30n are provided with a corresponding serial bus control unit 310c in the LSI, and the serial bus control unit 310c in the LSI transmits a predetermined plurality of bits of an ID code 320 to the respective LSIs 301 to 30n. The serial bus 1 is received at the input terminal of the LSI. From the n-bit CS information CHIPsel received serially from 50 bus and the ID code 320, it is detected whether the LSI should be chip enable (asserted). When the assertion is detected, the LSI is connected to the serial bus. A bus interface system for a semiconductor test apparatus, characterized in that a predetermined write / read operation is performed based on the bus interface operation selection information 130s serially received from 150bus, and the above is provided. According to the above invention, in a bus interface system in which a large number of selection information is supplied to an LSI and a write / read operation is performed between the control CPU and a plurality of LSIs under complicated selection conditions based on the selection information, A bus interface method of a semiconductor test device that can significantly reduce the number of signals connected to the semiconductor device can be realized.

【0013】 第2図は、本考案に係る解決手段を示している。 また、上記所定複数ビット幅のIDコード320はプリント基板の配線パター ンによるハイレベル/ローレベルによる固定した個別のコード値、あるいはスイ ッチにより可変設定とする個別のコード値、を各LSIの入力端子へ供給するこ とを特徴とする上述半導体試験装置のバスインターフェース方式がある。FIG. 2 shows a solution according to the present invention. Also, the ID code 320 having the predetermined plural bit width is a fixed individual code value based on a high level / low level based on a wiring pattern of a printed circuit board, or an individual code value variably set by a switch. There is a bus interface system of the semiconductor test device described above, which is supplied to an input terminal.

【0014】 第3図は、本考案に係る解決手段を示している。 また、シリアルバス150busの形態は1ビット幅の双方向バスSDATA と、シリアルクロックSCLKと、スタート信号STTと、読出し有効信号VA LIDとからなる4本の制御線で構成し、前記スタート信号STTは書込み/読 出し動作の先頭を示す位置情報であり、読出し有効信号VALIDはLSI側か ら読出したデータの出力が有効中を示す期間情報であることを特徴とする上述半 導体試験装置のバスインターフェース方式がある。FIG. 3 shows a solution according to the present invention. The form of the serial bus 150bus is composed of four control lines including a bidirectional bus SDATA having a 1-bit width, a serial clock SCLK, a start signal STT, and a read enable signal VALID. The bus interface of the above-described semiconductor test device, wherein the bus interface is the position information indicating the beginning of the write / read operation, and the read valid signal VALID is period information indicating that the output of data read from the LSI is valid. There is a method.

【0015】 第6図は、本考案に係る解決手段を示している。 また、上記LSIを実施する全く同一回路構成のLSI実装ボードが複数枚存 在し、これに対して1つの制御バスI/F部100でバスインターフェースする とき、上記LSI実装ボード毎に異なるボードセレクト信号BS2を外部から基 板コネクタを介して当該ボードへ供給し、前記ボードセレクト信号BS2を当該 ボードの全LSIのLSI内シリアルバス制御部310cの入力端へ供給してL SIを識別するIDコード320の一部として使用することを特徴とする上述半 導体試験装置のバスインターフェース方式がある。FIG. 6 shows a solution according to the present invention. In addition, when there are a plurality of LSI mounting boards having the same circuit configuration for implementing the above-mentioned LSI, and when a single control bus I / F unit 100 performs a bus interface, a different board select for each of the above-mentioned LSI mounting boards is required. The signal BS2 is supplied from the outside to the board via the board connector, and the board select signal BS2 is supplied to the input terminal of the serial bus control section 310c in the LSI of all the LSIs of the board, and the ID code for identifying the LSI is provided. There is a bus interface system of the semiconductor test apparatus described above, which is used as a part of the 320.

【0016】[0016]

【考案の実施の形態】 以下に本考案の実施の形態を実施例と共に図面を参照して詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail together with examples with reference to the drawings.

【0017】 本考案について、図1と、図2と、図3と、を参照して以下に説明する。尚、 従来構成に対応する要素は同一符号を付す。The present invention will be described below with reference to FIG. 1, FIG. 2, and FIG. Elements corresponding to the conventional configuration are denoted by the same reference numerals.

