JP3062064B2 - Optical disk motion characteristics measuring device - Google Patents

Optical disk motion characteristics measuring device

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JP3062064B2
JP3062064B2 JP7268266A JP26826695A JP3062064B2 JP 3062064 B2 JP3062064 B2 JP 3062064B2 JP 7268266 A JP7268266 A JP 7268266A JP 26826695 A JP26826695 A JP 26826695A JP 3062064 B2 JP3062064 B2 JP 3062064B2
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lens holder
reflector
optical disk
laser doppler
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勉 松井
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、測定精度の向上を
図ることができる光ディスクの運動特性測定装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical disk motion characteristic measuring device capable of improving the measurement accuracy.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ディスクの情報記録面には、その径方
向に記録トラックが形成してあり、この記録トラックへ
の情報の記録,再生,消去は、光ヘッドによって行なっ
ている。光ヘッドは、回転する光ディスクの記録トラッ
ク上に、情報の記録,再生,消去のためのビームを微小
なスポットとして集束照射し、光ディスクの情報記録面
から反射してきたビームなどの変化にもとづいて情報を
記録,再生,消去する。
2. Description of the Related Art A recording track is formed on an information recording surface of an optical disk in a radial direction thereof. Recording, reproduction, and erasure of information on the recording track are performed by an optical head. The optical head focuses and irradiates a beam for recording, reproducing and erasing information on a recording track of a rotating optical disk as a minute spot, and based on a change in the beam reflected from the information recording surface of the optical disk, information is obtained. Record, play back, and erase.

【0003】ここで、光ヘッドは、光ディスク自体の面
反り、光ディスクの回転にともなう面振れ、及び、光デ
ィスク自体の固有の振動系にもとづく振動等が生じたと
きでも、記録トラック上に常に正確にビームを集束させ
る必要があるので、ビームを集束させる対物レンズを光
軸方向に微小動(フォーカスサーボ)させる構成となっ
ている。
[0003] Here, the optical head is always accurately positioned on the recording track even when the optical disk itself is warped, the surface undulates due to the rotation of the optical disk, and the vibration based on the inherent vibration system of the optical disk itself. Since it is necessary to focus the beam, the objective lens for focusing the beam is slightly moved (focus servo) in the optical axis direction.

【0004】また、光ヘッドは、記録トラックが偏心し
ているときでも、スポットによって記録トラックを正確
に追跡する必要があるので、対物レンズを光ディスクの
径方向に微小動(トラッキングサーボ)させる構成とな
っている。
Further, the optical head is required to precisely track the recording track by the spot even when the recording track is eccentric, so that the objective lens is minutely moved (tracking servo) in the radial direction of the optical disk. ing.

【0005】なお、このような従来の光ヘッドとして
は、例えば、特公平5−68013号,特開平4−31
9537号,特開平62−65243号及び特開平4−
324127号等で提案されているものがある。
[0005] Such a conventional optical head is disclosed in, for example, Japanese Patent Publication No. 5-68013 and Japanese Patent Laid-Open No. 4-31.
9537, JP-A-62-265243 and JP-A-4-
There is a method proposed in 324127 and the like.

【0006】このように、光ヘッドは、回転する光ディ
スクのフォーカス方向及びトラッキング方向の運動に対
して対物レンズを追従させて、情報の記録,再生,消去
を行なうものであるから、対物レンズにフォーカスサー
ボ及びトラッキングサーボを印加するためには、光ディ
スク自体の運動特性を光学的に正確に測定しておく必要
がある。
As described above, the optical head performs the recording, reproduction, and erasing of information by causing the objective lens to follow the movement of the rotating optical disk in the focus direction and the tracking direction. In order to apply the servo and the tracking servo, it is necessary to optically accurately measure the movement characteristics of the optical disk itself.

【0007】そこで、従来は、図9及び図10に示すよ
うな光ディスクの運動特性測定装置が用いられていた。
図9は従来の光ディスクの運動特性測定装置を示すもの
であり、同図(a)は側面断面図、同図(b)は同図
(a)のX−X断面図である。また、図10は上記運動
特性測定装置の容量検出型アクチュエータを示す回路図
である。
Therefore, conventionally, an optical disk motion characteristic measuring device as shown in FIGS. 9 and 10 has been used.
9A and 9B show a conventional apparatus for measuring the motion characteristics of an optical disk, wherein FIG. 9A is a side sectional view, and FIG. 9B is a sectional view taken along line XX of FIG. 9A. FIG. 10 is a circuit diagram showing a capacitance detection type actuator of the above-mentioned kinetic characteristic measuring apparatus.

【0008】この従来の光ディスクの運動特性測定装置
は、回転する光ディスクに追従する対物レンズの運動特
性を光ディスクの運動特性とみなして測定し、この光デ
ィスクの運動特性にもとづいて光ディスクの運動特性を
求めるものであった。なお、直接、光ディスクの運動特
性を測定せず、対物レンズの運動特性を測定するのは、
トラッキング軸又はフォーカス軸の分離がしやすく、ま
た、結果的に、対物レンズを2軸もしくは3軸のアクチ
ュエータで動作させるので、運動特性を得るのに有効だ
からである。
This conventional optical disk motion characteristic measuring apparatus measures the motion characteristics of an objective lens that follows a rotating optical disk, assuming the optical characteristics of the optical disk, and obtains the optical disk motion characteristics based on the optical disk motion characteristics. Was something. It should be noted that the measurement of the motion characteristics of the objective lens without directly measuring the motion characteristics of the optical disc is performed by:
This is because the tracking axis or the focus axis can be easily separated, and as a result, the objective lens is operated by a two-axis or three-axis actuator, which is effective for obtaining motion characteristics.

【0009】図9(a),(b)において、101は対
物レンズであり、磁性体からなる対物レンズホルダ10
2に収納してあった。この対物レンズホルダ102は、
垂直な平行板ばね103,103を介して、レンズ管1
04にトラッキング方向に移動可能に支持してあり、対
物レンズ101をトラッキング方向に電磁駆動させるた
め、対物レンズホルダ102の両側面に導電体102a
を接着するとともに、対物レンズホルダ102を取り囲
む固定ヨーク105に、導電体102aと対向する導電
体105aが接着してあった。
In FIGS. 9A and 9B, reference numeral 101 denotes an objective lens, which is an objective lens holder 10 made of a magnetic material.
2 This objective lens holder 102
The lens tube 1 is connected via the vertical parallel leaf springs 103, 103.
04 is movably supported in the tracking direction. Electromagnetically drives the objective lens 101 in the tracking direction.
And the conductor 105a facing the conductor 102a was adhered to the fixed yoke 105 surrounding the objective lens holder 102.

【0010】さらに、レンズ管104は、その両側をそ
れぞれ水平な平行板ばね106,106によって支持し
てあり、対物レンズ101をフォーカス方向に電磁駆動
させるため、レンズ管104の底面に導電体104aを
接着するとともに、ハウジング107に、導電体104
aと対向する導電体107aが接着してあった。
Further, the lens tube 104 is supported on both sides thereof by horizontal parallel leaf springs 106, 106. To electrically drive the objective lens 101 in the focus direction, a conductor 104a is provided on the bottom surface of the lens tube 104. At the same time, the conductor 104 is attached to the housing 107.
The conductor 107a opposed to a was adhered.

【0011】図10において、110は容量検出型アク
チュエータであり、導電体104a及び導電体107a
に接続してあり、以下に説明するように、レンズ管10
4(対物レンズ101)のフォーカス方向の変位を検出
する構成となっていた。なお、導電体102a及び導電
体105aにも、対物レンズホルダ102(対物レンズ
101)のトラッキング方向の変位を検出するための同
様の容量検出型アクチュエータを接続してあるが、ここ
では、対物レンズ101のフォーカス方向の変位を検出
する容量検出型アクチュエータ110のみについて説明
する。
In FIG. 10, reference numeral 110 denotes a capacitance detection type actuator, which is a conductor 104a and a conductor 107a.
And the lens tube 10 as described below.
4 (objective lens 101) in the focus direction. Note that a similar capacitance detection type actuator for detecting the displacement of the objective lens holder 102 (objective lens 101) in the tracking direction is also connected to the conductor 102a and the conductor 105a. Only the capacitance detection type actuator 110 for detecting the displacement in the focus direction will be described.

【0012】容量検出型アクチュエータ110は、主と
して、同軸ケーブル111を介して導電体104a及び
導電体107aに接続した四つのコンデンサC1 ,C
2 ,C3 ,CV からなるコンデンサブリッジ112によ
って形成してあった。コンデンサCV は、ブリッジの平
衡状態を調整するバリアブルコンデンサであり、また、
コンデンサC1 とコンデンサC3 には、3.5MHzの
発信出力が接続してあった。
The capacitance detection type actuator 110 mainly includes four capacitors C 1 and C 4 connected to the conductors 104 a and 107 a via a coaxial cable 111.
It was formed by a capacitor bridge 112 consisting of 2 , C 3 and C V. The capacitor C V is a variable capacitor that adjusts the balance of the bridge.
The capacitor C 1 and capacitor C 3, outgoing output of 3.5MHz is had been connected.

【0013】このような構成の容量検出型アクチュエー
タ110では、コンデンサC3 とCV の中継点及びコン
デンサC1 とC2 の中継点において、導電体104aと
導電体107aの間の電気容量の変化にもとづく電圧を
検出し、この電圧にもとづいて、前記電気容量変化に比
例するレンズ管104の変位(対物レンズ101のフォ
ーカス方向の変位)を測定していた。
[0013] In the capacitance detection-type actuator 110 having such a configuration, the relay point and the contact point between the capacitors C 1 and C 2 of the capacitor C 3 and C V, the change in capacitance between the conductor 104a and the conductor 107a Based on this voltage, the displacement of the lens tube 104 (the displacement of the objective lens 101 in the focus direction) proportional to the change in the capacitance is measured based on this voltage.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来の光ディスクの運動特性測定装置は、導電体104a
と導電体107a(導電体102a及び導電体105
a)の間の電気容量の変化にもとづいて、対物レンズ1
01のトラッキング方向及びフォーカス方向の変位を検
出する構成となっていたので、対物レンズ101等が運
動するときに生じる空気流の乱れが外乱となり、対物レ
ンズ101の運動特性を正確に測定することができない
という問題があった。
However, the above-mentioned conventional apparatus for measuring the movement characteristics of an optical disk is composed of a conductor 104a.
And the conductor 107a (the conductor 102a and the conductor 105
a) on the basis of the change in the capacitance during a)
01, the displacement in the tracking direction and the focus direction is detected, so that the turbulence of the air flow generated when the objective lens 101 or the like moves becomes a disturbance, and the movement characteristics of the objective lens 101 can be accurately measured. There was a problem that it was not possible.

【0015】また、導電体104aと導電体107aの
間の電気容量の変化にもとづく測定では、測定精度±1
μm程度の測定精度しか得ることができず、対物レンズ
の運動特性を高精度に測定することができないという問
題があった。
In the measurement based on the change in electric capacitance between the conductor 104a and the conductor 107a, the measurement accuracy is ± 1.
There is a problem that only a measurement accuracy of about μm can be obtained, and the movement characteristics of the objective lens cannot be measured with high accuracy.

【0016】本発明は、上記問題点にかんがみてなされ
たものであり、対物レンズの運動速度をレーザドップラ
効果を利用して測定することにより、対物レンズの運動
特性の測定精度を大幅に向上させることができる光ディ
スクの運動特性測定装置の提供を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and greatly improves the accuracy of measuring the motion characteristics of an objective lens by measuring the motion speed of the objective lens using the laser Doppler effect. It is an object of the present invention to provide a device for measuring the motion characteristics of an optical disc which can be used.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の光ディスクの運動特性測定装置は、
光ディスク回転駆動中における対物レンズの運動速度に
もとづいて、光ディスクの運動特性を測定する装置であ
って、前記対物レンズを保持し、光ディスクの下面に揺
動自在に配置された対物レンズホルダと、この対物レン
ズホルダの一側面に取り付けられた第一反射体と、前記
対物レンズホルダの裏面に取り付けられた第二反射体
と、前記第一反射体にビームを出射し、前記第一反射体
からの反射光にもとづいて前記対物レンズホルダのトラ
ッキング方向の運動速度を検出する第一参照光型レーザ
ドップラ測定計と、前記第二反射体にビームを出射し、
前記第二反射体からの反射光にもとづいて前記対物レン
ズホルダのフォーカス方向の運動速度を検出する第二参
照光型レーザドップラ測定計と、前記第二反射体と対向
して位置し、前記第二参照光型レーザドップラ測定計か
ら出射されたビームを45度方向を変えて前記第二反射
体に入射させる45度ミラーとを備え、前記第一参照光
型レーザドップラ測定計で検出した対物レンズホルダの
トラッキング方向の運動速度と、前記第二参照光型レー
ザドップラ測定計で検出した対物レンズホルダのフォー
カス方向の運動速度とにもとづいて対物レンズの運動速
度を求める構成としてある。
In order to achieve the above object, an apparatus for measuring the movement characteristics of an optical disk according to claim 1 is provided.
An apparatus for measuring a movement characteristic of an optical disk based on a movement speed of an objective lens during rotation driving of the optical disk, the objective lens holder holding the objective lens and swingably disposed on a lower surface of the optical disk; A first reflector attached to one side surface of the objective lens holder, a second reflector attached to the back surface of the objective lens holder, and emits a beam to the first reflector, from the first reflector A first reference light type laser Doppler measurement meter for detecting the movement speed of the objective lens holder in the tracking direction based on the reflected light, and emits a beam to the second reflector,
A second reference light type laser Doppler measurement meter that detects a moving speed of the objective lens holder in a focus direction based on the reflected light from the second reflector, A 45-degree mirror for changing the direction of the beam emitted from the second reference light type laser Doppler measuring instrument by 45 degrees to be incident on the second reflector, and an objective lens detected by the first reference light type laser Doppler measuring instrument The moving speed of the objective lens is obtained based on the moving speed of the holder in the tracking direction and the moving speed of the objective lens holder in the focus direction detected by the second reference light type laser Doppler meter.

【0018】このような構成によれば、前記対物レンズ
ホルダ(すなわち、対物レンズ)のトラッキング方向及
びフォーカス方向の変位を、前記対物レンズホルダの運
動速度にもとづいて検出するとともに、レーザドップラ
効果を利用して前記対物レンズホルダの運動速度を測定
する構成としてあるので、前記対物レンズホルダの運動
特性の測定精度を0.001μm以下に向上させること
ができる。
According to this structure, the displacement of the objective lens holder (ie, the objective lens) in the tracking direction and the focus direction is detected based on the moving speed of the objective lens holder, and the laser Doppler effect is used. Since the movement speed of the objective lens holder is measured, the measurement accuracy of the movement characteristics of the objective lens holder can be improved to 0.001 μm or less.