【0018】 本願に係る要部構成は、図1に示すように、制御CPUと、テスタバスTBU Sと、制御バスI/F部100と、シリアルバス150busと、LSI301 〜30nとで成る。制御バスI/F部100の内部構成は、TBUSI/F部1 10と、選択レジスタ130と、シリアルバスI/F部150とで成る。また、 各LSI301〜30nはLSI内シリアルバス制御部310cと個別のIDコ ード320とを備える。上記構成で、シリアルバス150busとシリアルバス I/F部150とLSI内シリアルバス制御部310cとを除き、他の要素は従 来と同様であるからして説明を要しない。As shown in FIG. 1, a main part configuration according to the present application includes a control CPU, a tester bus TBUS, a control bus I / F unit 100, a serial bus 150bus, and LSIs 301 to 30n. The internal configuration of the control bus I / F unit 100 includes a TBUS I / F unit 110, a selection register 130, and a serial bus I / F unit 150. Each of the LSIs 301 to 30n includes a serial bus control unit 310c in the LSI and an individual ID code 320. In the above configuration, except for the serial bus 150bus, the serial bus I / F unit 150, and the serial bus control unit 310c in the LSI, the other elements are the same as the conventional ones, and thus need not be described.

【0019】 ここで、図3のタイミング図と共に図1に示すシリアルバス150busを説 明する。図3(a)は、書込動作のタイミング図であり、図3(b)は、読出し 動作のタイミング図である。 シリアルバス150busは、ここの例では1ビット幅の双方向データバスS DATAと、シリアルクロックSCLKと、スタート信号STTと、読出し有効 信号VALIDとからなる4本の制御線で構成し、この4本と各LSIとは並列 接続する。前記スタート信号STTは書込み/読出し動作の先頭を示す位置情報 (図3A、D参照)で、そのタイミングにおける双方向データバスSDATAの WRモードビットが”0”のときを書込み動作とし、”1”のときを読出し動作 とする。Here, the serial bus 150bus shown in FIG. 1 will be described together with the timing chart of FIG. FIG. 3A is a timing chart of the write operation, and FIG. 3B is a timing chart of the read operation. In this example, the serial bus 150bus is composed of four control lines including a 1-bit bidirectional data bus SDATA, a serial clock SCLK, a start signal STT, and a read valid signal VALID. And each LSI are connected in parallel. The start signal STT is position information (see FIGS. 3A and 3D) indicating the head of the write / read operation. The write operation is performed when the WR mode bit of the bidirectional data bus SDATA at that timing is “0”, and “1”. Is the read operation.

【0020】 多数の所定ビット数のバスインターフェース動作選択情報130sは、上記W Rモードビットの直後からシリアルに所定の順番、ここの一例ではエッジ同時書 込みレジスタSil、エッジ選択レジスタEDGEsel、チャンネル選択レジ スタCHsel、チャイルド選択レジスタCHILDsel、バンク選択レジス タBANKsel、チップセレクト情報CHIPsel、LSI内部レジスタ選 択用レジスタREGselの順番とするシリアル選択情報135s(図3H参照 )としてシリアルに送出する。 ここで、シリアルに出力される10ビットのチップセレクト情報CHIPse lにおいて、先頭のCS1は後述するコード値”0”のLSIに対するイネーブ ルビットであり、CS2はコード値”1”のLSIに対するイネーブルビットで あり、以後同様にして最後はコード値”9”のLSIに対するイネーブルビット である。 読出し有効信号VALIDは、LSI側から読出したデータの出力が有効中を 示し、その読出し開始から終了までの期間を示す期間情報(図3F参照)であるThe bus interface operation selection information 130s of a large number of predetermined bits is serially stored in a predetermined order immediately after the WR mode bit, for example, in this example, the edge simultaneous write register Sil, the edge selection register EDGEsel, and the channel selection register. The data is serially transmitted as serial selection information 135s (see FIG. 3H) in the order of the star CHsel, the child selection register CHILDsel, the bank selection register BANKsel, the chip selection information CHIPsel, and the LSI internal register selection register REGsel. Here, in the serially output 10-bit chip select information CHIPsel, CS1 at the beginning is an enable bit for an LSI having a code value of “0”, and CS2 is an enable bit for an LSI having a code value of “1”. In the same manner, the last is an enable bit for the LSI having the code value "9". The read valid signal VALID indicates that the output of the data read from the LSI is valid, and is period information indicating a period from the start to the end of the read (see FIG. 3F).

【0021】 図3のタイミング図に示すように、上記図1に示すシリアルバスI/F部15 0は、上記4本の制御線を用い、シリアルクロックSCLKに同期したシリアル データ列により双方向にデータ授受を行う1ビット幅のシリアルバスである。出 力するシリアルデータ列は、イネーブルレジスタ132が保持するn=10ビッ トのCS情報CHIPselと、その他の選択レジスタ130が保持する多数ビ ットのバスインターフェース動作選択情報130sとを所定の順序でシリアル選 択情報135s(図3H、K参照)としてシリアルバス150busから送出す る。この結果、選択レジスタ130に係る信号供給の本数が不要となる大きな利 点が得られる。As shown in the timing chart of FIG. 3, the serial bus I / F section 150 shown in FIG. 1 uses the four control lines and bi-directionally transmits a serial data stream synchronized with the serial clock SCLK. This is a 1-bit width serial bus for exchanging data. The serial data string to be output includes, in a predetermined order, n = 10-bit CS information CHIPsel held by the enable register 132 and a multi-bit bus interface operation selection information 130s held by the other selection registers 130. It is transmitted from the serial bus 150bus as serial selection information 135s (see FIGS. 3H and 3K). As a result, a great advantage is obtained in that the number of signals supplied to the selection register 130 becomes unnecessary.

【0022】 IDコード320は、図2に示すように、各LSI毎に固有に付与して認識さ せる為のコード情報である。ここでは4ビットの例であるから16種類のコード を認識でき、最大16個のLSIを実装できる。例えば、図2(a)に示す”L LLL”信号レベルの場合はコード値”0”であり、また”HHHH”信号レベ ルはコード値”15”である。このコード情報をLSI内シリアルバス制御部3 10cへ供給する。尚、コード値の付与形態としては、図2(a)に示すように 、プリント基板の配線パターンによるハイレベル/ローレベルによって固定した 固有のコード情報を付与する形態が通常であるが、所望により、図2(b)に示 すように、一部ビット若しくは全ビットに対して可変設定とするスイッチとする 付与形態としても良い。この結果、各LSIを識別する為に4本のIC端子が用 いられることとなる。もし、64個迄のLSIを識別する場合でもわずか6本の IC端子で足りる。 尚、不揮発性メモリを内蔵するLSIの場合は、所望により、上記IDコード 320を不揮発性メモリへ内蔵させて、上記4本の入力端子を無くするように構 成しても良い。As shown in FIG. 2, the ID code 320 is code information for uniquely assigning and recognizing each LSI. Here, since it is a 4-bit example, 16 types of codes can be recognized, and up to 16 LSIs can be mounted. For example, in the case of the "LLLL" signal level shown in FIG. 2A, the code value is "0", and the "HHHH" signal level is the code value "15". This code information is supplied to the serial bus control unit 310c in the LSI. In addition, as shown in FIG. 2 (a), the code value is normally added in a form in which unique code information fixed by a high level / low level by a wiring pattern of a printed circuit board is added. Alternatively, as shown in FIG. 2B, a switch may be provided in which some or all bits are variably set. As a result, four IC terminals are used to identify each LSI. If up to 64 LSIs are identified, only six IC terminals are sufficient. In the case of an LSI having a built-in nonvolatile memory, the ID code 320 may be built in the nonvolatile memory to eliminate the four input terminals, if desired.