【0019】請求項2記載の光ディスクの運動特性測定
装置は、光ディスク回転駆動中における対物レンズの運
動速度にもとづいて、光ディスクの運動特性を測定する
装置であって、前記対物レンズを保持し、光ディスクの
下面に揺動自在に配置された対物レンズホルダと、この
対物レンズホルダの一側面に取り付けられた第一反射体
と、前記対物レンズホルダの裏面に取り付けられた第二
反射体と、前記対物レンズホルダの支持体の一側面に取
り付けられた第三反射体と、前記支持体の裏側に取り付
けられた第四反射体と、前記第一及び第三反射体にビー
ムを出射し、これら第一及び第三反射体からの各反射光
にもとづいて、前記対物レンズホルダと前記光学ベース
のトラッキング方向の運動速度の差を検出する第一差動
型レーザドップラ測定計と、前記第二及び第四反射体に
ビームを出射し、これら第二及び第四反射体からの各反
射光にもとづいて、前記対物レンズホルダと前記光学ベ
ースのフォーカス方向の運動速度の差を検出する第二差
動型レーザドップラ測定計と前記第二及び第四反射体と
対向して位置し、前記第二差動型レーザドップラ測定計
から出射された各ビームを45度方向を変えて前記第二
及び第四反射体に入射させる45度ミラーを備え、前記
第一差動型レーザドップラ測定計で検出した対物レンズ
ホルダのトラッキング方向の運動速度と、前記第二差動
光型レーザドップラ測定計で検出した対物レンズホルダ
のフォーカス方向の運動速度とにもとづいて対物レンズ
の運動速度を求める構成としてある。
The motion characteristics measuring device of an optical disk according to claim 2, wherein, based on the movement speed of the objective lens during optical disk rotation driving, an apparatus for measuring the motion characteristics of the optical disc, holds the objective lens, the optical disk An objective lens holder swingably disposed on the lower surface of the objective lens holder, a first reflector attached to one side surface of the objective lens holder, a second reflector attached to the back surface of the objective lens holder, A third reflector attached to one side of the support of the lens holder, a fourth reflector attached to the back side of the support, and a beam emitted to the first and third reflectors. And a first differential laser Doppler for detecting a difference between a moving speed of the objective lens holder and the optical base in a tracking direction based on each reflected light from the third reflector. A constant meter and emits a beam to the second and fourth reflectors, and based on each reflected light from these second and fourth reflectors, the movement speed of the objective lens holder and the optical base in the focusing direction. The second differential type laser Doppler measurement meter for detecting the difference and the second and fourth reflectors are located opposite to each other, and each beam emitted from the second differential type laser Doppler measurement direction is directed at 45 degrees. A 45-degree mirror that is incident on the second and fourth reflectors, and the movement speed of the objective lens holder in the tracking direction detected by the first differential laser Doppler meter; The moving speed of the objective lens is obtained based on the moving speed in the focus direction of the objective lens holder detected by the laser Doppler meter.

【0020】このような構成によれば、例えば、光ディ
スクの駆動用モータと光ヘッドを載置した基台を弾性的
に支持したときのように、前記対物レンズアクチュエー
タ全体に、外部の振動(駆動用モータの振動)が伝わっ
てしてしまうような場合でも、前記対物レンズホルダの
運動速度と、前記対物レンズホルダの支持体の運動速度
との差を検出する構成としてあるので、外部からの振動
を取り除いて前記対物レンズホルダの運動特性のみを正
確に測定することができる。
According to such a configuration, for example, when the base on which the optical disk driving motor and the optical head are mounted is elastically supported, external vibration (driving) is applied to the entire objective lens actuator. The vibration of the objective motor is transmitted, the difference between the movement speed of the objective lens holder and the movement speed of the support of the objective lens holder is detected. Is removed, and only the movement characteristics of the objective lens holder can be accurately measured.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明の光ディスクの運動
特性測定装置の実施形態について、図面を参照しつつ説
明する。まず、本発明の第一実施形態に係る光ディスク
運動特性測定装置について説明する。図1は本発明の
第一実施形態に係る光ディスクの運動特性測定装置を示
す説明図である。また、図2は上記運動特性測定装置の
対物レンズアクチュエータを示す斜視図であり、図3は
上記対物レンズアクチュエータの下部斜視図である。さ
らに、図4は上記運動特性測定装置に用いられる参照光
型レーザドップラ測定計の光学系を示す図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an embodiment of an apparatus for measuring the motion characteristics of an optical disk according to the present invention will be described with reference to the drawings. First, an optical disk motion characteristic measuring device according to a first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is an explanatory diagram showing an apparatus for measuring the movement characteristics of an optical disc according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing an objective lens actuator of the motion characteristic measuring device, and FIG. 3 is a lower perspective view of the objective lens actuator. FIG. 4 is a view showing an optical system of a reference light type laser Doppler measurement meter used in the above-mentioned motion characteristic measuring apparatus.

【0022】図1において、本実施形態に係る光ディス
クの運動特性測定装置1は、主に、光ヘッド2,ポジシ
ョナ3,測定部4,光ディスクの駆動用モータ5及びシ
ャーシ6からなっている。
In FIG. 1, an optical disk motion characteristic measuring apparatus 1 according to the present embodiment mainly comprises an optical head 2, a positioner 3, a measuring section 4, a motor 5 for driving the optical disk, and a chassis 6.

【0023】光ヘッド2は、図1に示すように、対物レ
ンズアクチュエータ2aと光学ベース2bからなり、対
物レンズアクチュエータ2aを、光学ベース2bを介し
てポジショナ3に取り付けてある。このポジショナ3に
よって、光ヘッド2は光ディスクの半径方向に移動可能
となっている。
As shown in FIG. 1, the optical head 2 includes an objective lens actuator 2a and an optical base 2b, and the objective lens actuator 2a is mounted on the positioner 3 via the optical base 2b. The positioner 3 enables the optical head 2 to move in the radial direction of the optical disk.

【0024】対物レンズアクチュエータ2aは、図2に
示すように、光学ベース2b上に載置してあり、対物レ
ンズ21と、この対物レンズ21を保持する対物レンズ
ホルダ22と、この対物レンズホルダ22をトラッキン
グ方向及びフォーカス方向に駆動させるマグネットスタ
ンド23とで構成してある。
As shown in FIG. 2, the objective lens actuator 2a is mounted on an optical base 2b, and includes an objective lens 21, an objective lens holder 22 for holding the objective lens 21, and an objective lens holder 22. And a magnet stand 23 for driving the camera in the tracking direction and the focusing direction.

【0025】対物レンズホルダ22は、図2及び図3に
示すように、その側面にフォーカスコイル22aとトラ
ッキングコイル22bを有し、ばね性をもつ四本の燐青
銅のワイヤ23bによって、マグネットスタンド23の
一側に揺動自在に接続してある。
As shown in FIGS. 2 and 3, the objective lens holder 22 has a focus coil 22a and a tracking coil 22b on its side, and is provided with four spring bronze wires 23b having a spring property. Is swingably connected to one side.