【0023】 上記図1に示すLSI内シリアルバス制御部310cは、受信レジスタ315 を備えてシリアルバス150busからのシリアルデータ列(WRビット、シリ アル選択情報135s、書込みデータWDATA等)をラッチ保持する。前記ラ ッチ保持したシリアル選択情報135sは従来におけるバスインターフェース動 作選択情報130sと同一であり、これに基づいて従来と同様に書込み/読出し 動作時における選択制御用に使用する。そして、上記シリアルバス150bus からのシリアルデータ列におけるn=10ビットのCS情報CHIPselと上 記IDコード320とから当該LSIに対するチップイネーブル信号のビット情 報が有効信号(アサート)であるかを検出し、アサートのときに当該LSIに対 して、上記ラッチ保持したシリアル選択情報135sに基づき所定の書込み/読 出し動作を行う。 ここで、当該LSIに対するチップイネーブル信号の検出とは、IDコード3 20のコード値から当該LSIに対するイネーブルビットの位置を求め、そのビ ット位置がイネーブルかを検出する意味である。例えばコード値”0”の場合は CS情報CHIPselの先頭ビット位置がイネーブルビットの検出位置であり 、コード値”9”の場合はCS情報CHIPselの先頭から10ビット位置が イネーブルビットの検出位置である。 この結果、従来と同様に複数LSIへの書込み/読出し動作を同時にイネーブ ル可能となる。従って、各LSIをイネーブルにする従来のような専用の信号線 が不要となる利点が得られる。The in-LSI serial bus control unit 310c shown in FIG. 1 includes a reception register 315 and latches and holds a serial data string (WR bit, serial selection information 135s, write data WDATA, etc.) from the serial bus 150bus. . The latched serial selection information 135s is the same as the conventional bus interface operation selection information 130s, and is used for selection control at the time of write / read operation similarly to the conventional one based on this. Then, from the CS information CHIPsel of n = 10 bits in the serial data string from the serial bus 150bus and the ID code 320, it is detected whether or not the bit information of the chip enable signal for the LSI is a valid signal (assert). At the time of assertion, a predetermined write / read operation is performed on the LSI based on the latched serial selection information 135s. Here, the detection of the chip enable signal for the LSI means that the position of the enable bit for the LSI is obtained from the code value of the ID code 320, and whether the bit position is enabled is detected. For example, when the code value is "0", the head bit position of the CS information CHIPsel is the detection position of the enable bit, and when the code value is "9", the 10 bit position from the head of the CS information CHIPsel is the detection position of the enable bit. . As a result, write / read operations to a plurality of LSIs can be simultaneously enabled as in the conventional case. Accordingly, there is an advantage that a dedicated signal line for enabling each LSI as in the related art is not required.

【0024】 上述構成を具備したことにより、例えば4本のシリアルバス150busと、 LSI個々に固有のIDコード320とする4本とによる合計8本の信号本数で もって、従来と同様の複雑な選択条件でバスインターフェースすることが可能と なる。この結果、接続される信号本数を大幅に低減可能となる大きな利点が得ら れる。By providing the above-described configuration, for example, a total of eight signal lines including four serial buses 150 bus and four individual ID codes 320 unique to each LSI are used, so that the same complicated selection as in the past can be achieved. Bus interface can be performed under conditions. As a result, there is obtained a great advantage that the number of connected signals can be significantly reduced.

【0025】 尚、本考案の実現手段は、上述実施の形態に限るものではない。例えば、複数 LSIは同一回路機能を備えるLSIのみとは限らず、上述LSI内シリアルバ ス制御部310cを備えることで、異なる回路機能を備えるLSIと混在実装し ても良い。 また、図3のタイミング図ではシリアル選択情報135sが固定ビット長とし た具体例で説明していたが、所望により、シリアルバスI/F部150において 各選択レジスタ130のビット情報をシリアルバスへ出力するビット長を変えら れるような設定レジスタを追加して備えてる構成としても良い。特に、LSIの 個数に比例して増減するチップセレクト情報CHIPselに対するビット長を 変えられるようにする。これによりシリアル選択情報135sのビット長が異な るLSIに対して柔軟に適用可能な汎用性のあるシリアルバスI/F部150と することができる。 また、図6に示すように、ユニットに複数枚、例えば4枚の同一ボードを実装 するボード構成の場合は、6ビットのIDコード320とし、その中の2ビット を各ボード毎に異なるコード値が付与されているボードセレクト信号BS2に接 続する。これにより、全く同一のボードを複数枚実装するユニット構成において も各LSIは個別に識別されてバスインターフェースさせることができる。The means for realizing the present invention is not limited to the above embodiment. For example, the plurality of LSIs is not limited to only the LSIs having the same circuit function, and may be mixedly mounted with the LSIs having different circuit functions by providing the above-described serial bus control unit 310c in the LSI. In the timing chart of FIG. 3, the serial selection information 135s has been described as a specific example in which the bit length is fixed, but if desired, the bit information of each selection register 130 is output to the serial bus in the serial bus I / F unit 150. The configuration may be such that a setting register that can change the bit length is additionally provided. In particular, the bit length of the chip select information CHIPsel that increases or decreases in proportion to the number of LSIs can be changed. As a result, a versatile serial bus I / F unit 150 can be flexibly applied to LSIs having different bit lengths of the serial selection information 135s. Further, as shown in FIG. 6, in the case of a board configuration in which a plurality of, for example, four, identical boards are mounted on a unit, a 6-bit ID code 320 is used, and 2 bits of the ID code 320 are different for each board. Is connected to the board select signal BS2 to which is attached. Thus, even in a unit configuration in which a plurality of identical boards are mounted, each LSI can be individually identified and used as a bus interface.