【0026】この対物レンズホルダ22の測定部4(図
1参照)側の側面には、ワイヤ23bの取付部を兼ねる
十字状の第一反射板22cが取り付けてあり、また、図
3に示すように、対物レンズホルダ22の裏面には、第
二反射板22dが取り付けてある。ここで、第一反射板
22cを十字形状としたのは、ワイヤ23bを強固に固
定するための接着(半田付け)面積を確保し、かつ、対
物レンズホルダ22がフォーカス方向に移動したときの
ワイヤ23bの当接部分を切り欠いて、対物レンズホル
ダ22のフォーカス方向の移動をスムーズにするためで
ある。
A cross-shaped first reflecting plate 22c also serving as a mounting portion for a wire 23b is mounted on a side surface of the objective lens holder 22 on the measuring portion 4 (see FIG. 1) side, as shown in FIG. On the back surface of the objective lens holder 22, a second reflection plate 22d is attached. Here, the reason why the first reflecting plate 22c is formed in a cross shape is that a bonding (soldering) area for firmly fixing the wire 23b is secured, and the wire when the objective lens holder 22 is moved in the focus direction. This is because the contact portion of 23b is cut out to make the movement of the objective lens holder 22 in the focus direction smooth.

【0027】さらに、マグネットスタンド23のベース
部分には、後述する第二参照光型レーザドップラ測定計
4bからのビームを第二反射板22dに反射させる45
度ミラー24が取り付けてある。この45度ミラー24
の取付位置は、その反射面が第二反射板22dと対向
し、かつ、対物レンズ入射開口22eと干渉しないとこ
ろとなっている。
Further, a base 45 of the magnet stand 23 reflects a beam from a second reference light type laser Doppler measurement meter 4b, which will be described later, to a second reflection plate 22d.
A mirror 24 is attached. This 45 degree mirror 24
Is such that its reflection surface faces the second reflection plate 22d and does not interfere with the objective lens entrance aperture 22e.

【0028】測定部4は、図1に示すように、対物レン
ズホルダ22のトラッキング方向の運動速度を測定する
第一参照光型レーザドップラ測定計4aと、対物レンズ
ホルダ22のフォーカス方向の運動速度を測定する第二
参照光型レーザドップラ測定計4bとからなっている。
As shown in FIG. 1, the measuring section 4 comprises a first reference light type laser Doppler measuring meter 4a for measuring the moving speed of the objective lens holder 22 in the tracking direction, and the moving speed of the objective lens holder 22 in the focus direction. And a second reference light type laser Doppler measurement meter 4b for measuring the

【0029】ここで、これら第一及び第二参照光型レー
ザドップラ測定計4a,4bの構成について、図4を参
照しつつ説明する。なお、これら第一及び第二参照光型
レーザドップラ測定計4a,4bは、ビームの入射対象
(第一反射板22c,第二反射板22d)と測定対象
(トラッキング方向の運動速度,フォーカス方向の運動
速度)のみが異なるだけで、その光学系はほぼ同じ構成
となっているので、一括して説明する。
Here, the structure of the first and second reference light type laser Doppler meters 4a and 4b will be described with reference to FIG. The first and second reference light type laser Doppler meters 4a and 4b are used to measure the beam incidence target (first reflection plate 22c and second reflection plate 22d) and the measurement target (moving speed in the tracking direction and focus direction). Only the movement speed) is different, and the optical system has almost the same configuration.

【0030】図4において、第一参照光型レーザドップ
ラ測定計4a(第二参照光型レーザドップラ測定計4
b)は、レーザ光源41,第一偏光ビームスプリッタ4
2,第二偏光ビームスプリッタ43,45度ミラー4
4,音響光学変調器(AOM:Acousto-Optic-Modulator )
45,第三偏光ビームスプリッタ46,受光器47,光
ファイバ48及びセンサヘッド49からなっている。
In FIG. 4, a first reference light type laser Doppler measurement meter 4a (second reference light type laser Doppler measurement meter 4a) is used.
b) the laser light source 41, the first polarization beam splitter 4
2. Second polarization beam splitter 43, 45 degree mirror 4
4, Acousto-Optic-Modulator (AOM)
45, a third polarization beam splitter 46, a light receiver 47, an optical fiber 48, and a sensor head 49.

【0031】レーザ光源41から出射されたビームは、
第一偏光ビームスプリッタ42によって二つのビームに
分割され、一方のビームは第一偏光ビームスプリッタ4
2を透過し、他方のビームは第一偏光ビームスプリッタ
42によって反射される。
The beam emitted from the laser light source 41 is
The beam is split into two beams by the first polarizing beam splitter 42, and one beam is
2 and the other beam is reflected by the first polarizing beam splitter 42.

【0032】第一偏光ビームスプリッタ42を透過した
ビームは、第二偏光ビームスプリッタ43及び光ファイ
バ48を介してセンサヘッド49に入射され、このセン
サヘッド49に内蔵された集束レンズよって第一反射体
22c(第二反射体22d)に集光される。これによっ
て、第一反射体22cからの反射光が、センサヘッド4
9及び光ファイバ48を介して第二偏光ビームスプリッ
タ43に入射される。この反射光は、第二偏光ビームス
プリッタ43に反射された後、45度ミラー44に反射
され、第三偏光ビームスプリッタ46に入射される。
The beam transmitted through the first polarizing beam splitter 42 enters a sensor head 49 via a second polarizing beam splitter 43 and an optical fiber 48, and is focused by a focusing lens built in the sensor head 49 on a first reflector. The light is condensed on 22c (second reflector 22d). Thereby, the reflected light from the first reflector 22c is transmitted to the sensor head 4
9 and the second polarization beam splitter 43 via the optical fiber 48. The reflected light is reflected by the second polarization beam splitter 43, is reflected by the 45-degree mirror 44, and is incident on the third polarization beam splitter 46.

【0033】一方、第一偏光ビームスプリッタ42に反
射されたビーム(以下、参照光という)は、音響光学変
調器45によってスイッチングされた後、第三偏光ビー
ムスプリッタ46によって反射され、第一反射体22c
からの反射光と合波される。
On the other hand, the beam reflected by the first polarizing beam splitter 42 (hereinafter referred to as reference light) is switched by the acousto-optic modulator 45, then reflected by the third polarizing beam splitter 46, and is reflected by the first reflector. 22c
Multiplexed with the reflected light from

【0034】その後、受光器47によってこれら反射光
と参照光の干渉出力を検出し、これにもとづいて第一反
射体22cの運動速度、すなわち、対物レンズホルダ2
2のトラッキング方向の運動速度を検出する(第二参照
光型レーザドップラ測定計4bの場合は、第二反射体2
2dの運動速度、すなわち、対物レンズホルダ22のフ
ォーカス方向の運動速度を検出する)。
Thereafter, the interference output between the reflected light and the reference light is detected by the light receiver 47, and based on this, the movement speed of the first reflector 22c, that is, the objective lens holder 2 is detected.
2 in the tracking direction (in the case of the second reference light type laser Doppler measurement meter 4b, the second reflector 2
The movement speed of 2d, that is, the movement speed of the objective lens holder 22 in the focus direction is detected).

【0035】このようにして、第一及び第二参照光型レ
ーザドップラ測定計4a,4bによって測定した第一及
び第二反射体22c,22dの速度データを、FFTア
ナライザによって積分することにより、対物レンズホル
ダ22の変位(運動特性)に変換し、この対物レンズホ
ルダ22の変位にもとづいて、光ディスク7の運動特性
を求める。
In this manner, the velocity data of the first and second reflectors 22c, 22d measured by the first and second reference light type laser Doppler meters 4a, 4b are integrated by the FFT analyzer to obtain the objective. It is converted into the displacement (movement characteristics) of the lens holder 22, and the movement characteristics of the optical disk 7 are obtained based on the displacement of the objective lens holder 22.

【0036】ここで、第一及び第二参照光型レーザドッ
プラ測定計4a,4bの運動速度の検出原理について、
図4を参照しつつ説明する。
Here, the principle of detecting the movement speed of the first and second reference light type laser Doppler meters 4a and 4b will be described.
This will be described with reference to FIG.

【0037】ドップラシフト量(ドップラ周波数)=f
D ,第一反射体22cの運動速度(又は第二反射体22
dの運動速度)=V,照射光の波長=λとすると、fD
=2・V/λとなる。
Doppler shift amount (Doppler frequency) = f
D , the movement speed of the first reflector 22c (or the second reflector 22c
d) = V, wavelength of irradiation light = λ, f D
= 2 · V / λ.

【0038】ここで、レーザ光源41から出射されたビ
ームの周波数をf0 とすると、第一反射体22cからの
反射光の周波数は、f0 +fD となる。また、レーザド
ップラ測定計に使用されるレーザ光源は、HeNeレー
ザが一般的であり、波長の安定性が極めて良好であるか
ら、ドップラ周波数fD と第一反射体22cの運動速度
は比例関係となる。
Here, assuming that the frequency of the beam emitted from the laser light source 41 is f 0 , the frequency of the light reflected from the first reflector 22c is f 0 + f D. The laser light source used for laser Doppler meter is, HeNe lasers are common, because the stability of the wavelength is very good, the motion velocity of the Doppler frequency f D and the first reflector 22c is a proportional relationship Become.

【0039】通常、レーザ光の周波数は極めて高く、こ
れを直接測定することは困難であるため、ドップラ周波
数fD の検出は、レーザ光源41から出射されたビーム
の周波数f0 を干渉させた反射光の周波数f0 +fD
もとづいて行なう。第一反射体22cからの反射光は、
第一反射体22cのもつ振動速度に応じてドップラシフ
トを起こしており、反射光の周波数f0 ±fD と、音響
光学変調器45によって周波数シフトを与えた参照光の
周波数f0 +fM とを干渉させることにより、ビート周
波数を得ることができる。
[0039] Normally, the frequency of the laser light is very high, it is difficult to measure this directly, the detection of the Doppler frequency f D is reflections by interference frequency f 0 of the beam emitted from the laser light source 41 This is performed based on the light frequency f 0 + f D. The reflected light from the first reflector 22c is
A Doppler shift occurs according to the vibration speed of the first reflector 22c, and the frequency f 0 ± f D of the reflected light and the frequency f 0 + f M of the reference light to which the frequency shift is given by the acousto-optic modulator 45 , The beat frequency can be obtained.

【0040】上記参照光は、機器内で発生させているの
でドップラシフトを起こしておらず、ビート周波数はf
M ±fD となり、ドップラ周波数の正負、すなわち、往
復運動である振動速度と振動方向を判別することができ
る。
Since the reference light is generated in the apparatus, it does not cause a Doppler shift, and the beat frequency is f
M ± f D, and the positive and negative Doppler frequency, i.e., it is possible to determine the vibration direction and the vibration velocity is reciprocated.

【0041】ここで、図5は対物レンズホルダ22のフ
ォーカス方向の運動特性の一例を示すものである。
FIG. 5 shows an example of the movement characteristic of the objective lens holder 22 in the focus direction.

【0042】同図に示すように、本実施形態の対物レン
ズアクチュエータ2aは、一次共振周波数f01以上の周
波数のとき、光ディスクの運動特性200を凌ぐ大きさ
の加速度を有し、かつ、一次共振周波数f01以下の周波
数のとき、光ディスクの変位を越える大きさの可動範囲
を有するものとしてあり、これによって、光ディスク7
の運動を再現性良く測定することができるようにしてあ
る。
[0042] As shown in the figure, an objective lens actuator 2a of the present embodiment, when the primary resonance frequency f 01 or more frequencies, having an acceleration of magnitude surpassing motion characteristics 200 of the optical disc, and the primary resonance When the frequency is lower than the frequency f 01 , the optical disk has a movable range larger than the displacement of the optical disk.
It is designed to be able to measure the movement of the subject with good reproducibility.

【0043】また、対物レンズアクチュエータ2aは、
副次共振周波数f0nをできるだけ高くとることによっ
て、光ディスク7の変位を忠実に測定できるものとな
る。本実施形態では、一次共振周波数f01を40Hzに
とるとともに、副次共振周波数f0nを40kHzにとっ
てある。これによって、副次共振周波数f0nの1/5の
周波数までの光ディスク7の運動特性を測定することが
可能となる。
The objective lens actuator 2a is
By setting the secondary resonance frequency f0n as high as possible, the displacement of the optical disk 7 can be measured faithfully. In the present embodiment, the primary resonance frequency f 01 is set to 40 Hz, and the secondary resonance frequency f 0n is set to 40 kHz. This makes it possible to measure the motion characteristics of the optical disk 7 up to a frequency that is 1/5 of the secondary resonance frequency f0n .

【0044】このような構成からなる第一実施形態の光
ディスクの運動特性測定装置によれば、対物レンズホル
ダ22(すなわち、対物レンズ21)のトラッキング方
向及びフォーカス方向の変位を、対物レンズホルダ22
の運動速度にもとづいて検出するとともに、レーザドッ
プラ効果を利用して対物レンズホルダ22の運動速度を
測定する構成としてあるので、対物レンズホルダ22の
運動特性の測定精度を0.001μm以下に向上させる
ことができる。
According to the apparatus for measuring the movement characteristics of the optical disk of the first embodiment having such a configuration, the displacement of the objective lens holder 22 (that is, the objective lens 21) in the tracking direction and the focus direction is determined by the objective lens holder 22.
In addition to the detection based on the movement velocity of the objective lens holder 22, the movement velocity of the objective lens holder 22 is measured using the laser Doppler effect. be able to.

【0045】次に、本発明の第二実施形態に係る光ディ
スクの運動特性測定装置について説明する。図6は本発
明の第二実施形態に係る光ディスクの運動特性測定装置
を示す説明図である。また、図7は上記運動特性測定装
置の対物レンズアクチュエータを示す斜視図であり、図
8は上記運動特性測定装置に用いられる差動型レーザド
ップラ測定計の光学系を示す図である。
Next, an apparatus for measuring the movement characteristics of an optical disk according to a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 6 is an explanatory diagram showing a motion characteristic measuring device for an optical disc according to the second embodiment of the present invention. FIG. 7 is a perspective view showing an objective lens actuator of the motion characteristic measuring device, and FIG. 8 is a diagram showing an optical system of a differential laser Doppler measuring meter used in the motion characteristic measuring device.

【0046】本実施形態の光ディスクの運動特性測定装
置は、差動型レーザドップラ測定計を用いた構成として
あり、光ディスクの駆動用モータと光ヘッドを載置した
基台を弾性的に支持した場合でも、対物レンズアクチュ
エータ全体に加わる前記駆動用モータの振動を取り除い
て、対物レンズホルダの運動特性のみを正確に測定する
ことができるようにしてある。
The apparatus for measuring the motion characteristics of an optical disk according to the present embodiment employs a differential type laser Doppler measuring meter, and has a structure in which a base on which an optical disk drive motor and an optical head are mounted is elastically supported. However, the vibration of the drive motor applied to the entire objective lens actuator is removed so that only the movement characteristics of the objective lens holder can be accurately measured.