【0026】[0026]

【考案の効果】[Effect of the invention]

本考案は、上述の説明内容から、下記に記載される効果を奏する。 上述説明したように本考案によれば、多数ビットのバスインターフェース動作 選択情報130sと多数ビットのチップセレクト情報CHIPselをシリアル バス150bus上へ乗せてシリアルにインターフェースする構成としたことに より、各LSIとの間でバスインターフェースを行う信号接続本数が大幅に低減 できる大きな利点が得られる。これに伴い、より小さなLSIパッケージが適用 でき、ボード上のLSI実装密度が向上し、ユニットの更なる小型化が容易とな る利点も得られる。特に同一回路構成で成るテスタピンのチャンネル数が数百〜 数千チャンネルにもなる半導体試験装置においてはその効果は大である。 The present invention has the following effects from the above description. As described above, according to the present invention, the multi-bit bus interface operation selection information 130s and the multi-bit chip select information CHIPsel are put on the serial bus 150bus and serially interfaced, so that each LSI A great advantage is obtained that the number of signal connections for bus interface between the two can be greatly reduced. Accordingly, smaller LSI packages can be applied, the LSI mounting density on the board can be improved, and the advantages of further miniaturization of the unit can be obtained. In particular, the effect is great in a semiconductor test apparatus in which the number of tester pins having the same circuit configuration is several hundred to several thousand.

【提出日】平成11年11月19日(1999.11.19)[Submission date] November 19, 1999 (November 19, 1999)

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0011[Correction target item name] 0011

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0011】[0011]

【考案が解決しようとする課題】上述説明したように従来技術のバスインターフ
ェース装置においては、多数本の信号線を用いて複雑な選択条件でバスインター
フェースする必要があるLSIにおいて、バスインターフェースに係る信号線の
本数が多くなる難点がある。これに伴い、パッケージがより大きくなり、ボード
上の実装面積が大きくなり、また多数本の配線パターンを引き回す領域も必要で
あり、LSIの実装個数に制限を受け、またコスト面でも好ましくない。これら
の観点から、従来技術においては実用上の難点がある。そこで、本考案が解決し
ようとする課題は、多数の選択情報をLSIへ供給し、この選択情報に基づいて
制御CPUと複数個のLSIとの間で複雑な選択条件で書込み/読出し動作を行
うバスインターフェース装置において、LSIとの間を接続する信号本数を低減
可能とする半導体試験装置のバスインターフェース装置を提供することである。
As described above, in the bus interface device of the prior art, in an LSI in which it is necessary to perform bus interface under complicated selection conditions using a large number of signal lines, a signal related to the bus interface is used. There is a drawback that the number of lines increases. As a result, the package becomes larger, the mounting area on the board becomes larger, and a region for arranging a large number of wiring patterns is also required. This limits the number of LSIs to be mounted and is not preferable in terms of cost. From these viewpoints, the prior art has practical difficulties. Therefore, a problem to be solved by the present invention is to supply a large number of selection information to an LSI, and perform a write / read operation between the control CPU and a plurality of LSIs under complicated selection conditions based on the selection information. An object of the present invention is to provide a bus interface device of a semiconductor test device capable of reducing the number of signals connected to an LSI in the bus interface device .

【手続補正5】[Procedure amendment 5]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0012[Correction target item name] 0012

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

第1に、上記課題を解決するために、ユニット単位あるいはボード単位の入出 力部位に制御バスI/F部100を備え、前記制御バスI/F部100はボード 内に備える所定複数n個のLSI301〜30nと制御CPUとの間を所定にイ ンターフェースし、内部には複数の内部レジスタREGを備え、 前記内部レジスタREGは制御CPUにより予め設定されて、少なくとも複数 n個のLSI301〜30nとの書込み/読出し動作時に使用される選択情報で あり、バスインターフェース動作選択情報130sとチップセレクト情報(CS 情報)CHIPselとから成り、前記nビットのCS情報CHIPselは単 一若しくは所定複数の指定LSIを対象として同時に書込み/読出し動作をイネ ーブル(アサート)する信号であり、前記バスインターフェース動作選択情報1 30sは各LSIに共通に供給される選択信号であり、 上記構成を備える半導体試験装置のバスインターフェース装置において、 上記制御バスI/F部100と複数n個のLSI301〜30nとは1ビット のシリアルバス形態でインターフェースし、 LSIとの書込み/読出し動作の都度、1ビットのシリアルバス150bus 上へ上記選択情報(バスインターフェース動作選択情報130sとCS情報CH IPsel)を所定順序で乗せて各LSIへ送出し、 複数n個のLSI301〜30n側には対応するLSI内シリアルバス制御部 310cを備え、 前記LSI内シリアルバス制御部310cは所定複数ビットのIDコード32 0をLSIの入力端子で受け、上記シリアルバス150busからシリアルに受 信するnビットの上記CS情報CHIPselと前記IDコード320とから、 当該LSIがチップイネーブル(アサート)とすべきかを検出し、アサートを検 出したときに当該LSIは上記シリアルバス150busからシリアルに受信す る上記バスインターフェース動作選択情報130sに基づいて所定の書込み/読 出し動作を行い、 以上を具備していることを特徴とする半導体試験装置のバスインターフェース 装置 である。 上記考案によれば、多数の選択情報をLSIへ供給し、この選択情報に基づい て制御CPUと複数個のLSIとの間で複雑な選択条件で書込み/読出し動作を 行うバスインターフェース装置において、LSIとの間を接続する信号本数を大 幅に低減可能とする半導体試験装置のバスインターフェース装置が実現できる。 First, in order to solve the above-mentioned problem, a control bus I / F unit 100 is provided at an input / output unit of a unit or a board, and the control bus I / F unit 100 includes a predetermined number n of a plurality of control buses provided in a board. A predetermined interface is provided between the LSIs 301 to 30n and the control CPU, and a plurality of internal registers REG are provided therein. The internal registers REG are preset by the control CPU, and are connected to at least a plurality of n LSIs 301 to 30n. This is the selection information used at the time of the write / read operation, and is composed of bus interface operation selection information 130s and chip select information (CS information) CHIPsel. The n-bit CS information CHIPsel is a single or a plurality of specified LSIs. This signal enables (asserts) the write / read operation at the same time as the target. The bus interface operation selection information 1 30s is a selection signal commonly supplied to each LSI, the bus interface of the semiconductor testing device provided with the structureapparatusIn the above, the control bus I / F unit 100 and a plurality of n LSIs 301 to 30n are interfaced in a 1-bit serial bus form, and each time a write / read operation with the LSI is performed, the above-mentioned selection is made onto a 1-bit serial bus 150bus. Information (bus interface operation selection information 130s and CS information CH IPsel) in a predetermined order and sent to each LSI, and a plurality of n LSIs 301 to 30n are provided with a corresponding serial bus control unit 310c in the LSI. The internal serial bus control unit 310c receives a predetermined plurality of bits of an ID code 320 at an input terminal of the LSI, and determines the LSI based on the n-bit CS information CHIPsel and the ID code 320 received serially from the serial bus 150bus. Should be chip enable (assert) The LSI performs predetermined write / read operations based on the bus interface operation selection information 130s serially received from the serial bus 150bus when an assert is detected. Bus interface for semiconductor test equipment characterized by the following: apparatus It is. According to the invention, a bus interface that supplies a large number of selection information to an LSI and performs a write / read operation between the control CPU and a plurality of LSIs under complicated selection conditions based on the selection information.apparatus, A bus interface for semiconductor test equipment that can significantly reduce the number of signals connected to LSIapparatusCan be realized.

【手続補正6】[Procedure amendment 6]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0013[Correction target item name] 0013

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0013】 第2図は、本考案に係る解決手段を示している。 また、上記所定複数ビット幅のIDコード320はプリント基板の配線パター ンによるハイレベル/ローレベルによる固定した個別のコード値、あるいはスイ ッチにより可変設定とする個別のコード値、を各LSIの入力端子へ供給するこ とを特徴とする上述半導体試験装置のバスインターフェース装置がある。FIG. 2 shows a solution according to the present invention. Also, the ID code 320 having the predetermined plural bit width is a fixed individual code value based on a high level / low level based on a wiring pattern of a printed circuit board, or an individual code value variably set by a switch. There is a bus interface device of the semiconductor test device described above, which is supplied to an input terminal.