【0047】図6において、本実施形態の光ディスクの
運動特性測定装置1では、光ディスク7の駆動用モータ
5と光ヘッド2をともにポジショナ(基台)3上に載置
してあり、このポジショナ3をダンピング機構部10に
よって弾性的に支持した構成となっている。
In FIG. 6, the optical disk of this embodiment is
In the motion characteristic measuring device 1, both the drive motor 5 of the optical disk 7 and the optical head 2 are mounted on a positioner (base) 3, and the positioner 3 is elastically supported by a damping mechanism 10. Has become.

【0048】図7に示すように、対物レンズホルダ22
には、第一実施形態と同様の第一反射体22cと第二反
射体22d(図3参照)が取り付けてある。また、本実
施形態では、対物レンズホルダ22の支持体であるマグ
ネットスタンド23の片側に第三反射板23cを取り付
けるとともに、マグネットスタンド23のベース部分の
裏面に、第四反射板23dを取り付けた構成としてあ
る。
As shown in FIG. 7, the objective lens holder 22
A first reflector 22c and a second reflector 22d (see FIG. 3) similar to those of the first embodiment are attached to the first embodiment. In this embodiment, the third reflector 23c is attached to one side of the magnet stand 23, which is a support for the objective lens holder 22, and the fourth reflector 23d is attached to the back surface of the base of the magnet stand 23. There is.

【0049】さらに、図6に示すように、測定部8は、
対物レンズホルダ22のトラッキング方向の運動速度を
測定する第一差動型レーザドップラ測定計8aと、対物
レンズホルダ22のフォーカス方向の運動速度を測定す
る第二差動型レーザドップラ測定計8bとからなってい
る。
Further, as shown in FIG.
A first differential laser Doppler measurement meter 8a for measuring the movement speed of the objective lens holder 22 in the tracking direction, and a second differential laser Doppler measurement meter 8b for measuring the movement speed of the objective lens holder 22 in the focusing direction. Has become.

【0050】ここで、これら第一及び第二差動型レーザ
ドップラ測定計8a,8bの動作について、図8を参照
しつつ説明する。なお、これら第一及び第二差動型レー
ザドップラ測定計8a,8bは、ビームの入射対象(第
一及び第三反射板22c,23cと第二及び第四反射板
22d,23d)と測定対象(トラッキング方向の運動
速度,フォーカス方向の運動速度)のみが異なり、その
光学系はほぼ同じ構成となっているので、一括して説明
する。
The operation of the first and second differential laser Doppler meters 8a and 8b will now be described with reference to FIG. The first and second differential laser Doppler meters 8a and 8b are used for beam incidence (first and third reflectors 22c and 23c and second and fourth reflectors 22d and 23d) and a measurement object. (Movement speed in the tracking direction and movement speed in the focus direction) are different, and the optical systems have almost the same configuration.

【0051】図8において、第一差動型レーザドップラ
測定計8a(又は第二差動型レーザドップラ測定計8
b)のレーザ光源81から出射されたビーム(周波数=
0 、以下、ビームf0 という)は、第一偏光ビームス
プリッタ82によって二つのビームに分割され、一のビ
ームは第一偏光ビームスプリッタ82を透過し、他方の
ビームは第一偏光ビームスプリッタ82によって反射さ
れる。
In FIG. 8, the first differential laser Doppler measurement meter 8a (or the second differential laser Doppler measurement meter 8a) is used.
b) The beam emitted from the laser light source 81 (frequency =
f 0 (hereinafter referred to as a beam f 0 ) is split into two beams by a first polarizing beam splitter 82, one of which passes through the first polarizing beam splitter 82, and the other beam is a first polarizing beam splitter 82. Is reflected by

【0052】第一偏光ビームスプリッタ82を透過した
ビームは、第二偏光ビームスプリッタ83及び光ファイ
バ91を介して第一センサヘッド93(第二差動型レー
ザドップラ測定計8bの場合は第三センサヘッド95)
に入射され、このセンサヘッド93に内蔵された集束レ
ンズよって第一反射体22c(第二差動型レーザドップ
ラ測定計8bの場合は第二反射体22d)に集光され
る。
The beam transmitted through the first polarization beam splitter 82 passes through the second polarization beam splitter 83 and the optical fiber 91 to the first sensor head 93 (the third sensor in the case of the second differential laser Doppler measurement meter 8b). Head 95)
And is focused on the first reflector 22c (the second reflector 22d in the case of the second differential laser Doppler measurement meter 8b) by the focusing lens built in the sensor head 93.

【0053】これによって、第一反射体22cからの反
射光(周波数=f0 ±fD2、fD2=反射光のシフト周波
数、以下、反射光f0 ±fD2という)が、第一センサヘ
ッド93及び光ファイバ91を介して第二偏光ビームス
プリッタ83に入射される。この反射光f0 ±fD2は、
第二偏光ビームスプリッタ83に反射された後、45度
ミラー84に反射され、第三偏光ビームスプリッタ86
に入射される。
Thus, the reflected light from the first reflector 22c (frequency = f 0 ± f D2 , f D2 = shift frequency of the reflected light, hereinafter referred to as reflected light f 0 ± f D2 ) is transmitted to the first sensor head. The light enters the second polarization beam splitter 83 via the optical fiber 93 and the optical fiber 91. This reflected light f 0 ± f D2 is
After being reflected by the second polarizing beam splitter 83, the light is reflected by the 45-degree mirror 84 and the third polarizing beam splitter 86.
Is incident on.

【0054】一方、第一偏光ビームスプリッタ82に反
射されたビーム(周波数=f0 ±fD1、fD1=参照光の
シフト周波数、以下、参照光f0 ±fD1という)は、光
ファイバ92を介して第二センサヘッド94(第二差動
型レーザドップラ測定計8bの場合は第四センサヘッド
96)に入射され、第三反射体23c(第二差動型レー
ザドップラ測定計8bの場合は第四反射体23d)に集
光される。
On the other hand, the beam reflected by the first polarization beam splitter 82 (frequency = f 0 ± f D1 , f D1 = shift frequency of reference light, hereinafter referred to as reference light f 0 ± f D1 ) is transmitted to the optical fiber 92. Through the second sensor head 94 (fourth sensor head 96 in the case of the second differential laser Doppler measurement meter 8b) and the third reflector 23c (in the case of the second differential laser Doppler measurement meter 8b) Are collected on the fourth reflector 23d).

【0055】これによって、第三反射体23cに反射さ
れた参照光f0 ±fD1が、第二センサヘッド93,光フ
ァイバ92及び第一偏光ビームスプリッタ83を介して
音響光学変調器85に入射される。そして、この参照光
0 ±fD1は、音響光学変調器45によってスイッチン
グされ、参照光f0 ±fD1±fM となった後、第三偏光
ビームスプリッタ86に反射され、第一反射体22cか
らの反射光f0 ±fD2と合波される。
Thus, the reference light f 0 ± f D1 reflected by the third reflector 23c enters the acousto-optic modulator 85 via the second sensor head 93, the optical fiber 92, and the first polarization beam splitter 83. Is done. Then, the reference light f 0 ± f D1 is switched by the acousto-optic modulator 45 to become the reference light f 0 ± f D1 ± f M , then reflected by the third polarization beam splitter 86, and It is multiplexed with the reflected light f 0 ± f D2 from 22c.