【手続補正7】[Procedure amendment 7]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0014[Correction target item name] 0014

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0014】 第3図は、本考案に係る解決手段を示している。 また、シリアルバス150busの形態は1ビット幅の双方向バスSDATA と、シリアルクロックSCLKと、スタート信号STTと、読出し有効信号VA LIDとからなる4本の制御線で構成し、前記スタート信号STTは書込み/読 出し動作の先頭を示す位置情報であり、読出し有効信号VALIDはLSI側か ら読出したデータの出力が有効中を示す期間情報であることを特徴とする上述半 導体試験装置のバスインターフェース装置がある。FIG. 3 shows a solution according to the present invention. The form of the serial bus 150bus is composed of four control lines including a bidirectional bus SDATA having a 1-bit width, a serial clock SCLK, a start signal STT, and a read enable signal VALID. The bus interface of the above-described semiconductor test device, wherein the bus interface is the position information indicating the beginning of the write / read operation, and the read valid signal VALID is period information indicating that the output of data read from the LSI is valid. There is a device .

【手続補正8】[Procedure amendment 8]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0015[Correction target item name] 0015

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0015】 第6図は、本考案に係る解決手段を示している。 また、上記LSIを実施する全く同一回路構成のLSI実装ボードが複数枚存 在し、これに対して1つの制御バスI/F部100でバスインターフェースする とき、上記LSI実装ボード毎に異なるボードセレクト信号BS2を外部から基 板コネクタを介して当該ボードへ供給し、前記ボードセレクト信号BS2を当該 ボードの全LSIのLSI内シリアルバス制御部310cの入力端へ供給してL SIを識別するIDコード320の一部として使用することを特徴とする上述半 導体試験装置のバスインターフェース装置がある。FIG. 6 shows a solution according to the present invention. In addition, when there are a plurality of LSI mounting boards having the same circuit configuration for implementing the above-mentioned LSI, and when a single control bus I / F unit 100 performs a bus interface, a different board select for each of the above-mentioned LSI mounting boards is required. The signal BS2 is supplied from the outside to the board via the board connector, and the board select signal BS2 is supplied to the input terminal of the serial bus control section 310c in the LSI of all the LSIs of the board, and the ID code for identifying the LSI is provided. There is a bus interface device of the semiconductor test device described above, which is used as a part of the 320.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本考案の、LSIと制御バスI/F部との間
で、4本の制御信号によりシリアル形態でバスインター
フェースする要部構成図。
FIG. 1 is a main configuration diagram of a serial interface bus interface between an LSI and a control bus I / F unit using four control signals according to the present invention.

【図2】本考案の、IDコードの付与形態例。FIG. 2 shows an example of an ID code assignment mode according to the present invention.

【図3】本考案の、シリアル・バスインターフェースの
動作を説明するタイミング図。
FIG. 3 is a timing chart for explaining the operation of the serial bus interface according to the present invention;

【図4】従来の、LSIと制御バスI/F部との間で多
数本のパラレル制御信号によりバスインターフェースす
る要部構成図。
FIG. 4 is a main part configuration diagram of a conventional bus interface between a LSI and a control bus I / F section using a number of parallel control signals.

【図5】半導体試験装置の概念構成図。FIG. 5 is a conceptual configuration diagram of a semiconductor test apparatus.

【図6】本考案の、同一ボードを複数枚実装するユニッ
ト構成におけるCS情報付与の接続例。
FIG. 6 is a connection example of adding CS information in a unit configuration in which a plurality of the same boards are mounted according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100 制御バスI/F部 110 TBUSI/F部 120 内部バスI/F部 130 選択レジスタ 132 イネーブルレジスタ 150 シリアルバスI/F部 310c LSI内シリアルバス制御部 315 受信レジスタ 320 IDコード 330 LSI内バス制御部 TBUS テスタバス DC 論理比較器 DUT 被試験デバイス FC 波形整形器 PG パターン発生器 TG タイミング発生器 Reference Signs List 100 control bus I / F unit 110 TBUS I / F unit 120 internal bus I / F unit 130 selection register 132 enable register 150 serial bus I / F unit 310c serial bus control unit in LSI 315 reception register 320 ID code 330 bus control in LSI Section TBUS tester bus DC logical comparator DUT device under test FC waveform shaper PG pattern generator TG timing generator

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【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成11年11月19日(1999.11.
19)
[Submission date] November 19, 1999 (1999.11.
19)

【手続補正2】[Procedure amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】考案の名称[Correction target item name] Name of device

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【考案の名称】 半導体試験装置のバスインターフェ
ース装置
[Name of device] Bus interface device for semiconductor test equipment

【手続補正3】[Procedure amendment 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】実用新案登録請求の範囲[Correction target item name] Claims for utility model registration

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【実用新案登録請求の範囲】[Utility model registration claims]

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】[Utility model registration claims] 【請求項1】 ユニット単位あるいはボード単位の入出
力部位に制御バスI/F部を備え、前記制御バスI/F
部はボード内に備える所定複数n個のLSIと制御CP
Uとの間を所定にインターフェースし、内部には複数の
内部レジスタを備え、 該内部レジスタは制御CPUにより予め設定されて、複
数n個のLSIとの書込み/読出し動作時に使用される
選択情報であり、バスインターフェース動作選択情報と
チップセレクト情報、即ちCS情報とから成り、前記n
ビットのCS情報は単一若しくは所定複数の指定LSI
を対象として同時に書込み/読出し動作をイネーブルす
る信号であり、前記バスインターフェース動作選択情報
は各LSIに共通に供給される選択信号であり、 上記構成を備える半導体試験装置のバスインターフェー
ス方式において、 該制御バスI/F部と複数n個のLSIとは1ビットの
シリアルバス形態でインターフェースし、 該LSIとの書込み/読出し動作の都度、該1ビットの
シリアルバス上へ上記選択情報を所定順序で乗せて各L
SIへ送出し、 複数n個のLSI側には対応するLSI内シリアルバス
制御部を備え、 該LSI内シリアルバス制御部は所定複数ビットのID
コードをLSIの入力端子で受け、該シリアルバスから
シリアルに受信するnビットの該CS情報と前記IDコ
ードとから、当該LSIがチップイネーブル、即ちアサ
ートとすべきかを検出し、アサートを検出したときに当
該LSIは該シリアルバスからシリアルに受信する該バ
スインターフェース動作選択情報に基づいて所定の書込
み/読出し動作を行い、 以上を具備していることを特徴とする半導体試験装置の
バスインターフェース方式。
1. A control bus I / F section is provided at an input / output part of a unit or a board, and the control bus I / F is provided.
A predetermined number n of LSIs and a control CP
A predetermined interface is provided with a plurality of internal registers. The internal registers are preset by the control CPU, and include selection information used when writing / reading with a plurality of n LSIs. Yes, it consists of bus interface operation selection information and chip select information, that is, CS information.
The bit CS information is a single or a plurality of specified LSIs.
The bus interface operation selection information is a selection signal commonly supplied to each of the LSIs, and the bus interface operation selection information is a signal that is commonly supplied to each LSI. The bus I / F section and the plurality of n LSIs are interfaced in a 1-bit serial bus form, and each time a write / read operation with the LSI is performed, the selection information is placed on the 1-bit serial bus in a predetermined order. Each L
A plurality of n-side LSIs are provided with a corresponding serial bus control unit in the LSI, and the serial bus control unit in the LSI has a predetermined multiple-bit ID.
A code is received at an input terminal of the LSI, and it is detected whether the LSI should be chip-enabled, that is, asserted, from the n-bit CS information and the ID code serially received from the serial bus, and the assertion is detected. Wherein the LSI performs a predetermined write / read operation based on the bus interface operation selection information serially received from the serial bus, and comprises: a bus interface system for a semiconductor test apparatus.
【請求項2】 上記IDコードはプリント基板の配線パ
ターンによるハイレベル/ローレベルによる固定した個
別のコード値、あるいはスイッチにより可変設定とする
個別のコード値、を各LSIの入力端子へ供給すること
を特徴とする請求項1記載の半導体試験装置のバスイン
ターフェース方式。
2. An ID code for supplying a fixed individual code value at a high level / low level by a wiring pattern of a printed circuit board or an individual code value variably set by a switch to an input terminal of each LSI. 2. A bus interface system for a semiconductor test apparatus according to claim 1, wherein:
【請求項3】 シリアルバス形態は1ビット幅の双方向
バスSDATAと、シリアルクロックSCLKと、スタ
ート信号STTと、読出し有効信号VALIDとからな
る4本の制御線で構成することを特徴とする請求項1記
載の半導体試験装置のバスインターフェース方式。
3. A serial bus configuration comprising four control lines including a bidirectional bus SDATA having a 1-bit width, a serial clock SCLK, a start signal STT, and a read enable signal VALID. Item 2. A bus interface system for a semiconductor test device according to item 1.
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