【0056】その後、受光器87によって、これら参照
光の周波数f0 ±fD1±fM と反射光の周波数f0 ±f
D2との干渉出力であるビート周波数fM ±fD1±fD2
検出する。このビート周波数fM ±fD1±fD2から検出
回路によってドップラシフトした周波数成分のみを取り
出すと、シフト周波数は、参照光と反射光のそれぞれの
シフト周波数の差分(±fD1±fD2)となるので、第一
反射体22cと第三反射体23cの振動差、すなわち、
対物レンズアクチュエータ2a全体に加わる駆動用モー
タ5の振動を取り除いた、対物レンズホルダ22のトラ
ッキング方向の運動速度のみが検出される。
[0056] Then, the light receiver 87, these reference light frequency f 0 ± f D1 ± f M and the reflected light of the frequency f 0 ± f
Detecting a beat frequency f M ± f D1 ± f D2 is the interference output of the D2. When only the frequency components that have been Doppler shifted by the detection circuit are extracted from the beat frequencies f M ± f D1 ± f D2 , the shift frequency is the difference between the respective shift frequencies of the reference light and the reflected light (± f D1 ± f D2 ). Therefore, the vibration difference between the first reflector 22c and the third reflector 23c, that is,
Only the movement velocity of the objective lens holder 22 in the tracking direction, excluding the vibration of the drive motor 5 applied to the entire objective lens actuator 2a, is detected.

【0057】これと同様に、第二差動型レーザドップラ
測定計8bの場合は、第二反射体22dと第三反射体2
3dの振動差、すなわち、対物レンズアクチュエータ2
a全体に加わる駆動用モータ5の振動を取り除いた、対
物レンズホルダ22のフォーカス方向の運動速度のみが
検出される。
Similarly, in the case of the second differential laser Doppler measurement meter 8b, the second reflector 22d and the third reflector 2d are used.
The vibration difference of 3d, that is, the objective lens actuator 2
Only the movement speed of the objective lens holder 22 in the focus direction excluding the vibration of the driving motor 5 applied to the entirety is detected.

【0058】このようにして、第一及び第二差動型レー
ザドップラ測定計8a,8bによって測定した第一反射
体22cと第三反射体23dの振動差データ、及び、第
二反射体22dと第三反射体23dの振動差データをF
FTアナライザによって積分することにより、対物レン
ズホルダ22の変位(運動特性)に変換し、この対物レ
ンズホルダ22の変位にもとづいて、光ディスク7の
特性を求める。
As described above, the vibration difference data between the first reflector 22c and the third reflector 23d measured by the first and second differential laser Doppler meters 8a and 8b, and the second reflector 22d The vibration difference data of the third reflector 23d is expressed as F
By integrating the FT analyzer, into a displacement of the objective lens holder 22 (movement characteristics), based on the displacement of the objective lens holder 22, luck of the optical disk 7
Find dynamic characteristics.

【0059】このような構成からなる第二実施形態の光
ディスクの運動特性測定装置によれば、光ディスク7の
駆動用モータ5と光ヘッド2を載置した基台を弾性的に
支持した場合でも、対物レンズアクチュエータ2a全体
に加わる駆動用モータ5の振動を取り除いて、対物レン
ズホルダ22の運動特性のみを正確に測定することがで
きる。
According to the optical disk motion characteristic measuring apparatus of the second embodiment having such a configuration, even when the base on which the drive motor 5 of the optical disk 7 and the optical head 2 are mounted is elastically supported, By removing the vibration of the driving motor 5 applied to the entire objective lens actuator 2a, only the motion characteristics of the objective lens holder 22 can be accurately measured.

【0060】また、差動型レーザドップラ測定計によっ
て運動速度を検出する構成としてあるので、トラッキン
グ方向とフォーカス方向の差動速度を求めることが可能
となり、これらトラッキング方向とフォーカス方向の干
渉を容易に測定することができる。
Further, since the moving speed is detected by the differential laser Doppler measurement meter, the differential speed in the tracking direction and the focusing direction can be obtained, and interference between the tracking direction and the focusing direction can be easily performed. Can be measured.

【0061】なお、本発明の光ディスクの運動特性測定
装置は、上述した各実施形態に限定されるものではな
い。例えば、第一反射体22cの形状は十字状に限ら
ず、第三反射体23cのような矩形等の他の形状に変更
することができる。ただし、第一反射体22cを十字形
状とした場合は、上記のように、対物レンズホルダ22
のフォーカス方向の移動がスムーズになるという利点が
ある。
It should be noted that the motion characteristic measuring device for an optical disk of the present invention is not limited to the above embodiments. For example, the shape of the first reflector 22c is not limited to the cross shape, and can be changed to another shape such as a rectangle like the third reflector 23c. However, when the first reflector 22c has a cross shape, as described above, the objective lens holder 22
Has the advantage that the movement in the focus direction becomes smooth.

【0062】また、45度ミラー24,25を設けず
に、第二及び第四反射体22d,23dに直接、ビーム
を入射させる構成とすることもできる。さらに、第三反
射板23c及び第四反射板23dの取付位置は、マグネ
ットスタンド23に限定されず、対物レンズホルダ22
の支持体であれば、他の部材(例えば、光学ベース2
b)に取り付けてもよい。
In addition, it is also possible to adopt a configuration in which the beams are directly incident on the second and fourth reflectors 22d and 23d without providing the 45-degree mirrors 24 and 25. Furthermore, the mounting positions of the third reflector 23c and the fourth reflector 23d are not limited to the magnet stand 23, but may be
If the support is a member of another type (for example, the optical base 2)
b).

【0063】[0063]

【発明の効果】以上のように、本発明の光ディスクの
特性測定装置によれば、対物レンズの運動速度をレー
ザドップラ効果を利用して測定することにより、対物レ
ンズの運動特性の測定精度を大幅に向上させることがで
きる。
As in the above, according to the present invention, luck of the optical disk according to the present invention
According to the dynamic characteristic measuring device, the measurement accuracy of the kinetic characteristics of the objective lens can be significantly improved by measuring the kinetic speed of the objective lens using the laser Doppler effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第一実施形態に係る光ディスクの運動
特性測定装置を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a motion characteristic measuring device for an optical disc according to a first embodiment of the present invention.

【図2】上記運動特性測定装置の対物レンズアクチュエ
ータを示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing an objective lens actuator of the motion characteristic measuring device.

【図3】上記対物レンズアクチュエータの下部斜視図で
ある。
FIG. 3 is a lower perspective view of the objective lens actuator.

【図4】上記運動特性測定装置に用いられる参照光型レ
ーザドップラ測定計の光学系を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing an optical system of a reference light type laser Doppler measurement meter used in the motion characteristic measuring device.

【図5】対物レンズホルダ22のフォーカス方向の運動
特性の一例を示すものである。
FIG. 5 shows an example of a movement characteristic of the objective lens holder 22 in a focus direction.

【図6】本発明の第二実施形態に係る光ディスクの運動
特性測定装置を示す説明図である。
FIG. 6 is an explanatory view showing a motion characteristic measuring device for an optical disc according to a second embodiment of the present invention.

【図7】上記運動特性測定装置の対物レンズアクチュエ
ータを示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing an objective lens actuator of the motion characteristic measuring device.

【図8】上記運動特性測定装置に用いられる差動型レー
ザドップラ測定計の光学系を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing an optical system of a differential laser Doppler measurement meter used in the motion characteristic measuring device.

【図9】従来の光ディスクの運動特性測定装置を示すも
のであり、同図(a)は側面断面図、同図(b)は同図
(a)のX−X断面図である。
9A and 9B show a conventional apparatus for measuring the motion characteristics of an optical disk, wherein FIG. 9A is a side sectional view, and FIG. 9B is a sectional view taken along line XX of FIG. 9A.

【図10】上記運動特性測定装置の容量検出型アクチュ
エータを示す回路図である。
FIG. 10 is a circuit diagram showing a capacitance detection type actuator of the motion characteristic measuring device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:光ディスクの運動特性測定装置 2:光ヘッド 2a:対物レンズアクチュエータ 4,8:測定部 4a:第一参照光型レーザドップラ測定計 4b:第二参照光型レーザドップラ測定計 5:駆動用モータ 7:光ディスク 8a:第一差動型レーザドップラ測定計 8b:第二差動型レーザドップラ測定計 10:ダンピング機構部 21:対物レンズ 22:対物レンズホルダ 23:マグネットスタンド 22c:第一反射体 22d:第二反射体 23c:第三反射体 23d:第四反射体 24,25:45度ミラー1: Optical disk motion characteristic measuring device 2: Optical head 2a: Objective lens actuator 4, 8: Measuring unit 4a: First reference light type laser Doppler measurement meter 4b: Second reference light type laser Doppler measurement meter 5: Driving motor 7: Optical disk 8a: First differential laser Doppler measurement meter 8b: Second differential laser Doppler measurement meter 10: Damping mechanism 21: Objective lens 22: Objective lens holder 23: Magnet stand 22c: First reflector 22d : Second reflector 23c: third reflector 23d: fourth reflector 24, 25: 45 degree mirror

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】光ディスク回転駆動中における対物レンズ
の運動速度にもとづいて、光ディスクの運動特性を測定
する装置であって、 前記対物レンズを保持し、光ディスクの下面に揺動自在
に配置された対物レンズホルダと、 この対物レンズホルダの一側面に取り付けられた第一反
射体と、 前記対物レンズホルダの裏面に取り付けられた第二反射
体と、 前記第一反射体にビームを出射し、前記第一反射体から
の反射光にもとづいて前記対物レンズホルダのトラッキ
ング方向の運動速度を検出する第一参照光型レーザドッ
プラ測定計と、 前記第二反射体にビームを出射し、前記第二反射体から
の反射光にもとづいて前記対物レンズホルダのフォーカ
ス方向の運動速度を検出する第二参照光型レーザドップ
ラ測定計と、 前記第二反射体と対向して位置し、前記第二参照光型レ
ーザドップラ測定計から出射されたビームを45度方向
を変えて前記第二反射体に入射させる45度ミラーとを
備え、 前記第一参照光型レーザドップラ測定計で検出した対物
レンズホルダのトラッキング方向の運動速度と、前記第
二参照光型レーザドップラ測定計で検出した対物レンズ
ホルダのフォーカス方向の運動速度とにもとづいて対物
レンズの運動速度を求めることを特徴とした光ディスク
運動特性測定装置。
1. An apparatus for measuring a movement characteristic of an optical disk based on a movement speed of an objective lens during rotation driving of the optical disk, comprising: an objective holding the objective lens and swingably disposed on a lower surface of the optical disk. A lens holder, a first reflector attached to one side surface of the objective lens holder, a second reflector attached to the back surface of the objective lens holder, and emitting a beam to the first reflector; A first reference light type laser Doppler measurement meter for detecting a moving speed of the objective lens holder in the tracking direction based on reflected light from one reflector, and emitting a beam to the second reflector, the second reflector A second reference light type laser Doppler measurement meter for detecting the movement speed of the objective lens holder in the focus direction based on the reflected light from the object, facing the second reflector And a 45-degree mirror that changes the direction of the beam emitted from the second reference-light type laser Doppler meter to 45 degrees and makes the beam enter the second reflector. The first reference-light type laser Doppler meter Calculating the movement speed of the objective lens based on the movement speed in the tracking direction of the objective lens holder detected in step (b) and the movement speed of the objective lens holder in the focus direction detected by the second reference light type laser Doppler meter. Motion measurement device for optical disks.
【請求項2】光ディスク回転駆動中における対物レンズ
の運動速度にもとづいて、光ディスクの運動特性を測定
する装置であって、 前記対物レンズを保持し、光ディスクの下面に揺動自在
に配置された対物レンズホルダと、 この対物レンズホルダの一側面に取り付けられた第一反
射体と、 前記対物レンズホルダの裏面に取り付けられた第二反射
体と、 前記対物レンズホルダの支持体の一側面に取り付けられ
た第三反射体と、 前記支持体の裏側に取り付けられた第四反射体と、 前記第一及び第三反射体にビームを出射し、これら第一
及び第三反射体からの各反射光にもとづいて、前記対物
レンズホルダと前記光学ベースのトラッキング方向の運
動速度の差を検出する第一差動型レーザドップラ測定計
と、 前記第二及び第四反射体にビームを出射し、これら第二
及び第四反射体からの各反射光にもとづいて、前記対物
レンズホルダと前記光学ベースのフォーカス方向の運動
速度の差を検出する第二差動型レーザドップラ測定計と
前記第二及び第四反射体と対向して位置し、前記第二
差動型レーザドップラ測定計から出射された各ビームを
45度方向を変えて前記第二及び第四反射体に入射させ
る45度ミラーを備え、前記第一差動型レーザドップラ
測定計で検出した対物レンズホルダのトラッキング方向
の運動速度と、前記第二差動型レーザドップラ測定計で
検出した対物レンズホルダのフォーカス方向の運動速度
とにもとづいて対物レンズの運動速度を求めることを特
徴とした光ディスクの運動特性測定装置。
2. An apparatus for measuring a movement characteristic of an optical disk based on a movement speed of an objective lens during rotation driving of the optical disk, comprising: an objective holding the objective lens and swingably disposed on a lower surface of the optical disk. A lens holder; a first reflector attached to one side of the objective lens holder; a second reflector attached to the back of the objective lens holder; and a first reflector attached to one side of a support of the objective lens holder. A third reflector, a fourth reflector attached to the back side of the support, and emits a beam to the first and third reflectors, and to each reflected light from these first and third reflectors A first differential laser Doppler measurement meter for detecting a difference between a moving speed of the objective lens holder and the optical base in a tracking direction, and applying a beam to the second and fourth reflectors. The second differential laser Doppler measurement meter that emits and detects a difference in the movement speed of the objective lens holder and the optical base in the focusing direction based on each reflected light from the second and fourth reflectors, 45 ° which is located opposite to the second and fourth reflectors, and makes each beam emitted from the second differential type laser Doppler measurement meter change its direction by 45 ° and enter the second and fourth reflectors. comprising a mirror, movement speed of the first differential and the tracking direction of the movement speed of the objective lens holder which is detected by the laser Doppler meter, the focusing direction of the objective lens holder detected by said second differential laser Doppler meter A motion characteristic measuring device for an optical disk, wherein a motion speed of an objective lens is obtained based on the following.
【請求項3】前記第一反射体を十字型とした請求項1又
は2記載の光ディスクの運動特性測定装置。
3. A motion characteristic measuring apparatus of the optical disk according to claim 1 or 2, wherein the first reflector has a cross-shaped.
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